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Die Erfindung betrifft ein Mikroskop
mit einer Lichtquelle zur Beleuchtung einer Probe und mit einem
Detektor zur Detektion von von der Probe ausgehendem Detektionslicht.
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In der Scanmikroskopie wird eine
Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte
Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines
Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung,
im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene
bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen,
so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die
Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen
bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird
in Abhängigkeit
von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente
mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
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Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird
ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen
abgetastet.
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Ein konfokales Rastermikroskop umfasst
im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das
Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert
wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung,
eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum
Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen
Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz-
oder Reflexionslicht gelangt über
die Strahlablenkeinrichtung zurück
zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende
fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht,
das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen
Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine
Punktinformation erhält,
die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen
Bild führt.
Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme
erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem
Objekt idealer Weise einen Mäander
beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position,
anschließend
x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung
auf die nächste
abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position,
diese Zeile in negativer x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise
Bilddatennahme zu ermöglichen,
wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht
verschoben und so die nächste
abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
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Bei vielen Anwendungen werden Proben
mit einem oder mehreren Markern, beispielsweise mehreren unterschiedlichen
Fluoreszenzfarbstoffen präpariert.
Diese Farbstoffe können
sequentiell, beispielsweise mit Beleuchtungslichtstrahlen, die unterschiedliche
Anregungswellenlängen
aufweisen, angeregt werden. Auch eine simultane Anregung mit einem
Beleuchtungslichtstrahl, der Licht mehrerer Anregungswellenlängen beinhaltet,
ist üblich.
In der Mehrphotonen-Rastermikroskopie werden die Fluoreszenzphotonen
detektiert, die auf einen Zwei- oder Mehrphotonenanregungsprozess
zurückzuführen sind.
Die Wahrscheinlichkeit eines x-Photonenüberganges ist von der x-ten
Potenz der Anregungslichtleistung abhängig. Um solch hohe Leistungen
zu erzielen, ist es zweckmäßig das
Anregungslicht zu pulsen. Diese Technik ist weithin bekannt und
wird sowohl mit Femtosekundenpulsen, als auch mit Picosekundenpulsen
praktiziert.
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Da die Lichtleistung des Detektionslichtes bei
vielen Anwendungen sehr gering ist, werden oft elektrisch verstärkende Detektoren,
wie Photomultiplier, Avalanche-Photodioden (Lawinendioden), eingesetzt,
um überhaupt
ein Detektionssignal aufnehmen zu können. Hierbei sei nur exemplarisch
auf die Deutsche Offenlegungsschrift
DE 199 02 625 A1 verwiesen.
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Bei der Detektion spielt insbesondere
das Rauschverhalten und das Verstärken von Rauschsignalen eine
große
störende
Rolle. Bei Detektionslicht von kleiner Lichtleistung müssen an
Photomultiplier-Detektoren hohe Hochspannungen angelegt werden,
um eine ausreichende Signalstärke
zu erreichen. Avalanche-Photodioden zeigen bei großen Verstärkungsfaktoren
ein unbefriedigendes Rauschverhalten, sind außerdem sehr empfindlich und
müssen
extrem vorsichtig behandelt werden, damit kein Fremdlicht, z.B.
Streulicht, auftrifft, weil dies zu einer bleibenden Störung des
Detektors führt,
der sich insbesondere in einem erhöhten Dunkelstrom äußert.
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Aus der Deutschen Offenlegungsschrift
DE 196 10 538 A1 ist
eine Vorrichtung zum Ermitteln von Eingangsstrahlung, z. B. Röntgen-, γ-, ionisierende Strahlung
bzw. Fluoreszenz- oder Restlicht, mit mindestens einem Erfassungselement,
das einen Sensorteil (Szintillator) zur Umwandlung der Eingangsstrahlung
in im UV-, sichtbaren oder IR-Teil des elektromagnetischen Spektrums
liegende Photonen Szintillationslicht und einen optischen Verstärkerteil aufweist,
der das vom Sensorteil gewandelte Licht aufnimmt, zur weiteren Verarbeitung
weiterleitet und dabei verstärkt,
bekannt. Der Verstärkerteil
weist wenigstens einen optischen Lichtwellenleiter auf, dessen Material
zur Verstärkung
des Szintillationslichts optisch gepumpt ist.
