DE10016785A1 - Verfahren zur Kalibrierung - Google Patents

Verfahren zur Kalibrierung

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Kalibrierung einer eine in sechs Freiheitsgraden beweglichen Grundplatte (2) tragenden Vorrichtung (1), insbesondere eines Hexapodes, mit mehreren die Grundplatte (2) abstützenden Haltegliedern (3) und mit den Haltegliedern (3) gelenkig verbundenen Verstellgliedern (9), soll dieses eine nahezu exakte Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessungen der zusammengebauten Vorrichtung (1) ermöglichen, so dass mit diesen Abmessungswerten eine dynamische hochpräzise Bearbeitung eines Werkstückes zu erzielen ist. DOLLAR A Dies wird mittels den nachfolgenden Verfahrensschritten bewerkstelligt: DOLLAR A - Festlegen von jeweils mindestens einem Referenzpunkt (11 bzw. 12) auf der Oberfläche der Grundplatte (2) und an einem oder mehreren, vorzugsweise an allen Verstellgliedern (9), DOLLAR A - Bestimmen der tatsächlichen Position und Orientierung des Referenzpunktes (11) der Grundplatte (2) und Messen der tatsächlichen Positionen der Referenzpunkte (12) der Verstellglieder (9) jeweils in Form von räumlichen Koordinaten, DOLLAR A - Vergleichen der gemessenen Koordinaten des Referenzpunktes (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und der Verstellglieder (9) mit den errechneten zugeordneten theoretischen Koordinaten der Referenzpunkte (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und der Verstellglieder (9), DOLLAR A - Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessung der Vorrichtung (1) aus dem Vergleich der gemessenen Koordinaten mit den gerechneten Koordinaten der jeweiligen Referenzpunkte (11 bzw. 12) ...

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibrierung einer eine in sechs Freiheitsgraden beweglichen Grundplatte tragenden Vorrichtung, insbesondere eines Hexapodes, mit mehreren die Grundplatte abstützenden Haltegliedern und mit den Haltegliedern gelenkig verbundenen Verstellgliedern.
Der DE 19 81 865 A1 ist ein Verfahren zu entnehmen, bei dem als Ausgangssituation von einem auf der Grundplatte in deren geometrischen Mittelpunkt angenommenen Referenzpunkt ausgegangen wird. Des weiteren sind für dieses Verfahren die Mittelpunkte der vorhandenen Kardangelenken, insbesondere zwischen den Haltegliedern und der Grundplatte sowie den Haltegliedern und den Verstellgliedern als weitere Referenzpunkte festgelegt. Mittels der Positions- Messung der derart bestimmten Referenzpunkte in den beiden angenommenen Koordinatensystemen, die einerseits auf die bewegliche Grundplatte und andererseits auf das ortsfeste Maschinengestell bezogen sind, können die unbekannten Maschinenparameter durch Aufstellen eines nicht linearen Vektorgleichungssystems mittels iterativen Lösungsschritten, insbesondere nach dem Newton-Gauss-Verfahren, ermittelt werden. Diese geometrischen Maschinenparameter dienen anschließend dazu, das vorhandene Steuerprogramm zu ergänzen, so dass in die dynamische Bewegung der Grundplatte die tatsächlichen geometrischen Abmessungen der Vorrichtung berücksichtigt sind.
Als nachteilig hat es sich bei diesem Verfahren zur Kalibrierung einer Vorrichtung gezeigt, dass die angestrebten Herstellungsgenauigkeiten bei der Bearbeitung eines Werkstückes nicht erreicht werden, da die Messung und somit die ermittelten tatsächlichen geometrischen Abmessungen der Vorrichtung fehlerhaft sind. Dies ist erstens darauf zurückzuführen, dass die angenommenen Referenzpunkte nicht in der Position liegen, die diese für eine fehlerfreie Messung aufweisen müssten, da nämlich ein Kardangelenkmittelpunkt nicht exakt erfassbar ist und auch ein symmetrischer Mittelpunkt der Grundplatte nicht existiert, und zweitens liefert das iterative Lösungsverfahren der Gleichungssysteme keine mathematisch eindeutig bestimmten Werte, sondern stellt vielmehr eine Näherungslösung dar, so dass aus den unzutreffenden Annahmen und der mathematisch ungenauen Berechnungsmethode keine exakten Angaben über die tatsächlichen Abmessungsverhältnisse der Vorrichtung zu treffen sind. Somit ist das Steuerprogramm der Vorrichtung nicht mit den tatsächlichen geometrischen Abmessungsverhältnissen der Vorrichtung ergänzt und berichtigt, sondern mit ungenauen Werten behaftet, so dass die angestrebten Herstellungswerte bei der dynamischen Bewegung der Grundplatte nicht erzielbar sind.
