DE19844145A1 - Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungsschutz - Google Patents
Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit ÜberspannungsschutzInfo
- Publication number
- DE19844145A1 DE19844145A1 DE1998144145 DE19844145A DE19844145A1 DE 19844145 A1 DE19844145 A1 DE 19844145A1 DE 1998144145 DE1998144145 DE 1998144145 DE 19844145 A DE19844145 A DE 19844145A DE 19844145 A1 DE19844145 A1 DE 19844145A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- potential
- field effect
- circuit
- region
- drain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 210000003811 finger Anatomy 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0255—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using diodes as protective elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/07—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration the components having an active region in common
- H01L27/0705—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration the components having an active region in common comprising components of the field effect type
- H01L27/0727—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration the components having an active region in common comprising components of the field effect type in combination with diodes, or capacitors or resistors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Es ist eine Kapazitätslade- und Entladeschaltung vorgesehen, die einen Überspannungsschutz aufweist, wobei eine hierfür vorgesehene Diode gleichzeitig Drain-Gebiet des Lade- bzw. Entladetransistors ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine Kapazitätslade- und Entladeschal
tung mit Überspannungsschutz. Für die Ermittlung des Wertes
sehr kleiner Kapazitäten ist es üblich, diese Kapazität auf
zuladen und wieder zu entladen und aus diesem Vorgang auf den
Wert der Kapazität zu schließen. Beim Fingerprint-Sensor nach
dem kapazitiven Meßprinzip handelt es sich um eine Anordnung
einer Vielzahl von Einzelkapazitäten, deren Wert sich nicht
nur dadurch verändert, daß ein Finger vorhanden ist, sondern
der auch dadurch beeinflußt ist, ob an einer Stelle des Fin
gers, unter der eine betreffende Kapazität liegt, eine Minu
te vorhanden ist oder nicht. Um eine ausreichende Auflösung
über die Größe eines Fingerabdruckes zu erhalten, muß der
Finger in eine Vielzahl von Punkten aufgelöst werden, so daß
eine große Anzahl von Einzelkondensatoren notwendig sind, die
eine entsprechend kleine Fläche aufweisen. Jeder Einzelkon
densator weist somit einen Wert in der Größenordnung von Fem
toferad auf. Damit die Verarbeitungsgeschwindigkeit eines
solchen Fingerabdruck-Sensors möglichst optimal gestaltet
ist, sollte jede Einzelkapazität eine Kapazitätsmeßvorrich
tung aufweisen, die als Lade- bzw. Entladeschaltung leicht
realisierbar ist.
Aus der US 4,353,056 ist die Anordnung einer Kapazitätsmatrix
auf einem Halbleiterchip beschrieben, wie er für einen Fin
gerprint-Sensor geeignet ist.
Um den tatsächlichen Wert der Kapazität zu messen, und nicht
die Zuleitungskapazitäten, darf die zuvor erwähnte Meßschal
tung nicht über Leitungen an die einzelne Kapazität herange
führt werden. Dies hat zur Folge, daß die Meßschaltung zusam
men mit dem Fingerprint-Sensor auf einem Halbleiterchip räum
lich dicht beieinanderliegend integriert wird.
Eine solche Integration kann in der bekannten üblichen
MOS-Technologie erfolgen. Bauelemente, die in einer solchen
MOS-Technologie hergestellt sind, sind jedoch sehr anfällig gegen
Überspannungen. MOS-Bauelemente, die für den Einsatz in nor
malen Schaltungen vorgesehen sind, werden zum Transport bei
spielsweise auf speziellen Matten oder Transportgefäßen ange
ordnet, damit die Einzelanschlüsse untereinander elektrisch
verbunden sind, um zu verhindern, daß sich beim Transport
durch Aufladung eine Überspannung an einem der Außenanschlüs
se aufbauen kann. Zur Montage wiederum müssen entsprechende
Vorkehrungen getroffen werden, damit auch das Fertigungsper
sonal beispielsweise beim Berühren vor dem Einbau nicht unbe
wußt eine Schädigung des Bauelementes hervorruft. In der Re
gel ist die Gefahr der Überspannung durch Aufladung nach dem
Einbau in einer Schaltung beseitigt.
