DE19814245C2

DE19814245C2 - Verfahren und System zur Belichtung mittels eines Strahls geladener Teilchen

Info

Publication number: DE19814245C2
Application number: DE19814245A
Authority: DE
Inventors: Soichiro Arai; Kenichi Miyazawa; Hidefumi Yabara; Hiroshi Yasuda; Takayuki Nakatani
Original assignee: Advantest Corp; Fujitsu Ltd
Current assignee: Advantest Corp; Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-04-11
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 2002-09-12
Anticipated expiration: 2018-04-01
Also published as: US5910658A; KR100273655B1; KR19980080136A; TW376546B; DE19814245A1; JPH10289843A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfah ren und ein System zur Belichtung mittels eines Strahls ge ladener Teilchen.

Fig. 9 zeigt schematische die Konstruktion eines her kömmlichen Systems zur Belichtung mittels eines Strahls geladener Teilchen.

In der Kammer 10 weist ein Elektronenstrahl EB0, der von einer Elektronenkanone 11 emittiert wird, einen Quer schnitt auf, der durch die rechtwinkelige Apertur der Aper turblende 12 geformt wird, geht durch eine elektromagneti sche Linse 13 hindurch, um im wesentlichen parallel ausge richtet zu werden, und fällt auf eine Austastapertur-Array maske 14. Die Austastapertur-Arraymaske 14 hat eine Anzahl von beispielsweise 1024 Aperturen, die zweidimensio nal angeordnet sind. Fig. 10 zeigt die Aperturen 141 bis 143 unter den Aperturen. Von den Aperturen 141 bis 143 wird der Elektronenstrahl EB0 zu Mehrfachstrahlen geformt. An den Rändern der Aperturen 141 bis 143 der Austastapertur-Array maske 14 sind Paarelektroden E1 und G1, Paarelektroden E2 und G2 bzw. Paarelektroden E3 und G3 gebildet. Die Elektro den G1, G2 und G3 werden auf 0 V gesetzt, indem sie mit einem nicht dargestellten gemeinsamen Erde-Leiter verbunden werden. Wenn beispielsweise die Elektroden E1 und E3 auf 0 V und die Elektrode E2 auf 15 V gesetzt werden, wie in der Figur gezeigt, werden die durch die Aperturen 141 und 143 hindurchgehenden Elektronenstrahlen EB1 nicht abgelenkt, und der durch die Apertur 142 hindurchgehende Elektronenstrahl EB2 wird abgelenkt.

In Fig. 9 konvergieren aufgrund des Einflusses der elek tromagnetischen Linse 13 die Elektronenstrahlen EB1 zur Position der Apertur, die in der darunter angeordneten Aper turblende 15 gebildet ist, und gehen durch die Apertur hin durch, während der Elektronenstrahl EB2 von der Apertur blende 15 abgefangen wird. Der Austastablenker 16, der zwi schen der Austastapertur-Arraymaske 14 und der Aperturblende 15 angeordnet ist, wird verwendet, damit die Elektronen strahlen EB1 und EB2, nachdem sie durch die Austastapertur- Arraymaske 14 hindurchgegangen sind, alle von der Apertur blende 15 mit hoher Geschwindigkeit abgefangen werden. Nach dem die Elektronenstrahlen EB1 durch die Apertur der Aper turblende 15 hindurchgegangen sind, werden sie von der Ob jektivlinse 17 auf eine nicht dargestellte Scheibe konver giert, die auf einem bewegbaren Tisch 18 montiert ist. So wird ein Muster, welches einem binären Potentialmuster ent spricht, das an die Elektroden E1 bis E3 der Austastapertur- Arraymaske 14 anzulegen ist, mit einer Verkleinerung auf die Scheibe projiziert. Ein Hauptablenker 19 und ein Nebenablen ker 20, die über dem bewegbaren Tisch 18 angeordnet sind, sind vorgesehen, um zu bewirken, daß die Elektronenstrahlen EB1 die Scheibe scannen.

Den Elektroden E1 bis E3 der Austastapertur-Arraymaske 14 wird ein Treibspannungsmuster zugeführt, in das ein aus einem Mustergenerator 21 ausgegebenes Signalmuster durch einen BAA-Treiber 22 umgewandelt wurde.

Die Elektronenstrahlbelichtung, die durch das Scannen mit Elektronenstrahlen durchgeführt wird, benötigt eine län gere Verarbeitungszeit als die optische Belichtung. Zur Ver ringerung der Verarbeitungszeit wird die Transferrate jedes Bits des Ausgangs des Mustergenerators 21 auf eine hohe bps- Rate, wie 400 Mbps, gesetzt. Aus diesem Grund beeinträchtigt eine Variation unter den Bits in der Signalausbreitungs-Ver zögerungszeit aus dem Ausgang des Mustergenerators 21 zu den Elektroden der Austastapertur-Arraymaske 14 die Genauigkeit des Belichtungsmusters auf der Scheibe.

Daher werden herkömmlich in der Einstellstufe des Belich tungssystems mittels eines Strahls geladener Teilchen die Elek tronenstrahlen EB1 von einem Faradayischen Käfig 23 abgefangen, der auf einem bewegbaren Tisch 18 angeordnet ist, und werden einer Verzögerungszeit-Detektierschaltung 24 als Strom I zugeführt, wobei der Ausgang des Mustergenerators 21 der Verzögerungszeit-Detektierschaltung 24 zugeführt wird. Dann wird von der Verzögerungszeit-Detektierschaltung 24 die Zeit ab dem Moment, wenn sich der Ausgang des Mustergenerators 21 ändert, bis zu dem Moment, wenn sich der Strom I ändert, für jedes Bit des Ausgangs des Mustergenerators 21 detektiert. Die Verzögerungszeit jedes Bits kann beispielsweise in Fig. 10 detektiert werden, indem aufeinanderfolgend die den Elektroden E1, E2 und E3 zuzuführende Potentialgruppe (V1, V2, V3) auf (0, 0, 0), auf (15, 0, 0), auf (0, 0, 0), auf (0, 15, 0), auf (0, 0, 0) und auf (0, 0, 15) geändert wird.

