DE19839014C2 - Vorrichtung und Verfahren zum Verbinden von optischen Elementen durch nicht-kontaktierendes Löten - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Verbinden von optischen Elementen durch nicht-kontaktierendes Löten

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft das Verbinden von optischen Elementen wie einem optischen Wellenleiter, einem optischen Kollimator, einem optischen Dämpfer, einem optischen Isolator usw. und insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Verbinden von optischen Elementen durch nicht- kontaktierendes Löten.
Es bestehen mehrere bekannte Verfahren zum Löten von elektronischen Bauelementen und von optischen Elementen. Ein erstes Verfahren besteht darin, einen zu verbindenden Teil mit Hilfe eines Lötkolbens zu erhitzen und dann Lot zuzuführen. Ein zweites Verfahren besteht darin, einen Hochfrequenz- Induktionsheizer um die optischen Elemente herum anzuordnen und dann eine konstante Hitze auf den durch das Hochfrequenz-Heizen zu verbindenden Teil wirken zu lassen. Ein drittes Verfahren besteht darin, ein Löten durchzuführen, wobei eine Laserlichtquelle als Wärmequelle verwendet wird. Dieses Verfahren kann dann verwendet werden, wenn der Lötkolben wegen der hohen Packdichte nicht verwendet werden kann oder wenn eine Massenproduktion von vielen zu verbindenden Teilen zu bewerkstelligen ist. Ein derartiges Verfahren ist zum Beispiel in dem US-Patent 4,963,714 (Joseph R. Adamski et al.) mit dem Titel "Diode Laser Soldering System" angegeben. Schließlich besteht ein viertes Verfahren darin, Hitze auf die zu verbindenden Teile wirken zu lassen, indem ein Lichtpfad unter Verwendung eines Prismas verändert wird. Das in dem ersten und in dem zweiten Verfahren verwendete Lot ist in der Form eines Drahtes vorgesehen. In dem dritten und dem vierten Verfahren wird statt dessen Lotpulver verwendet, das um die zu verbindenden Teile herum angebracht wird.
Die Lötprozesse in Übereinstimmung mit den bekannten Verfahren werden häufig für elektronische Bauelemente verwendet. Um derartige Lötprozesse für optische Elemente anzupassen, müssen die folgenden Punkte berücksichtigt werden:
  • 1. Ein möglicher Kontakt während der Wärmeeinwirkung auf die zu verbindenden Teile kann die Ausrichtung der optischen Elemente beeinflussen.
  • 2. Die zu verbindenden Teile der optischen Elemente sollten symmetrisch sein, um eine durch thermische Expansion verursachte Fehlausrichtung der optischen Elemente zu verhindern.
  • 3. Die Wärme sollte gleichmäßig auf die zu verbindenden symmetrischen Teile wirken, um eine Fehlausrichtung der optischen Elemente zu verhindern.
  • 4. Die zu verbindenden Teile sollten vollständig mit Lot gefüllt werden, um die Verläßlichkeit der optischen Elemente sicherzustellen.
  • 5. Die Reproduzierbarkeit und die Massenproduktion der optischen Elemente sollte garantiert werden.
Meine auf den vorstehenden Gesichtspunkten basierenden Untersuchungen der Schwachpunkte der verschiedenen weiter oben genannten Lötverfahren zeigen, daß weder das erste noch das zweite Verfahren alle die fünf vorstehenden Gesichtspunkte erfüllen. Das dritte Verfahren erfüllt die Voraussetzung der Symmetrie der in einer Ebene angeordneten optischen Elemente, erfüllt dieselbe jedoch nicht im dreidimensionalen Raum. Das vierte Verfahren ermöglicht die Verbindung von gewünschten Teilen, kann jedoch keine Symmetrie sicherstellen.