Bei Meßsensoren, wie beim Fingerprint-Sensor beispielsweise,
besteht jedoch die Gefahr, daß die Person bzw. der Finger der
abgetastet werden soll, aufgeladen ist. Es ist somit notwen
dig, eine Überspannungsschutzschaltung vorzusehen. Eine der
artige bekannte Schaltung, ist in Fig. 4 dargestellt. Hierbei
ist am Anschluß Pin, der den Außenanschluß eines beliebigen
Bauteiles darstellt, im Bezug zu zwei Betriebspotentialen VDD
und VSS dargestellt. Die beiden Dioden D1 und D2 fangen den
ersten "Spannungsschock" ab, da sie direkt zwischen dem Ein
gang Pin und den Versorgungsspannungen VDD bzw. VSS ange
schlossen sind. Durch einen Spannungsteiler aus dem Wider
stand R und Dioden D3 und D4 werden gefährliche Spannungen
von der Schaltung ferngehalten.
Eine derartige Schaltung benötigt, auch bei höchster Integra
tion, da sie für jeden Pixel vorzusehen ist, einen bemerkba
ren Platz, der wiederum der Forderung nach möglichst vielen
Pixeln bzw. Bildpunkten widerspricht.
Daher ist es Aufgabe der Erfindung, eine Kapazitätslade- und
Entladeschaltung mit Überspannungsschutz vorzusehen, die mög
lichst platzsparend integrierbar ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch
1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Dadurch, daß gemäß der ange
gebenen Schaltungsanordnung sowohl für den Lade- als auch für
den Umlade-Transistor jeweils eine Diode zum Überspannungs
schutz benutzt wird, die integraler Teil des betreffenden
Transistors ist, wird bei dieser Schaltung zumindest für die
se Diode jeweils kein zusätzlicher Platz benötigt, so daß
diese Anordnung sehr flächensparend integrierbar ist.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in
den untergeordneten Ansprüchen angegeben. Dadurch, daß sowohl
der Lade- als auch der Entladetransistor als p-Kanal-Feld
effekttransistor ausgebildet ist, ist die Anordnung ins
gesamt mit sehr einfachen Mitteln realisierbar.
Weiterhin wird durch die Ausbildung des Widerstandes zwischen
der Kapazität und dem einen Drain/Source-Gebiet des Feldef
fekttransistors ein Spannungsteiler erzeugt, der die nachfol
genden Schaltungsteile vor einer dauerhaften Überspannung
schützt.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Schaltungsanordnung,
Fig. 2 die technologische Realisierung wesentlicher Ele
mente der in Fig. 1 dargestellten Anordnung,
Fig. 3 eine einzelne Zelle eines kapazitiven Finger
print-Sensors mit der erfindungsgemäßen Schaltungsanord
nung und
Fig. 4 eine bekannte Überspannungsschaltung.
In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Kapazitätslade-/Entlade-
Schaltung mit Überspannungsschutz dargestellt. Ein einzelnes
Element P stellt eine Elektrode einer Kapazität CPO dar, die
mit ihrer zweiten Elektrode am Potential VSS einer Versor
gungsspannung angeschlossen ist. Das Element P wiederum ist
über Widerstände R1 und R2 jeweils mit dem Drainanschluß des
Ladetransistors M1 und Sourceanschluß des Umladetransistors
M2 verbunden. Die zuvor genannten Transistoren M1 bzw. M2
sind Feldeffekttransistoren, wobei der Feldeffekttransistor
M1 mit seinen Sourceanschluß am Potential VDD der Betriebs
spannung und der Transistor M2 mit seinem Drainanschluß am
Potential LL angeschlossen sind.
