DE19843155B4 - Optische Verschiebungsmeßeinrichtung - Google Patents
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Abstract
Optische Verschiebungsmesseinrichtung mit einem re gegenüberliegend dem Maßstab (2), wobei dazwischen ein Spalt vorhanden ist, so dass eine Relativbewegung dieser beiden Teile möglich ist, wobei der Sensorkopf (1) den Maßstab (2) bestrahlt, um ein Verschiebungssignal auszugeben, wobei der Sensorkopf aufweist: einen Harzformblock (10) mit einem Loch (15), welches zu einer vorderen Oberfläche (17) gegenüberliegend dem Maßstab (2) hin offen ist, und mit auf dem Block (10) vorgesehenen Verbindungsleitungen (12); ein Lichtaussendegerät (20), welches so in das Loch (15) des Harzformblocks (10) eingebettet ist, dass es den Maßstab (2) beleuchtet, wobei das Lichtaussendegerät (20) an die Verbindungsleitungen (12) auf dem Harzformblock (10) angeschlossen ist; ein Gerätesubstrat (30), welches an der vorderen Oberfläche (17) des Harzformblocks (10) angebracht ist; und ein Lichterfassungsgerät (32), welches auf dem Gerätesubstrat (30) angebracht ist, um von dem Maßstab (2) reflektiertes Licht zu erfassen, wobei das...
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Verschiebungsmesseinrichtung.
- Die
EP 0 720 005 A2 beschreibt einen optischen Sensor mit einem blockförmigen Träger, der mit einer Aufnahmeöffnung für ein Lichtaussendegerät versehen ist. Auch das Lichterfassungsgerät ist am blockförmigen Körper angeordnet und steht über Löcher mit verschiedenen optischen Gittern in Verbindung. - Die
DE 32 20 560 A1 betrifft einen fotoelektrischen Kodierer mit einem Lichtaussendegerät auf einer Seite eines blattförmigen, lichtdurchlässigen Basisteils, wobei die Lichterfassungsgeräte auf der der Lichtquelle gegenüberliegenden Seite des lichtdurchlässigen Basisteils angeordnet sind. - Die
DE 195 24 725 C1 betrifft einen fotoelektrischen Kodierer mit einem Lichtaussendegerät und Lichterfassungsgeräten, die auf der gleichen Seite eines lichtdurchlässigen Trägers angeordnet sind, auf dessen gegenüberliegender Seite sich eine Referenzstruktur befindet. - Die
EP 0 643 286 A1 betrifft ein Verschiebungsmessgerät mit einem Lichtaussendegerät und einem Lichtempfangsgerät, die auf der gleichen Seite einer lichtdurchlässigen Platte angeordnet sind. Dieses Messgerät benutzt einen Kolimator. - Optische Kodierer werden in reflektierende Kodierer, die von Maßstabsgittern reflektiertes Licht erfassen, und Transmissions-Kodierer unterteilt, welche Licht erfassen, das von Maßstabsgittern durchgelassen wird. Unter diesen Kodierern ist der reflektierende Kodierer in Bezug auf Verkleinerung und dünnere Ausbildung vorteilhafter als der Transmissions-Kodierer, da ein Sensorkopf an einer Seite des Maßstabs so angeordnet werden kann, dass er sowohl einen Lichtaussendeabschnitt als auch einen Lichterfassungsabschnitt aufweist. In der Praxis ist jedoch der reflektierende Kodierer so kompliziert aufgebaut, dass der Sensorkopf durch Vereinigung eines Substrats, auf welchem ein Lichterfassungsgerät angebracht ist, eines Lichtaussendegeräts wie beispielsweise einer LED, und einer Platine mit einer gedruckten Schaltung ausgebildet wird, an welche die Geräte angeschlossen werden, und zwar auf einem geeigneten Gestell.
- Der herkömmliche reflektierende Kodierer ist daher zu kompliziert aufgebaut, als dass er auf einem kleinen X-Y-Tisch angebracht werden könnte. Daraüber hinaus sind nicht nur zahlreiche Schritte zum Zusammenbau des reflektierenden Kodierers erforderlich, sondern ist es darüber hinaus schwierig, den Zusammenbauvorgang zu automatisieren, und den Kodierer mittels Massenproduktion herzustellen.
- Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer derartigen reflektierenden optischen Verschiebungsmesseinrichtung, die einen einfachen Aufbau aufweist, und bei welcher die Verkleinerung, eine dünnere Ausbildung, die Automatisierung der Herstellungsvorgänge und die Massenproduktion der Einrichtung einfach sind.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung weist eine optische Verschiebungsmesseinrichtung einen reflektierenden Maßstab und einen gegenüberliegend dem Maßstab angeordneten Sensorkopf auf, mit einem Spalt dazwischen, so dass eine Relativbewegung zwischen diesen beiden Teilen möglich ist, wobei der Sensorkopf den Maßstab beleuchtet, damit ein Verschiebungssignal ausgegeben wird, und der Sensorkopf aufweist: einen Harzformblock mit einem Loch, welches zu einer vorderen Oberfläche gegenüberliegend dem Maßstab hin offen ist, mit darauf vorgesehenen Verbindungsleitungen, ein Lichtaussendegerät, welche in das Loch des Harzformblocks eingebettet ist, um den Maßstab zu bestrahlen, wobei das Lichtaussendegerät an die Verbindungsleitungen auf dem Harzformblock angeschlossen ist, ein Gerätesubstrat, welches an der vorderen Oberfläche des Harzformblocks angebracht ist, und ein Lichterfassungsgerät, das auf dem Gerätesubstrat angebracht ist, und zur Erfassung von Licht dient, welches vom Maßstab reflektiert wurde, wobei das Lichterfassungsgerät an die Verbindungsleitungen auf dem Harzformblock angeschlossen ist.
- Seit kurzem gibt es eine derartige Verbindungsintegrationstechnik, dass die gesamte Oberfläche eines Harzformblocks mit einem leitfähigen Film beschichtet wird, und so mit einem Muster versehen wird, dass Verbindungsleitungen entstehen, die vereinigt dreidimensional auf der oberen Oberfläche, der unteren Oberfläche, und der Seitenoberfläche vorgesehen sind. Ein derartiges Modul ist als MID (geformtes Verbindungsgerät) bekannt. Ein Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Sensorkopf eines reflektierenden optischen Kodierers als MID-Modul auszubilden, welches einen Harzformblock aufweist, auf welchem ein geeignetes Gerät und ein Gerätesubstrat angebracht sind.
- Der Harzformblock ist so ausgebildet, daß er gegenüberliegend dem Maßstab ein Loch aufweist. In das Loch ist ein Lichtaussendegerät eingebettet. Weiterhin ist ein Gerätesubstrat, auf welchem ein Lichterfassungsgerät angebracht ist, vorn an dem Harzformblock so angebracht, daß es dem Maßstab gegenüberliegt. Daher kann der Sensorkopf als kleines Modul zur Verfügung gestellt werden.
- Alternativ hierzu ist ein Konkavspiegel auf der vorderen Oberfläche des Harzformblocks gegenüberliegend dem Maßstab vorgesehen. Das Gerätesubstrat ist an dem Harzformblock angebracht, auf welchem ein Lichtaussendegerät so angebracht ist, dass es den Spiegel beleuchtet, und ein Lichterfassungsgerät ist so angebracht, dass es von dem Maßstab reflektiertes Licht empfängt. Durch einen derartigen Aufbau kann man ein Sensorkopfmodul erhalten.
- Falls erforderlich, kann bei der vorliegenden Erfindung ein Verbindungsgerät wie beispielsweise eine gedruckte Schaltungsplatine (FPC) mit einer geeigneten Oberfläche des Harzformblocks verbunden werden, um die Verbindungsleitungen auf den Block einer externen Schaltung zuzuführen.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch Verwendung eines Harzformblocks, auf welchem dreidimensional Verbindungsleitungen vorgesehen sind, ein Sensormodul zur Verfügung gestellt werden. Daher ist es nicht nötig, einen komplizierten Zusammenbaumechanismus einzusetzen, wodurch der Sensorkopf verkleinert und dünner ausgebildet werden kann. Da der Sensor dünn ausgebildet wird, kann der Sensor leicht in einem kleinen Spalt oder im Inneren einer Einrichtung angebracht werden, beispielsweise einem X-Y-Tisch. Nicht nur ist die Massenproduktion des Harzformblocks einfach, auf welchem dreidimensionale Verbindungsleitungen ausgebildet sind, sondern auch eine Automatisierung der Montage des Gerätes und des Gerätesubstrats auf dem Block. Dadurch wird der Massenproduktionswirkungsgrad für den Sensorkopf hoch.
- Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:
-
1A bis1D den Aufbau eines Sensorkopfes gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegendes Erfindung; -
2 eine vergrößerte Schnittansicht des Sensorkopfes; -
3A und3B Perspektivansichten des Sensorkopfes und eines Maßstabs; -
4 eine Schnittansicht eines Sensorkopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
5 eine Perspektivansicht eines Sensorkopfes gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
6A bis6C eine Aufsicht, eine Rückansicht, und eine Schnittansicht des Sensorkopfes von5 ; und -
7A und7B einen X-Y-Tisch, in welchem ein optischer Kodierer gemäß der vorliegenden Erfindung angebracht ist. - Die
1A ,1B 1C und1D sind eine Aufsicht, eine Schnittansicht I-I von1A , eine linke Seitenansicht bzw. eine rechte Seitenansicht eines Sensorkopfes1 eines reflektierenden Kodierers gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie aus2 hervorgeht, ist der Sensorkopf gegenüberliegend einem reflektierenden Maßstab2 so angeordnet, dass dazwischen ein vorbestimmter Spalt vorhanden ist, so dass eine Relativbewegung zwischen diesen beiden Teilen möglich ist. - Gemäß
1 ist der Sensorkopf1 als MID-Gerät mit einem Harzformblock10 ausgebildet, der als rechteckiger Festkörper durch Spritzgießen hergestellt wird. Die gesamte Oberfläche des Harzformblocks10 ist mit einem leitfähigen Film beschichtet, beispielsweise einem Kupferfilm. Der leitfähige Film weist ein solches Muster auf, dass Verbindungsleitungen12 entstehen, die dreidimensional vereinigt mit dem Block auf dem Block10 vorgesehen sind. Der Harzformblock10 weist ein Loch15 auf, welches zu einer vorderen Oberfläche17 des Blocks10 hin offen ist. Die vordere Oberfläche17 liegt dem Maßstab2 gegenüber, wie dies in2 dargestellt ist. Das Loch15 erstreckt sich durch den Block10 von der vorderen Oberfläche17 bis zur rückwärtigen Oberfläche18 . Im Einzelnen ist an einem Endabschnitt der rückwärtigen Oberfläche18 des Harzformblocks10 eine Schrägfläche13 vorgesehen. Ein Loch15 erstreckt sich schräg durch den Harzformblock10 von der Schrägfläche13 zur vorderen Oberfläche17 so, dass es senkrecht zur Schrägfläche13 verläuft. - In das Loch
15 ist ein Lichtaussendegerät20 eingebettet, beispielsweise eine LED, wodurch die Öffnung14 des Lochs15 als Fenster zur Bestrahlung des Maßstabs2 dient. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird das Loch15 zu dem Zeitpunkt ausgebildet, in welchem der Spritzguss erfolgt. Alternativ hierzu kann das Loch15 hergestellt werden, nachdem der Block10 zum Spritzguss ausgebildet wurde. Die Anschlüsse des Lichtaussendegeräts20 sind mit den Verbindungsleitungen12 auf der rückwärtigen Oberfläche18 des Blocks10 verbunden. - Auf der vorderen Oberfläche
17 des Harzformblocks10 ist eine Nut16 vorgesehen, welche zwei Stufen aufweist. Ein Gerätesubstrat30 ist an der vorderen Oberfläche17 des Blocks10 angebracht. Da die Nut16 vorhanden ist, liegt das Gerätesubstrat30 dem Block10 so gegenüber, dass dazwischen ein Spalt vorhanden ist. Das Substrat30 ist als Glassubstrat31 ausgebildet, so dass es lichtdurchlässig ist. Gemäß2 ist ein Lichterfassungs-IC-Chip32 so vorgesehen, dass er vorher mit der Oberfläche nach unten mit dem Glassubstrat31 verbunden wird. Der IC-Chip32 weist ein Lichterfassungsgerätearray (beispielsweise einen Photodiodenarray)33 auf, Strom-Spannungs-Wandlerschaltungen (nicht dargestellt), usw. Der IC-Chip32 ist daher zwischen dem Block10 und dem Substrat31 angeordnet. - Bei der vorliegenden Ausführungsform ist auf dem Glassubstrat
