DE19902625A1 - Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls - Google Patents
Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines LichtstrahlsInfo
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Abstract
Eine Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls (1), insbesondere zur Detektion des Lichtstrahls (1) eines Laserscanners (2) im Detektionsstrahlengang eines Konfokalmikroskops, ist zur Realisierung eines einfachen Aufbaus bei geringer Baugröße und unter Vermeidung des Defokussiereffektes gekennzeichnet durch eine Anordnung (3) zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls (1) und eine Anordnung (4) zur Aufspaltung des aufgefächerten Strahls (5) aus der Dispersionsebene (6) heraus in Spektralbereiche (7, 8, 9) und anschließenden Detektion der ausgespaltenen Spektralbereiche (7, 8, 9).
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spek
tralbereiche eines Lichtstrahls, insbesondere zur Detektion des Lichtstrahls eines
Laserscanners im Detektionsstrahlengang eines Konfokalmikroskops.
Vorrichtungen zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Licht
strahls sind aus der Praxis seit geraumer Zeit bekannt, und zwar unter der Bezeich
nung "Multibanddetektor". Dabei handelt es sich um aufwendige optische Anordnun
gen, die mit zusätzlicher Optik eine Mehrfachfokussierung ermöglichen. Solche An
ordnungen erfordern zur spektralen Multibanddetektion einen ganz erheblichen
Raum, verursachen demnach eine nicht unbeachtliche Baugröße. Darüber hinaus
tritt dort regelmäßig ein Defokussierungseffekt auf, so daß ein zusätzliches Nach
fokussieren mit der zusätzlichen Optik - bezogen auf den jeweiligen Spektralbereich-
erforderlich ist.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur gleichzeitigen
Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls, insbesondere zur Detektion
des Lichtstrahls eines Laserscanners im Detektionsstrahlengang eines Konfokalmi
kroskops, derart auszugestalten und weiterzubilden, daß bei einfachem Aufbau eine
geringe Baugröße realisierbar ist, wobei der im Stand der Technik auftretende Defo
kussiereffekt weitestgehend vermieden sein soll.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung der gattungsgemäßen Art löst die voranstehende
Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches 1. Danach ist eine solche Vor
richtung gekennzeichnet durch eine Anordnung zum spektralen Auffächern des
Lichtstrahls und eine Anordnung zur Aufspaltung des aufgefächerten Strahls aus der
Dispersionsebene heraus in Spektralbereiche und anschließenden Detektion der
aufgespaltenen Spektralbereiche (Spalt-/Detektoranordnung).
Erfindungsgemäß ist erkannt worden, daß die gleichzeitige Detektion mehrerer
Spektralbereiche eines Lichtstrahls dann ohne weiteres möglich ist, wenn man den
Lichtstrahl zunächst spektral auffächert und anschließend aus der Dispersionsebene
heraus eine Aufspaltung des aufgefächerten Strahls vornimmt. Die Aufspaltung des
aufgefächerten Strahls aus der Dispersionsebene heraus erfolgt in erfindungsge
mäßer Weise mittels einer besonderen optischen Anordnung, wobei die in Spektral
bereiche aufgespalteten Teilstrahlen bzw. die Spektralbereiche selbst detektiert wer
den, und zwar gleichzeitig. Wesentlich ist hier, daß der eigentlichen Aufspaltung in
Spektralbereiche ein Auffächern des Lichtstrahls vorangeht, so daß die Aufspaltung
aus der Dispersionsebene heraus am aufgefächerten Strahl stattfinden kann. Eine
Mehrfachfokussierung mit zusätzlicher Optik ist hier jedenfalls nicht erforderlich.
Wie bereits zuvor ausgeführt, sind erfindungsgemäß zwei optische Anordnungen
vorgesehen, nämlich einmal zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls und ein an
deres Mal zum Aufspalten und anschließenden Detektieren. Der Anordnung zum
spektralen Auffächern des Lichtstrahls kann ein Pinhole vorgeschaltet sein, auf das
der ankommende Lichtstrahl fokussiert ist, wobei das Pinhole einem Laserscanner
unmittelbar nachgeschaltet sein kann. Wesentlich ist jedenfalls die Fokussierung des
Lichtstrahls auf das im Strahlengang angeordnete Pinhole.
