DE19819348A1 - Ferrofluid-Sensor - Google Patents

Ferrofluid-Sensor

Info

Publication number
DE19819348A1
DE19819348A1 DE19819348A DE19819348A DE19819348A1 DE 19819348 A1 DE19819348 A1 DE 19819348A1 DE 19819348 A DE19819348 A DE 19819348A DE 19819348 A DE19819348 A DE 19819348A DE 19819348 A1 DE19819348 A1 DE 19819348A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ferrofluid
housing
insulating material
magnet
inner walls
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19819348A
Other languages
English (en)
Inventor
Raj Kuldip
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ferrofluidics Corp
Original Assignee
Ferrofluidics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ferrofluidics Corp filed Critical Ferrofluidics Corp
Publication of DE19819348A1 publication Critical patent/DE19819348A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/105Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by magnetically sensitive devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/10Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using rolling bodies, e.g. spheres, cylinders, mercury droplets
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/18Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/006Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of fluid seismic masses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/11Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by inductive pick-up
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/02Details
    • G01C9/06Electric or photoelectric indication or reading means
    • G01C2009/064Electric or photoelectric indication or reading means inductive
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/10Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using rolling bodies, e.g. spheres, cylinders, mercury droplets
    • G01C2009/102Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using rolling bodies, e.g. spheres, cylinders, mercury droplets cylinders
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/18Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
    • G01C2009/187Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids magnetic, e.g. ferromagnetic

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ferrofluid-Sensor- Einrichtung, die zum Feststellen und Messen von Vibrationen, Beschleunigungen und Kippbewegungen geeignet ist.
Sensoren oder Meßwertgeber können zur Feststellung und Messung einer Vielzahl von Zuständen verwendet werden, einschließlich Vibrationen, Beschleunigungen und Kippbewegungen und dergl. Mechanische Vibrations- und Beschleunigungssensoren verwenden Pendel oder bewegliche Elemente. Elektrische Sensoren verwenden Quecksilberperlen oder Auslegerarme zur Herstellung oder Unterbrechung eines elektrischen Kontakts. In einem auf der Verwendung von Quecksilber beruhenden Sensor wird das Quecksilber in einem versiegelten Glasgefäß angeordnet. Durch die hohe Oberflächenspannung haftet das Quecksilber nicht am Glasgefäß, sondern reagiert schnell auf geringe Vibrationen. Quecksilber hat jedoch den Nachteil, ein gefährliches Material zu sein.
Eine bekannte Ferrofluid-Sensoreinrichtung besteht aus einem axial polarisierten Permanentmagnet, der in einem nichtmagnetischen Gehäuse angeordnet ist, das vollständig mit Ferrofluid gefüllt ist, wie in Fig. 1 dargestellt und im Detail im US Patent 4,667,414 offenbart ist. Das Ferrofluid 1 ist eine kolloidale Mischung von magnetischen Partikeln in einem flüssigen Träger wie z. B. Öl. Die Partikel sind mit einem Surfactant beschichtet und werden in Suspension in der Trägerflüssigkeit gehalten. Das Ferrofluid 1 ist in dem nichtmagnetischen Gehäuse 2 versiegelt, das einen (in Fig. 1 nicht dargestellten) Mechanismus aufweist, der es dem Ferrofluid gestattet, sich auszudehnen. Das Gehäuse 2 kann z. B. flexible Membranen aufnehmen. Ein Magnet 3 ist im Gehäuse frei beweglich und schwimmt im Ferrofluid, das in dem vom Magnet 3 erzeugten Magnetfeld eingeschlossen wird.
Die Bewegung des Magneten 3 kann durch das Gehäuse 2 umgebende induktive Spulen oder durch ein Hall-Element (nicht gezeigt) festgestellt und angezeigt werden. Mit einer geeigneten elektronischen Signalverarbeitung kann die Neigung oder Beschleunigung des Gehäuses 2 gemessen werden.
