DE19920533A1 - Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem Photovervielfacher - Google Patents
Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem PhotovervielfacherInfo
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Abstract
Zur Erweiterung des Meßbereichs weist ein auf einem Photovervielfacher (15) mit einer Photokathode (16) und einem Dynodensystem (D) basierendes Meßgerät mehrere Betriebsmodi auf. Je nach Lichtintensität wird zur Ermittlung des Meßwertes die Rate der Anodenimpulse desPhotoelektronenvervielfachers (15), die Größe des Gleichstroms der Photokathode (16) oder beides verwendet. DOLLAR A
Description
Die Erfindung betrifft ein Meßgerät zur Messung der Lichtintensi
tät nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Photovervielfacher werden heute häufig dann eingesetzt, wenn es
darum geht, geringe Lichtintensitäten, wie sie beispielsweise bei
Chemo- oder Bioluminiszenzeffekten auftreten, quantitativ zu messen.
Dabei werden die Photovervielfacher häufig im Photon-Counting-Mode
betrieben, da sich dadurch eine große Meßempfindlichkeit und eine
hohe Stabilität erreichen läßt.
Das dabei angewandte Meßprinzip ist folgendes:
Photonen mit einer gewissen Mindestenergie, die auf eine Photokatho de auftreffen, können durch Photoeffekt Elektronen aus dieser Photokathode auslösen. Die meisten von dieser Photokathode emittierten "primären" Elektronen werden mittels eines Dynodensystems vervielfacht. Am Ende dieses Dynodensystems befindet sich eine Anode, auf der diese Elektronenlawinen enden. Somit können auf der Photokathode ankommende Photonen Stromimpulse an der Anode auslösen. Diese Stromimpulse werden in analoge Spannungsimpulse umgewandelt. Anschließend werden die zu zählenden Spannungsimpulse mittels eines Diskriminators ausgewählt und in einem Zähler gezählt.
Photonen mit einer gewissen Mindestenergie, die auf eine Photokatho de auftreffen, können durch Photoeffekt Elektronen aus dieser Photokathode auslösen. Die meisten von dieser Photokathode emittierten "primären" Elektronen werden mittels eines Dynodensystems vervielfacht. Am Ende dieses Dynodensystems befindet sich eine Anode, auf der diese Elektronenlawinen enden. Somit können auf der Photokathode ankommende Photonen Stromimpulse an der Anode auslösen. Diese Stromimpulse werden in analoge Spannungsimpulse umgewandelt. Anschließend werden die zu zählenden Spannungsimpulse mittels eines Diskriminators ausgewählt und in einem Zähler gezählt.
Ein prinzipielles Problem derartiger Meßgeräte ist, daß bei hohen
Lichtintensitäten die Anodenimpulse so dicht beieinander liegen, daß
sie nicht mehr getrennt werden können, wodurch der Meßbereich nach
oben begrenzt ist.
Wenn ein großer Meßbereichsumfang gefordert ist, das heißt wenn so
wohl kleine als auch große Intensitäten zu messen sind, wird ein
solcher Photovervielfacher häufig im Strom-Mode betrieben, das
heißt, anstatt einzelner Impulse wird der Anoden-Gleichstrom gemes
sen. In dieser Betriebsart läßt sich zwar weder dieselbe Empfind
lichkeit, noch dieselbe Stabilität wie im Counting-Mode erreichen,
es tritt jedoch keine zeitauflösungsbedingte Meßbereichslimitierung
auf. Auf Grund von Leckströmen und da der Anodenstrom einen gewissen
Grenzwert nicht überschreiten darf, ist die erzielbare Dynamik je
doch geringer als im Counting-Mode. Daher wird in der Regel mit
mehreren umschaltbaren Meßbereichen gearbeitet, wobei die Elektro
nenverstärkung über die Dynodenspannungen eingestellt werden kann.
Eine Möglichkeit, den dynamischen Meßbereichsumfang eines Licht
detektors mit Photovervielfacher zu erweitern, besteht darin, paral
lel sowohl die Anoden-Impulse im Photocounting-Mode zu erfassen als
auch den mittleren Anodenstrom zu messen und je nach Lichtintensität
die eine oder die andere Größe als Meßgröße zu verwenden.