31 ein lichtquellenseitiger Indexmaßstab34 mit Gittern vorgesehen, um das von dem Lichtaussendegerät20 abgegebene Licht zu modulieren, mit welchem der Maßstab2 bestrahlt wird. Ein Chipkondensator (nicht dargestellt), der an die Stromversorgungsquelle des IC-Chips32 angeschlossen ist, ist ebenfalls auf dem Substrat31 angebracht, und dient zur Rauschunterdrückung. - Die Anschlussklemmen des Lichtempfangs-IC-Chips
32 sind, wie aus2 hervorgeht, mit den Verbindungsleitungen35 verbunden, die auf dem Glassubstrat31 vorgesehen sind. Die Verbindungsleitungen35 sind an die Verbindungsleitungen12 auf dem Harzformblock10 angeschlossen, wenn das Gerätesubstrat30 mit dem Harzformblock10 verbunden ist, und werden so zur rückwärtigen Oberfläche18 über die Verbindungsleitungen12 auf der Seitenoberfläche19 geführt, wie dies in Figur IC gezeigt ist. - Mit der rückwärtigen Oberfläche
18 des Harzformblocks10 ist ein FPC-Substrat40 auf den Verbindungsleitungen12 verbunden, welches so auf dem Block10 vorgesehen ist, dass es an das Lichtaussendegerät20 und das FPC-Substrat40 angeschlossen ist, um die Verbindungsleitungen12 zu externen Schaltungen (nicht gezeigt) zu führen. Es wird darauf hingewiesen, dass statt des FRC-Substrats40 geeignete Verbindungsgeräte eingesetzt werden können. - In
3A bzw.3B ist in Perspektivansicht das Gerätesubstrat30 bzw. der reflektierende Maßstab2 dargestellt. Der reflektierende Maßstab2 weist ein transparentes Substrat51 beispielsweise aus Glas auf, sowie Maßstabsgitter52 , die aus reflektierenden Filmen bestehen, die in Form eines Arrays (Feldes) in Längsrichtung des Maßstabs angeordnet sind. Von dem Lichtaussendegerät20 abgegebenes Ausgangslicht wird durch den Indexmaßstab34 auf dem Gerätesubstrat30 moduliert, um dann auf den Maßstab2 aufgestrahlt zu werden. Das Licht, das durch die Gitter52 des Maßstabs2 reflektiert und moduliert wurde, wird von dem Lichtempfangsarray33 empfangen, der auf dem Gerätesubstrat30 angebracht ist. - Wie voranstehend geschildert ist bei der vorliegenden Ausführungsform der Sensorkopf
1 als Moduleinheit mit dem Harzformblock10 ausgebildet, sowie mit dem darauf angebrachten Lichtaussendegerät20 und dem Lichtempfangsgerätesubstrat30 . Da erforderliche Verbindungsleitungen dreidimensional integriert auf dem Block10 vorher ausgebildet werden, kann der Sensorkopf1 einfach und automatisch zusammengebaut werden. Infolge des Modulaufbaus wird der Sensorkopf1 klein und dünn. Genauer gesagt werden die Abmessungen des Sensorkopfes1 so gering, dass die Dicke Z 10 mm oder weniger beträgt, die Breite in Längsrichtung des Maßstabs1 einen Wert von 10 mm bis 15 mm aufweist, und die Breite senkrecht zur Längsrichtung des Maßstabs1 etwa 10 mm beträgt. -
4 zeigt als Schnittansicht einen Sensorkopf1 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In4 werden dieselben Bezugszeichen für entsprechende Abschnitte wie in1B verwendet. Bei dieser Ausführungsform ist der Abschnitt, mit welchem das FRC-Substrat40 verbunden ist, aus einem anderen Harzformblock10a hergestellt, der sich von dem Harzformblock10 unterscheidet. Der aus Harz ausgeformte Unterblock10a ist mit der Seitenwand des Harzformblocks-Hauptkörpers10 verbunden. In diesem Fall werden die Verbindungsleitungen12 auf der Seitenoberfläche19 des Hauptblocks10 durch den Unterblock10a abgedeckt und passiviert. - Bei den voranstehend geschilderten Ausführungsformen wurde das MID-Gerät durch ein einstufiges Formgebungsverfahren hergestellt. Allerdings kann gemäß der vorliegenden Erfindung auch ein Formgebungsvorgang mit zwei Schritten eingesetzt werden. Wenn ein Formgebungsvorgang mit zwei Schritten bei diesen Ausführungsformen eingesetzt wird, können die Verbindungsleitungen in den Harzformblock eingebettet werden. Hierdurch werden die Verbindungsleitungen gegen Beschädigungen, Verschmutzung und dergleichen geschützt.