Von dort aus verläuft der divergente Strahl zu der Anordnung zum spektralen Auffä
chern des Lichtstrahls, wobei diese Anordnung Fokussieroptiken und Dispersions
mittel umfaßt. Die Dispersionsmittel können im Hinblick auf eine besonders einfache
Konstruktion als Prisma ausgeführt sein. Vor und nach den Dispersionsmitteln bzw.
dem Prisma ist in weiter vorteilhafter Weise jeweils eine Fokussieroptik angeordnet,
die wiederum eine Linsenanordnung umfassen kann.
Der von dem Pinhole zum Prisma verlaufende divergente Strahl wird durch die Fo
kussieroptiken in die später noch zu erläuternde Spalt-/Detektoranordnung fokussiert,
von wo aus die Aufspaltung in Spektralbereiche stattfindet.
Insbesondere im Hinblick auf eine geringe Baugröße sind der Anordnung zum Auffä
chern des Lichtstrahls Reflexionsmittel zur Rückfaltung des aufgefächerten Strahls
nachgeordnet, wobei es sich bei den Reflexionsmitteln um eine verspiegelte Fläche
bzw. um einen Spiegel handeln kann. Jedenfalls erlaubt die zumindest einmalige
Rückfaltung des aufgefächerten Strahls eine geringe Baugröße der gesamten Vor
richtung.
Wie bereits zuvor erwähnt, ist der Lichtstrahl mittels der Fokussieroptiken in die
Spalt-/Detektoranordnung fokussierbar. Diese Spalt-/Detektoranordnung ist demnach
im Strahlengang des aufgefächerten Strahls angeordnet und umfaßt Spaltblenden
bildende Reflexionsflächen, die den aufgefächerten Strahl einerseits durch Spaltbil
dung und andererseits durch Reflexion aus der Dispersionsebene heraus in mehrere
Teilstrahlen und somit die einzelnen Spektralbereiche auf die entsprechenden De
tektoren abbilden. Mit anderen Worten dienen die Spaltblenden zum teilweisen
Durchlassen des dort ankommenden Strahls - entsprechend der Blenden breite - und
anderseits zur Reflexion an den dort vorgesehenen Reflexionsflächen, so daß
bereits bei einer Spaltblende und zwei Reflexionsflächen (beidseits je eine Re
flexionsfläche zur Bildung der Spaltblende) eine Zerlegung in drei Teilstrahlen und
somit in drei Spektralbereiche möglich ist. Diese Aufteilung erfolgt am aufgefächerten
Strahl aus dessen Dispersionsebene heraus. Selbstverständlich kann sowohl der an
der Spaltblende durchgelassene Teilstrahl als auch der reflektierte Teilstrahl aber
mals auf eine Spaltblende auftreffen und dort weiter gemäß voranstehender Erläute
rung zerlegt werden. Die Zerlegung in mehrere Teilstrahlen ist somit durch Mehr
fachanordnung von Spaltblenden mit entsprechenden Reflexionsflächen möglich.
Die aufgespaltenen Teilstrahlen gelangen unmittelbar zu Detektoren, wobei die An
zahl der Detektoren der Anzahl der Teilstrahlen entspricht.
Für die hier vorgesehenen Spaltblenden ist des weiteren wesentlich, daß sie in etwa
im Fokus des aufgefächerten Strahls plaziert bzw. angeordnet sind. Die Reflexions
flächen der Spaltblenden sind als verspiegelte Flächen bzw. Spiegel ausgeführt, wo
bei sich die verspiegelten Flächen entsprechend dem Trägermaterial beispielsweise
aufdampfen lassen.
Hinsichtlich einer konkreten Ausgestaltung der Spaltblenden ist es von Vorteil, wenn
die verspiegelte Fläche einer die Spaltblende bildenden Spaltblendebacke zugeord
net ist und wenn die Spaltblendenbacke in ihrer die Spaltblende, den zu reflektieren
den Bereich des aufgefächerten Strahls und ggf. den Reflexionswinkel definierenden
Position einstellbar bzw. verstellbar oder verschiebbar ist. Somit läßt sich durch Ein
stellen der Spaltblendenbacke nicht nur der Spektralbereich des durchgelassenen
Teilstrahls sowie der reflektierte Teilstrahl festlegen, sondern auch die Richtung, in
die die reflektierten Teilstrahlen laufen. Die Anordnung der Detektoren ist somit zu
mindest in einem gewissen Bereich variabel.
