DE19944518A1 - Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises und Folienmaske hierfür - Google Patents
Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises und Folienmaske hierfürInfo
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Abstract
Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises oder eines Schaltkreisgehäuses auf ein Leiterbahnen (3) aufweisendes Substrat, insbesondere eine Leiterplatte, bei dem unter Einsatz einer Folien- oder Lackmaske mit in ihrer Position zu Anschlussflächen (13) der Leiterbahnen oder Anschlussleitungen des integrierten Schaltkreises bzw. Gehäuses korrespondierenden Öffnungen (15) zunächst als Flussmittel und anschließend Lotkugeln aufgebracht und durch Reflow-Löten mit den Anschlussflächen fest verbunden werden, wobei eine Folien- oder Lackmaske mit in der Draufsicht nicht-kreisförmigen Öffnungen eingesetzt wird.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auflöten eines inte
grierten Schaltkreises oder eines Schaltkreisgehäuses auf ein
Leiterbahnen aufweisendes Substrat, insbesondere eine Leiter
platte, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Weiterhin be
trifft die Erfindung eine Folienmaske zum Einsatz in einem
solchen Verfahren sowie eine Schaltkreis- Träger-Anordnung,
bei der eine solche Folienmaske vorgesehen ist.
Im Zuge der rasanten Entwicklung der Technologien zur Her
stellung und Konfektionierung von integrierten Schaltkreisen
mit immer höherem Integrationsgrad haben oberflächenmontier
bare Gehäuse (SMD = Surface Mount Devices) immer höhere Be
deutung erlangt, und die Oberflächenmontageverfahren wurde
parallel dazu ständig weiter verfeinert und rationalisiert.
Ein aktuelles Ergebnis dieser Entwicklung stellen die soge
nannten BGA(Ball Grid Array)-Schaltkreisgehäuse für inte
grierte Schaltungen dar. Derartige Gehäuse weisen eine Viel
zahl von Lotkugeln auf, die jeweils mit einer leitenden An
schlussfläche an der äußeren Bodenfläche des Gehäuses verbun
den sind. Das Gehäuse mit den Lotkugeln wird zur Verbindung
mit einer Leiterplatte (PCB = Printed Circuit Board) auf die
se aufgesetzt, und die Lotkugeln werden in einem Reflow-
Lötprozess auf die Leiterbahnen der Leiterplatte "aufge
schmolzen", wodurch eine zuverlässige elektrische und mecha
nische Verbindung geschaffen wird. Grundsätzlich kommt eine
vergleichbare Konfiguration auch für die Herstellung einer
Verbindung zwischen einem gehäuselosen Chip und einer Leiter
platte oder zur Herstellung weiterer Verbindungsaufbauten in
Betracht.
In der US-A-5 844 316 ist ein Verfahren zum Auflöten eines
BGA-Gehäuses auf eine Leiterplatte in zwei Ausführungsformen
beschrieben. Bei einer Ausführung wird auf die Bodenfläche
eines Gehäuses eine aus Kevlar oder Teflon bestehende Fixie
rungsfolie mit einer Anordnung von Öffnungen aufgebracht, die
mit einer Anordnung von leitenden Anschlussflächen des Gehäu
ses ausgerichtet sind. In die Öffnungen werden anschließend
Lotkugeln eingesetzt, die auf die Gehäuseanschlussflächen
fallen. Dann wird ein Reflow-Löten ausgeführt, wodurch die
Lotkugeln mit den Anschlussflächen des Gehäuses fest verbun
den werden, und danach wird die Fixierungsfolie entfernt. Die
Fixierungsfolie dient dazu, eine Bewegung bzw. Verschiebungen
der Lotkugeln während des Reflow-Prozesses zu verhindern. Das
mit den Lotkugeln versehende Gehäuse kann dann auf einer Lei
terplatte montiert werden, indem - wie oben bereits erwähnt -
ein zweiter Reflow-Prozess zur Verbindung mit Anschlussflä
chen auf der Leiterplatte durchgeführt wird.