Auch die Synchronisation der beiden angenommenen Koordinatensysteme ist fehlerbehaftet, denn dadurch, dass das der Grundplatte zugeordnete Koordinatensystem im Raum beweglich ist und das der unbeweglichen Grundplatte, die im wesentlichen das Maschinengestellt symbolisiert, zugewiesene Koordinatensystem ortsfest ist, ergeben sich bei dem Vergleich der jeweiligen Vektoren erhebliche Transformationsprobleme, die Ungenauigkeiten in bezug auf die tatsächlichen Maschinenparameter zur Folge haben.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Kalibrierung einer Vorrichtung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, das eine nahezu exakte Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessungen der zusammengebauten Vorrichtung ermöglicht, so dass mit diesen Abmessungswerten eine dynamische hochpräzise Bearbeitung eines Werkstückes zu erzielen ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die folgenden Verfahrensschritte gelöst:
  • - Festlegen von jeweils mindestens einem Referenzpunkt auf der Oberfläche der Grundplatte und an einem oder mehreren, vorzugsweise an allen Verstellgliedern,
  • - Bestimmen der tatsächlichen Position des Referenzpunktes der Grundplatte und Messen der tatsächlichen Positionen der Referenzpunkte der Verstellglieder jeweils in Form von räumlichen Koordinaten,
  • - Vergleichen der gemessenen Koordinaten des Referenzpunkte der Grundplatte und der Verstellglieder mit den errechneten zugeordneten theoretischen Koordinaten der Referenzpunkte der Grundplatte und der Verstellglieder,
  • - Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessung der Vorrichtung aus dem Vergleich der gemessenen Koordinaten mit den gerechneten Koordinaten der jeweiligen Referenzpunkte der Grundplatte und der Verstellglieder.
Dadurch, dass zur Ermittlung der geometrischen Abmessungen der Vorrichtung die Ljapunow-Funktion verwendet wird, ist gewährleistet, dass die gemessenen tatsächlichen Koordinaten in mathematischem Vergleich mit den mittels des Steuerprogramms der Vorrichtung errechneten Koordinaten sowohl für die Grundplatte als auch für die Verstellglieder ein Matrix-Gleichungssystem ergeben, das eine zuverlässige exakte Bestimmung der Parameterverhältnisse der zusammengebauten Vorrichtung ermöglicht, so dass diese Abmessungswerte dem weiteren Steuerungsprogramm für die Bearbeitungsschritte der Vorrichtung zugrunde gelegt werden können, denn die Ljapunow-Stabilitätstheorie basiert darauf, dass die Lösung der analytisch an und für sich nicht lösbaren Gleichungssysteme stabil und mit hoher Genauigkeit erfolgt. Somit ist die Fehlerabweichung der Vorrichtung während der dynamischen Arbeitsabfolge minimiert.
Ausgehend von der Annahme, dass bei einer solchen Vorrichtung von dem starren Maschinen-Gestell bis zur Grundplatte 54 Fehlerparameter vorliegen, kann aus einer Vielzahl von unterschiedlichen statischen tatsächlichen Positionen und Orientierungen des Referenzpunktes und/oder der Verstellglieder die tatsächliche exakte geometrische Abmessung der Vorrichtung bestimmt werden, so dass mit 9 unterschiedlichen Messpositionen der Grundplatte - mit jeweils drei räumlichen Koordinaten und drei Orientierungswinkeln des der Grundplatte zugeordneten Referenzpunktes - sowie 54 Positionen der Verstellglieder ein 54-faches Gleichungssystem mit 54 Unbekannten gebildet ist, das mathematisch eindeutig gelöst werden kann.
Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ausgehend von den Tatsachen, dass die festgelegten Referenzpunkte auf der Grundplatte und den Verstellgliedern exakt in ihrer jeweiligen Position erfassbar sind und mittels diesen Messwerten Koordinatenpositionen ein eindeutig lösbares Gleichungssystem ergeben, können die tatsächlichen Abmessungsparameter der Vorrichtung ermittelt werden. Daher ist eine genaue geometrische Aussage in bezug auf die Abmessung der Vorrichtung ermöglicht, die anschließend in das Steuerprogramm der Vorrichtung integrierbar ist, so dass die auf Herstellungs- Ungenauigkeiten basierenden fehlerhaften Annahmen in bezug auf die Abmessung der Vorrichtung korrigiert sind. Dies führt dazu, dass die dynamische Bewegung der Grundplatte in einem wesentlich reduzierteren Toleranzbereich angesiedelt ist, als dies nach dem Stand der Technik bzw. mit herkömmlichen Kalibrierungsverfahren derzeit zu bewerkstelligen ist.
Darüber hinaus gewährleistet die Anwendung der Ljapunow-Funktion, dass beliebig viele unterschiedliche Messpositionen herangezogen werden können, um die Fehlerabweichungen der zusammengebauten Vorrichtung weiter einzuschränken, da die Ljapunow-Funktion mathematisch stabil ist, so dass mit zunehmenden weiteren Gleichungen konkrete Aussagen über die geometrischen Abmessungsverhältnisse der Vorrichtung getroffen werden können.
Des weiteren ist die Transformation des Koordinatensystems, das die Position und Orientierung des Referenzpunktes enthält, derart einfach zu verändern, dass der Ursprung dieses Koordinatensystems in den angenommenen Referenzpunkt fällt. Der Referenzpunkt stellt dabei beispielsweise eine Werkzeugspitze dar, so dass mittels der erfindungsgemäßen Kalibrierungsmethode eine wesentliche Vereinfachung in bezug auf den Bewegungsablauf der Werkzeugspitze einhergeht.
In der Zeichnung ist ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel dargestellt, das nachfolgend näher erläutert ist. Im einzelnen zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Bewegung einer Grundplatte, in perspektivischer Ansicht,
Fig. 2 ein Fluss-Diagramm in bezug auf die dem Verfahren zur Kalibrierung zugrundeliegende Berechnungsmethodik, und
Fig. 3 zwei Schaubilder, aus denen die Fehlerabweichung der einzelnen Vorrichtungs-Parameter in bezug auf die Anzahl der Berechnungsschritte zu entnehmen ist.
In Fig. 1 ist eine Vorrichtung 1 dargestellt, die eine in sechs Freiheitsgraden bewegliche Grundplatte 2 aufweist. Die Grundplatte 2 ist mittels sechs starrer Halteglieder 3 im Raum gehalten. Die der Grundplatte 2 abgewandten Enden der Halteglieder 3 sind jeweils in einer Linearführung 4 beweglich angeordnet. Die Halteglieder 3 sind dabei in jeweils einem Verstellglied 9, das auf der Linearführung 4 beweglich arretiert ist, gelagert. Zwischen den Haltegliedern 3 und den Verstellgliedern 9 ist ein Kardangelenk 6 mit zwei Freiheitsgraden vorgesehen. Zwischen dem jeweiligen Halteglied 3 und der Grundplatte 2 ist jeweils ein Kardangelenk 5 mit drei Freiheitsgraden angebracht, so dass bei der Verschiebung der in den Linearführungen 4 angeordneten Enden der Halteglieder 3 eine in sechs Freiheitsgraden bewegliche dynamische Ausrichtung der Grundplatte 2 gegeben ist.