Im Konkreten könnten die Spaltblendenbacken als jeweils kubischer oder beispiels
weise auch vierkantiger Stab mit zumindest teilweise verspiegelter Fläche ausgeführt
sein. Eine der Flächen dient dann - zumindest teilweise - als Reflexionsfläche,
wobei es sich dabei um die an den eigentlichen Spalt angrenzende Fläche handelt.
Zur Herstellung der Spaltblendenbacke kommt ein Glas-Vollkörper in Frage, der ent
sprechend dem verwendeten Glastyp bereits eine Totalreflexion an seiner Oberflä
che bieten kann. Außerdem läßt sich Glas einfach bearbeiten und verfügt über einen
äußerst geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, so daß eine tempera
turabhängige Justage der Anordnung nicht erforderlich ist.
In weiter vorteilhafter Weise sind die Spaltblendenbacken im Sinne eines Schiebers
mit drehangetriebener Spindel bzw. mit entsprechendem Gewindegang ausgeführt.
Insoweit könnte die Einstellung der Spaltblendenbacken über Aktoren erfolgen, die
einen Vorschub und ggf. eine Drehung der verspiegelten Fläche der Spaltblenden
backe verursachen. Durch Verstellen der Position der Spaltblendenbacke läßt sich
die Spaltbreite und die Breite des reflektierten Strahls und somit der jeweilige Spek
tralbereich einstellen. Durch Verstellen der Winkelstellung der Spaltblendenbacke
und somit des Reflexionswinkels ist eine Justierung auf fest positionierte Detektoren
möglich. Bei den Aktoren kann es sich um beliebige Handbetätigungen handeln. In
vorteilhafter Weise dienen als Aktoren Elektromotore, insbesondere Elektromotore
mit Feintrieb.
Innerhalb der Spalt-/Detektoranordnung können Maßnahmen zur Unterdrückung von
Streulicht vorgesehen sein, so bspw. sogenannte Strahlfallen oder Blenden, wie sie
zur Streulichtunterdrückung aus dem Stand der Technik hinlänglich bekannt sind.
Als Detektoren für die unterschiedlichen Spektralbereiche bzw. Farben lassen sich
jedwede herkömmliche Detektoren, vorzugsweise Photomultiplier, verwenden. So ist
es beispielsweise auch möglich, handelsübliche CCD-Sensoren zu verwenden.
Im Hinblick auf eine kompakte Bauweise der gesamten Vorrichtung ist es von Vorteil,
wenn die Anordnung zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls und die Spalt-/De
tektoranordnung von einem einzigen Chassis getragen werden, welches unmit
telbar am Laserscanner montiert bzw. festlegbar ist. Die Spalt-/Detektoranordnung
mit den dort vorgesehenen Spaltblendenbacken könnte in einem als Einschub hand
habbaren Gehäuse angeordnet sein. Der Einschub könnte wiederum zur Einstellung
des Einfallswinkels und der Dispersionsebene des aufgefächerten Strahls in seiner
Position justierbar sein.
Schließlich ist es auch denkbar, daß das Gehäuse für die Spalt-/Detektoranordnung
thermisch weitgehend isoliert ist, um nämlich thermische Einflüsse auf die dortige
Anordnung wirksam zu vermeiden.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in
vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die
dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfol
gende Erläuterung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung
zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbei
spiels der Erfindung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und
Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 in einer schematischen Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfin
dungsgemäßen Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer
Spektralbereiche eines Lichtstrahls, wobei dort die Spalt-/De
tektoranordnung als Black-Box dargestellt ist;
Fig. 2 in einer schematischen Prinzip-Darstellung die Funktionsweise der
Spalt-/Detektoranordnung und
Fig. 3 in einer schematischen Darstellung eine mögliche prinzipielle Anord
nung der Bauteile der Spalt-/Detektoranordnung.
Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung
zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls 1, wobei es
sich hier um eine Vorrichtung zur Detektion des Lichtstrahls 1 eines lediglich sche
matisch angedeuteten Laserscanners 2 im Detektionsstrahlengang eines in der Figur
nicht gezeigten Konfokalmikroskops handelt.
Erfindungsgemäß umfaßt die Vorrichtung eine Anordnung 3 zum spektralen Auffä
chern des Lichtstrahls 1 und ein nachfolgend stets als Spalt-/Detektoranordnung 4
bezeichnete Anordnung zur Aufspaltung des aufgefächerten Strahls 5 aus der Dis
persionsebene 6 heraus in Spektralbereiche 7, 8, 9 und zur anschließenden Detek
tion der aufgespalteten Spektralbereiche 7, 8, 9 mittels Detektoren 12,10, 11.
