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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Abtasteinheit für eine optische
Positionsmeßeinrichtung nach
dem Oberbegriff des Anspruches 1.
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Bekannte
optische Positionsmeßeinrichtungen
umfassen neben einer Maßstabteilung
desweiteren eine relativ dazu bewegliche Abtasteinheit, über die
positionsabhängige
Abtastsignale erzeugt werden. Hierzu sind auf Seiten der Abtasteinheit
in der Regel u.a. auch mehrere optoelektonische Bauelemente angeordnet,
wie etwa Lichtquellen, ausgebildet als LEDs, Detektorelemente, ausgebildet
als Photoelemente etc.. Über
die Photoelemente werden dabei die verschiebungsabhängig modulierten
Abtastsignale bei der Abtastung der Maßstabteilung erzeugt. In der
Regel sind die Photoelemente auf Trägerelementen, z.B. geeigneten
Platinen oder Leiterplatten, angeordnet, wobei die strahlungsempfindlichen
Flächenbereiche
der Photoelemente abgewandt zum Trägerkörper orientiert sind. Die erforderliche
Kontaktierung der Photoelemente erfolgt über filigrane Verbindungsleitungen
bzw. Bond-Drähtchen,
die zwischen dem Trägerelement
und den Kontaktierungsberei chen der Photoelemente angebracht werden
müssen.
Die Kontaktierungsbereiche sind hierbei ebenso wie die strahlungsempfindlichen
Flächenbereiche
auf derjenigen Seite der Photoelemente angeordnet, die abgewandt
zum Trägerelement orientiert
ist. Die als Bond-Drähtchen
ausgebildeten Verbindungsleitungen müssen nunmehr zuverlässig geschützt werden,
so daß im
Meßbetrieb
keine Beschädigung
durch den relativ zur Abtasteinheit beweglichen Maßstab resultiert.
Ein derartiges Problem ergibt sich insbesondere dann, wenn ein sehr
geringer Abstand zwischen den optoelektronischen Bauelementen und
dem damit abgetasteten Maßstab
aufgrund des gewählten
optischen Abtastprinzipes vorgesehen ist.
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Gemäß der
EP 0 577 088 A2 wird
zum Schutz der Verbindungsleitungen deshalb vorgeschlagen, die Photoelemente
auf dem Trägerkörper anzuordnen,
diese anschließend
mittels Bond-Drähten
zu kontaktieren und daraufhin eine geeignete transparente Vergußmasse über den
Kontaktierungsbereichen und den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen
der Photoelemente aufzubringen. Die Oberfläche der Vergußmasse wird
zuletzt geeignet strukturiert, um derart die nötige Abtaststruktur zu erzeugen.
Erfordert das gewählte
optische Abtastprinzip nunmehr jedoch einen möglichst geringen Abstand zwischen
den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen
der Bauelemente und der Abtaststruktur, so ist die in der
EP 0 577 088 A2 vorgeschlagene
Anordnung ungeeignet. Desweiteren ist in einer derartigen Anordnung
die Strukturierung der transparenten Vergußmasse erforderlich, was nicht
mit der gleichen Präzision
erfolgen kann wie etwa die Strukturierung einer separaten Glas-Abtastplatte.
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Ebenso
ungeeignet ist bei einer derartigen Forderung nach einem geringen
Abstand zwischen den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen und der Abtaststruktur
eine Anordnung, wie sie beispielsweise aus der
US 4,703,176 bekannt ist. Dort wird vorgeschlagen,
eine Abtastplatte mit einer geeigneten Abtaststruktur in einem endlichen
Abstand über mehreren
optoelektronischen Detektorelementen anzuordnen. Die Abtastplatte
erstreckt sich dabei flächenmäßig über den
gesamten Bereich der Detektorelemente inclusive der zugehörigen, danebenliegenden
Kontaktierungsbereiche. Die Bond-Drähtchen zur
Kontaktierung der Detektorelemente sind hierbei durch die darüber liegende
Abtastplatte vor mechanischer Beschädigung geschützt. Wiederum
ist damit jedoch ein Abstand zwischen den strahlungsempfindlichen
Flächenbereichen
und der Abtaststruktur vorgesehen, der für bestimmte optische Abtastprinzipien
zu groß ist,
insbesondere, wenn ein kompakt bauendes Gesamtsystem realisiert
werden soll.