Zur Erweiterung des Meßbereichsumfanges zu höheren Intensitäten hin,
hat Thorn EMI daher z. B. einen Photocounter im Lieferprogramm, bei
dem zusätzlich zur Erfassung der Rate der Photoelektronen im Photon-
Counting-Mode der mittlere Anodenstrom mit Hilfe eines Strom-Fre
quenzwandlers gemessen wird. Bei entsprechend hohen Intensitäten
wird dabei das Signal des Strom-Frequenzwandlers anstelle der Rate
der Anodenimpulse verwertet.
Die Kathode des Photovervielfachers wird dabei unvorteilhafterweise
auf Hochspannungspotential betrieben. Diese Betriebsart erhöht
bekanntermaßen die Gefahr des Auftretens erhöhter und schwankender
Darkraten, so daß bei dieser Betriebsart entweder mit einem ent
sprechend erhöhten konstruktiven Aufwand die gesamte Umgebung des
Glaskolbens, insbesondere auch im Kathodenbereich, auf Kathoden
potential anzuheben ist oder die Schaltung zur Erfassung des
Anodenstroms (z. B. I/f-Wandler) auf Hochspannungspotential betrieben
werden müßte.
Die relativ starken Schwankungen der Verstärkung des Dynodensystems
mit der Zeit, mit der Temperatur und auch mit der Lichtintensität
(Sättigungs-, Ermüdungs- und Aufladungseffekte) gehen voll in das
Ergebnis der Anodenstrommessung ein, so daß dabei im Strommeßbereich
nur relativ unstabile Meßwerte erreicht werden. Es wird daher zum
Ausgleich der Driften in relativ kurzen zeitlichen Abständen eine
Kalibrierung des Anodenstromsignales in Relation zur Rate im Photon-
Counting-Mode erforderlich.
Auch wird bei der Anodenstrommessung der nutzbare Gewinn an Meßbe
reichsumfang durch die Größe des maximal zulässigen Anodenstromes
der für Photoncounting einsetzbaren Photovervielfacher von nur ca.
100 µA begrenzt.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Auf
gabe zugrunde, ein Meßgerät zur Messung der Lichtintensität zu
schaffen, das einerseits die Empfindlichkeit und Genauigkeit eines
im Counting Mode betriebenen Photoelektronenvervielfachers hat und
mit dem andererseits noch Lichtintensitäten gemessen werden können,
die ein Mehrfaches über der durch die maximal erreichbare Zeitauf
lösung bestimmten oberen Meßbereichsgrenze eines im Photocounting
Mode betriebenen Photoelektronenvervielfachers liegen, und dies bei
einer dem Photocounting Mode entsprechenden Stabilität und Genauig
keit der Meßwerte.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Der Grundgedanke der Erfindung ist es, je nach Größe des zu
messenden Signals die Lichtintensität entweder mittels des im
Counting-Mode betriebenen Photoelektronenvervielfachers oder über
eine Messung des Kathodenstroms des Photomultipliers zu bestimmen.
Dabei dient die Photokathode einerseits als Primärelektronenlie
ferant für die Dynodenkette des Elektronenvervielfachers. Weiterhin
ist die Photokathode so beschaltet, daß der unverstärkte Photostrom
in völliger Analogie zum Funktionsprinzip einer Photozelle gemessen
werden kann.
Da die Messung des Kathodenstroms unabhängig von der Elektronenver
stärkung im Dynodensystem ist, kann bei hohen Lichtintensitäten das
Dynodensystem abgeschaltet, oder zumindest die anliegende Spannung
abgesenkt werden, ohne daß die Messung dadurch beeinflußt wird.
Ebenfalls ist es denkbar, in bekannter Weise eine oder mehrere Dy
noden umzupolen, um die Verstärkung des Dynodensystems zu begrenzen.