In Fig. 1 ist angedeutet, daß der Anordnung 3 zum spektralen Auffächern des Licht
strahls 1 ein Pinhole 13 vorgeschaltet ist, auf das der ankommende Lichtstrahl 1
fokussiert ist. Von dort aus verläuft der divergente Lichtstrahl 14 zu einem Prisma 15,
wobei vor und nach dem Prisma 15 Fokussieroptiken 16 angeordnet sind. Dort wird
der divergente Lichtstrahl 14 in die Spalt-/Detektoranordnung 4 fokusiert, wobei die
ser zur Rückfaltung des durch das Prisma 15 aufgefächerten Strahls 17 zunächst auf
einen Spiegel 18 trifft und von dort in die Spalt-/Detektoranordnung 4 gelangt, und
zwar mit entsprechender Fokussierung.
Fig. 1 läßt des weiteren erkennen, daß sowohl die Anordnung 3 zum spektralen Auf
fächern des Lichtstrahls 1 als auch die Spalt-/Detektoranordnung 4 einem Chassis 19
zugeordnet sind, wobei das Chassis 19 unmittelbar am Laserscanner 2 fixiert werden
kann. Dies ist insbesondere durch die kompakte Bauweise der gesamten Anordnung
möglich.
Die Fig. 2 und 3 zeigen einerseits die prinzipielle Funktionsweise und anderer
seits die grundsätzliche Anordnung der jeweiligen Bauteile innerhalb der
Spalt-/Detektoranordnung 4.
In der Spalt-/Detektoranordnung 4 wird der aufgefächerte Strahl 17 bzw. 5 durch die
Spaltblendenbacken 23 und den verspiegelten Flächen 21 in mehrere Teilstrahlen
bzw. Spektralbereiche 7, 8, 9 aus der Dispersionsebene 6 heraus zu den Detektoren
10, 11, 12 geleitet. Bei der in Fig. 2 gewählten Darstellung liegt die Dispersionsebene
6 senkrecht zu der Zeichenebene (ihre Projektion ist mit Bezugszeichen 5 gekenn
zeichnet). Bei der in Fig. 3 gewählten Darstellung liegt die Dispersionsebene 6 in der
Zeichenebene.
Bei der Darstellung in Fig. 2 sind sowohl die Detektoren 10,11, 12 als auch die als
Elektromotoren ausgeführten Aktoren 22 lediglich schematisch gezeigt. Gleiches gilt
für die den Spalt 20 bildende Spaltblendenbacken 23 nebst der verspiegeltenden
Flächen 21, die unmittelbar an den Spaltblendenbacken 23 vorgesehen sind.
Fig. 2 zeigt des weiteren eine Vergrößerung eines reflektierten Spektralbereichs 9,
wobei die Reflexion an der verspiegelten Stirnseite einer Spaltblendenbacke 23
stattfindet.
Fig. 3 zeigt deutlich, daß Teile des in die Spalt-/Detektoranordnung 4 einlaufenden,
spektral aufgefächerten Strahls 5 an den verspiegelten Flächen 21 nach oben und
nach unten zu den Detektoren 10, 11 abgelenkt werden. Ein weiterer Teilstrahl bzw.
Spektralbereich 7 passiert den Spalt 20 und gelangt zum Detektor 12.
Die Aktoren 22 ermöglichen eine Einstellung des Spalts 20 zwischen den Spaltblen
denbacken 23, wodurch eine individuelle Einstellung der Spektralbereiche 7, 8, 9
möglich ist, deren Teilstrahlen schließlich zu den Detektoren 12, 10, 11 gelangen.
Durch die Aufspaltung des einfallenden aufgefächerten Strahls 17 bzw. 5 aus der
Dispersionsebene 6 heraus ist es möglich, die Spaltblendenbacken 23 hinreichend
genau im Fokus des aufgefächerten Strahls 17 bzw. 5 zu plazieren.
Schließlich sei angemerkt, daß der einfacheren Darstellung wegen in Fig. 3 lediglich
zwei der insgesamt vier Aktoren 22 dargestellt sind.
