DE2012359A1 - Patentwesen, Ost-Berlin WPI38798 Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen auf einem Träger - Google Patents
Patentwesen, Ost-Berlin WPI38798 Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen auf einem TrägerInfo
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Description
- Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen auf einem Träger Die Erfindung betrifft -eine Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen auf einem Träger, bei der über dem Strukturträger eine Vielzahl gegeneinander justierbarer Barrels mit gleichmäßigem Abstand zueinander matrixartig angeordnet sind.
- Unter flächenhaften Strukturen sollen im folgenden in der Elektronik- vorkommende, auf einem Träger befindliche funktionelle Gebiete oder Leitbahnen verstanden werden.
- Die äußeren Abmessungen dieser Träger sind dabei sehr verschieden. In der Mikroelektronik arbeitet man z.Z. mit kreisförmigen Trägern eines Durchmessers von ca. 50 mm.
- Größere Träger sind in Zukunft zu erwarten. In der Gerätetechnik kennt man mehrlagige Leiterplatten, die als Träger von Leitbahnen dienen. Ihre Größe variiert von ca. 100x150 mm² bis ca. 400x400 mm². Letztere werden z.B. für die Rückverdrahtung eingesetzt.
- Obwohl die auftretenden Strukturen von ihrer geometrischen Form her für alle genannten Trägerarten und für viele hier nicht genannte Arten die gleichen sind, wurden bisher zum Herstellen der flächenhaften Strukturen entsprechend ihrer Abmessungen unterschiedlichste Herstellungsverfahren und -einrichtungen mit unterschiedlichster Produktivität eingesetzt.
- So werden im Bereich der Mikroelektronik in bekannter Weise manuell- oder rechnergesteuerte Koordinatographen verwendet.
- Zs ist auch bereits vorgeschlagen worden, Kreuztischanordnungen mit Lichtstrahl zu benutzen. Bei letzterer Einrichtung werden durch eine Mehrbarrel-Anordnung die beim step- und repeat - Prozeß unvermeidlich auftretenden stochastischen Fehler reduziert. Dadurch wird gleichzeitig die Produktivitat beim Herstellen flächenhafter Strukturen erhöht. Es fehlt auch nicht an Versuchen, an sich bekannte Elektronenstrahlgeräte und Display-Systeme für diese Zwecke nutzbar zu machen.
- Zum Herstellen von Leiterplatten werden ausschließlich manuell- oder rechnergesteuerte Koordinatographen eingesetzt.
- Bezüglich Auflösungsvermögen und Geschwindigkeit, bezogen auf die Genauigkeit, ist die bekannte Kreuztischeinrichtung mit Mehrbarrelanordnung den Koordinatographen weit überlegen, Dennoch gestattet sie nicht, Flächen größer ca. 50x50 mm zu bearbeiten, wenn man von einer geringen Vergrößerung des Aufbaues infolge eines ähnlich vergrößerten Aufbaus absieht. Eine größere bearbeitete Fläche kann nur durch Vergrößerung unter Verzicht auf Genauigkeit reziprok zum Vergrößerungsmaßstab obieger bearbeiteter Fläche erzielt werden oder ebenfalls unter Verlust an Genauigkeit und zusätzlioh an Produktivität mittels des Koordiantographen.
- Zweck der Erfindung ist es, eine Einrichtung zu schaffen, die es gestattet, eine wesentlich größere Fläche bei gleicher ursprünglicher Genauigkeit der Kreuztischanordnung ohne Verlust an Produktivität zu bearbeiten, um eine hohe Produktivität für hochintegrierte mikroelektronische Systeme und mehrlagige Leiterpiatten zu gewährleisten.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bei einer Mehrbarrelanordnung einer Kreuztischanordnung mit Lichtstrahl unabhängig voneinander je einen Träger bearbeitenden Barrels in eine solche Abhängigkeit zu bringen, daß sie einen gemeinsamen, nunmehr größeren Träger stückweise quasi gleichzeitig bearbeiten können.
- Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß jeweils benachbarte Randbereiche der rechteckigen Bearbeitungsflächen der über dem Strukturträger mit gleichmäßigem Abstand voneinander matrixartig angeordneten, justierbaren Barrels nach einem vorgegebenen Maß überlappt sind.