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Die Patentschrift
US 6,356,699 B1 offenbart ein
dotiertes Glas auf Silikatbasis, das als Lasermedium oder als optischer
Verstärker
verwendet werden kann.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe
zugrunde, ein Mikroskop vorzuschlagen, das es ermöglicht,
insbesondere schwach leuchtende Proben exakt, effektiv und rauscharm
zu untersuchen.
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Die Aufgabe wird durch ein Mikroskop
gelöst, das
dadurch gekennzeichnet ist, dass zwischen der Probe und dem Detektor
ein optischer Verstärker
vorgesehen ist.
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Die Erfindung hat den Vorteil, dass
auch Proben, die nur wenig Detektionslicht abgeben, zuverlässig derart
detektierbar sind, dass ein scharfes und klares Abbild erzeugbar
ist. Hierbei spielt es primär keine
Rolle, welcher Art das Detektionslicht ist. Es kann sich beispielsweise
um Fluoreszenzlicht oder um Reflexionslicht oder um Detektionslicht,
das über nichtlineare
Prozesse, wie beispielsweise Second-Harmonic-Generation (SHG) oder
Mehrphotonenanregung erzeugt wurde, handeln. Die optische Verstärkung ist
erfindungsgemäß effizient
und rauscharm. Vorteilhafter Weise ist die erfindungsgemäße Technologie
auch durch wenig aufwändiges Umrüsten – beispielsweise
mit einem Nachrüstmodul,
das vorzugsweise vorjustiert in den Strahlengang einbringbar ist – bestehender
herkömmlicher Mikroskope
umsetzbar.
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Im Prinzip funktioniert die optische
Verstärkung
folgendermaßen:
Der optische Verstärker
wird entweder durch optische Anregung oder elektrisch mit einem
elektrischen Pumpstrom optisch „aufgeladen". Das Photon bzw.
die zu verstärkenden
Photonen, durchlaufen den optischen Verstärker und „räumen" dabei die „Aufladung" vorzugsweise durch induzierte Emission
ab.
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Im Anschluss an die optische Verstärkung wird
das verstärkte
Detektionslicht detektiert, wobei eine Umsetzung der Detektionslichtsignale
in elektrische Signale erfolgt. Durch die optische Verstärkung sind
die Anforderungen an die nachfolgenden Detektoren wesentlich niedriger,
so dass beispielsweise Photomultiplier mit einer geringeren und
weniger kritischen Hochspannung betrieben werden können.
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In einer ganz besonderen Ausgestaltungsform
besteht der optische Verstärker
aus einem Halbleiterelement, das vorzugsweise elektrisch gepumpt ist.
Besonders vorteilhaft ist eine solche Ausführungsform, bei der an dem
Ausgangsende des Halbleiterelements ein Halbleiterdetektor angebracht
ist. Eine solche Anordnung ist besonders kompakt und auf verschiedene
Wellenlängen
abstimmbar. Optische Verstärker
auf Halbleiterbasis sind kommerziell erhältlich.
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In einer anderen bevorzugten Ausgestaltung ist
der optische Verstärker optisch
gepumpt.
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Der optische Verstärker ist
vorzugsweise als eine optisch gepumpte Lichtleitfaser oder Lichtleitfaserbündel, eine
Photonic-Bandgap-Faser oder Waveguides ausgeführt. Das Material, in dem das Detektionslicht
verstärkt
wird, ist vorzugsweise geeignet dotiert. Die Photonic-Bandgap-Faser
kann aus einer „Hollow
Fiber", einer photonischen
Faser mit einem Hohlkern, der einen großen Durchmesser aufweist, bestehen,
wobei der Hohlraum mit einem lichtverstärkendem Medium (Gas, Flüssigkeit)
gefüllt
ist, das optisch gepumpt wird. Das erfindungsgemäße Mikroskop mit solchen optischen
Verstärkern
auf der Basis von Lichtleitern sind besonders vorteilhaft bei kompakter
Mikroskopbauweise, wie beispielsweise bei einem kompakten konfokalen
Scanmikroskop und insbesondere bei einem mikroskopischen Endoskop.