-
5 zeigt einen Sensorkopf1 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die6A ,6B bzw.6C sind eine Aufsicht, Rückansicht bzw. Schnittansicht entlang II-II' von6A . Bei der vorliegenden Ausführungsform werden dieselben Bezugszeichen für entsprechende Teile wie bei der voranstehend geschilderten Ausführungsform verwendet. - Bei dem Sensorkopf gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind zwei Lichtaussendegeräte
20a und20b auf dem Harzformblock10 vorgesehen. Das Lichtaussendegerät20a bzw.20b dient zur normalen Verschiebungsmessung bzw. zur Bezugspositionserfassung. - In einem Kodierermaßstab sind zusätzlich zu den Maßstabsgittern
52 Bezugspositionserfassungsmuster außerhalb der Maßstabsgitter52 vorgesehen, wodurch der Kodierer zusätzlich eine Bezugspositionserfassungsfunktion aufweist. Wenn der optische Kodierer klein ist, wird es allerdings schwierig, Ausgangslicht eines Lichtaussendegerätes zur Bestrahlung sowohl der Maßstabsgitter als auch der Bezugspositionserfassungsmuster zu verwenden. - Um diese Schwierigkeit zu überwinden sind bei der vorliegenden Ausführungsform das Lichtaussendegerät
20a für die Verschiebungsmessung und das Lichtaussendegerät20b zur Erfassung der Bezugsposition vorgesehen. Entsprechend der voranstehend geschilderten Anordnung von Lichtaussendegeräten sind auf dem Gerätesubstrat30 zwei IC-Chips32a und32b vorgesehen, die dazu dienen, die Verschiebung zu messen bzw. die Bezugsposition festzustellen. Im Übrigen entspricht die vorliegende Ausführungsform der voranstehend geschilderten Ausführungsform. - Die
7A und7B zeigen einen X-Y-Tisch, auf welchem der optische Kodierer gemäß der voranstehend geschilderten Ausführungsform installiert ist.8A bzw.8B ist eine Perspektivansicht bzw. Seitenansicht in Y-Richtung. Wie aus den8A und8B hervorgeht, ist ein Y-Tisch84 mit einer Vorschubschraube83 über Führungen82 an einer Bühne81 angebracht. Eine weitere Bühne85 ist auf dem Y-Tisch84 vorgesehen. Auf der Bühne85 ist ein X-Tisch88 über Führungen86 durch eine Vorschubschraube87 angebracht. Wie in8B gezeigt ist der Sensorkopf1 des optischen Kodierers mit einem Spalt zwischen der Bühne85 und dem X-Tisch88 vorgesehen. Entweder der Sensorkopf1 oder der Maßstab ist auf dem Tisch88 angeordnet, und das entsprechende andere Teil befindet sich auf der Bühne85 . Es können andere Sensorkopfpositionen gewählt werden, die durch gepunktete Linien in8B angedeutet sind. Da der Sensorkopf1 nur eine geringe Dicke aufweist, kann der Sensorkopf1 in geeigneten Spalten zwischen dem Tisch84 und der Bühne81 sowie zwischen dem Tisch88 und der Bühne85 angeordnet werden, wie dies in7B gezeigt ist. - Wie voranstehend geschildert ist gemäß der vorliegenden Erfindung der Sensorkopf des optischen Kodierers als Modul ausgebildet, infolge der Verwendung eines Harzformblocks. Daher kann der Sensorkopf klein und dünn ausgebildet werden, ohne komplizierte Zusammenbauvorgänge, wodurch der reflektierende optische Kodierer automatisch zusammengebaut werden kann, mit hohem Wirkungsgrad für die Massenproduktion.
