DE19831033C2 - Rüstsatzfreie Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen - Google Patents
Rüstsatzfreie Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen BauteilenInfo
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- DE19831033C2 DE19831033C2 DE19831033A DE19831033A DE19831033C2 DE 19831033 C2 DE19831033 C2 DE 19831033C2 DE 19831033 A DE19831033 A DE 19831033A DE 19831033 A DE19831033 A DE 19831033A DE 19831033 C2 DE19831033 C2 DE 19831033C2
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine rüstsatzfreie Vor
richtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen
Bauteilen mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 an
gegebenen Merkmalen.
Vorrichtungen zum zielgerichteten Bewegen von elektroni
schen Bauteilen sind insbesondere beim Testen und Sortie
ren nach Güteklassen von elektronischen Bauteilen erfor
derlich. Während des eigentlichen Testvorganges wird das
zu prüfende elektronische Bauteil zunächst in leitenden
Kontakt mit einer elektrischen Kontakteinrichtung (zum
Beispiel mit einem Prüfsockel) gebracht. In Abhängigkeit
von dem Prüfergebnis erfolgt anschließend eine Sortierung
oder Markierung nach Güteklassen.
Aus dem Stand der Technik ist eine Vorrichtung zum Handha
ben von elektronischen Bauteilen bekannt, bei welcher die
zu testenden elektronischen Bauteile auf trägerartigen
Rüstsätzen in Platten- oder Streifenform angeliefert und
innerhalb der Handhabungsvorrichtung positioniert auf die
sen Rüstsätzen bewegt werden.
Derartige Handhabungsvorrichtungen mit platten- oder
streifenförmigen Rüstsätzen weisen zahlreiche Nachteile
auf:
Einerseits ist die Verbindung zwischen dem platten- oder streifenförmigen Rüstsatz und dem Prüfsockel der elektri schen Prüfvorrichtung stets toleranzbehaftet. Andererseits besteht ein Spiel zwischen der Einbettung des elektroni schen Bauteils in dem platten- oder streifenförmigen Rüst satz und dem elektronischen Bauteil.
Einerseits ist die Verbindung zwischen dem platten- oder streifenförmigen Rüstsatz und dem Prüfsockel der elektri schen Prüfvorrichtung stets toleranzbehaftet. Andererseits besteht ein Spiel zwischen der Einbettung des elektroni schen Bauteils in dem platten- oder streifenförmigen Rüst satz und dem elektronischen Bauteil.
Ferner unterliegen die platten- oder streifenförmigen
Rüstsätze einem erheblichen Verschleiß während des Trans
portes innerhalb und/oder außerhalb der Handhabungsvor
richtung sowie beim Beschicken mit elektronischen Bautei
len. Dieser Verschleiß drückt sich in einer Zunahme von
Toleranzen und damit in einer Verkürzung der Standzeit
aus.
Die Anschaffung der platten- oder streifenförmigen Rüst
sätze ist darüberhinaus mit erheblichen Kosten und Warte
zeiten verbunden. Denn für jede Variante eines elektroni
schen Bauteils ist ein separater, aufwendig herzustellen
der Rüstsatz in Form eines platten- oder streifenförmigen
Träger-Sets erforderlich.
Die Kosten eines Rüstsatzes belaufen sich in der Regel auf
einen Betrag von mindestens US$ 20.000,00. Die Lieferzeit
für einen Rüstsatz beträgt aufgrund des erheblichen kon
struktiven und fertigungstechnischen Aufwandes mindestens
60 bis 90 Tage.
Nachteilig ist ferner, daß bei dem Übergang von einer Art
elektronischer Bauteile zu einer anderen Art elektroni
scher Bauteile, der platten- oder streifenförmige Rüstsatz
sowie die hierzu paßgenau ausgebildete Vorrichtung zur Be
wegung der elektronischen Bauteile gewechselt werden muß.
Dieser Rüstsatz-Wechsel und der Austausch der Bewegungs
vorrichtung gehen mit erheblichen zeitlichen Verzögerungen
(ca. 4 Stunden) einher, innerhalb derer die Prüfvorrich
tung nicht zum Testen von elektronischen Bauteilen verwen
det werden kann.
Außerdem ist die dortige Handhabungsvorrichtung nach der
Einführung eines neuen platten- oder streifenförmigen
Rüstsatzes und einer neuen Vorrichtung zur Bewegung elek
tronischer Bauteile nicht sofort wieder betriebsbereit.
Vielmehr muß die Paßgenauigkeit und Funktionsfähigkeit des
neuen Rüstsatzes und der hierzu paßgenau ausgebildeten Be
wegungsvorrichtung in langwierigen Testreihen und unter
Einsatz einer großen Anzahl von gegebenenfalls sehr teuren
elektronischen Original-Bauteilen zunächst ausgetestet
werden.
Darüberhinaus erfordert die Aufbewahrung von nicht in Ge
brauch befindlichen Rüstsätzen spezielle kostenintensive
Aufbewahrungbehältnisse sowie ein gut organisiertes und
aufwendiges Lagersystem.