Das nachfolgend näher erläuterte Kalibrierungsverfahren kann auch eingesetzt werden für Vorrichtungen, deren Halteglieder längenveränderlich ausgebildet und deren der Grundplatte 2 abgewandten Enden gelenkig gelagert sind, ohne dass diese linear bewegt werden. Des weiteren ist dieses Kalibrierungsverfahren auch bei anderen bekannten Vorrichtungen einsetzbar, deren Grundplatte 2 im Raum in sechs Freiheitsgraden beweglich ist.
Von der Grundplatte 2 ist ein Messinstrument 7 beabstandet, das beispielsweise als Laser-Tracker ausgebildet ist. Es wird nunmehr ein XYZ-Koordinatensystem 8 eingeführt, dessen Ursprung im Kopf des Messinstrumentes 7 angeordnet ist.
Auf der Grundplatte 3 werden drei Referenzpunkte 11 angenommen, deren Verbindungslinien ein Dreieck ergeben. Dabei spielt die Geometrie der Grundplatte 2 keine Rolle; auch die Position der Referenzpunkte 11 kann beliebig gewählt werden. Es ist auch denkbar, dass lediglich ein Referenzpunkt 11, nämlich beispielsweise der Unterste, der der Spitze eines Werkzeuges zugeordnet ist, festgelegt wird.
Wird lediglich ein Referenzpunkt 11 bestimmt, so ermittelt das Messinstrument 7 dessen Position und Orientierung im Raum bezogen auf das Koordinatensystem 8. Den Verstellgliedern 9 wird ebenfalls jeweils ein Referenzpunkt 12 zugewiesen. Dieser Referenzpunkt 12 ist möglichst nahe an das Kardangelenk 6 zu legen. Bekanntlich weist ein Kardangelenk, das in zwei oder mehreren Freiheitsgraden beweglich ist, keine Mittelachse auf, so dass eine exakte Bestimmung des Mittelpunktes des Kardangelenkes 5 bzw. 6 nicht möglich ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Kalibrierung der vorgenannten näher erläuterten Vorrichtung 1 dient dazu, dass in einem der Vorrichtung 1 zugeordnetem Steuerprogramm 13 die exakten Abmessungen der zusammengebauten Vorrichtung 1 berücksichtigt und diese Parameter derart in das Steuerprogramm 13 integriert sind, dass die dynamischen Bewegungen der Grundplatte 2, die beispielsweise zur Bearbeitung eines nicht dargestellten Werkstückes bestimmt sind, entsprechend exakt ausgeführt werden.
Zu Anfang des Verfahrens wird die Grundplatte 2 in eine erste Messposition mittels der Verstellung der Verstellglieder 9 verfahren. Anschließend bestimmt das Messinstrument 7 die tatsächliche Position und Orientierung des einen Referenzpunktes 11 der Grundplatte 2. Darüber hinaus wird auch die jeweilige Position der Verstellglieder 9 in Form von räumlichen Koordinaten ermittelt. Mittels der derart gewonnenen Koordinaten können diese mit den errechneten zugeordneten theoretischen Koordinaten des Referenzpunktes 11 der Grundplatte 2 und der Referenzpunkte 12 der Verstellglieder 9 mathematisch verglichen werden, wie dies insbesondere aus der Fig. 2 zu entnehmen ist.
Die errechneten Koordinaten, die dem Steuerprogramm 13 zunächst zugrunde gelegt werden, basieren auf der Annahme, dass sämtliche Abmessungen der einzelnen Bauteile der Vorrichtung 1 sowie deren Anlenkung exakt den technischen Vorgaben entspricht.
