DE19964249C2 - Schalteinrichtung - Google Patents

Abstract

Schalteinrichtung, umfassend in einem Vakuumbehälter: DOLLAR A einen Stromversorgungsleiter; DOLLAR A einen leitenden Stab (26), um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt von diesem zu kommen; DOLLAR A einen Lastleiter (33), einen flexiblen Leiter (40), der leitende Metallfolienfilme umfaßt, die aufeinander angeordnet sind, und mit dem Lastleiter (33) und dem leitenden Stab (26) verbunden ist; und DOLLAR A ein Abdeckelement (51) mit einer Flexibilität zum Abdecken des flexiblen Leiters (40), wobei das Abdeckelement (51) an dem leitenden Stab (26) und dem Lastleiter (33) in einem hermetischen Zustand befestigt ist; wobei DOLLAR A der Innenraum des Abdeckelements (51) mit einem Gas gefüllt ist, welches Sauerstoff oder Stickstoff enthält.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Gebiet der Erfindung

Diese Erfindung betrifft eine Schalteinrichtung, die einen Hauptschaltungs- Schaltabschnitt umfaßt, um einen Erzeugungsleitungs-Leiter, der mit einer Stromversorgung (Stromversorgungsleiter) verbunden ist, und einen Lastleiter in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander zu bringen, wie in ERK, A., SCHMELZE M., Grundlagen der Schaltgerätetechnik. Berlin [v. a.]: Sprüge, 1974, S. 331-335. ISBN 3-540-06075-8 ausgeführt.

2. Beschreibung des verwandten Sachstandes

Eine Schalteinrichtung (eine eingeschlossene Schalttafel), die zum Verteilen von elektrischer Energie, die von einer Erzeugungsleitung empfangen wird, an verschiedene Lastmaschinen oder einen anderen Elektrizitätsraum verwendet wird, umfaßt Verbindungsleiter wie beispielsweise einen Erzeugungsleitungs-Leiter zur Verbindung mit einer Erzeugungsleitung und einen Lastleiter zur Verbindung mit einem Energieübertragungskabel zu der Last wie in der EP 0 897 183 A2 gezeigt, und interne Komponenten wie beispielsweise einen Hauptschaltungsschalter, um den Erzeugungsleitungs-Leiter und den Lastleiter in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander zu bringen, einen Masseschalter zur Verbindung des Lastleiters mit Masse, und einen Steuereinrichtung, die zum Überwachen und Steuern der internen Komponenten, die in geeigneter Weise in einem aus einem Massemetall gebildeten äußeren Gehäuse angeordnet sind, benötigt wird.

Als ein Typ einer Schalteinrichtung ist eine Schalteinrichtung verfügbar, die einen Hauptschaltungsschalter umfaßt, der in einem Vakuumbehälter untergebracht ist, der unter einem hohen Vakuum von ungefähr 10^-7 Torr zum stabilen Ein- und Ausschalten eines großen elektrischen Stroms durch Verwendung einer großen dielektrischen Festigkeit und eines guten Auslöschungsvorgangs eines Bogens in einem hohen Vakuum gehalten wird.

Die Fig. 21 und 22 sind Querschnittsansichten, um die Konfiguration des Hauptteils einer Schalteinrichtung zu zeigen, die in der JP-A-56-7317 offenbart ist. Die Schalteinrichtung umfaßt einen Vakuumbehälter 3, der in einem äußeren Gehäuse 2 eines Isolators gehalten wird.

In dem Vakuumbehälter 3 ist eine feste Elektrode 5, die fest auf einer Seite des Vakuumbehälters 3 gehalten wird, und eine sich bewegende Elektrode 6, die auf einer gegenüberliegenden Seite in einer axialen Längenrichtung über einen Faltenbalg 8 gehalten wird, so angeordnet, daß die Spitzenkontakte der festen Elektrode 5 und der sich bewegenden Elektrode 6 aufeinander zugerichtet sind. Ein Erzeugungsleitungs-Leiter 9, der fest auf dem äußeren Gehäuse 2 mit einem Verlängerungsende der festen Elektrode 5 zu der Außenseite des Vakuumbehälters 3 gehalten wird, und ein Verlängerungsteil der sich bewegenden Elektrode 6 zu der Außenseite des Vakuumbehälters 3 ist mit einem Lastleiter 11 verbunden, der fest auf dem äußeren Gehäuse 2 durch einen flexiblen Leiter 10 gehalten wird, der an einem Ende an einem mittleren Punkt der Verlängerung verbunden ist, und ist mit einem Schaltbetriebsmechanismus über einen Betriebsstab (nicht gezeigt) gekoppelt.

In der beschriebenen Schalteinrichtung wird der Betrieb des Schaltbetriebsmechanismus an die sich bewegende Elektrode 6 über den Betriebsstab übertragen, um die sich bewegende Elektrode 6 in einen Kontakt mit der festen Elektrode 5 und aus einem Kontakt damit heraus zu bewegen, wodurch ein Hauptschaltungsstrom zwischen dem Erzeugungsleitungs-Leiter 9, der mit der festen Elektrode 5 verbunden ist, und dem Lastleiter 11, der mit der sich bewegenden Elektrode 6 verbunden ist, ein- und ausgeschaltet wird. Fig. 21 zeigt einen eingestellten Zustand, bei dem die feste Elektrode 5 und die sich bewegende Elektrode 6 in Kontakt miteinander sind und Fig. 22 zeigt einen unterbrochenen Zustand, bei dem die sich bewegende Elektrode 6 aus einem Kontakt mit der festen Elektrode 5 heraus ist. Der flexible Leiter 10 zum Verbinden der sich bewegenden Elektrode 6 und des Lastleiters 11 wird deformiert, um so eine Verschiebung der sich bewegenden Elektrode 6, die relativ zu dem auf dem äußeren Gehäuse 2 festgehaltenen Lastleiter 11 auftritt, im Ansprechen auf den Schaltbetrieb zu ermöglichen, um den elektrischen Leitungszustand zwischen der sich bewegenden Elektrode 6 und dem Lastleiter 11 aufrecht zu erhalten.

Fig. 23 ist eine Querschnittsansicht, um die Konfiguration eines flexiblen Leiters 10 in dem verwandten Sachstand zu zeigen. Wie hier gezeigt, weist der flexible Leiter 10 eine Dicke von ungefähr 100 µm auf und umfaßt eine Vielzahl von elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . ., die jeweils aus einem Material gebildet sind, welches eine gute elektrische Leitfähigkeit aufweist (allgemein wird eine Kupferfolie verwendet), wobei die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . in der Dickenrichtung angeordnet sind und beide Endteile der elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . durch Befestigungsbügel 21 und 21, die aus einem elektrisch leitenden Metall gebildet sind, zusammengebündelt sind. Der flexible Leiter 10 ist an den entsprechenden Positionen der sich bewegenden Elektrode 6 und des Lastleiters 11 durch Befestigungsschrauben bzw. -bolzen (nicht gezeigt) befestigt, die durch Bolzenlöcher 22 und 22 eingefügt sind, die in den Befestigungsbügeln 21 gebildet sind.

In dem beschriebenen flexiblen Leiter 10 wird jede der elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . nur an beiden Endteilen durch die Befestigungsbügel 21 und 21 zurückgehalten und die voranstehend beschriebene Verschiebung der sich bewegenden Elektrode 6 wird ermöglicht, weil die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . in der Dickenrichtung deformiert werden.

Fig. 30 ist eine schematische Querschnittsansicht, um die Konfiguration des Hauptteils einer Schalteinrichtung in einem verwandten Sachstand zu zeigen. In der Figur bezeichnet ein Bezugszeichen 20 einen Vakuumbehälter, der in einem Hochvakuum gehalten wird. Ein Endteil eines Stromversorgungs- (Erzeugungsleitungs)-Leiters 21 ist durch eine Erzeugungsleitungs-Reduzierhülse 22 in den Vakuumbehälter 20 von oben eingeführt und ein Endteil eines Lastleiters 33 ist durch ein Kabel-Reduzierstück 34 in den Vakuumbehälter 20 von dessen anderer Seite eingeführt. Der Stromversorgungsleiter 21 ist an dem unteren Endteil mit einer ersten festen Elektrode 23 ausgebildet, die der ersten sich bewegenden Elektrode 24 gegenüberliegt, die auf dem unteren Endteil eines leitenden Stabs 26 mit einem geeigneten Abstand unter der ersten festen Elektrode 23 angeordnet ist. Die erste feste Elektrode 23 und die erste sich bewegende Elektrode 24 bilden einen Hauptschaltungs-Schaltabschnitt 25.

Der leitende Stab 26 ist auf der gleichen Linie wie der Stromversorgungsleiter 21 installiert und ist an dem unteren Endteil mit einem Isolationsstab 29 verbunden, der wiederum über einen Betriebsstab 28 mit einer Betätigungseinheit (nicht gezeigt) gekoppelt ist, die außerhalb des Vakuumbehälters 20 vorgesehen ist, um die erste feste Elektrode 23 des Stromversorgungsleiters 21 und die erste sich bewegende Elektrode 24 des leitenden Stabs 26 durch die Betätigungseinheit in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander zu bringen. Ein erster Faltenbalg 31 ist zwischen den Betriebsstab 28 und dem Rand eines Lochs, das in dem Vakuumbehälter 20 gebildet ist, um einen Durchgang des Betriebsstabs 28 dadurch zu ermöglichen, angeordnet, wodurch der Vakuumbehälter 20 hermetisch abgeschlossen gehalten wird.

Andererseits ist ein Metallring 27 fest auf einen Zwischenteil des leitenden Stabs 26 gelegt, so daß die Umfangsoberfläche des Metallrings 27 dem Lastleiter 33 gegenüberliegt. Die Umfangsoberfläche des Metallrings 27 und ein Endteil des Lastleiters 33 sind über einen flexiblen Leiter 40 verbunden, der aufeinander aufgebrachte Metallfolienfilme umfaßt, indem in einer spezifischen Weise die Endteile des flexiblen Leiters 40 verlötet werden. Von dem unteren Teil des Vakuumbehälters 20 steht der obere Endteil eines Masseleiters 36 an eine Position vor, die auf den Lastleiter 33 gerichtet ist, und wird mit dem Lastleiter 33 durch die Betätigungseinheit in einen Kontakt und aus einem Kontakt heraus gebracht.

Eine zweite sich bewegende Elektrode 38 ist an dem oberen Endteil des Masseleiters 36 angebracht und eine zweite feste Elektrode 37 ist an der Umfangsoberfläche des Lastleiters 33 der zweiten sich bewegenden Elektrode 38 gegenüberliegend angebracht. Die zweite sich bewegende Elektrode 38 und die zweite feste Elektrode 37 bilden einen Masseschaltabschnitt 39.

Ein zweiter Faltenbalg 32 ist zwischen den Masseleiter 36 und den Rand eines Lochs, das in dem Vakuumbehälter 20 gebildet ist, um einen Durchgang des Masseleiters 36 dadurch zu ermöglichen, angeordnet, wodurch der Vakuumbehälter 20 hermetisch abgeschlossen gehalten wird.

Fig. 31 ist eine schematische Ansicht, um ebenfalls die Konfiguration des Hauptteils einer Schalteinrichtung in einem verwandten Sachstand zu zeigen. In der Figur ist anstelle des Metallrings 27 ein ringförmiger Schiebekontakt 41 verschiebbar bzw. gleitbar auf einem leitenden Stab 26 angeordnet und ein Lastleiter 33 ist mit der Umfangsoberfläche des Schiebekontakts 41 verbunden.