Claims (29)
1. Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines
Lichtstrahls (1), insbesondere zur Detektion des Lichtstrahls (1) eines Laserscanners
(2) im Detektionsstrahlengang eines Konfokalmikroskops,
gekennzeichnet durch eine Anordnung (3) zum spektralen Auffächern
des Lichtstrahls (1) und eine Anordnung (4) zur Aufspaltung des aufgefächerten
Strahls (5) aus der Dispersionsebene (6) heraus in Spektralbereiche (7, 8, 9) und
anschließenden Detektion der aufgespaltenen Spektralbereiche (7, 8, 9) in einer
Spalt-/Detektoranordnung (4).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anordnung (3)
zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls (1) ein Pinhole (13) vorgeschaltet ist, auf
das der ankommende Lichtstrahl (1) fokussiert ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anord
nung (3) zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls (1) Fokussieroptiken (16) und
Dispersionsmittel umfaßt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dispersionsmittel
ein Prisma (15) umfassen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß vor und nach
den Dispersionsmitteln jeweils eine Fokussieroptik (16) angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussieroptiken
(16) Linsenanordnungen umfassen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Licht
strahl (1) mittels der Fokussieroptiken (16) in die Spalt-/Detektoranordnung (4)
fokussierbar ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der
Anordnung (3) zum Auffächern des Lichtstrahls Reflexionsmittel zur Rückfaltung (18)
des aufgefächerten Strahls (5) nachgeordnet sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Re
flexionsmitteln um einen Spiegel (18) handelt.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß
der Anordnung (3) zum Auffächern des Lichtstrahls Mittel zur Beugung des aufgefä
cherten Strahls (5) nachgeordnet sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem
Mittel zur Beugung um ein transparentes Gitter handelt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem
Mittel zur Beugung um ein Reflexionsgitter handelt.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß
der Anordnung (3) zum Auffächern des Lichtstrahls Mittel zur Brechung des aufgefä
cherten Strahls (5) nachgeordnet sind.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem
Mittel zur Beugung um ein Prisma handelt.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß
die Spalt-/Detektoranordnung (4) im Strahlengang des aufgefächerten Strahls (5)
angeordnete, Spaltblenden (20) bildende Reflexionsflächen umfaßt, die den aufgefä
cherten Strahl (5) durch Spaltbildung und Reflexion aus der Dispersionsebene (6)
heraus in mehrere Teilstrahlen (7, 8, 9) zerlegen.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstrahlen (7,
8, 9) zu der Anzahl der Teilstrahlen (8, 9, 7) entsprechenden Detektoren (10, 11, 12)
geleitet werden.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Spalte
(20) in etwa im Fokus des aufgefächerten Strahls (5) plaziert sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß
die Reflexionsflächen als verspiegelte Flächen (21) bzw. Spiegel ausgeführt sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die verspiegelte
Fläche (21) einer den Spalt (20) bildenden Spaltblendenbacke (23) zugeordnet ist
und daß die Spaltblendenbacken (23) in ihrer die Spaltblende (20), den zu reflektie
renden Bereich des aufgefächerten Strahls (5) und ggf. den Reflexionswinkel defi
nierenden Position einstellbar bzw. verstellbar ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltblenden
backe (23) als vorzugsweise kubischer oder vierkantiger Stab mit zumindest teilweise
verspiegelter Fläche (21) ausgeführt ist.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltblenden
backe (23) aus Glas gefertigt ist.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß
die Spaltblendenbacken (23) im Sinne eines Schiebers mit drehangetriebener Spin
del bzw. Gewindegang ausgeführt sind.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß
die Einstellung der Spaltblendenbacken (23) über Aktoren (22) erfolgt, die einen Vor
schub und ggf. eine Drehung der verspiegelten Fläche der Spaltblendenbacken (23)
verursachen.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktoren (22)
als Elektromotoren ausgeführt sind.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß
die Detektoren (10, 11, 12) als CCD-Sensoren ausgeführt sind.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß
die Anordnung zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls (3) und die Spalt-/De
tektoranordnung (4) von einem Chassis (19) getragen werden, welches unmittel
bar am Laserscanner (2) festlegbar ist.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Spalt-/De
tektoranordnung (4) in einem als Einschub handhabbaren Gehäuse (25) ange
ordnet ist.
28. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß der Einschub zur
Einstellung des Einfallswinkels und der Dispersionsebene (6) des aufgefächerten
Strahls (5) in seiner Position justierbar ist.
29. Vorrichtung nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daß das Ge
häuse (25) thermisch isoliert ist.