Die Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessungen der Vorrichtung 1 erfolgt aus dem Vergleich der gemessenen Koordinaten mit den gerechneten Koordinaten der Grundplatte 2 und der Verstellglieder 9, und zwar nach der Formel:
Dabei bedeutet X die Vektormatrix, die gebildet wird aus den gerechneten Antriebskoordinaten der Verstellglieder 9 und der gemessenen Antriebskoordinaten der Verstellglieder 9 und U ist als Variable für die gerechneten Raumkoordinaten des einen Referenzpunktes 11 im Vergleich mit den gemessenen Raumkoordinaten des Referenzpunktes 11 vorgesehen. Die Parameter G beziehen sich auf die unbekannten Geometriegrößen der Vorrichtung 1, die es mit Hilfe dieser Ljapunow- Funktion zu ermitteln gilt. Die Grundplatte 2 ist anschließend in eine andere Position zu bewegen und diese Messschritte sind für sämtliche der nachfolgend näher erläuterten Geometrieparameter zu wiederholen.
Hierbei sind folgende Geometrieparameter der Vorrichtung 1 zu berücksichtigen, die aufgrund der Montage sowie der Fertigung gegenüber den angenommenen Parametern abweichen. Es wird nunmehr die Anzahl der vorhandenen zu ermittelnden Parameter angegeben, in bezug auf die Bauteile bzw. deren Befestigungen und Anlenkungen:
Geometrieparameter
Anzahl der Abweichungen
Stablängenparameter 6
Plattform-Gelenkparameter 6
Achs-Offsetparameter 6
Koordinaten-Verschiebungsparameter 3
Gestell-Geometrieparameter 9
Plattform-Geometrieparameter 12
Säulenneigungs-Parameter 12
Dies ergibt demnach insgesamt 54 zu bestimmende geometrische Parameter, so dass die Anzahl der vorzunehmenden Messpositionen mindestens dem Wert 9 zu entsprechen hat, um ein aussagefähiges Gleichungssystem zu erhalten, das diesen 54 Unbekannten einen bestimmten mathematischen Wert gemäß der Ljapunow- Funktion zuweist.
Die Plattform-Gelenkparameter und die Achs-Offsetparameter beziehen sich darauf, dass bei der Anlenkung der Halteglieder 3 an den Verstellgliedern 9 sowie der Halteglieder 3 an der Grundplatte 2 ein Höhen-Versatz anzunehmen ist, da die sechs vorhandenen jeweiligen Anlenkpunkte nicht exakt zueinander in einer Ebene liegen. Die Koordinaten-Verschiebungsparameter ergeben sich daraus, dass bei der Synchronisation von zwei ortsfesten Koordinatensystemen sowohl beim Messinstrument 7 als auch bei der Ermittlung der Steuerkoordinaten der Maschine in den drei Achsrichtungen Fehler auftreten können. Die Gestell-Geometrieparameter beziehen sich auf die Linearführung 4, die vorzugsweise als Spindelantrieb ausgebildet ist. Beispielsweise ist die Anordnung und Befestigung der der Spindeln an dem Maschinengehäuse nicht exakt mit dem angenommenen und notwendigen Wert, so dass hierfür ein Fehlerparameter einzuführen ist.
Die Säulenneigungsparameter beziehen sich ebenfalls auf die Ausrichtung der Linearführung 4, die in zwei Winkeln im Raum gegenüber dem angenommenen Wert variieren können. Diese Geometrieparameter der Vorrichtung 1 unterliegen der Annahme, dass sowohl bei der Herstellung der einzelnen die Vorrichtung 1 bildenden Bauteile als auch bei deren Zusammenbau geometrische Fehler entstehen, die mittels herkömmlicher Messverfahren nicht zu ermitteln sind, da beispielsweise der Gelenkmittelpunkt eines Kardangelenkes 5 bzw. 6 sowie die exakte Anlenkung eines solchen Kardangelenkes 5 bzw. 6 an die Grundplatte 2 bzw. an die Verstellglieder 9 nicht gewährleistet ist.
Aus der Fig. 3 ist zu entnehmen, welche Auswirkung die Vielzahl von Verfahrensschritten auf die einzelnen vorgenannten Geometrieparameter der Vorrichtung 1 hat. So ist beispielsweise der entscheidende Plattformgelenkparameterwert nach ca. 125 Verfahrensschritten, dies bedeutet 125 unterschiedliche Messpositionen, stabil bei 16 µm Abweichung.
