DE19958789A1 - Elektrische Strahlenprüfvorrichtung und Bildverarbeitungsvorrichtung - Google Patents

Abstract

Eine elektrische Strahlenprüfvorrichtung, welche eine elektrische Komponente prüft, weist auf: eine Signalerzeugungsvorrichtung (56), welche ein Signal zu der elektrischen Komponente (12) liefert; eine elektrische Kanone (16), welche mit einem elektrischen Strahl (EB) die elektrische Komponente, zu der das Signal von der Signalerzeugungsvorrichtung geliefert wird, abtastet; einen Detektor (36), welcher von der elektrischen Komponente aufgrund der Bestrahlung mit dem elektrischen Strahl abgestrahlte Sekundärelektronen (SE) erfasst; eine Bilderzeugungsvorrichtung (60), welche ein abgetastetes Bild der elektrischen Komponente unter Verwendng der von dem Detektor erfassten Sekundärelektronen erzeugt; eine Auswahlvorrichtung (64), welche einen Teil eines Bildes des von der Bilderzeugungsvorrichtung erzeugten abgetasteten Bildes auswählt; und eine Korrekturvorrichtung (62), welche das abgetastete Bild unter Verwendung des von der Auswahlvorrichtung ausgewählten Teils des Bildes korrigiert.

Description

Die vorliegenden Erfindung betrifft eine elektrische Strahlenprüfvorrichtung, welche elektrische Komponen­ ten wie einen Halbleiter prüft. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine elektrischen Strahlen­ prüfvorrichtung, welche eine Vorrichtung zum Korri­ gieren eines durch einen elektrischen Strahl abgeta­ steten Bildes aufweist.

Wenn ein magnetisches Feld in einer elektrischen Kom­ ponente erzeugt wird, welches ein von einer elektri­ schen Strahlenprüfvorrichtung zu messender Gegenstand ist, wird ein Fehler an dem Auftreffpunkt des Primä­ relektrons erzeugt. Es tritt daher eine Verzerrung eine Verzerrung in den Messergebnissen der Spannungs­ wellenform auf. Um diese Verzerrung zu kortigieren, wird ein Logikzustandskartierungs-Bild (LSM-Bild) verwendet. Das LSM-Bild ist ein Bild, das erhalten wurde durch Vorsehen eines Prüfmusters für elektri­ sche Komponenten wie Halbleiter und zur selben Zeit Abtasten der elektrischen Komponenten. Der Fehler des Auftreffpunktes des Primärelektrons kann gemessen werden durch Messen der Änderung des LSM-Bildes in der Zeit. Durch vorhergehende Messung des Fehlers des Auftreffpunktes der Primärelektronen kann die erfor­ derliche Korrektur für jede Phase des Prüfsignals durchgeführt werden, selbst in dem Fall der Messung der Spannungswellenform der elektrischen Komponente.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel des LSM-Bildes. Es ist wün­ schenswert, die Größe des Auftreffpunktfehlers des Primärelektrons auf der Grundlage des LSM-Bildes au­ tomatisch zu berechnen. Jedoch gibt es einen Bereich in dem LSM-Bild, in welchem das Sekundärelektron nicht erfasst wird, wie in den schwarzen Bereichen in Fig. 1 gezeigt ist. Weiterhin ist es, da ein Muster oder eine Verdrahtung wie ein Erdleiter und die Lei­ stungszuführung an der oberen und unteren Kanten des LSM-Bildes abgeschnitten ist, schwierig, den Grad der Abweichung unter Verwendung des einfachen Operations­ verfahrens zu berechnen. Zusätzlich ist es schwierig, da der Rauschabstand der LSM-Bilddaten niedrig ist, den Grad der Abweichung bei Verwendung des einfachen Operationsverfahrens zu berechnen. Daher ist es schwierig, die Größe des Auftreffpunktfehlers des Primärelektrons zu berechnen.