Fig. 11 zeigt eine Variation im Strom I, wenn alle 1024 Mehrfachstrahlen aus der Austastapertur-Arraymaske 14 vom Faradayischen Käfig 23 abgefangen werden, und dann einer der Strahlen von der Aperturblende 15 während einer vorherbestimmten Zeitperiode abgefangen wird. Der negative Impuls 25 gibt die Abfangzeit an.

Wenn der Rauschabstand jedoch niedrig ist, da die Variation im Strom I klein ist, und auch wenn die Transmissionsleitung vom Faradayischen Käfig 23 zur Verzögerungszeit-Detektierschaltung 24 von Fig. 9 eine hohe Qualität hat, wird die Impulsform des Stroms I dumpf, so daß die Genauigkeit der Verzögerungszeitdetektion abnimmt.

Aus der US 53 69 282 und aus der der US 55 28 048 sind ein Elektronenstrahlbelichtungsverfahren und ein Elektronenstrahl belichtungssystem bekannt. Beide Druckschriften betreffen jedoch lediglich den technischen Hintergrund der Erfindung.

Demgemäß ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfin dung, ein Verfahren und ein System zur Belichtung mittels eines Strahls geladener Teilchen vorzusehen, die fähig sind, eine Signalausbreitungs-Verzögerungszeit genauer zu messen, und fähig sind, eine Einstellung vorzunehmen, so daß die Variation unter Bits in der Signalausbreitungs-Verzögerungs zeit von einer vorherbestimmten Position zu den Elektroden einer Austastapertur-Arraymaske abnimmt.

Im ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teil chen vorgesehen, bei welchem ein Strahl geladener Teilchen durch Aperturen einer Austastapertur-Arraymaske hindurch geht, um in Mehrfachstrahlen umgewandelt zu werden, wobei jedes von Ausgangspotentialen einer Treiberschaltung jeweils für jede von Ablenkelektroden vorgesehen ist, die an Rändern der Aperturen gebildet sind, und ein Muster, das einem Mu ster der Ausgangspotentiale entspricht, auf ein Objekt pro jiziert wird, welches Verfahren die Schritte umfaßt: Her stellen einer variablen Verzögerungsschaltung, die mit einer Eingangsseite der Treiberschaltung verbunden ist; Detektie ren eines ersten Zeitpunkts t1, wenn eine Wanderwelle eines der Ausgangspotentiale aus der Treiberschaltung ein erstes Referenzpotential quert; Detektieren eines zweiten Zeit punkts t2, wenn eine Überlagerungswelle der Wanderwelle und eine reflektierte Welle des einen der Ausgangspotentiale ein zweites Referenzpotential queren; und Einstellen einer Ver zögerungszeit der variablen Verzögerungsschaltung auf der Basis des ersten Zeitpunkts t1 und des zweiten Zeitpunkts t2.

Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die Signalausbreitungszeit T von einer vorherbestimmten Position, beispielsweise dem Eingang oder dem Ausgang der variablen Einstellverzögerungsschaltung oder dem Ausgang der Treiberschaltung, zu den Elektroden der Austastapertur- Arraymaske im wesentlichen gleich, was zu einer verbesserten Genauigkeit eines auf eine Probe, wie eine Scheibe oder eine Maske, projizierten Belichtungsmusters führt.

Da es unnötig ist, einen Strahlstrom mit einem Faraday schen Käfig zu detektieren, kann der Rauschabstand höher sein als im Fall von Fig. 9. Da die vergleichsweise lange Si gnaltransmissionsleitung vom Faradayischen Käfig zu einer Verzögerungszeit-Detektierschaltung unnötig ist, kann außer dem die Dumpfheit des Signals geringer sein als im Fall von Fig. 9. So kann die Signalausbreitungszeit T genauer gemessen werden, als es früher möglich war.

Da die Signalausbreitungszeit T automatisch eingestellt wird, kann die zum Einstellen notwendige Zeit reduziert werden, so daß sich der Belichtungsdurchsatz verbessert.

Im zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im ersten Aspekt definiertes Belichtungsverfahren mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem das Einstellen derart durchgeführt wird, daß Werte {t1 + (t2 - t1)/2} in bezug auf alle Ausgangspotentiale im we sentlichen gleich werden.

Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Signalausbreitungszeit T einschließlich der Signal ausbreitungs-Verzögerungszeit der Treiberschaltung einge stellt werden. Wenn sich die Signalausbreitungszeit T von jenen anderer Treiber unterscheidet, wird angenommen, daß eine Unterbrechung auf der Transmissionsleitung ab dem Trei berschaltungsausgang vorliegt, und der Unterbrechungsort kann mit einem gewissen Genauigkeitsgrad auf der Basis der Differenz zu den anderen Signalausbreitungs-Verzögerungs zeiten geschätzt werden.

Im dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird am wie im zweiten Aspekt definiertes Belichtungsverfahren mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem der erste Zeitpunkt t1 und der zweite Zeitpunkt t2 wiederholt detektiert werden, und bei welchem jeder der Werte {t1 + (t2 - t1)/2} berechnet wird, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt werden.

Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung verbessert sich die Meßgenauigkeit der Signalausbreitungs zeit T.

Im vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im ersten Aspekt definiertes Belichtungsverfahren mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem die Einstellung derart durchgeführt wird, daß Werte (t2 - t1)/2 in bezug auf alle Ausgangspotentiale im wesentli chen gleich werden.

Der vierte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist für einen Fall effektiv, wo die Variation unter den Bits in der Signalausbreitungs-Verzögerungszeit der Treiberschaltung kleiner ist als die Variation unter Bits in der Signalaus breitungs-Verzögerungszeit vom Ausgang der Treiberschaltung zu den Elektroden der Austastapertur-Arraymaske, und daher vernachlässigbar ist.

