DE19823733A1 - Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren - Google Patents
Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes HerstellungsverfahrenInfo
- Publication number
- DE19823733A1 DE19823733A1 DE19823733A DE19823733A DE19823733A1 DE 19823733 A1 DE19823733 A1 DE 19823733A1 DE 19823733 A DE19823733 A DE 19823733A DE 19823733 A DE19823733 A DE 19823733A DE 19823733 A1 DE19823733 A1 DE 19823733A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- memory cell
- cell arrangement
- gate
- bit line
- semiconductor memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Landscapes
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
Die vorliegende Erfindung schafft eine Halbleiter-Speicherzellenanordnung mit einer Mehrzahl von matrixförmig auf einem Substrat (10) angeordneten und durch entsprechende Wort- und Bitleitungen verschalteten Speicherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c), insbesondere von Flash-EEPROM-Speicherzellen, wobei die Speicherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c) jeweils eine gategesteuertes Halbleiterbauelement aufweisen, dessen erster Hauptanschluß an eine jeweilige erste Bitleitung (95; 95a-c) angeschlossen, dessen zweiter Hauptanschluß vorzugsweise an ein jeweiliges Referenzpotential angeschlossen ist und dessen Gateanschluß an eine jeweilige Wortleitung (90; 90a-d) angeschlossen ist. Das gategesteuerte Halbleiterbauelement ist über seinen Kanalbereich (45) an eine jeweilige zweite Bitleitung (30; 30a-c) angeschlossen. Dadurch ist es möglich, eine einzelne Speicherzelle beim Auslesen durch die eine und beim Programmieren durch die andere Bitleitung anzusteuern und diesbezüglich beide Gruppen von Bitleitungen unabhängig voneinander zu optimieren.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiter-Speicher
zellenanordnung mit einer Mehrzahl von matrixförmig auf einem
Substrat angeordneten und durch entsprechende Wort- und Bit
leitungen verschalteten Speicherzellen, insbesondere von
Flash-EEPROM-Speicherzellen, wobei die Speicherzellen jeweils
ein gate-gesteuertes Halbleiterbauelement aufweisen, dessen
erster Hauptanschluß an eine jeweilige erste Bitleitung ange
schlossen, dessen zweiter Hauptanschluß vorzugsweise an ein
jeweiliges Referenzpotential angeschlosssen ist und dessen
Gateanschluß an eine jeweilige Wortleitung angeschlossen ist.
Die vorliegende Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechen
des Herstellungsverfahren.
Obwohl prinzipiell auf beliebige Halbleiter-Speicherzellen
anordnungen anwendbar, werden die vorliegende Erfindung sowie
die ihr zugrundeliegende Problematik in bezug auf Flash-
EEPROM-Speicherzellenanordnung in Siliziumtechnologie erläu
tert.
Allgemein ist ein EEPROM (electrically erasable programmable
read only memory) ein programmierbarer Festwertspeicher, der
sich elektrisch löschen läßt. Flash-EEPROMs sind zwar wie die
EEPROMs elektrisch löschbar, doch nicht byteweise, sondern
nur blockweise.
Halbleiter-Speicherzellenanordnungen erfordern eine Einzel
ansteuerung der Speicherzellen zumindest für den Auslese- und
Programmierbetrieb. Dies wird in der Praxis üblicherweise
durch eine matrixförmige Anordnung von senkrecht zueinander
verlaufenden Leiterbahnen realisiert, welche in Form von Zei
len und Spalten verschaltet sind. Üblicherweise werden die
Zeilenverbindungen als Wortleitungen und die Spaltenverbin
dungen als Bitleitungen bezeichnet.
Das Auslesen der Daten von den Speicherzellen oder das Pro
grammieren bzw. Schreiben von Daten in die Speicherzellen
wird durch die Aktivierung geeigneter Wortleitungen und Bit
leitungen bewerkstelligt.