Dadurch kann eine Beschädigung des Dynodensystems und der Anode bei
hohen Lichtintensitäten verhindert werden, ohne daß der Meßbereich
dadurch beschränkt würde. Die Absenkung der Dynodenspannungen ab
einer gewissen Lichtintensität und damit der Elektronenverviel
fachung kann durch eine Größe erfolgen, welche aus dem Kathodenstrom
abgeleitet ist.
Die Verwendung des Photokathodenstroms zur Bestimmung der entspre
chenden Lichtintensität ist deshalb besonders vorteilhaft, weil der
Zusammenhang zwischen Kathodenstrom und Lichtintensität über viele
Größenordnungen linear ist. Der Proportionalitätsfaktor dieses line
aren Zusammenhangs ist durch die Quantenausbeute des Kathodenmate
rials bestimmt. Sättigungs- und Ermüdungseffekte, wie sie im Dynoden
system bei hohen Strömen auftreten und die Interpretation der
entsprechenden Meßwerte schwierig gestalten, wirken sich auf die
Größe des Kathodenstromes nicht aus.
Die Verwendung des unverstärkten Kathodenstroms als Meßsignal bei
hohen Intensitäten hat den ganz besonderen Vorteil, daß alle
störenden Effekte, die im Zusammenhang mit dem Verstärkungsprozeß im
gesamten Dynodensystem entstehen können, sich prinzipiell nicht
auswirken können.
Besonders genaue Meßergebnisse können gemäß Anspruch 4 erzielt
werden, demgemäß im Überlappungsbereich der Meßbereiche eine
Kalibrierung des aus dem Kathodenstrom abgeleiteten Signals erfolgt.
Für die Umsetzung des erfindungsgemäßen Meßprinzips können sowohl
konventionelle als auch hybride Photovervielfacherröhren eingesetzt
werden.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus weiteren
Unteransprüchen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher er
läutert. Es zeigen:
Fig. 1 den Signalverlauf bei niedriger Lichtintensität des Ka
thodenstroms (a), des Anodensignals (b) und des Diskri
minatorsignals (c),
Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellten Signale bei einer Licht
intensität, die im Überlappungsbereich liegt,
Fig. 3 die den Fig. 1 und 2 entsprechenden Signale bei
hoher Lichtintensität,
Fig. 4 den Aufbau eines erfindungsgemäßen Meßgerätes anhand
eines Blockschaltbildes,
Fig. 5 eine bevorzugte Ausführungsform des Kathodenanschlusses.
Die in den Fig. 1-3 dargestellten Signalverläufe sind als exempla
risch anzusehen.
Genaue Beschreibung der Erfindung anhand von Beispielen:
In Fig. 4 ist ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Meßgeräts schematisch dargestellt.
Fig. 4 zeigt u. a. schematisch einen Photoelektronenvervielfacher 15.
Er beinhaltet eine Anode 3, eine Kathode 16 sowie das Dynodensystem
D. Das Dynodensystem D wird vom Spannungsteiler und Hoch
spannungsfilter 2 versorgt. Die erfindungsgemäße Beschaltung und
die erfindungsgemäße Signalauswertung wird im folgenden erläutert.
Bei geringen Lichtintensitäten wird das Meßgerät wie ein konven
tioneller Photoelektronenvervielfacher im Counting Mode betrieben.
Die Anodenimpulse 4 werden über einen Hochspannungskondensator 5 aus
der Anode 3 ausgekoppelt und mit Hilfe eines Verstärkers 6 soweit
verstärkt und geformt, daß sie zur Ansteuerung eines Amplitudendis
kriminators 7 geeignet sind. Am Ausgang dieses Amplitudendiskrimi
nators 7 bewirkt jeder Eingangsimpuls, dessen Amplitude einen be
stimmten Grenzwert Us überschreitet einen Ausgangsimpuls, der über
eine Impulsformerschaltung 8 in einen digitalen Impuls mit vorgege
bener Amplitude und Dauer geformt wird. Diese Impulse können z. B. in
den Eingang eines in einem Microcontroller 14 enthaltenen Impulszäh
lers eingelesen und ausgewertet werden. Ihre mittlere Impulsrate ist
der Lichtintensität proportional (vergl. auch Fig. 1b).
