DE19841308A1

DE19841308A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal

Info

Publication number: DE19841308A1
Application number: DE19841308A
Authority: DE
Inventors: Eugen Badura
Original assignee: GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
Current assignee: GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
Priority date: 1998-09-10
Filing date: 1998-09-10
Publication date: 2000-04-06
Also published as: EP1031040A1; WO2000016110A1; ATE283493T1; RU2222025C2; EP1031040B1; DE59911140D1; JP2002525581A; US6462553B1

Abstract

Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal vorgeschlagen. Die Vorrichtung weist auf: Zwei parallele Schaltungszweige (Z; Z'), die abwechselnd mit Ladungsfluß beaufschlagbar sind und jeder eine Hintereinanderschaltung eines Schaltelements (40; 40'), eines Integrators (10; 10') und eines Komparators (30; 30') aufweist, wobei die Schaltelemente (40; 40') zum Beaufschlagen eines der beiden Schaltungszweige (Z; Z') mit dem Ladungsfluß dienen und im beaufschlagten Schaltungszweig (Z;Z') der Integrator (10; 10') zum Integrieren des Ladungsflusses dient und rücksetzbar ausgelegt ist und der Komparator (30; 30') zum Abgeben eines Signals bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit einem bestimmten Schwellenwertsignal ausgelegt ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal.

Eine derartige Vorrichtung, auch unter der Bezeichnung Ladungs-Frequenz-Wandler bekannt, ist eine elektronische Schaltung, die zur Messung von elektrischem Ladungsfluß dient.

Bei einer bekannten schaltungstechnischen Anordnung eines Ladungs-Frequenz-Wandlers sind ein Integrator und ein Komparator in Reihe geschaltet. Der Anordnung wird eingangsseitig elektrische Ladung über einen Eingang der Schaltung zugeführt und durch den Integrator aufintegriert. Der Integrator liefert an den Verstärker ein Spannungssignal, das dem Integral der zugeführten Ladung entspricht. Das integrierte Spannungssignal wird im Komparator mit einem voreingestellten Ladungs- Vergleichswert verglichen. Hat das Signal größenmäßig den Vergleichswert erreicht, gibt der Komparator einen Impuls an den Ausgang der Anordnung ab. Anschließend wird der Integrator zurückgesetzt, und die Abfolge des Integrierens und Vergleichens beginnt von neuem. Am Ausgang der Anordnung entsteht also eine Impulsfolge über der Zeit, deren momentane Frequenz ein Maß für die zugeführte elektrische Ladungsmenge pro Zeiteinheit - also Ladungsfluß - ist.

Nachteilig an dieser Anordnung ist, daß der Integrator während des Rücksetzvorganges nicht arbeiten kann, also eine Totzeit entsteht, während der kein Ladungsfluß gemessen werden kann. Bei zeitkritischen Anwendungen, also solchen, bei denen sich die zugeführte Ladungsmenge rasch ändert und sehr schnell erfaßt werden muß, geht durch das Rücksetzen des Integrators in der Schaltung zu viel Zeit verloren. Dies kann zu Meßungenauigkeiten führen, die insbesondere bei sicherheitsrelevanten Anwendungen wie z. B. in der Ionenstrahltherapie nicht toleriert werden können.

Ziel der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal zu schaffen, welche eine exakte, schnelle und zuverlässige Messung der Ladung gewährleisten. Dieses Ziel wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen gemäß den Ansprüchen 1 und 14 bzw. ein Verfahren mit den Merkmalen gemäß den Ansprüchen 8 und 21 erreicht. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen definiert.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren sind mit einer Reihe von Vorteilen verbunden.

Durch das Vorsehen zweier paralleler Schaltungszweige kann die Ladungsflußmessung in jeweils dem anderen Schaltungszweig fortgesetzt werden, wenn der Ladungsfluß in dem einen Schaltungszweig den voreingestellten Schwellenwert erreicht hat und der zugehörige Integrator zurückgesetzt werden muß. Damit entfällt die Totzeit bei der Messung für die Rücksetzung des Integrators.