Üblicherweise enthält eine Flash-EEPROM-Speicherzelle einen
Feldeffekttransistor. Der Transistor enthält zwei Diffusi
onsbereiche, welche durch einen Kanal getrennt sind, oberhalb
dessen ein Gate angeordnet ist. Abhängig von der Richtung des
Stromflusses bezeichnet man den einen Diffusionsbereich als
Drain und den anderen als Source. Die Bezeichnungen "Drain"
und "Source" werden hier hinsichtlich der Diffusionsbereiche
gegenseitig austauschbar verwendet. Die Gates sind mit einer
Wortleitung verbunden, und einer der Diffusionsbereiche ist
mit einer Bitleitung verbunden, während der andere Diffusi
onsbereich üblicherweise mit einem Referenzpotential verbun
den ist.
Das Anlegen einer geeigneten Spannung an das Gate schaltet
den Transistor in Abhängigkeit von seinem Programmierzustand
ein und ermöglicht ggfs. einen Stromfluß zwischen den Diffu
sionsbereichen durch den Kanal, um so eine Verbindung zwi
schen der Bitleitung und dem Referenzpotential zu bilden. Das
Ausschalten des Transistors trennt diese Verbindung, indem
der Stromfluß durch den Kanal unterbrochen wird.
Das Programmieren selbst erfolgt durch Speichern von Ladungen
durch einen Tunnelstrom (z. B. Fowler-Nordheim-Prinzip) ober
halb des Kanals, so daß die Schwellspannung des Transistors
verschoben wird.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problematik
besteht allgemein darin, daß die Bitleitungen üblicherweise
als Metallbahnen ausgeführt werden und zur Ansteuerung der
Speicherzellen sowohl beim Lesen als auch beim Programmieren
eingesetzt werden. Die beiden Betriebsarten Programmieren und
Auslesen erfolgen jedoch bei sehr unterschiedlichen Betriebs
bedingungen und bringen daher unterschiedliche technische An
forderungen u. a. hinsichtlich Leckströmen, Sättigungsströmen,
Degradationsfestigkeit etc. mit sich.
Als nachteilhaft beim obigen bekannten Ansatz hat sich die
Tatsache herausgestellt, daß stets ein Kompromiß zwischen op
timalem Ausleseverhalten und optimalem Programmierverhalten
gefunden werden muß.
Insbesondere treten beim üblichen Programmieren verhältnismä
ßig hohe Spannungen am Drainbereich auf, welche zu uner
wünschten Feldüberhöhungen führen, die wiederum das Gateoxid
schädigen können.
Daher ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbes
serte Halbleiter-Speicherzellenanordnung zu schaffen, bei der
das Programmierverhalten unabhängig vom Ausleseverhalten op
timierbar ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die in Anspruch 1
angegebene Halbleiter-Speicherzellenanordnung und durch das
entsprechende Herstellungsverfahren nach Anspruch 7 gelöst.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Idee besteht
darin, daß eine zweite Bitleitung nicht über den Hauptan
schluß des gate-gesteuerten Halbleiterbauelements geführt
ist, sondern über den Kanalbereich bzw. über das Bauele
mentsubstrat.
Die erfindungsgemäße Halbleiter-Speicherzellenanordnung weist
gegenüber den bekannten Lösungsansätzen den Vorteil auf, daß
es möglich ist, eine einzelne Speicherzelle beim Programmie
ren im wesentlichen durch die zweite, zusätzliche Bitleitung
und beim Lesen im wesentlichen durch die erste, bekannte Bit
leitung anzusteuern. Dadurch lassen sich die Leckströme beim
Programmieren und Lesen minimieren.
Dadurch, daß die zweite Bitleitung über den Kanalbereich ge
führt ist, steht eine große Tunnelstrom-Querschnittsfläche zur
Verfügung, und somit werden die Feldüberhöhungen am Drain
beim Programmieren vermieden. Demzufolge erhält man eine ge
ringe Oxidschädigung bzw. eine hohe Zuverlässigkeit und Le
bensdauer (erforderlich für strenge Anforderungen hinsicht
lich der zu erwartenden Speicherzyklen).