In der Praxis hat sich herausgestellt, dass bei den erwähnten
Reflow-Prozessen unter Einsatz der genannten Fixierungsfolie,
die in den Fachkreisen auch als "Interposer" und nachfolgend
als Folienmaske bezeichnet wird, vielfach nur eine unzurei
chende Verbindung zwischen den Lotkugeln und den korrespon
dierenden Anschlussflächen unter der Folienmaske erreicht
wird.
Es wurde festgestellt, dass die Ursache für diese mangelhaf
ten Verbindungen wohl in Folgendem zu sehen ist: Vor dem Ein
bringen der Lotkugel wird in die Öffnungen, beispielsweise
durch PIN-Transfer oder Schablonen- oder Siebdruck ein Fluss
mittel gebracht. Während des Reflow-Prozesses erreicht das
Flussmittel seine Siedetemperatur, und das sich bildende Gas
erzeugt Auftriebskräfte, die die Lotkugel anheben. Dadurch
kann eine Berührung zwischen der Lotkugel und der Oberfläche
der Anschlussfläche verhindert werden, und die Lotkugel kann
die Anschlussfläche nicht benetzen und wird folglich nicht
mit dieser verbunden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein verbes
sertes Verfahren der gattungsgemäßen Art anzugeben, welches
insbesondere zuverlässige Lötverbindungen ergibt.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des
Anspruchs 1 gelöst.
Die Erfindung schließt den wesentlichen Gedanken ein, das an
sich bekannte Verfahren so fortzubilden, dass ein Anheben der
Lotkugel durch die im Reflow-Prozess entstehenden Auftriebs
kräfte, die von dem siedenden Lösemittel ausgehen, verhindert
wird. Sie schließt weiter den Gedanken ein, im Rahmen der
Prozessführung eine Möglichkeit zu schaffen, dass die durch
das siedende Flussmittel entwickelten Gase aus der Folienmas
ke entweichen können, ohne dabei eine nennenswerte Auftriebs
kraft gegenüber der Lotkugel zu erzeugen. In einem weiteren
Schritt schließt sie den Gedanken ein, die in der Folienmaske
vorgesehenen Öffnungen in ihrer Gestalt derart zu modifizie
ren, dass ein Austritt der Gase an der Lotkugel vorbei ohne
Weiteres möglich ist. Dies ist bei einer vom Querschnitt der
Lotkugel abweichenden Gestalt der Öffnungen (in der Drauf
sicht) erreichbar.
In einer ersten bevorzugten Ausführung haben die Öffnungen
der Folienmaske jeweils die Grundform eines Kreises mit min
destens einem vom Umfang des Kreises ausgehenden, nach außen
gerichteten Erweiterungs- bzw. Ausläuferbereich. Durch diese
Ausführung wird zum einen die Lotkugel über einen Teil ihres
Kontaktbereiches mit der Folienmaske (angenähert einem Kreis
segment positionsgenau in der Maske gehalten, und zum anderen
kann über den Ausläuferbereich der Öffnung das Flussmittel-
Gas leicht entweichen.
Bevorzugt sind drei oder vier in gleichen Winkelabständen zu
einander angeordnete Ausläuferbereiche vorgesehen, so dass
das Flussmittel-Gas gleichmäßig nach allen Seiten entweichen
kann. Hierdurch werden laterale Verschiebungen der Lotkugeln,
die u. U. durch einseitig entweichendes Flussmittel-Gas her
vorgerufen werden könnten, sicher vermieden.
Die Form der Erweiterungs- bzw. Ausläuferbereiche ist grund
sätzlich frei wählbar, solange sie die Funktion eines Kanals
zur Ableitung des im Reflow-Prozess gebildeten Flussmittel-
Gases sicher erfüllen. In einer besonders einfachen Ausfüh
rung sind sie in der Draufsicht im wesentlichen rechteckig
oder dreieckig, in einer anderen Ausführung weist ihre Au
ssenkontur eine Ellipsenabschnitts- oder Parabelform auf.