Im fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im vierten Aspekt definiertes Belichtungsverfahren mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem der erste Zeitpunkt t1 und der zweite Zeitpunkt t2 wiederholt detektiert werden, und bei welchem jeder der Werte (t2 - t1)/2 berechnet wird, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt werden.

Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Meßgenauigkeit der Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T jener des vierten Aspekts überlegen.

Im sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein wie im ersten Aspekt definiertes Belichtungsverfahren mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, welches ferner den Schritt umfaßt, daß als Kurzschluß bestimmt wird, wenn der zweite Zeitpunkt t2 nicht detektiert werden kann, auch wenn eine gesetzte Zeitperiode verstrichen ist.

Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann ein Kurzschluß gleichzeitig mit der Einstellung der Si gnalausbreitungs-Verzögerungszeit detektiert werden.

Im siebenten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, welches mit einer Austastapertur-Arraymaske mit Austastaperturen für einen Strahl geladener Teilchen verse hen ist, der hindurchgeführt wird, um in Mehrfachstrahlen umgewandelt zu werden, wobei die Austastaperturen an den Rändern mit Ablenkelektroden versehen sind, und mit einer Treiberschaltung versehen sind, um ihre Ausgangspotentiale an die Ablenkelektroden zu liefern, so daß ein Muster auf ein Objekt projiziert wird, wobei das Muster einem Muster der Ausgangspotentiale entspricht, und wobei das System um faßt: eine variable Einstellverzögerungsschaltung, die mit einer Eingangsseite der Treiberschaltung verbunden ist, um die Ausbreitung der Ausgangspotentiale zu verzögern; eine erste Komparatorschaltung zum Vergleichen eines der Aus gangspotentiale aus der Treiberschaltung und eines ersten Referenzpotentials, um eine Vorderkante einer Wanderwelle des einen der Ausgangspotentiale zu detektieren; eine zweite Komparatorschaltung zum Vergleichen des einen der Ausgangs potentiale und eines zweiten Referenzpotentials, um eine Vorderkante einer reflektierten Welle, welche die Wander welle des einen der Ausgangspotentiale überlagert, zu detek tieren; eine erste Detektierschaltung zum Detektieren eines ersten Zeitpunkts t1, wenn ein Ausgang der ersten Kompara torschaltung invertiert wird; eine zweite Detektierschaltung zum Detektieren eines zweiten Zeitpunkts t2, wenn ein Aus gang der ersten Komparatorschaltung invertiert wird; und eine Einstellausrüstung zum Einstellen einer Verzögerungs zeit der variablen Einstellverzögerungsschaltung auf der Basis des ersten Zeitpunkts t1 und des zweiten Zeitpunkts t2.

Gemäß dem siebenten Aspekt der vorliegenden Erfindung können die gleichen Effekte wie jene des ersten Aspekts er halten werden.

Im achten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im siebenten Aspekt definiertes Belichtungssystem mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem die erste Detektierschaltung umfaßt: eine erste variable Detektier-Verzögerungsschaltung zum Verzögern eines Signals einer Eingangsseite der Treiberschaltung; und eine erste Bestimmungsschaltung zum Bestimmen eines Ausgangszu stands der ersten Komparatorschaltung, ansprechend auf einen Ausgang der ersten variablen Detektier-Verzögerungsschal tung, und bei welchem die zweite Detektierschaltung umfaßt: eine zweite variable Detektier-Verzögerungsschaltung zum Verzögern eines Signals der Eingangsseite der Treiberschal tung; und eine zweite Bestimmungsschaltung zum Bestimmen eines Ausgangszustands der zweiten Komparatorschaltung an sprechend auf einen Ausgang der zweiten variablen Detektier- Verzögerungsschaltung.

Im neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im achten Aspekt definiertes Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem die erste Bestimmungsschaltung eine erste D-Flip-Flop-Schaltung umfaßt, die einen Dateneingang aufweist, der zum Empfangen eines Ausgangs der ersten Komparatorschaltung eingerichtet ist, und einen Takteingang aufweist, der zum Empfangen des Ausgangs der ersten variablen Detektier-Verzögerungsschal tung eingerichtet ist, und bei welchem die zweite Bestim mungsschaltung eine zweite D-Flip-Flop-Schaltung umfaßt, die einen Dateneingang aufweist, der zum Empfangen eines Aus gangs der zweiten Komparatorschaltung eingerichtet ist, und einen Takteingang aufweist, der zum Empfangen des Ausgangs der zweiten variablen Detektier-Verzögerungsschaltung einge richtet ist.

Im zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im neunten Aspekt definiertes Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem die Einstellausrüstung die Verzögerungszeit derart einstellt, daß Werte {t1 + (t2 - t1)/2} in bezug auf alle Ausgangspoten tiale im wesentlichen gleich werden.

Im elften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im zehnten Aspekt definiertes Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Detektierschaltung veranlaßt, den ersten Zeitpunkt t1 und den zweiten Zeitpunkt t2 wiederholt zu detektieren, und jeden der Werte {t1 + (t2 - t1)/2} zu berechnen, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt wird.

Im zwölften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein wie im siebenten Aspekt definiertes Belichtungssystem mit tels eines Strahls geladener Teilchen vorgesehen, bei welchem ein Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltun gen sowie der ersten und zweiten Detektierschaltungen für eine Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellverzögerungs schaltungen und der Treiberschaltungen vorgesehen ist, wobei das System ferner umfaßt: eine erste Selektorschaltung zum Auswählen eines der Ausgänge der Vielzahl von Sätzen der Treiberschaltungen, und Liefern des einen der Ausgänge an den einen Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltungen; und eine zweite Selektorschaltung zum Auswählen eines der Eingänge der Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen, und Liefern des einen der Eingänge an den einen Satz der ersten und zweiten Detektierschaltungen; und bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Selektorschaltung veranlaßt, einen der Vielzahl von Sätzen auszuwählen.

