DE20020606U1 - Fluidbauelement und Analysevorrichtung - Google Patents

Fluidbauelement und Analysevorrichtung

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Claims (6)

1. Fluidbauelement mit folgenden Merkmalen:
einer Strukturschicht (14) mit einer Fluidstruktur (16), wobei die Fluidstruktur eine aktive Höhe (d) auf­ weist, die gleich der Dicke der Strukturschicht (14) ist;
einer ersten transparenten Scheibe (20) auf einer er­ sten Oberfläche (18a) der Strukturschicht (14); und
einer zweiten transparenten Scheibe (22) auf einer zweiten Oberfläche (18b) der Strukturschicht (14).
2. Fluidbauelement nach Anspruch 1, bei dem die Halblei­ terschicht (14) aus Silizium ist.
3. Fluidbauelement nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die erste und die zweite transparente Scheibe (20, 22) aus Glas sind und durch eine anodische Bondverbindung mit der Strukturschicht (14) verbunden sind.
4. Fluidbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Fluidstruktur (16) durch eine Oxidschicht (22) passiviert ist.
5. Fluidbauelement mit folgenden Merkmalen:
einer Strukturschicht (14) mit einer Fluidstruktur (16), wobei die Fluidstruktur eine aktive Höhe (d) auf­ weist, die gleich der Dicke der Strukturschicht (14) ist;
einer ersten transparenten Scheibe (20) auf einer er­ sten Oberfläche (18a) der Strukturschicht (14);
einer transparenten Zwischenschicht (12) auf der ande­ ren Oberfläche der Strukturschicht; und
einer zweiten transparenten Scheibe (22) auf der trans­ parenten Zwischenschicht (12).
6. Analysevorrichtung mit folgenden Merkmalen:
einem Fluidbauelement mit folgenden Merkmalen:
einer Strukturschicht (14) mit einer Fluidstruktur (16), wobei die Fluidstruktur eine aktive Höhe (d) aufweist, die gleich der Dicke der Strukturschicht (14);
einer ersten transparenten Scheibe (20) auf einer ersten Oberfläche (18a) der Strukturschicht (14); und
einer zweiten transparenten Scheibe (22) auf einer zweiten Oberfläche (18b) der Strukturschicht (14) oder alternativ auf einer transparenten Zwischen­ schicht (12), die zwischen der zweiten Scheibe und der zweiten Oberfläche der Strukturschicht ange­ ordnet ist;
wobei in dem Fluidbauelement ein Probefluid angeordnet ist;
einer Lichtquelle zum Einstrahlen von Licht auf die er­ ste transparente Scheibe (20) des Fluidbauelements;
einem Lichtempfänger zum Empfangen von Licht, das aus der zweiten transparenten Scheibe (22) des Fluidbauele­ ments austritt; und
einem Probenfluidanalysator zum Bestimmen einer Eigen­ schaft des Probenfluids unter Verwendung des von der Lichtquelle abgegebenen und von dem Lichtempfänger emp­ fangenen Lichts.
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