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Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1126257A2 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens eines Spektralbereichs eines spektral aufgefächerten Lichtstrahls |
EP1128200A2 (de) * | 2000-01-27 | 2001-08-29 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Mikroskop-Aufbau |
EP1139139A2 (de) * | 2000-03-28 | 2001-10-04 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Verfahren zur Detektion und Analyse eines Objekts |
WO2002014811A1 (de) * | 2000-08-17 | 2002-02-21 | Mg Microscope Gmbh | Lichterfassungseinheit und verfahren zum erfassen von lumineszenzlicht sowie konfokales mikroskop für die lumineszenzmikroskopie |
US6496307B2 (en) | 2000-02-01 | 2002-12-17 | Leica Microsystems Heidelberg, Gmbh | Confocal scanning microscope |
EP1273951A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-08 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Scanmikroskop und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Detektion |
DE10156506C1 (de) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Leica Microsystems | Verfahren zur Erzeugung eines mehrfarbigen Bildes und Mikroskop |
DE10156695A1 (de) * | 2001-11-17 | 2003-06-12 | Leica Microsystems | Scanmikroskop, Verfahren zur Scanmikroskopie und Bandpassfilter |
EP1391768A1 (de) * | 2002-08-21 | 2004-02-25 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Vorrichtung zur spektralen Selektion und Detektion eines Lichtstrahls und Scanmikroskop |
WO2004025351A1 (en) * | 2002-09-11 | 2004-03-25 | Medical Research Council | Spectral discrimination apparatus and method |
DE10252005A1 (de) * | 2002-11-06 | 2004-05-19 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Rauscharmes Mikroskop |
DE10254139A1 (de) * | 2002-11-15 | 2004-05-27 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe |
DE10024135B4 (de) * | 2000-01-28 | 2004-07-08 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Mikroskop |
US6806953B2 (en) | 2001-10-12 | 2004-10-19 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method for fluorescence microscopy, and fluorescence microscope |
US6809815B2 (en) | 2000-08-02 | 2004-10-26 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optical arrangement for selection and detection of the spectral region of a light beam and confocal scanning microscope |
DE10314750A1 (de) * | 2003-03-31 | 2004-11-04 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Rastermikroskop zur Detektion eines Objekts |
WO2004097491A1 (de) * | 2003-04-30 | 2004-11-11 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur spektralen selektion und detektion der spektralbereiche eines lichtstrahls |
DE10041165B4 (de) * | 2000-08-21 | 2005-07-07 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Steuerung von Analyse- und Einstellvorgängen eines Mikroskops |
US6961124B2 (en) | 2001-04-26 | 2005-11-01 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method for examining a specimen, and scanning microscope system |
US7075716B2 (en) | 2000-07-17 | 2006-07-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Arrangement for spectrally sensitive reflected-light and transmitted-light microscopy |
US7092086B2 (en) | 2002-09-19 | 2006-08-15 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Cars microscope and method for cars microscopy |
US7133130B2 (en) | 2002-06-11 | 2006-11-07 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method for scanning microscopy, scanning microscope, and apparatus for coding an illuminating light beam |
EP1505424B1 (de) * | 2003-08-02 | 2007-04-18 | Leica Microsystems CMS GmbH | Rastermikroskop mit optischer Einkoppelvorrichtung für externes Licht |
WO2008012056A1 (de) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Laser-scanning-mikroskop |
DE10102033B4 (de) * | 2001-01-18 | 2008-07-10 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung und Scanmikroskop zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
US7477380B2 (en) | 2002-12-05 | 2009-01-13 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanning microscope comprising a confocal slit scanner for imaging an object |
US7675617B2 (en) | 2004-06-25 | 2010-03-09 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Optical array for the spectrally selective identification of light of a light beam |
DE10309911B4 (de) | 2003-03-07 | 2021-10-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Ermittlung eines Farblängsfehlers eines Scanmikroskops und Scanmikroskop |
DE102004029733B4 (de) | 2003-07-26 | 2022-03-31 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Rastermikroskop und Verfahren zur Rastermikroskopie |
DE102004044629B4 (de) | 2004-09-13 | 2023-01-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zum simultanen Nachweis mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001255463A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学装置 |
US7391388B2 (en) * | 2002-10-28 | 2008-06-24 | Raytheon Company | Segmented spectrum imaging system and method |
JP4414665B2 (ja) * | 2003-03-13 | 2010-02-10 | オリンパス株式会社 | 走査型レーザ顕微鏡 |