Das Gate der beiden Feldeffekttransistoren M1 bzw. M2 sind
mit Anschlüssen Φ1 bzw. Φ2 zum Ansteuern dieser beiden Tran
sistoren verbunden. Am Knotenpunkt zwischen dem Widerstand R1
und dem Drainanschluß des Transistors M1 ist eine Diode Dp1
mit ihrer Anode angeschlossen, deren Kathode, wiederum am Po
tential VDD angeschlossen ist. Am selben Knotenpunkt ist eine
Diode Dn1 mit ihrer Kathode angeschlossen, wobei die Anode
der Diode Dn1 am Potential VSS angeschlossen ist. Entspre
chend sind Dioden Dp2 und Dn2 am Knotenpunkt zwischen dem Wi
derstand R2 und dem Sourceanschluß des Transistors M2 ange
schlossen.
Die Funktion der in Fig. 1 dargestellten Schaltung ist nun
mehr folgende. Gemäß einer Ansteuerung über Φ1 und Φ2 werden
die beiden Feldeffekttransistoren abwechselnd so angesteuert,
daß über den Transistor M1 die Kapazität des Elementes P auf
das Potential VDD aufgeladen und mittels M2 auf das Potential
LL umgeladen wird. Die Dioden Dp1, Dn1, Dp2 und Dn2 führen
nunmehr Spannungen ab, die außerhalb der Betriebsspannung
liegen und über die Widerstände R1 bzw. R2 den Dioden zuge
führt werden.
Gemäß Fig. 2 ist ein Ausschnitt dargestellt, wie diese Schal
tungsanordnung möglichst platzsparend integriert wird. Hierzu
wird der Transistor M1 als Beispiel verwendet. Dargestellt
ist hierbei ein n⁻-Gebiet, in das ein p⁺-Gebiet als Source-Ge
biet S und als Drain-Gebiet D eingebracht sind. Zwischen
diesen beiden Gebieten ist jeweils ein dem Fachmann bekann
ter, üblicher p-Kanal-Feldeffekttransistor ausgebildet, der
über ein Gate-Gebiet G angeschlossen ist. Neben dem Source-Ge
biet S ist in das n⁻-Gebiet an der Oberfläche ein n⁺-Gebiet
eingebracht. Beide sind zusammen mit einer Leiterbahn verbun
den, die an dem Potential VDD liegt. Neben dem n⁻-Gebiet ist
in einer p-leitenden Umgebung an der Oberfläche ein n-Gebiet
eingebracht, das wiederum über eine Leiterbahn mit dem Drain-Ge
biet verbunden ist. Dieses n-Gebiet in der p-leitenden Um
gebung stellt eine Diode dar, die wiederum gemäß Fig. 1 die
Diode Dn1 darstellt. Das p⁺-leitende Drain-Gebiet stellt wie
derum gegenüber dem n⁻-Gebiet durch den hier vorhandenen
pn-Übergang eine Diode dar, die wiederum die Diode Dp1 in Fig. 1
realisiert, da das n⁻-Gebiet über das n⁺-Gebiet an der Ober
fläche des n⁻-Gebiets mit dem Potential VDD verbunden ist.
Da das n⁺-Gebiet sowieso vorgesehen werden muß, um die Kanal
zone des n⁻-Gebiets zwischen dem Source-Gebiet und dem Drain-Ge
biet so vorzuspannen, daß ein p-Kanal-Feldeffekttransistor
vorliegt, ist mit dieser Schaltung ein Überspannungsschutz
realisiert, wobei die Diode Dp1 nicht zusätzlich erzeugt wer
den muß. In analoger Weise läßt sich auch die Diode Dp2 als
integraler Bestandteil des Feldeffekttransistors M2 realisie
ren.
Die Verwirklichung dieser Schaltungsanordnung als Teil eines
Pixels eines Fingerprint-Sensors ist in Fig. 3 dargestellt.
Hierbei wird, im zentralen Teil mit Pixel bezeichnet, in ei
nem p⁻-Gebiet mit dem wesentlichen Flächenanteil eine Kapazi
tät gebildet. In der rechten unteren Ecke ist in dieser Lay
out-Darstellung der Transistor M1 dargestellt, wobei am unte
ren Rand die Leitung mit dem Potential VDD herangeführt ist,
und mit G1 dargestellt, am rechten Rand, die Leitung des Ga
te-Anschlusses Φ1 herangeführt ist, die dann in eine Richtung
parallel zur VDD-führenden Leitung abgewinkelt ist. Am Punkt
Dp1 ist gleichzeitig das Drain-Gebiet und die Diode Dp1 aus
gebildet. Von diesem Punkt aus geht parallel zur VDD-führenden
Leitung eine Leitung ab, die im p⁻-Gebiet endet, wo
die Diode Dn1 ausgebildet ist. Von dieser Leitung wiederum
geht eine Widerstandsleitung R1 ab, die den Widerstand R1
darstellt und im Gebiet Pixel mit der oberen Elektrode des
hier flächig ausgebildeten Kondensators verbunden ist. In
gleicher Weise ist diagonal gegenüber dem Transistor M1 ein
Feldeffekttransistor M2 ausgebildet, wobei hier der Drain-An
schluß mit der das Potential LL führenden Leitung verbunden
ist, und das n⁻-Gebiet dieses Transistors separat mit der das
Potential VDD führenden Leitung vom unteren Rand kommenden
Leitung verbunden ist. Das p⁻-Gebiet, das ebenfalls eine
Elektrode der Kapazität des mit Pixel bezeichneten Gebietes
darstellt, und in dem die beiden Dioden Dn1 und Dn2 liegen,
ist wiederum über eine Leitung mit der das Potential VSS füh
renden Leitung am oberen Rand verbunden. Somit sind die Di
oden der zuvor beschriebenen Schaltungsanordnung mit im Lay
out minimierten Flächenbedarf entwickelt.
Die zuvor beschriebene Schaltungsanordnung läßt sich selbst
verständlich in analoger Form ebenfalls mit n-Kanal-Feld
effekttransistoren als Lade- bzw. Umladetransistoren aus
bilden, wobei in einem solchen Fall die Polaritäten umzukeh
ren sind und die zuvor beschriebenen Gebiete umgekehrte Leit
fähigkeiten aufweisen.
Claims (3)
1. Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungs
schutz, mit einer von einem ersten Feldeffekttransistor (M1)
auf ein erstes Potential (VDD) aufladbaren und einem zweiten
Feldeffekttransistor (M2) auf ein zweites Potential (LL) um
ladbaren Kapazität (CPO), bei der zwischen einem der Drain-
/Sourceanschlüsse des zumindest einen der Transistoren eine
Diode in Sperrichtung mit dem ersten Potential (VDD) verbun
den ist und diese Diode (Dp1; Dp2) durch das Dotierungsgebiet
des Drain-/Sourcegebietes des zumindest einen Feldeffekttran
sistors mit dem dieses Gebiet umgebenden Gebietes gebildet
ist.
2. Schaltung nach Anspruch 1, wobei beide Transistoren
p-Kanal-Feldeffekttransistoren sind.
3. Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, wobei zwischen der Kapa
zität und dem einen Drain-/Source-Gebiet des Feldeffekttran
sistors (M1; M2) jeweils ein Widerstand ausgebildet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998144145 DE19844145A1 (de) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungsschutz |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998144145 DE19844145A1 (de) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungsschutz |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19844145A1 true DE19844145A1 (de) | 2000-01-05 |
Family
ID=7882308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998144145 Ceased DE19844145A1 (de) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungsschutz |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19844145A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10110724A1 (de) * | 2001-03-06 | 2002-09-26 | Infineon Technologies Ag | Fingerabdrucksensor mit Potentialmodulation des ESD-Schutzgitters |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4353056A (en) * | 1980-06-05 | 1982-10-05 | Siemens Corporation | Capacitive fingerprint sensor |
EP0371663B1 (de) * | 1988-11-22 | 1994-06-15 | AT&T Corp. | Ausgangspuffer einer integrierten Schaltung mit einem verbesserten ESD-Schutz |
-
1998
- 1998-09-25 DE DE1998144145 patent/DE19844145A1/de not_active Ceased
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4353056A (en) * | 1980-06-05 | 1982-10-05 | Siemens Corporation | Capacitive fingerprint sensor |
EP0371663B1 (de) * | 1988-11-22 | 1994-06-15 | AT&T Corp. | Ausgangspuffer einer integrierten Schaltung mit einem verbesserten ESD-Schutz |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 57-63861 A2, Pat. Abstr. of Japan, Vol.6, No. 140, (E-121) * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10110724A1 (de) * | 2001-03-06 | 2002-09-26 | Infineon Technologies Ag | Fingerabdrucksensor mit Potentialmodulation des ESD-Schutzgitters |
US7027625B2 (en) | 2001-03-06 | 2006-04-11 | Infineon Technologies Ag | Fingerprint sensor with potential modulation of the ESD protective grating |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69528298T2 (de) | Analog MISFET mit einstellbarer Schwellspannung | |
DE69113399T2 (de) | Integrierte Ladungspumpenschaltung mit reduzierter Substratvorspannung. | |
DE2759086C2 (de) | ||
EP0275872B1 (de) | Integrierte Schaltung mit "Latch-up" Schutzschaltung in komplementärer MOS Schaltungstechnik | |
DE3910709A1 (de) | Schutzvorrichtung fuer integrierte schaltkreise gegen elektrostatische entladung | |
DE3604158A1 (de) | Widerstandsnetzwerk fuer analog/digital-wandler | |
DE2510604C2 (de) | Integrierte Digitalschaltung | |
DE2030933A1 (de) | Leistungsausgangsstufe in Gegentakt schaltung fur eine integrierte Schaltung | |
EP0648019B1 (de) | CMOS-Schaltung mit erhöhter Spannungsfestigkeit | |
EP0537203A1 (de) | Anordnung mit selbstverstärkenden dynamischen mos-transistorspeicherzellen. | |
DE69936677T2 (de) | Schutzstruktur für eine integrierte Schaltungshalbleiteranordnung gegen elektrostatische Entladungen | |
DE2505573B2 (de) | Halbleiterschaltungsanordnung mit zwei isolierschicht-feldeffekttransistoren | |
DE68911809T2 (de) | Integrierbare, aktive Diode. | |
EP0582125B1 (de) | Ansteuerschaltung für einen Leistungs-MOSFET mit sourceseitiger Last | |
EP0261371B1 (de) | Integrierte Schaltung mit "Latch-up" Schutzschaltung in komplementärer MOS Schaltungstechnik | |
DE1945218A1 (de) | Integrierte Schaltung | |
DE3244322A1 (de) | Schnell arbeitender analog/digital-umsetzer | |
DE2835692B2 (de) | Binäres logisches ODER-Glied für programmierte logische Anordnungen | |
WO1995008190A1 (de) | Halbleiter(detektor)struktur | |
DE3879557T2 (de) | Halbleiteranordnung mit einer Ladungsübertragungsanordnung. | |
DE19844145A1 (de) | Kapazitätslade- und Entladeschaltung mit Überspannungsschutz | |
DE2247937A1 (de) | Verfahren zur messung einer gespeicherten ladung | |
DE69121010T2 (de) | Ladungsabfühlschaltung zur Verwendung in einer Ladungsübertragungsanordnung | |
EP0045403A1 (de) | Verefahren zur Herstellung einer Anordnung zum Verringern der Strahlungsempfindlichkeit von in integrierter MOS-Schaltkreistechnik ausgeführten Speicherzellen | |
DE2936704A1 (de) | Monolithisch integrierte schaltung mit einem zweidimensionalen bildsensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAV | Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1 | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |