DE20182927T1 - Zweidimensionale mehrschichtdickenmessung - Google Patents

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Abstract

Dickenmessverfahren, umfassend:Erlangen eines Randbilds eines mehrschichtigen Objekts, wobei das mehrschichtige Objekt eine dicke Schicht und eine dünne Schicht umfasst;Umwandeln des Randbilds in Reflexionsvermögensinformationen;Ausführen einer Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen;Bestimmen einer Gesamtdicke des Objekts basierend auf der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen;Bestimmen einer Dicke der dicken Schicht basierend auf der ermittelten Gesamtdicke;Vergleichen der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen mit einer Frequenzanalyse eines theoretischen Modells des Objekts; undBestimmen einer Dicke der dünnen Schicht basierend auf dem Vergleich, wobei die ermittelten Dicken an der Stelle des Objekts liegen, von der das Randbild erlangt wurde.

Claims (14)

  1. Dickenmessverfahren, umfassend: Erlangen eines Randbilds eines mehrschichtigen Objekts, wobei das mehrschichtige Objekt eine dicke Schicht und eine dünne Schicht umfasst; Umwandeln des Randbilds in Reflexionsvermögensinformationen; Ausführen einer Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen; Bestimmen einer Gesamtdicke des Objekts basierend auf der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen; Bestimmen einer Dicke der dicken Schicht basierend auf der ermittelten Gesamtdicke; Vergleichen der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen mit einer Frequenzanalyse eines theoretischen Modells des Objekts; und Bestimmen einer Dicke der dünnen Schicht basierend auf dem Vergleich, wobei die ermittelten Dicken an der Stelle des Objekts liegen, von der das Randbild erlangt wurde.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend: Erlangen einer Vielzahl von Randbildern, jedes von einer anderen Stelle des Objekts; Bestimmen eines Unschärfe-Punktwerts für jedes Randbild; und Erzeugen eines Messvertrauensindikators basierend auf den ermittelten Unschärfe-Punktwerten.
  3. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, ferner umfassend: Erzeugen einer Dickekarte des Objekts basierend auf den bestimmten Dicken von einer Vielzahl von Stellen des Objekts.
  4. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei die Frequenzanalyse eine FourierTransformation ist.
  5. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei die Frequenzanalyse eine Modulation von harmonischen Frequenzen umfasst.
  6. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei das Objekt ein Tränenfilm ist, die dünne Schicht eine Lipidschicht ist und die dicke Schicht eine wässrige Schicht ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, ferner umfassend: Erzeugen einer mukös-wässrig-Indexkarte und/oder Erzeugen einer mukös-wässrig - Streuungskarte.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Indexkarte auf einem Verhältnis der Amplituden entsprechender Peaks in der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen und der Frequenzanalyse des theoretischen Modells des Objekts basiert.
  9. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Indexkarte auf einer Differenz der Amplituden entsprechender Peaks in der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen und der Frequenzanalyse des theoretischen Modells des Objekts basiert.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7-9, wobei die Streukarte auf einem Verhältnis einer gesamten Breite bei der Hälfte des Maximums oder einer halben Breite bei der Hälfte des Maximums von entsprechenden Peaks in der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen und der Frequenzanalyse des theoretischen Modells des Objekts basiert.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 7-9, wobei die Streuungskarte auf einer Differenz einer gesamten Breite bei der Hälfte des Maximums oder halben Breite bei der Hälfte des Maximums von entsprechenden Peaks in der Frequenzanalyse der Reflexionsvermögensinformationen und der Frequenzanalyse des theoretischen Modells des Objekts basiert.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 7-11, ferner umfassend: Bestimmen eines Skalierungsfaktors basierend auf der erzeugten mukös-wässrig - Indexkarte und/oder der mukös-wässrig-Streuungskarte; und Anpassen des erlangten Randbilds basierend auf dem Skalierungsfaktor.
  13. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei das Verfahren in Echtzeit mit Bildgebung des Objekts ausgeführt wird.
  14. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei die Randbilder durch Bildgebung des Objekts mit einem interferometrischen Bildgebungssystem unter Verwendung diskreter schmaler Spektralbänder erlangt werden.
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