US20050017197A1 (en) * | 2003-07-26 | 2005-01-27 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanning microscope and method for scanning microscopy |
DE102005042890B4 (de) * | 2005-09-09 | 2007-05-31 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Konfokalmikroskop und Verfahren zur Detektion mit einem Konfokalmikroskop |
US7684048B2 (en) | 2005-11-15 | 2010-03-23 | Applied Materials Israel, Ltd. | Scanning microscopy |
JP5541972B2 (ja) | 2010-06-09 | 2014-07-09 | オリンパス株式会社 | 走査型共焦点顕微鏡 |
DE102014116782A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Detektorvorrichtung für ein Mikroskop |
WO2022242887A1 (en) | 2021-05-19 | 2022-11-24 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method for analyzing a biological sample or a chemical compound or a chemical element |
US20240248036A1 (en) | 2021-05-19 | 2024-07-25 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method and device for analyzing a biological sample |
WO2024110088A1 (en) | 2022-11-22 | 2024-05-30 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method and marker for analyzing a sample |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3004465A (en) | 1956-09-19 | 1961-10-17 | White Dev Corp | Apparatus for reducing effect of scattered light in monochromators |
US4790654A (en) * | 1987-07-17 | 1988-12-13 | Trw Inc. | Spectral filter |
GB9015793D0 (en) | 1990-07-18 | 1990-09-05 | Medical Res Council | Confocal scanning optical microscope |
EP0558216A1 (de) * | 1992-02-24 | 1993-09-01 | Thermo Jarrell Ash Corporation | Spektrometrie |
GB9410395D0 (en) * | 1994-05-24 | 1994-07-13 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus |
DE4419940A1 (de) * | 1994-06-08 | 1995-12-14 | Eberhard Dipl Phys Tuengler | 3D-Bilderkennungsverfahren mit konfokaler Lichtmikroskopie |
DE19633185C2 (de) * | 1996-04-16 | 2000-06-15 | Leica Microsystems | Mehrfarbige Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop |
US6377344B2 (en) * | 1998-08-04 | 2002-04-23 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Adjustable coupling in and/or detection of one or more wavelengths in a microscope |
JP2000199855A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-07-18 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡装置 |
-
1999
- 1999-01-23 DE DE19902625A patent/DE19902625A1/de not_active Withdrawn
- 1999-01-28 DE DE59901063T patent/DE59901063D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-01-28 WO PCT/DE1999/000210 patent/WO1999039231A1/de active IP Right Grant
- 1999-01-28 EP EP99907291A patent/EP1053497B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-01-28 JP JP2000529627A patent/JP4070405B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-01-28 US US09/601,093 patent/US6614526B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1128200A2 (de) * | 2000-01-27 | 2001-08-29 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Mikroskop-Aufbau |
US6831780B2 (en) | 2000-01-27 | 2004-12-14 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Microscope assemblage |
EP1128200A3 (de) * | 2000-01-27 | 2002-05-15 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Mikroskop-Aufbau |
DE10024135B4 (de) * | 2000-01-28 | 2004-07-08 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Mikroskop |
US6496307B2 (en) | 2000-02-01 | 2002-12-17 | Leica Microsystems Heidelberg, Gmbh | Confocal scanning microscope |
DE10004233B4 (de) * | 2000-02-01 | 2005-02-17 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Mikroskop-Aufbau |
EP1126257A3 (de) * | 2000-02-15 | 2003-10-29 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens eines Spektralbereichs eines spektral aufgefächerten Lichtstrahls |
US6483103B2 (en) | 2000-02-15 | 2002-11-19 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Apparatus for selecting and detecting at least one spectral region of a spectrally spread light beam |
EP1126257A2 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens eines Spektralbereichs eines spektral aufgefächerten Lichtstrahls |
EP1139139A2 (de) * | 2000-03-28 | 2001-10-04 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Verfahren zur Detektion und Analyse eines Objekts |
EP1139139A3 (de) * | 2000-03-28 | 2003-12-17 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Verfahren zur Detektion und Analyse eines Objekts |
US7075716B2 (en) | 2000-07-17 | 2006-07-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Arrangement for spectrally sensitive reflected-light and transmitted-light microscopy |
US6809815B2 (en) | 2000-08-02 | 2004-10-26 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optical arrangement for selection and detection of the spectral region of a light beam and confocal scanning microscope |
WO2002014811A1 (de) * | 2000-08-17 | 2002-02-21 | Mg Microscope Gmbh | Lichterfassungseinheit und verfahren zum erfassen von lumineszenzlicht sowie konfokales mikroskop für die lumineszenzmikroskopie |
US7006675B2 (en) | 2000-08-21 | 2006-02-28 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method and arrangement for controlling analytical and adjustment operations of a microscope and software program |
DE10041165B4 (de) * | 2000-08-21 | 2005-07-07 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Steuerung von Analyse- und Einstellvorgängen eines Mikroskops |
DE10102033C5 (de) * | 2001-01-18 | 2011-01-13 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung und Scanmikroskop zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
DE10102033B4 (de) * | 2001-01-18 | 2008-07-10 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung und Scanmikroskop zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
US6961124B2 (en) | 2001-04-26 | 2005-11-01 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method for examining a specimen, and scanning microscope system |
EP1273951A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-08 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Scanmikroskop und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Detektion |
US6852967B2 (en) | 2001-07-05 | 2005-02-08 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanning microscope and methods for wavelength-dependent detection |
DE10150542B4 (de) * | 2001-10-12 | 2007-03-29 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Fluoreszenzmikroskopie |
US6806953B2 (en) | 2001-10-12 | 2004-10-19 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method for fluorescence microscopy, and fluorescence microscope |
US6717726B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-04-06 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method for generating a multicolor image, and microscope |
DE10156506C1 (de) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Leica Microsystems | Verfahren zur Erzeugung eines mehrfarbigen Bildes und Mikroskop |
DE10156695B4 (de) * | 2001-11-17 | 2004-07-15 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanmikroskop, Verfahren zur Scanmikroskopie und Bandpassfilter |
DE10156695A1 (de) * | 2001-11-17 | 2003-06-12 | Leica Microsystems | Scanmikroskop, Verfahren zur Scanmikroskopie und Bandpassfilter |
US6954306B2 (en) | 2001-11-17 | 2005-10-11 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanning microscope, method for scanning microscopy, and bandpass filter |
US7133130B2 (en) | 2002-06-11 | 2006-11-07 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Method for scanning microscopy, scanning microscope, and apparatus for coding an illuminating light beam |
DE10225838B4 (de) | 2002-06-11 | 2021-10-21 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Scanmikroskopie, Scanmikroskop und Vorrichtung zum Codieren eines Beleuchtungslichtstrahles |
EP1391768A1 (de) * | 2002-08-21 | 2004-02-25 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Vorrichtung zur spektralen Selektion und Detektion eines Lichtstrahls und Scanmikroskop |
WO2004025351A1 (en) * | 2002-09-11 | 2004-03-25 | Medical Research Council | Spectral discrimination apparatus and method |
US7092086B2 (en) | 2002-09-19 | 2006-08-15 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Cars microscope and method for cars microscopy |
DE10252005B4 (de) * | 2002-11-06 | 2005-06-16 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Rauscharmes Mikroskop |
DE10252005A1 (de) * | 2002-11-06 | 2004-05-19 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Rauscharmes Mikroskop |
US7170696B2 (en) | 2002-11-15 | 2007-01-30 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Method and arrangement for deeply resolved optical detection of a sample |
DE10254139A1 (de) * | 2002-11-15 | 2004-05-27 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe |
US7477380B2 (en) | 2002-12-05 | 2009-01-13 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanning microscope comprising a confocal slit scanner for imaging an object |
DE10257120B4 (de) | 2002-12-05 | 2020-01-16 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Rastermikroskop zum Abbilden eines Objekts |
DE10309911B4 (de) | 2003-03-07 | 2021-10-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Ermittlung eines Farblängsfehlers eines Scanmikroskops und Scanmikroskop |
DE10314750A1 (de) * | 2003-03-31 | 2004-11-04 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Rastermikroskop zur Detektion eines Objekts |
US7463354B2 (en) | 2003-04-30 | 2008-12-09 | Leica Microsytems Cms Gmbh | Device for the spectral selection and detection of the spectral regions of a light beam |
WO2004097491A1 (de) * | 2003-04-30 | 2004-11-11 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur spektralen selektion und detektion der spektralbereiche eines lichtstrahls |
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EP1505424B1 (de) * | 2003-08-02 | 2007-04-18 | Leica Microsystems CMS GmbH | Rastermikroskop mit optischer Einkoppelvorrichtung für externes Licht |
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DE102004044629B4 (de) | 2004-09-13 | 2023-01-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zum simultanen Nachweis mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
WO2008012056A1 (de) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Laser-scanning-mikroskop |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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---|---|---|
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