Die für elektronische Bauelemente sehr nützlichen herkömmlichen Lötverfahren sind wegen des Problems von Fehlausrichtungen nicht für optische Elemente geeignet. Das heißt, dass die optischen Elemente bei der Einwirkung von Wärme auf die zu verbindenden Teile feh­ lerhaft ausgerichtet werden können, wenn das Lot die Oberfläche der zu verbindenden Teile kontaktiert. Weiterhin kann der auf die zu verbindenden Teile der optischen Elemente angewendete Laserstrahl nicht symmetrisch gehalten werden, so dass durch thermische Expansion und ungleichmäßige Wärmeverteilung eine Fehlausrichtung der optischen Ele­ mente verursacht wird. Dadurch werden die Eigenschaften der optischen Elemente beein­ flusst, wodurch wiederum die Verlässlichkeit der Produkte herabgesetzt wird. Außerdem werden dadurch auch die Möglichkeiten der Reproduzierbarkeit und der Massenproduktion von optischen Elementen beeinträchtigt.
US-Patent 5,142,763 betrifft eine Verbindungsstruktur von Lichtleitern, die von einer Metall­ röhre umschlossen sind, und einem Verfahren zur Verbindung von Lichtleitern, die von ei­ ner Metallröhre umschlossen sind. Diese Offenbarung beschreibt eine Vorrichtung zum Bonden von optischen Elementen unter Verwendung von berührungslosem Löten, wobei das Lötmittel an gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses von zwei optischen Elementen angeordnet ist.
DE 41 40 603 beschreibt eine konventionelle Lötvorrichtung mit einer automatischen Lotversorgung und einer Kontrolleinheit, die den Lötprozess über die Schmelzgeschwin­ digkeit des unter gleichmäßigem Druck zugeführten Lots steuert.
JP 2-235 592 beschreibt eine durch Laserschweißen fixierte Struktur für optische Module. Diese Offenbarung beschreibt, dass diese Struktur hergestellt wird, indem die Ränder der Außenseite eines Faserhalters, an denen eine Glasfaser befestigt ist, mit einem Gehäuse laserverschweißt wird, das einen optischen Halbleiterchip enthält.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfah­ ren zum Verbinden von optischen Elementen durch nicht-kontaktierendes Löten an­ zugeben, wobei die Innenseiten der zu verbindenden Teile der optischen Elemente vollständig abgedichtet werden, um zu verhindern, dass Feuchtigkeit in die optischen Elemente eindringt.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Verbinden von optischen Elementen durch nicht-kontaktierendes Löten anzugeben, wobei Variationen in den Eigenschaften der optischen Elemente minimiert werden können.
Um die vorstehend genannten Aufgaben zu erfüllen, wird ein Verfahren und eine Vorrich­ tung bereitgestellt, wie sie in den Ansprüchen 1 und 9 definiert werden. Bevorzugte Ausfüh­ rungsformen werden in den abhängigen Ansprüchen definiert. Insbesondere umfasst ein Vorrichtung zum Verbinden von optischen Elementen in Übereinstimmung mit der vorlie­ genden Erfindung: mehrere optischen Elemente, die optische Systeme umfassen und durch Gehäuse umgeben sind; eine Ausrichtungsvorrichtung, die ein Ende jedes optischen Ele­ mentes festhält und die optischen Systeme der optischen Elemente ausrichtet; Laserquel­ len, die jeweils an vorbestimmten Enden der Gehäuse angeordnet sind, um Laserstrahlen vorzusehen, die nicht auf die Außenoberfläche der Gehäuse fokussiert sind; Lot-Zufüh­ rungseinheiten, die jeweils an den oberen Enden der Laserlichtquellen angeordnet sind, um Lot zu dem Laserstrahl zuzuführen; und eine programmierbare Logiksteuerung (PLC = Pro­ grammable Logic Control), die die Laserlichtquellen und die Lot-Zuführungseinheiten auto­ matisch steuert.
Um die vorstehend genannten Aufgaben zu erfüllen, umfasst ein Verfahren zum Verbinden von optischen Elementen in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung folgende Schritte: Fixieren von mehreren optischen Elementen an einer Ausrichtungsvorrichtung, um die optischen Systeme der optischen Elemente auszurichten; Ausgeben von Laserstrahlen aus mehreren Laserlichtquellen, wobei die Strahlen nicht die Querschnitte der zu verbin­ denden Teile der optischen Elemente am Verbindungsbereich zwischen den Gehäusen der optischen Elemente kontaktieren; Zuführen von Lot aus den Lot-Zuführungseinheiten zu den Laserstrahlen nach einer vorbestimmten Zeitdauer; Schmelzen des Lots durch die La­ serstrahlen, so dass das Lot in die im Verbindungsbereich gebildeten Zwischenräume fließt; Abbrechen der Antriebskraft der Lot-Zuführungseinheiten nach einer vorbestimmten Zeitdauer unter der automatischen Steuerung einer programmierbaren Logiksteuerung (PLC); und Abbrechen der Laserstrahlen unter der Steuerung der PLC nach einer vorbestimmten Zeitdauer.