Durch das Vorsehen verschiedener Schwellenwerte für jeweils einen Komparator entsteht eine Schaltung mit erweiterbarem Meßbereich. Zusätzlich werden die Schaltungszweige seltener geschaltet, so daß die auch die mit diesen Schaltvorgängen einhergehenden Schaltzeiten und Totzeiten minimiert werden.

Durch das Zuschalten des anderen Schaltungszweiges noch während der Messung in dem einen Schaltungszweig kann auch noch die verbleibende Schaltzeit beim Übergang vom einen auf den anderen Schaltungszweig eliminiert werden. Damit werden eine Vorrichtung und ein Verfahren geschaffen, mit denen andauernd, also ohne Totzeiten Ladungsfluß gemessen werden kann.

Zudem ist die Schaltung aus kommerziell verfügbaren Komponenten aufgebaut, kann also kostengünstig realisiert werden. Auch lassen sich die Entwurfseigenschaften der Schaltung in einer Großserienproduktion zuverlässig reproduzieren.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher beschrieben. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 ein Blockschaltbild eines Ladungs-Frequenz- Wandlers gemäß einem ersten Ausführungs beispiel der Erfindung,

Fig. 2A, B ein Blockschaltbild eines Ladungs-Frequenz- Wandlers gemäß einem zweiten Ausführungs beispiel der Erfindung,

Fig. 3 ein Schaltbild für den analogen Teil des Ladungs-Frequenz-Wandlers gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 4 ein Schaltbild für den digitalen Teil sowie die Schwellenspannungsgeneratoren des Ladungs-Frequenz-Wandlers gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 5 ein Kennliniendiagramm für den Ladungs- Frequenz-Wandler gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung und

Fig. 6 ein Blockschaltbild einer Anwendung des erfindungsgemäßen Ladungs-Frequenz- Wandlers.

Fig. 1 zeigt den Aufbau eines Ladungs-Frequenz-Wandlers als Blockschaltbild gemäß dem ersten Ausführungs beispiel der Erfindung. Der Ladungs-Frequenz-Wandler besteht im wesentlichen aus zwei parallelen Schaltungszweigen (auch Einzelpulsgruppen genannt) Z, Z', die jeweils identisch aufgebaut sind. Die Schaltungszweige Z, Z' werden durch je ein Schaltelement 40, 40' im Gegentakt zueinander an den Eingang 1 durch- bzw. abgeschaltet. Jeder der Zweige weist einen Integrator 10, 10' auf, der zum Aufsummieren des über das gerade durchgeschaltete Schaltelement 40 oder 40' angelieferten Ladungsflusses und zum Abgeben eines dem Integral entsprechenden Spannungssignals dient. Der Ausgang des Integrators ist mit einem Verstärker 20, 20' verbunden. Dieses Spannungssignal wird einem Komparator 30, 30' zugeführt. Am zweiten Eingang des Komparators 30, 30' liegt ein Schwellenspannungssignal als Vergleichssignal an. Das Schwellenspannungssignal - eine Gleichspannung - wird durch einen Spannungsteiler größenmäßig eingestellt.

Die beiden Komparatoren 30, 30' sind ausgangsseitig über einen Addierer 4 mit einem D-Flip-Flop 3 gekoppelt, über welches jeweils über ein Verzögerungsglied 15, 15' der Integrator 10 oder 10' zurückgesetzt und die Schaltelemente 40, 40' angesteuert werden. Jeder der beiden komplementären Ausgänge Q, Q des D-Flip-Flops 3 ist mit einem der beiden Schaltelemente 40, 40' verbunden. Hierdurch werden die beiden Schaltelemente im Gegentakt zueinander geschaltet. Hinter dem Addierer 4 befindet sich ein Abgriff 42 für das Ausgangssignal.

Die beiden Zweige Z, Z' sind also abwechselnd aktiv, d. h., während im durchgeschalteten Zweig das Ladungsflußsignal integriert, verstärkt und mit der Schwellenspannung verglichen wird, ruht der gesperrte Zweig; es verbleibt genügend Zeit, den dortigen Integrator auf null zurückzusetzen.