Solche Einrichtungen sind relativ einfach und arbeiten auf vielen Einsatzgebieten zufriedenstellend. Durch die Verwendung von Öl als Trägerflüssigkeit ist jedoch das Ferrofluid 1 im allgemeinen ziemlich zähflüssig. Die Zähflüssigkeit des Ferrofluids 1 erzeugt einen Widerstand für den Magnet 3 und reduziert damit die Antwortzeit der Einrichtung. Da die Zähflüssigkeit des Ferrofluids eine Funktion der Temperatur ist, ist die Antwortzeit zudem temperaturabhängig. Des weiteren tritt über die Zeit eine leichte Erhöhung der Masse des Magneten 3 ein als Folge einer Sedimentation von Ferrofluid-Partikeln auf der Oberfläche des Magneten. Dies beeinträchtigt die Kalibrierung der Einrichtung.
Zur Vermeidung dieser Probleme wird oft eine Einrichtung benutzt, wie sie in Fig. 2 dargestellt ist und die im US Patent 5,452,520 offenbart ist. In dieser Einrichtung ist ein Magnet 3 in einem Gehäuse oder einer Röhre 2 zentriert durch zwei Ferrofluid-Ringe 1, 4, die sich an den Enden des Magneten 3 befinden und durch das Magnetfeld gehalten werden. Es besteht kein physikalischer Kontakt zwischen dem Magneten 3 und dem Gehäuse 2. Der Magnet 3 kann im Inneren des Gehäuses frei gleiten durch die Ferrofluid-Ringe, die als reibungslose Lager wirken. Die Ferrofluid-Ringe bilden auch Niedrigdruck- Versieglungen zwischen dem Magneten 3 und den Wänden des Gehäuses 2. An den Enden des Gehäuses 2 befinden sich kleine Öffnungen 5, 6, durch die ein mit der Bewegung des Magneten 3 entstehender Luftdruck abgebaut werden kann.
Diese bekannte Einrichtung weist zwar nicht die oben genannten Probleme der Antwortzeit und der Kalibrierung auf. Bei der Bewegung des Magneten 3 hinterläßt dieser jedoch eine dünne Schicht von Ferrofluid, das aufgrund der Oberflächenspannung an der Wandung des Gehäuses 2 haften bleibt. Hierdurch wird das Ferrofluid in den Ringen 1, 4 allmählich entleert, und die von den Ferrofluid-Ringen erzeugte Kraft, die ein freies Schweben des Magneten 3 bewirkt, verringert sich. Wenn das Gehäuse 2 relativ lang ist, so daß auch die Auslenkung des Magneten 3 lang ist, oder wenn der Magnet 3 schnelle Bewegungen aus führt, kann während der Bewegung des Magneten 3 im Gehäuse eine bedeutender Menge des Ferrofluid aus den Ferrofluid-Ringen 1, 4 verloren gehen, wodurch eine schnelle Entleerung der Ferrofluid-Ringe eintritt. Sind die Ringe ausreichend entleert, kann der Magnet nicht länger frei schweben, was zu einer fehlerhaften Funktion der Einrichtung führt. Zudem kann über die Zeit Ferrofluid durch die Lüftungsöffnungen 5, 6 verloren gehen, wodurch sich insgesamt eine kurze Lebensdauer der Einrichtung ergibt. Es besteht daher die Forderung, einerseits die Antwortzeit von Einrichtungen dieser Art zu reduzieren und andererseits ihre Lebensdauer zu Verlängern.
Zur Lösung dieser Probleme existiert bereits ein älterer Vorschlag der Anmelderin (US Patentanmeldung mit Titel "Ferrofluid-Sensor", angemeldet am 11.02.1997, Ser. Nr. 08/799,121, und europäische Patentanmeldung 98 101 263.6), wonach eine Ferrofluid-Sensor-Einrichtung einen Permanentmagnet aufweist, der in einem hermetisch versiegelten Gehäuse durch Ferrofluid-Ringe an seinen Enden getragen wird. Das Gehäuse ist mit einer nichtmagnetischen Flüssigkeit gefüllt, die mit dem Ferrofluid nicht vermischbar ist und die Wandungen des Gehäuses benetzt, so daß das Ferrofluid auf einem dünnen Film der nichtmagnetischen Flüssigkeit gleitet.
Die vorliegende Erfindung stellt eine Weiterentwicklung dieses Vorschlags dar. Die Merkmale der Erfindung sind in den Ansprüchen gekennzeichnet.