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Aus
der JP 09-189514 ist desweiteren bekannt, über einer strukturierten Detektoranordnung einer
Abtasteinheit eine transparente Glasplatte anzuordnen, die derart
angeordnet bzw. dimensioniert ist, daß dadurch die zur Kontaktierung
erforderlichen Bond-Drähte
vor einer mechanischen Beschädigung im
Meßbetrieb
geschützt
werden. Problematisch hierbei ist nunmehr, daß bei einer derartigen Ausgestaltung
einer Abtasteinheit die Detektorelemente bereits die Abtast-Strukturierung
enthalten, was eine geringere Flexibilität bei der Auslegung entsprechender
Positionsmeßeinrichtungen
zur Folge hat.
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Grundsätzlich ähnliche
Probleme resultieren, wenn andere optoelektronische Bauelemente wie
beispielsweise Lichtquellen mit strahlungsemittierenden Flächenbereichen
in Verbindung mit vorgeordneten Sende-Strukturierungen in einer
kompakten Abtasteinheit eines optischen Positionsmeßsystems
angeordnet werden sollen.
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Aus
der
DE 296 09 523
U1 , von der bei der Bildung des Oberbegriffes ausgegangen
wurde, ist eine weitere optoelektronische Bauelementanordnung bekannt.
Gemäß
2 dieser Druckschrift ist auf einem Trägerelement
ein optoelektronisches Bauelement angeordnet, das mittels Bonddrähten in dessen
Randbereichen elektrisch kontaktiert wird. Unmittelbar auf dem Bauelement
ist ein Blenden- bzw. Abdeckelement angeordnet, wobei das Blendenelement
eine Höhe
aufweist, die die Höhe
der Bonddrähte übersteigt.
In den Kontaktierungsbereichen ist eine Vergussmasse vorgesehen,
die u.a. zum Schutz der empfindlichen Bonddrähte dient. Das Bauelement ist
ferner von einem Rahmen auf dem Trägerelement umgeben, der die
Vergussmasse nach außen hin
begrenzt. Insbesondere aufgrund des erforderlichen Rahmens für die Begrenzung
der Vergussmasse auf dem Trägerlement
resultiert bei der Fertigung einer solchen Bauelementanordnung ein
unerwünschter
Aufwand.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Abtasteinheit für eine optische
Positionsmeßeinrichtung
zu schaffen, bei der auch im Fall eines geforderten geringen Abstandes
zwischen den strahlungsempfindlichen oder strahlungsemittierenden
Flächenbereichen
optoelektronischer Bauelemente und einer erforderlichen Strukturierung
die Kontaktierungsleitungen des je welligen Bauelementes vor mechanischer
Beschädigung
sicher geschützt
sind.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
durch eine Abtasteinheit mit den Merkmalen des Anspruches 1.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Abtasteinheit ergeben sich
aus den Maßnahmen,
die in den abhängigen
Ansprüchen
aufgeführt
sind.
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Aufgrund
der erfindungsgemäßen Maßnahmen
läßt sich
nunmehr auf einfache Art und Weise eine mechanische Beschädigung der
Kontaktierungsbereiche der Detektorelemente bzw. der entsprechenden
Kontaktierungsleitungen vermeiden. Auch im Fall eines geringen Abtastabstandes,
d.h. eines geringen Abstandes zwischen der Abtasteinheit und einer
damit abgetasteten Maßstabteilung
kann somit dieser Bereich der Abtasteinheit sicher geschützt werden.
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In
einer möglichen
Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
läßt sich
desweiteren auch ein sehr geringer Abstand zwischen einem strahlungsempfindlichen
Flächenbereich
eines Detektorelementes und den erforderlichen Abtaststrukturen
realisieren, so daß ein
insgesamt sehr kompakt bauendes Gesamtsystem resultiert.
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Da
die vor dem jeweiligen Bauelement vorgesehene Strukturierung jeweils
auf dem separaten Abdeckelement angeordnet ist, kann dieses Bauteil unabhängig vom
Trägerelement
bzw. von den optoelektronischen Bauelementen gefertigt werden, d.h. es
können
hierzu bekannte Präzisions-Strukturierungsverfahren
eingesetzt werden. Insbesondere die Strukturierung einer Vergußmasse ist
demgegenüber etwa
nicht mit einer derartigen Präzision
möglich.
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In
einer weiteren Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
kann desweiteren neben einer Strukturierung auf dem Abdeckelement desweiteren
auch eine zusätzliche
Strukturierung des jeweiligen Bauelementes auf seinem strahlungsempfindlichen
oder strahlungsemittierenden Flächenbereich
vorgesehen sein. Die Bauelemente können in einer solchen Variante
zudem bereits als integraler Bestandteil des Trägerelementes ausgebildet werden.