Der Integrator 10, 10' des durchgeschalteten Zweiges integriert das vom Eingang der Schaltung zugeführte Ladungsflußsignal und setzt das integrierte Ladungsflußsignal in ein Spannungssignal um. Das Spannungssignal wird im Verstärker 20, 20' verstärkt und wird dann einem der Eingänge des Komparators 30, 30' zugeführt. Der Komparator 30, 30' vergleicht dieses Signal größenmäßig mit der seinem anderen Eingang anliegenden Schwellenspannung. Wenn das integrierte Ladungsflußsignal die Schwellenspannung erreicht, gibt der Komparator an seinem Ausgang einen Impuls ab. Dieser Impuls gelangt über den Addierer 4 zum D-Flip- Flop 3. Das D-Flip-Flop 3 ändert seinen Zustand, d. h. die Signale an seinen Ausgängen Q bzw. Q werden jeweils invertiert. Hierdurch wird das bisher geöffnete Schaltelement durchgeschaltet, das bisher durchgeschaltete Schaltelement geöffnet und der zugehörige Integrator zurückgesetzt. Die Rücksetzung erfolgt hierbei sofort; das Aufheben der Rücksetzung erfolgt jedoch erst kurze Zeit (typischer Wert: 50 ns) nach der Durchschaltung des betreffenden Zweiges. Hierzu sind Verzögerungselemente 15, 15' vorgesehen, die verhindern, daß ein beim Durchschalten des betreffenden Zweiges auftretender Stromstoß durch den Integrator 10, 10' aufintegriert wird und die Messung verfälscht.

Nun setzt sich der oben beschriebene Ablauf im anderen Zweig fort, während der bisher aktive Zweig ruht.

Die beiden Zweige liefern also abwechselnd Impulse an den Addierer 4, so daß am Abgriff 42 eine Impulsfolge über der Zeit entsteht, deren Frequenz den eingangsseitigen Ladungsfluß pro Zeit repräsentiert.

Die Auflösung dieser Schaltung liegt bei 10 pC/Impuls, der Ladungsfluß liegt bei 25 µC/s. Mit dieser Schaltung können bereits Ausgangssignale mit Frequenzen bis zu 1 MHz für Strahlintensitäten von 10⁶ bis 10⁸ Teilchen pro Sekunde erzeugt werden. Die Fehlerrate bleibt hierbei unter 3%.

Die Fehlerrate kann noch weiter gesenkt werden, wenn die Umschaltung zwischen den beiden Zweigen seltener erfolgt. Dies wird mit einer Schaltung gemäß Fig. 2A, B erreicht. Fig. 2A zeigt den Aufbau eines Ladungs- Frequenz-Wandlers als Blockschaltbild gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Diese Schaltung ist gegenüber der Schaltung der Fig. 1 um jeweils eine Komponente 50, 60 bzw. 50', 60' zur Erzeugung verschiedener Schwellenspannungswerte erweitert. Die Schwellenspannungswerte werden erzeugt, indem verschiedene Widerstände 51-54 bzw. 51'-54' an den Eingang von Operationsverstärkern 60, 60' aufgeschaltet werden. Die Aufschaltung eines der Schwellenspannungs werte erfolgt durch Binärzählerbausteine 50, 50', die jeweils durch die Impulse des Ausgangssignale der Komparatoren 30, 30' ausgelöst werden. Mit den vier Widerständen 51-54 bzw. 51'-54' können also jeweils 16 verschiedene Schwellenspannungswerte (oder Treppenspannungen) erzeugt werden. Bei einem Widerstandsverhältnis zweier benachbarter Widerstände von 2 : 1 kann somit der Meßbereich um das 15fache erweitert werden. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel sind die beiden Zweige Z, Z' schaltungstechnisch identisch dimensioniert.

Wie beim ersten Ausführungsbeispiel wird das zu messende Ladungsflußsignal durch Takten der beiden Schaltelemente 40, 40' einem der beiden Zweige zugeführt. Abweichend von dem ersten Ausführungsbeispiel werden die beiden Zweige hier jedoch nicht exakt im Gegentakt zueinander durchgeschaltet, sondern zeitlich geringfügig überlappend, d. h., die Schließzeiten der beiden Schaltelemente überlappen sich zu Beginn und Ende eines jeden Taktes.