Somit erfasst die Bedienungsperson der elektrischen Strahlenprüfvorrichtung den Grad der Abweichung durch Bezugnahme auf das LSM-Bild und korrigiert den Auf­ treffpunkt der Primärelektronen gemäß dem Grad der Abweichung. Daher kann das Problem auftreten, daß der Grad der Abweichung nicht genau erfasst werden kann, und es muß ein komplizierter Vorgang für die Korrek­ tur durchgeführt werden.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine elektrische Strahlenprüfvorrichtung vorzusehen, welche die vorgenannten Nachteile des Standes der Technik beseitigen kann. Diese Aufgabe wird durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinatio­ nen gelöst. Die abhängigen Ansprüche definieren wei­ tere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.

Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann eine elektrische Strahlenprüfvorrichtung, welche eine elektrische Komponente prüft, vorgesehen werden. Die elektrische Strahlenprüfvorrichtung umfasst eine Signalerzeugungsvorrichtung, welche ein Signal zu der elektrischen Komponente liefert; eine elektrische Ka­ none, welche mit einem elektrischen Strahl die elek­ trische Komponente, zu welcher das von der Signaler­ zeugungsvorrichtung erzeugte Signal geliefert wird, abtastet; einen Detektor, welcher von der elektri­ schen Komponente durch deren Bestrahlung mit dem elektrischen Strahl abgestrahlte Sekundärelektronen erfasst; eine Bilderzeugungsvorrichtung, welche ein abgetastetes Bild der elektrischen Komponente unter Verwendung der von dem Detektor erfassten Sekundäre­ lektronen erzeugt; eine Auswahlvorrichtung, welche einen Teil eines Bildes des von der Bilderzeugungs­ vorrichtung abgetasteten Bildes auswählt; und eine Korrekturvorrichtung, welche das abgetastete Bild un­ ter Verwendung des von der Auswahlvorrichtung ausge­ wählten Teils eines Bildes korrigiert.

Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bildverarbeitungsvorrichtung vorgesehen, welche ein abgetastetes Bild verarbeitet. Das abgeta­ stete Bild wird erhalten durch Abtasten mittels eines elektrischen Strahls auf einer bestimmten geraden Li­ nie in einer elektrischen Komponente, zu welcher ein Signal von einer Signalerzeugungsvorrichtung gelie­ fert wird. Das abgetastete Bild kann ein elektrisches Potential auf der bestimmten gerade Linie innerhalb eines vorbestimmten Zeitbereichs zeigen. Die Bildver­ arbeitungsvorrichtung kann eine Auswahlvorrichtung aufweisen, welche einen Bereich der geraden Linie und einen Zeitbereich in dem abgetasteten Bild auswählt, sowie eine Korrekturvorrichtung, welche das gesamte abgetastete Bild korrigiert, so daß zeitliche Ände­ rung in einem von der Auswahlvorrichtung ausgewählten Bild verringert werden.

Das abgetastete Bild kann eine zeitliche Änderung des elektrischen Potentials in der elektrischen Komponen­ te zeigen, und die Auswahlvorrichtung kann einen Zeitbereich in dem abgetasteten Bild auswählen. Das abgetastete Bild kann eine zeitliche Änderung des elektrischen Potentials auf einer bestimmten geraden Linie in der elektrischen Komponente zeigen, und die Auswahlvorrichtung kann einen vorgeschriebenen Be­ reich auf der geraden Linie auswählen. Die Auswahl­ vorrichtung kann den Teil eines Bildes aus mehreren Stellen auswählen. In diesem Fall kann der Teil eines Bildes so aus mehreren Stellen ausgewählt werden, daß immer zumindest ein Bild von einem Bereich ausgewählt ist.

Die Korrekturvorrichtung kann das gesamte abgetastete Bild so korrigieren, daß jede zeitliche Änderung in dem von der Auswahlvorrichtung ausgewählten Teil ei­ nes Bildes abnimmt. Die Bildverarbeitungsvorrichtung kann weiterhin eine Anzeigevorrichtung aufweisen, welche das von der Korrekturvorrichtung korrigierte abgetastete Bild anzeigt. Die Auswahlvorrichtung kann als den Teil eines Bildes ein Bild von dem abgetaste­ ten Bild eines Bereichs mit einem größeren Kon­ trastpegel als ein vorgeschriebener Bezugswert in dem abgetasteten Bild und ein Bild nahe dieses ausgewähl­ ten Bereichs auswählen.