Die Ausläuferbereiche können in Bezug auf die unter der Foli
enmaske liegende Leiterbahnstruktur so angeordnet sein, dass
der Verlauf mindestens eines Ausläuferbereiches dem Verlauf
der Leiterbahn folgt, an der die Anschlussfläche (Landing
Pad) vorgesehen ist, auf die die Lotkugel aufgesetzt wird.
Hierdurch wird bei eventuellen geringfügigen Verschiebungen
der Folienmaske gegenüber der darunterliegenden Leiterplatte
noch mit großer Sicherheit ein Kontakt zwischen Lotkugel und
Leiterbahn auch dann hergestellt, wenn die Lotkugel aufgrund
des Vorsehens des Ausläuferbereiches nicht ideal zentrisch im
Kernbereich der Öffnung liegen sollte.
Die Ausläuferbereiche werden in technologisch einfacher Weise
zusammenhängend mit dem übrigen Öffnungsbereich gebildet, und
zwar insbesondere durch Ausstanzen oder fotolithografische
Techniken. Dabei kann der Querschnitt der Öffnungen in ihrem
Zentralbereich und/oder der Querschnitt der Ausläuferbereiche
im wesentlichen rechteckig sein, d. h. die Öffnungen und/oder
der Ausläuferbereiche haben in Gebrauchslage der Folienmaske
vertikale Wandungen. Alternativ hierzu kann die Querschnitts
gestalt auch trapezförmig sein, wobei sich der Öffnungsquer
schnitt in Gebrauchslage in Richtung auf das Substrat hin
verringert. Hierbei wird die Positionierungsgenauigkeit der
Lotkugeln im Falle geringfügiger Dislokationen beim Vorgang
des Einsetzens in die Folienmaske erhöht, indem die Öffnungen
in gewissem Grade eine Trichterfunktion haben.
Die Folienmaske ist beispielsweise aus einem Polyimid oder
einem Copolymeren gebildet, welches ein Polyimid enthält,
oder es kann sich bei einer Lackmaske um eine sogenannte Löt
stoppmaske handeln. Eine Polyimid-Folie wird speziell bei An
ordnungen verwendet, bei denen die Folie zugleich als Träger
für die (rückseitigen) Leiterbahnen dient und als Struktu
relement in der fertigen Anordnung verbleibt. Die Dicke der
Folienmaske (und damit die Höhe der Öffnungen) ist bevorzugt
geringer als die mittlere seitliche Erstreckung der Öffnun
gen.
Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich im
übrigen aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Be
schreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von
diesen zeigen
Fig. 1 eine schematische Querschnittsdarstellung einer Foli
enmaske mit aufgesetzter Lotkugel zur Erläuterung der Erfin
dung,
Fig. 2 eine Draufsicht auf einen Abschnitt einer Folienmaske
gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 3 eine Draufsicht auf einen Abschnitt einer Folienmaske
gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 4 eine Draufsicht auf einen Abschnitt einer Folienmaske
gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 5 eine Draufsicht auf einen Abschnitt einer Folienmaske
gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 6 eine Querschnittsdarstellung einer weiteren Anordnung
zur Erläuterung der Erfindung.
In Fig. 1 ist eine Trägerfolie ("Interposer-Tape") 1 mit
auf der unteren Oberfläche aufgebrachter Cu-Leiterbahn 3 ge
zeigt, die ein wesentliches Element eines - nicht dargestell
ten - FBGA (Fine-Pitch-Ball-Grid-Array)-Gehäuses zur Aufnahme
eines elektronischen Schaltkreises darstellt. Die Trägerfolie
1 weist eine Öffnung 5 auf, in die durch Schablonen- oder
Siebdruck- oder Pintransfer ein Flussmittel 7 eingebracht
wurde. Von der der Cu-Leiterbahn 3 gegenüberliegenden Seite
der Öffnung 5 ist eine Pb-Sn-Ag-Lotkugel 9 in die Öffnung 5
eingefügt, deren Durchmesser größer als der der Öffnung und
wesentlich größer als die Dicke der Trägerfolie 1 ist. Bei
einer typischen Anordnung dieser Art beträgt die Dichte der
aus Polyimid bestehenden Trägerfolie 1 ca. 50 µm, während der
Durchmesser der Lotkugel im Bereich zwischen 250 und 500 µm
liegt.