Es sei nun angenommen, der Zweig Z sei der aktive Zweig. Zu Taktbeginn des aktiven Zweiges ist der Integrator 10 auf null gesetzt, und am Komparator 30 liegt der niedrigste Schwellenspannungswert an. Wenn das vom Verstärker 20 gelieferte integrierte Ladungsflußsignal größenmäßig den ersten Schwellenspannungswert erreicht hat, dann wird - wie beim ersten Ausführungsbeispiel - ein Impuls an den Ausgang abgegeben. Abweichend von dem Ladungs-Frequenz- Wandler des ersten Ausführungsbeispiels wird jedoch der Integrator nicht zurückgesetzt und auch keines der Schaltelemente geschaltet, d. h. der Zweig Z ist weiterhin aktiv. Es wird nun der Binärzähler 50 angesteuert, der sodann durch Durchschalten einer anderen Kombination aus den Widerständen 51-54 den nächsthöheren Schwellenspannungswert erzeugt und an den Eingang des Komparators 30 legt. Der Integrationsvorgang wird fortgesetzt, bis das integrierte Ladungsflußsignal größenmäßig den aktuellen Schwellenspannungswert erreicht. Dann wird wiederum ein Impuls abgegeben, und der Zyklus beginnt von neuem. Dieser Zyklus wiederholt sich, bis der letzte der 16 Schwellenspannungswerte erreicht ist; erst dann wird der aktive Zweig Z abgeschaltet und der Integrator 10 zurückgesetzt.

Der andere Zweig Z' wird jedoch nicht erst bei Erreichen des letzten Schwellenspannungswertes des anderen Zweiges Z durchgeschaltet, sondern schon beim Erreichen des vorletzten Schwellenspannungswertes. Somit sind während der letzten Meßphase beide Zweige Z, Z' aktiv. Damit kann auch der Meßfehler, der durch die Verzögerung beim Durchschalten eines Schaltelementes zu Beginn eines Zweigtaktes entsteht, eliminiert werden.

Der oben beschriebene Zyklus wiederholt sich nun für den Zweig Z' in gleicher Weise.

Fig. 3 zeigt ein Schaltbild für den analogen Teil des Ladungs-Frequenz-Wandlers, der beiden Ausführungs beispielen der Erfindung gemeinsam ist. Der Integrator 10, 10' ist jeweils durch einen Operationsverstärker (OPAMP) mit kapazitiver Rückkopplungsbeschaltung 15, 15' realisiert, der zugeführte Ladungsfluß wird über Schaltelemente 40, 40' auf den invertierenden Eingang geschaltet. Die Verstärker 20, 20' sowie die Komparatoren 30, 30' sind durch weitere OPAMPs mit entsprechender Beschaltung realisiert.

Fig. 4 zeigt ein Schaltbild für den digitalen Teil des Ladungs-Frequenz-Wandlers sowie die Schwellenspannungsgeneratoren gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Der Schwellenspannungsgenerator kann prinzipiell auf verschiedene Weise aufgebaut sein. Wichtig ist hierbei, daß er mit jedem Impuls (bis hinunter auf ca. 10 ns) innerhalb von weniger als 100 ns zuverlässig eine neuen Spannungsimpuls am Ausgang erzeugt. Selbstverständlich kann auch eine andere Anstufung der Schwellenspannungen realisiert werden. Dann enthält der Schwellenspannungsgenerator entsprechend mehr oder weniger Widerstände und einen Zähler mit entsprechend angepaßter Stellenzahl.

Anstelle eines Binärzählers kann auch eine andere Schaltung eingesetzt werden, mit der Treppenspannungen nacheinander ausgewählt werden können.

