DE19755673A1 - Magnetoresistive Sensoreinrichtung sowie Vorrichtung zum Messen eines Magnetfeldes - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine magnetoresistive Sensoreinrich­ tung mit wenigstens einem Sensorelement zum Messen eines Ma­ gnetfeldes, sowie einem Mittel zum Erzeugen eines magneti­ schen Biasfeldes.

Solche magnetoresistiven Sensoreinrichtungen sind bekannt und kommen beispielsweise im Rahmen der Messung von in einem Lei­ ter fließenden Strömen zum Einsatz. Dabei wird das vom strom­ durchflossenen Leiter erzeugte Magnetfeld gemessen, dessen Stärke ein Maß für den tatsächlich fließenden Strom ist. Ein­ gesetzt werden derartige Einrichtungen z. B. in Relais, um dort beispielsweise den Strom im Rahmen einer Strombegren­ zungsmessung zu bestimmen, oder aber auch im Rahmen der Steuerung des Schaltbetriebs des Relais, welches beispiels­ weise nur dann geöffnet werden kann, wenn kein Strom fließt, was mittels der magnetoresistiven Sensoreinrichtung genau er­ mittelt werden kann. Bei bekannten magnetoresistiven Sen­ soreinrichtungen wird häufig ein magnetisches Biasfeld benö­ tigt, um das Sensorelement "vorzuspannen". Mittels dieses Bi­ asfeldes kann beispielsweise eine bestimmte Magnetfeldrich­ tung vorgegeben werden, in welcher der Sensor empfindlich ist. Daneben kann mittels des Biasfeldes ein bestimmter ma­ gnetischer Feldbereich für die Messung ausgewählt werden wie auch die Sensoreinrichtung stets in einen definierten Zustand hinsichtlich ihrer Magnetisierung gebracht werden kann. Bei Hart-Weich-Magnetsystemen, bei denen eine harte, in ihrer Ma­ gnetisierung feste Schicht und eine weiche, sich in Richtung eines äußeren Feldes ausrichtende Schicht vorgesehen ist, richtet sich die Magnetisierung der weichen Schicht bereits bei sehr geringen externen Feldern aus und man gelangt sehr schnell in den Sättigungsbereich, was dazu führt, daß nur sehr geringe externe Felder meßbar sind. Darüber hinaus kehrt die weiche Magnetisierung bei fehlendem externen Feld ohne externem Biasfeld nicht mehr in einen definierten Zustand zu­ rück, vielmehr verbleibt sie in der von dem externen Feld eingestellten Richtung. Mit dem Biasfeld ist es aber möglich, bestimmte Feldbereiche für die Messung vorzugeben, je nach­ dem, wie stark das Biasfeld ist, wie auch der Sensor stets wieder "rückgerichtet" werden kann.

Für die Erzeugung eines Biasfeldes wird in der Regel das Streufeld eines oder mehrerer Permanentmagnete verwendet, die in der Nähe des Sensors positioniert werden. Es gibt jedoch Anwendungen, bei denen diese Anordnung unpraktisch oder gar nicht möglich ist. Je kleiner das Bauelement ist, in dem die Sensoreinrichtung integriert werden soll, desto weniger Platz ist für den massiven Permanentmagneten gegeben. Dieses Pro­ blem tritt beispielsweise bei kleinen Relais auf. Ein weite­ rer Nachteil ist das starke Streufeld des massiven Permanent­ magneten, welches sich mitunter störend auf andere Komponen­ ten auswirken kann. Daneben sind Permanentmagnete relativ teuer, was zu erhöhten Bauteilkosten führt.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, eine magneto­ resistive Sensoreinrichtung anzugeben, bei welcher mit einfa­ chen und kostengünstigen Mitteln ein Biasfeld erzeugbar ist, wobei dies mit geringem magnetischen Streufeld sowie geringem Platzbedarf erfolgen soll.

Zur Lösung dieses Problems ist bei einer magnetoresistiven Sensoreinrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, daß das Mittel eine in der Umgebung des Sensors angeordnete magnetische Folie ist.

Die erfindungsgemäße Lösung sieht mit besonderem Vorteil an­ stelle des massiven Permanentmagneten eine dünne magnetische Folie vor, die im Bereich des Sensorelements angeordnet ist. Diese Folie, die erfindungsgemäß zumindest teilweise aus per­ manentmagnetischem Material ist oder permanentmagnetisches Material enthält, läßt sich hinreichend dünn herstellen, wo­ bei die Dicke erfindungsgemäß weniger als 1,5 mm, insbesonde­ re weniger als 1 mm betragen sollte. Hiermit lassen sich also Bauteildimensionen realisieren, die mittels der massiven Per­ manentmagneten, wie sie im Stand der Technik eingesetzt wer­ den, nicht erreicht werden können. Daneben ist die Folie, welche erfindungsgemäß aus einem Kunststoffträger mit darin eingebundenem magnetischem Material, insbesondere permanent­ magnetischem Material bestehen kann, deutlich günstiger ge­ genüber den bekannten massiven Permanentmagneten, was sich vorteilhaft auf die Gesamtkosten auswirkt.