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Eine
weitere Variante sieht vor, im Bereich der Kontaktierungsleitungen
auf Seiten des Abdeckelementes Ausnehmungen bzw. Taschen anzuordnen.
Die Ausnehmungen bzw. die verbleibende Dicke des Abdeckelementes
in diesen Bereichen sind hierbei derart dimensioniert, daß die Kontaktierungsleitungen
geschützt
sind. Insbesondere bei miniaturisierten Abtasteinheiten erweist
sich diese Ausführungsform
als günstig,
da dann für
das Abdeckelement ein hinreichende Auflagefläche vorhanden ist.
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Selbstverständlich lassen
sich erfindungsgemäß ausgebildete
Abtasteinheiten sowohl in Verbindung mit Linear-Meßsystemen
ebenso einsetzen wie in Verbindung mit rotatorischen Meßsystemen.
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Weitere
Vorteile sowie Einzelheiten der erfindungsgemäßen Abtasteinheit ergeben sich
aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
beiliegenden Zeichnungen.
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Hierbei
zeigt
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1a eine
schematisierte seitliche Schnittansicht einer ersten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
in Verbindung mit einer damit abgetasteten Maßstabteilung;
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1b eine
Draufsicht auf die Abtasteinheit aus 1a;
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2a eine
schematisierte seitliche Schnittansicht eines zweiten Ausführungsbeispieles
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit;
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2b eine
Draufsicht auf die Abtasteinheit aus 2a;
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3 eine
schematisierte seitliche Schnittansicht eines dritten Ausführungsbeispieles
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit.
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Ein
erste Ausführungsform
einer erfindungsgemäß ausgebildeten
Abtasteinheit sei nachfolgend anhand der beiden 1a und 1b erläutert. Hierbei
zeigt 1a eine schematische Schnittansicht
einer erfindungsgemäßen Abtasteinheit 1 in Verbindung
mit einer damit abgetasteten linearen Maßstabteilung 10, die
eine Inkrementalteilung trägt. In
diesem Ausführungsbeispiel
ist ein Auflicht-Meßsystem
gezeigt, d.h. die inkrementale Maßstabteilung 10 besteht
in bekannter Art und Weise aus periodisch angeordneten reflektierenden
und nicht-reflektierenden Bereichen. Selbstverständlich können die nachfolgend erläuterten
erfindungsgemäßen Maßnahmen
auch in andersartig aufgebauten Meßsystemen eingesetzt werden,
beispielsweise in Code-Meßsystemen,
Durchlicht-Meßsystemen
etc.. Darüberhinaus
können
selbstverständlich
auch mehrere parallel angeordnete Inkrementalteilungen vorgesehen
werden, Referenzmarkierungen auf dem Maßstab angeordnet sein usw..
Die Abtasteinheit 1 und die Maßstabteilung 10 sind
relativ zueinander in Meßrichtung × beweglich
angeordnet und z.B. mit Werkzeug und Werkstück einer numerisch gesteuerten
Werkzeugmaschine verbunden, deren Relativpositionen hochexakt zueinander
bestimmt werden sollen.
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Die
erfindungsgemäße Abtasteinheit 1 umfaßt hierbei
ein Trägerelement 2,
auf dem als Detektorelemente ausgebildete optoelektronische Bauelemente 3a, 3b, 3c, 3d angeordnet
sind, die zur Detektion des von der Maßstabteilung 10 reflektierten,
positionsabhängig
modulierten Lichtes dienen. Vorzugsweise können hierzu Photoelemente eingesetzt werden.
Als Trägerelement 2 dienen
vorzugsweise Leiterplatten oder geeignete Platinen mit darin angeordneten
Leiterbahnen. Ggf. sind desweiteren auch Auswerfe-Elemente in integrierter
Form in oder auf dem Trägerelement 2 angeordnet.
Nicht gezeigt ist in den Figuren dabei die auf Seiten der Abtasteinheit 1 desweiteren
vorgesehene Lichtquelle, vorzugsweise ausgebildet als LED.
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Die
Detektorelemente 3a–3d sind
mit ihren strahlungsempfindlichen Flächenbereichen abgewandt zum
Trägerelement 2 angeordnet,
d.h. diese – bereiche
sind in Richtung der abgetasteteten Maßstabteilung 10 orientiert.