Bei einer endoskopischen Ausführung
ist der das Detektionslicht abtransportierende Lichtleiter gleichzeitig
der optische Verstärker.
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In einer anderen Variante beinhaltet
der optische Verstärker
einen optisch pumpbaren Farbstoff oder ein optisch pumpbares Medium,
vorzugsweise aus Glas oder Keramik oder Kunststoff oder einen Kristall,
oder ein dotiertes Glas oder einen dotierten Kristall, der beispielsweise
ein Laserkristall sein kann.
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In dem erfindungsgemäßen Mikroskop
ist vorzugsweise einer Energiequelle zum Pumpen des optischen Verstärkers vorgesehen.
Diese ist für
die optisch pumpbaren Verstärker
vorzugsweise als Laser – insbesondere
als Halbleiterlaser – ausgeführt.
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Die Wellenlänge des Lasers ist vorzugsweise
einstellbar, so dass durch die Wahl der Wellenlänge des Pumplichtes und ggf.
durch geeignete Beeinflussung des optischen Verstärkers die
Verstärkung auf
bestimmte Detektionslichtwellenlängen
begrenzbar ist. Bei der Verwendung von Farbstoffen als Verstärkungsmedium
hat man in der Regel einen sehr breiten Spektralbereich für eine optische
Verstärkung verfügbar. Um
sicherzustellen, dass das angeregte pumpbare Medium des optischen
Verstärkers
genau zum richtigen Zeitpunkt aufgeladen ist, sollte das Pumplicht
nur während
der Bildaufnahme das Verstärkermedium
bestrahlen. Auto-Fluoreszenz-Licht oder verstärkte spontane Emission (ASE)
aus dem pumpbaren Medium ist vorzugsweise durch geeignete Filter
und durch die Dosierbarkeit der Pumpenergie, unterdrückbar, um
zu vermeiden das dieses Licht dem Detektionslicht spektral überlagert
ist.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
ist der Detektor als Multibanddetektor, der auf verschiedene Detektionswellenlängenbereiche
einstellbar ist, ausgeführt.
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Vorzugsweise ist das Mikroskop als
ein Scanmikroskop oder ein konfokales Scanmikroskop oder ein Endoskop
ausgeführt.
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In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand
schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend
beschrieben, wobei gleich wirkende Elemente mit denselben Bezugszeichen
versehen sind. Dabei zeigen:
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1 Ein
erfindungsgemäßes Mikroskop,
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2 ein
erfindungsgemäßes Mikroskop, das
als Scanmikroskop ausgebildet ist,
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3 ein
weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
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4 ein
weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop
und
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5 ein
weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop
mit einem Multibanddetektor.
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1 zeigt
schematisch einen Prinzipaufbau eines erfindungsgemäßen Mikroskops 1.
Das von einer Lichtquelle 3, die als Beleuchtungs-Laser ausgebildet
ist, emittierte Beleuchtungslicht wird mit einer Beleuchtungs-Lichtleitfaser 5 zu
einer Mikroskopoptik 7 transportiert und von der Mikroskopoptik 7 auf
einer Probe 9 fokussiert. Das von der Probe ausgehende
Detektionslicht gelangt durch die Mikroskopoptik 7 hindurch
und durch einen optischen Verstärker 11,
der als optisch gepumpte Lichtleitfaser 13 aus einem dotierten
Glas ausgebildet ist, zu einem Detektor 15. Der Detektor 15 ist
als Halbleiterdetektor 17 ausgeführt. Zum optischen Pumpen des
optischen Verstärkers 11 ist
eine Energiequelle 19 vorgesehen, die im Wesentlichen aus
einem Laser 21 besteht. Das Pumplicht des Lasers 21 wird
in eine erste Lichtleitfaser 23 eingekoppelt und gelangt über einem
ersten Faserkoppler 25 in den optischen Verstärker 11. Die
Ausbreitungsrichtung des Pumplichtes ist der des Detektionslichtes
entgegengesetzt, wodurch weitgehend vermieden ist, dass Pumplicht
störender Weise
zum Detektor gelangt. Mit einem zweiten Faserkoppler 27 wird
das Pumplicht auf dem optischen Verstärker 11 wieder ausgekoppelt
und über
eine weitere Lichtleitfaser 29 einer Strahlfalle 31 zugeführt.