In der beschriebenen Schalteinrichtung ist die Innenseite des äußeren Gehäuses 2, in dem der flexible Leiter 10 angeordnet ist, mit einem Edelgas wie beispielsweise einem CFC-Gas gefüllt, um einen Isolationseffekt bereitzustellen; jedoch gab es in den vergangenen Jahren in Anbetracht der Auswirkungen auf die Umgebung eine Tendenz, die Verwendung von Edelgasen zu begrenzen. Dann wird die Entwicklung einer Schalteinrichtung angestrebt, bei der die Teile, die eine Isolation benötigen, beispielsweise das Verbindungsteil der sich bewegenden Elektrode 6 und die Lastelektrode 11 durch den flexiblen Leiter 10 und das Kopplungsteil der sich bewegenden Elektrode 6 und der Betriebsstab in dem Vakuumbehälter 3 zusammen mit dem Hauptschaltungsschalter untergebracht sind.

Wenn jedoch der flexible Leiter 10 in dem verwandten Sachstand wie voranstehend beschrieben in dem Vakuumbehälter angeordnet ist, dann ergibt sich folgendes Problem: wenn der flexible Leiter 10 in dem verwandten Sachstand deformiert wird, um so eine Verschiebung der sich bewegenden Elektrode 6 wie voranstehend beschrieben zu ermöglichen, kommen die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . ., die in der Dickenrichtung angeordnet sind, in einen Gleitkontakt miteinander auf den Schnittflächen und auf den Schnittflächen gebildete Oxidfilme werden entfernt.

Wenn die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . in einen Glelitkontakt miteinander in einem Edelgas oder in der Atmopshäre kommen, werden die entfernten Oxidfilme durch eine Oxidation wiederhergestellt; wenn die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt miteinander in einem Vakuum kommen, tritt demgegenüber eine Oxidation nicht auf, so daß die Kupferfolienfilme, die die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . bilden, nicht über die Oxidfilme in einen direkten Gleitkontakt miteinander geraten, wenn der flexible Leiter 19 wiederholt deformiert wird, und wenn die Kupferfolienfilme in einen direkten Gleitkontakt miteinander kommen, werden die elektrischen Leiterschichten 10a, 10a . . . zusammengeklebt, um ein Stück zu bilden; eine wesentliche Flexibilität geht allmählich verloren. Somit wird es für den flexiblen Leiter 10 unmöglich gemacht, eine Verschiebung der sich bewegenden Elektrode 6 gut zu ermöglichen und der Schaltbetrieb wird behindert.

In der Schalteinrichtung wie voranstehend beschrieben wird, nachdem eine Vorbehandlung eines Backvorgangs zum Entfernen von Gasen angewendet ist, der flexible Leiter 40 auf dem Metallring 27 angebracht und ein Ende des Lastleiters 33 und die Endteile des flexiblen Leiters 40 werden verlötet, um den flexiblen Leiter 40 zu befestigen. Zu dieser Zeit durchläuft der flexible Leiter 40 den Reinigungsvorgang, bei dem aufgrund der Temperungswirkung einer Erwärmung und einer Wärmefreigabe die Verunreinigungen des flexiblen Leiters 40 gestreut und die Metallkomponenten homohen gemacht werden. Jedoch geht bei dem Reinigungsprozeß und bei dem Prozeß zum Reiben der Metallfolienfilme aneinander der Oxidfilm verloren, und wenn ein elektrischer Strom in dem flexiblen Leiter 40 fließt und der flexible Leiter 40 erwärmt wird, verkleben die Oberflächen der Metallfolienfilme, die den flexiblen Leiter 40 bilden, miteinander.

Wenn eine Verklebung in den Metallfolienfilmen des flexiblen Leiters 40 auftritt, geht die wesentliche Flexibilität verloren und zusätzlich wird jedesmal dann, wenn sich der flexible Leiter 40 biegt, wenn der leitende Stab 26 vor oder zurückbewegt wird, eine Kraft an den Abschnitt, an dem die Verklebung auftritt, von mehreren Richtungen angelegt, wodurch das Auftreten einer Scherungsdeformation in Metallfolienfilmen verursacht wird. Wenn der Abschnitt, in dem die Scherungsdeformation auftritt, bricht, wird ein leitendes Verklebungsabfallpulver in die Umgebung gestreut, wodurch der Innenraum des Vakuumbehälters 20, der Isolationscharakteristiken hält, verunreinigt wird, wodurch die dielektrische Festigkeit herabgesetzt wird.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung wurde zum Lösen des obigen Problems durchgeführt und eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen flexiblen Leiter bereitzustellen, dessen Flexibilität nicht verloren geht, wenn er in einem Vakuum verwendet wird, und der stabil eine Verschiebung eines sich bewegenden Leiters relativ zu einem festen Leiter über eine lange Zeit ermöglichen kann.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Schalteinrichtung bereitzustellen, bei der die Innenseite eines Abdeckungselements zum Abdecken eines flexiblen Leiters in einen hermetischen Zustand gebracht wird und mit einer Atmosphäre oder Stickstoffgas gefüllt ist, wodurch verhindert wird, daß der flexible Leiter verklebt, und wodurch verhindert wird, daß der Innenraum eines Vakuumbehälters mit einem Verklebungsabfallpulver zur Zeit einer Unterbrechung verunreinigt wird, um die dielektrische Festigkeit zu stabilisieren.

Ferner ist es eine andere Aufgabe der Erfindung, eine Schalteinrichtung bereitzustellen, bei der ein flexibler Leiter außerhalb eines Vakuumbehälters angeordnet ist, um das Auftreten seiner Verklebung zu verhindern, und um zu verhindern, daß der Innenraum des Vakuumbehälters mit leitendem Verklebungsabfallpulver verunreinigt wird, um eine dielektrische Festigkeit zu stabilisieren.

Ferner ist es noch eine andere Aufgabe der Erfindung, eine Schalteinrichtung bereitzustellen, bei der ein leitendes Element, das wie eine Pfeife bzw. ein Rohr ausgeformt ist, auf einem leitenden Stab und einem Lastleiter angeordnet ist, wodurch das Auftreten einer Verklebung verhindert wird und verhindert wird, daß der Innenraum des Vakuumbehälters mit einem leitenden Verklebungsabfallpulver verunreinigt wird, um eine dielektrische Festigkeit zu stabilisieren.

Ferner ist es noch eine andere Aufgabe der Erfindung, eine Schalteinrichtung bereitzustellen, bei der ein Abdeckelement aus einem Faltenbalg gebildet ist und ein leitendes Element aus einem leitenden Faltenbalg, der wie eine Pfeife bzw. ein Rohr ausgeformt ist, gebildet ist, wobei dem leitenden Element zum Verbinden eines leitenden Stabs und eines Lastleiters sanft gefolgt werden kann, wenn ein Stromversorgungsleiter und der leitende Stab in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander herauskommen.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein flexibler Leiter vorgesehen, der einen flexiblen Teil umfaßt, der eine Vielzahl von Leitermetallschichten umfaßt, auf die Verklebungsverhinderungsschichten aufgebracht sind, die jeweils zwischen den Leitermetallschichten plaziert sind.

Wenn bei der Erfindung die Leitermetallschichten deformiert werden, kommen sie in einen Gleitkontakt miteinander über die Verklebungsverhinderungsschichten, die jeweils dazwischen angeordnet sind, und sie kommen nicht in einen direkten Kontakt miteinander, so daß ein Verlust einer Flexibilität, die durch deren Verklebung verursacht wird, unterdrückt wird.

Wie voranstehend ausführlich beschrieben, wird in dem flexiblen Leiter gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung der flexible Teil gebildet, indem auf eine Vielzahl von Leitermetallschichten mit Verklebungsverhinderungsschichten aufgebracht werden, die jeweils zwischen den Leitermetallschichten angeordnet sind. Wenn als Folge einer Verschiebung des sich bewegenden Leiters, der mit einer Seite verbunden ist, eine Deformation auftritt, kommen somit die Leitermetallschichten in einen Gleitkontakt, wobei die Verklebungsverhinderungsschichten jeweils dazwischen angeordnet sind, und sie kommen nicht in einen direkten Kontakt miteinander. Um den flexiblen Leiter in einem Vakuum zu verwenden, kann die Verschiebung des sich bewegenden Leiters relativ zu dem festen Leiter stabil über eine lange Zeit ermöglicht werden, ohne die Leitermetallschichten zu verkleben und ohne eine Flexibilität zu verlieren.

Gemäß dem zweiten-vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in dem flexiblen Leiter jede der Verklebungsverhinderungsschichten aus einer Kohlenstoffschicht, einem anorganischen Pulver, oder einer Metallfolie gebildet, die zwischen die Leitermetallschichten gebracht wird.

Bei der Erfindung werden die Verklebungsverhinderungsschichten, die jeweils zwischen die Leitermetallschichten angeordnet werden, die allgemein aus einer Kupferfolie gebildet sind, aus einem Material gebildet, bei dem es schwierig ist, eine Diffusionsreaktion mit Kupfer zu verursachen, beispielsweise aus Kohlenstoffschichten, einem anorganischen Pulver aus Siliziumnitrid, Aluminiumoxid (Aluminium), etc. oder einer rostfreien bzw. fleckenfreien Folie, um eine Verklebung nicht nur der Leitermetallschichten, sondern auch der Leitermetallschichten und der Verklebungsverhinderungsschichten zu verhindern, wodurch ein Verlust der Flexibilität verhindert wird. Um die Verklebungsverhinderungsschichten aus einem anorganischen Pulver zu bilden, wird ein Anwendungsmittel, das durch Mischen des anorganischen Pulvers in einem Lösungsmittel aus Alkohol etc. bereitgestellt wird, auf eine Stirnfläche oder beide Stirnflächen der Kupferfolie, die die Leitermetallschichten bildet, angewendet.

Gemäß dem zweiten-vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in dem flexiblen Leiter jede der Verklebungsverhinderungsschichten aus einer Kohlenstoffschicht, einem anorganischen Pulver, oder einer zwischen die Leitermetallschichten angeordneten Metallfolie gebildet. Somit ist es schwierig, daß eine Verklebung der Leitermetallschichten und der Verklebungsverhinderungsschichten auftritt und ein Verlust der Flexibilität kann wirksamer unterdrückt werden.

Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist jede der Verklebungsverhinderungsschichten aus einem Plattierungsfilm gebildet, der auf einer Stirnfläche oder beiden Stirnflächen jeder Leitermetallschicht gebildet ist.

Bei der Erfindung wird die Leitermetallschicht auf eine Stirnfläche oder beide Stirnflächen mit einem Metall plattiert, das im Vergleich mit dem für das Material der Leitermetallschichten verwendeten Kupfer einen stabileren Oxidfilm erzeugt, beispielsweise Nickel oder Chrom, und die sich ergebenden Plattierungsfilme werden in einen Gleitkontakt miteinander gebracht, um das Auftreten einer Verklebung zu verhindern, wenn die Leitermetallschichten in einen Gleitkonktakt kommen, wodurch ein Verlust einer Flexibilität unterdrückt wird.

Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird jede Verklebungsverhinderungsschicht auf einem Plattierungsfilm gebildet, der auf einer Stirnfläche oder beiden Stirnflächen jeder Leitermetallschicht gebildet wird. Somit wird der Plattierungsfilm aus einem Metall gebildet, das ein stabiles Oxid erzeugt, wodurch das Auftreten einer Verklebung verhindert wird, wenn die Leitermetallschichten in einen Gleitkontakt kommen, und ein Verlust einer Flexibilität unterdrückt wird.

Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angeordnet sind, durch Aufbringen der Leitermetallschichten aufeinander in der Dickenrichtung gebildet.

Bei der Erfindung werden die festen Teile auf beiden Seiten des flexiblen Teils gebildet, indem die Leitermetallschichten miteinander in Kontakt gebracht werden, ohne die Verklebungsverhinderungsschichten jeweils dazwischen anzuordnen, und in dem Verwendungszustand, bei dem die festen Teile an dem festen Leiter oder an dem sich bewegenden Leiter befestigt sind, wird der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters verkleinert und eine gute elektrische Leitfähigkeit wird bereitgestellt.

Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beide Seiten des flexiblen Teils angebracht sind, gebildet, indem die Leitermetallschichten aufeinander in der Dickenrichtung aufgebracht werden. Somit wird ein Kontaktwiderstand in den festen Teilen verkleinert, so daß eine gute elektrische Leitfähigkeit bereitgestellt werden kann.

Gemäß dem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein flexibler Leiter vorgesehen, der ein flexibles Teil umfaßt, das durch Aufbringen einer Vielzahl von Leitermetallschichten gebildet wird, die jeweils mit Vorsprüngen auf einer Stirnfläche oder auf beiden Stirnflächen davon ausgebildet sind.

Bei der Erfindung werden die Leitermetallschichten mit dem Spalt, der äquivalent zu der Höhe jedes Vorsprungs ist, aufgebracht, wodurch der flexible Teil gebildet wird. Wenn der flexible Teil deformiert wird, kommt jede der Leitermetallschichten in einen Gleitkontakt mit den Leitermetallschichten, die auf beiden Seiten der Leitermetallschicht aufgebracht sind, nur an den begrenzten Teilen der Spitzen der Vorsprünge, um einen Verklebung zu minimieren, die den Gleitkontakt begleitet, und einen Verlust einer Flexibilität zu unterdrücken.

Gemäß dem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das flexible Teil durch Aufbringen einer Vielzahl von Leitermetallschichten gebildet, die jeweils mit Vorsprüngen auf einer Stirnfläche oder beiden Stirnflächen davon ausgebildet sind. Somit werden die Leitermetallschichten mit dem Spalt, der äquivalent zu der Höhe jedes Vorsprungs ist, aufgebracht. Wenn der flexiblen Teil deformiert wird, kommen die Leitermetallschichten in einen Gleitkontakt miteinander nur an den begrenzten Teilen der Spitzen der Vorsprünge, um eine Verklebung, die den Gleitkontakt begleitet, zu minimieren und einen Verlust einer Flexibilität zu unterdrücken.

Gemäß dem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angebracht sind, durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten gebildet.

Bei der Erfindung werden die festen Teile auf beiden Seiten des flexiblen Teils gebildet, indem die Leitermetallschichten miteinander in Kontakt gebracht werden, ohne die Verklebungsverhinderungsschicht oder Vorsprünge jeweils dazwischen anzuordnen, und indem sie auf ihren Schnittflächen diffundiert und verbunden werden, und in dem Verwendungszustand, bei dem die festen Teile an dem festen Leiter oder an dem sich bewegenden Leiter befestigt sind, wird der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters verkleinert und eine gute elektrische Leitfähigkeit wird bereitgestellt. Sie werden diffundiert und verbunden, indem Befestigungsbolzen zum Anbringen der festen Teiler befestigt werden und eine Erwärmung in einem gepreßten Zustand ausgeführt wird.

Gemäß dem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angeordnet sind, durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten gebildet. Somit wird der Kontaktwiderstand in den festen Teilern drastisch verkleinert, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters wird verkleinert, und eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden.

Gemäß dem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein flexibler Leiter vorgesehen, der ein flexibles Teil umfaßt, der durch Aufbringen einer Vielzahl von Leitermetallschichten gebildet ist, wobei Abstandsplatten auf beide Seiten davon zum Bereitstellen eines Spalts dazwischen angeordnet sind.

Bei der Erfindung werden die Leitermetallschichten, die den flexiblen Teil bilden, aus einem Kontakt miteinander herausgebracht. Wenn das flexible Teil deformiert wird, kommen die Leitermetallschichten nicht in einen Gleitkontakt miteinander, eine Verklebung kann minimiert werden und ein Verlust einer Flexibilität kann verhindert werden. In dem Verwendungszustand kann der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters verkleinert werden und eine gute elektrische Leitfähigkeit kann durch Verwendung eines Leitermetalls für die Abstandsstücke bereitgestellt werden.

Gemäß dem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird der flexiblen Teil gebildet, indem eine Vielzahl von Leitermetallschichten mit Abstandsplatten aufgebracht werden, die auf beiden Seiten davon angebracht sind, um einen Spalt dazwischen zu bilden. Somit sind die Leitermetallschichten, die den flexiblen Teil bilden, nicht in einem Kontakt miteinander. Wenn einer Verschiebung des sich bewegenden Leiters, der mit einer Seite verbunden ist, folgend eine Deformation auftritt, kommen die Leitermetallschichten nicht in einen Gleitkontakt miteinander. Um den flexiblen Leiter in einem Vakuum zu verwenden, kann eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters relativ zu dem festen Leiter stabil über eine lange Zeit ermöglicht werden, ohne daß die Leitermetallschichten verkleben und ohne daß eine Flexibilität verloren geht.

Gemäß dem zehnen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angeordnet sind, durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten und der Abstandsplatten gebildet.

Bei der Erfindung werden die festen Teile auf beiden Seiten des flexiblen Teils durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten und der Abstandsplatten, die jeweils dazwischen auf ihren Schnittflächen angeordnet sind, gebildet und in dem Verwendungszustand, bei dem die festen Teile mit dem festen Leiter oder dem sich bewegenden Leiter befestigt sind, wird der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters, der die testen Teile enthält, verkleinert und eine gute elektrische Leitfähigkeit wird bereitgestellt. Sie werden diffundiert und verbunden, indem Befestigungsbolzen zum Anbringen der festen Teile angebracht werden und eine Erwärmung in einem Zustand vorgenommen wird, bei dem die Leitermetallschichten und die Abstandsplatten aneinandergepreßt werden.

Gemäß dem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angebracht sind, durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten und der Abstandsplatten, die jeweils dazwischen angeordnet sind, gebildet. Somit wird ein Kontaktwiderstand in den festen Teilen dramatisch verkleinert, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters wird verkleinert, und eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden.

Gemäß dem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein flexibler Leiter vorgesehen, der ein flexibles Teil umfaßt, das durch Bilden von Drahtstäben aus einem Leitermetall wie Gitter und durch Einbetten von beiden Seiten in einer Dickenrichtung zwischen Regulierungsplatten gebildet ist.

Bei der Erfindung sind dünne Drähte, die aus einem Leitermetall gebildet sind, zu Gittern ausgebildet und eine Auflockerung der Gitter wird durch die Regulierungsplatten zum Bilden des flexiblen Teils reguliert. Wenn der flexible Teil deformiert wird, dann kommen die dünnen Drähte in einen Gleitkontakt miteinander, so daß der Verklebungsbereich minimiert wird und ein Verlust der Flexibilität minimiert wird.

Gemäß dem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das flexible Teil durch Bilden von Drahtstäben von leitermetall­ ähnlichen Gittern und durch Einbetten von beiden Seiten in einer Dickenrichtung durch Regulierungsplatten gebildet. Wenn eine Deformation einer Verschiebung des sich bewegenden Leiters, der mit einer Seite verbunden ist, folgend auftritt, tritt somit ein Gleitkontakt in der Leitermetallschicht und eine Verklebung, die durch den Gleitkontakt verursacht wird, nur in den Kontaktteilen der Drahtstäbe auf; der Verlust einer Flexibilität wird effektiv verhindert und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters relativ zu dem festen Leiter kann stabil über eine lange Zeit ermöglicht werden.

Gemäß dem zwölften Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die festen Teile, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils angebracht sind, durch Diffundieren und Verbinden der Drahtstäbe gebildet, die die Gitter in beiden Seitenabschnitten des flexiblen Teils, das von den Regulierungsplatten vorsteht, bilden.

Bei der Erfindung werden die festen Teile auf beiden Seiten des flexiblen Teils gebildet, indem ein Teil des flexiblen Teils auf beiden Seiten der Regulierungsplatten vorgeschoben wird und die Drahtdrähte des Leitermetalls, die die Gitter bilden, die den flexiblen Teil ausbilden, in deren Kontaktteilen diffundiert und verbunden werden, und in dem Verwendungszustand, bei dem die festen Teile an dem festen Leiter oder dem sich bewegenden Leiter fixiert sind, wird der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters, der die festen Teile enthält, verkleinert und eine gute elektrische Leitfähigkeit wird bereitgestellt. Durch Anbringen von Befestigungsbolzen zum Anbringen der festen Teiler und durch Erwärmen in einem Zustand, in dem die Drahtdrähte in einen engen Kontakt miteinander gebracht sind, werden sie diffuniert und verbunden.

Gemäß dem zwölften Aspekt der vorliegenden Erfindung werden in der Konfiguration nach Anspruch 11 die festen Teile gebildet, indem das flexible Teil, das die Drahtdrähte aus dem Leitermetall ausgebildet wie Gitter auf beiden Seiten der Regulierungsplatten umfaßt, vorgeschoben wird und die Drahtstäbe in ihren Kontaktteilen verbunden werden. Somit können die festen Teile mit einem verringerten Kontaktwiderstand leicht gebildet werden, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters wird verkleinert, und eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden.

Gemäß dem dreizehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Schalteinrichtung vorgesehen, die in einem Vakuumbehälter einen Stromversorgungsleiter, einen leitenden Stab, um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt damit herauszukommen, einen Lastleiter, einen flexiblen Leiter, der aufeinander aufgebrachte leitende Metallfolienfilme umfaßt und mit dem Lastleiter und dem leitenden Stab verbunden ist, und ein Abdeckelement mit einer Flexibilität zum Abdecken des flexiblen Leiters, wobei das Abdeckelement an dem leitenden Stab und dem Lastleiter in einem hermetischen Zustand befestigt ist, wobei der Innenraum des Abdeckelements mit einem Gas gefüllt ist, das Sauerstoff oder Stickstoff enthält, umfaßt.

Bei der Erfindung ist das Abdeckelement auf den leitenden Stab angeorndet, um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und dem Lastleiter aus einem Kontakt damit heraus zu kommen, und ist daran in einem hermetischen Zustand befestigt, und der Innenraum des Abdeckelementes ist mit einem Gas gefüllt, das Sauerstoff oder Stickstoff enthält, wodurch ein Oxid- oder Nitridfilm auf der Oberfläche des flexiblen Leiters gebildet wird und eine Verklebung mit dem flexiblen Leiter kann unterdrückt werden. Da die Flexibilität des flexiblen Leiters nicht beeinträchtigt wird, kann ebenfalls einer Bewegung des leitenden Stabs sanft gefolgt werden. Wenn eine Verklebungsabfallpulver auftritt, wird der Innenraum des Vakuumbehälters nicht mit dem Verklebungsabfallpulver verunreinigt, da der flexible Leiter mit dem Abdeckelement abgedeckt ist; eine Zuverlässigkeit der dielektrischen Festigkeit kann verbessert werden.