Die Auswahlvorrichtung kann als den Teil eines Bildes ein Bild eines Bereichs auswählen, in welchem Sekun­ därelektronen, die größer als ein vorgeschriebener Bezugswert sind, in dem abgetasteten Bild erfasst werden, sowie ein Bild nahe dem ausgewählten Bild. Die Bildverarbeitungsvorrichtung kann weiterhin eine Anzeigevorrichtung aufweisen, welche das von der Bilderzeugungsvorrichtung erzeugte abgetastete Bild anzeigt, worin die Auswahlvorrichtung als den Teil eines Bildes einen durch einen Benutzer bezeichneten Bereich innerhalb eines Bereichs des von der Anzeige­ vorrichtung angezeigten abgetasteten Bildes auswählen kann.

Diese Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale, so daß die Erfindung auch eine Unterkombination dieser be­ schriebenen Merkmale sein kann.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher er­ läutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Beispiel des Logikzustandskartierungs­ bildes,

Fig. 2 ein Blockschaltbild einer elektrischen Strahlenprüfvorrichtung,

Fig. 3 ein Beispiel eines von der Bilderzeugungs­ vorrichtung 60 erzeugten und von der Anzei­ gevorrichtung 46 angezeigten Bildes,

Fig. 4 einen Zustand, in welchem die Auswahlvor­ richtung 64 einen Teil eines Bildes in dem abgetasteten Bild auswählt,

Fig. 5 einen Zustand, in welchem die Auswahlvor­ richtung 64 einen Teil eines Bildes in dem abgetasteten Bild auswählt,

Fig. 6 das nach der Korrektur des in Fig. 1 gezeig­ ten abgetasteten Bildes unter Verwendung der Korrekturvorrichtung 62 erhaltene Bild.

Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild einer elektrischen Strahlenprüfvorrichtung. Die elektrische Strahlen­ prüfvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung weist eine Signalerzeugungsvorrichtung 56, eine elektrische Kanone 16, einen Detektor 36 und eine Verarbeitungs­ vorrichtung 42 auf. Die Signalerzeugungsvorrichtung 56 liefert ein Signal zu einer elektrischen Komponen­ te 12. Die elektrische Kanone 16 tastet mit einem elektrischen Strahl die elektrische Komponente 12 ab, zu welcher ein von der Signalerzeugungsvorrichtung 56 erzeugtes Signal geliefert wird. Der Detektor 36 er­ fasst Sekundärelektronen, welche von der elektrischen Komponente 12 abgestrahlt werden, indem diese durch einen elektrischen Strahl bestrahlt wird. Die Verar­ beitungsvorrichtung 42 erzeugt und verarbeitet ein abgetastetes Bild der elektrischen Komponente 12 un­ ter Verwendung der von dem Detektor 36 erfassten Se­ kundärelektronen.

Die elektrische Komponente 12 ist auf einem Sockel 14 innerhalb eines elektrischen Strahlenzylinders 10 be­ festigt. Ein von einer elektrischen Kanone 16 abge­ strahlter elektrischer Strahl EB wird auf die elek­ trische Komponente auf dem Sockel 14 durch eine Ma­ gnetfeldlinse 18, eine polarisierende Platte 20 zum Pulsieren, eine Öffnung 22 zum Pulsieren, eine Mag­ netfeldlinse 24, ein Polariskop 26, ein analysieren­ des Gitter 28 und eine Objektivlinse 34 hindurchge­ strahlt. Eine analysierende Spannung wird dem analy­ sierenden Gitter 28 durch den Treiber 48 zugeführt. Die von der elektrischen Komponente 12 abgestrahlten Sekundärelektronen SE werden von dem Detektor 36 er­ fasst. Der Detektor 36 wandelt die Signalgröße der Sekundärelektronen in einen Spannungswert um.