- Zwar wurde die vorliegenden Erfindung in Bezug auf die momentan am besten angesehenen Ausführungsformen gezeigt und beschrieben, jedoch wird Fachleuten auf diesem Gebiet deutlich werden, dass sich verschiedene Änderungen, Weglassungen, und Hinzufügungen in Bezug auf Form und Einzelheiten vornehmen lassen, ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Claims (7)
- Optische Verschiebungsmesseinrichtung mit einem reflektierenden Maßstab (
2 ) und einem Sensorkopf (1 ) gegenüberliegend dem Maßstab (2 ), wobei dazwischen ein Spalt vorhanden ist, so dass eine Relativbewegung dieser beiden Teile möglich ist, wobei der Sensorkopf (1 ) den Maßstab (2 ) bestrahlt, um ein Verschiebungssignal auszugeben, wobei der Sensorkopf aufweist: einen Harzformblock (10 ) mit einem Loch (15 ), welches zu einer vorderen Oberfläche (17 ) gegenüberliegend dem Maßstab (2 ) hin offen ist, und mit auf dem Block (10 ) vorgesehenen Verbindungsleitungen (12 ); ein Lichtaussendegerät (20 ), welches so in das Loch (15 ) des Harzformblocks (10 ) eingebettet ist, dass es den Maßstab (2 ) beleuchtet, wobei das Lichtaussendegerät (20 ) an die Verbindungsleitungen (12 ) auf dem Harzformblock (10 ) angeschlossen ist; ein Gerätesubstrat (30 ), welches an der vorderen Oberfläche (17 ) des Harzformblocks (10 ) angebracht ist; und ein Lichterfassungsgerät (32 ), welches auf dem Gerätesubstrat (30 ) angebracht ist, um von dem Maßstab (2 ) reflektiertes Licht zu erfassen, wobei das Lichterfassungsgerät (32 ) an die Verbindungsleitungen (12 ) auf dem Harzformblock (10 ) angeschlossen ist, wobei das Gerätesubstrat (30 ) ein transparentes Substrat (31 ) ist und das Lichtempfangsgerät (32 ) mit dem transparenten Substrat (31 ) so verbunden ist, dass es sich zwischen dem Harzformblock (10 ) und dem transparenten Substrat (31 ) befindet, und wobei ein Indexmaßstab (34 ) vorgesehen ist, der auf der dem Harzformblock (10 ) zugewandten Seite des transparenten Substrats (31 ) angeordnet ist, um das von dem Lichtaussendegerät (20 ) abgegebene Ausgangslicht zu modulieren. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsleitungen (
12 ) dreidimensional integriert auf dem Harzformblock (10 ) vorgesehen sind. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich das Loch (
15 ) im Harzformblock (10 ) von der vorderen Oberfläche (17 ) zur hinteren Oberfläche (18 ) erstreckt, und die Anschlüsse des Lichtaussendegeräts (20 ) an die Verbindungsleitungen (12 ) auf der hinteren Oberfläche des Harzformblocks (10 ) angeschlossen sind. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtempfangsgerät (
32 ) mit der Oberfläche nach unten mit dem transparenten Substrat (31 ) verbunden ist. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit dem Harzformblock (
10 ) verbundenes Verbindungsgerät (40 ) vorgesehen ist, welches die Verbindungsleitungen (12 ) einer externen Schaltung zuführt. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungsgerät (
40 ) ein FPC-Substrat ist. - Optische Verschiebungsmesseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an der vorderen Oberfläche (
17 ) des Harzformblocks (10 ) eine Nut (16 ) vorgesehen ist, in der das transparente Substrat (31 ) so angebracht ist, dass zwischen dem Substrat und dem Block (10 ) ein Spalt ausgebildet ist, in den das Loch (15 ) mündet und in dem sich das Lichterfassungsgerät (32 ) und der Indexmaßstab (34 ) befinden.
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