In den Unteransprüchen finden sich vorteilhafte Weiterbildun
gen und Verbesserungen der in Anspruch 1 angegebenen Halblei
ter-Speicherzellenanordnung.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung sind die Speicherzellen
über die jeweilige erste Bitleitung auslesbar und über die
jeweilige zweite Bitleitung programmierbar. Dies hat den Vor
teil, daß beide Bitleitungen vollkommen unabhängig voneinan
der optimierbar sind.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist das
Substrat eine Mehrzahl von in einer ersten Richtung im we
sentlichen parallel zueinander verlaufenden Isolationsgräben
und dazwischenliegenden Stegen auf, auf denen die Speicher
zellen angeordnet sind, wobei die ersten Bitleitungen über
den Stegen verlaufen und die zweiten Bitleitungen in den Ste
gen verlaufen. Dies hat den Vorteil, daß die zweiten Bitlei
tungen ohne Platzverlust in den Stegen integriert sind und
die ersten Bitleitungen wie die bekannten Bitleitungen als
Metallstreifen ausbildbar sind.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weisen das Substrat ei
nen ersten Leitungstyp, die zweiten Bitleitungen einen zwei
ten Leitungstyp, die Hauptanschlüsse der gate-gesteuerten
Halbleiterbauelemente den ersten Leitungstyp und der Kanalbe
reich den zweiten Leitungstyp auf.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung bilden die Kanalberei
che und die zweite Bitleitung in einem jeweiligen Steg einen
zusammenhängenden Dotierungsbereich. Bei Verwendung von Iso
lationsgräben (STI-Gräben) hinreichender Tiefe, welche an die
Dotierprofile angepaßt ist, kommt diese Bitleitungs-Doppel
struktur sogar ohne Einbußen in der Chipfläche aus.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist in einem jeweiligen
Steg ein Aufdotierungsbereich des zweiten Leitungstyps zum
Anschluß der betreffenden zweiten Bitleitung vorgesehen. Dies
spart ein Kontaktloch pro Speicherzelle.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen
dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher er
läutert.
In den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Halbleiter-Speicherzellen
anordnung;
Fig. 2 einen Stromlaufplan der Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Halbleiter-Speicherzellenanordnung
nach Fig. 1; und
Fig. 3 die an ein einzelnes Halbleiter-Speicherelement der
Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiter-
Speicherzellenanordnung nach Fig. 1 beim Löschen
(Fig. 3a), beim Programmieren (Fig. 3b) und beim
Auslesen (Fig. 3c) anzulegenden Spannungen.
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder
funktionsgleiche Bestandteile.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer Ausführungs
form der erfindungsgemäßen Halbleiter-Speicherzellenanord
nung.
In Fig. 1 bezeichnen 10 ein n-Halbleitersubstrat, 20 Isolati
onsgräben in STI-Technologie (STI = Shallow Trench Isolati
on), 30 p-Dotierungsgebiete in den Stegen als zweite Bitlei
tungen, 40 n+-Draingebiete, 50 n+-Sourcegebiete, 45 Kanalge
biete, 60 p+-Aufdotierungsgebiete, 70 einen Kontaktbereich zu
60, 80 schwebende Gatestrukturen, 90 eine Wortleitung und
100, 101, 102 Speicherzellen mit einem jeweiligen Feldeffekt
transistor mit Floating-Gatestruktur. Die ersten Bitleitun
gen sind in Fig. 1 nicht gezeigt und verlaufen parallel zu
den Isolationsgräben oberhalb der Stege.