Aus dem Stand der Technik ist ferner eine Vorrichtung zur
Handhabung elektronischer Bauteile bekannt, bei welcher
die elektronischen Bauteile nicht auf einem platten- oder
streifenförmigen Rüstsatz, sondern einzeln und stückweise
einem Prüfsockel zugeführt und im Anschluß an die Prüfung
sortiert werden.
Von Nachteil ist bei dieser Handhabungsvorrichtung insbe
sondere, daß es unter Erzeugung einer erheblichen Aus
schußquote häufig zu Beschädigungen der fußförmigen oder
kugelförmigen Kontakte der elektronischen Bauteile kommt.
Die DE 44 18 142 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Umset
zen von elektronischen Chips, welche zwei Chip-Aufnahme
köpfe aufweist, die am freien Ende einer schrägstehenden
Antriebswelle und jeweils um 45° zu dieser und damit um
90° zueinander versetzt angeordnet sind. In einer ersten
Position befindet sich der senkrecht nach unten weisende
Aufnahmekopf direkt über dem die elektronischen Chips anliefernden
und wegtransportierenden Fließband, während der
zweite, waagerecht ausgerichtete Aufnahmekopf in Richtung
der Testeinrichtung weist. Wird die schräg stehende An
triebswelle um 180° gedreht, weist der ursprünglich waage
recht stehende Aufnahmekopf in einer zweiten Position
senkrecht nach unten, um den getesteten elektronischen
Chip auf dem Fließband ablegen zu können. Der ursprünglich
senkrecht nach unten weisende Aufnahmekopf zeigt dann mit
einem noch nicht getesteten elektronischen Chip waagerecht
in Richtung der Testeinrichtung. Während des Betriebes
wird durch die Drehung der schräg stehenden Antriebswelle
zwischen der ersten und der zweiten Position hin und her
gewechselt. Nachteilig ist bei dieser Vorrichtung insbe
sondere, daß sie stets eine toleranzbehaftete mechanische
Zentrierung der Chips vor deren Aufnahme durch den Aufnah
mekopf erfordert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereit
stellung einer Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von
elektronischen Bauteilen, welche insbesondere beim Ein
bringen von elektronischen Bauteilen in die Prüf- und Kon
takteinrichtung - selbst bei sehr langer Nutzungsdauer -
im wesentlichen nicht toleranzbehaftet ist und im wesent
lichen spielfrei arbeitet, deren Verschleiß ausgesprochen
gering ist und eine besonders lange Nutzungsdauer und
Standzeit sicherstellt, welche für die Bewegung von elek
tronischen Bauteilen unterschiedlichster Gehäuseabmessun
gen, Kontaktarten und Kontaktabstände geeignet und hierbei
nicht auf eigens an die jeweiligen elektronischen Bauteile
angepaßte Rüstsätze und dazu paßgenau ausgestaltete Bewe
gungseinrichtungen für elektronische Bauteile angewiesen
ist, deren Umstellung von einer Art elektronischer Bautei
le auf eine andere Art elektronischer Bauteile nicht mit
einem Rüstsatzwechsel und einem Wechsel der Bewegungsein
richtung und damit nicht mit erheblichen Kosten oder lan
gen Stillstandzeiten der Handhabungsvorrichtung verbunden
ist und welche im Falle einer Änderung der Art elektroni
scher Bauteile keinen aufwendigen und teuren Test der
Funktionsfähigkeit und Paßgenauigkeit eines Rüstsatzes und
des Zusammenspiels zwischen Rüstsatz und Bewegungseinrich
tung erfordert und welche keines separaten Aufbewahrungs
behälters zur Aufbewahrung von nicht in Gebrauch befindli
chen Rüstsätzen oder eines gut organisierten und aufwendi
gen Lagersystems hierfür bedarf.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemä
ßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Pa
tentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Besonders be
vorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteran
sprüche.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der
Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:
Abb. 1 eine schematische, perspektivische Ansicht ei
ner erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Be
wegen von elektronischen Bauteilen mit zwei gegenläufigen
Förderbändern und einer stirnseitigen elektrischen Kon
takteinrichtung;
Abb. 2 eine schematische, perspektivische Ansicht von
schräg oben einer erfindungsgemäßen Verstelleinrichtung
mit vier seitlich verschiebbaren, nur schematisch darge
stellten Handhabungseinrichtungen auf einem entlang der
parallelen Längsträger verschiebbaren Querträger;
Abb. 3 eine schematische Ansicht der beispielsweise
in Abb. 2 eingesetzten Seilzugmechanismen zur Ver
stellung des Querträgers der H-förmigen Verstelleinrich
tung sowie von vier stirnseitig auf dem Querträger ver
schiebbar angebrachten und zeichnerisch nur angedeuteten
vier Handhabungseinrichtungen;
Abb. 4 eine vereinfachte schematische Draufsicht auf
einen Seilzugmechanismus gemäß Abb. 3 mit zwei stirn
seitig auf dem Querträger verschiebbar angebrachten Hand
habungseinrichtungen;
Abb. 5 eine schematische Ansicht eines Querbalkens