Anstelle der Erzeugung der verschiedenen Spannungswerte durch Aufschalten verschiedener Widerstandswerte auf den Operationsverstärker 60, 60' kann der Schwellenspannungsgenerator 50, 50'; 60, 60' auch mittels eines Digitalanalog-Konverters realisiert sein, der eine Binärzahl in einen Spannungswert umsetzt. Fig. 2B zeigt das dahingehend abgewandelte Ausführungsbeispiel der Fig. 2A.

Mit einer Schaltung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel unter Verwendung der in Fig. 3 und

Fig. 4 angegebenen Bauelementen können Ladungsflüsse von 10^-14 bis 10^-4 C/s gemessen werden.

Fig. 5 zeigt ein Kennliniendiagramm für den Ladungs- Frequenz-Wandler gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel. Über die horizontale Zeitachse aufgetragen sind im unteren Diagramm die Spannungsverläufe an den beiden Eingängen des Komparators 30 im Zweig Z, im mittleren Diagramm die Spannungsverläufe an den beiden Eingängen des Komparators 30' im Zweig Z' und darüber das an den Ausgang 4 gelieferte Ausgangssignal. Die Schwellen spannungswerte liegen treppenförmig äquidistant zwischen -4 V und 4 V. Das den Komparatoren zugeführte integrierte Spannungssignal Uout1 bzw. Uout2 repräsentiert hier einen über die Zeit konstanten Ladungsfluß am Eingang 1. Jedem Berührungspunkt von Uout1 bzw. Uout2 mit einem Schwellenspannungswert entspricht ein Spannungsimpuls im Ausgangssignal. Aus der überlappenden Taktung der beiden Schalter 40, 40' folgt, daß sich die im Überlappungszeitraum angelieferte Ladung auf beide Zweige Z1, Z2 verteilt. Daraus resultiert die zeitliche Überlappung des Endes einer jeden Anstiegsflanke Uout1 bzw. Uout2 mit dem Beginn der jeweils folgenden Anstiegsflanke Uout2 bzw. Uout1 im anderen Zweig. Der nächste Schwellen spannungswert wird daher etwas später erreicht, weshalb dann eine etwas größere Lücke im Ausgangssignal erscheint.

Ist die völlige Eliminierung der Totzeiten durch das Schalten der Schaltelemente 40, 40' nicht erforderlich, so kann das Prinzip der Meßbereichserweiterung mittels der Schaltungskomponenten 50, 60 bzw. 50', 60' gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel direkt mit dem Ladungs- Frequenz-Wandler gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel kombiniert werden.

Der erfindungsgemäße Ladungs-Frequenz-Wandler und das erfindungsgemäße Verfahren sind vielseitig verwendbar. Fig. 6 zeigt ein Blockschaltbild einer Anwendung des erfindungsgemäßen Ladungs-Frequenz-Wandlers zur Intensitätsmessung von Schwerionenstrahlen in der Strahlentherapie. Als Detektor für die Ionenstrahlen dient eine Ionisationskammer 100, die in den Ionenstrahl gestellt ist. Die dort hindurchtretenden Ionenstrahlen erzeugen Ladung. Die Größe der erzeugten Ladung ist proportional zu den durch die Ionisationskammmer hindurchtretenden Ionen. Die Ladung wird dem Ladungs-Frequenz-Wandler 200 zugeführt. Das Ausgangssignal des Ladungs-Frequenz-Wandlers wird über eine Einheit zur Signalaufbereitung 300 einem Intensitätsmonitor 400 zugeführt, wo eine Auswertung des gemessenen Signals zur Bestrahlungsüberwachung bzw. Abschaltung des Strahles erfolgt. Gerade bei dieser Anwendung ist die durch die erfindungsgemäße Vorrichtung gewährleistete schnelle, zuverlässige und genaue Intensitätsmessung von größter Bedeutung.

Claims

1. Vorrichtung zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal, aufweisend:
zwei parallele Schaltungszweige (Z; Z'), die abwechselnd mit Ladungsfluß beaufschlagbar sind und deren jeder eine Hintereinanderschaltung eines Schaltelements (40; 40'), eines Integrators (10; 10') und eines Komparators (30; 30') aufweist, wobei die Schaltelemente (40; 40') zum Beaufschlagen eines der beiden Schaltungszweige (Z; Z') mit dem Ladungsfluß dienen und im beaufschlagten Schaltungszweig (Z; Z') der Integrator (10; 10') zum Integrieren des Ladungsflusses dient und rücksetzbar ausgelegt ist und der Komparator (30; 30') zum Abgeben eines Signals bei Übereinstimmendes integrierten Ladungsflusses mit einem bestimmten Schwellenwertsignal ausgelegt ist.