Gemäß dem zwölften Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Anzahl von Sätzen der ersten und zweiten Kompara torschaltungen sowie der ersten und zweiten Detektierschal tungen reduziert werden, so daß die Konstruktion vereinfacht werden kann.

Fig. 1 ist ein Blockbild, das eine Schaltung für Elek troden auf einer Austastapertur-Arraymaske in einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 ist ein Schaltbild, das ein Konstruktionsbeispiel eines Treibers in Fig. 1 zeigt;

Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das einen Teil der von einer Verzögerungszeit-Detektier- & Einstelleinheit ausge führten Verzögerungszeit-Detektionsverarbeitung zeigt;

Fig. 4 ist ein Wellenformdiagramm, das einen Betrieb der Schaltung von Fig. 2 zeigt;

Fig. 5 ist eine Darstellung, die ein Histogramm von T = TA + (TB - TA)/2, mehrmals gemessen, zeigt;

Fig. 6 ist ein Schaltbild, das einen Treiber in einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 7 ist ein Schaltbild, das einen Treiber in einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 8 ist ein Schaltbild, das einen Treiber in einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 9 ist eine Ansicht, die schematisch die Konstruk tion eines herkömmlichen Elektronenstrahl-Belichtungssystems zeigt;

Fig. 10 ist eine Ansicht zur Unterstützung der Erläute rung eines Betriebs einer Austastapertur-Arraymaske von Fig. 9; und

Fig. 11 ist eine Darstellung, die Änderungen im Elek tronenstrahlstrom-Detektionswert zeigt.

Mit Bezugnahme auf die Zeichnungen, in denen ähnliche Bezugszeichen ähnliche oder entsprechende Teile über einige Ansichten hinweg bezeichnen, werden nun nachstehend bevor zugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung be schrieben.

Erste Ausführungsform

Fig. 1 ist ein Blockbild, das schematisch die Konstruk tion einer Schaltung für Elektroden auf einer Austastaper tur-Arraymaske 14 zeigt.

Die Austastapertur-Arraymaske 14 hat n Aperturen 141 bis 14n, die zweidimensional angeordnet sind. Jede Apertur 14i (i ist irgendeines von 1 bis n, dies gilt in der Folge) ist an den Rändern mit einem Elektrodenpaar E1 und G1 ver sehen. Die Elektroden G1 bis Gn werden auf 0 V gesetzt, indem sie mit einem gemeinsamen Erde-Leiter verbunden werden. Den Elektroden E1 bis En werden jeweils Treibpoten tiale V1 bis Vn von den Treibern 31 bis 3n des BAA-Treibers 30 zugeführt. Die Verdrahtung zwischen dem BAA-Treiber 30 und der Austastapertur-Arraymaske 14 ist vorzugsweise so kurz wie möglich, beispielsweise 0,5 m, um die Dumpfheit der Impulsform zu reduzieren, und die Umlaufausbreitungszeit be trägt ungefähr 3 ns. Die Treiber 31 bis 3n empfangen jeweils Digitalsignale S1 bis Sn von einem Mustergenerator 21. Die Treiber 31 bis 3n haben dieselbe Konstruktion. Ein Beispiel der Konstruktion des Treibers 31 ist in Fig. 2 gezeigt.

Im Treiber 31 wird ein Signal S1 durch die variable Verzögerungsschaltung 311 um eine gesetzte Zeit verzögert und der Treiberschaltung 312 zugeführt, um in ein Treib potential V1 umgewandelt zu werden. Die variable Verzöge rungsschaltung 311 umfaßt beispielsweise eine oder eine Vielzahl programmierbarer Impulsverzögerungsschaltungen, wie z. B. 100E195, hergestellt von Motorola, die in Kaskade verbunden ist und ein Register R0 aufweist, in dem die Verzögerungs zeit gesetzt wird. Die gesetzte Verzögerungszeit ist bei spielsweise 20 ps × 128 Schritte = 2,56 ns als Maximum für einen IC. Das Register R0 empfängt einen Wert D01 von der Verzögerungszeit-Detektier- & Einstelleinheit 40 von Fig. 1. Die Treiberschaltung 312 umfaßt beispielsweise eine komple mentäre bipolare Anordnung, wie EDGE, und gibt 0 V aus, wenn der Eingang "0" ist, und gibt beispielsweise 15 V aus, wenn der Eingang "1" ist. Das Signal S1 und das Treibpotential V1 werden den Verzögerungszeit-Detektierschaltungen 313 und 314 zugeführt.

In der Verzögerungszeit-Detektierschaltung 313 wird das Signal S1 von der variablen Verzögerungsschaltung 50 verzö gert und einem Takteingang CK eines D-Flip-Flops 51 zuge führt. Der nicht-invertierende Eingang und der invertierende Eingang eines Komparators 52 empfangen das Treibpotential V1 bzw. Referenzpotential VA, und der Ausgang des Komparators 52 wird dem Dateneingang D des D-Flip-Flops 51 zugeführt. Das Referenzpotential VA ist der Ausgang eines D/A-Wandlers mit dem Register RA zum Halten des digitalen Eingangswerts DA.

Die Verzögerungszeit-Detektierschaltung 314 hat die selbe Konstruktion wie die Verzögerungszeit-Detektierschal tung 313, und ihre Komponenten 60 bis 63 entsprechen jeweils den Komponenten 50 bis 53 der Verzögerungszeit-Detektierschaltung.

Das Register R1 der variablen Verzögerungsschaltung 50, das Register RA des D/A-Wandlers 53, das Register R2 der variablen Verzögerungsschaltung 60 und das Register RB des D/A-Wandlers 63 empfangen Werte D1, DA, D2 bzw. DB von der Verzögerungszeit-Detektier- & Einstelleinheit 40 von Fig. 1. Aus den Datenausgängen Q der D-Flip-Flops 51 und 61 werden Bestimmungswerte C1 bzw. C2 ausgegeben und der Verzögerungs zeit-Detektier- & Einstelleinheit 40 von Fig. 1 zugeführt.

