DE2015220A1 - Optisches Prüfverfahren - Google Patents

Optisches Prüfverfahren

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DE2015220A1 DE19702015220 DE2015220A DE2015220A1 DE 2015220 A1 DE2015220 A1 DE 2015220A1 DE 19702015220 DE19702015220 DE 19702015220 DE 2015220 A DE2015220 A DE 2015220A DE 2015220 A1 DE2015220 A1 DE 2015220A1
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test plate
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luminous flux
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DE19702015220
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Kazuya; Suzuki Takashi; Tokio Matsumoto
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Original Assignee
Canon Inc
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods

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