Die vorliegende Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, wobei gleiche Bezugszeichen identische oder ähnliche Komponenten angeben und wobei
Fig. 1 eine schematische Ansicht ist, die den Aufbau einer Vorrichtung zum Verbinden von optischen Elementen durch einen nicht-kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
Fig. 2 eine Draufsicht ist, die die Position des Laserstrahls und der Lotzufuhr in einer Vorrichtung zum Verbinden von optischen Elementen durch einen nicht- kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
Fig. 3 eine Draufsicht ist, die den Zustand der mit Lot gefüllten Innenseiten der Verbindungsbereiche zeigt, die auf diese Weise durch einen nicht-kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung fixiert sind,
Fig. 4 ein Diagramm ist, das die Variation der optischen Eigenschaften der optischen Elemente in Abhängigkeit von der für das Zuführen von Lot verwendeten Zeit während des Verbindens von optischen Elementen durch einen nicht- kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
Fig. 5 ein Diagramm ist, das die Temperaturänderungen des Verbindungsbereichs während des Verbindens durch einen nicht- kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, und
Fig. 6 ein Diagramm ist, das die Lot- Zuführungsgeschwindigkeit in einem nicht-kontaktierenden Lötprozeß in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Wie in Fig. 1 und 2 gezeigt, umfaßt die Vorrichtung zum Verbinden von optischen Elementen in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung optische Elemente 26 und 28 mit verschiedenen darin vorgesehenen optischen Systemen, Ausrichtungsvorrichtungen 22 und 24 für die optischen Elemente, kontinuierlich betreibbare Laserlichtquellen 10a und 10b, Lot-Zuführungseinheiten 14a und 14b, sowie Lot 16a und 16b. Weiterhin ist ein Gehäuse 30 zum Schutz der optischen Systeme vor den Umgebungsbedingungen am Außenumfang des optischen Elements 26 vorgesehen. Entsprechend ist ein Gehäuse 32 am Außenumfang des optischen Elements 28 vorgesehen. An beiden Seiten des Gehäuses 32 sind symmetrisch ausgebildete Durchgangslöcher 34 vorgesehen, wobei das Lot 16a und 16b zum Fixieren der Gehäuse 30 und 32 in die Durchgangslöcher 34 fließt, während ein Ende des optischen Elements 26 an der Ausrichtungsvorrichtung 22 fixiert ist und ein Ende des optischen Elements 28 an der Ausrichtungsvorrichtung 24 fixiert ist.
Die kontinuierlich betreibbaren Laserlichtquellen 10a und 10b sind an beiden Seiten der optischen Elemente 26 und 28 mit dazwischen einem vorbestimmten Abstand angeordnet. Die Laserlichtquellen 10a und 10b sehen jeweils die Laserstrahlen 12a und 12b vor, wobei die Brennpunkte der Laserstrahlen 12a und 12b nicht in Kontakt mit der Oberfläche des Gehäuses 32 kommen, um den Verbindungsbereich 40 zu erhitzen (siehe Fig. 2 und 3 für eine genauere Darstellung des Verbindungsbereichs 40) und das Lot 16a und 16b zu schmelzen, so daß die optischen Elemente 26 und 28 fixiert werden. Der Durchmesser der Brennpunkte der Strahlen 12a und 12b aus den Laserlichtquellen 10a und 10b beträgt ungefähr 0,5 mm bis 3 mm und die elektrische Leistung der durch die Laserlichtquellen 10a und 10b vorgesehenen Strahlen beträgt ungefähr 15 W bis 40 W. Die Lot-Zuführungseinheiten 14a und 14b führen Lot 16a und 16b in der Form eines Drahtes zu und sind jeweils am oberen Ende der Laserlichtquellen 10a und 10b angeordnet. Die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b führen Lot 16a und 16b zu den Laserstrahlen 12a und 12b. Das heißt, die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b führen Lot 16a und 16b zu den Strahlen 12a und 12b, wobei das Lot 16a und 16b die Strahlen kontaktiert, ohne direkt in Kontakt mit dem Verbindungsbereich 40 zu sein. Die Laserlichtquellen 10a und 10b und die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b werden automatisch durch die PLC (die programmierbare Logiksteuerung) 42 gesteuert. Das heißt, die PLC 42 steuert das An- und Abschalten (AN/AUS) der Laserlichtquellen 10a und 10b und die Zuführzeit des Lots 16a und 16b, so daß das Lot 16a und 16b symmetrisch zu der linken und rechten Seite der optischen Elemente 26 und 28 zugeführt wird.