Der von dem Detektor 36 erzeugte Spannungswert wird von dem Verstärker 38 verstärkt und dann durch einen A/D-Wandler 40 in ein digitales Signal umgewandelt. Das umgewandelte Signal wird dann zu einer Verarbei­ tungsvorrichtung 42 geliefert. Eine Tastatur 44, eine Maus 50 (als ein Beispiel für eine Bezeichnungsvor­ richtung) und eine Anzeigevorrichtung 46 sind mit der Verarbeitungsvorrichtung 42 verbunden. Die Verarbei­ tungsvorrichtung 42 steuert eine Signalerzeugungsvor­ richtung 56, und als eine Folge dieser Steuerung lie­ fert die Signalerzeugungsvorrichtung 56 ein Prüfsi­ gnal zu der elektrischen Komponente 12. Die Verzöge­ rungseinheit 54 steuert den A/D-Wandler 40 entspre­ chend dem von dem Zähler 52 gelieferten Zählwert und strahlt den elektrischen Strahl EB intermittierend aus.

Die Verarbeitungsvorrichtung 42 hat eine Bilderzeu­ gungsvorrichtung 60, eine Auswahlvorrichtung 64 und eine Korrekturvorrichtung 62. Die Bildverarbeitungs­ vorrichtung 60 erzeugt ein abgetastetes Bild unter Verwendung von von dem Detektor 36 erfassten Sekundä­ relektronen. Die Auswahlvorrichtung 64 wählt einen Teil des von der Bilderzeugungsvorrichtung 60 erzeug­ ten abgetasteten Bildes aus. Die Korrekturvorrichtung 62 korrigiert das abgetastete Bild unter Verwendung des von der Auswahlvorrichtung 64 ausgewählten Teils des Bildes.

Fig. 3 zeigt ein Beispiel eines von Bilderzeugungs­ vorrichtung CO erzeugten und von der Anzeigevorrich­ tung 46 dargestellten Bildes. Während das Prüfsignal unter Verwendung der Signalerzeugungsvorrichtung 56 zu elektrischen Komponente 12 geliefert wird, werden bestimmte Linien in der elektrischen Komponente 12 wiederholt von dem elektrischen Strahl EB abgetastet. Es kann ein abgetastetes Bild erhalten werden, welche zeitliche Änderungen des elektrischen Potentials in der elektrischen Komponente 12 zeigt. Wenn ein magne­ tisches Feld auf der elektrischen Komponente 12 als ein Ergebnis des zu der elektrischen Komponente 12 gelieferten Signals erzeugt wird, wird der Verlauf des elektrischen Strahls EB durch das Magnetfeld ver­ zerrt. Daher erfasst der Detektor 36 Sekundärelektro­ nen SE an der Position der Abweichung von der ur­ sprünglichen Position. In Fig. 3 werden die Sekundä­ relektronen SE als eine abgewichene Position während des Zeitbereichs "A" bis "B" erfasst.

Wenn das elektrische Potential des Verdrahtungsmu­ sters hoch ist, nimmt die Menge der von dem Verdrah­ tungsmuster und um dieses herum emittierten Sekundä­ relektronen aufgrund des lokalen elektrischen Feldef­ fekts ab. In Fig. 3 sind die Bereiche, in welchen Se­ kundärelektronen durch den lokalen elektrischen Fel­ deffekt nicht erfasst werden, als schwarze Bereiche gezeigt. In diesen schwarzen Bereichen ist es schwie­ rig, die Position des Verdrahtungsmusters in der elektrischen Komponente zu bestimmen. Daher wählt die Auswahlvorrichtung 64 nur den Bereich aus, in welchem die Position des Verdrahtungsmusters bestimmt werden kann.

Fig. 4 zeigt einen Zustand, in welchem die Auswahl­ vorrichtung 64 einen Teil eines Bildes von dem abge­ tasteten Bild auswählt. In Fig. 4 werden Bilder von zwei Stellen mit verschiedenen Zeitbereichen und Ab­ tastlinien-Positionsbereichen ausgewählt. Es ist be­ vorzugt, daß immer zumindest ein Bereich des Bildes ausgewählt wird. Die Auswahlvorrichtung 64 wählt das Bild eines Bereichs aus, in welchem der Pegel des Kontrastes größer ist als ein vorgeschriebener Be­ zugswert, und das Bild nahe diesem Teil wird automa­ tisch als ein Teil des Bildes ausgewählt. Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel kann die Auswahlvorrich­ tung 64 einen Teil des abgetasteten Bildes auswählen, in welchem Sekundärelektronen, die größer als ein vorgeschriebener Bezugswert sind, erfasst werden, so­ wie das Bild nahe dieses Teils als ein Teil des Bil­ des.

