DD244939A1

DD244939A1 - Relativpositionierverfahren und -vorrichtung zwischen werkstueck, werkzeug und messsonden

Info

Publication number: DD244939A1
Application number: DD28512285A
Authority: DD
Inventors: Bernd-Uwe Zehner; Wolfgang Heinrich; Klaus Roth; Reiner Kupferschmidt
Original assignee: Geraberg Thermometer
Priority date: 1985-12-23
Filing date: 1985-12-23
Publication date: 1987-04-22
Also published as: CS889786A1; DE3639461A1; DD244939B1; DE3639461C2; CH672276A5; CS269789B1; HUT45712A; FR2591924A1; BG49086A1

Abstract

Die Erfindung eignet sich zum Einsatz auf den Gebieten der Mikro- bzw. der Praezisionsbearbeitung. Es sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zu realisieren, wobei nur ein Positioniersystem mit hoechstens einem Antrieb pro Koordinate zur Anwendung gelangt, die Anzahl der Bewegungsbaugruppen und Justierstellen ein Minimum darstellen, das Positionierprinzip ein Maximum an Genauigkeit und Wegaufloesung zulaesst und die Zahl der Messsonden kleiner als die Zahl der Messflaechen auf dem Werkstueck sein kann. Das erfindungsgemaesse Verfahren realisiert Relativpositioniervorgaenge zwischen Werkstueck und Messsonden sowie zwischen Werkstueck und Messsonden einerseits und dem Werkzeug andererseits. Die erfindungsgemaesse Vorrichtung (Fig. 1) verwendet ein Zweikoordinatenpositioniersystem mit einer beweglichen Ebene (2). Haltevorrichtungen (4) auf der Ebene (2) sowie am Gestell (1) haltern in geeigneter Weise die Messsondenaufnahme (5). Die Vorrichtung gestattet Relativpositioniervorgaenge zwischen Werkstueck (9) und Messsonden (6) sowie zwischen Werkstueck (9) und Messsonden (6) einerseits und dem Werkzeug (11) andererseits. Die Erfindung eignet sich zum Einsatz bei der Herstellung von aktiven und passiven Bauelementen sowie Schaltkreisen in der Elektronikindustrie. Fig. 1

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung eignet sich zum Einsatz auf den Gebieten der Mikro-beziehungsweise Präzisionsbearbeitung, insbesondere in der Elektronikindustrie bei der Hersteilung von aktiven und passiven Bauelementen und Schaltkreisen.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Durch die WO-PS 8401 437 ist eine als „probe disk" bezeichnete Meßsondenaufnahme und ein Mechanismus zum Aufsetzen der Kontaktspitzen bekannt geworden. Diese Lösung ist dadurch nachteilbehaftet, daß nur durch ein Werkzeug Veränderungen am Werkstück während der Messungen durchgeführt werden können, wenn eine zusätzliche Relativpositioniereinheit verwendet

wird. ' .

Relativbewegungen der Meßsondenaufnahme bezüglich des Werkstückes in der Werkstückebene sind nicht möglich, weil diese Positioniereinheit nur in senkrechter Richtung zum Werkstück wirkt. Damit ist die Anzahl der antastbaren Meßflächen auf dem Werkstück begrenzt.

Durch die DD-PS 200956 ist weiterhin ein Zweikoordinatenantrieb vorgestellt worden. Dieser Antrieb gestattet prinzipiell entweder eine Relativpositionierung der Meßsonden relativ zu Meßflächen eines Werkstückes oder eine Relativpositionierung eines Werkzeuges zum Werkstück.

Sollen beide Aufgaben kombiniert gelöst werden, ist die Verwendung zweier Pösitioniersysteme unumgänglich. Damit ist der Stand der Technik zusammenfassend dadurch gekennzeichnet, daß zur Relativpositionierung von Meßsonden zu einem Werkstück und eines Werkzeuges zu einem Werkstück mindestens zwei Positioniersysteme zur Anwendung gelangen oder die Zahl der Meßsonden der Zahl der Meßflächen auf dem Werkstück entsprechen muß.