Gemäß dem dreizehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein flexibler Leiter mit dem Abdeckelement abgedeckt, so daß eine Aufbringung eines Bogenprodukts blockiert wird. Der Innenraum des Abdeckelements ist mit einem Gas gefüllt, das Luft oder Stickstoff enthält, und ein Oxid- oder Nitridfilm kann auf der Oberfläche des flexiblen Leiters gebildet werden, so daß eine Verklebung mit dem flexiblen Leiter verhindert werden kann. Somit wird ermöglicht, eine gute Flexibilität und Elastizität in dem flexiblen Leiter zu halten, es kann verhindert werden, daß ein Verklebungsabnutzungspulver auftritt, der Innenraum des Vakuumbehälters wird nicht mit Verklebungsabfallpulver verunreinigt, und die dielektrische Festigkeit wird stabil aufrecht erhalten.

Gemäß dem vierzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Schalteinrichtung vorgesehen, die in einem Vakuumbehälter, der mit einer Öffnung versehen ist, umfaßt: einen Stromversorgungsleiter, einen leitenden Stab, um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt damit herauszukommen, wobei ein Verbindungsleiter mit dem leitenden Stab verbunden ist, und ein Abdeckelement, das eine Flexibilität aufweist und auf der Öffnung des Vakuumbehälters angeordnet und damit und mit dem Verbindungsleiter fixiert ist, um den Vakuumbehälter in einen hermetischen Zustand zu bringen, wobei der Verbindungsleiter und ein Lastleiter, die außerhalb des Vakuumbehälters angeordnet sind, über einen flexiblen Leiter verbunden sind, der leitende Metallfolienfilme umfaßt, die über das Abdeckelement aufeinander aufgebracht sind.

Um den Vakuumbehälter in einen hermetischen Zustand zu bringen, ist bei der vorliegenden Erfindung das Abdeckelement mit einer Flexibilität an dem Verbindungsleiter, der mit dem Stromversorgungsleiter verbunden ist, und der Öffnung in der Seite des Vakuumbehälters befestigt und der flexible Leiter ist mit dem Lastleiter, der außerhalb des Vakuumbehälters angeordnet ist, über das Abdeckelement verbunden, so daß der flexible Leiter selbst außerhalb des Vakuumbehälters angeordnet werden kann, das Auftreten einer Verklebung auf dem flexiblen Leiter verhindert werden kann, und die dielektrische Festigkeit stabilisiert werden kann.

Gemäß dem vierzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist der flexible Leiter außerhalb des Vakuumbehälters angeordnet, so daß das Auftreten einer Verklebung in dem flexiblen Leiter verhindert wird und der Betrieb stabilisiert werden kann. Da ferner das Auftreten von Verklebungsabfallpulver ebenfalls verhindert werden kann, wird der Innenraum des Vakuumbehälters nicht mit einem Verklebungsabfallpulver verunreinigt und die elektrische Festigkeit kann stabil gemacht werden.

Gemäß dem fünfzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Schalteinrichtung vorgesehen, die in einem Vakuumbehälter umfaßt: einen Stromversorgungsleiter, einen leitenden Stab, um einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt damit herauszukommen, einen Lastleiter und ein leitendes Element, das eine Flexibilität aufweist und wie eine Pfeife bzw. ein Rohr ausgebildet ist und auf dem Lastleiter und auf dem leitenden Stab angebracht und mit diesen verbunden ist.

Bei der vorliegenden Erfindung ist das leitende Element, das eine Flexibilität und eine Elastizität aufweist und wie eine Pfeife bzw. ein Rohr ausgebildet ist, auf dem leitenden Stab und dem Lastleiter angeordnet, wodurch das Auftreten einer Verklebung selbst und das Auftreten von Verklebungsabfallpulver verhindert wird und der Innenraum des Vakuumbehälters wird nicht mit einem Verklebungsabfallpulver verunreinigt; die dielektrische Festigkeit wird stabil.

Gemäß dem fünfzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann unter Verwendung des flexiblen leitenden Elements der Betrieb des leitenden Stabs zum Herstellen und Unterbrechen der Halptschaltung sanft gefolgt werden. Ferner kommen die Elemente nicht in Kontakt miteinander, so daß eine Verklebung nicht auftritt und ferner die Gefahr einer Verunreinigung des Innenraums des Vakuumbehälters mit einem Verklebungsabfallpulver beseitigt wird, wodurch die dielektrische Festigkeit stabil gemacht wird.

Gemäß dem sechzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Abdeckelement ein Faltenbalg.

Gemäß dem siebzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das leitende Element ein Faltenbalg, der aus einem leitenden Material gebildet ist.

Bei der Erfindung kann unter Verwendung der Faltenbalge einer Bewegung der leitenden Stabs, der in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt mit diesem heraus kommt, gleichmäßig gefolgt werden, während eine interen hermetische Abschließung gehalten wird.

Gemäß dem sechzehnten Aspekt und dem siebzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird unter Verwendung der Faltenbalge eine interne hermetische Abschließung aufrecht erhalten und dem Betrieb des leitenden Stabs, der in einen Kontakt mit der Erzeugungsleitung und aus einem Kontakt damit herauskommt, und der Lastelektroden kann ebenfalls gleichmäßig gefolgt werden.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer ersten Ausführungsform;

Fig. 2 eine Ansicht des in Fig. 1 gezeigten flexiblen Leiters von oben;

Fig. 3 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer zweiten Ausführungsform;

Fig. 4 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer dritten Ausführungsform;

Fig. 5 eine Ansicht des in Fig. 4 gezeigten flexiblen Leiters von oben;

Fig. 6 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer vierten Ausführungsform;

Fig. 7 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer fünften Ausführungsform;

Fig. 8 eine Ansicht des in Fig. 7 gezeigten flexiblen Leiters von oben;

Fig. 9 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer sechsten Ausführungsform;

Fig. 10 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer siebten Ausführungsform;

Fig. 11 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer achten Ausführungsform;

Fig. 12 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer neunten Ausführungsform;

Fig. 13 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer zehnten Ausführungsform;

Fig. 14 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer elften Ausführungsform;

Fig. 15 eine Ansicht des in Fig. 14 gezeigten flexiblen Leiters von oben;

Fig. 16 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer zwölften Ausführungsform;

Fig. 17 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer dreizehnten Ausführungsform;

Fig. 18 eine Aufsicht des in Fig. 17 gezeigten flexiblen Leiters;

Fig. 19 eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer vierzehnten Ausführungsform;

Fig. 20 eine Ansicht des in Fig. 19 gezeigten flexiblen Leiters von oben;

Fig. 21 eine Querschnittsansicht zur Darstellung der Konfiguration des Hauptteils einer Schalteinrichtung;

Fig. 22 eine Querschnittsansicht zur Darstellung der Konfiguration des Hauptteils der Schalteinrichtung;

Fig. 23 eine Seitenansicht eines flexiblen Leiters in einem verwandten Stand der Technik;

Fig. 24 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 25 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer sechzehnten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 26 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer siebzehnten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 27 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer achzehnten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 28 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer neunzehnten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 29 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer zwanzigsten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 30 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung in einem anderen verwandten Stand der Technik; und

Fig. 31 eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung in einem anderen Stand der Technik.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Nachstehend wird auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen, in denen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gezeigt sind.

Erste Ausführungsform

Die Fig. 1 und 2 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer ersten Ausführungsform gemäß der Erfindung. In den Figuren umfaßt ein flexibler Leiter 1 ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster einer Vielzahl von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und einer Vielzahl von Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b, die in einer Dickenrichtung aufgebracht sind, und feste Teile 1a und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind, umfaßt. Die festen Teile 1a und 1b sind an einem festen Leiter 24 und an einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils über zwei Befestigungsschrauben 27 und 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Zum Beispiel wird eine Kupferfolie mit einer Dicke von ungefähr 100 µm für die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . verwendet und eine Folie, die aus einem Material gebildet ist, bei dem eine Verklebung im Zusammenhang mit einem Gleitkontakt relativ zu Kupfer eines allgemeinen Materials der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . schwierig zu bewirken ist, beispielsweise Kohlenstoffschichten oder eine rostfreie Folie mit einer Dicke von ungefähr 50-100 µm, wird für die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . verwendet. Das flexible Teil 1a umfaßt eine vorgegebene Anzahl von Kupferfolienfilmen, die in der Dickenrichtung aufgebracht sind, wobei eine Kohlenstoffschicht oder eine rostfreie Folie dazwischen angeordnet ist. Fig. 1 zeigt die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . in solcher Weise, als ob sie so aufgebracht sind, daß ein Spalt zwischen ihnen angeordnet ist; in der Tat sind sie jedoch in einem Zustand aufgebracht, bei dem sie in einen engen Kontakt miteinander gebracht sind.

Der Anbringungsbereich der Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . deckt grob die gesamte Länge der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . ab, wie in Fig. 2 schraffiert dargestellt ist, mit einem Rand einer vorgegebenen Länge auf beiden Seiten in einer Längenrichtung. Die festen Teile 1b sind durch Aufbringen der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . direkt aufeinander in Abschnitten, in denen die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . nicht aufgebracht sind, aufgebracht. Die Druckplatte 26 ist eine flache Platte mit einer Größe, die die gesamte Fläche des festen Teils 1b abdecken kann. Die Druckplatte 26, die mit Befestigungsschrauben 27 und 27 befestigt wird, drückt den entsprechenden festen Teil 1b, der zwischen das Druckteil 26 und den festen Leiter 24 oder den sich bewegenden Leiter 25 eingebettet ist, gleichmäßig. Sie verhindert auch, daß sich die Kohlenstoffschichten oder die rostfreie Folie, die die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . bilden, in dem flexiblen Teil 1a verschieben.

Fig. 1 zeigt die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einer derartigen Weise, daß sie so in dem festen Teil 1b aufgebracht sind, als ob ein Spalt dazwischen vorgesehen ist, aber die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . sind stärker in einen engen Kontakt miteinander gebracht, da sie zwischen dem Druckteil 26 und den festen Leiter 24 oder dem sich bewegenden Leiter 25 eingebettet sind, wodurch der Kontaktwiderstand verringert wird. Die festen Teile 1b und 1b werden um ungefähr 500°C in einem festgezogenen Zustand durch die Befestigungsschrauben 27 und 27 erwärmt, wodurch die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . auf der Kontaktstirnfläche diffundiert und verbunden werden und ein Kontaktwiderstand kann weiter verringert werden.

Wenn der sich bewegende Leiter 25 in der Figur bezüglich des festen Leiters 24 aufwärts und abwärts verschoben wird, kann der flexible Leiter 1 wie voranstehend beschrieben die Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 aufgrund der Deformation des flexiblen Teils 1a ermöglichen, während der Verbindungszustand zwischen dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 aufrecht erhalten wird. Wenn eine derartige Deformation auftritt, kommen die aufgebrachten Schichten, die das flexible Teil 1a bilden, in einen Gleitkontakt miteinander. Jedoch umfaßt das flexible Teil 1a ein alternierendes Muster der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und der Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die wie voranstehend erläutert aufeinander aufgebracht sind, und der Gleitkontakt tritt auf der Schnittfläche zwischen der Leitermetallschichten 10a und der Verklebungsverhinderungsschicht 10b auf; die Gefahr, daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt miteinander kommen und verklebt werden, wird vermieden, wodurch der Verlust einer Flexibilität unterdrückt wird.

Da die Kohlenstoffschicht oder die rostfreie bzw. fleckenfreie Folie, die jede der Verklebungsverhinderungsschichten 10b bildet, ein Material ist, bei dem die Verursachung einer Diffusionsreaktion mit der Kupferfolie, die jede Leitermetallschichten 10a bildet, schwierig ist, besteht keine Gefahr, daß die Verklebung zwischen der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und der Verklebungsverhinderungsschicht 10b, 10b . . . auftritt. Wenn der in der Beschreibung der ersten Ausführungsform gezeigte flexible Leiter 1 in einem Vakuum verwendet wird, kann er deshalb auch eine Flexibilität über eine lange Zeit halten und zuverlässig eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 ermöglichen.