2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie Steuermittel (3, 15, 16; 3', 15', 16') aufweist zum Zurücksetzen der Integratoren (10; 10') und zum Ansteuern der Schaltelemente (40; 40') bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit dem bestimmten Schwellenwertsignal.

3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Schaltelementen (40, 40') und den Integratoren (10, 10') jeweils ein Verstärkerelement (20; 20') geschaltet ist.

4. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das jeweils abgegebene Signal ein einzelner Impuls ist.

5. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsfluß ein Maß für erfaßte Ionenteilchen ist.

6. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Schaltungs zweige (Z; Z') eine Schaltung (50, 60; 50', 60') zum zyklischen Auswählen eines Schwellenwertsignales aus einer Reihe von Schwellenwertsignalen und dem bestimmten Schwellenwertsignal aufweist, wobei bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit dem ausgewählten Schwellenwertsignal im beaufschlägten Schaltungszweig (Z; Z') der Komparator (30; 30') ein Signal abgibt und das zyklisch nächste Schwellenwertsignal aus der Reihe ausgewählt wird.

7. Vorrichtung gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwellenwertsignale betragsmäßig in ansteigender Reihenfolge geordnet sind und benachbarte Schwellenwertsignale eine konstante Betragsgrößendifferenz zueinander aufweisen.

8. Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal, die folgende Schrittfolge iterativ durchlaufend:

1. Beaufschlagen eines von zwei Schaltungszweigen mit Ladungsfluß,
2. Integrieren des Ladungsflusses in dem beaufschlagten Schaltungszweig,
3. Vergleichen des integrierten Ladungsflusses mit einem bestimmten Schwellenwertsignal,
4. wenn der integrierte Ladungsfluß mit dem bestimmten Schwellenwertsignal übereinstimmt:
- 1. Erzeugen eines Ausgangssignals,
- 2. Zurücksetzen des Integrators des beaufschlagten Schaltungszweiges und
- 3. Beaufschlagen des anderen Schaltungszweiges mit Ladungsfluß.

9. Verfahren gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der integrierte Ladungsfluß spannungsverstärkt wird.

10. Verfahren gemäß Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das jeweils abgegebene Signal ein einzelner Impuls ist.

11. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsfluß ein Maß für erfaßte Ionenteilchen ist.

12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in dem beaufschlagten Zweig zyklisch ein Schwellenwertsignal aus einer Reihe verschiedener Schwellenwertsignale und dem bestimmten Schwellenwertsignal ausgewählt wird, und bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit dem ausgewählten Schwellenwertsignal im beaufschlagten Schaltungszweig ein Signal abgegeben wird und das zyklisch nächste Schwellenwertsignal aus der Reihe ausgewählt wird.

13. Verfahren gemäß Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwellenwertsignale betragsmäßig in ansteigender Reihenfolge geordnet sind und benachbarte Schwellenwertsignale eine konstante Betragsgrößendifferenz zueinander aufweisen.