Ziel der Erfindung - »

Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, welche lediglich ein Positioniersystem zur Anwendung bringen, damit im Vergleich zum Stand der Technik mindestens ein Positioniersystem einsparen, die Positioniervorgänge schnell mit gleicher und prinzipiell höchster Genauigkeit realisieren, die Zahl der Meßsonden nicht notwendigerweise der Zahl der Meßflächen auf dem Werkstück angleichen, eine Beeinflussung des Werkstückes durch ein Werkzeug während der Meßvorgänge über Meßsonden gestatten und damit Einsparungen von Produktionsmitteln und Bearbeitungszeit sowie Qualitätsverbesserungen sichern.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Die erfindungsgemäße Aufgabe^besteht in der Schaffung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Relativpositionierung zwischen Werkstück, Werkzeug und Meßsonden, wobei nur ein Positioniersystem zur Anwendung gelangen soll, welches alle erforderlichen Relativpositionierungen mit höchstens einem Antrieb in jeder Koordinate realisiert, die Anzahl der relativ zueinander bewegten Baugruppen und damit die Zahl der Justierstellen ein Minimum darstellen, das Prinzip der Relativpositionierung zwischen Werkzeug und Werkstück im Vergleich zu anderen Prinzipien ein Maximum an Genauigkeit und Wegauflösung zuläßt, die Positionierung der Meßsondenaufnahme mit den Meßsonden relativ zum Werkstück mit prinzipiell gleicher Genauigkeit und Wegauflösung wie die Relativpositionierung zwischen Werkzeug und Werkstück erfolgt und die Zahl der Meßsonden kleiner als die Zahl der Meßflächen auf dem Werkstück sein kann. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß ein Verfahren zur Relativpositionierung zwischen Werkstück, Werkzeug und Meßsonden, unter Verwendung eines frei programmierbaren Positioniersystems, welches für jede Koordinate höchstens einen Antrieb enthält, mit den folgenden Verfahrensschritten

a) Aufbringen des Werkstückes auf das Positioniersystem und Fixieren in Bearbeitungslage

b) Haltern einer Meßsondenaufnahme mit Meßsonden in einer gegenüber dem Werkstück definierten Lage mittels einer Haltevorrichtung in einer weiteren Koordinate K bezüglich der Koordinaten des Positioniersystems unter Sicherung von Relativbewegungsmöglichkeiten zwischen Meßsondenaufnahme und Werkstück.

c) Gegenüberstellen der Meßflächen des Werkstückes zu den Meßsonden in der Koordinate K mittels Positioniersystem.

d) Loslösen der Meßsondenaufnahme von der Haltevorrichtung nach Verfahrensschritt b) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes in der Koordinate K.

e) Haltern der Meßsondenaufnahme von einer auf dem Positioniersystem angeordneten Haltevorrichtung in der Koordinate K unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes.

f) Messen von Werkstückparametern mittels Meßsonden unter gleichzeitigem Relativbewegen von Werkstück und Meßs.ondenaufnahme bezüglich des Werkzeuges mittels Positioniersystem und Verändern der Werkstückparameter durch das Werkzeug.

g) Loslösen der Meßsondenaufnahme von der Haltevorrichtung nach Verfahrensschritt e) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes in der Koordinate K.

zur Anwendung gelangt, wobei die Verfahrensschritte vorzugsweise nacheinander ausgeführt und die Verfahrensschritte b) bis

g) bezüglich weiterer Meßflächen auf dem Werkstück wiederholt werden.

In Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß während des Verfahrensschrittes f) die Meßsondenaufnahme gemeinsam mit dem Werkstück Relativbewegungen bezüglich des Werkzeuges ausführt und während der Vornahme von Veränderungen am Werkstück über die Meßsonden zeitweise keine auf das Werkstück bezogene Messungen erfolgen.

Weiterhin ist vorgesehen, daß während der Verfahrensschritte a) bis d) zwischen den Meßsonden und den Meßflächen auf dem Werkstück ein mechanischen Kontakt vermeidender Abstand gehalten wird. Vorzugsweise wird als Werkzeug ein Laserstrahl zur Anwendung gebracht.