Die in Fig. 1 gezeigte Halbleiter-Speicherzellenanordnung mit
der Mehrzahl von matrixförmig auf dem Substrat 10 angeordne
ten und durch entsprechende Wort- und Bitleitungen verschal
teten Flash-EEPROM-Speicherzellen 100, 101, 102 bedient sich
der in den Stegen vergrabenen zweiten Bitleitungen 30 zum
Programmieren der Speicherzellen und der (nicht gezeigten)
ersten üblichen Metallstreifen-Bitleitungen zum Lesen der
Speicherzellen.
Der jeweilige Feldeffekttransistor mit Floating-Gate-Struktur
hat seinen ersten Hauptanschluß (Drain) an eine jeweilige er
ste Bitleitung angeschlossen, seinen zweiten Hauptanschluß
(Source) an Massepotential angeschlosssen und seinen Gatean
schluß an eine jeweilige Wortleitung 90 angeschlossen.
Wichtig ist, daß der jeweilige Feldeffekttransistor über sei
nen Kanalbereich 45 an die jeweilige zweite Bitleitung 30 an
geschlossen ist, also unterhalb der Gateoxidebene, wodurch
das Gateoxid vor den beim Programmieren auftretenden hohen
Spannungen geschützt ist. Die Kanalbereiche 45 und die zweite
Bitleitung 30 in einem jeweiligen Steg bilden dabei einen zu
sammenhängenden p-Dotierungsbereich. In dem jeweiligen Steg
ist am oberen Ende von Fig. 1 der Aufdotierungsbereich 60 des
zweiten Leitungstyps p+ zum Anschluß der betreffenden zweiten
Bitleitung 30 vorgesehen.
Im folgenden wird das Verfahren zur Herstellung einer derar
tigen Halbleiter-Speicherzellenanordnung näher erläutert.
Zunächst erfolgt das Bereitstellen des Substrats 10 mit dem
ersten Leitungstyp n. Mit Hilfe von den im wesentlichen pa
rallelen STI-Isolationsgräben 20 in der Substratoberfläche
mit typischerweise 600 nm Tiefe werden streifenförmige bzw.
stegförmige aktive Gebiete geschaffen, welche später durch
Oxid in den Isolationsgräben voneinander isoliert werden.
Dann erfolgt das Bilden von einem jeweiligen Dotierungsgebiet
30 mit dem zweiten Leitungstyp p in den Stegen, wobei die Do
tierungsgebiete 30 nicht miteinander verbunden sind. Im ge
zeigten Fall ist der untere Bereich der Stege noch n-dotiert.
Doch können sich die Dotierungsgebiete 30 auch ins Substrat
10 nach unten weiter fortsetzen, solange sie nicht gegensei
tig verbunden sind.
Darauf erfolgt das Bilden von den n+-Drain/Source-Dotie
rungsbereichen 40, 50 der Feldeffekttransistoren auf den Ste
gen. Dazu sei erwähnt, daß es andere Prozeßvarianten gibt,
bei denen die Source/Drain-Dotierung erst später im Prozeß
vorzugsweise selbstjustierend ausgeführt wird.
Die ersten Bitleitungen 95 werden in bekannter Weise als Me
tallstreifen über den Stegen gebildet und angeschlossen, und
die zweiten Bitleitungen 30 werden über die Kontakte 70 ange
schlossen. Auch das Bilden der Wortleitungen 90 über den Ste
gen, die mit jeweiligen Floating-Gate-Bereichen 80 verbunden
sind, geschieht in an sich bekannter Art und Weise.
Fig. 2 zeigt einen Stromlaufplan der Ausführungsform der er
findungsgemäßen Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Fig.
1.
In Fig. 2 bezeichnen zusätzlich zu den bereits eingeführten
Bezugszeichen 90a-c Wortleitungen, 95a-c erste Bitleitungen,
302c zweite Bitleitungen, 100a-c sowie 101a-c sowie 102a-c
Speicherzellen mit Feldeffekttransistor mit schwebender Ga
testruktur.