Die erfindungsgemäße Anordnung weist ein versiegeltes Gehäuse auf, das ein bewegliches Ferrofluid enthält, welches von den Innenwänden des Gehäuses durch ein Isolationsmaterial getrennt ist. Das Isoliermaterial bildet eine Schicht zwischen dem Induktivitätskern-Material und den Wänden des Gehäuses und verhindert einen Kontakt zwischen beiden. Ein Detektor dient zum Feststellen der Position des Ferrofluid in dem Gehäuse.
Da das Gehäuse versiegelt ist, entstehen keine Verdampfungsverluste des Ferrofluids. Bei der Bewegung des Magneten entsteht auch kein Restfilm von Ferrofluid auf der Oberfläche des Gehäuses, da sich das Ferrofluid auf einer dünnen Schicht aus Isoliermaterial bewegt und nicht mit den Gehäusewandungen in Berührung kommt.
Nachfolgend sind verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer bekannten ferrofluidischen Sensoreinrichtung, die vollständig mit Ferrofluid gefüllt ist zur Aufnahme eines Sensormagneten;
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer anderen bekannten ferrofluidischen Sensoreinrichtung, die
Ferrofluid-Ringe verwendet, um den Sensormagneten im Schwebezustand zu halten;
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Ferrofluid- Sensoreinrichtung, die Ferrofluid-Ringe verwendet, um den Sensormagneten in einem mit einer Flüssigkeit geringer Viskosität gefüllten Gehäuse im Schwebezustand zu halten;
Fig. 4 eine schematische Darstellung der Ferrofluid- Sensoreinrichtung nach Fig. 3 mit induktiven Spulen;
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Ferrofluid- Sensoreinrichtung nach Fig. 3 mit Hall-Effekt- Einrichtungen;
Fig. 6 eine schematische Darstellung einer Ferrofluid- Sensoreinrichtung, die ein Ferrofluid, das als alleiniges Induktivitätskern-Material wirkt, und eine einzelne Induktivitätsspule aufweist;
Fig. 7A eine schematische Darstellung einer Ferrofluid- Sensoreinrichtung, die ein Ferrofluid, das als alleiniges Induktivitätskern-Material wirkt, und zwei Induktivitätsspulen aufweist; und
Fig. 7B eine schematische Darstellung einer Ferrofluid- Sensoreinrichtung nach Fig. 7B in einer geneigten Anordnung.
Wie aus Fig. 3 ersichtlich, umschließt ein hermetisch versiegeltes Gehäuse 2 ein bewegliches Induktivitätskern- Material 3 und ein Isoliermaterial 7. Der bewegliche Induktivitätskern 3 kann ein axial polarisierter Permanentmagnet sein. Das Isoliermaterial 7 ist eine nichtmagnetische Flüssigkeit. Der Magnet 3 wird im Gehäuse 2 durch Ferrofluid-Ringe 1 und 4 an den Enden des Magneten und durch die Schwebekraft getragen, die durch das Ferrofluid erzeugt wird. Die Ringe 1, 4 werden an ihrem Ort am Ende des Magneten 3 durch das Magnetfeld gehalten, das vom Magneten 3 erzeugt wird. Das Gehäuse ist jedoch groß genug, um zu verhindern, daß die Ferrrofluid-Ringe 1, 4 die Enden des Magneten gegenüber den Wänden des Gehäuses 2 versiegeln, das aus einem nichtmagnetischen Material wie Glas oder Plastik besteht. Wenn sich daher der Magnet 3 bewegt, kann sich auch die Flüssigkeit 7 frei um den Magneten 3 bewegen.