einer erfindungsgemäßen Verstelleinrichtung mit zwei etwas
detaillierter dargestellten Handhabungseinrichtungen, wo
bei der Bauteilhalter der hinteren Handhabungseinrichtung
zur Aufnahme eines elektronischen Bauteils senkrecht nach
unten weist, während der Bauteilhalter der vorderen Hand
habungseinrichtung in Kontaktierstellung horizontal ausge
richtet ist;
Abb. 6 einen Querbalken einer erfindungsgemäßen H-
förmigen Verstelleinrichtung mit fünf verschiebbaren Hand
habungseinrichtungen auf der Stirnseite des Querbalkens
der Verstelleinrichtung, wobei die fünf Bauteilhalter die
ser Handhabungseinrichtungen mit verbreiterten Aufnahme
flächen jeweils an einer streifenförmigen Zusammenstellung
von mehreren elektronischen Bauelementen in horizontaler
Kontaktierstellung angreifen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewe
gen von elektronischen Bauteilen umfaßt im wesentlichen
mindestens ein Fördermittel (1) zur Anlieferung elektroni
scher Bauteile (3). Sie umfaßt ferner mindestens eine
Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken,
zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang
der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen
elektronischer Bauteile (3). Die erfindungsgemäße Vorrich
tung umfaßt weiterhin mindestens eine Verstelleinrichtung
(4) zur Verstellung der Handhabungseinrichtung (2) um
und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie
mindestens eine Meßvorrichtung (5) zur Bestimmung der Lage
und der Ausrichtung der elektronischen Bauteile (3). Als
wesentliches Merkmal umfaßt die erfindungsgemäße Vorrich
tung außerdem mindestens eine elektrische Kontakteinrich
tung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch lei
tenden Verbindung zwischen mindestens einem elektronischen
Bauteil (3) und mindestens einer der elektrischen Kon
takteinrichtung (8) nachgeschalteten elektronischen Prü
feinrichtung.
Als wesentlichen Bestandteil umfaßt die erfindungsgemäße
Vorrichtung ferner mindestens eine zentrale Datenverarbei
tungseinrichtung, welche zumindest mit mindestens einer
Meßvorrichtung (5) sowie mit mindestens einer der elektri
schen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrich
tung einerseits und den Antriebselementen (16) zum Antrieb
der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder
der mindestens einen Verstelleinrichtung (4) und/oder des
mindestens einen Fördermittels (1, 9) andererseits, in Ver
bindung steht.
Ein besonderes Merkmal der vorliegenden Erfindung ist da
rin zu sehen, daß sie eine Temperaturkammer (12) umfaßt.
Zumindest die Antriebsmittel (16) zur Bewegung des minde
stens einen Fördermittels (1) und/oder der mindestens ei
nen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens ei
nen Verstelleinrichtung (4) sind außerhalb der gegebenen
falls vorhandenen Temperaturkammer (12) vorgesehen. Durch
diese Maßnahme erhöht sich die Lebensdauer der Antriebs
mittel (16) beträchtlich.
Das Vorsehen einer Temperaturkammer (12) ist beim Testen
von elektronischen Bauteilen meist obligatorisch, da die
Testtemperaturen im Bereich von -60°C bis +200°C liegen
können.
Werden die elektronischen Bauteile (3) beispielsweise auf
einem langsam laufenden Förderband (9) zur Aufnahmestelle
gefahren, steht während des Transportes auf dem Förderband
(9) genügend Zeit zur Verfügung, um die Temperatur der
elektronischen Bauteile (3) an die Temperatur der Tempera
turkammer (12) anzugleichen.
Innerhalb der Temperaturkammer (12) finden sich zumindest
die elektrische Kontakteinrichtung (8) und die mindestens
eine Handhabungseinrichtung (2) sowie vorzugsweise der in
Richtung der elektrischen Kontakteinrichtung (8) weisende
Abschnitt des Fördermittels (1).
Bei den Antriebsmitteln (16) handelt es sich vorzugsweise
um elektrische oder pneumatische Antriebsmittel, welche in
Form von Zylindern, Stellmotoren, Schrittmotoren, Servomo
toren oder Elektromagneten ausgebildet sind. Diese können
beispielsweise durch einen Spindelantrieb, Schneckenan
trieb, Seilzugmechanismus, Riemenantrieb, Zahnriemenan
trieb, Zahnstangenantrieb, Pneumatikzylinder, flexible
Wellen (22, 24) oder Bowdenzüge (23) wirken.
Das Fördermittel (1) kann beispielsweise ein Rüttler, eine
Rutsche, oder ein Förderband sein. In der Regel wird das
Fördermittel (1) durch mindestens ein Förderband (9) ver
körpert, dessen Laufrichtung in der Draufsicht parallel
oder rechtwinkig zur Kontaktierungsebene (7) ausgerichtet
ist.
Alternativ oder zusätzlich hierzu ist es möglich, das För
dermittel (1) in Form mindestens einer manuellen oder au
tomatischen handelsüblichen Be- und/oder Entladeeinrich
tung für rohrförmige, tablettförmige, schienenförmige,
stangenförmige, kassettenförmige, bandförmige oder gurt
förmige Aufbewahrungsbehälter für elektronische Bauteile
(3) auszubilden.