Unmittelbar auf den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen der Detektorelemente 3a–3d ist
desweiteren ein zumindest teiltransparentes plattenförmiges Abdeckelement 4 angeordnet,
welches vorzugsweise aus Glas besteht. In einer derartigen Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 1 wird
das Abdeckelement 4 üblicherweise
auch als Abtastplatte bezeichnet. Das Abdeckelement 4 ist
hier von seinen flächigen
Dimensionen, d.h. Länge
l·Breite
b, so dimensionert und auf den Detektorelementen 3a–3d angeordnet, daß die seitlichen
Kontaktierungsbereiche 5a, 5b, 5c, 5d dieser
Bauelemente 3a–3d nicht
vom Abdeckelement 4 bedeckt werden. Derart ist sichergestellt,
daß in
diesen Kontaktierungsbereichen 5a–5d jeweils mindestens
eine elektrisch leitfähige
Verbindungsleitung 6a, 6b, 6c, 6d angebracht
werden kann, die andererseits mit dem Trägerelement 2 bzw.
darauf angeordneten Leiterbahnen verbunden ist. Bei den Verbindungsleitungen 6a–6d handelt
es sich um übliche Bond-Drähte, die
die Bauelemente 3a–3d mit
den – nicht
gezeigten – Leiterbahnen
auf dem Trägerelement 2 verbinden.
Derart läßt sich
somit die Verbindung zu nachgeordneten Auswerte-Elementen herstellen,
in denen eine bekannte Verarbeitung der Abtastsignale erfolgt. Hierbei
können
derartige Auswerte-Elemente wie Verstärker-Bausteine, Interpolator-Bausteine
etc. sowohl auf dem Trägerelement 2 angeordnet
sein als auch räumlich
entfernt hiervon.
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Im
dargestellten Ausführungsbeispiel
weist nunmehr das Abdeckelement 4 insgesamt vier flächige Teilbereiche
auf, in denen jeweils eine Strukturierung 7a, 7b, 7c, 7d angeordnet
ist. Als Strukturierung 7a, 7b, 7c, 7d sind
hierbei jeweils periodische Gitterstrukturen vorgesehen, die abwechselnd
durchläs sig bzw.
nicht-durchlässig
für die
eingesetzte Wellenlänge
sind. Die Teilbereiche mit den Strukturierungen 7a–7d sind
jeweils vor den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen der Detektorelemente 3a–3d angeordnet
und dienen demzufolge in bekannter Art und Weise als Abtastgitter
bei der optischen Abtastung der inkrementalen Maßstabteilung 10.
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Wie
insbesondere aus der Schnittansicht in 1a hervorgeht,
ist das Abdeckelement 4 in dieser Ausführungsform an derjenigen Seite
mit einer Strukturierung versehen, die unmittelbar den strahlungsempfindlichen
Flächenbereichen
der darunter angeordneten Detektorelemente 3a–3d zugewandt
ist. Die Befestigung des Abdeckelementes 4 auf den strahlungsempfindlichen
Flächenbereichen
der Detektorelemente 3a–3d erfolgt hierbei
mittels eines geeigneten Klebstoffes. Dieser sollte dabei u.a. transparent
für eingesetzte
Wellenlänge
sein und keine Bestandteile enthalten, die in das darunter angeordnete
Bauelement eindiffundieren.
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Entscheidend
für den
Schutz der Kontaktierungsbereiche 5a–5d und insbesondere
der dort vorgesehenen elektrischen Verbindungsleitungen 6a–6d ist
nunmehr die Wahl der resultierenden Schichtdicke hA,
die sich aus der Dicke des Abdeckelementes 4, der Kleberschicht
sowie der Dicke der Detektorelemente 3a–3d ergibt. So ist
erfindungsgemäß vorgesehen,
diese Dicke hA derart zu wählen, daß die Oberseite
des Abdeckelementes 4 die Höhe hB der
Verbindungsleitung 6a–6d im
Kontaktierungsbereich 5a–5d jeweils übersteigt,
d.h. es wird hA > hB gewählt. Auf
diese Art und Weise ist auf einfachste Art und Weise durch die resultierende
Kantenstruktur ein Schutz der Bond-Drähte 6a–6d in
diesem Bereich vor einer eventuellen mechanischen Beschädigung durch
die relativ hierzu bewegliche Maßstabteilung 10 gewährleistet.
Dies ist auch dann der Fall, wenn ein lediglich geringer (Abtast-)
Abstand zwischen Abtasteinheit 1 und Maßstabteilung 10 vorgesehen
ist. In der Praxis liegt die vorzugsweise zu wählende Dicke hA etwa
bei hA ≥ hB + 0.1 mm.
