DE20171246T1 - 2d-mehrschichtdickenmessung mit rekonstruiertem hyperspektralem interferenzmuster - Google Patents

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Abstract

Verfahren zum Messen der Schichtdicke einer Struktur, umfassend:Erfassen eines multispektralen Interferenzmusters der Struktur;Durchführen einer hyperspektralen Rekonstruktion des multispektralen Interferenzmusters, dabei Erzeugen eines rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters; undSchätzen der Schichtdicke basierend auf dem rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster.

Claims (12)

  1. Verfahren zum Messen der Schichtdicke einer Struktur, umfassend: Erfassen eines multispektralen Interferenzmusters der Struktur; Durchführen einer hyperspektralen Rekonstruktion des multispektralen Interferenzmusters, dabei Erzeugen eines rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters; und Schätzen der Schichtdicke basierend auf dem rekonstruierten voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Struktur ein Tränenfilm eines Auges ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer RGB-Kamera erfasst wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer Zweifarbenkamera erfasst wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das multispektrale Interferenzmuster durch Aufnehmen eines reflektierten Lichts von der Struktur mit einer Schmalband-Multispektralkamera erfasst wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die hyperspektrale Rekonstruktion auf dem multispektralen Interferenzmuster durch ein maschinelles Lernsystem durchgeführt wird, das trainiert ist, um das voll- oder hyperspektrale Interferenzmuster auf dem multispektralen Eingabe-Interferenzmuster auszugeben.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-6, wobei die Schichtdicke durch Vergleichen des voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters mit einer Nachschlagtabelle geschätzt wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-6, wobei die Schichtdicke durch Durchführen einer Kurvenanpassung auf das voll- oder hyperspektrale Interferenzmuster geschätzt wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-6, wobei die Schichtdicke durch Zuführen des voll- oder hyperspektralen Interferenzmusters an ein maschinelles Lernsystem geschätzt wird, das trainiert ist, um eine Schichtdicke basierend auf der Eingabe des voll- oder hyperspektralen Interferenzmuster auszugeben.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiter umfassend Anzeigen der geschätzten Schichtdicke.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erfasste multispektrale Interferenzmuster unscharf ist und das Verfahren weiter das Fokussieren des unscharfen multispektralen Interferenzmusters vor dem Durchführen der hyperspektralen Rekonstruktion umfasst.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei das Fokussieren durch ein maschinelles Lernsystem durchgeführt wird, das trainiert ist, um ein scharfes multispektrales Interferenzmuster basierend auf einem unscharfen multispektralen Interferenzmuster auszugeben.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113358042B (zh) * 2021-06-30 2023-02-14 长江存储科技有限责任公司 一种测量膜厚的方法
US11933610B2 (en) 2022-07-28 2024-03-19 Nec Corporation Optical tomography system and method of using

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7088456B2 (en) * 2004-04-24 2006-08-08 Honeywell International Inc. Thin film thickness measurement using multichannel infrared sensor
JP4872862B2 (ja) * 2006-09-28 2012-02-08 ソニー株式会社 画像データ演算装置および方法、プログラム、並びに記録媒体
EP2413699B1 (de) * 2009-04-01 2019-11-20 Tearscience, Inc. Osi-apparat zur abbildung eines augentränenfilms
JP2012154711A (ja) * 2011-01-25 2012-08-16 Jvc Kenwood Corp 分光スペクトル推定装置および学習スペクトル生成方法
KR101704591B1 (ko) * 2012-02-21 2017-02-08 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 검사 장치 및 방법
EP3113668B1 (de) 2014-03-06 2018-09-26 ADOM Advanced Optical Technologies Ltd. System und verfahren zur durchführung von tränenfilmstrukturmessungen und verdampfungsratenmessungen
JP2017191071A (ja) * 2016-04-15 2017-10-19 キヤノン株式会社 分光データ処理装置、撮像装置、分光データ処理方法および分光データ処理プログラム
JP6750793B2 (ja) * 2016-04-26 2020-09-02 レーザーテック株式会社 膜厚測定装置及び膜厚測定方法
US10346740B2 (en) * 2016-06-01 2019-07-09 Kla-Tencor Corp. Systems and methods incorporating a neural network and a forward physical model for semiconductor applications
JP7005392B2 (ja) * 2017-03-14 2022-01-21 株式会社トプコン 涙液層厚み測定装置及び方法
US10893796B2 (en) 2018-01-26 2021-01-19 Topcon Corporation 2D multi-layer thickness measurement

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