Als nächstes wird eine Verarbeitung durch die Verzöge rungszeit-Detektier- & Einstelleinheit 40 beschrieben. Fig. 3 zeigt einen Teil der von der Einstelleinheit 40 ausgeführten Verzögerungszeit-Detektionsverarbeitung. Nachstehend reprä sentieren die Zahlen in Klammern die Schrittidentifikations nummern in der Figur.

In der Vorverarbeitung wird ein Wert D01 = 0 im Register R0 der variablen Verzögerungsschaltung 311 gehalten, und ein Wert DA = (Maximalwert Vb von V1)/4 wird m Register RA des D/A-Wandlers 53 gehalten.

(100) Der Anfangswert 1 von D1 wird im Register R1 der variablen Verzögerungsschaltung 50 gehalten. (101) Die Ein stelleinheit 40 veranlaßt den Mustergenerator 21, das Impulssignal S1 auszugeben, wie in Fig. 4(A) gezeigt.

(102) Die Einstelleinheit 40 wartet, bis das Signal S1 niedrig wird.

Während dieser Zeitperiode steigt das Ausgangspotential V1 der Treiberschaltung 312, wie in Fig. 4(B) gezeigt, und seine Welle wandert zu den Seiten der Austastapertur-Array maske 14 und des Komparators 52 als Wanderwelle V1F. Die Höhe Va der Wanderwelle V1F ist ungefähr die Hälfte eines später auftretenden Maximalwerts Vb, beispielsweise ungefähr die Hälfte von 15 V. Die Wanderwelle V1F erreicht die Elek trode der Austastapertur-Arraymaske 14, um dort reflektiert zu werden, und wenn die reflektierte Welle V1B zum Ausgang des Treibers 31 zurückkehrt, wird die reflektierte Welle V1B über die Wanderwelle V1F gelegt, so daß das Treibpotential V1 Vb wird, das ungefähr das Doppelte von Va beträgt.

In Fig. 4(B) repräsentiert TA die Signalausbreitungs- Verzögerungszeit vom Anstiegszeitpunkt t0 des Signals S1 am Eingang der variablen Verzögerungsschaltung 311 zum An stiegszeitpunkt t1 der Wanderwelle V1F am Ausgang der Trei berschaltung 312, und TB repräsentiert die Signalausbrei tungs-Verzögerungszeit vom Zeitpunkt t0 zum Anstiegszeit punkt t2 der reflektierten Welle V1B am Ausgang der Treiber schaltung 312. Die Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T vom Zeitpunkt t0 zum Zeitpunkt tm, zu dem V1F in die Elektrode E1 der Austastapertur-Arraymaske 14 gelangt, ist T = TA + (TB - TA)/2.

Wenn die Elektrode E1 der Austastapertur-Arraymaske 14 oder die Verdrahtung vom Treiber 31 zur Elektrode E1 mit Erde kurzgeschlossen wird, wird die Wanderwelle V1F am Punkt des Kurzschlusses im Vorzeichen invertiert und kehrt zum Ausgang des Treibers 31 als reflektierte Welle V1B zurück, so daß die Wellenform des Treibpotentials V1 wie in Fig. 4(C) gezeigt wird.

Der Ausgang des Komparators 52 zum Zeitpunkt des Aus gangsanstiegs der variablen Verzögerungsschaltung 50 wird im D-Flip-Flop 51 als Bestimmungswert C1 gehalten.

(103) Wenn C1 = "1", geht der Prozeß zu Schritt 106, ansonsten geht der Prozeß zu Schritt 104.

(104) Wenn D1 = TBmax, geht der Prozeß zu Schritt 107, ansonsten geht der Prozeß zu Schritt 105. TBmax ist, wie in Fig. 4(C) gezeigt, eine längere Zeit als ein geschätzter Maximalwert der Zeit des Anstiegs des Signals S1 auf das Treibpotential V1, das der Maximalwert Vb wird.

(105) D1 wird um 1 inkrementiert und im Register R1 der variablen Verzögerungsschaltung 50 gehalten. Dann kehrt der Prozeß zu Schritt 101 zurück.

Bei der Wiederholung der Schritte 101 bis 105, wenn es zu keiner Abnormalität kommt, tritt C1 = "1" in Schritt 103 ein.

(106) D1 wird in einem internen Speicher als Verzöge rungszeit TA gespeichert, und die Verarbeitung von Fig. 3 wird beendet.

(107) Wenn C1 = "0", sogar bei D1 = TBmax, wird ein Kurz schluß bestimmt.

Nach der Ermittlung der Verzögerungszeit TA durch die Verarbeitung von Fig. 3 führt die Verzögerungszeit-Detektier- & Einstelleinheit 40 eine Verarbeitung ähnlich jener von Fig. 3 für die Verzögerungszeit-Detektierschaltung 314 durch, um die Verzögerungszeit TB zu ermitteln. In diesem Fall wird D1 in den Schritten 100, 104, 105 und 106 ersetzt durch D2, 1 in Schritt 100, durch TA + 1, C1 in Schritt 103, durch C2, und TA in Schritt 106, durch TB.

Um die Meßgenauigkeit der Verzögerungszeiten TA und TB zu verbessern, wird die Verarbeitung mehrmals wiederholt, um ein Histogramm einer Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T = TA + (TB - TA)/2 zu erhalten, wie in Fig. 5 gezeigt. Dann wird ein typischer Wert von T, beispielsweise T1, welcher der Maximalanzahl des Auftretens (Mode) entspricht, oder ein Mittelwert von T erhalten.

Aufeinanderfolgend wird für die Treiber 32 bis 32n die gleiche Verarbeitung durchgeführt wie für den Treiber 31. Die Mode der Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T für das Signal Si und die Treibspannung V1 werden als Ti bezeichnet.