Bei geringen Lichtintensitäten ist der Photostrom Ik (photo) der
Photokathode 16 im allgemeinen klein gegenüber den Dunkelströmen Ik
(dark), so daß der Kathodenstrom zur Messung der Lichtintensität
ungeeignet ist (vergl. Fig. 1a). Da jedoch, wie später beschrieben
wird, bei hohen Lichtintensitäten der Kathodenstrom zur Bestimmung
der Lichtintensität herangezogen wird, ist eine genaue Kenntnis des
Dunkelstroms erwünscht. Eine bevorzugte Möglichkeit zur Feststellung
dieses Dunkelstroms Ik (dark) ist folgende: Der Kathodenstrom wird
stets dann gemessen, wenn die Anodenimpulsrate unter einem
bestimmten Grenzwert liegt. Dieser Grenzwert wird im allgemeinen so
gewählt werden, daß der Photostrom Ik (photo) deutlich kleiner als
der Dunkelstrom Ik (dark) ist. Wenn die entsprechende Schwelle so
niedrig gewählt wird, daß der entsprechende Photostrom mehr als zwei
Größenordnungen kleiner als der entsprechende Dunkelstrom ist, kann
die so ermittelte Stromstärke als die Stärke des Dunkelstroms
angesehen werden. Die Genauigkeit dieser Messung kann jedoch noch
dadurch verbessert werden, daß die gemessene Anodenimpulsrate gemäß
einer der weiter unten beschriebenen Methoden in die Größe des dabei
auftretenden Kathodenphotostroms Ik (photo) umgerechnet und von dem
Gesamtkathodenstrom Ik (gesamt) abgezogen wird. Die Differenz
zwischen dem gemessenen Gesamtkathodenstrom Ik (gesamt) und dem aus
der Anodenimpulsrate abgeleiteten Kathodenphotostrom Ik (photo)
ergibt dann einen sehr genauen Wert des aktuellen Dunkelstroms Ik
(dark). Der so bestimmte Dunkelstrom Ik (dark) wird laufend in dem
Mikrocontroller 14 gespeichert und aktualisiert.
Im Überlappungsbereich ist die Lichtintensität so groß, daß der Ka
thodenphotostrom Ik (photo) etwa von der gleichen Größenordnung wie
der Dunkelstrom Ik (dark) ist (vergl. Fig. 2a), wodurch bei genauer
Kenntnis des Dunkelstroms Ik (dark) eine Bestimmung der
Lichtintensität mittels des Kathodenphotostroms Ik (photo) möglich
ist. Andererseits ist die Lichtintensität noch so klein, daß fast
alle Anodenimpulse voneinander getrennt werden können (vergl. Fig.
2b). Dadurch ergibt sich die Möglichkeit, das eine Meßsignal mit
Hilfe des anderen zu kalibrieren. Da ein Photoelektronenverviel
facher im Photon-Counting-Mode im allgemeinen sehr genaue Meßwerte
liefert, ist es vorteilhaft, das Photokathodengleichstromsignal
mittels des Anodenimpulssignals zu kalibrieren. Da im Uberlappungs
bereich Anodenimpulsrate, leckstromkompensierter Kathodenphotostrom
Ik (photo) und Lichtintensität linear zusammenhängen, kann somit
leicht der Proportionalitätsfaktor zwischen Kathodenphotostrom Ik
(photo) und Lichtintensität ermittelt werden. Die Berechnung dieses
Proportionalitätsfaktors kann z. B. mittels Ausgleichsrechnung im
Mikrocontroller 14 erfolgen. Auf diese Weise erhält man eine Art
"Online Kalibrierung" des Kathodenstroms.