Das Gehäuse 2 ist mit der nichtmagnetischen Flüssigkeit 7 gefüllt, die mit dem Ferrofluid in den Ringen 1 und 4 nicht vermischbar ist. Es findet weder eine Vermischung der Ferrofluid-Trägerflüssigkeit mit dem Ferrofluid in den Ringen 1 und 4, noch eine chemische Reaktion zwischen beiden statt. Die kolloidale Stabilität und die physikalischen Eigenschaften des Ferrofluids bleiben daher unverändert, wenn es sich in Kontakt mit der Flüssigkeit 7 befindet. Die nichtmagnetische Flüssigkeit 7 benetzt vorzugsweise die Innenwände des Gehäuses 2, so daß das Ferrofluid in den Ringen 1 und 4, das sonst an den trockenen Wänden der Gehäuses haften würde, frei auf der dünnen Schicht (Film) der nichtmagnetischen Flüssigkeit gleiten kann. Die dünne Schicht aus nichtmagnetischer Flüssigkeit 7 kann im Minimum eine Dicke von einem Molekül der Flüssigkeit haben. Alternativ könnte ein anderer nichtbenetzender Film verwendet werden, wie z. B. ein Film aus TEFLON (R) oder einer anderen geeigneten Beschichtung.
Viele Arten von nichtmagnetischen Flüssigkeiten können als Flüssigkeit 7 Verwendung finden. Wasser ist die bevorzugte Flüssigkeit. Wegen der hohen Gefriertemperatur von Wasser (0 Grad C) wird eine Mischung von Wasser mit Propanol (Isopropylalkohol), das eine Gefriertemperatur von etwa -89,5 Grad C aufweist, oder einem anderen geeigneten Alkohol vorgezogen. Der Temperaturbereich der Sensoreinrichtung kann auf diese Weise in Richtung niedriger Temperaturen ausgeweitet werden. Wasser ist unvermischbar mit einer typischen auf Ölbasis hergestellten Ferrofluid-Trägerflüssigkeit. Solch ein Ferrofluid kann auf einem Fluorkohlenstoff mit niedrigem Molekulargewicht basieren, der als Perfluorpolyether bekannt ist.
Da das Gehäuse 2 versiegelt ist, erfolgen keine Verdampfungsverluste des Ferrofluid-Trägers. Des weiteren bleibt bei einer Bewegung des Magneten 3 kein Restfilm von Ferrofluid von den Ferrofluid-Ringen 1 und 4 auf der Oberfläche des Gehäuses 2 zurück. Der Magnet 3 wird durch die zwei Ferrofluid-Ringe 1 und 4 permanent im Schwebezustand gehalten ohne daß mit der Zeit eine Verschlechterung dieses Zustandes eintritt.
Die Fig. 4 zeigt eine Anordnung zum Abfühlen der Position des Sensormagneten 3. Die Ferrofluid-Sensor-Einrichtung von Fig. 4 ist so aufgebaut wie die Einrichtung von Fig. 3 und enthält einen Permanentmagnet 3, der in einem hermetisch versiegelten Gehäuse 2 durch zwei Ferrofluid-Ringe 1 und 4 an seinen beiden Enden getragen wird. Das Gehäuse 2 ist mit einer nichtmagnetischen Flüssigkeit 7 gefüllt, die mit dem Ferrofluid in den Ringen 1 und 4 nicht vermischbar ist. Um das Gehäuse 2 ist eine induktive Spule 8 angeordnet, die die Position des Sensormagneten 3 abfühlt.
Die Position des Magneten 3 in der Einrichtung von Fig. 4 beeinflußt die Induktivität der Spule 8, wodurch ein elektrisches Signal erzeugt wird, das von der Position des Magneten 3 abhängt. Herkömmliche elektronische Verarbeitung dieses Signals liefert Information über den Vibrationspegel oder die Neigung des Gehäuses 2.
Die Fig. 5 zeigt eine Einrichtung, in der die Position des Sensormagneten 3 durch Hall-Effekt-Elemente 9 und 10 abgetastet wird. Diese Elemente arbeiten in herkömmlicher Weise, um Änderungen in dem Magnetfeld festzustellen, das durch den Magnet 3 erzeugt wird, und sie bestimmen damit dessen Position.
Eine Einrichtung der beschriebenen Art wurde hergestellt und getestet unter Verwendung von einem Glasrohr als Gehäuse 2 mit einer Länge von 40 mm, einem Außendurchmesser von 8 mm und einem Innendurchmesser von 6 mm. Das Gehäuse 2 wurde an einem Ende verschlossen. Die nichtmagnetische Flüssigkeit 7 war eine Mischung mit 50/50 Volumenanteilen von entionisiertem Wasser und Propanol. Der Magnet 3 bestand aus einem axial polarisiertem zylindrischen Alnico 5 Magnet mit einer Länge von 11 mm und einem Durchmesser von 2,5 mm. Das Ferrofluid in den Ringen 1 und 4 bestand aus einem auf Fluorkohlenstoff basierten Ferrofluid mit einer Magnetisierung von 325 Gauß und einer Viskosität von weniger als 5 cP bei 27°C.