Zum Auslesen einer bestimmten Speicherzelle wird nur die er
ste der jeweiligen beiden Bitleitungen aktiviert und zum Pro
grammieren nur die zweite der jeweiligen beiden Bitleitungen.
Die p-Dotierung in den Stegen dient beim Lesen als Wannenan
schluß und beim Schreiben bzw. Löschen als aktive Bitleitung,
die auf ein entsprechendes Potential gelegt wird.
Fig. 3 zeigt die an ein einzelnes Halbleiter-Speicherelement
der Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiter-Spei
cherzellenanordnung nach Fig. 1 beim Löschen (Fig. 3a), beim
Programmieren (Fig. 3b) und beim Auslesen (Fig. 3c) anzule
genden Spannungen.
In Fig. 3a-c bezeichnet zusätzlich zu den bereits eingeführ
ten Bezugszeichen 95 eine jeweilige erste Bitleitung.
Gemäß Fig. 3a) liegt beim Löschen die erste Bitleitung 95 auf
0 V, die zweite Bitleitung 30 auf 0 V und die Wortleitung 90
auf -15 V.
Gemäß Fig. 3b) liegt beim Programmieren die erste Bitleitung
95 auf 0 V, die zweite Bitleitung 30 auf -5 V und die Wort
leitung 90 auf +10 V. Dies vermeidet die besagten Feldüberhö
hungen am Drainanschluß.
Gemäß Fig. 3c) liegt beim Lesen die erste Bitleitung 95 auf 1 V,
die zweite Bitleitung 30 auf 0 V und die Wortleitung 90
auf +2 V.
Obwohl die vorliegende Erfindung vorstehend anhand bevorzug
ter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf
nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modi
fizierbar.
Insbesondere ist die Erfindung nicht nur auf Flash-EEPROM-
Speicherzellen anwendbar, sondern auf jegliche Halbleiter
speicherzellen mit einem gate-gesteuerten Halbleiterbauele
ment.
Auch sind die im Ausführungsbeispiel gewählten Leitungstypen
nur beispielhaft und z. B. durch den jeweiligen komplementären
Leitungstyp ersetzbar.
Das Substrat ist in allgemeinem Sinne zu verstehen, denn es
kann u. a. ein Wafersubstrat sein oder eine Wanne in einem Wa
fersubstrat oder eine Epitaxieschicht auf einem Wafer sein.
Auch die Potentiale zum Lesen, Schreiben und Löschen sind nur
beispielhaft gewählt und von der konkreten Halbleiterstruktur
abhängig.
Claims (7)
1. Halbleiter-Speicherzellenanordnung mit einer Mehrzahl
von matrixförmig auf einem Substrat (10) angeordneten und
durch entsprechende Wort- und Bitleitungen verschalteten
Speicherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c), ins
besondere von Flash-EEPROM-Speicherzellen, wobei die Spei
cherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c) jeweils
ein gate-gesteuertes Halbleiterbauelement aufweisen, dessen
erster Hauptanschluß an eine jeweilige erste Bitleitung (95;
95a-c) angeschlossen, dessen zweiter Hauptanschluß vorzugs
weise an ein jeweiliges Referenzpotential angeschlosssen ist
und dessen Gateanschluß an eine jeweilige Wortleitung (90;
90a-d) angeschlossen ist;
dadurch gekennzeichnet, daß
das gate-gesteuerte Halbleiterbauelement über seinen Kanalbe
reich (45) an eine jeweilige zweite Bitleitung (30; 30a-c)
angeschlossen ist.
2. Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die Speicherzellen (100, 101, 102;
100a-c, 101a-c, 102a-c) über die jeweilige erste Bitleitung
(95; 95a-c) auslesbar und über die jeweilige zweite Bitlei
tung (30; 30a-c) programmierbar sind.
3. Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Anspruch 1 oder
2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (10) eine Mehr
zahl von in einer ersten Richtung im wesentlichen parallel
zueinander verlaufenden Isolationsgräben (20) und dazwischen
liegenden Stegen aufweist, auf denen die Speicherzellen (100,
101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c) angeordnet sind, wobei die
ersten Bitleitungen (95; 95a-c) über den Stegen verlaufen und
die zweiten Bitleitungen (30; 30a-c) in den Stegen verlaufen.
4. Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Anspruch 3, da
durch gekennzeichnet, daß das Substrat (10) einen ersten Lei
tungstyp (n), die zweiten Bitleitungen (30; 30a-c) einen
zweiten Leitungstyp (p), die Hauptanschlüsse der gate
gesteuerten Halbleiterbauelemente den ersten Leitungstyp (n+)
und der Kanalbereich (45) den zweiten Leitungstyp (p) aufwei
sen.
5. Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, daß die Kanalbereiche (45) und die
zweite Bitleitung (30; 30a-c) in einem jeweiligen Steg einen
zusammenhängenden Dotierungsbereich bilden.
6. Halbleiter-Speicherzellenanordnung nach Anspruch 5, da
durch gekennzeichnet, daß in einem jeweiligen Steg ein Aufdo
tierungsbereich (60) des zweiten Leitungstyps (p+) zum An
schluß der betreffenden zweiten Bitleitung (30; 30a-c) vorge
sehen ist.
7. Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Speicherzel
lenanordnung mit den Schritten:
Bereitstellen eines Substrats (10) mit einem ersten Leitungs typ (n); Bilden von im wesentlichen parallelen Isolationsgräben (20) in der Substratoberfläche;
Bilden von einem jeweiligen Dotierungsgebiet (30) mit einem zweiten Leitungstyp (p) in den Stegen, wobei die Dotierungs gebiete (30) nicht miteinander verbunden sind;
Bilden von Dotierungsbereichen (40; 50) von Speicherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c) auf den Stegen, die jeweils ein gate-gesteuertes Halbleiterbauelement aufweisen, dessen Hauptanschlüsse die Dotierungsbereiche (40; 50) sind; und
Bilden von ersten Bitleitungen (95; 95a-c) über den Stegen, die mit jeweiligen ersten Hauptanschlüssen (40) verbunden sind;
Bilden von zweiten Bitleitungen (30; 30a-c), die mit einem jeweiligen Dotierungsgebiet (30) mit dem zweiten Leitungstyp (p) in den Stegen verbunden sind; und
Bilden von Gatebereichen (80) und von Wortleitungen (90) über den Stegen.
Bereitstellen eines Substrats (10) mit einem ersten Leitungs typ (n); Bilden von im wesentlichen parallelen Isolationsgräben (20) in der Substratoberfläche;
Bilden von einem jeweiligen Dotierungsgebiet (30) mit einem zweiten Leitungstyp (p) in den Stegen, wobei die Dotierungs gebiete (30) nicht miteinander verbunden sind;
Bilden von Dotierungsbereichen (40; 50) von Speicherzellen (100, 101, 102; 100a-c, 101a-c, 102a-c) auf den Stegen, die jeweils ein gate-gesteuertes Halbleiterbauelement aufweisen, dessen Hauptanschlüsse die Dotierungsbereiche (40; 50) sind; und
Bilden von ersten Bitleitungen (95; 95a-c) über den Stegen, die mit jeweiligen ersten Hauptanschlüssen (40) verbunden sind;
Bilden von zweiten Bitleitungen (30; 30a-c), die mit einem jeweiligen Dotierungsgebiet (30) mit dem zweiten Leitungstyp (p) in den Stegen verbunden sind; und
Bilden von Gatebereichen (80) und von Wortleitungen (90) über den Stegen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823733A DE19823733A1 (de) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
PCT/DE1999/001515 WO1999062128A1 (de) | 1998-05-27 | 1999-05-20 | Halbleiter-speicherzellenanordnung und entsprechendes herstellungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823733A DE19823733A1 (de) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19823733A1 true DE19823733A1 (de) | 1999-12-02 |
Family
ID=7869110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823733A Withdrawn DE19823733A1 (de) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19823733A1 (de) |