Die festen Teile 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden gebildet, indem die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander gebracht werden, ohne die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . jeweils dazwischen anzuordnen, um einen Kontaktwiderstand zu verkleinern. Somit wird, wie in der Figur gezeigt, in dem Verwendungszustand, bei dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden.

Dies kann effektiver erreicht werden, indem die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . wie voranstehend beschrieben deffundiert und verbunden werden.

Die Konfiguration des flexiblen Leiters 1 zum linearen Verbinden des festen Leiters 24 und des sich bewegenden Leiters 25 ist unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 beschrieben worden. Jedoch können die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . in einem Zustand aufgebracht werden, bei dem sie vorher gebogen werden, um den flexiblen Teil 1a für eine Verwendung zur Verbindung des Lastleiters 11 als den festen Leiter 24 und der sich bewegenden Elektrode 6 als den sich bewegenden Leiter 25 in der in Fig. 21 und 22 gezeigten Schalteinrichtung zu bilden. Dies trifft auch auf die folgenden Ausführungsformen zu.

Zweite Ausführungsform

Fig. 3 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer zweiten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1, wie der in Fig. 1 gezeigte umfaßt ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und aufgebrachten Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . umfaßt, und feste Teile 1b und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind, wo nur die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . aufgebracht sind.

Die Ausführungsform ist gekennzeichnet durch die Verbindung von den festen Teilen 1a und 1b und einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25. Wie in Fig. 3 gezeigt, sind sie verbunden, indem die festen Teile 1b und 1b an die Endstirnflächen des festen Leiters 24 und des sich bewegenden Leiters 25 angelegt werden und ein Strahlschweißen der angelegten Teile durchgeführt wird. Gemäß der Konfiguration kann ein starker Verbindungszustand zwischen dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 und den festen Teilern 1b und 1b bereitgestellt werden und ein Kontaktwiderstand an den Verbindungsteilen kann verringert werden. Aufgrund der Erwärmung zur Zeit des Strahlschweißens werden die Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., die die festen Teile 1b und 1b bilden, diffundiert und verbunden und deren Kontaktwiderstand kann auch verringert werden; der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 wird herabgesetzt, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann reduziert werden.

Dritte Ausführungsform

Die Fig. 4 und 5 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zum Darstellen der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer dritten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in den Figuren umfaßt, wie der in den Fig. 1 und 2 gezeigte flexible Leiter 1, ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster einer Vielzahl von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und eine Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . umfaßt, und feste Teile 1b und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angebracht sind. Die festen Teile 1b und 1b sind fest an einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils mit zwei Befestigungsbolzen bzw. Schrauben 27 und 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Zum Beispiel wird für die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . wie diejenigen, die in den Fig. 1 und 2 gezeigt sind, eine Kupferfolie mit einer Dicke von ungefähr 100 µm verwendet. Jedoch wird für die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die jeweils zwischen den Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet sind, im Gegensatz zu denjenigen, die z. B. in den Fig. 1 und 2 gezeigt sind, ein Anwendungsmittel, das durch Mischen eines anorganischen Pulvers aus Siliziumnitrid, Aluminiumoxid (Aluminium), etc. mit einem Partikeldurchmesser von ungefähr 1-10 µm in einem Lösungsmittel aus Alkohol etc. bereitgestellt wird, auf eine Stirnfläche oder beide Stirnflächen einer Kupferfolie angebracht, die die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . bildet, und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., auf die das Anwendungsmittel angewendet wird, werden in der Dickenrichtung angeordnet, wodurch das anorganische Pulver zwischen den Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet ist.

Der Aufbringungsbereich der Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . deckt grob die gesamte Länge der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . ab, wie in Fig. 5 schraffiert dargestellt, mit einem Rand einer vorgegebenen Länge auf beiden Seiten in einer Längenrichtung. Dies wird leicht ermöglicht, indem der Anwendungsbereich des Anwendungsmittels auf jede der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . gleichmäßig eingestellt wird. Die festen Teile 1a und 1b werden an dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 in einer ähnlichen Weise wie bei derjenigen in der ersten Ausführungsform befestigt und eine ausführliche Beschreibung wird hier nicht angegeben.

Der flexible Leiter 1 wie voranstehend beschrieben ermöglicht eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 aufgrund einer Deformation des flexiblen Teils 1a. Zu dieser Zeit kommt jede der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt mit den Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die auf beiden Seiten der Leitermetallschicht 10a aufgebracht sind, und es besteht eine geringe Gefahr, daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt miteinander kommen und demzufolge verklebt werden, wodurch ein Verlust einer Flexibilität unterdrückt wird und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 in zuverlässiger Weise ermöglicht werden kann.

Die festen Teile 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden gebildet, indem die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander gebracht werden, ohne die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . jeweils dazwischen anzuordnen, um einen Kontaktwiderstand zu verringern. Somit wird, wie in der Figur gezeigt, in dem Verwendungszustand, bei dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann reduziert werden. Dies kann effektiver erreicht werden, indem die unmittelbare Umgebung der festen Teile 1b und 1b erwärmt wird und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . diffundiert und verbunden werden.

Vierte Ausführungsform

Fig. 6 ist eine Seitenansicht zur Darstellung eines flexiblen Leiters einer vierten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur weist eine ähnliche Konfiguration zu derjenigen des flexiblen Leiters der dritten Ausführungsform auf, und festen Teile 1b und 1b und ein fester Leiter 24 und ein sich bewegender Leiter 25 sind verbunden, indem eine Strahlverschweißung ihrer angelegten Teile wie in der zweiten Ausführungsform durchgeführt wird.

Fünfte Ausführungsform

Die Fig. 7 und 8 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer fünften Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in den Figuren umfaßt, wie der in den Fig. 1 und 2 gezeigte flexible Leiter 1 ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster aus einer Vielzahl von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und einer Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . umfaßt, und feste Teile 1b und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind. Die festen Teile 1b und 1b werden eng an einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils über zwei Befestigungsbolzen 27 und 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Eine Kupferfolie mit einer Dicke von ungefähr 100 µm wird für die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . wie diejenigen, die in den Fig. 1 und 2 gezeigt sind, verwendet. Für die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die jeweils zwischen den Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet sind, wird jedoch im Gegensatz zu denjenigen, die in den Fig. 1 und 2 gezeigt sind und im Gegensatz zu denjenigen, die in den Fig. 4 und 5 gezeigt sind, ein aus einem Metall gebildeter Plattierungsfilm zum Erzeugen eines stabileren Oxids im Vergleich mit Kupfer, das als Material der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . verwendet wird, beispielsweise Nickel (Ni) oder Chrom (Cr), auf einer Stirnfläche von jeder der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einer Dicke von ungefähr 1-10 µm aufgebracht, und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., auf denen jeweils der Film gebildet ist, werden in der Dickenrichtung angeordnet, wodurch der Plattierungsfilm zwischen die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet wird. Die Fig. 7 zeigt die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die jeweils aus dem Plattierungsfilm gebildet sind, und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in solcher Weise, daß sie so angeordnet sind, als ob ein Spalt zwischen ihnen vorhanden ist; tatsächlich sind sie jedoch in einem Zustand aufgebracht, bei dem sie in Kontakt miteinander angeordnet sind.

Der Aufbringungsbereich der Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . deckt grob die gesamte Länge der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . ab, wie in Fig. 8 schraffiert dargestellt, mit einem Rand einer vorgegebenen Länge auf beiden Seiten einer Längenrichtung. Dies wird leicht erreicht, indem der Bildungsbereich des Plattierungsfilms auf jeder der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . gleichmäßig eingestellt wird. Die festen Teile 1b und 1b sind an dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 in einer ähnlichen Weise wie derjenigen in den ersten und dritten Ausführungsformen befestigt und eine ausführliche Beschreibung wird nicht gegeben.

Der flexible Leiter 1 wie voranstehend beschrieben, ermöglicht eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 wegen der Deformation des flexiblen Teils 1a. Zu dieser Zeit kommt jede der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt mit der Verklebungsverhinderungsschicht 10b, 10b . . ., die auf eine Seite der Leitermetallschicht 10a gerichtet ist, und es besteht eine geringe Gefahr, daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt miteinander kommen und demzufolge verklebt werden; wenn der flexible Leiter 1 in einem Vakuum verwendet wird, wird ein Verlust der Flexibilität, der durch die Verklebung verursacht wird, unterdrückt und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 kann zuverlässig ermöglicht werden.

Die die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . Plattierungsfilme sind, die aus einem Metall zum Erzeugen eines stabilen Oxids gebildet sind, beispielsweise Nickel (Ni) oder Chrom (Cr), wie voranstehend beschrieben, ist der Grad der Entfernung der Oxidfilme, die auf den Oberflächen gebildet sind, wenn die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . in einen Gleitkontakt mit den Schichten 10a, 10a . . . kommen, gering. Deshalb besteht eine geringe Gefahr, daß eine Verklebung zwischen den Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und den Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . auftritt, wenn sie in einen Gleitkontakt miteinander kommen, und bei der Verwendung des flexiblen Leiters 1 unter einem Vakuum wird eine wesentliche Flexibilität nicht beeinträchtigt und über eine lange Zeit aufrecht erhalten.

Die festen Teile 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden gebildet durch Zusammenbringen der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander, ohne daß die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . jeweils dazwischen angeordnet sind, um den Kontaktwiderstand zu verringern. Somit wird, wie in der Figur gezeigt, in dem Verwendungszustand, in dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungwert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verkleinert werden. Dies wird effizienter erreicht, indem die Umgebungen der festen Teile 1b und 1b erwärmt und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . diffundiert und verbunden werden.

Sechste Ausführungsform

Fig. 9 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer sechsten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur weist eine ähnliche Konfiguration wie diejenige des flexiblen Leiters der fünften Ausführungsform auf, und feste Teile 1b und 1b und ein fester Leiter 24 und ein sich bewegender Leiter 25 sind durch eine Strahlverschweißung ihrer aneinander angelegten Teile wie in den zweiten und vierten Ausführungsformen verbunden.

Siebte Ausführungsform

Fig. 10 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer siebten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexiblen Leiter 1 in der Figur umfaßt ein flexibles Teil 1a, das eine Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnete feste Teile 1b und 1b umfaßt. Die festen Teile 1b und 1b werden einem festen Leiter 24 und einem sich bewegender Leiter 25 jeweils mit Hilfe einer Befestigungsschraube 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Jede der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . umfaßt eine Vielzahl von Vorsprüngen 10c, 10c . . ., die auf einer Stirnfläche gebildet sind. Wie in der Figur gezeigt, ist die Stirnfläche der Vorsprünge 10c, 10c . . . in Richtung auf die gleiche Seite gerichtet und die Spitzen der Vorsprünge 10c, 10c . . . liegen an der gegenüberliegenden Stirnfläche der benachbarten Leitermetallschicht 10a an, so daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . mit einem Spalt äquivalent zu der Höhe jedes Vorsprungs 10c aufgebracht sind, wodurch das flexible Teil 1a gebildet wird. Die Vorsprünge 10c, 10c . . . können geeignete Formen aufweisen, beispielsweise V- förmige Vorsprünge über der gesamten Länge oder Vertiefungen, die in geeigneten Intervallen angeordnet sind, durch eine Druckformung einer Kupferfolie mit einer Dicke von ungefähr 10 µm, die für die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . verwendet wird. Die festen Teile 1b und 1b sind an dem festen Leiter 24 und dem sich bewegender Leiter 25 in einer ähnlichen Weise wie diejenige in den ersten, dritten und fünften Ausführungsformen angebracht und eine ausführliche Beschreibung wird nicht gegeben.