In besonders bevorzugten Ausführungsformen wird das För
dermittel (1) jedoch durch mindestens zwei im wesentlichen
parallel zueinander verlaufende Förderbänder (9) verkör
pert (siehe Abb. 1).
Die Laufrichtung mindestens eines Förderbandes (9) ist
dort beispielsweise rechtwinklig in Richtung der Kontak
tierungsrichtung (7) ausgerichtet, während die Laufrich
tung des mindestens einen weiteren Förderbandes (9) entge
gengesetzt zur Laufrichtung des ersten Förderbandes ausge
richtet ist. Das zweite Förderband (9) kann beispielsweise
die nach Klassen sortiert auf ihm abgelegten elektroni
schen Bauteile abführen. Die in Abb. 1 dargestellten,
gegebenenfalls vorhandenen Führungsschienen (21) verhin
dern dabei, daß sich Bauteile unterschiedlicher Güteklas
sen unbeabsichtigt vermischen.
Die Handhabungseinrichtung (2) umfaßt mindestens einen
Bauteilhalter (18) in Form mindestens eines vorzugsweise
leicht austauschbaren Greifers oder Saugers.
Ein erfindungsgemäß verwendeter Sauger (18) kann bei
spielsweise im wesentlichen die Form eines Rohres aufweisen
und an seinem freien Ende eine gegebenenfalls mehr
oder weniger aufgeweitete Aufnahmefläche (11) besitzen.
Da jeder Sauger oder Greifer konstruktionsbedingt nicht
nur für eine einzige Gehäusegröße einer bestimmten Art von
elektronischen Bauteilen (3, 3') geeignet ist, sondern
grundsätzlich zur Aufnahme und zum Transport von elektro
nischen Bauteilen unterschiedlichster Gehäuseabmessungen
und Arten in Frage kommt, ist es im Falle der erfindungs
gemäßen Transportvorrichtung nicht erforderlich, bei jedem
Übergang von einer Art elektronischer Bauteile zu einer
anderen oder bei jeder Größenänderung der elektronischen
Bauteile (3) den Bauteilhalter (18) oder gar - wie im Stand
der Technik - die gesamte Bewegungsvorrichtung für die
elektronischen Bauteile (3) auszutauschen.
Der Bauteilhalter (18) ist vorzugsweise um mindestens 90°
oder 180° um eine parallel zur Kontaktierungsebene (7)
verlaufende Längsachse (10) beispielsweise mittels eines
Bowdenzuges (23) schwenkbar (siehe Abb. 5 und 6).
Auf diese Weise kann die in der Regel endwärtige Bauteil
aufnahmefläche (11) des Bauteilhalters (18) im wesentli
chen in parallele Ausrichtung zur elektrischen Kontakt
einrichtung (8) und anschließend wieder in die vertikal
nach unten gerichtete Ablagestellung gebracht werden.
In besonders bevorzugten Ausführungsformen umfaßt die
Handhabungseinrichtung (2) ferner mindestens einen bei
spielsweise frontseitig auf dem in x-Richtung verschiebba
ren Schlitten (17) vertikal in z-Richtung verschiebbar an
gebrachten zweiten Schlitten. Dieser in z-Richtung ver
schiebbare, zweite Schlitten kann frontseitig mindestens
einen Bauteilhalter (18) tragen.
Gegebenenfalls kann eine flexible Welle (22) über ein
Schneckengetriebe den vertikal gleitend an dem Schlitten
(17) angebrachten weiteren Schlitten in z-Richtung antrei
ben.
Dies führt einerseits zu dem Vorteil, daß Orientierungs
fehler des vertikal nach unten ausgerichteten Bauteilhal
ters (18) beim Absetzen auf dem elektronischen Baustein
(3) entlang der y-Achse durch eine diesen Orientierungs
fehler ausgleichende Bewegung des zweiten Schlittens ent
lang der z-Achse kompensierbar sind.
Die Verstellbarkeit der Handhabungseinrichtung (2) entlang
der z-Achse führt darüberhinaus zu dem Vorteil, daß Orien
tierungsfehler bezüglich der Drehung bei einer streifen
förmigen oder plattenförmigen Zusammenstellung von elek
tronischen Einzelbauteilen (3') besonders schnell und in
strumentell einfach behebbar sind.
Wie insbesondere aus Abblidung 6 hervorgeht, kann durch
simples Anheben und/oder Absenken in vertikaler z-
Richtung, zumindest eines, zweier oder aller Bauteilhalter
(18), ein Orientierungsfehler der platten- oder streifen
förmigen Zusammenstellung um die horizontale Drehachse mü
helos ausgeglichen werden.
Diese Art der Korrektur von Orientierungsfehlern ist nicht
nur bei beispielsweise platten- oder streifenförmigen Zu
sammenstellungen von elektronischen Einzelbauteilen (3')
anwendbar, sondern grundsätzlich auch bei solchen elektro
nischen Einzelbauteilen (3'), auf deren Gehäuseoberfläche
mindestens zwei Aufnahmeflächen (11) von mindestens zwei
Bauteilhaltern (18) Platz finden.