WO (1) | WO1999062128A1 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002015190A2 (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-21 | Motorola, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware | Non-volatile memory, method of manufacture and programming |
WO2002082550A2 (de) * | 2001-04-05 | 2002-10-17 | Infineon Technologies Ag | Speicherzellenarray und verfahren zur herstellung desselben |
WO2003054965A2 (en) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Motorola, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware | Non-volatile memory and method of forming thereof |
WO2004023519A2 (de) * | 2002-09-05 | 2004-03-18 | Infineon Technologies Ag | Hochdichter nrom-finfet |
WO2004059738A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Infineon Technologies Ag | Fin-feldeffekttransistor-speicherzelle, fin-feldeffekttransistor-speicherzellen-anordnung und verfahren zum herstellen einer fin-feldeffekttransistor-speicherzelle |
WO2005055243A2 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Gregorio Spadea | Low voltage eeprom memory arrays with isolated wells for each colum |
EP1837906A2 (de) * | 2006-03-24 | 2007-09-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zu Herstellung und Betrieb davon |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5679591A (en) * | 1996-12-16 | 1997-10-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Method of making raised-bitline contactless trenched flash memory cell |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254651A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
DE19525070C2 (de) * | 1995-07-10 | 2001-12-06 | Infineon Technologies Ag | Elektrisch schreib- und löschbare Festwertspeicherzellenanordnung und Verfahren zu deren Herstellung |
-
1998
- 1998-05-27 DE DE19823733A patent/DE19823733A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-05-20 WO PCT/DE1999/001515 patent/WO1999062128A1/de active Application Filing
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5679591A (en) * | 1996-12-16 | 1997-10-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Method of making raised-bitline contactless trenched flash memory cell |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002015190A3 (en) * | 2000-08-15 | 2003-02-06 | Motorola Inc | Non-volatile memory, method of manufacture and programming |
WO2002015190A2 (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-21 | Motorola, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware | Non-volatile memory, method of manufacture and programming |
KR100762114B1 (ko) * | 2000-08-15 | 2007-10-02 | 프리스케일 세미컨덕터, 인크. | 비휘발성 메모리, 제조 및 프로그래밍 방법 |
WO2002082550A2 (de) * | 2001-04-05 | 2002-10-17 | Infineon Technologies Ag | Speicherzellenarray und verfahren zur herstellung desselben |
WO2002082550A3 (de) * | 2001-04-05 | 2003-03-20 | Infineon Technologies Ag | Speicherzellenarray und verfahren zur herstellung desselben |
US6888753B2 (en) | 2001-04-05 | 2005-05-03 | Infineon Technologies Ag | Memory cell array comprising individually addressable memory cells and method of making the same |
WO2003054965A2 (en) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Motorola, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware | Non-volatile memory and method of forming thereof |
WO2003054965A3 (en) * | 2001-12-19 | 2004-03-04 | Motorola Inc | Non-volatile memory and method of forming thereof |
US7208794B2 (en) | 2002-09-05 | 2007-04-24 | Infineon Technologies Ag | High-density NROM-FINFET |
WO2004023519A2 (de) * | 2002-09-05 | 2004-03-18 | Infineon Technologies Ag | Hochdichter nrom-finfet |
WO2004023519A3 (de) * | 2002-09-05 | 2004-06-10 | Infineon Technologies Ag | Hochdichter nrom-finfet |