Das Gehäuse 2 wurde zunächst mit der 50/50 Wasser/Propanol Mischung zweimal gespült und danach mit der 50/50 Wasser/Propanol Mischung 7 gefüllt. Der Magnet 3 wurde mit der Mischung gereinigt. Der Magnet 3 wurde mit Heptan und Propanol gereinigt, um Unreinheiten zu entfernen, und danach im Inneren des Gehäuses 2 angeordnet. Etwa 25 Mikroliter Ferrofluid wurde an jedem Pol des Magneten mittels eines Mikrospenders hinzugefügt. Daraufhin wurde das offene Ende der Röhre 2 mit einem Stopfen versiegelt. Es wurde jedoch eine kleine Luftblase in Inneren der Röhre 2 belassen, um eine Ausdehnung der Mischung 7 zu ermöglichen.
Die beschriebene Einrichtung wurde über einen Zeitraum von sechs Monaten getestet, um zu bestimmen, ob die kolloidale Stabilität des Ferrofluid durch die Flüssigkeit 7 beeinträchtigt wird. Die Einrichtung stand auch unter Beobachtung, um zu bestimmen, ob zwischen dem Ferrofluid und der Flüssigkeit 7 über die Zeit eine Vermischung eintritt. Des weiteren wurden Prüfungen durchgeführt, um zu bestimmen, ob die Bewegung des Magneten einen dünnen Film von Ferrofluid auf der Wandung der Röhre beläßt. Der Test ergab, daß keines der Probleme in der getesteten Einrichtung aufgetreten ist. Der Magnet wies am Ende der Testperiode die gleiche Ansprechempfindlichkeit für Vibrationen auf wie am Anfang der Testperiode.
Die beschriebene Einrichtung wurde auch als Ersatz eines mit Quecksilber arbeitenden Vibrationssensors getestet, und es wurde festgestellt, daß die Einrichtung ein geeigneter Ersatz für einen solchen Sensor ist. Der Magnet in der Einrichtung weist eine hohe Leitfähigkeit auf ähnlich der hohen Leitfähigkeit von Quecksilber, und der Schwebezustand des Magneten auf den Ferrofluid-Ringen in Anwesenheit der unvermischbaren Flüssigkeit niedriger Viskosität ergibt eine Beweglichkeit des Magneten ähnlich der reibungsarmen Bewegung des Quecksilberpfropfens.
Die Fig. 6, 7A und 7B zeigen eine andere Ausführungsform der Erfindung, worin das Induktivitätskern- Material ein Ferrofluid ist. Diese Ausführungsform weist keinen Magnet auf. Der Sensor enthält ein Ferrofluid 3, das vorzugsweise ein Volumen von etwa der Hälfte von dem des Gehäuses 2 besitzt. Während der Herstellung wird die Innenwandung des Gehäuses 2 mit einer dünnen Schicht von Isoliermaterial 7 beschichtet, bevor das Ferrofluid 3 hinzugefügt wird. Danach wird das Ferrofluid 3 in das Gehäuse 2 gefüllt, wobei das Ferrofluid von den Innenwänden des Gehäuses 2 isoliert bleibt. Da das Ferrofluid 3 unvermischbar mit dem Isoliermaterial 7 ist und schwerer (weil dichter) als dieses ist, sinkt es im wesentlichen auf den Boden des Gehäuses 2 ab. Dennoch kommt das Ferrofluid 3 nicht in Kontakt mit den Innenwänden des Gehäuses 2, weil es die Schicht Isoliermaterial 7 auf den Innenwänden nicht durchdringen kann. Zur Erreichung einer hohen Wirksamkeit sollte die Schicht eine Dicke von wenigstens einem Molekül des Isoliermaterials 7 aufweisen. Dementsprechend sollte bei einer Bewegung des Ferrofluid 3 in dem Gehäuse 2 kein Restfilm von Ferrofluid 3 auf der Innenwand des Gehäuses 2 zurückbleiben.