Die in Fig. 1 gezeigte Anordnung wird zur Herstellung einer
festen mechanischen und elektrischen Verbindung zwischen der
Lotkugel 9 und der Cu-Leiterbahn 3 einem Reflow-Lötprozess
(beispielsweise in einem geeigneten Ofen oder durch Infrarot
strahlung) unterzogen. Im Zuge dieses Reflow-Prozesses be
ginnt das Flussmittel 7 zu sieden und entwickelt Gase, die an
der Lotkugel 9 vorbei aus der Öffnung 5 entweichen.
In Fig. 2 ist eine Draufsicht einer Öffnung 15 einer (hier
nicht bezeichneten) Folienmaske gezeigt, die über einer
kreisförmigen Anschlussfläche 10 einer Cu-Leiterbahn 3 ange
ordnet ist. Die Öffnung 15 ist in der Draufsicht im wesentli
chen kreisförmig und weist einen rechteckig geformten Ausläu
ferbereich 15a auf, der mit dem Verlauf des an die Anschluss
fläche 13 angrenzenden Bereiches der Leiterbahn ausgerichtet
ist.
In Fig. 3 ist als zweite konkrete Ausführungsform eine eben
falls im wesentlichen kreisförmige Öffnung 25 über einer
kreisförmigen Anschlussfläche 23 an einer Leiterbahn 3 ge
zeigt. Bei dieser Ausführung weist die Öffnung 25 hier je
weils unter einem rechten Winkel zueinander ausgerichtete
kurze Ausläuferbereiche 25a auf.
Bei einer dritten, in Fig. 4 gezeigten Ausführung ist über
einem wiederum kreisförmigen "Landing Pad" 33 an einer Lei
terbahn 3 eine quadratische Öffnung 35 in die Folienmaske ge
stanzt. Gegenüber einer (im Querschnitt natürlich kreisförmi
gen) Lotkugel 9, wie in Fig. 1 gezeigt, wirken hier die Eck
bereiche der quadratischen Öffnung 35 als freibleibende Öff
nungsbereiche zur Ableitung von Flussmittel-Gas.
In Fig. 5 ist schließlich eine vierte Ausführungsform für die
Öffnungen in dem "Interposer-Tape" 1 (Fig. 1) über einer
kreisförmigen Anschlussfläche 43 gezeigt. Die Öffnung 45 hat
hier - wie bei der Ausführung bei Fig. 2 und 3 - einen kreis
förmigen zentralen Bereich, von dessen Umfang vier Ausläufer
bereiche 45a mit annähernd parabelförmige Umrisslinie ausge
hend.
In Fig. 6 ist in einer weiteren Querschnittsdarstellung ein
anderes Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäße Lösung
skizzenartig dargestellt. Hier ist eine Folienmaske 51 über
einer Leiterbahnstruktur 53 auf einem Träger 52 aufgebracht,
wobei die Leiterbahnstruktur 53 mit dem Träger 52 fest ver
bunden und die Folienmaske 51 hier ablösbar ausgeführt ist.
In einer im Querschnitt trapezförmigen Öffnung 55 befindet
sich auf der Leiterbahnstruktur 53 zunächst ein Flussmittel
57, und in die Öffnung 57 ist eine Lotkugel 59 eingesetzt.
Bei dieser Anordnung liegen die Dicke der Folienmaske 51, der
Durchmesser der Öffnung 55 und der Durchmesser der Lotkugel
59 in der gleichen Größenordnung.