Alternativ oder zusätzlich zu dieser Art der Korrektur von
Orientierungsfehlern bezüglich der Drehung elektronischer
Bauteile (3) ist es möglich, die Handhabungseinrichtung
(2) so auszugestalten, daß sie zumindest eine Drehung des
in Kontaktierstellung hochgeschwenkten Bauteilhalters (18)
um dessen Längsachse (y-Achse) gestattet.
Zu diesem Zweck kann eine flexible Welle (24) beispiels
weise über ein Schneckengetriebe mit einem gegebenenfalls
auf dem in z-Richtung vertikal verschiebbaren zweiten
Schlitten drehbar angebrachten Rundtisch in Verbindung
stehen, wobei der Rundtisch frontseitig mindestens einen
Bauteilhalter (18) tragen kann. In der vertikal nach unten
gerichteten Aufnahme- oder Ablagestellung des Bauteilhal
ters (18) kann dieser Drehmechanismus nötigenfalls ge
sperrt sein.
Die mindestens eine Verstelleinrichtung (4) zur Verstel
lung der Handhabungseinrichtung (2) umfaßt vorzugsweise im
wesentlichen zwei zueinander parallele und voneinander zu
mindest etwas beabstandete Führungsschienen (13) sowie ei
nen rechtwinklig zur Längsachse (14) der Führungsschienen
(13) sich erstreckenden Querträger (15) (siehe insbesonde
re Abb. 2 bis 4). Der Querträger (15) ist vorzugs
weise längs verschiebbar auf den Führungsschienen (13) ge
lagert.
Auf der in Richtung der elektrischen Kontakteinrichtung
(8) weisenden Stirnseite des Querträgers (15) ist in der
Regel eine Vielzahl von Handhabungseinrichtungen (2) um
und/oder entlang der x-Achse und/oder der y-Achse und/oder
der z-Achse verschiebbar und/oder schwenkbar angebracht.
So kann die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2)
beispielsweise auf mindestens einem Schlitten (17) vorge
sehen sein, welcher auf einer an der Stirnseite des Quer
trägers (15) vorgesehenen Führungsschiene (25) zumindest
in x-Richtung, beispielsweise mittels eines Seilzugmecha
nismus (19), verschiebbar angebracht ist.
Die Verschiebungen oder Verschwenkungen der Handhabungs
einrichtung (2) um gleiche oder unterschiedliche Achsen
sind abhängig oder unabhängig voneinander vornehmbar
(siehe Abb. 5 und 6).
Wie insbesondere aus den Abb. 3 und 4 hervorgeht,
ist der Querträger (15) beispielsweise mittels zweier über
mindestens einen Zahnriemen- oder Seilzugmechanismus (19)
wirkender Antriebsmittel (16) auf den Führungschienen (13)
verschiebbar.
In den in den Abb. 3 und 4 dargestellten Ausfüh
rungsformen der Verstelleinrichtung (4) verschieben die
gleichen Antriebsmittel (16), welche den Querträger (15)
verschieben, in Abhängigkeit ihrer Drehrichtung vorzugs
weise zugleich eine erste Handhabungseinrichtung (2) an
der Stirnseite des Querträgers (15) in x-Richtung.
In der Regel sind auf der Stirnseite des Querträgers (15)
weitere Handhabungseinrichtungen (2), vorzugsweise vier
bis zehn, vorgesehen (siehe Abb. 6). Diese können
durch weitere Antriebsmittel (16), gegebenenfalls unabhän
gig von dem Querträger (15) sowie unabhängig von der er
sten Handhabungseinrichtung (2), abhängig oder unabhängig
voneinander entlang der x-Achse und/oder der y-Achse
und/oder der z-Achse verschiebbar sein.
Bei der mindestens einen Meßvorrichtung (5) handelt es
sich beispielsweise um mindestens eine mechanische oder
berührungslose optische, elektrische, kapazitive oder in
duktive Meßvorrichtung (5).
Ihr Blickfeld ist vorzugsweise im wesentlichen auf denje
nigen Abschnitt des Fördermittels (1, 9) gerichtet, wel
cher der elektrischen Kontakteinrichtung (8) benachbart
ist und die zu bewegenden elektronischen Bauteile (3) an
liefert.
Alternativ oder zusätzlich hierzu kann das Blickfeld der
mindestens einen Meßvorrichtung (5) direkt oder indirekt
den Bereich der elektrischen Kontakteinrichtung (8)
und/oder der Güteklassen entsprechenden Absetzorte erfas
sen.
Die Meßvorrichtung (5) steht mit der Datenverarbeitungs
einrichtung und über diese mit den Antriebsmitteln (16)
des Fördermittels (1, 9) und/oder der Handhabungseinrich
tung (2) und/oder der Verstelleinrichtung (4) in Verbin
dung.
In besonders bevorzugten Ausführungsformen umfaßt die Meß
vorrichtung (5) mindestens zwei kameraartige Meßglieder,
deren Blickrichtung im wesentlichen von oben zumindest auf
den Endabschnitt des die elektronischen Bauteile (3) an
liefernden Fördermittels (1, 9) gerichtet sein kann. Al
ternativ oder zusätzlich hierzu kann deren Blickrichtung
auf die elektrische Kontakteinrichtung (8) gerichtet sein.