Die Fig. 6 zeigt eine erste Einrichtung dieser alternativen Ausführungsform. Bei dieser Einrichtung enthält das Gehäuse 2 das Ferrofluid 3, das Isoliermaterial 7 und eine kleine Luftblase 10, die eine Expansion des Ferrofluids 3 und des Isoliermaterials 7 gestattet. Die Einrichtung umfaßt ferner eine einzelne Detektorspule 8 zur Anzeige einer Bewegung des Ferrofluids 3 im Gehäuse 2. Die Fig. 7A und 7B zeigen eine weitere Sensoreinrichtung der alternativen Ausführungsform. Bei dieser Einrichtung umfaßt der Detektor zwei Spulen 12 und ist damit besonders geeignet zur Anzeige von Kippbewegungen. Die Induktivität der Spulen 8 und 12 ändert sich, wenn sich das Ferrofluid 3 im Gehäuse 2 der Sensoreinrichtungen der Fig. 6, 7A und 7B bewegt. Die Änderung kann durch herkömmliche elektronische Abfühleinrichtungen angezeigt werden.
Während die Erfindung mit Bezug auf verschiedene bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, können Abwandlungen und andere Ausführungsformen von einem Fachmann realisiert werden, ohne daß dabei der Rahmen der Erfindung, wie er durch die Ansprüche definiert ist, verlassen wird.

Claims (14)

1. Eine Ferrofluid-Sensor-Einrichtung, gekennzeichnet durch:
ein geschlossenes Gehäuse (2), das Innenwände aufweist,
eine Beschichtung aus Isoliermaterial auf den Innenwänden,
ein in dem Gehäuse enthaltenes bewegliches Ferrofluid (3), das durch die Beschichtung aus Isoliermaterial von den Innenwänden des Gehäuses getrennt ist, und
einen Detektor (8) zum Feststellen einer Position des Ferrofluids in dem Gehäuse.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Isoliermaterial (7) mit dem Ferrofluid (3) nicht mischbar ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Isoliermaterial (7) eine Schicht auf den Innenwänden bildet, deren minimale Dicke der Dicke eines einzelnen Moleküls des Isoliermaterials entspricht.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ferrofluid (3) eine Dichte aufweist, und magnetische Partikel enthält, die in einer Trägerflüssigkeit schwimmen, und worin das Isoliermaterial (7) eine Dichte aufweist, die geringer ist als die Dichte der Trägerflüssigkeit.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (8) wenigstens eine Spule enthält, die das Gehäuse umgibt.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) einen kreisförmigen Querschnitt aufweist.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Isoliermaterial (7) eine nichtmagnetische Flüssigkeit ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) hermetisch versiegelt ist.
9. Die Ferrofluid-Sensor-Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
ein Gehäuse (2), das Innenwände aufweist,
eine Beschichtung aus Isoliermaterial (7) auf den Innenwänden des Gehäuses,
ein in dem Gehäuse enthaltenes bewegliches Induktivitätskern-Material (3), das durch die Beschichtung aus Isoliermaterial von den Innenwänden des Gehäuses getrennt ist, und
einen Detektor (8, 9, 10) zum Feststellen der Position des Induktivitätskern-Materials in dem Gehäuse.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das induktivitätskern-Material (3) ein Ferrofluid enthält.
11. Einrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das induktivitätskern-Material (3) einen Permanentmagneten und einen Ferrofluid-Ring (1, 4) umfaßt und daß der Permanentmagnet einen Magnetpol aufweist, an dem der Ferrofluid-Ring angeordnet ist.
12. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) einen kreisförmigen Querschnitt aufweist.
13. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Isoliermaterial-Schicht (7) eine minimale Dicke aufweist, die der Dicke eines einzelnen Moleküls des Isoliermaterials entspricht.
14. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Isoliermaterial (7) mit dem Induktivitätskern-Material (3) nicht mischbar ist.
