DE20023019U1 - Vorrichtung zur Mikroskopie - Google Patents

Vorrichtung zur Mikroskopie

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Claims (14)

1. Optisches Abbildungssystem (100), das mindestens eine Lichtquelle (110, 160, 170), eine Detektoreinrichtung (150) und einen Beleuchtungsmodulator (120) mit einer Vielzahl von einzeln ansteuerbaren Modulatorelementen (121) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß ein Beleuchtungseinkoppler zur gleichmäßigen Beleuchtung der gesamten Probe (140) in einem ersten Abbildungsmodus vorgesehen ist, wobei die Detektor­ einrichtung (150) im ersten Abbildungsmodus zur Aufnahme eines konventionellen Teilbildes der Probe (140) eingerich­ tet ist, und die Modulatorelemente (121) mindestens zwei Gruppen von Mo­ dulatorelementen aufweisen, von denen in einem zweiten Ab­ bildungsmodus eine erste Gruppe von Modulatorelementen (Be­ leuchtungs-Elemente) Licht von einer Lichtquelle (160, 170) in die Probe (140) lenken und eine zweite Gruppe von Modu­ latorelementen (Detektions-Elemente) Licht aus jeweils nicht beleuchteten Bereichen der Fokalebene der Probe (140) zur Detektoreinrichtung (150) lenken.
2. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1, bei dem der Beleuch­ tungsmodulator durch einen DMD-Reflektor (120) mit einer Vielzahl von matrixartig angeordneten, verschwenkbaren Spiegeln (121) gebildet wird.
3. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1, bei dem die Beleuch­ tungseinrichtung so aufgebaut ist, daß die Probe (140) von der Lichtquelle (170) entweder gleichmäßig über Beleuch­ tungseinkoppler (172) oder über den Umlenkspiegel (173) und den Beleuchtungsmodulator in der Fokalebene strukturiert beleuchtet wird.
4. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1, bei dem zwei Licht­ quellen (110, 160) vorgesehen sind und die Beleuchtungsein­ richtung so aufgebaut ist, daß die Probe (140) entweder von der ersten Lichtquelle (110) über den Beleuchtungseinkopp­ ler (113) gleichmäßig beleuchtet wird, oder daß die Probe (140) über die zweite Lichtquelle (160) und den Beleuch­ tungsmodulator (120) in der Fokalebene strukturiert be­ leuchtet wird.
5. Abbildungssystem gemäß Anspruch 3 oder 4, bei dem die Beleuchtungseinrichtung Shutter (112, 174) aufweist, die zur Abschirmung von Beleuchtungsstrahlengängen vorgesehen sind.
6. Optisches Abbildungssystem (200), das mindestens eine Lichtquelle (210), eine Maske (220) mit verschiedenen Sek­ toren und eine Detektoreinrichtung (250) umfasst, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sektor (a) der Maske (220) für eine gleichmäßige Beleuchtung der Probe (240) in einem ersten Abbildungsmodus vorgesehen ist, wobei im ersten Abbildungs­ modus die Detektoreinrichtung (250) zur Aufnahme eines kon­ ventionellen Teilbildes der Probe (240) eingerichtet ist, und ein Sektor (b) der Maske (220) verschiedene Zonen auf­ weist, wobei in einem zweiten Abbildungsmodus eine erste Gruppe der Zonen Licht von der Lichtquelle (210) zur struk­ turierten Beleuchtung der Fokalebene in die Probe (240) lenkt und eine zweite Gruppe von Zonen Licht von den je­ weils nicht beleuchteten Bereichen der Fokalebene der Probe (240) zur Detektoreinrichtung (250) lenkt.
7. Abbildungssystem gemäß Anspruch 6, bei dem die Maske (220) aus mindestens einem teilverspiegelten Sektor (a) und mindestens einem Sektor (b) besteht, in dem die erste Gruppe Von Zonen verspiegelt und die zweite Gruppe von Zonen transparent ist.
8. Abbildungssystem gemäß Anspruch 6, bei dem die Maske (220) als eine rotierende Scheibe ausgeführt ist.
9. Optisches Abbildungssystem (300), das mindestens eine Lichtquelle (310), einen Beleuchtungs- und einen Detek­ tionsmodulator (320, 350) mit jeweils einer Vielzahl von einzeln ansteuerbaren Modulatorelementen und eine Detektor­ einrichtung (360) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß eine gleichmäßige Beleuchtung einer Probe (340) in einem ersten Abbildungsmodus vorgesehen ist, wobei im ersten Ab­ bildungsmodus die Detektoreinrichtung (360) zur Aufnahme eines konventionellen Teilbildes der Probe (340) eingerich­ tet ist und die einzelnen Modulatorelemente des Detektions- und des Beleuchtungsmodulators (320, 350) in einem zweiten Abbildungsmodus so gesteuert werden, daß eine Gruppe von Modulatorelementen des Beleuchtungsmodulators Licht von der Lichtquelle (310) in die Probe (340) lenken und eine Gruppe von Modulatorelementen des Detektionsmodulators (350) Licht aus jeweils nicht beleuchteten Bereichen der Fokalebene der Probe (340) zur Detektoreinrichtung (360) lenken.
10. Abbildungssystem gemäß Anspruch 9, bei dem der Beleuch­ tungsmodulator (320) und/oder der Detektionsmodulator (350) durch einen DMD-Reflektor gebildet wird.
11. Abbildungssystem gemäß Anspruch 9, bei dem der Beleuch­ tungsmodulator (320) und/oder der Detektionsmodulator (350) durch einen LCD gebildet wird.
12. Abbildungssystem gemäß Anspruch 9, bei dem der Beleuch­ tungsmodulator (320) und/oder der Detektionsmodulator (350) durch eine Maske gebildet wird.
13. Abbildungssystem gemäß den Ansprüchen 2 oder 10, bei dem die Optik (161, 151, 311, 330, 331, 361) zur Beleuch­ tung oder Abbildung des DMDs (120, 320 oder 350) ein Offner-Triplett ist oder ein Offner-Triplett verwendet wird.
14. Abbildungssystem gemäß dem Anspruch 6, bei dem die Optik (211, 251) zur Beleuchtung oder Abbildung der Maske (220) ein Offner-Triplett ist oder ein Offner-Triplett ver­ wendet wird.
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