Der flexible Leiter 1 wie voranstehend beschrieben, ermöglicht eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 wegen einer Deformation des flexiblen Teils 1a. Zu dieser Zeit kommt jede der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt mit den Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., die auf beiden Seiten der Leitermetallschicht 10a aufgebracht sind, nur an den begrenzten Teilen der Spitzen der Vorsprünge 10c, 10c . . ., die wie voranstehend beschrieben auf jeder Leitermetallschicht 10a gebildet sind. Zur Verwendung des flexiblen Leiters 1 in einem Vakuum ist deshalb der Bereich einer Verklebung, die auftritt, wenn die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen Gleitkontakt miteinander kommen, auf die Spitzenteile der Vorsprünge 10c, 10c . . . begrenzt; der Verlust einer Flexibilität kann effektiv unterdrückt werden und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 kann in zuverlässiger Weise ermöglicht werden.

In den festen Teilen 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander gebracht, indem die Befestigungsschrauben 27 über die Druckplatte 26 zum Verringern eines Kontaktwiderstands befestigt werden. Somit wird, wie in der Figur gezeigt, in dem Verwendungszustand, bei dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden. Dies wird effektiver durch Erwärmen der Umgebungen der festen Teiler 1b und 1b und durch Diffundieren und Verbinden der Leitermetallschichten 10a, 10a . . _. erreicht.

Achte Ausführungsform

Fig. 11 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer achten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur weist eine ähnliche Konfiguration zu denjenigen des flexiblen Leiters der siebten Ausführungsform auf und feste Teile 1b und 1b und ein fester Leiter 24 und ein sich bewegender Leiter 25 sind durch eine Strahlverschweißung ihrer aneinander liegenden Teile wie in den zweiten, vierten und sechsten Ausführungsformen verbunden.

Neunte Ausführungsform

Fig. 12 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer neunten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur umfaßt ein flexibles Teil 1a, das eine Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und feste Teile 1b und 1b, die mit Abstandsplatten 10d, 10d . . ., die jeweils zwischen die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind, ausgebildet sind, umfaßt. Die festen Teile 1b und 1b werden an einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils durch eine Befestigungsschraube bzw. einen Befestigungsbolzen zusammen mit den Abstandsblöcken 10d, 10d . . . über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

In diesem Zustand sind die Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., die das flexible Teil 1a bilden, voneinander durch einen vorgegebenen Abstand getrennt und sind aufgebracht, ohne in einen direkten Kontakt miteinander zu kommen, weil die Abstandsplatten 10d, 10d . . . jeweils zwischen die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in den festen Teilern 1b und 1b angeordnet sind. Die festen Teile 1b und 1b sind an dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 in einer ähnlichen Weise wie diejenige in den ersten, dritten, fünften und siebten Ausführungsformen befestigt. Die Abstandsplatten 10d, 10d . . ., die mit den Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angezogen werden, wenn die festen Teile 1b und 1b befestigt werden, sind aus einem Leitermetall mit einer hohen elektrischen Leitfähigkeit, beispielsweise Kupfer, wie die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . zur Verringerung eines Kontaktwiderstands gebildet.

Der flexible Leiter 1 wie voranstehend beschrieben, ermöglicht eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 aufgrund einer Deformation des flexiblen Teils 1a. Zu dieser Zeit sind die Leitermetallschichten 10a, 10a . . ., die das flexible Teil 1a bilden, mit dem vorgegebenen Spalt dazwischen aufgebracht und kommen kaum in einen Gleitkontakt miteinander. Zur Verwendung der flexiblen Leiters 1 in einem Vakuum, wird deshalb nicht befürchtet, daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . verklebt werden können; eine wesentliche Flexibilität kann über eine lange Zeit aufrecht erhalten werden und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 kann in zuverlässiger Weise ermöglicht werden.

In den festen Teilen 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander durch die aus einem Leitermetall gebildeten Abstandsplatten 10d, 10d . . . gebracht, die jeweils dazwischen angeordnet sind, indem die Befestigungsschrauben 27 über die Druckplatte 26 befestigt werden, um einen Kontaktwiderstand zu verkleinern. Wie in der Figur gezeigt, wird somit in dem Verwendungszustand, bei dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verringert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden. Dies kann effizienter erreicht, indem die Umgebung der festen Teile 1b und 1b auf ungefähr 500°C erwärmt wird und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . zusammen mit den jeweils dazwischen angeordneten Abstandsplatten 10d, 10d . . . diffundiert und verbunden werden.

Zehnte Ausführungsform

Fig. 13 ist eine Seitenansicht zur Darstellung eines flexiblen Leiters einer zehnten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur weist eine ähnliche Konfiguration zu derjenigen des flexiblen Leiters der neunten Ausführungsform auf und feste Teile 1b und 1b und ein fester Leiter 24 und ein sich bewegender Leiter 25 sind durch eine Strahlverschweißung ihrer aneinander anliegenden Teile wie in den zweiten, vierten, sechsten und achten Ausführungsformen verbunden.

Elfte Ausführungsform

Die Fig. 14 und 15 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zur Darstellung der Konfiguratione eines flexiblen Leiters einer elften Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein in den Figuren gezeigter flexibler Leiter 1 umfaßt ein flexibles Teil, das eine Leitermetallschicht 10a umfaßt, die wie Gitter ausgebildet ist, die aus Drähten mit kleinem Durchmesser gebildet sind, die aus einem Metall wie beispielsweise Kupfer gebildet sind, wobei die Leitermetallschicht 10a zwischen dünnen Regulierungsplatten 10e und 10e eingebettet ist, die aus einem Metall mit einer geringen Möglichkeit einer Verklebung mit Kupfer gebildet sind, beispielsweise ein rostfreies bzw. fleckenfreies Material, von beiden Seiten in der Dickenrichtung der Leitermetallschicht 10a, und feste Teile, die durch Verlängern der Leitermetallschicht 10a auf beiden Seiten der Regulierungsplatten 10e und 10e gebildet sind. Die festen Teile werden an einen festen Leiter 24 und einen sich bewegenden Leiter 25 durch Befestigungsschrauben 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt und das flexible Teil ist an beiden Enden mit dem festen Leiter 24 und dem sich bewegenden Leiter 25 zusammen mit den Regulierungsplatten 10e und 10e durch Befestigungsschrauben 29 über eine Druckplatte 28, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Der flexible Leiter 1, wie voranstehend beschrieben, ermöglicht eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 aufgrund einer Deformation der Leitermetallschicht 10a, wie Gitter, die das flexible Teil bilden. Zu dieser Zeit kommen Drähte mit kleinem Durchmesser, die wie Gitter ausgeformt sind, in einen Gleitkontakt miteinander in der Leitermetallschicht 10a und es wird befürchtet, daß eine Verklebung in den gleitenden Kontaktteilen auftreten kann. Jedoch ist der Verklebungsbereich auf die Punktkontaktteile zwischen den Drähten begrenzt und die Flexibilität in dem flexiblen Teil wird nicht beeinträchtigt. Deshalb kann zur Verwendung des flexiblen Leiters 1 unter einem Vakuum eine wesentliche Flexibilität über eine lange Zeit aufrecht erhalten werden und eine Verschiebung des sich bewegenden Leiters 25 relativ zu dem festen Leiter 24 kann in zuverlässiger Weise ermöglicht werden.

Die Regulierungsplatten 10e und 10e, die die Leitermetallschichten 10a auf beiden Seiten einbetten, regulieren eine Änderung in der Form der Leitermetallschicht 10a, weil die Gitter, die die Leitermetallschicht 10a bilden, mit der oben beschriebenen Deformation des sich bewegenden Leiters 25 lose werden. Wenn der Draht, der einen Teil der Leitermetallschicht 10a bildet, geschnitten wird und nach außen vorsteht, erleichtern die Regulierungsplatten 10e und 10e auch ein elektrisches Feld, das in der Umgebung des geschnittenen Drahts erzeugt wird, und halten einen Druckwiderstand in einem Vakuumbehälter aufrecht. Damit die Regulierungsplatten 10e und 10e effektiv funktionieren, wie in Fig. 15 gezeigt, weist jede Regulierungsplatte 10e eine breitere Breite auf, als dies die Leitermetallschicht 10a tut, und ist nach außen verlängert, und zwar in der Länge um ein Zweifaches oder Dreifaches der Gitterbeabstandung der Leitermetallschicht 10a. Die Regulierungsplatten 10e und 10e, die dünne Platten sind, die aus einem rostfreien bzw. fleckenfreien Material gebildet sind, behindern die voranstehend beschriebene Deformation des sich bewegenden Leiters 25 nicht und außerdem tritt keine Verklebung zwischen den Regulierungsplatten 10e und 10e und der Leitermetallschicht auf.

In den festen Teilen auf beiden Seiten des flexiblen Leiters 1 werden die Gitter, die die Leitermetallschicht 10a bilden, gequetscht und die Drähte werden durch Befestigen der Befestigungsschrauben 27 über die Druckplatte 26 in einen engen Kontakt miteinander gebracht, um einen Kontaktwiderstand zu verkleinern. Somit wird, wie in der Figur gezeigt, in dem Verwendungszustand, in dem der feste Leiter 24 und der sich bewegende Leiter 25 verbunden sind, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden. Dies kann effektiver erreicht werden, indem die Umgebungen der festen Teile auf ungefähr 500°C erwärmt und die Drähte, die die Leitermetallschicht 10a bilden, diffundiert und verbunden werden.

Zwölfte Ausführungsform

Fig. 16 ist eine Seitenansicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer zwölften Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in der Figur weist eine ähnliche Konfiguration zu derjenigen des flexiblen Leiters der elften Ausführungsform auf und feste Teile 1b und 1b und ein fester Leiter 24 und ein sich bewegender Leiter 25 sind durch eine Strahlverschweißung ihrer aneinander anliegenden Teile wie in der zweiten, vierten, sechsten, achten und zehnten Ausführungsform verbunden. Die Strahlverschweißung wird in den Endrändern der Regulierungsplatten 10e und 10e ausgeführt, wodurch die Funktionen der Regulierungsplatten 10e und 10e wie in der zwölften Ausführungsform beschrieben bereitgestellt werden können.

Dreizehnte Ausführungsform

Die Fig. 17 und 18 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zur Darstellung der Konfiguration eines flexiblen Leiters einer dreizehnten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein flexibler Leiter 1 in den Figuren zeigt ein modifiziertes Beispiel der ersten Ausführungsform. Er umfaßt ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster einer Vielzahl von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und einer Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . umfaßt, und feste Teile 1b und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind. Die festen Teile 1b und 1b werden an einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils durch zwei Befestigungsschrauben 27 und 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Für die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., wie in Fig. 17 gezeigt, wird eine rostfreie bzw. fleckenfreie Folie, die wie Wellen ausgeformt ist, zwischen die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet und sie werden mit den Enden des festen Leiters 24 und des sich bewegenden Leiters 25 über eine Druckplatte 28 durch Befestigungsschrauben, die beide Enden durchdringen, zur Verhinderung einer Verschiebung befestigt. Wie in Fig. 18 gezeigt, werden die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . mit einem Rand auf beiden Seiten in der Breitenrichtung der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . angeordnet, um das Material einzusparen. In den Abschnitten, an denen die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . nicht angeordnet sind, sind die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . mit einem Spalt äquivalent zu der Höhe jeder der Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . ., die wie Wellen ausgeformt sind, aufeinander zugekehrt und es wird nicht befürchtet, daß die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in enen Gleitkontakt miteinander kommen oder verklebt werden können. Wie in der ersten Ausführungsform können anstelle der rostfreien Folie auch Kohlenstoffschichten verwendet werden.

