DE20171246T1 - 2d-mehrschichtdickenmessung mit rekonstruiertem hyperspektralem interferenzmuster - Google Patents
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Abstract
Verfahren zum Messen der Schichtdicke einer Struktur, umfassend:Erfassen eines multispektralen Interferenzmusters der Struktur;Durchführen einer hyperspektralen Rekonstruktion des multispektralen Interferenzmusters, dabei Erzeugen eines rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters; undSchätzen der Schichtdicke basierend auf dem rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster.
Claims (12)
- Verfahren zum Messen der Schichtdicke einer Struktur, umfassend: Erfassen eines multispektralen Interferenzmusters der Struktur; Durchführen einer hyperspektralen Rekonstruktion des multispektralen Interferenzmusters, dabei Erzeugen eines rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters; und Schätzen der Schichtdicke basierend auf dem rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster.
- Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei die Struktur ein Tränenfilm eines Auges ist. - Verfahren nach
Anspruch 1 oder2 , wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer RGB-Kamera erfasst wird. - Verfahren nach
Anspruch 1 oder2 , wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer Zweifarbenkamera erfasst wird. - Verfahren nach
Anspruch 1 oder2 , wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer Schmalband-Multispektralkamera erfasst wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die hyperspektrale Rekonstruktion auf dem multispektralen Interferenzmuster durch ein maschinelles Lernsystem durchgeführt wird, das trainiert ist, um das voll- oder hyperspektrale Interferenzmuster auf dem multispektralen Eingabe-Interferenzmuster auszugeben.
- Verfahren nach einem der
Ansprüche 1 -6 , wobei die Schichtdicke durch Vergleichen des voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters mit einer Nachschlagtabelle geschätzt wird. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 1 -6 , wobei die Schichtdicke durch Durchführen einer Kurvenanpassung auf das voll- oder hyperspektrale Interferenzmuster geschätzt wird. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 1 -6 , wobei die Schichtdicke durch Zuführen des voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters an ein maschinelles Lernsystem geschätzt wird, das trainiert ist, um eine Schichtdicke basierend auf der Eingabe des voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster auszugeben. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiter umfassend Anzeigen der geschätzten Schichtdicke.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erfasste multispektrale Interferenzmuster unscharf ist und das Verfahren weiter das Fokussieren des unscharfen multispektralen Interferenzmusters vor dem Durchführen der hyperspektralen Rekonstruktion umfasst.
- Verfahren nach
Anspruch 11 , wobei das Fokussieren durch ein maschinelles Lernsystem durchgeführt wird, das trainiert ist, um ein scharfes multispektrales Interferenzmuster basierend auf einem unscharfen multispektralen Interferenzmuster auszugeben.
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