Erfindungsgemäß gelangt eine Vorrichtung, unter Verwendung eines frei programmierbaren Positioniersystems, vorzugsweise eines Zweikoordinatenpositioniersystems, welches aus einem Gestell und aus einer relativ zu dem Gestell in zwei Koordinaten χ

und y beweglichen und pro Koordinate mit einem Antrieb versehenen Ebene besteht, zum Einsatz, wobei auf der beweglichen Ebene und am Gestell steuerbare, in der Koordinate K auf Halteflächen der Meßsondenaufnahme wirkende Haltevorrichtungen fest angeordnet sind.

In Ausgestaltung der Erfindung gelangt eine Vorrichtung zur Anwendung, welche ein frei programmierbares Zweikoordinatenpositioniersystem, bestehend aus einem Gestell, einer relativ zum Gestell in derx-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene A und einer auf der Ebene A in der y-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene B verwendet, wobei aufderEbeneAund auf der Ebene B steuerbare, in der Koordinate Kauf Halteflächen der Meßsondenaufnahme wirkende Haltevorrichtungen fest angeordnet sind. Es ist vorteilhaft, daß die Haltevorrichtungen vorzugsweise als Elektromagnete ausgebildet sind.

Weiterhin ist vorgesehen, daß die Haltevorrichtungen zu den Halteflächen der Meßsondenaufnahme in der Koordinate K vorzugsweise in einem maximalen Abstand von 0,1 mm angeordnet sind. Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung besteht in einer zusätzlichen Anordnung von Relativbewegungen der Meßsondenaufnahme in der x-Koordinate gegenüber der Ebene A verhindernden Führungselementen auf der Ebene A oder auf der Ebene B.

Es ist auch vorgesehen, daß bei Verwendung eines frei programmierbaren Zweikoordinatenpositioniersystems, welches aus einem Gestell, einer relativ zum Gestell in derx-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene A und einer auf der Ebene A in dery-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene B besteht, auf der Ebene B und am Gestell steuerbare, in der Koordinate K auf Halteflächen der Meßsondenaufnahme wirkende Haltevorrichtungen fest angeordnet

Durch diese erfindungsgemäßen Ausgestaltungen wird erreicht, daß

— alle Positioniervorgänge nur mit einem Positioniersystem mit einem Antrieb je Koordinate durchgeführt werden können

— die Anzahl der Baugruppen und Justierstellen minimiert ist

— eine hohe Genauigkeit und Wegauflösung der Relativpositionierung gesichert ist

— die Posijionieraufgaben mit gleicher, hoher Genauigkeit und Auflösung durchgeführt werden können

— und die Zahl der Meßsonden kleiner als die Zahl der Meßflächen auf dem Werkstück sein kann.

Insgesamt werden dadurch Produktionsausrüstungen und Produktionszeit eingespart und die Qualität der zu bearbeitenden Werkstücke wesentlich verbessert.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Hinzuziehung einer Zeichnung erläutert. Die Zeichnung zeigt:

Fig. 1 :· Prinzip der Vorrichtung unter Verwendung eines Zweikoordinatenpositioniersystems mit einer beweglichen Ebene Fig.2: Prinzip derVorrichtung unter Verwendung eines Zweikoordinatenpositioniersystems mit zwei beweglichen Ebenen und

einer zum Werkstück nur in der y-Koordinate positionierbaren Maßsondenaufnahme Fig.3: Führungselement auf der Ebene B Fig. 4: Führungselement auf der Ebene A Fig. 5: Prinzip derVorrichtung unter Verwendung eines Zweikoordinatenpositioniersystems mit zwei beweglichen Ebenen.

Das Verfahren, als Teil des technologischen Ablaufes bei der Herstellung von Platintemperaturmeßwiderständen, wird nachfolgend anhand der Bearbeitung von 100 Ohm-Widerständen beschrieben.

Um in die Platinschicht der auf einem Keramiksubstrat angeordneten Widerstände mäanderförmige Spuren einzubringen und damit einen temperaturabhängigen elektrischen Widerstand zu realisieren, ist das mit Platin beschichtete Keramiksubstrat der Abmessung 100 mm χ 60 mm χ 0,8 mm, auf dem in 4 Reihen je 32 Widerstände der Abmessung 3 mm χ 15 mm hergestellt werden sollen, mittels des beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahrens abtragend bearbeitet worden.

Die einzelnen Widerstände wurden dabei mit dem erfindungsgemäßen Verfahren durch eine Berandung voneinander abgegrenzt.