In den festen Teilen 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander gebracht, indem die Befestigungsschrauben 27 über die Druckplatte 26 befestigt werden, um einen Kontaktwiderstand zu verkleinern. Somit wird in dem Verwendungszustand, der in der Figur gezeigt ist, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden. Dies kann effektiver erreicht werden, indem die Umgebungen der festen Teile 1a und 1a auf ungefähr 500°C erwärmt und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . diffundiert und verbunden werden.

Vierzehnte Ausführungsform

Die Fig. 19 und 20 sind eine Seitenansicht bzw. eine Aufsicht zur Darstellung eines flexiblen Leiters einer vierzehnten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Wie der flexible Leiter der dreizehnten Ausführungsform, zeigt ein flexibler Leiter 1 in den Figuren ein modifiziertes Beispiel der ersten Ausführungsform. Er umfaßt ein flexibles Teil 1a, das ein alternierendes Muster einer Vielzahl von Leitermetallschichten 10a, 10a . . . und einer Vielzahl von in einer Dickenrichtung aufgebrachten Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . umfaßt, und feste Teile 1b und 1b, die auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a angeordnet sind. Die festen Teile 1b und 1b werden an einem festen Leiter 24 und einem sich bewegenden Leiter 25 jeweils durch zwei Befestigungsschrauben 27 und 27 über eine Druckplatte 26, die die gesamte Länge abdeckt, befestigt.

Für die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . wird wie bei denjenigen in der ersten Ausführungsform ein Folienmaterial verwendet, bei dem die Verursachung einer Verklebung mit einer Kupferfolie, die die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . bildet, schwierig ist, beispielsweise Kohlenstoffschichten oder eine rostfreie Folie. Die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . weisen jeweils die Länge auf, die die Durchstoßpositionen der Befestigungsschrauben 27 und 27 in den festen Teilen 1b und 1b erreichen, und kreisförmige Auskerbungen, die in den Endrändern auf der gleichen Seite gebildet sind, greifen in die Befestigungsbolzen 27 und 27 ein, um eine Verschiebung zu verhindern. Wie in Fig. 20 gezeigt, sind die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . mit einem Rand auf beiden Seiten in der Breitenrichtung der Leitermetallschichten 10a, 10a . . . zum Einsparen des Materials wie in der dreizehnten Ausführungsform angeordnet.

In den festen Teilen 1b und 1b auf beiden Seiten des flexiblen Teils 1a werden die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . in einen engen Kontakt miteinander in dem halben Teil auf beiden Endseiten, an denen die Verklebungsverhinderungsschichten 10b, 10b . . . nicht vorgesehen sind, durch Befestigen der Befestigungsschrauben 27 über die Druckplatte 26 zum Verringern eines Kontaktwiderstands gebracht. Somit wird in dem Verwendungszustand, der in der Figur gezeigt ist, der spezifische Widerstand des gesamten flexiblen Leiters 1 verkleinert, eine gute elektrische Leitfähigkeit kann bereitgestellt werden, und der Erwärmungswert, der den Durchgang eines elektrischen Stroms begleitet, kann verringert werden. Dies kann effektiver erreicht werden, indem die Umgebungen der festen Teiler 1b und 1b auf ungefähr 500°C erwärmt und die Leitermetallschichten 10a, 10a . . . diffundiert und verbunden werden.

Fünfzehnte Ausführungsform

Fig. 24 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß der Erfindung. In der Figur bezeichnet ein Bezugszeichen 20 einen Vakuumbehälter, der in einem hohen Vakuum von 10^-3 Torr oder weniger gehalten wird. Ein Erzeugungsleitungs-Reduzierstück 22, das durch Ausbilden von Keramik wie ein abgeschnittener Konus vorgesehen ist, ist an dem Vakuumbehälter 20 angebracht und ein Erzeugungsleitungs- Leiter 21, mit dem eine externe Erzeugungsleitung verbunden ist, ist gebildet, um das Erzeugungsleitungs-Reduzierstück 22 zu durchdringen.

Eine erste feste Elektrode 23 eines Hauptschaltungs- Schaltabschnitts 25 ist an der Spitze des Erzeugungsleitungs- Leiters 21 befestigt und eine erste sich bewegende Elektrode 24 ist auf die erste feste Elektrode 23 gerichtet angeordnet. Die erste sich bewegende Elektrode 24 ist an der Spitze eines ersten leitenden Stabs 26 befestigt, der an dem Basisende mit einem Betriebsstab 28 gekoppelt ist, der vorwärts und rückwärts durch eine Antriebseinheit (nicht gezeigt) bewegt wird, die außerhalb des Vakuumbehälters 20 angeordnet ist. Der Betriebsstab 28 ist gebildet, um den Vakuumbehälter 20 zu durchdringen und der Vakuumbehälter 20 wird durch einen ersten Faltenbalg 31, der zwischen dem Betriebsstab 28 und dem Vakuumbehälter 20 angeordnet ist, in einem hermetischen Zustand gehalten.

Ein Metallring 27 ist auf einen Zwischenteil des ersten leitenden Stabs 26 gelegt. Ein Kabel-Reduzierstück 34 zum Haltern eines Lastleiters 33 zum Koppeln eines Leistungsübertragungskabels ist mit dem Abschnitt des Vakuumbehälters 20, der auf die Umfangsoberfläche des Metallrings 27 gerichtet ist, angebracht. Eine zweite feste Elektrode 37 eines Masseschaltabschnitts 39 ist in der Nähe der Spitze des Lastleiters 33 vorgesehen und eine zweite sich bewegende Elektrode 38 ist auf die zweite feste Elektrode 37 gerichtet angeordnet. Die zweite sich bewegende Elektrode 38 ist an der Spitze eines zweiten leitenden Stabs 36 angebracht, der den Vakuumbehälter 20 durchdringt, und der zweite leitende Stab 36 wird durch die Antriebseinheit (nicht gezeigt) vorwärts und rückwärts bewegt. Der zweite leitende Stab 36 ist installiert. Ein zweiter Faltenbalg 32 ist zwischen dem zweiten leitenden Stab 36 und dem Vakuumbehälter 20 angeordnet und der Vakuumbehälter 20 wird durch den zweiten Faltenbalg 32 in einem hermetischen Zustand gehalten.

Ein erstes Abdeckelement 51, das wie eine Pfeife bzw. ein Rohr mit einem geschlossenen Ende ausgeformt ist, ist an dem Abschnitt des Metallrings 27, der dem Lastleiter 33 gegenüberliegt, in einem Zustand angebracht, bei dem das erste Abdeckelement 51 auf dem Boden an der Umfangsoberfläche des Metallrings 27 anliegt. Die Abmessung des ersten Abdeckelements 51 in seiner axialen Längenrichtung ist ein wenig kürzer als die Abmessung zwischen dem Metallring 27 und dem Lastleiter 33 und die Ränder des ersten Abdeckelements 51 sind nach innen gebogen.

Ein zweites Abdeckelement 52, das eine ähnliche Form wie diejenige des ersten Abdeckelements 51 aufweist und kleiner als das erste Abdeckelement 51 ist, ist an dem Lastleiter 33 in einem Zustand angebracht, bei dem es auf dem Boden an der Spitze des Lastleiters 33 anliegt, und weist eine Spitze auf, die in das erste Abdeckelement 51 eindringt. Ein Loch ist in jedem inneren Boden der ersten und zweiten Abdeckelemente 51 und 52 gebildet und ein flexibler Leiter 40, der wie ein Doppelbogen ausgebildet ist, ist auf den Teilen des Metallrings 27 und dem Lastleiter 33, der auf die Löcher zugekehrt ist, angeordnet.

Mit einer derartigen Schalteinrichtung wird der Betriebsstab 28 vorwärts und rückwärts bewegt, um den Betriebsstab, den ersten leitenden Stab 26 und die erste sich bewegende Elektrode 24 vorwärts und rückwärts zu bewegen, um die erste sich bewegende Elektrode 24 und die erste feste Elektrode 23 in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander zu bringen, wodurch der Hauptschaltungs- Schaltabschnitt 25 betrieben wird. Wenn der Hauptschaltungs- Schaltabschnitt 25 geöffnet ist, wird der zweite leitende Stab 36 vorwärts und rückwärts bewegt, um die zweite sich bewegende Elektrode 38 und die zweite feste Elektrode 37 in einen Kontakt miteinander und aus einem Kontakt voneinander zu bringen, wodurch der Masseschaltabschnitt 39 betrieben wird.

Wenn der erste leitende Stab 26 zum Betreiben des Hauptschaltungs-Schaltabschnitts 25 vorwärts und rückwärts bewegt wird, wölbt sich der flexible Leiter 40 und der gewölbte flexible Leiter 40 wird auf den früheren Zustand zurückgebracht, wodurch eine Leitung zwischen dem ersten leitenden Stab 26 und dem Lastleiter 33 aufrecht erhalten wird. Andererseits sind die Umgebungen des flexiblen Leiters 40 mit den ersten und zweiten Abdeckelementen 51 und 52 bedeckt, so daß verhindert wird, daß ein Bogenproduk 12254 00070 552 001000280000000200012000285911214300040 0002019964249 00004 12135t, das erzeugt wird, wenn der Hauptschaltungs-Schaltabschnitt 25 betrieben wird, auf dem flexiblen Leiter 40 abgelagert wird.

In der Ausführungsform ist der flexible Leiter 40 mit den ersten und zweiten Abdeckelementen 51 und 52 abgedeckt, die aufeinander zugekehrt angeordnet sind, aber die Erfindung ist nicht darauf begrenzt. Entweder das erste Abdeckelement 51 oder das zweite Abdeckelement 52 können vorgesehen sein. In diesem Fall wird die Abmessung des Abdeckelements in seiner axialen Längenrichtung länger als die Dimension des flexiblen Leiters 40 gemacht.

Sechzehnte Ausführungsform

Fig. 25 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, wobei ein Faltenbalg 61 verwendet wird. Teile, die identisch zu denjenigen sind, die voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 24 beschrieben wurden, oder die gleich zu diesen sind, sind mit den gleichen Bezugszeichen in Fig. 25 bezeichnet und werden wiederum nicht diskutiert. Wie in Fig. 25 gezeigt, ist ein flexibler Leiter 40 zwischen einem Metallring 27 und einem Lastleiter 33 angeordnet und in einem dritten Faltenbalg 61 wie eine Röhre untergebracht. Der dritte Faltenbalg 61 ist an einem Ende an der Umfangsoberfläche des Metallrings 27 befestigt und ist an einem gegenüberliegenden Ende auf den Lastleiter 33 gelegt, wodurch das Aufbringen eines Bogenprodukts auf dem flexiblen Leiter 40 weiter verhindert werden kann.

Siebzehnte Ausführungsform

Fig. 26 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer siebzehnten Ausführungsform der Erfindung, wobei ein Gleitkontakt 51 verwendet wird. Teile, die identisch zu denjenigen sind, die voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 24 beschrieben wurden, oder ähnlich zu diesen sind, sind mit den gleichen Bezugszeichen in Fig. 24 bezeichnet und werden wiederum nicht diskutiert. Wie in Fig. 26 gezeigt, wird anstelle des in Fig. 24 gezeigten Metallrings 27 ein ringförmiger Gleitkontakt 41 verschiebbar bzw. gleitbar auf einen ersten leitenden Stab 26 gelegt und ein Lastleiter 33 wird mit der Umfangsoberfläche des Gleitkontakts 41 gekoppelt.