Im folgenden wird der Betrieb des Mechanismus und des Verfahrens für die Vorrichtung zum Verbinden von optischen Elementen durch den nicht-kontaktierenden Lötprozeß mit Bezug auf Fig. 1 bis 6 erläutert.
Zuerst werden das optische Element 26 durch die Ausrichtungsvorrichtung 22 und das optische Element 28 durch die Ausrichtungsvorrichtung 24 fixiert und positioniert, wie in Fig. 1 gezeigt. Nach der vorstehenden Prozedur werden die optischen Systeme (nicht gezeigt), die in das Innere der optischen Elemente 26 und 28 gepackt sind, mit Hilfe der Ausrichtungsvorrichtung automatisch oder manuell ausgerichtet. Nachdem die optischen Systeme an optimalen Positionen ausgerichtet sind, steuert die PLC 42 die Laserlichtquellen 10a und 10b. Dann geben die Laserlichtquellen 10a und 10b die Laserstrahlen 12a und 12b aus, wobei die Strahlen nicht die Oberflächen des Gehäuses 30 des optischen Elements 26 und des Gehäuses 32 des optischen Elements 28 kontaktieren. Die Laserlichtquellen 10a und 10b geben die Strahlen 12a und 12b also wie in Fig. 1 und 2 gezeigt aus, wobei die Strahlen derart innerhalb eines Bereichs fokussiert sind, daß die Brennpunkte der Strahlen die Oberflächen des Verbindungsbereichs 40 und der optischen Elemente nicht kontaktieren. Mit anderen Worten erhitzen die Laserstrahlen 12a und 12b den Verbindungsbereich 40 der optischen Elemente, wobei die Brennweiten der Strahlen 12a und 12b die optischen Elementen 26 und 28 nicht kontaktieren, sondern in Nachbarschaft zu denselben gehalten werden, so daß die Laserlichtquellen 10a und 10b eine maximale Wärme vorsehen können. Dabei betragen die Durchmesser der Brennpunkte der Strahlen 12a und 12b bei deren Brennweite ungefähr 0,5 mm bis 3 mm. In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden 2,5 mm verwendet, wobei dies jedoch von der jeweiligen Verwendung abhängig ist. Die Beleuchtungszeit der durch die Laserlichtquellen 10a und 10b vorgesehenen Strahlen 12a und 12b setzt sich aus drei Phasen zusammen, um die Verläßlichkeit der Verbindung des Lots 16a und 16b zu verbessern.
Nach einem vorbestimmten Zeitraum, d. h. nachdem die Laserlichtquellen 10a und 10b den Querschnitt des Verbindungsbereichs 40 für eine Vorheizzeit "T1" ausreichend auf ungefähr 100°C erhitzt haben, um die Affinität des Lots 16a und 16b zu erhöhen, steuert die PLC 42 automatisch die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b wie in Fig. 4 bis 6 gezeigt. Dann führen die Lot-Zuführungseinheiten 14a und 14b Lot 16a und 16b zu den Laserstrahlen 12a und 12b. Dabei führen die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b Lot 16a und 16b mit einer konstanten Geschwindigkeit für eine Hauptheizzeit "T2" zu, wie in Fig. 4 bis 6 gezeigt. Dann kommt das Lot 16a und 16b kurz bevor es den Verbindungsbereich 40 berührt mit den Laserstrahlen 12a und 12b in Kontakt und wird geschmolzen, so daß es in die Durchgangslöcher 34 des Verbindungsbereichs 40 fließt. Dabei führen die Lot-Zuführungseinheiten 14a und 14b das Lot 16a und 16b mit einer Geschwindigkeit von ungefähr 5 mm/s zu den Strahlen 12a und 12b. Danach brechen die Lot- Zuführungseinheiten 14a und 14b das Zuführen von Lot 16a und 16b unter der Steuerung der PLC 42 mit einer Geschwindigkeit von -25 mm/s ab, wenn die Hauptheizzeit "T2" abläuft. Dann geben die Laserlichtquellen 10a und 10b die Strahlen 12a und 12b unter der Steuerung der PLC 42, wie in Fig. 4 bis 6 gezeigt, für die Nachheizzeit "T3" aus und sehen dadurch ein Nachheizen vor, damit das bereits zu dem Verbindungsbereich 40 geführte Lot 16a und 16b in einer stabilen Formation gehalten wird. Dann schaltet die PLC 42 die Laserlichtquellen 10a und 10b nach Ablauf der Nach­ heizzeit "T3" ab.