Die Ausführung der Erfindung ist nicht auf die oben kurz er
läuterten Beispiele beschränkt, sondern auch in einer Viel
zahl von geometrischen, materialseitigen und verfahrensseiti
gen Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachmännischen Han
delns liegen. Insbesondere ist die Form der Öffnungen in der
Folienmaske vielfältig variierbar. Weiterhin fallen auch Lei
terbahn-/Anschlussleitungs-Anordnungen mit darüber liegendem
Träger mit Öffnungen zum Einsetzen einer Lotkugel in den Be
reich der Erfindung, die anderen als den oben angegebenen
Zwecken dienen.
Claims (21)
1. Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises
oder eines Schaltkreisgehäuses auf ein Leiterbahnen (3; 53)
aufweisendes Substrat, insbesondere eine Leiterplatte (52)
oder Trägerfolie, bei dem unter Einsatz einer Folien- oder
Lackmaske (1; 51) mit in ihrer Position zu Anschlussflächen
(13; 23; 33; 43) der Leiterbahnen oder Anschlussleitungen des
integrierten Schaltkreises bzw. Gehäuses korrespondierenden
Öffnungen (5; 15; 25; 45; 55) zunächst ein Flussmittel (7;
57) und anschließend Lotkugeln (9; 59) aufgebracht und durch
Reflow-Löten mit den Anschlussflächen fest verbunden werden,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Folien- oder Lackmaske mit in der Draufsicht nicht
kreisförmigen Öffnungen eingesetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Öffnungen (5; 15; 25; 35; 45; 55) der Folien- oder
Lackmaske (1; 51) die Grundform eines Kreises, mit mindestens
einem vom Kreisumfang ausgehenden Ausläuferbereich (15a; 25a;
45a; ), aufweisen.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass drei oder vier, insbesondere in gleichen Winkelabständen
zueinander angeordnete, Ausläuferbereiche (25a; 45a) vorgese
hen sind.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
dass der oder die Ausläuferbereich(e) (15a; 25a; 45a) in der
Draufsicht im wesentlichen rechteckig oder dreieckig ausge
bildet sind oder im wesentlichen eine ellipsenabschnitts-
oder parabelförmige Außenkontur aufweisen.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Verlauf mindestens eines Ausläuferbereiches (25a)
dem Verlauf der die Anschlussfläche (23) aufweisenden Leiter
bahn (3) oder Anschlussleitung in der Umgebung der Anschluss
fläche folgt.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Querschnitte der Öffnungen (5; 15; 25; 35; 45; 55)
der Folien- oder Lackmaske (1; 51) im wesentlichen rechteckig
oder trapezförmig sind.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Dicke der Folien- oder Lackmaske (1) geringer als
die mittlere seitliche Erstreckung der Öffnungen ist.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Folien- oder Lackmaske (1) auf einer Oberfläche die
Leiterbahnen (3) bzw. Anschlussleitungen und zugehörigen An
schlussflächen (13; 23; 33; 43) trägt.
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Material der Folien- oder Lackmaske (1; 51) ein Po
lyimid ist bzw. aufweist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
dass der oder die Ausläuferbereich(e) (15a; 25a; 45a) zusam
menhängend mit dem übrigen Öffnungsbereich (5; 15; 25; 35;
45; 55), insbesondere durch Ausstanzen, gebildet sind.
11. Folien- oder Lackmaske (1; 51) zum Einsatz in einem Ver
fahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises oder ei
nes Schaltkreisgehäuses auf ein Leiterbahnen (3) aufweisendes
Substrat, insbesondere eine Leiterplatte (52), (51), bei dem
auf Anschlussflächen (13; 23; 33; 43) der Leiterbahnen oder
Anschlussleitungen des integrierten Schaltkreises bzw. Gehäu
ses zunächst ein Flussmittel (7; 57) und anschließend Lotku
geln (9; 59) aufgebracht und durch Reflow-Löten mit den An
schlussflächen (13; 23; 33; 43) fest verbunden werden,
gekennzeichnet durch
in der Draufsicht nicht-kreisförmige Öffnungen (5; 15; 25;
35; 45; 55) zum gezielten Aufbringen der Lotkugeln (9; 59).