Während des Einbringens der Mäander bzw. während des Widerstandsabgleiches wurde der Widerstand gemessen. Während des Berandens der Widerstände erfolgte keine Widerstandsmessung. Die abtragende Bearbeitung wurde dabei durch einen auf 25μΓη Durchmesserfokussierten Strahl eines Nd:YAG-Lasers vorgenommen.

Das verwendete Zweikoordinatenpositioniersystem bestandaus zwei beweglichen Ebenen und besaß Haltevorrichtungen für eine Meßsondenaufnahme. Die Meßsondenaufnahme trug reihenförmig angeordnet 64 Meßsonden (2 Meßsonden je Widerstand). Die Meßsonden waren als Kontaktspitzen ausgebildet und zum Substrat während der erfindungsgemäßen Verfahrensschritte a) bis d) in einem Abstand von 0,5 mm angeordnet. Die Meßsondenaufnahme wurde nach den erfindungsgemäßen Verfahrensschritten relativ zum Keramiksubstrat, ausgehend von einer definierten Ausgangslage, so positioniert, da"ß die 64 Meßsonden nacheinander den Meßflächen der Widerstände alier Reihen gegenüberstanden.

Die erfindungsgemäßen Verfahrensschritte sind dabei vorzugsweise nacheinander abgelaufen. Mit der Durchführung des Ausführungsbeispiels war es unter anderem möglich, alle Verfahrensschritte und Positioniervorgänge mit nur einem Positioniersystem, welches eine Auflösung von 0,25μΓΓ\ je Koordinate und nur einen Antrieb je Koordinate besaß, zu realisieren.

Relativ zu einem Gestell führten nur 2 Ebenen Relativbewegungen aus. Die Zahl der Meßpunkte auf dem Substrat war um den Faktor 4 größer als die Zahl der Meßsondenpaare.

Die Relativbewegung des Werkstückes zum Laserstrahl erfolgte am Ort der Wirkstelle, damit wurden Änderungen des Fokusdurchmessers vermieden.

Gegenüber herkömmlichen Lösungen wurden ein Positioniersystem eingespart, die Zahl der pro Substrat bearbeitbaren Widerstände, die Positioniergenauigkeit, die Qualität des Erzeugnisses und die Arbeitsproduktivität etwa um einen Faktor 5 erhöht.

_4- 244 S39

Nach Fig. 1 sind ein an sich bekanntes frei programmierbares Zweikoordinatenpositioniersystem, welches aus einem Ge.stell 1 und aus einer relativ zu dem Gestell 1 in den Koordinaten χ und y beweglichen und pro Koordinate mit einem Antrieb 3 versehenen Ebene 2 besteht, Haltevorrichtungen 4, eine Meßsondenaufnahme 5 mit Meßsonden 6 und Halteflächen 7, Meßsignalleitungen 8 und ein Werkstück9 mit Meßflächen 10 so angeordnet, daß mit Hilfe der Vorrichtung nach Fig. 1 die Verfahrensschritte

a) Aufbringen des Werkstückes 9 auf die Ebene 2 des Zweikoordinatenpositioniersystems und Fixieren in Bearbeitungslage

b) Haltern der Meßsondenaufnahme 5 mit den Meßsonden 6 und den Halteflächen 7 mittels Haltevorrichtungen 4, welche als Elektromagnete ausgebildet und am Gestell 1 fest angeordnet sind, in der Koordinate K wirken und steuerbar Haltekräfte auf Halteflächen 7 der Meßsondenaufnahme 5 ausüben, unter Sicherung von Relativbewegungsmöglichkeiten zwischen Meßsondenaufnahme 5 und Werkstück 9

c) Gegenüberstellen der Meßflächen 10 des Werkstückes 9 zu den Meßsonden 6 in der Koordinate K mittels der beweglichen Ebene 2 des Zweikoordinatenpositioniersystems .

d) Loslösen der Meßsondenäufnahme 5 von den Haltevorrichtungen 4 nach Verfahrensschritt b) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden 6 zu den Meßflächen 10 des Werkstückes 9 in der Koordinate K.