Der Maximalwert Tmax der Signalausbreitungs-Verzöge rungszeiten T1 bis Tn wird ermittelt, und Tmax - Ti wird in das Register R0 des Treibers 31 gesetzt.

Demgemäß sind die Signalausbreitungs-Verzögerungszeiten von den Eingangsanschlüssen der Treiber 31 bis 3n zu den entsprechenden Elektroden der Austastapertur-Arraymaske 14 alle im wesentlichen gleich Tmax, was zu einer verbesserten Genauigkeit des auf eine Probe, wie eine Scheibe oder eine Maske, projizierten Belichtungsmusters führt.

Da es unnötig ist, den Strahlstrom mit einem Faraday schen Käfig 23 zu detektieren, wie in Fig. 9 gezeigt, ist der Rauschabstand höher als im Fall von Fig. 9. Da die Si gnaltransmissionsleitung vom Faradayschen Käfig 23 zur Ver zögerungszeit-Detektierschaltung 24, wie in Fig. 9 gezeigt, unnötig ist, ist außerdem die Dumpfheit des Signals geringer als im Fall von Fig. 9. So wird die Signalausbreitungs-Verzö gerungszeit genauer gemessen, als es früher möglich war.

Da die Signalausbreitungs-Verzögerungszeit automatisch eingestellt wird, wird die für die Einstellung notwendige Zeit reduziert, so daß sich der Belichtungsdurchsatz ver bessert.

Wenn sich die Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T stark von jenen für andere Treiber unterscheidet, wird an genommen, daß eine Unterbrechung auf der Transmissionslei tung ab dem Treiberschaltungsausgang vorliegt, und der Unterbrechungsort wird mit einem gewissen Genauigkeitsgrad auf der Basis der Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T geschätzt.

Zweite Ausführungsform

Fig. 6 zeigt eine Treiberschaltung in der zweiten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung.

Diese Schaltung hat ein Paar von Verzögerungszeit-De tektierschaltungen 313 und 314 für die Schaltung 70, die vier Paare von variablen Verzögerungsschaltungen und Trei berschaltungen aufweist. Die Verzögerungszeit-Detektier schaltungen 313 und 314 werden gemeinsam von den vier Paaren verwendet. In der Schaltung 70 sind die Ausgangsanschlüsse der variablen Verzögerungsschaltungen 311, 321, 331 und 341 mit den Eingangsanschlüssen der Treiberschaltungen 312, 322, 332 bzw. 342 verbunden. Signale S1 bis S4, die den Eingangs anschlüssen der variablen Verzögerungsschaltungen 311, 321, 331 bzw. 341 zugeführt werden, werden auch den Eingangsan schlüssen des Selektors 71 zugeführt. Der Selektor 71 wählt eines der Signale S1 bis S4, ansprechend auf das Auswahl signal SEL von der Verzögerungszeit-Detektier- & Einstell einheit 40 von Fig. 1 aus, und führt es den variablen Verzö gerungsschaltungen 50 und 60 zu. Ähnlich werden auch Treib potentiale V1 bis V4, die aus den Treiberschaltungen 312, 322, 332 und 342 ausgegeben werden, dem Selektor 72 zuge führt, der eines der Treibpotentiale V1 bis V4, ansprechend auf das Auswahlsignal SEL auswählt, und dieses den nicht- invertierenden Eingangsanschlüssen der Komparatoren 52 und 62 zuführt. Die Selektoren 71 und 72 umfassen vorzugsweise Hochpräzisionsrelais, um die Wellenformverzerrung zu redu zieren.

In dieser Konfiguration werden zuerst das Signal S1 und das Treibpotential V1 von den Selektoren 71 bzw. 72 ausge wählt, so daß die Konstruktion im wesentlichen gleich ist wie jene des Treibers 31 von Fig. 2, und es wird der gleiche Betrieb wie jener des Treibers 31 durchgeführt. Dann werden das Signal S2 und Treibpotential V2 von den Selektoren 71 bzw. 72 ausgewählt, und danach wird eine ähnliche Verarbei tung wiederholt.

Gemäß der zweiten Ausführungsform kann die Anzahl von Verzögerungszeit-Detektierschaltungen 313 und 314 auf ein Viertel jener in der ersten Ausführungsform reduziert werden, so daß die Montagefläche der Leiterplatte kleiner sein kann als in der ersten Ausführungsform.

Dritte Ausführungsform

Fig. 7 zeigt einen Treiber 31A in der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Im Treiber 31A wird das Signal S1 der variablen Verzö gerungsschaltung 60 durch die Verzögerungsschaltung 64 mit einer festgelegten Verzögerungszeit Td von beispielsweise drei Fünftel des oberen Grenzwerts TBmax zugeführt, wie in Fig. 4 gezeigt. Andere Teile sind gleich wie jene des Trei bers 31 von Fig. 2.

Gemäß der dritten Ausführungsform kann ein Schritt der Verzögerungszeit der variablen Verzögerungsschaltung 60 kürzer sein als jener des Falls von Fig. 2, so daß der An stiegszeitpunkt des Ausgangs des Komparators 62 genauer detektiert werden kann, oder die variable Verzögerungsschal tung 60 kann eine IC umfassen.

Vierte Ausführungsform

Fig. 8 zeigt den Treiber 31B in der vierten Ausführungs form der vorliegenden Erfindung.

Im Treiber 31B ist der Eingang der variablen Verzöge rungsschaltung 50 mit dem Ausgang der variablen Verzöge rungsschaltung 311 verbunden, und der Eingang der Verzöge rungsschaltung 64 ist mit dem Ausgang der variablen Verzöge rungsschaltung 50 verbunden. Die Verzögerungszeit Td der Verzögerungsschaltung 64 ist beispielsweise zwei Fünftel des oberen Grenzwerts TBmax. Andere Teile sind gleich wie jene des Treibers 31A von Fig. 7.