12. Folien- oder Lackmaske nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Öffnungen (5; 15; 25; 45; 55) die Grundform eines
Kreises, mit mindestens einem vom Kreisumfang ausgehenden
Ausläuferbereich (15a; 25a; 45a), aufweisen.
13. Folien- oder Lackmaske nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,
dass drei oder vier, insbesondere in gleichen Winkelabständen
zueinander angeordnete, Ausläuferbereiche (15a; 25a; 45a)
vorgesehen sind.
14. Folien- oder Lackmaske nach Anspruch 12 oder 13,
dadurch gekennzeichnet,
dass der oder die Ausläuferbereich(e) (15a; 25a; 45a; ) in der
Draufsicht im wesentlichen rechteckig oder dreieckig ausge
bildet sind oder
im wesentlichen eine ellipsenabschnitts- oder parabelförmige
Außenkontur aufweisen.
15. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 12 bis
14,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Verlauf mindestens eines Ausläuferbereiches (25a)
dem Verlauf der die Anschlussfläche (23) aufweisenden Leiter
bahn (3) oder Anschlussleitung in der Umgebung der Anschluss
fläche folgt.
16. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 11 bis
15,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Querschnitte der Öffnungen (5; 55; 15; 25; 35; 45)
im wesentlichen rechteckig oder trapezförmig sind.
17. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 11 bis
16,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Dicke geringer als die mittlere seitliche Erstreckung
der Öffnungen (5; 55; 15; 25; 35; 45) ist.
18. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 11 bis
17,
gekennzeichnet durch
fest auf einer Oberfläche angeordnete Leiterbahnen (3) bzw.
Anschlussleitungen und zugehörige Anschlussflächen (15; 25;
35; 45).
19. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 11 bis
18,
dadurch gekennzeichnet,
dass ihr Material ein Polyimid aufweist.
20. Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 12 bis
19,
dadurch gekennzeichnet,
dass der oder die Ausläuferbereich(e) (15a; 25a; 45a; ) zusam
menhängend mit dem übrigen Öffnungsbereich, insbesondere
durch Ausstanzen, gebildet sind.
21. Schaltkreis-Träger-Anordnung, mit einem Schaltkreis
oder Schaltkreisgehäuse, der oder das auf ein Substrat, ins
besondere eine Leiterplatte (52) oder Trägerfolie, welches
Leiterbahnen (30; 53) aufweist, aufgelötet ist, wobei die
Leiterbahnen oder Anschlussleitungen des integrierten Schalt
kreises bzw. Gehäuses Anschlussflächen (13; 23; 33; 43) auf
weisen und zwischen dem Träger und dem Schaltkreis oder
Schaltkreisgehäuse eine Folien- oder Lackmaske (1; 51) vorge
sehen ist, welche in ihrer Position zu den Anschlussflächen
korrespondierende Öffnungen (5; 15; 25; 45; 55) aufweist,
gekennzeichnet durch
eine Folien- oder Lackmaske nach einem der Ansprüche 11-20.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999144518 DE19944518A1 (de) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises und Folienmaske hierfür |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999144518 DE19944518A1 (de) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises und Folienmaske hierfür |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19944518A1 true DE19944518A1 (de) | 2000-12-21 |
Family
ID=7922309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1999144518 Withdrawn DE19944518A1 (de) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Verfahren zum Auflöten eines integrierten Schaltkreises und Folienmaske hierfür |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19944518A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE10138042A1 (de) * | 2001-08-08 | 2002-11-21 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE10329101A1 (de) * | 2003-06-27 | 2005-01-27 | eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH | Halbleiteranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung |
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