WO2004059738A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Infineon Technologies Ag | Fin-feldeffekttransistor-speicherzelle, fin-feldeffekttransistor-speicherzellen-anordnung und verfahren zum herstellen einer fin-feldeffekttransistor-speicherzelle |
US7075140B2 (en) | 2003-11-26 | 2006-07-11 | Gregorio Spadea | Low voltage EEPROM memory arrays |
WO2005055243A3 (en) * | 2003-11-26 | 2005-09-22 | Gregorio Spadea | Low voltage eeprom memory arrays with isolated wells for each colum |
WO2005055243A2 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Gregorio Spadea | Low voltage eeprom memory arrays with isolated wells for each colum |
EP1837906A2 (de) * | 2006-03-24 | 2007-09-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zu Herstellung und Betrieb davon |
EP1837906A3 (de) * | 2006-03-24 | 2009-11-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zu Herstellung und Betrieb davon |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1999062128A1 (de) | 1999-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112005002275B4 (de) | Technik zum Lesen von Mehrpegelspeichern mit virtueller Masse | |
DE4219854C2 (de) | Elektrisch löschbare und programmierbare Halbleiterspeichereinrichtung und ein Verfahren zur Herstellung derselben | |
DE102006062403B4 (de) | Integriertes Schaltkreisbauelement sowie Herstellungs- und Betriebsverfahren | |
DE2838937A1 (de) | Rom-speicheranordnung mit feldeffekttransistoren | |
DE3203516A1 (de) | Nicht fluechtige, elektrisch umprogrammierbare floating-gate-speicheranordnung | |
DE10220923B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines nicht-flüchtigen Flash-Halbleiterspeichers | |
DE3736387A1 (de) | Nicht-fluechtige halbleiterspeichervorrichtung | |
DE3485822T2 (de) | Halbleiterspeichervorrichtung mit schwebender torelektrode. | |
DE60316449T2 (de) | Nichtflüchtige speicherarrayarchitektur mit kontaktloser separater p-mulde mit gleichförmiger tunnelung (cusp), herstellung und betrieb | |
DE4329304A1 (de) | Halbleiterspeichereinrichtung und Herstellungsverfahren dafür | |
DE19743555C2 (de) | Nichtflüchtiges Speicherbauteil | |
DE102008032551B4 (de) | Speicherbauelement-Chip und Verfahren zur Herstellung integrierter Speicherbauelemente | |
DE102004047610B4 (de) | Integrierte Speicher-Schaltungsanordnung mit Tunnel-Feldeffekttransistor als Ansteuertransistor | |
DE19807009B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer nichtflüchtigen Speichereinrichtung mit Programmierleitungen | |
DE10023154A1 (de) | Verfahren zum Löschen programmierbarer Zusammenschaltungszellen | |
DE19958144B4 (de) | Programmierbare Zwischenverbindungszelle zum wahlweisen Verbinden von Schaltkreisknoten in einem integrierten Schaltkreis und Anordnung programmierbarer Zwischenverbindungszellen | |
DE19823733A1 (de) | Halbleiter-Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren | |
DE4005645C2 (de) | MIS-Halbleiteranordnung | |
EP1374308B1 (de) | Speicherzellenanordnung mit individuel adressierbaren speicherzellen und verfahren zur herstellung derselben | |
DE10220922A1 (de) | Flash-Speicherzelle und Herstellungsverfahren | |
DE102007017963B4 (de) | Speicherzellenstruktur, nicht-flüchtiges Speicherbauelement und System sowie Verfahren zum Herstellen und Betreiben derselben | |
DE19958143A1 (de) | Programmierbare Zwischenverbindung zum wahlweisen Verbinden von Schaltkreisknoten in einem integrierten Schaltkreis | |
WO2004105041A1 (de) | Integrierte speicher-schaltungsanordnung, insbesondere uniform-channel-programming-flash-speicher | |
DE10146978A1 (de) | Flash-Speicherzelle mit vergrabenem Floating-Gate und Verfahren zum Betreiben einer solchen Flash-Speicherzelle | |
DE102004017768B3 (de) | Elektrisch programmierbare Speicherzelle und Verfahren zum Programmieren und Auslesen einer solchen Speicherzelle |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal | ||
8165 | Publication of following application cancelled |