DE19819348A 1997-05-02 1998-05-02 Ferrofluid-Sensor Ceased DE19819348A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/850,584 US5908987A (en) 1997-02-11 1997-05-02 Sensor employing a sliding ferrofluid mass in a coated, non-wetting, housing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19819348A1 true DE19819348A1 (de) 1998-11-12

Family

ID=25308561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19819348A Ceased DE19819348A1 (de) 1997-05-02 1998-05-02 Ferrofluid-Sensor

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5908987A (de)
DE (1) DE19819348A1 (de)
GB (1) GB2324874B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006007900B4 (de) * 2006-02-18 2008-04-03 Stefan Gräf Ferrofluid-Neigungs- oder -Beschleunigungssensor

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6622577B1 (en) * 1997-10-07 2003-09-23 Mehmet H. Uras Single coil magnetostrictive sensors
US7296469B2 (en) * 2000-02-24 2007-11-20 Innalabs Technologies, Inc. Magnetofluidic accelerometer with active suspension
US20060059988A1 (en) * 2004-09-23 2006-03-23 Innalabs Technologies, Inc. Magnetofluidic accelerometer with non-magnetic film on drive magnets
US7191652B2 (en) * 2000-02-24 2007-03-20 Innalabs Technologies, Inc. Magnetofluidic accelerometer with partial filling of cavity with magnetic fluid
US6374673B1 (en) 2000-03-01 2002-04-23 Texas Components Corporation Velocity sensor
US6646364B1 (en) * 2000-07-11 2003-11-11 Honeywell International Inc. MEMS actuator with lower power consumption and lower cost simplified fabrication
US6504271B2 (en) * 2001-03-05 2003-01-07 Jacob Chass Ferrofluidic, electromagnetic power generator
US6643025B2 (en) 2001-03-29 2003-11-04 Georgia Tech Research Corporation Microinterferometer for distance measurements
US7068377B2 (en) * 2001-03-29 2006-06-27 Georgia-Tech Rsearch Corporation System and method for surface profiling a target object
US6489694B1 (en) * 2002-01-22 2002-12-03 Jacob Chass Ferrofluidic, electrical power generator
US6812598B2 (en) 2002-02-19 2004-11-02 Rockwell Scientific Licensing, Llc Multiple magnet transducer with differential magnetic strengths
US20030154923A1 (en) * 2002-02-19 2003-08-21 Innovative Technology Licensing, Llc Mechanical translator with ultra low friction ferrofluid bearings
US6768230B2 (en) * 2002-02-19 2004-07-27 Rockwell Scientific Licensing, Llc Multiple magnet transducer
US6812583B2 (en) 2002-02-19 2004-11-02 Rockwell Scientific Licensing, Llc Electrical generator with ferrofluid bearings
US7288860B2 (en) * 2002-02-19 2007-10-30 Teledyne Licensing, Inc. Magnetic transducer with ferrofluid end bearings
US7518737B2 (en) * 2002-03-29 2009-04-14 Georgia Tech Research Corp. Displacement-measuring optical device with orifice
US7440117B2 (en) * 2002-03-29 2008-10-21 Georgia Tech Research Corp. Highly-sensitive displacement-measuring optical device
US7116430B2 (en) * 2002-03-29 2006-10-03 Georgia Technology Research Corporation Highly-sensitive displacement-measuring optical device
US6798090B2 (en) * 2002-04-18 2004-09-28 Rockwell Scientific Licensing, Llc Electrical power generation by coupled magnets
US6628017B1 (en) * 2002-08-06 2003-09-30 Jacob Chass Ferrofluidic, electromagnetic power supply
US7009310B2 (en) * 2004-01-12 2006-03-07 Rockwell Scientific Licensing, Llc Autonomous power source
US7485847B2 (en) 2004-12-08 2009-02-03 Georgia Tech Research Corporation Displacement sensor employing discrete light pulse detection
US8453505B2 (en) * 2010-12-03 2013-06-04 Micronas Gmbh Acceleration sensor and/or tilt sensor
US10620335B2 (en) 2017-05-02 2020-04-14 Ascension Technology Corporation Rotating frequencies of transmitters