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Um
die elektrischen Verbindungsleitungen 6a–6d im
Kontaktierungsbereich noch zusätzlich
zu schützen,
kann wie im gezeigten Ausführungsbeispiel
schließlich
noch vorgesehen werden, in diesem -Bereich nach dem Anbrin gen des
Abdeckelementes 4 über
den strahlungsempfindlichen Flächenbereichen
der Detektorelemente 3a–3d und der erfolgten Kontaktierung
eine Vergußmasse 8 anzuordnen,
wie dies in 1a gezeigt ist. Hierzu sind
etwa sog. „globe
top" Vergußmassen
geeignet.
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Während im
gezeigten Ausführungsbeispiel der 1a und 1b die
erfindungsgemäßen Maßnahmen
in Verbindung mit Detektorelementen erläutert wurden, so sei an dieser
Stelle darauf hingewiesen, daß die
identischen Maßnahmen
etwa auch bei anderen optoelektronischen Bauelementen in Abtasteinheiten
optischer Positionsmeßsysteme
eingesetzt werden können.
So ist es etwa jederzeit möglich,
auch die Kontaktierungsbereiche von anderen optoelektronischen Bauelementen
wie z.B. Lichtquellen in Form von LEDs auf identische Art und Weise
zu schützen.
Hierbei kann ebenfalls ein Abdeckelement in der beschriebenen Weise
unmittelbar vor den strahlungsemittierenden Flächenbereichen der LED(s) angeordnet
werden. Das Abdeckelement kann dabei ebenfalls Teilbereiche mit
einer Strukturierung enthalten, die dann als Sendeteilung bzw. Sendegitter
in der Abtasteinheit fungieren. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen
lassen sich somit auch auf die Kontaktierungsbereiche bei anderen
optoelektronischen Bauelementen übertragen.
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Anhand
der 2a und 2b sei
nachfolgend eine zweite mögliche
Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
erläutert.
Während 2a wiederum
eine seitliche, schematisierte Schnittansicht zeigt, ist in 2b eine
Draufsicht auf einen Teil der Abtasteinheit dargestellt.
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In
dieser Ausführungsform
ist nunmehr vorgesehen, auf einem Trägerelement 21 ein
flächiges Trägersubstrat 23 anzuordnen.
Dieses Trägersubstrat 23 besteht
aus einem Halbleiter-Material, das einzelne Teilbereiche mit unterschiedlichen
Funktionen aufweist. So sind etwa einzelne Teilbereiche als Detektorelemente 23a, 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4, 23c ausgebildet,
deren strahlungsempfindliche Flächenbereiche
wiederum vom Trägerelement 21 weg
orientiert sind. Andere Teilbereiche können beispielsweise bereits
die Funktion von Auswerte-Komponenten übernehmen, d.h. integrierte
Auswerte-Elemente darstellen. Daneben umfaßt das Trägersubstrat 23 auch
am Außenumfang
angeordnete Kontaktierungsbereiche 25a–25i, über die
wiederum jeweils eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen den Detektorelementen 23a, 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4, 23c oder
anderen, in das Trägersubstrat 23 integrierten
Bauelementen sowie diesen nachgeordneten Auswerte-Elementen mittels
elektrischen Verbindungsleitungen 26a–26i in Form von Bond-Drähten hergestellt
werden kann.
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Über den
strahlungsempfindlichen Flächenbereichen
der Detektorelemente 23a, 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4, 23c ist
auch in diesem Ausführungsbeispiel
wiederum ein Abdeckelement 24 in Form einer Glasplatte
mit der Länge
l, Breite b und Dicke hA angeordnet. Das
Abdeckelement 24 ist wie vorigen Ausführungsbeispiel bezüglich der
Größe und Plazierung
so gestaltet bzw. angeordnet, daß die seitlich neben den strahlungsempfindlichen
Flächenbereichen
liegenden Kontaktierungsbereiche 25a–25i der Detektorelemente 23a, 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4, 23c und
eventueller anderer integrierter Bauelemente davon nicht bedeckt
werden. An den Kontaktierungsbereichen 25a–25i wiederum
sind Verbindungsleitungen 26a–26i in Form von Bond-Drähten vorgesehen, über die
die elektrisch leitfähige
Verbindung der Bauelemente auf dem Trägersubstrat 23 mit
nachgeordneten – nicht
gezeigten – Auswerte-Komponenten
erfolgt.