e) Haltern der Meßsondenaufnahme 5 von auf der Ebene 2 des Zweikoordinatenpositioniersystems angeordneten Haltevorrichtungen 4, welche als Elektromagnete ausgebildet sind, in der Koordinate K wirken und steuerbar Haltekräfte auf Halteflächen 7 der Meßsondenaufnahme 5 ausüben, unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden 6 zu den Meßflächen 10 des Werkstückes 9.

f) Messen von Werkstückparametern mittels Meßsonden 6 und Liefern von Informationen an Empfänger über Meßsignalleitungen 8 unter gleichzeitigem Relativbewegen von Werkstück 9 und Meßsondenaufnahme 5 bezüglich eines vorzugsweise als Laserstrahl ausgebildeten Werkzeuges 11 unter Zuhilfenahme der beweglichen Ebene 2 des Zweikoordinatenpositioniersystems und Verändern der Werkstückparameter durch das Werkzeug 11.

g) Loslösen der Meßsondenaufnahme 5 von den Haltevorrichtungen 4 nach Verfahrensschritt e) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden 6 zu den Meßflächen 10 des Werkstückes 9 in der Koordinate K.

zur Anwendung gelangen, vorzugsweise nacheinander ausgeführt und die Verfahrensschritte b) bis g) bezüglich weiterer Meßflächen 10 auf dem Werkstück 9 wiederholt werden.

Die Haltevorrichtungen 4 sind zu den Halteflächen 7 der Meßsondenaufnahme 5 in einem Abstand von 0,1 mm angeordnet.

Nach Fig. 2 kommt ein Zweikoordinatenpositioniersystem mit zwei beweglichen Ebenen zur Anwendung, welches aus einem Gestell 1, einer rsiativzu dem Gestell 1 in der x-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb 3 versehenen Ebene A12 und einer auf der Ebene A-12 in dery-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb 3 versehenen Ebene B13 besteht.

Haltevorrichtungen 4 sind sowohl auf der Ebene A12 als auch auf der Ebene B13 fest angeordnet. In Verbindung mit weiteren gemäß Fig. 1 bezeichneten Teil.en und beim Ablauf der erfindungsgemäßen Verfahrensschritte besteht die Besonderheit dieser Anordnung darin, daß die Meßsondenaufnahme 5 relativ zum Werkstück 9 nur in der Koordinate y positioniert werden kann.

Das ist vorteilhaft, wenn die Zahl der erforderlichen Meßsonden 6 der Zahl der Meßflächen 10 auf dem Werkstück 9 in der x-Koordinate entspricht.

Nach Fig. 3 sind auf den Haltevorrichtungen 4, die auf der Ebene B13 fest angeordnet sind, Führungselemente 14fest angebracht, um bei einer Anordnung nach Fig. 2 Relativbewegungen der Meßsondenaufnahme 5 zur Ebene B13 in der x-Koordinate zu verhindern.

Fig. 4 zeigt eine Anordnung von Führungselementen 4 auf Haltevorrichtungen 4, welche auf der Ebene A12fest angeordnet sind.

Diese Anordnung wirkt in gleicherweise wie in Fig. 3.

Fig. 5 stellt eine Ausführung der Vorrichtung mit einem Zweikoordinatenpositioniersystem mit zwei beweglichen Ebenen dar, wobei Haltevorrichtungen 4 am Gestell 1 und auf der Ebene B13 angeordnet sind.

Wie auch nach Fig. 1, wird hier die Meßsondenaufnahme 5 relativ zum Werkstück 9 in den Koordinaten χ undy positioniert.

Claims

Erfindungsanspruch:

1. Verfahren zur Relativpositionierung zwischen Werkstück, Werkzeug und Meßsonden, unter Verwendung eines frei programmierbaren Positioniersystems, welches für jede Koordinate höchstens einen Antrieb enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Verfahrensschritte

a) Aufbringen desWerkstückesauf das Positioniersystem und Fixieren in Bearbeitungslage

b) Haltern einer Meßsondenaufnahme mit Meßsonden in einer gegenüber dem Werkstück definierten Lage mittels einer Haltevorrichtung in einer weiteren Koordinate K bezüglich der Koordinaten des Positioniersystems unter Sicherung von ReIativbewegungsmögIichkeiten zwischen Meßsondenaufnahme und Werkstück