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2 zeigt
schematisch ein erfindungsgemäßes Mikroskop 1,
das als konfokales Scanmikroskop ausgeführt ist. Der von einer Lichtquelle 3,
die als Pulslaser ausgeführt
ist, kommende Beleuchtungslichtstrahl 33 wird von einem
Hauptstrahlteiler 35 zu einer Strahlablenkeinrichtung 37 mit
einem kardanisch aufgehängten
Scanspiegel 39, gelenkt. Die Strahlablenkeinrichtung 37 führt den
Beleuchtungslichtstrahl 33 durch die Scanoptik 41,
die Tubusoptik 43 und das Objektiv 45 hindurch über bzw.
durch die Probe 9. Die Probe 9 ist mit Fluoreszenzfarbstoffen markiert.
Das von der Probe 9 ausgehende Detektionslicht wird von
einem Kondensor 47 zu einem Detektionslichtstrahl 49 geformt
und mit einem Spiegel 51 zu einer ersten Optik 53 gelenkt,
die den Detektionslichtstrahl 49 auf einen optischen Verstärker 11, der
als dotierter Kristall 55 ausgeführt ist fokussiert. Der aus
dem optischen Verstärker 11 austretende verstärkte Detektionslichtstrahl 49 wird
von einer zweiten Optik 57 kollimiert und trifft auf einen
Detektor 15, der als Photomultiplier 59 ausgeführt ist.
Der dotierte Kristall 55 ist von einer Energiequelle 19,
die als Laserdiodenarray 61 ausgeführt ist, transversal gepumpt.
In dieser Non-Descan-Detektion ist das Detektionslicht nicht über die
Strahlablenkeinrichtung 37 geführt. Es ist zur Descan-Detektion
ein weiterer Detektor 63 vorgesehen, vor dem ein weiterer
optischer Verstärker
vorgesehen sein könnte.
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3 zeigt
ein weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
das weitgehend dem in 2 gezeigten
entspricht. Vor dem Detektor 15, der als Photodiode 60 ausgeführt ist,
ist ein optischer Verstärker 11 angeordnet.
Der optische Verstärker
beinhaltet ein elektrisch gepumptes Halbleiterelement 65,
das einen trichterförmigen
Durchtritt 67 aufweist und der von einer Energiequelle 19,
die als geregelte Stromquelle 69 ausgestaltet ist, versorgt
ist. Derartige Halbleiterverstärker
werden als „Tapered
Amplifiers" bezeichnet.
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4 zeigt
ein weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop.
Das von der Probe kondensorseitig ausgehende Detektionslicht wird,
wie bei den in 2 und 3 beschriebenen Scanmikroskopen
zu einem Detektionslichtstrahl 49 geformt und mit einer Fokussieroptik 71 in
einen optischen Verstärker 11, der
als optisch gepumpte Lichtleitfaser 13 aus einem dotierten
Glas ausgebildet ist, eingekoppelt. Mit der weiteren Fokussieroptik 73 wird
das verstärkte
Detektionslicht ausgekoppelt und mit einem dichroitischen Strahlteiler 75 in
Abhängigkeit
von der Wellenlänge
auf einen ersten und einen zweiten Detektor 77, 79 verteilt.