Zu diesem Zwecke können beispielsweise mindestens ein
Prisma und/oder mindestens ein vollständig oder teildurch
lässiger Spiegel stationär oder ein- und ausschwenkbar in
dem Blickfeld der mindestens einen Meßvorrichtung (5) vor
gesehen sein.
Die ursprünglich im wesentlichen vertikal nach unten ge
richtete Blickrichtung der mindestens einen Meßvorrichtung
(5) kann auf diese Weise besonders einfach, ohne Bewegung
der Meßvorrichtung (5), um beispielsweise 90° oder 180°
vor allem in Richtung der elektrischen Kontakteinrichtung
(8) und/oder des Absetzortes der elektronischen Bauteile
(3) geschwenkt werden.
Alternativ oder zusätzlich hierzu blickt zumindest eine
der beiden Kameras (5) vorzugsweise auf den Anfangsab
schnitt des die sortiert abgesetzten elektronischen Bau
teile (3) abführenden Fördermittels (1, 9) oder des Aufbe
wahrungsbehältnisses für elektronische Bauteile (3, 3').
Es ist selbstverständlich, daß die im weitesten Sinne "op
tische" Meßvorrichtung (5) mit Strahlen unterschiedlich
ster Wellenlängen arbeiten kann. So kann insbesondere eine
auf Laserstrahlung, Infrarotlicht oder Röntgenstrahlung
basierende optische Meßvorrichtung (5) zum Einsatz kommen.
Auf diese Weise können nicht nur Lage und Orientierung
elektronischer Bauteile (3, 3') ermittelt, sondern auch
deren Materialeigenschaften überprüft werden.
Ein besonderes Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht
darin, daß zumindest eine der Längsachsen der beiden Kame
ras (5) gegebenenfalls zumindest etwas schräg ausgerichtet
und bei seitlicher Betrachtung oben in Richtung der Kon
taktierungsebene (7) geneigt ist. Dies führt zu dem Vor
teil, daß eine durch vorragende Baugruppen weniger ver
deckte Beobachtung der Handhabungseinrichtung (2), insbe
sondere des Bauteilhalters (18) und der angelieferten
elektronischen Bauteile (3, 3'), möglich ist.
Die mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung
enthält mindestens einen programmierbaren Mikroprozessor.
Dieser ist vorzugsweise derart ausgebildet, daß er aus den
von der Meßvorrichtung (5) eingehenden Meßsignalen zunächst
die Lage und/oder den Drehwinkel sowie den "geometrischen
Flächenschwerpunkt" des angelieferten, zu bewegenden elek
tronischen Bauteils (3) ermittelt.
Bei diesem "geometrischen Flächenschwerpunkt" kann es sich
beispielsweise um den Schwerpunkt der in der Draufsicht
erkennbaren Fläche des Gehäuses eines elektronischen Bau
teils (3) handeln. Alternativ oder zusätzlich hierzu kann
der "geometrische Flächenschwerpunkt" der Schwerpunkt der
durch die freien Enden der gegebenenfalls beinchenförmigen
Kontakte aufgespannten Fläche sein.
Der Mikroprozessor kann ferner derart ausgebildet sein,
daß er auf der Basis der von der Meßvorrichtung (5) gelie
ferten Daten anschließend die Abweichungen des Aufsetzor
tes der Aufnahmefläche (11) des Bauteilhalters (18) auf
dem elektronischen Bauelement (3) von dem zuvor berechne
ten Flächenschwerpunkt bestimmt. Der Mikroprozessor ist
vorzugsweise darüber hinaus in der Weise ausgestaltet, daß
er ein diese Abweichungen kompensierendes Korrektursignal
ermittelt und an die Antriebsmittel (16) der Handhabungs
einrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung (4) sol
che Stellgrößen übermittelt, welche zur Feinabstimmung mit
den Korrektursignalen beaufschlagt sind. Die Korrektur ei
nes sich in der horizontalen x-y-Ebene ereignenden Orien
tierungsfehlers der Aufnahmefläche (11) des Bauteilhalters
(13) auf einem elektronischen Bauteil (3), erfolgt erfin
dungsgemäß insbesondere dadurch, daß die in der Horizonta
len bezüglich der y-Achse durch die Meßvorrichtung (5)
festgestellte Abweichung (Δy) beim Nach-oben-Schwenken des
Bauteilhalters (18) zu einer Korrektur in z-Richtung
transformiert wird (Δy = Δz).
Die an die Antriebsmittel (16) von der Datenverarbeitungs
anlage abgegebenen Stellgrößen sind grundsätzlich durch
den Ort und die Lage des aufzunehmenden elektronischen
Bauteils (3), den Ort und die Lage der elektrischen Kon
takteinrichtung (8) sowie die Position und die Lage des
der jeweiligen Güteklasse entsprechenden Absetzortes be
stimmt.