Bei großen Lichtintensitäten ist die Rate der Anodenimpulse zur
Bestimmung der Lichtintensität unbrauchbar, da die einzelnen Impulse
nicht mehr voneinander getrennt werden können (vergl. Fig. 3b). Hier
wird der Kathodenstrom Ik (gesamt) zur Bestimmung der
Lichtintensität herangezogen. Dazu wird zunächst, wie oben
beschrieben, der gespeicherte Dunkelstrom Ik (dark) vom Gesamtstrom
Ik (gesamt) abgezogen, um den leckstromkompensierten Kathodenstrom
(d. h. den Kathodenphotostrom) Ik (photo) zu erhalten. Dieser wird
dann mittels eines Proportionalitätsfaktors, der wie oben
beschrieben bestimmt werden kann, in die entsprechende
Lichtintensität umgerechnet.
Die Messung des Kathodenstroms Ik (gesamt) geschieht mittels eines
Strom/Spannungswandlers 9. Die so erhaltenen Spannungssignale werden
mit einem Analog-Digitalkonvektor 11 digitalisiert und in den µ-
Controller 14 eingelesen.
Die so erhaltenen Ergebnisse können mittels Mikrocontroller 14 in
beliebige Einheiten umgerechnet und ausgegeben werden.
Um alle Vorteile des erfindungsgemäßen Meßgeräts optimal nutzen zu
können, ist es wünschenswert, den Überlappungsbereich der beiden
Meßbereiche möglichst groß zu machen. Es ist daher vorgesehen, den
Meßbereich im Counting Mode durch spezielle Formung des Anodenim
pulses auf den größtmöglichen Umfang zu steigern. Solche Methoden
sind bereits bekannt, z. B. Differenzierung mit Pole Zero Compensa
tion der Anodenimpulse oder rechnerische Online Totzeit-Korrek
turen.
Weiterhin ist es erwünscht den Kathodenleckstrom so klein und so
stabil wie möglich zu halten. Dazu sind im Kathodenbereich einige
besondere konstruktive Merkmale vorgesehen. Die Anschlußstifte 21 am
Sockel des Photoelektronenvervielfachers ist mit einem Potentialring
22 umgeben, dessen Potential gleich dem der Kathode 16 ist. Der
Potentialring 22 ist über ein Verbindungsteil 23 mit einer
leitfähigen Beschichtung 24 des Glaskolbens verbunden. Der Anschluß
dieses Potentialrings kann über die bei Photocountern übliche
leitfähige Beschichtung des Glaskolbens erfolgen. Einige weitere
günstige Konstruktionsmerkmale ergeben sich aus Unteransprüchen.
In einer speziellen Ausführung des erfindungsgemäßen Meßgeräts ist
eine Leuchtdiode 13 vorgesehen, die über ein Steuersignal des Mikro
controllers 14 auf eine Intensität im Überlappungsbereich einge
stellt wird, um somit die oben beschriebene Kalibrierung zu
erreichen.
In einer weiteren speziellen Ausführungsform ist eine Leuchtdiode 13
zur Kalibrierung vorgesehen. Vorzugsweise wird die Leuchtstärke der
Leuchtdiode so gewählt, daß das Signal des Meßgeräts im
Überlappungsbereich liegt.
Den oben beschriebenen Erfindungsgedanken kann man dahingehend ver
allgemeinern, daß in Abhängigkeit von der Lichtintensität entweder
der Kathodenstrom oder ein Signal verwendet wird, welches aus dem
Anodenstrom abgeleitet ist. Es ist also auch denkbar, anstatt der
Anodenimpulsrate den Anodenstrom als Meßgröße heranzuziehen. Der
wesentliche Unterschied ist, daß die Messung mittels Anodenstrom
nicht durch das Zeitauflösungsvermögen, sondern durch Nichtlineari
täten bzw. der maximalen Strombelastbarkeit der Dynodenkette und der
Anode begrenzt wird. Es gibt jedoch auch hier einen Überlappungs
bereich, in dem die Lichtintensität sowohl mittels des Kathoden
stroms, als auch mittels des Anodenstroms erfolgen kann. Es ist also
ebenfalls eine Kalibrierung des Kathodenstroms mittels des Anoden
stroms möglich.
Die Anwendung einer solchen Vorrichtung ist vor allem dann sinnvoll,
wenn über einen großen Meßbereich gemessen werden soll, die
niedrigste zu messende Lichtintensität jedoch relativ hoch ist.