Wenn der Benutzer den vorgeschriebenen Bereich des abgetasteten und durch die Anzeigevorrichtung 46 dar­ gestellten Bildes unter Verwendung der Bezeichnungs­ vorrichtung 50 bezeichnet, wählt die Auswahlvorrich­ tung 64 den von der Bezeichnungsvorrichtung 50 be­ zeichneten Bereich als einen Teil des Bildes aus. Hier kann die Bedienungsperson durch Verwendung der Bezeichnungsvorrichtung den Bereich auswählen, in welchem das Verdrahtungsmuster ordnungsgemäß beobach­ tet werden kann. Auf diese Weise kann, wenn die Be­ dienungsperson das Bild auswählt, ein für die Berech­ nung des Grades der Abweichung geeignetes Bild leicht in dem Fall ausgewählt werden, in welchem der Rau­ schabstand der Bilddaten so niedrig ist, daß die Aus­ wahlvorrichtung 64 das Bild nicht automatisch auswäh­ len kann.

Die Korrekturvorrichtung 62 korrigiert das gesamte abgetastete Bild, so daß die zeitlichen Änderung des von der Bezeichnungsvorrichtung 50 bezeichneten Teils des Bildes abnehmen, d. h. das Verdrahtungsmuster wird nahezu eine gerade Linie. Beispielsweise verschiebt die Korrekturvorrichtung 62 das Bezugsbild (welches das Verdrahtungsmuster enthält) in der Richtung, aus welcher die Abweichung erzeugt wurde innerhalb des vorgeschriebenen Zeitbereichs in dem von der Auswahl­ vorrichtung 64 ausgewählten Teil des Bildes. Während der Verschiebung des Bezugsbildes berechnet die Kor­ rekturvorrichtung 62 die Korrelation in der Richtung, aus welcher die Abweichung erzeugt wurde, zwischen dem Bezugsbild und dem Bild innerhalb des vorge­ schriebenen Zeitbereichs in dem Teil des Bildes. Die Korrekturvorrichtung 62 ist somit in der Lage, den Grad der Abweichung des Verdrahtungsmusters in dem vorgeschriebenen Zeitbereich zu erfassen.

Hier kann beurteilt werden, daß der Bereich, wo die Korrelation am größten ist, das Verdrahtungsmuster ist, und der Grad der Verschiebung des Bezugsbildes in diesem Bereich wird der Grad der Abweichung des Verdrahtungsmusters. Weiterhin erfasst die Korrektur­ vorrichtung 62 den Grad der Abweichung des Verdrah­ tungsmusters durch Berechnung der vorstehend gezeig­ ten Korrelation für andere Zeitbereiche in diesem Teil des Bildes. Daher kann der Grad der Abweichung des Verdrahtungsmusters in jedem Zeitbereich des Teils des Bildes erfasst werden.

Als Nächstes korrigiert die Korrekturvorrichtung 62 das gesamte abgetastete Bild auf der Grundlage des erfassten Grades der Abweichung, um den Grad der Ab­ weichung zu verringern. Hier kann das Bild in dem Be­ reich, in welchem festgestellt werden kann, daß keine Abweichung des Verdrahtungsmusters vorliegt, als das Bezugsbild verwendet werden. Die Anzeigevorrichtung 46 stellt das abgetastete und von der Korrekturvor­ richtung 62 korrigierte Bild dar. Dann wird, wenn der elektrische Strahl auf die elektrische Komponente 12 gestrahlt wird, die Bestrahlungsposition des elektri­ schen Strahls korrigiert auf der Grundlage des be­ reits erfassten Grades der Abweichung.