Der mindestens eine programmierbare Mikroprozessor ist au
ßerdem derart ausgestaltet, daß er solche Stellgrößen an
die Antriebsmittel (16) der Handhabungseinrichtung (2) und
der Verstelleinrichtung (4) ausgibt, daß das über den Bau
teilhalter (18) aufgenommene elektronische Bauteil (3) zu
nächst mit einem für die Messung ausreichenden Anpress
druck paßgenau mit der elektrischen Kontakteinrichtung (8)
in Eingriff kommt. Der programmierbare Mikroprozessor ist
ferner derart ausgestaltet, daß die im Anschluß an die
Messung an die Antriebsmittel (16) der Handhabungseinrich
tung (2) und der Verstelleinrichtung (4) abgegebenen
Stellgrößen bewirken, daß der mit einem elektronischen
Bauteil beladene Bauteilhalter (18) aus der horizontalen
oder vertikal nach oben weisenden Meßstellung nach unten
schwenkt und das elektronische Bauteil (3) in Abhängigkeit
von dem Prüfergebnis sortiert nach Güteklassen auf dem
mindestens einen abtransportierenden Fördermittel (1) ab
legt.
Von besonderer Bedeutung ist, daß die erfindungsgemäße
Vorrichtung nicht nur zum Bewegen und Prüfen von einzelnen
elektronischen Bauteilen (3) geeignet ist.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es vielmehr in
hervorragender Weise möglich, eine Zusammenstellung von
mehreren elektronischen Bauteilen (3') zu bewegen, welche
beispielsweise streifenförmig, gitterfeldförmig, schienen
förmig, stangenförmig, rohrförmig, strangförmig, tablett
förmig, bandförmig oder plattenförmig ausgebildet ist.
Zusammenfassend ist festzustellen, daß im Falle der erfin
dungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von
elektronischen Bauteilen ein Spiel zwischen dem beim Stand
der Technik zwingend erforderlichen platten- oder strei
fenförmigen Rüstsatz und den in diesen eingesetzten elek
tronischen Bauteilen ausgeschlossen ist. Ferner kennt die
erfindungsgemäße Vorrichtung nicht das Problem einer Tole
ranz zwischen einem Rüstsatz und dem Prüfsockel.
Da die erfindungsgemäße Vorrichtung auf streifen- oder
plattenförmige Rüstsätze grundsätzlich verzichten kann,
ist ein Verschleiß derartiger Rüstsätze während des Trans
portes innerhalb und/oder außerhalb der Handhabungsvor
richtung oder während des Beschickens mit elektronischen
Bauteilen ausgeschlossen. Dies hat eine besonders lange
Standzeit der Vorrichtung sowie eine langfristig gegebene
Freiheit von Toleranzen zur Folge.
Von besonderem Vorteil ist ferner, daß beim Übergang von
einer Art elektronischer Bauteile zu einer anderen Art
elektronischer Bauteile kein Wechsel eines platten- oder
streifenförmigen Rüstsatzes oder einer Vorrichtung zur
Aufnahme und zum Transport elektronischer Bauteile erfor
derlich ist. Dies führt zu einer erheblichen Zeit- und Ko
stenersparnis.
Zumal die erfindungsgemäße Vorrichtung auf Rüstsätze ver
zichten kann, werden keine teuren Aufbewahrungsbehälter
für nicht in Gebrauch befindliche Rüstsätze benötigt.
Auch ein gut organisiertes und aufwendiges Lagersystem für
nicht in Gebrauch befindliche Rüstsätze ist im Gegensatz
zu den aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtungen
überflüssig.
Aufgrund der uneingeschränkten Steuerbarkeit und der aus
geprägten Beweglichkeit des Bauteilhalters (18) um sämtli
che Achsen ist eine Beschädigung von elektronischen Bau
teilen (3) oder deren Kontakten (Füsse oder Kugeln) wäh
rend ihrer Bewegung ausgeschlossen.
Dies ist ein besonders gravierender Vorteil gegenüber den
aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtungen zur Be
wegung von einzelnen elektronischen Bauteilen. Denn dort
werden die getesteten elektronischen Bauteile ohne Senso
rik einfach abgelegt und mittels einer Zentner- bezie
hungsweise Positionierfläche zentriert. Hierbei kommt es
leicht zu Beschädigungen insbesondere beinchenförmiger
Kontakte.
Claims (2)
1. Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektroni
schen Bauteilen, umfassend:
mindestens ein Fördermittel (1) zur Anlieferung elektro nischer Bauteile (3),
mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3),
mindestens eine Verstelleinrichtung (4) zur Verstellung der Handhabungseinrichtung (2) entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder z-Achse,
mindestens eine Meßvorrichtung (5) zur Bestimmung der Lage und der Ausrichtung der elektronischen Bauteile (3),
mindestens eine elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Ver bindung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prü fenden elektronischen Bauteil (3) und mindestens einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten elektronischen Prüfeinrichtung,
mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung, welche mindestens mit einer Meßvorrichtung (5) so wie mit einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung einerseits und den An triebselementen (16) zum Antrieb der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung (4) und/oder des mindestens einen Fördermittels (1) andererseits in Verbindung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich eine Tempera turkammer (12) umfaßt, innerhalb welcher zumindest die elektrische Kontakteinrichtung (8) sowie die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) vorgesehen sind, wobei die Antriebsmittel (16) zur Bewegung des mindestens einen För dermittels (1) und/oder der mindestens einen Handhabungs einrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstellein richtung (4) außerhalb der Temperaturkammer (12) vorgese hen sind und daß die mindestens eine Handhabungseinrich tung (2) ein Schwenken des mindestens einen elektronischen Bauteils um die x- und/oder y- und/oder z-Achse erlaubt.