Ein drittes Abdeckelement 53 und ein viertes Abdeckelement 54 jeweils wie eine Box, die den Gleitkontakt 41 abdecken, sind an Positionen an vorgegebenen Abständen von den oberen und unteren Enden des Gleitkontakts 41 auf dem ersten leitenden Stab 26 angeordnet, und dort befestigt, und eine Auskerbung ist in jedem der Abschnitte des dritten Abdeckelements 43 und des vierten Abdeckelements 54 entsprechend dem Lastleiter 33 gebildet.

Wenn mit einer derartigen Schalteinrichtung der erste leitende Stab 26 vorwärts und rückwärts bewegt wird, gleitet er in dem Gleitkontakt 41, während der elektrische Leitungszustand mit dem auf dem ersten leitenden Stab 26 angebrachten Gleitkontakt 41 aufrecht erhalten wird. Zu dieser Zeit wird das vierte Abdeckelement 54 zusammen mit dem ersten leitenden Stab 26 vorwärts und rückwärts bewegt. Es ist an dem ersten leitenden Stab 26 angebracht, um so einen geeigneten Spalt zwischen dem Gleitkontakt 41 und dem Boden des vierten Abdeckelements 54 zu erzeugen, wenn eine erste sich bewegende Elektrode 24 in einen Kontakt mit einer ersten festen Elektrode 23 gebracht wird, und die Abmessung des vierten Abdeckelements 54 in der axialen Längenrichtung davon wird so eingestellt, daß der obere Randteil der ersten sich bewegenden Elektrode 24 in dem dritten Abdeckelement 54 positioniert ist, wenn die erste sich bewegende Elektrode 24 aus einem Kontakt mit der ersten festen Elektrode 23 herausgebracht wird, wodurch verhindert wird, daß ein Bogenprodukt, das erzeugt wird, wenn ein Hauptschaltungs- Schaltabschnitt 25 betrieben wird, auf dem Abschnitt des mit dem Gleitkontakt 41 in Kontakt kommenden ersten leitenden Stabs 26 aufgebracht wird.

In der Ausführungsform ist der Gleitkontakt 41 mit den dritten und vierten Abdeckelementen 53 und 54 abgedeckt, die aufeinander zugekehrt sind, aber die Erfindung ist nicht darauf beschränkt. Nur das dritte Abdeckelement 53 kann vorgesehen sein. In diesem Fall wird die Abmessung des dritten Abdeckelements 53 in der axialen Längenrichtung davon in geeigneter Weise lang ausgebildet.

Achzehnte Ausführungsform

Fig. 27 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer achzehnten Ausführungsform der Erfindung, wobei Faltenbalge verwendet werden. Teile, die identisch oder ähnlich zu denjenigen sind, die voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 26 beschrieben wurden, sind mit den gleichen Bezugszeichen in Fig. 27 bezeichnet und werden nicht erneut diskutiert. Wie in Fig. 27 gezeigt, wird ein Gleitkontakt 41 gleitbar bzw. verschiebbar auf einem ersten leitenden Stab 26 angeordnet und ringförmige Platten 45 und 46 jeweils mit einem Loch, das in der Mitte einer Scheibe mit einem größeren Durchmesser als derjenige des Gleitkontakts 41 gebildet ist, sind an einer Position in einem vorgegebenen Abstand von dem oberen Ende des Gleitkontakts 41 auf dem ersten leitenden Stab 26 und auf dem unteren Ende des Gleitkontakts 41 angeordnet. Ein vierter Faltenbalg 62 wie ein Rohr ist zwischen dem oberen Randteil des Gleitkontakts 41 und der dieser gegenüberliegenden ringförmigen Platte 45 angebracht und ein fünfter Faltenbalg 63 wie ein Rohr ist zwischen der ringförmigen Platte 46, die an dem Bodenende des Gleitkontakts 41 angeordnet ist, und einem Betriebsstab 28 angebracht.

Wenn bei einer derartigen Schalteinrichtung der erste leitende Stab 26 vorwärts und rückwärts bewegt wird, gleitet er in dem Gleitkontakt 41, während der elektrische Leitungszustand mit dem Gleitkontakt 41, der auf dem ersten leitenden Stab 26 angeordnet ist, aufrecht erhalten wird. Zu dieser Zeit dehnt sich der fünfte Faltenbalg 63 aus und zieht sich zusammen, wenn der erste leitende Stab 26 vorwärts und rückwärts bewegt wird, wodurch weiter verhindert wird, daß ein Bogenprodukt, das erzeugt wird, wenn ein Hauptschaltungs- Schaltabschnitt 25 betrieben wird, auf dem Abschnitt des ersten leitenden Stabs 26, der mit dem Gleitkontakt 41 in Kontakt kommt, aufgebracht wird.

Neunzehnte Ausführungsform

Fig. 28 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer neunzehnten Ausführungsform der Erfindung. In der neunzehnten Ausführungsform wird eine Seitenwand eines Vakuumbehälters mit einer Öffnung ausgebildet, die auf die Umfangsoberfläche eines Metallrings 27 gerichtet ist, der fest auf einem leitenden Stab 26 angebracht ist.

Ein Verbindungsleiter 42, der sich zu einer Seite erstreckt, ist an dem Metallring 27 angebracht und die Öffnung weist einen Durchmesser auf, um einem flexiblen Leiter 40 zu ermöglichen, mit einem beträchtlichen Abstand dadurch zu gehen. Der flexible Leiter 40 ist an einem Ende mit einem Endteil des Verbindungsleiters 42 in dem Vakuumbehälter 20 verlötet und ist an einem gegenüberliegenden Endteil, das durch die Öffnung geht, mit einem Lastleiter 33 verlötet, der außerhalb des Vakuumbehälters 20 angeordnet ist, um einen elektrischen Stromfluß in die Lastseite von einer Stromversorgung zu ermöglichen. In dem unteren Teil des Vakuumbehälters 20 wird bewirkt, daß das obere Endteil eines Masseleiters 36 an eine Position durchgeht, die dem Verbindungsleiter 42 gegenüberliegt, und der Masseleiter 36 ist an dem unteren Endteil mit einer Antriebseinheit (nicht gezeigt) gekoppelt.

Ein Faltenbalg 41b, der aus einem Metall einer rostfreien Familie gebildet ist, ist zwischen einem Endteil des Verbindungsleiters 42 und der Öffnung des Vakuumbehälters 20 angeordnet und ist fest an beiden Enden mit einem Endteil des Verbindungsleiters 42 und dem Rand der Öffnung des Vakuumbehälters 20 verlötet, so daß der Vakuumbehälter 20 hermetisch abgeschlossen gehalten wird.

Der flexible Leiter 40 ist somit außerhalb des Vakuumbehälters 20 angeordnet, wodurch eine Verklebung mit dem flexiblen Leiter 40 unterdrückt wird und der Verlust einer Flexibilität verhindert wird. Der Innenraum des Vakuumbehälters 20 wird nicht mit leitendem Verklebungsabfallpulver verunreinigt, das in dem Vakuumbehälter 20 verstreut wird, und die dielektrische Festigkeit kann stabil gemacht werden.

Teile, die identisch oder ähnlich zu denjenigen sind, die voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 24 beschrieben wurden, sind mit den gleichen Bezugszeichen in Fig. 25 bezeichnet und werden nicht erneut diskutiert.

Zwanzigste Ausführungsform

Fig. 29 ist eine schematische Querschnittsansicht zur Darstellung der Hauptkonfiguration einer Schalteinrichtung gemäß einer zwanzigsten Ausführungsform der Erfindung.

Ein leitender Faltenbalg 43, der aus einem Metall einer Kupferfamilie gebildet ist, ist auf der äußeren Umfangsoberfläche eines Metallrings 27, der fest auf einem leitenden Stab 26 angebracht ist, und einem Endteil eines Lastleiters 33 angebracht und ist an beiden Enden mit diesen für eine Verbindung verlötet. Der leitende Faltenbalg 43 weist eine Flexibilität und Elastizität auf, die einer Positionsverschiebung zwischen dem Metallring 27 und dem Lastleiter 33, die einen Betrieb eines Hauptschaltungs- Schaltabschnitts 25 begleitet, sanft folgen kann.

In einer derartigen Konfiguration kommen die Elemente nicht in einen Kontakt miteinander und somit tritt eine Verklebung auf der äußeren oder inneren Umfangsoberfläche des leitenden Faltenbalgs 43 nicht auf und ein Verklebungsabfallpulver wird nicht erzeugt, so daß die dielektrische Festigkeit stabil gemacht werden kann.

Der leitende Faltenbalg 43 kann auf der Seite des Lastleiters 33 von der Position eines Masseschaltabschnitts 39 angeordnet werden.

Ferner sind die diametralen Querschnittsformen der Faltenbalge 41a und 41b in den ersten und zweiten Ausführungsformen und des leitenden Faltenbalgs 43 in der dritten Ausführungsform nicht auf Kreise beschränkt und können Ellipsen, Vierecke etc. sein.

Teile, die identisch oder ähnlich zu denjenigen sind, die voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 24 beschrieben wurden, sind mit den gleichen Bezugszeichen in Fig. 26 bezeichnet und werden nicht erneut diskutiert.

Claims (5)

1. Schalteinrichtung, umfassend in einem Vakuumbehälter:
einen Stromversorgungsleiter;
einen leitenden Stab (26), um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt von diesem zu kommen;
einen Lastleiter (33), einen flexiblen Leiter (40), der leitende Metallfolienfilme umfaßt, die aufeinander angeordnet sind, und mit dem Lastleiter (33) und dem leitenden Stab (26) verbunden ist; und
ein Abdeckelement (51) mit einer Flexibilität zum Abdecken des flexiblen Leiters (40), wobei das Abdeckelement (51) an dem leitenden Stab (26) und dem Lastleiter (33) in einem hermetischen Zustand befestigt ist; wobei
der Innenraum des Abdeckelements (51) mit einem Gas gefüllt ist, welches Sauerstoff oder Stickstoff enthält.

2. Schalteinrichtung, umfassend in einem Vakuumbehälter, der mit einer Öffnung ausgebildet ist:
einen Stromversorgungsleiter;
einen leitenden Stab (26), um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt mit diesem heraus zu kommen;
einen Verbindungsleiter, der mit dem leitenden Stab (26) verbunden ist; und
ein Abdeckelement (51), das eine Flexibilität aufweist und an der Öffnung des Vakuumbehälters angeordnet und an dieser und dem Verbindungsleiter befestigt ist, um den Vakuumbehälter in einen hermetischen Zustand zu bringen; wobei
der Verbindungsleiter und ein Lastleiter (33), die außerhalb des Vakuumbehälters angeordnet sind, über einen flexiblen Leiter (40) verbunden sind, der leitende Metallfolienfilme umfaßt, die aufeinander durch das Abdeckelement (51) aufgebracht sind.

3. Schalteinrichtung, umfassend in einem Vakuumbehälter:
einen Stromversorgungsleiter;
einen leitenden Stab (26), um in einen Kontakt mit dem Stromversorgungsleiter und aus einem Kontakt von diesem heraus zu kommen;
einen Lastleiter (33); und
ein leitendes Element, das eine Flexibilität aufweist und wie eine Pfeife bzw. ein Rohr ausgebildet ist und auf dem Lastleiter und dem leitenden Stab (26) angebracht und an diesem befestigt ist.

4. Schalteinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdeckelement ein Faltenbalg ist.

5. Schalteinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das leitende Element ein Faltenbalg ist, der aus einem leitenden Material gebildet ist.