Claims (13)
1. Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem
Photovervielfacher (15) mit einer Photokathode (16) und einem
Dynodensystem (D),
dadurch gekennzeichnet, daß zur Erfassung des Meßwertes je nach
Intensität des zu messenden Lichts entweder die Rate der Anoden
impulse des Photoelektronenvervielfachers (15), die Größe des
Gleichstroms der Photokathode (16), oder beides verwendet wird.
2. Meßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe
des Dunkelstroms einschließlich der Leckströme der Meßeinrichtung
ermittelt, gespeichert und zur Korrektur der Meßwerte verwendet
wird, um den leckstromkompensierten Kathodenphotostrom (Ik
(photo)) bestimmen zu können.
3. Meßgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß über den
Photon-Counting Mode die Lichtintensität zum Zeitpunkt der Er
fassung des Dunkelstroms (Ik (dark)) kontrolliert und in der
Weise berücksichtigt wird, daß oberhalb eines gewissen
Intensitätswertes keine Erfassung erfolgt und unterhalb dieses
Intensitätswertes die gemessenen Werte entsprechend der Rate der
Anodenimpulse korrigiert werden.
4. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Verhältnis der Rate der Anodenimpulse zu der
Größe eines entsprechenden leckstromkompensierten Kathoden
photostroms (Ik (photo)) durch eine Messung im
Überlappungsbereich der Meßbereiche bestimmt wird.
5. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Meßergebnis unabhängig vom Meßverfahren in ein
heitlichen Einheiten übertragen wird.
6. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß die mit den Kathoden (16) verbundenen Anschlußstifte
(21) jeweils von einem Potentialring (22) umgeben sind, wel
cher dasselbe Potential wie die entsprechende Kathode (16)
besitzt.
7. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß unterhalb eines ersten Grenzwertes von Ik (photo)
die Lichtintensität durch den Counting-Mode oberhalb dieses
Grenzwertes durch den Kathoden-Gleichstrom bestimmt wird.
8. Meßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dyno
denspannungen oberhalb eines zweiten Grenzwertes, welcher aus dem
Kathoden-Gleichstrom abgeleitet ist, abgesenkt wird, oder daß
zwischen zwei oder mehreren Dynoden umgepolt wird, wobei das
Potential der übrigen Dynoden auf dem normalen Arbeitspotential
gehalten wird.
9. Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem Photoverviel
facher (15) mit einer Photokathode (16) und einem Dynodensystem
(D), dadurch gekennzeichnet, daß zur Erfassung des Meßwertes je
nach Intensität des zu messenden Lichts entweder der Anodenstrom
des Photoelektronenvervielfachers (15), die Größe des
Gleichstroms der Photokathode (16), oder beides verwendet wird.
10. Meßgerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe
des Dunkelstroms einschließlich der Leckströme der Meßeinrichtung
ermittelt, gespeichert und zur Korrektur der Meßwerte verwendet
wird, um den leckstromkompensierten Kathodenphotostrom (Ik
(photo)) bestimmen zu können.
11. Meßgerät nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das
Meßergebnis unabhängig vom Meßverfahren in einheitlichen
Einheiten übertragen wird.
12. Meßgerät nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeich
net, daß die mit den Kathoden (16) verbundenen Anschlußstifte
(21) jeweils von einem Potentialring (22) umgeben sind, welcher
dasselbe Potential wie die entsprechende Kathode (16) besitzt.
13. Meßgerät nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeich
net, daß zur Kalibrierung eine LED (13) im Meßgerät integriert
ist.
Priority Applications (1)
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DE1999120533 DE19920533C2 (de) | 1999-05-05 | 1999-05-05 | Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem Photovervielfacher |
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DE19920533C2 DE19920533C2 (de) | 2001-05-23 |
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ID=7906958
Family Applications (1)
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DE1999120533 Expired - Fee Related DE19920533C2 (de) | 1999-05-05 | 1999-05-05 | Meßgerät zur Messung der Lichtintensität mit einem Photovervielfacher |
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1999
- 1999-05-05 DE DE1999120533 patent/DE19920533C2/de not_active Expired - Fee Related
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