c) Gegenüberstellen der Meßflächen des Werkstückes zu den Meßsonden in der Koordinate K mittels Positioniersystem

d) Loslösender Meßsondenaufnahme von der Haltevorrichtung nach Verfahrensschritt b) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes in der Koordinate K

e) Haltern der Meßsondenaufnahme von einer auf dem Positioniersystem angeordneten Haltevorrichtung in der Koordinate K unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes

f) Messen von Werkstückparametern mittels Meßsonden unter gleichzeitigem Relativbewegen von Werkstück und Meßsondenaufnahme bezüglich des Werkzeuges mittels Positioniersystem und Verändern der Werkstückparameter durch das Werkzeug

g) Lösen der Meßsondenaufnahme von der Haltevorrichtung nach Verfahrensschritt e) unter Sicherung des Gegenüberstehens der Meßsonden zu den Meßflächen des Werkstückes in der Koordinate K

vorzugsweise nacheinander ausgeführt und die Verfahrensschritte b) bis g) bezüglich weiterer Meßflächen auf dem Werkstück wiederholt werden.
2. Verfahren nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß während des Verfahrensschrittes f) die Meßsondenaufnahme gemeinsam mit dem Werkstück Relativbewegungen bezüglich des Werkzeuges ausführt und während der Vornahme von Veränderungen am Werkstück über die Meßsonden zeitweise keine auf das Werkstück bezogene Messungen erfolgen.
3. Verfahren nach einem oder allen der Punkte 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß während der Verfahrensschritte a) bis d) zwischen den Meßsonden und den Meßflächen auf dem Werkstück ein mechanischen Kontakt vermeidender Abstand gehalten wird.
4. Verfahren nach einem oder allen der Punkte 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkzeug vorzugsweise ein Laserstrahl zur Anwendung gelangt.
5. Vorrichtung zur Relativpositionierung zwischen Werkstück, Werkzeug und Meßsonden, unter Verwendung eines frei programmierbaren Positioniersystems, vorzugsweise eines Zweikoordinatenpositioniersystems, welches aus einem Gestell und aus einer relativ zu dem Gestell in zwei Koordinaten χ und y beweglichen und pro Koordinate mit einem Antrieb versehenen Ebene besteht, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Ebene (2) und am Gestell (1) steuerbare, in der Koordinate K auf Halteflächen (7) der Meßsondenaufnahme (5) wirkende Haltevorrichtungen (4) fest angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach Punkt 5, unter Verwendung eines frei programmierbaren Zweikoordinatenpositioniersystems, welches aus einem Gestell, einer relativ zum Gestell in der x-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene A und einer auf der Ebene A in der y-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene B besteht, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Ebene A (12) und auf der Ebene B (13) steuerbare, in der Koordinate K auf Halteflächen (7) der Meßsondenaufnahme (5) wirkende Haltevorrichtungen (4) fest angeordnet sind.
7. Vorrichtung, nach einem oder allen der Punkte 5 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtungen (4) vorzugsweise als Elektromagnete ausgebildet sind.
8. Vorrichtung, nach einem oder allen der Punkte 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtungen (4) zu den Halteflächen (7) der Meßsondenaufnahme (5) in der Koordinate K vorzugsweise in einem maximalen Abstand von 0,1 mm angeordnet sind.
9. Vorrichtung, nach einem oder allen der Punkte 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf derEbeneA (12) oder auf der Ebene B (13) zusätzlich Relativbewegungen der Meßsondenaufnahme (5) in der x-Koordinate gegenüber der Ebene A (12) verhindernde Führungselemente (14) fest angeordnet sind.
10. Vorrichtung, nach einem oder allen der Punkte 5 bis 9, unter Verwendung eines frei programmierbaren Zweikoordinatenpositioniersystems, welches aus einem Gestell, einer relativ zum Gestell in der x-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene A und einer auf der Ebene A in der y-Koordinate beweglichen und mit einem Antrieb versehenen Ebene B besteht, dadurch gekennzeichnet, daß aufderEbeneB(13)undam Gestell (1) steuerbare, in der Koordinate K auf Halteflächen (7) der Meßsondenaufnahme (5) wirkende Haltevorrichtungen (4) fest angeordnet sind.

Hierzu 4 Seiten Zeichnungen