14. Vorrichtung zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal, aufweisend:
zwei parallele Schaltungszweige (Z; Z'), die mit Ladungsfluß beaufschlagbar sind und deren jeder eine Hintereinanderschaltung eines Schaltelements (40; 40'), eines Integrators (10; 10') und eines Komparators (30; 30') sowie eine Schaltung (50, 60; 50', 60') zum zyklischen Auswählen eines Schwellenwertsignales aus einer Reihe vorbestimmter Schwellenwertsignale aufweist,
wobei jedes der Schaltelemente (40; 40') zum Beaufschlagen des zugehörigen Schaltungszweiges (Z; Z') mit Ladungsfluß dient,
jeder der Integratoren (10; 10') jeweils zum Integrieren des Ladungsflusses dient und rücksetzbar ausgelegt ist und die Komparatoren (30; 30') zum Abgeben eines Signals bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit einem Schwellenwertsignal ausgelegt sind,
wobei im beaufschlagten Schaltungszweig (Z; Z') bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit einem Schwellenwertsignal der entsprechende Komparator (30; 30') ein Signal abgibt und in der Schaltung (50, 60; 50', 60') das zyklisch nächste Schwellenwertsignal ausgewählt wird und
wobei, wenn in einem Schaltungszweig (10; 10') ein erstes vorbestimmtes Schwellensignal aus der Reihe von Schwellenwertsignalen erreicht ist, das Schalt element im anderen Zweig (10'; 10) durchgeschaltet wird und wobei, wenn in dem einen Schaltungszweig (10; 10') ein zweites vorbestimmtes Schwellensignal aus der Reihe von Schwellenwertsignalen erreicht ist, das zugehörige Schaltelement gesperrt wird und der zugehörige Integrator zurückgesetzt wird.

15. Vorrichtung gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Schaltelementen (40; 40') und den Integratoren (10; 10') jeweils ein Verstärkerelement (20; 20') geschaltet ist.

16. Vorrichtung gemäß Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß das jeweils abgegebene Signal ein einzelner Impuls ist.

17. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsfluß ein Maß für erfaßte Ionenteilchen ist.

18. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwellenwertsignale der Reihe betragsmäßig in ansteigender Reihenfolge geordnet sind und benachbarte Schwellenwertsignale eine konstante Betragsgrößendifferenz zueinander aufweisen.

19. Vorrichtung gemäß Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das erste vorbestimmte Schwellenwertsignal das betragsmäßig zweitgrößte und das zweite das betragsmäßig größte der Reihe ist.

20. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß sie Steuermittel (3, 15, 16; 3', 15', 16') aufweist zum Zurücksetzen der Integratoren (10; 10') und zum Ansteuern der Schaltelemente (40; 40') bei Übereinstimmen des integrierten Ladungsflusses mit dem zweiten bestimmten Schwellenwertsignal.

21. Verfahren zum Umwandeln von Ladungsfluß in ein Frequenzsignal, die folgende Schrittfolge iterativ durchlaufend:

1. Beaufschlagen eines von zwei parallelen Schaltungszweigen mit Ladungsfluß,
2. Integrieren des Ladungsflusses in dem mit Ladungsfluß beaufschlagten Schaltungszweig,
3. Vergleichen des integrierten Ladungsflusses mit einem Schwellenwertsignal aus einer Reihe von Schwellenwertsignalen,
4. wenn der integrierte Ladungsfluß in dem beaufschlagten Schaltungszweig mit dem Schwellen wertsignal übereinstimmt:
- 1. Erzeugen eines Ausgangssignals,
- 2. Auswählen des zyklisch nächsten Schwellenwertsignales aus der Reihe,
5. wenn der integrierte Ladungsfluß in dem einen beaufschlagten Schaltungszweig mit einem ersten bestimmten Schwellenwertsignal übereinstimmt:
- 1. Beaufschlagen auch des anderen Schaltungszweiges mit Ladungsfluß,
6. wenn der integrierte Ladungsfluß in dem einen beaufschlagten Schaltungszweig mit einem zweiten bestimmten Schwellenwertsignal übereinstimmt:
- 1. Trennen dieses Schaltungszweiges vom Ladungsfluß.

22. Verfahren gemäß Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der integrierte Ladungsfluß spannungsverstärkt wird.

23. Verfahren gemäß Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß das jeweils abgegebene Signal ein einzelner Impuls ist.

24. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsfluß ein Maß für erfaßte Ionenteilchen ist.

25. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwellenwertsignale betragsmäßig in ansteigender Reihenfolge geordnet sind und benachbarte Schwellenwertsignale eine konstante Betragsgrößendifferenz zueinander aufweisen.

26. Verfahren gemäß Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das erste vorbestimmte Schwellenwertsignal das betragsmäßig zweitgrößte und das zweite das betragsmäßig größte der Reihe ist.