Das objektivseitig von der Probe ausgehende Detektionslicht wird
von dem Objektiv zu einem weiteren Detektionslichtstrahl 81 geformt,
der mit Hilfe eines weiteren Strahlteilers 83 aus dem Pfad des
Beleuchtungslichtstrahls ausgekoppelt und am dichroitischen Strahlteiler 75 ebenfalls
in Abhängigkeit
von der Wellenlänge
dem ersten und dem zweiten Detektor 77, 79 zugeführt wird.
In dem Strahlengang des objektivseitig von der Probe ausgehenden Detektionslichts
könnte
ein weiterer optischer Verstärker
vorgesehen sein. In dieser Anordnung wird ein Grossteil des von
der Probe ausgehenden Detektionslichtes verwertet. Zum optischen
Pumpen des optischen Verstärkers 11 ist
eine Energiequelle 19 vorgesehen, die im wesentlichen aus
einem Laser 21 besteht. Das Pumplicht des Lasers 21 wird
mit in einen erste Lichtleitfaser 23 eingekoppelt und gelangt über einem
ersten Faserkoppler 25 in den optischen Verstärker 11.
Mit einem zweiten Faserkoppler 27 wird das Pumplicht aus
dem optischen Verstärker 11 wieder
ausgekoppelt und über
eine weitere Lichtleitfaser 29 einer Strahlfalle 31 zugeführt.
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5 zeigt
ein weiteres erfindungsgemäßes Scanmikroskop
mit einem Multibanddetektor. Der von einer Lichtquelle 3,
die als Diodenlaser ausgeführt
ist, kommende Beleuchtungslichtstrahl 33 wird von einem
Hauptstrahlteiler 35 zu einer Strahlablenkeinrichtung 37 mit
einem kardanisch aufgehängten Scanspiegel 39 gelenkt.
Die Strahlablenkeinrichtung 37 führt den Beleuchtungslichtstrahl 33 durch
die Scanoptik 41, die Tubusoptik 43 und das Objektiv 45 hindurch über bzw.
durch die Probe 9. Das von der Probe 9 ausgehende
Detektionslichtstrahl 49 gelangt auf demselben Lichtweg
zurück
zum Hauptstrahlteiler 35 und passiert diesen, um anschließend auf
einen optischen Verstärker 11,
der als transversal gepumpter dotierter Glasbock 109 ausgeführt ist,
zu treffen. Zum Pumpen des optischen Verstärkers 11 ist eine
Energiequelle 19 vorgesehen, die Blitzlampen 111 beinhaltet.
In dem optischen Verstärker 11 wird
der Detektionslichtstrahl 49 verstärkt und trifft anschließend auf
einen Multibanddetektor 85. Der Detektionslichtstrahl 49 wird
mit einem Prisma 87 räumlich
spektral aufgespalten. Eine weitere Möglichkeit der spektralen Aufspaltung
ist die Verwendung eines Reflexions-, oder Transmissionsgitters oder
eines holographischen Gitters. Der spektral aufgespaltene Lichtfächer 89 wird
mit der Fokussieroptik 91 fokussiert und trifft anschließend auf
eine Spiegelblendenanordnung 93, 95. Die Spiegelblendenanordnung 93, 95,
das Prisma 87, die Fokussieroptik 91 und die Detektoren 97 und 99 werden
zusammen als Multibanddetektor 85 bezeichnet. Ein Teil
des aufgespaltenen Lichtfächers 89,
der nur Licht eines vorgewählten
Spektralbereichs umfasst, passiert die Spiegelblendenanordnung und
wird von dem Detektor 97, der als Photomultiplier ausgeführt ist,
detektiert. Ein anderer Teil des aufgespaltenen Lichtfächers 89 wird an
der Spiegelblendenanordnung 95 reflektiert und gelangt
zu Detektor 99, der ebenfalls als Photomultiplier ausgeführt ist.