Gemäß der vierten Ausführungsform können durch das Set zen eines geeigneten Anfangswerts D01 in das Register R0 der variablen Verzögerungsschaltung 311 die gleichen Effekte wie jene der dritten Ausführungsform für die variable Verzöge rungsschaltung 50 erhalten werden.

Die vorliegende Erfindung enthält verschiedene andere Modifikationen.

Beispielsweise kann in Fig. 2 anstelle der variablen Verzögerungsschaltung 50 und des D-Flip-Flops 51, das als erste Detektierschaltung dient, die folgende Anordnung ver wendet werden: ein RS-Flip-Flop wird an der Vorderkante des Signals S1 gesetzt und an der Hinterkante des Ausgangs des Komparators 52 rückgesetzt, Hochfrequenz-Taktimpulse werden gezählt, während das RS-Flip-Flop gesetzt wird, und der Zählwert wird als Verzögerungszeit TA erhalten. Dies kann bei der variablen Verzögerungsschaltung 60 und dem D-Flip- Flop 61, das als zweite Detektierschaltung dient, verwendet werden.

Die variable Verzögerungsschaltung 311 kann eine vor hergehende Stufe innerhalb des Treibers 31 sein.

In Fig. 2 und Fig. 4(B) kann das Referenzpotential VA ein beliebiger Wert sein, der zwischen Va und 0 liegt. Das Refe renzpotential VB kann beliebiger Wert sein, der zwischen Vb und Va liegt.

Wenn in den oben beschriebenen Ausführungsformen die Variation in der Signalausbreitungs-Verzögerungszeit TA unter Bits kleiner ist als die Variation in der Signalaus breitungs-Verzögerungszeit TB unter Bits, und TA vernach lässigbar ist, kann die Signalausbreitungs-Verzögerungszeit T T = (TB - TA)/2 anstelle von T = TA + (TB - TA)/2 sein. In diesem Fall kann der Startpunkt von TBmax von Fig. 4(C) t1 sein. Ferner kann die Treiberschaltung 312 von Fig. 2 eine derar tige Anordnung aufweisen, daß Inverter in Kaskade mit einer ungeraden Anzahl von Stufen verbunden sind, so daß die Binärwerte ihres Eingangs und Ausgangs zueinander entge gengesetzt sind.

Claims

1. Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teilchen, bei welchem ein Strahl geladener Teilchen durch Aperturen einer Austastapertur-Arraymaske hindurchgeht, um in Mehrfachstrahlen umgewandelt zu werden, wobei jedes von Ausgangspotentialen einer Treiberschaltung jeweils für jede von Ablenkelektroden vorgesehen ist, die an Rändern der Aperturen gebildet sind, und ein Muster, das einem Muster der Ausgangspotentiale entspricht, auf ein Objekt projiziert wird, welches Verfahren die Schritte umfaßt:
Herstellen einer variablen Verzögerungsschaltung, die mit einer Eingangsseite der Treiberschaltung verbunden ist;
Detektieren eines ersten Zeitpunkts t1, wenn eine Wan derwelle eines der Ausgangspotentiale aus der Treiberschal tung ein erstes Referenzpotential quert;
Detektieren eines zweiten Zeitpunkts t2, wenn eine Überlagerungswelle der Wanderwelle und eine reflektierte Welle des einen der Ausgangspotentiale ein zweites Referenz potential queren; und
Einstellen einer Verzögerungszeit der variablen Verzö gerungsschaltung derart, daß Werte {t1 + (t2 - t1)/2} in bezug auf alle Ausgangspotentiale im Wesentlichen gleich werden.

2. Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teilchen nach Anspruch 1,
bei welchem der erste Zeitpunkt t1 und der zweite Zeit punkt t2 wiederholt detektiert werden, und
bei welchem jeder der Werte {t1 + (t2 - t1)/2} berechnet wird, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt werden.

3. Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teilchen nach Anspruch 1, bei welchem die Einstellung derart durchgeführt wird, daß Werte (t2 - t1)/2 in bezug auf alle Ausgangspotentiale im wesentlichen gleich werden.

4. Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teilchen nach Anspruch 3,
bei welchem der erste Zeitpunkt t1 und der zweite Zeit punkt t2 wiederholt detektiert werden, und
bei welchem jeder der Werte (t2 - t1)/2 berechnet wird, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt werden.

5. Belichtungsverfahren mittels eines Strahls geladener Teilchen nach Anspruch 1, welches ferner den Schritt umfaßt, daß als Kurzschluß bestimmt wird, wenn der zweite Zeitpunkt t2 nicht detektiert werden kann, auch wenn eine gesetzte Zeitperiode verstrichen ist.

6. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen, welches mit einer Austastapertur-Arraymaske mit Aus tastaperturen für einen Strahl geladener Teilchen versehen ist, der hindurchgeführt wird, um in Mehrfachstrahlen umge wandelt zu werden, welche Austastaperturen an den Rändern mit Ablenkelektroden versehen sind, und mit einer Treiber schaltung versehen sind, um ihre Ausgangspotentiale an die Ablenkelektroden zu liefern, so daß ein Muster auf ein Objekt projiziert wird, welches Muster einem Muster der Aus gangspotentiale entspricht, welches System umfaßt:
eine variable Einstellverzögerungsschaltung, die mit einer Eingangsseite der Treiberschaltung verbunden ist, um die Ausbreitung der Ausgangspotentiale zu verzögern;
eine erste Komparatorschaltung zum Vergleichen eines der Ausgangspotentiale aus der Treiberschaltung und eines ersten Referenzpotentials, um eine Vorderkante einer Wander welle des einen der Ausgangspotentiale zu detektieren;
eine zweite Komparatorschaltung zum Vergleichen des einen der Ausgangspotentiale und eines zweiten Referenzpotentials, um eine Vorderkante einer reflektierten Welle, welche die Wanderwelle des einen der Ausgangspotentiale überlagert, zu detektieren;
eine erste Detektierschaltung zum Detektieren eines ersten Zeitpunkts t1, wenn ein Ausgang der ersten Kompara torschaltung invertiert wird;
eine zweite Detektierschaltung zum Detektieren eines zweiten Zeitpunkts t2, wenn ein Ausgang der ersten Kompara torschaltung invertiert wird; und
eine Einstellausrüstung zum Einstellen einer Verzöge rungszeit der variablen Einstellverzögerungsschaltung auf der Basis des ersten Zeitpunkts t1 und des zweiten Zeit punkts t2.

7. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 6,
bei welchem die erste Detektierschaltung umfaßt:
eine erste variable Detektier-Verzögerungsschaltung zum Verzögern eines Signals einer Eingangsseite der Treiber schaltung; und
eine erste Bestimmungsschaltung zum Bestimmen eines Ausgangszustands der ersten Komparatorschaltung, ansprechend auf einen Ausgang der ersten variablen Detektier-Verzöge rungsschaltung, und
bei welchem die zweite Detektierschaltung umfaßt:
eine zweite variable Detektier-Verzögerungsschaltung zum Verzögern eines Signals der Eingangsseite der Treiber schaltung; und
eine zweite Bestimmungsschaltung zum Bestimmen eines Ausgangszustands der zweiten Komparatorschaltung, ansprechend auf einen Ausgang der zweiten variablen Detektier-Verzöge rungsschaltung.

8. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 7;
bei welchem die erste Bestimmungsschaltung eine erste D-Flip-Flop-Schaltung umfaßt, die einen Dateneingang auf weist, der zum Empfangen eines Ausgangs der ersten Kompara torschaltung eingerichtet ist, und einen Takteingang auf weist, der zum Empfangen des Ausgangs der ersten variablen Detektier-Verzögerungsschaltung eingerichtet ist, und
bei welchem die zweite Bestimmungsschaltung eine zweite D-Flip-Flop-Schaltung umfaßt, die einen Dateneingang auf weist, der zum Empfangen eines Ausgangs der zweiten Kompara torschaltung eingerichtet ist, und einen Takteingang auf weist, der zum Empfangen des Ausgangs der zweiten variablen Detektier-Verzögerungsschaltung eingerichtet ist.

9. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 8, bei welchem die Einstellausrüstung die Verzögerungszeit derart einstellt, daß Werte {t1 + (t2 - t1)/2} in bezug auf alle Ausgangspotentiale im wesentlichen gleich werden.

10. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 9, bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Detektierschaltung veranlaßt, den ersten Zeitpunkt t1 und den zweiten Zeitpunkt t2 wiederholt zu detektieren, und jeden der Werte {t1 + (t2 - t1)/2} zu berech nen, indem ein typischer Wert des ersten Zeitpunkts t1 und ein typischer Wert des zweiten Zeitpunkts t2 eingesetzt werden.

11. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 6,
bei welchem ein Satz der ersten und zweiten Komparator schaltungen sowie der ersten und zweiten Detektierschaltun gen für eine Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen und der Treiberschaltungen vorgesehen ist,
wobei das System ferner umfaßt:
eine erste Selektorschaltung zum Auswählen eines der Ausgänge der Vielzahl von Sätzen der Treiberschaltungen, und Liefern des einen der Ausgänge an den einen Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltungen; und
eine zweite Selektorschaltung zum Auswählen eines der Eingänge der Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen, und Liefern des einen der Eingänge an den einen Satz der ersten und zweiten Detektierschaltungen; und
bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Selektorschaltung veranlaßt, einen der Vielzahl von Sätzen auszuwählen.

12. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 7,
bei welchem ein Satz der ersten und zweiten Komparator schaltungen sowie der ersten und zweiten Detektierschaltun gen für eine Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen und der Treiberschaltungen vorgesehen ist,
wobei das System ferner umfaßt:
eine erste Selektorschaltung zum Auswählen eines der Ausgänge der Vielzahl von Sätzen der Treiberschaltungen, und Liefern des einen der Ausgänge an den einen Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltungen; und
eine zweite Selektorschaltung zum Auswählen eines der Eingänge der Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen, und Liefern des einen der Eingänge an den einen Satz der ersten und zweiten Detektierschaltungen; und
bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Selektorschaltung veranlaßt, einen der Vielzahl von Sätzen auszuwählen.

13. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teilchen nach Anspruch 8,
bei welchem ein Satz der ersten und zweiten Komparator schaltungen sowie der ersten und zweiten Detektierschaltun gen für eine Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen und der Treiberschaltungen vorgesehen ist,
wobei das System ferner umfaßt:
eine erste Selektorschaltung zum Auswählen eines der Ausgänge der Vielzahl von Sätzen der Treiberschaltungen, und Liefern des einen der Ausgänge an den einen Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltungen; und
eine zweite Selektorschaltung zum Auswählen eines der Eingänge der Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen, und Liefern des einen der Eingänge an den einen Satz der ersten und zweiten Detektierschaltungen; und
bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Selektorschaltung veranlaßt, einen der Vielzahl von Sätzen auszuwählen.

14. Belichtungssystem mittels eines Strahls geladener Teil chen nach Anspruch 9,
bei welchem ein Satz der ersten und zweiten Komparator schaltungen sowie der ersten und zweiten Detektierschaltun gen für eine Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellver zögerungsschaltungen und der Treiberschaltungen vorgesehen ist,
wobei das System ferner umfaßt:
eine erste Selektorschaltung zum Auswählen eines der Ausgänge der Vielzahl von Sätzen der Treiberschaltungen, und Liefern des einen der Ausgänge an den einen Satz der ersten und zweiten Komparatorschaltungen; und
eine zweite Selektorschaltung zum Auswählen eines der Eingänge der Vielzahl von Sätzen der variablen Einstellverzögerungsschaltungen, und Liefern des einen der Eingänge an den einen Satz der ersten und zweiten Detektierschaltungen; und
bei welchem die Einstellausrüstung die erste und zweite Selektorschaltung veranlaßt, einen der Vielzahl von Sätzen auszuwählen.