Die optischen Elemente 26 und 28 werden also durch ein nicht-kontaktierendes Lötverfah­ ren wie in Fig. 3 dargestellt miteinander verbunden. Wenn die Vorheizzeit relativ zu der Hauptheizzeit und der Nachheizzeit der durch die Laserlichtquellen 10a und 10b vorgese­ henen Laserstrahlen zu lang ist, kann das Problem auftreten, dass die beschichteten Teile sder Querschnitte der optischen Elemente im Verbindungsbereich 40 ausbrennen oder die Flussmittel verdampfen. Deshalb werden die Zeiten in der vorliegenden Erfindung mit einem Verhältnis zwischen Vorheizzeit, Hauptheizzeit und Nachheizzeit von 1 s : 1,5 s~1,7 s : 1,5 s gesteuert.

Claims (17)

1. Vorrichtung zur Verbindung optischer Elemente, mit einer
Ausrichtungsvorrichtung (22, 24) zur Ausrichtung zweier optischer Elemente (26, 28), die miteinander zu verlötende Gehäuse (30, 32) aufweisen, und
Lot-Zuführeinrichtungen (14a, 14b), sowie mindestens einer Laserlichtquelle zum Schmelzen von Lot,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Heizmittel zwei Laserlichtquellen (10a, 10b) sind, die auf gegenüberliegenden Seiten der ausgerichteten optischen Elemente (26, 28) angeordnet sind, wobei die Brennpunkte der Laserstrahlen (12a, 12b) von den Gehäusen (30, 32) der optischen Elemente (26, 28) beabstandet sind,
zwei Lot-Zuführeinrichtungen (14a, 14b) vorgesehen sind, die jeweils oberhalb der Laserlichtquellen (10a, 10b) angeordnet sind und durch die Lot (16a, 16b) in Berührung mit dem Laserstrahl (12a, 12b) zu dem jeweiligen Brennpunkt der Laserstrahlen (12a, 12b) zuführbar ist, und
eine Steuerungsvorrichtung (42), die Laserlichtquellen (10a, 10b) und die Lot-Zuführ­ einrichtungen (14a, 14b) steuert.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lot (16a, 16b) als Draht vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte der Laserstrahlen (12a, 12b) einen Durchmesser von 0,5 bis 3 mm aufweisen.
4. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistung der Laserstrahlen (12a, 12b) 15 W bis 40 W beträgt.
5. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (42) die Laserlichtquellen (10a, 10b) und die Lot-Zufüh­ rungseinheiten (14a, 14b) für eine vorbestimmte Vorheizzeit (T1), Hauptheizzeit (T2) und Nachheizzeit (T3) steuert.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorheizzeit (T1), die Hauptheizzeit (T2) und die Nachheizzeit (T3) jeweils 1 Sekunde, 1,5 bis 1,7 Sekunden und 1,5 Sekunden betragen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerein­ richtung (42) die Lot-Zuführungseinheiten (14a, 14b) steuert, um das Lot (16a, 16b) mit einer Geschwindigkeit von ungefähr 5 mm/s während der Hauptheizzeit (T2) auszugeben und um das Lot (16a, 16b) mit einer Geschwindigkeit von -25 mm/s aus dem Schmelzbe­ reich zurückzuziehen, wenn die Hauptheizzeit (T2) abgelaufen ist.
8. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung weiterhin eine Ausrichtungsvorrichtung (22, 24) umfasst, an die ein vorbestimmtes Ende jedes optischen Elementes (26, 28) befestigt wird, um die optischen Systeme der optischen Elemente (26, 28) auszurichten.
9. Verfahren zum Verbinden optischer Elemente, mit den Schritten:
Ausrichten zweier jeweils ein Gehäuse aufweisender, optischer Elemente zu deren Ver­ bindung,
Zuführen von Lot und Wärme zum Schmelzen des Lots zur Durchführung einer Lötver­ bindung zwischen den beiden Gehäusen,
gekennzeichnet durch
die weiteren Schritte:
  • - Bestrahlen der Verbindungsstelle auf gegenüberliegenden Seiten mit jeweils einem Laserstrahl, deren Brennpunkte von den Gehäusen (30, 32) der optischen Elemente (26, 28) beabstandet sind,
  • - Zuführen von Lot (16a, 16b) von den Lot-Zuführungseinheiten (14a, 14b) zu den La­ serstrahlen (12a, 12b) unter der Steuerung der Steuereinrichtung (42) nach einer ersten vorbestimmten Zeitdauer (T1),
  • - Schmelzen des Lots (16a, 16b) durch die Laserstrahlen (12a, 12b) während einer zweiten vorbestimmten Zeitdauer (T2), so dass das Lot (16, 16b) durch die Löcher in den Gehäusen (30, 32) und in einen Zwischenraum fließt, der im Verbindungsbereich (40) zwischen den Gehäusen (30, 32) gebildet ist,
  • - Unterbrechen der Antriebskraft der Lot-Zuführungseinheiten (14a, 14b) unter der Steuerung der Steuereinrichtung (42) nach Ablauf der zweiten vorbestimmten Zeitdauer (T2), und
  • - Abbrechen der Laserstrahlen (12a, 12b) unter der Steuerung der Steuereinrichtung (42) nach Ablauf einer dritten vorbestimmten Zeitdauer (T3).
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste vorbestimmte Zeitdauer (T1) eine Vorheizzeit zum Erhitzen eines Querschnitts des Verbindungsbereichs (40) der optischen Elemente (26, 28)auf eine vorbestimmte Temperatur umfasst.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite vorbestimmte Zeitdauer (T2) eine Hauptheizzeit umfasst, während der das durch die Lot-Zu­ führungseinheiten (14a, 14b) zugeführte und durch die Laserstrahlen (12a, 12b) ge­ schmolzene Lot (16a, 16b) in den Zwischenraum fließt, der im Verbindungsbereich (40) zwischen den Gehäusen (30, 32) gebildet ist.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte vor­ bestimmte Zeitdauer (T3) eine Nachheizzeit zum Erhitzen des Querschnitts des Verbin­ dungsbereichs (40) der optischen Elemente (26, 28) umfasst, damit das in den Zwi­ schenraum im Verbindungsbereich (40) zugeführte Lot (16a, 16b) eine stabile Form behält.
13. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis zwischen der Vorheizzeit (T1), der Hauptheizzeit (T2) und der Nachheizzeit (T3) 1 Sekunde : 1,5 bis 1,7 Sekunden : 1,5 Sekunden beträgt.
14. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Lot (16a, 16b) im dem Schritt zum Zuführen von Lot (16a, 16b) zu den Laserstrahlen (12a, 12b) während der zweiten Zeitdauer (T2) mit einer Geschwindigkeit von 5 mm/s zugeführt wird.
15. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt zum Abbrechen des Zuführens von Lot (16a, 16b) mit einer Ge­ schwindigkeit von -25 mm/s am Ende der zweiten Zeitdauer (T2) durchgeführt wird.
16. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserlichtquellen (10a, 10b) in dem Schritt zum Ausgeben der Laserstrahlen (12a, 12b) mit einer elektrischen Leistung von 15 bis 40 Watt versorgt werden.
17. Verfahren nach Anspruch wenigstens einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Laserstrahlen (12a, 12b) während der Vorheizzeit (T1), der Hauptheizzeit (T2) und der Nachheizzeit (T3) mit einer elektrischen Leistung von 15 bis 40 Watt ausgegeben werden.
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