mindestens ein Fördermittel (1) zur Anlieferung elektro nischer Bauteile (3),
mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3),
mindestens eine Verstelleinrichtung (4) zur Verstellung der Handhabungseinrichtung (2) entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder z-Achse,
mindestens eine Meßvorrichtung (5) zur Bestimmung der Lage und der Ausrichtung der elektronischen Bauteile (3),
mindestens eine elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Ver bindung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prü fenden elektronischen Bauteil (3) und mindestens einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten elektronischen Prüfeinrichtung,
mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung, welche mindestens mit einer Meßvorrichtung (5) so wie mit einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung einerseits und den An triebselementen (16) zum Antrieb der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung (4) und/oder des mindestens einen Fördermittels (1) andererseits in Verbindung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich eine Tempera turkammer (12) umfaßt, innerhalb welcher zumindest die elektrische Kontakteinrichtung (8) sowie die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) vorgesehen sind, wobei die Antriebsmittel (16) zur Bewegung des mindestens einen För dermittels (1) und/oder der mindestens einen Handhabungs einrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstellein richtung (4) außerhalb der Temperaturkammer (12) vorgese hen sind und daß die mindestens eine Handhabungseinrich tung (2) ein Schwenken des mindestens einen elektronischen Bauteils um die x- und/oder y- und/oder z-Achse erlaubt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß es sich bei den Antriebsmitteln (16) um elektrische
oder pneumatische Antriebsmittel handelt, welche in Form
von Zylindern, Stellmotoren, Schrittmotoren, Servomotoren
oder Elektromagneten ausgebildet sind, die durch einen
Spindelantrieb, Schneckenantrieb, Seilzugmechanisums, Rie
menantrieb, Zahnriemenantrieb, Zahnstangenantrieb, Pneuma
tikzylinder, flexible Wellen (22, 24) oder Bowdenzüge (23)
wirken.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106516681A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-03-22 | 严福英 | 一种餐盒自动分拣投放装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10003839C2 (de) * | 2000-01-29 | 2002-03-14 | Dual M Tech Ag | Temperaturkammer |
DE20001534U1 (de) * | 2000-01-29 | 2000-05-11 | Dual M Tech Ag | Saugrohrschwenker |
DE10055631A1 (de) * | 2000-11-10 | 2002-05-29 | Dual M Tech Ag | Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile mit Schwenkspiegel |
DE102004051302A1 (de) * | 2004-10-20 | 2006-05-11 | Ief Werner Gmbh | Vorrichtung zur Temperieren und Prüfen elektronischer und/oder elektromechanischer Bauteile |
DE102004055719B4 (de) * | 2004-11-18 | 2007-02-22 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Bestücken von Bauelementeträgern mit Bauelementen |
ATE431311T1 (de) * | 2005-12-30 | 2009-05-15 | Cavanna Spa | Greiferkopf für eine warenüberführungseinrichtung und ein verfahren zum überführen von waren |
FR3060547B1 (fr) * | 2016-12-20 | 2020-06-26 | M. Xavier Maisonnave-Couterou, Agissant Au Nom Et Pour Le Compte De Robocob, Societe A Responsabilite Limitee En Cours De Formation | Appareil et procede de transfert, vers une ligne de traitement, d'imprimes initialement conditionnes en liasse |
WO2019243674A1 (fr) * | 2018-06-18 | 2019-12-26 | Robocob | Appareil et procédé de transfert, vers une ligne de traitement, d'imprimés initialement conditionnés en liasse |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5098501A (en) * | 1989-12-08 | 1992-03-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Pickup method and the pickup apparatus for chip-type part |
DE4105875C1 (de) * | 1991-02-25 | 1992-08-13 | Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8012 Ottobrunn, De | |
DE4418142A1 (de) * | 1993-05-25 | 1994-12-01 | Delta Design Inc | Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen von Teilen in eine Testeinrichtung |
DE4432909A1 (de) * | 1993-09-17 | 1995-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | Artikelanordnungsvorrichtung |
-
1998
- 1998-07-11 DE DE19831033A patent/DE19831033C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5098501A (en) * | 1989-12-08 | 1992-03-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Pickup method and the pickup apparatus for chip-type part |
DE4105875C1 (de) * | 1991-02-25 | 1992-08-13 | Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8012 Ottobrunn, De | |
DE4418142A1 (de) * | 1993-05-25 | 1994-12-01 | Delta Design Inc | Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen von Teilen in eine Testeinrichtung |
DE4432909A1 (de) * | 1993-09-17 | 1995-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | Artikelanordnungsvorrichtung |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106516681A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-03-22 | 严福英 | 一种餐盒自动分拣投放装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19831033A1 (de) | 2000-01-20 |
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