Fig. 5 zeigt ein anderes Beispiel des abgetasteten Bildes. Wie in dieser Figur gezeigt ist, wählt, wenn ein Verdrahtungsmuster vorhanden ist, das keinen Kon­ trast des elektrischen Potential in dem vorgeschrie­ benen Zeitbereich hat, die Auswahlvorrichtung 64 das gesamte Verdrahtungsmuster aus. Daher kann das abge­ tastete Bild wie in Fig. 4 gezeigt, korrigiert wer­ den.

Fig. 6 zeigt das durch Korrigieren des in Fig. 1 ge­ zeigten abgetasteten Bildes unter Verwendung der Kor­ rekturvorrichtung 62 erhaltene Bild. Wie in Fig. 6 gezeigt ist, ist die Verzerrung des Verdrahtungsmu­ sters entfernt, und das Verdrahtungsmuster wird nahe­ zu eine gerade Linie.

In dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel wählt die Auswahlvorrichtung 64 einen Bereich aus, welcher für die Korrekturvorrichtung 62 zur Korrektur des abgetasteten Bildes verwendet wird. Bei einem an­ deren Ausführungsbeispiel kann die Auswahlvorrichtung 64 einen Bereich auswählen, in welchem die Korrektur­ vorrichtung 62 nicht zur Korrektur des abgetasteten Bildes verwendet werden sollte. Die Korrekturvorrich­ tung 62 kann dann das abgetastete Bild unter Verwen­ dung des Bildes eines Bereichs, der nicht der von der Auswahlvorrichtung 64 ausgewählte Bereich ist, korri­ gieren. Die Auswahlvorrichtung 64 wählt in den obigen Ausführungsbeispielen einen rechteckigen Bereich aus. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann die Auswahl­ vorrichtung 64 einen Bereich mit einer gekrümmten Form auswählen.

Wie vorstehend gezeigt ist, kann der Einfluss des in den elektrischen Komponenten auftretenden elektri­ schen Potentials durch die vorliegende Erfindung leicht beseitigt werden. Daher kann die Spannung in der elektrischen Komponente schnell gemessen werden.

Claims (17)

1. Elektrische Strahlenprüfvorrichtung, welche eine elektrische Komponente (12) prüft, mit einer Si­ gnalerzeugungsvorrichtung (56), welche ein Si­ gnal zu der elektrischen Komponente (12) lie­ fert, einer elektrischen Kanone (60), welche die elektrische Komponente (12) mit einem elektri­ schen Strahl (EB) abtastet, wobei der elektri­ schen Komponente (12) das von der Signalerzeu­ gungsvorrichtung (56) erzeugte Signal zugeführt wird, einen Detektor (36), welcher aufgrund der Bestrahlung der elektrischen Komponente (12) mit dem elektrischen Strahl von der elektrischen Komponente (12) abgestrahlte Sekundärelektronen (SE) erfasst, und einer Bilderzeugungsvorrich­ tung (60), welche ein abgetastetes Bild der elektrischen Komponente unter Verwendung der von dem Detektor (36) erfassten Sekundärelektronen erzeugt, gekennzeichnet durch eine Auswahlvorrichtung (64), welche einen Teil eines Bildes des von der Bilderzeugungsvorrich­ tung (60) erzeugten abgetasteten Bildes aus­ wählt, und eine Korrekturvorrichtung (62), wel­ che das abgetastete Bild unter Verwendung des von der Auswahlvorrichtung ausgewählten Teils des Bildes korrigiert.

2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Auswahlvorrichtung (64) eine Vorrichtung zum Auswählen des Teils eines Bildes aus mehreren Stellen aufweist.

3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Teil des Bildes aus mehreren Stellen so ausgewählt wird, daß immer zumindest ein Bild von einer Stelle ausgewählt wird.

4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das abgetastete Bild eine zeitli­ che Änderung des elektrischen Potentials in der elektrischen Komponente (12) zeigt und daß die Auswahlvorrichtung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines Zeitbereichs in dem abgetasteten Bild aufweist.

5. Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das abgetastete Bild eine zeitli­ che Änderung des elektrischen Potentials auf ei­ ner bestimmten geraden Linie in der elektrischen Komponente (12) zeigt, und daß die Auswahlvor­ richtung (64) weiterhin eine Vorrichtung zur Auswahl eines vorgeschriebenen Bereichs auf der geraden Linie aufweist.

6. Prüfvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Korrekturvorrichtung (62) das gesamte abgetastete Bild so korrigiert, daß eine zeitliche Änderung des von der Auswahlvorrich­ tung (64) ausgewählten Teils eines Bildes ab­ nimmt.

7. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Anzeigevorrichtung (46), welche das von der Korrekturvorrichtung (62) korrigierte abgetastete Bild darstellt.

8. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Auswahlvorrichtung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines Bildes eines Teils mit einem Kontrastpegel, der größer als ein vor­ geschriebener Bezugswert ist, in dem ausgewähl­ ten Bild und eines Bildes nahe dem Bild des Teils als der Teil eines Bildes aufweist.

9. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Auswahlvorrichtung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines Bildes eines Teil, in welchem die Sekundärelektronen (SE) erfasst werden, die größer als ein vorgeschriebener Be­ zugswert sind, in dem abgetasteten Bild und ei­ nes Bildes nahe dem Bild des Teils als der Teil eines Bildes aufweist.

10. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Anzeigevorrichtung (46) welche das von der Bilderzeugungsvorrichtung (60) erzeugte abgetastete Bild darstellt, wobei die Auswahl­ vorrichtung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines durch eine Bedienungsperson bezeichneten Bereiches innerhalb eines Bereiches des von der Anzeigevorrichtung angezeigten abgetasteten Bil­ des als der Teil eines Bildes aufweist.

11. Bildverarbeitungsvorrichtung, welche ein durch Abtasten einer bestimmten geraden Linie in einer elektrischen Komponente (12), zu welcher ein Si­ gnal von einer Signalerzeugungsvorrichtung (56) geliefert wird, mit einem elektrischen Strahl (EB) erhaltenes abgetastetes Bild verarbeitet, worin das abgetastete Bild ein elektrisches Po­ tential auf der bestimmten geraden Linie in ei­ nem vorgeschriebenen Zeitbereich zeigt, gekennzeichnet durch eine Auswahlvorrichtung (64), welche einen Bereich der geraden Linie und einen Zeitbereich in dem abgetasteten Bild aus­ wählt, und eine Korrekturvorrichtung (62), wel­ che das abgetastete Bild insgesamt so korri­ giert, daß eine zeitliche Änderung des von der Auswahlvorrichtung (64) ausgewählten Teils des Bildes abnimmt.

12. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswahlvorrich­ tung (64) eine Vorrichtung zum Auswählen des Teils eines Bildes aus mehreren Stellen auf­ weist.

13. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil des Bildes so aus mehreren Stellen ausgewählt wird, daß im­ mer zumindest ein Bild von einer Stelle ausge­ wählt wird.

14. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine Anzeigevorrichtung (46), welche das von der Korrekturvorrichtung (62) korrigierte abgetastete Bild darstellt.

15. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswahlvorrich­ tung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines Bildes von einem Teil mit einem Kontrastpegel, der größer als ein vorgeschriebener Bezugswert ist, in dem abgetasteten Bild und eines Bildes nahe dem Bild dieses Teils als der Teil eines Bildes aufweist.

16. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswahlvorrich­ tung (64) eine Vorrichtung zur Auswahl eines Bildes von einem Teil, in welchem die Sekundäre­ lektronen (SE) erfasst werden, die größer als ein vorgeschriebener Bezugswert sind, in dem ab­ getasteten Bild, und eines Bildes nahe dem Bild dieses Teils als der Teil eines Bildes aufweist.

17. Bildverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine Anzeigevorrichtung (46), welche das von der Bilderzeugungsvorrich­ tung (60) erzeugte abgetastete Bild darstellt, worin die Auswahlvorrichtung (64) eine Vorrich­ tung zur Auswahl eines von einer Bedienungsper­ son bezeichneten Bereichs innerhalb eines Be­ reichs des von der Anzeigevorrichtung darge­ stellten abgetasteten Bildes als den Teil eines Bildes aufweist.