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Die
Höhe hA, resultierend aus der Höhe des Abdeckelementes 24 und
der Höhe
des Trägersubstrates 23 ist
wiederum dergestalt gewählt,
daß hA > hB gilt. Es ist also vorgesehen, daß die Oberseite
des Abdeckelementes 24 die Höhe der Verbindungsleitungen 26a–26i in
den Kontaktierungsbereichen 25a–25i übersteigt.
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In
diesem Ausführungsbeispiel
ist numnehr lediglich beim mittleren der Detektorelemente 23a, 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4, 23c eine
Strukturierung 27 vor dem strahlungsempfindlichen Flächenbereich, d.h.
eine Abtastteilung, erforderlich. Im Gegensatz zum oben erläuterten
Ausführungsbeispiel
ist diese Strukturierung 27 bzw. die Abtastteilung nicht
vollständig
auf dem Abdeckelement 24 angeordnet; vielmehr ist zusätzlich vorgesehen,
ein grob strukturiertes Detektorelement einzusetzen, welches eine Grob-Strukturierung
bereits als integralen Bestandteil des strahlungsempfindlichen Flächenbereiches aufweist.
Hierzu sind im gezeigten Beispiel vier Detektorberereiche 23b.1, 23b.2, 23b.3, 23b.4 vorgesehen.
Eine weitere Strukturierung 27 in Form einer Gitter-Feinstrukturierung
ist wie im vorherigen Ausführungsbeispiel
auf der Unterseite des Abdeckelementes 24 angeordnet.
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Grundsätzlich kann
auch bei diesem Ausführungsbeispiel
noch zusätzlich
vorgesehen werden, in den Kontaktierungsbereichen 26a–26i als
weitere Schutzmaßnahme
eine geeignete Vergußmasse
anzuordnen.
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Eine
dritte mögliche
Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
sei anhand der 3 erläutert, die wiederum eine seitliche
Schnittansicht derselben zeigt. Im Hinblick auf die Bauelemente
etc. entspricht dieses Ausführungsbeispiel wiederum
demjenigen aus 1a und 1b. Nachfolgend
sei lediglich auf Unterschiede zu den vorherigen Varianten eingegangen.
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Auf
einem Trägerelement 31 sind
wiederum ein oder mehrere Detektorelemente 33c, 33d angeordnet,
deren strahlungsempfindliche Flächen
vom Trägerelement 31 weg
orientiert sind. Unmittelbar auf den strahlungsempfindlichen Detektorelementen 33c, 33d ist
wieder das Abdeckelement 34 in Form einer Glasplatte mit
Strukturierungen 37c, 37d angeordnet, beispielsweise
aufgeklebt. Die Strukturierungen 37c, 37d fungieren
etwa wiederum als Abtastteilungen.
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Zum
Schutz der Verbindungsleitungen 36d, 36c, die
zur Kontaktierung der Detektorelemente 33c, 33d vorgesehen
sind, weist das Abdeckelement 34 in dieser Ausführungsform
nunmehr in den Kontaktierungsbereichen 35c, 35d taschenförmige Ausnehmungen 39c, 39d auf.
Die Ausnehmungen 39c, 39d bzw. die verbleibende
Dicke des Abdeckelementes 34 über den Ausneh mungen 39c, 39d sind
hierbei derart dimensioniert, daß die Verbindungsleitungen 36d, 36c in
diesem Bereich problemlos anzuordnen sind. Oberhalb der Verbindungsleitungen 36c, 36d befindet
sich in dieser Ausführungsform
das im Ausnehmungsbereich dünner
ausgebildete Abdeckelement 34. Derart sind die Kontaktierungsleitungen 36c, 36d geschützt und
können
nicht durch die relativ hierzu bewegliche Maßstabteilung beschädigt werden.
In den jeweiligen Randbereichen liegt das Abdeckelement 34 auf
Stützelementen 38a, 38b auf,
die auf dem Trägerelement 31 angeordnet
sind.
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Die
Ausnehmungen 39c, 39d im Glas-Abdeckelement 34 lassen
sich beispielsweise durch ein Ultraschall-Bohrverfahren geeignet
fertigen und dimensionieren.
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Selbstverständlich können die
anhand des zweiten und dritten Ausführungsbeispieles erläuterten
Maßnahmen
auch in Verbindung mit anderen optoelektronischen Bauelementen realisiert
werden, beispielsweise Lichtquellen etc.. Zudem sei darauf hingewiesen,
daß sich
die anhand der Ausführungsbeispiele
erläuterten
Einzelmaßnahmen
selbstverständlich
auch kombinieren und abändern
lassen.