Die Spiegelblendenanordnungen sind, in den durch die Doppelpfeile
illustrierten Richtungen verschiebbar, so dass die spektralen Detektionsbereiche
des den Detektoren 97, 99 zugeführten Lichtes
kontinuierlich einstellbar sind. Es ist möglich, jedoch der Übersichtlichkeit
halber nicht dargestellt, noch weitere Detektoren einzubauen und
weiteren Spiegelblenden zuzuordnen. In den Detektoren 97, 99 werden
elektrische, zur Leistung des von der Probe 9 ausgehenden
Detektionslichtstrahls 49 des jeweiligen Spektralbereichs
proportionale Messwerte erzeugt, die in einer Verarbeitungseinheit 103 den
in der Strahlablenkeinrichtung 37 mit Hilfe eines Positionssensors
erfassten Positionssignalen zugeordnet werden. Anschließend werden
sie mit einem PC zu einem Abbild zusammengesetzt. Weggelassen sind wegen
der besseren Anschaulichkeit außerdem
einige optische Elemente zur Führung
und Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet
tätigen Fachmann
hinlänglich
bekannt. Das Prisma 87 weist eine besondere wellenlängenabhängige Charakteristik
auf. Innerhalb eines durch räumliche
Aufspaltung mit dem Prisma 87 erzeugten Spektrums gehören zu gleich
breiten räumlichen
Abschnitten unterschiedlich breite spektrale Abschnitte. Die Berücksichtigung
dieser in Form eines Datensatzes im Speicher 101 einer
Verarbeitungseinheit 103 abgelegten wellenlängenabhängigen Charakteristik
erfolgt durch Steuerung der Verschiebeantriebe 105, 107 der Spaltblenden 93, 95.
Die örtliche
Breite des Spaltabstandes wird derart gesteuert, dass die spektrale Breite
der detektierten Wellenlängenbereiche
von der spektralen Lage der Wellenlängenbereiche unabhängig ist.
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Die Erfindung wurde in Bezug auf
eine besondere Ausführungsform
beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen
und Abwandlungen durchgeführt
werden können,
ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
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- 1
- Mikroskop
- 3
- Lichtquelle
- 5
- Lichtleitfaser
- 7
- Mikroskopoptik
- 9
- Probe
- 11
- optischer
Verstärker
- 13
- Lichtleitfaser
- 15
- Detektor
- 17
- Halbleiterdetektor
- 19
- Energiequelle
- 21
- Laser
- 23
- erste
Lichtleitfaser
- 25
- erster
Faserkoppler
- 27
- zweiter
Faserkoppler
- 29
- zweite
Lichtleitfaser
- 31
- Strahlfalle
- 33
- Beleuchtungslichtstrahl
- 35
- Hauptstrahlteiler
- 37
- Strahlablenkeinrichtung
- 39
- Scanspiegel
- 41
- Scanoptik
- 43
- Tubusoptik
- 45
- Objektiv
- 47
- Kondensor
- 49
- Detektionslichtstrahl
- 51
- Spiegel
- 53
- erste
Optik
- 55
- dotierter
Kristall
- 57
- zweite
Optik
- 59
- Photomultiplier
- 60
- Photodiode
- 61
- Laserdiodenarray
- 63
- weiterer
Detektor
- 65
- Halbleiterelement
- 67
- trichterförmiger Durchtritt
- 69
- Stromquelle
- 71
- Fokussieroptik
- 73
- weitere
Fokussieroptik
- 75
- dichroitischer
Strahlteiler
- 77
- erster
Detektor
- 79
- zweiter
Detektor
- 81
- Detektionslichtstrahl
- 83
- Strahlteiler
- 85
- Multibanddetektor
- 87
- Prisma
- 89
- Lichtfächer
- 91
- Fokussieroptik
- 93
- Spiegelblendenanordnung
- 95
- Spiegelblendenanordnung
- 97
- Detektor
- 99
- Detektor
- 101
- Speicher
- 103
- Verarbeitungseinheit
- 105
- Verschiebeantrieb
- 107
- Verschiebeantrieb
- 109
- Glasblock
- 111
- Blitzlampe