US10779892B2 (en) 2017-08-10 2020-09-22 Northern Digital Inc. Tracking a cylindrical opening
US11529193B2 (en) 2017-08-10 2022-12-20 Northern Digital Inc. Tracking a sensor that includes a ferrofluid
RU2680433C1 (ru) * 2018-03-05 2019-02-21 Открытое акционерное общество "Завод им. В.А. Дегтярева" Датчик контроля горизонта

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3516294A (en) * 1966-04-12 1970-06-23 Robert W Schmieder Acceleration sensitive device
US3839904A (en) * 1972-09-18 1974-10-08 Us Army Magnetic fluid level detector and vibration transducer
SU605180A1 (ru) * 1975-05-16 1978-04-30 Уфимский Авиационный Институт Имени Орджоникидзе Компенсационный акселерометр
GB8424053D0 (en) * 1984-09-22 1984-10-31 Russell M K Direction-finding devices
US4706498A (en) * 1985-09-23 1987-11-17 Ferrotec, Inc. Apparatus and method for measuring movement
US4676103A (en) * 1985-12-12 1987-06-30 Diesel Kiki Co., Ltd. Acceleration or inclination sensors
US4849120A (en) * 1986-05-13 1989-07-18 Price John T Magnetically controllable couplings containing ferrafluids
US4866379A (en) * 1986-10-25 1989-09-12 Tdk Corporation Tilt sensor having central first bottom surface and second contiguous bottom surface at an angle thereto
US4843877A (en) * 1986-10-28 1989-07-04 Diesel Kiki Co., Ltd. Acceleration sensor
JPH0697236B2 (ja) * 1987-05-30 1994-11-30 株式会社日本自動車部品総合研究所 加速度センサ
US5632093A (en) * 1993-07-19 1997-05-27 Elias; Sharon A. Inductive sensor and method for detecting displacement of a body
US5452520A (en) * 1994-03-14 1995-09-26 Ferrofluidics Corporation Ferrofluid inclinometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006007900B4 (de) * 2006-02-18 2008-04-03 Stefan Gräf Ferrofluid-Neigungs- oder -Beschleunigungssensor

Also Published As

Publication number Publication date
GB9809399D0 (en) 1998-07-01
GB2324874B (en) 2001-07-04
US5908987A (en) 1999-06-01
GB2324874A (en) 1998-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19819348A1 (de) Ferrofluid-Sensor
DE69816680T2 (de) Ferrofluidsensor
US3429291A (en) Differential-pressure responsive indicator
KR850000141A (ko) 원통형 영구자석 제조방법
Graham et al. Stress‐induced magnetizations of some rocks with analyzed magnetic minerals
PT95920B (pt) Aparelho e processo para proporcionarem uma imagem magnetica
EP0947815A1 (de) Differentieller Druckmessumformer
DE3805286A1 (de) Beschleunigungsmesser
DE2039982A1 (de) Vorrichtung fuer die Anzeige der Dichte einer Fluessigkeit
DE1591865A1 (de) Verfahren und Einrichtung zum Anzeigen elektrischer Signale
DE102006033237A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Dichte einer Flüssigkeit
DE2650294A1 (de) Magnetische kupplung fuer geraete zur niveau-, druck- oder stroemungsueberwachung fluessiger oder gasfoermiger medien
DE102006007900B4 (de) Ferrofluid-Neigungs- oder -Beschleunigungssensor
EP2196781B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Dichte einer Flüssigkeit
DE2611035A1 (de) Durchflussmessvorrichtung
US4227409A (en) Flowmeter
US4475290A (en) Flexible tank gauge
DE3129224C1 (de) Differenzdruckaufnehmer
WO1999014613A1 (de) Sensorelement
Melzer et al. Cols and noeuds in a nematic liquid crystal with a homeotropic cylindrical boundary
Coleburn et al. Liquid-vapor equilibrium in microscopic capillaries. III. Toluene
DE2601279A1 (de) Fluessigkeitsniveausensor
DE8409882U1 (de) Vorrichtung zum anzeigen der stellung eines beweglichen gegenstandes, insbesondere eines fluessigkeitsstandes
DE1091768B (de) Fluessigkeitsstandanzeiger fuer Druckbehaelter
DE2241095B2 (de) Meßumformer für einen Druck- und Durchflussmengenmesser

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection