DE19824107A1 - Tastschnittverfahren sowie Anordnung zur Messgrößenbestimmung einer Oberfläche eines Prüflings nach dem Tastschnittverfahren - Google Patents

Tastschnittverfahren sowie Anordnung zur Messgrößenbestimmung einer Oberfläche eines Prüflings nach dem Tastschnittverfahren

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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1248073A1 (fr) * 2001-04-03 2002-10-09 Saphirwerk Industrieprodukte AG Procédé de détermination de l'amplitude des déformations d'un stylet palpeur
DE102006002618B3 (de) * 2006-01-19 2007-07-26 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts
DE10349946B4 (de) * 2003-10-24 2008-04-17 Werth Messtechnik Gmbh Anordnung zur Messung von Oberflächeneigenschaften
WO2015082683A2 (fr) 2013-12-06 2015-06-11 Werth Messtechnik Gmbh Dispositif et procédé pour la mesure de pièces
DE102014117978A1 (de) 2013-12-06 2015-06-11 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Werkstücken
WO2016092053A1 (fr) 2014-12-12 2016-06-16 Werth Messtechnik Gmbh Procédé et dispositif de mesure de caractéristiques sur des pièces
DE102015121582A1 (de) 2014-12-12 2016-06-16 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Merkmalen an Werkstücken
CN109520399A (zh) * 2019-01-18 2019-03-26 南县伟业机械制造有限公司 一种水田平整度检测系统
WO2020115621A1 (fr) * 2018-12-04 2020-06-11 Watch Out Sa Système et procédé de mesure du profil d'une pièce
RU2799461C2 (ru) * 2018-12-04 2023-07-05 Лди Финанс Система и способ измерения профиля детали

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2511656A1 (fr) 2011-04-14 2012-10-17 Hexagon Technology Center GmbH Système de mesure pour la détermination de coordonnées 3D d'une surface d'objet

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4002043C2 (de) * 1990-01-24 1997-03-20 Paul Hans Ulrich Prof Dipl Ing Meßsystem zur Ermittlung geometrischer Bearbeitungsdaten an zu vermessenden Formen
DE29710242U1 (de) * 1997-06-12 1997-08-07 Trapet, Eugen, Dr., 38176 Wendeburg Taster zur Messung geometrischer Strukturen

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57141040A (en) * 1981-02-24 1982-09-01 Toshiba Corp Recording and reproducing decive
ATE225557T1 (de) * 1991-07-17 2002-10-15 Canon Kk Informationsaufzeichnungs-/-wiedergabegerät oder -verfahren zur informationsaufzeichnung/- wiedergabe auf/von einem informationsaufzeichnungsmedium unter verwendung einer vielzahl von sondenelektroden
JPH05332712A (ja) * 1992-05-27 1993-12-14 Olympus Optical Co Ltd トラップサイト検出顕微鏡
JP3076467B2 (ja) * 1992-12-25 2000-08-14 キヤノン株式会社 面合わせ方法およびそれを用いたトンネル顕微鏡および記録再生装置
US5670712A (en) * 1994-08-15 1997-09-23 The Regents Of The University Of California Method and apparatus for magnetic force control of a scanning probe
JPH10142240A (ja) * 1996-11-14 1998-05-29 Hitachi Constr Mach Co Ltd 走査型プローブ顕微鏡とこの走査型プローブ顕微鏡を備えた加工装置
JP3260644B2 (ja) * 1996-12-10 2002-02-25 セイコーインスツルメンツ株式会社 カンチレバーおよびその製造方法
JPH10232240A (ja) * 1997-02-19 1998-09-02 Canon Inc 表面観察装置
JPH10339736A (ja) * 1997-06-10 1998-12-22 Olympus Optical Co Ltd 走査型プローブ顕微鏡用プローブとその作製方法
DE19724739A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Werth Messtechnik Gmbh Taster zur Messung geometrischer Strukturen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4002043C2 (de) * 1990-01-24 1997-03-20 Paul Hans Ulrich Prof Dipl Ing Meßsystem zur Ermittlung geometrischer Bearbeitungsdaten an zu vermessenden Formen
DE29710242U1 (de) * 1997-06-12 1997-08-07 Trapet, Eugen, Dr., 38176 Wendeburg Taster zur Messung geometrischer Strukturen

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1248073A1 (fr) * 2001-04-03 2002-10-09 Saphirwerk Industrieprodukte AG Procédé de détermination de l'amplitude des déformations d'un stylet palpeur
US6776023B2 (en) 2001-04-03 2004-08-17 Saphirwerk Industrieprodukte Ag Method for determining the deformation amplitude of a touch probe
DE10349946B4 (de) * 2003-10-24 2008-04-17 Werth Messtechnik Gmbh Anordnung zur Messung von Oberflächeneigenschaften
DE102006002618B3 (de) * 2006-01-19 2007-07-26 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts
WO2007082582A1 (fr) * 2006-01-19 2007-07-26 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Dispositif pour mesurer des structures d'un objet
US10393505B2 (en) 2013-12-06 2019-08-27 Werth Messtechnik Gmbh Device and method for measuring workpieces
DE102014117978A1 (de) 2013-12-06 2015-06-11 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Werkstücken
WO2015082683A2 (fr) 2013-12-06 2015-06-11 Werth Messtechnik Gmbh Dispositif et procédé pour la mesure de pièces
US10935366B2 (en) 2014-12-12 2021-03-02 Werth Messtechnik Gmbh Method and device for measuring features on workpieces
WO2016092053A1 (fr) 2014-12-12 2016-06-16 Werth Messtechnik Gmbh Procédé et dispositif de mesure de caractéristiques sur des pièces
DE102015121582A1 (de) 2014-12-12 2016-06-16 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Merkmalen an Werkstücken
EP3569973A1 (fr) 2014-12-12 2019-11-20 Werth Messtechnik GmbH Maschine de mesure de coordonnees et procedes de mesure de caracteristiques sur des pieces
JP2022510150A (ja) * 2018-12-04 2022-01-26 エルデイ・フィナンス 部品の形状を計測するシステム及び方法
WO2020115621A1 (fr) * 2018-12-04 2020-06-11 Watch Out Sa Système et procédé de mesure du profil d'une pièce
KR20210131993A (ko) * 2018-12-04 2021-11-03 엘디아이 파이낸시스 작업편의 프로파일을 측정하기 위한 시스템 및 방법
JP7220788B2 (ja) 2018-12-04 2023-02-10 エルデイ・フィナンス 部品の形状を計測するシステム及び方法
RU2799461C2 (ru) * 2018-12-04 2023-07-05 Лди Финанс Система и способ измерения профиля детали
US11854220B2 (en) 2018-12-04 2023-12-26 Watchoutcorp Sa System and method for measuring the profile of a workpiece
KR102671530B1 (ko) * 2018-12-04 2024-06-04 워치아웃코프 에스에이 작업편의 프로파일을 측정하기 위한 시스템 및 방법
CN109520399A (zh) * 2019-01-18 2019-03-26 南县伟业机械制造有限公司 一种水田平整度检测系统

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