- Dabei wird die den Strukturträger tragende Kreustischanord nung von einem Rechner in on- oder off line - Betrieb gesteuert, wobei der Rechner die flächenliaften Strukturen, die der Träger später enthalten soll, so in Teilstrukturen der einzelnen Bearbeitungsflächen je Barrel zerlegt, daß alle Barrels nahezu gleichzeitig arbeiten.
- Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
- Die zugehörige Zeichnung zeigt die schematische Draufsicht eines Strukturträgers mit einer flächenhaften Struktur und den darüber angeordneten Barrels.
- Auf einem Kreuztisch t, der durch eilen zeichnerisch nicht näher dargestellten Rechner gesteuert wird, ist ein Strukturträger 2-angeordnet, der der Aufnahme einer flächenhaften Struktur 3 dient. Letztere besteht im angenommenen Ausführunge beispiel aus drei Einzelstrukturen 3; 31; 32. Der Strukturträger 2 ist matrixartig in rechteckige Strukturträgerteile durch die Kanten 10; 1.1; 12 untergliedert, über denen in bekannter Weise gleichermaßen matrixartig angeordnete, justier bare Barrele 4; 5; 6; 7; 8; 9 so stehen, daß der Arbeitsbereich eines jeden Barrels sowohl den zugeordneten Strukturträgerteil beinhaltet als auch die Randbereiche der hierzu benachbarten Strukturträgerteile. Die Bearbeitungsfläche 13 des Barrels 7 wird begrenzt von den Kanten 121; 102, die Bearbeitungsfläche 14 des Barrels 4 von den Kanten 122; 102, die Bearbeitungsfläche 15 des Barrels 5 von den Kanten 101; 122; 112, usw.
- Die Erfindung beruht nun darauf, daß der Rechner die herzustellende flächenhafte Struktur 3; 31; 32 so in Teilstrukturen der einzelnen Bearbeitungsflächen 13 bis 18 je Barrel 4 bis 9 zerlegt, daß letztere alle nahezu gleichzeitig arbeiten. Dabei entstehen auf der flächenhaften Struktur 3 Überlappungsgebiete, wobei sich in den Gebieten 19 bis 24 jeweils zwei und im Gebiet 25 jeweils vier Teilstrukturen überlappen.
- Mittels der im Ausführungsbeispiel dargestellten 6-Barrel-Anordnung mit einer Matrix von 2x3 können beispielsweise drei Si-Scheiben oder Schablonen der Abmessung ca. (1x50) x (2x50) mm2 oder eine Leiterplatte der Abmessung ca. (2x50) x (3x50) mm2 in nahezu der gleichen Zeit wie mit den bekannten Mitteln sechs Si-Scheiben oder Schablonen einer Abmessung ca. (1x50) x (1x50) mm2 bearbeitet werden.
- Selbstverständlich ist es auch möglich, eine andere als die im Ausführungsbeispiel besprochene Matrixanordnung vorzusehen, ohne vom erfinderischen Prinzip abzuweichen.
Claims (1)
- Patentanspruch:Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen, bei der eine Vielzahl gegeneinander justierbarer Barrels mit gleichmäßigem Abstand zueinander matrixartig über dem Strukturträger angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils benachbarte Randbereiche der von den Barrels erfaßten rechteckigen Bearbeitungsflächen nach einem vorgegebenen Maß überlappt sind.L e e r s e i t e
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD13879869 | 1969-03-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2012359A1 true DE2012359A1 (de) | 1970-10-08 |
Family
ID=5481062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702012359 Pending DE2012359A1 (de) | 1969-03-26 | 1970-03-16 | Patentwesen, Ost-Berlin WPI38798 Einrichtung zum Herstellen flächenhafter Strukturen auf einem Träger |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS156631B1 (de) |
DE (1) | DE2012359A1 (de) |
-
1970
- 1970-03-16 DE DE19702012359 patent/DE2012359A1/de active Pending
- 1970-03-25 CS CS198870A patent/CS156631B1/cs unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CS156631B1 (de) | 1974-08-23 |
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