Falls auf der Grundplatte 2 drei Referenzpunkte 11 angenommen werden, sind diese dreieckförmig voneinander beabstandet. Nachdem mittels des Messinstrumentes 7 die räumlichen Koordinaten der Referenzpunkte 11 gemessen wurden, kann daraus die Position der Grundplatte 2 berechnet werden. Die derart ermittelten Koordinaten der Grundplatte 2 werden anschließend wiederum mit den gerechneten Koordinaten des Steuerprogramms 13 für die Grundplatte 2 verglichen; gleiches erfolgt mit den gerechneten Koordinaten der Verstellglieder 9 mit den gemessenen Koordinaten der Verstellglieder 9, so dass durch Anwendung der Ljapunow-Funktion ein Gleichungssystem aufgestellt werden kann, das einer stabilen und exakten Lösung zuzuführen ist.

Claims (11)

1. Verfahren zur Kalibrierung einer eine in sechs Freiheitsgraden beweglichen Grundplatte (2) tragenden Vorrichtung (1), insbesondere eines Hexapodes, mit mehreren die Grundplatte (2) abstützenden Haltegliedern (3) und mit den Haltegliedern (3) gelenkig verbundenen Verstellgliedern (9), gekennzeichnet durch die nachfolgenden Verfahrensschritte:
  • - Festlegen von jeweils mindestens einem Referenzpunkt (11 bzw. 12) auf der Oberfläche der Grundplatte (2) und an einem oder mehreren, vorzugsweise an allen Verstellgliedern (9),
  • - Bestimmen der tatsächlichen Position und Orientierung des Referenzpunktes (11) der Grundplatte (2) und Messen der tatsächlichen Positionen der Referenzpunkte (12) der Verstellglieder (9) jeweils in Form von räumlichen Koordinaten,
  • - Vergleichen der gemessenen Koordinaten des Referenzpunkte (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und der Verstellglieder (9) mit den errechneten zugeordneten theoretischen Koordinaten der Referenzpunkte (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und der Verstellglieder (9),
  • - Ermittlung der tatsächlichen geometrischen Abmessung der Vorrichtung (1) aus dem Vergleich der gemessenen Koordinaten mit den gerechneten Koordinaten der jeweiligen Referenzpunkte (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und der Verstellglieder (9).
2. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der geometrischen Abmessung der Vorrichtung (1) die Ljapunow-Funktion verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass aus einer Vielzahl von unterschiedlichen statischen tatsächlichen Positionen und Orientierungen des Referenzpunkte (11 bzw. 12) der Grundplatte (2) und/oder der Verstellglieder (9) die tatsächliche exakte geometrische Abmessung der Vorrichtung (1) bestimmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Bestimmung der tatsächlichen geometrischen Abmessung der Vorrichtung (1) das Steuerprogramm (13) der Vorrichtung (1) korrigiert wird.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass einer der Referenzpunkte (11) der Grundplatte (2) einem auf der Grundplatte (2) angebrachten Werkzeug, vorzugsweise der Werkzeugspitze zugeordnet wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Grundplatte (2) drei Referenzpunkte (11) festgelegt und dass deren Positionen in räumlichen Koordinaten gemessen werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Position der Grundplatte (2) aus den Messwerten der drei Referenzpunkte (11) errechnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die drei Referenzpunkte (11) der Grundplatte (2) in Form eines Dreieckes angeordnet sind.
9. Verfahren nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzpunkte (12) der Verstellglieder (9) im Bereich von diesen angeordneten Gelenken (6) vorgesehen sind.
10. Verfahren nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung der Position der Referenzpunkte (11) der Grundplatte (2) mittels eines Messinstrumentes (7), vorzugsweise eines Laser-Trackers erfolgt.
11. Verfahren zur Anwendung der Verfahrensschritte nach einem der Ansprüche 1 bis 10 an einem Hexapod, dessen Grundplatte (2) mittels sechs starrer als Halteglieder (3) ausgebildeter Stäben abgestützt ist, die jeweils in einer Linearführung (4) axial verstellbar gehalten sind.
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