Das permanentmagnetische Material kann erfindungsgemäß Ferrit oder eine NdFeB-Verbindung oder eine CoSm-Verbindung sein, wobei sich diese Materialien hinreichend dünn herstellen las­ sen, so daß die Erzeugung einer derart dünnen Folie wie ein­ gangs beschrieben problemlos möglich ist. Das Streufeld der Folie, insbesondere bei den angegebenen Dimensionen und Ver­ wendung der genannten Materialien, ist sehr gering, so daß die eingangs genannten Nachteile hinsichtlich der Beeinflus­ sung anderer Komponenten mit besonderem Vorteil nicht mehr auftreten. Alternativ zur Verwendung einer Folie auf Basis einem Kunststoffträgers mit eingebundenem permanentmagneti­ schem Material kann selbstverständlich die Folie auch unmit­ telbar aus dem permanentmagnetischem Material hergestellt sein, das heißt, sie kann als magnetische Metallfolie ausge­ bildet sein.

Die Folie kann erfindungsgemäß unmittelbar am Sensor oder in einem vorbestimmten Abstand zu diesem angeordnet sein. Im er­ steren Fall wird erfindungsgemäß die Folie bevorzugt auf das Sensorelement geklebt. Bei beabstandeter Anordnung ist es zweckmäßig, wenn erfindungsgemäß zwischen dem Sensorelement und der Folie eine nichtmagnetische Schicht vorgesehen ist, welche vorzugsweise mit dem Sensorelement und der Folie ver­ klebt ist.

Eine besonders zweckmäßige Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß als Sensorelement ein giant-magnetoresistives Senso­ relement zum Einsatz kommt. Derartige Sensorelemente bestehen aus einer hart- und einer weichmagnetischen Schicht, wobei sich die weichmagnetische Schicht im äußeren Feld drehen kann. Insbesondere bei derartigen Systemen hat es sich als besonderes zweckmäßig erwiesen, wenn die Folie derart bezüg­ lich des Sensorelements angeordnet ist, daß die Magnetisie­ rungsrichtung der Folie unter einem vorbestimmten Winkel be­ züglich der Bezugsrichtung des Sensorelements steht. Im Falle des Hart-Weich-Magnetsystems dient als Bezugsrichtung die feststehende Magnetisierung der hartmagnetischen Schicht, be­ züglich welcher die Folie in ihrer Magnetisierungsrichtung ausgerichtet wird. Wie bereits beschrieben dreht sich die Ma­ gnetisierung der weichmagnetischen Schicht in Abhängigkeit des anliegenden äußeren Feldes. Die Winkelausrichtung der Ma­ gnetisierung der weichmagnetischen Schicht zur hartmagneti­ schen Schicht bestimmt bei diesen Systemen die Größe des an der Sensoreinrichtung abgreifbaren Meßsignals, das heißt, die vom externen Feld erzeugte Widerstandsänderung des Sensors hängt vom Winkel ab, unter welchem die Magnetisierungsrich­ tungen der hart- und weichmagnetischen Schichten bezüglich einander stehen. Mittels des Biasfeldes kann nun eine vorbe­ stimmte Winkelbeziehung der Magnetisierungsrichtungen vorge­ geben werden, welche erst durch das externe Feld geändert und nach Abklingen des externen Feldes wieder eingenommen wird. Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn der Winkel zwischen der Magnetisierungsrichtung der Folie und der Bezugsrichtung des Sensorelements 90° beträgt.

Da der Widerstand des magnetischen Sensorelements auch tempe­ raturabhängig ist, ist es zweckmäßig, mehrere Sensorelemente vorzusehen, denen eine gemeinsame Folie zugeordnet ist, wobei diese Sensorelemente nach Art einer Brückenschaltung zusam­ mengeschaltet sein können. Die Folie kann in diesem Fall zwi­ schen die beiden Sensorelemente gebracht werden, damit ihr Streufeld in gleicher Weise und Intensität auf beide Sensore­ lemente wirkt, das heißt, beide Sensorelemente werden in gleicher Weise "vorgespannt". Zweckmäßigerweise kann dabei jedes Sensorelement und die Folie mittels einer nichtmagneti­ schen Schicht miteinander gekoppelt sein, welche vorzugsweise mit dem jeweiligen Sensorelement und der Folie verklebt ist. Schließlich kann ferner eine Abschirmeinrichtung vorgesehen sein, um die Sensoreinrichtung gegen äußere Felder abzuschir­ men, wobei das oder die Sensorelemente jeweils als Brücken­ schaltung ausgeführt sein können.

Neben der magnetoresistiven Sensoreinrichtung selbst betrifft die Erfindung ferner eine Vorrichtung zum Messen eines Ma­ gnetfeldes, welches sich durch eine magnetoresistive Sen­ soreinrichtung der vorbeschriebenen Art auszeichnet. Unter "Vorrichtung" ist in diesem Fall sowohl ein Meßgerät wie auch lediglich ein kleines elektronisches Bauelement selbst zu verstehen. Handelt es sich um eine Vorrichtung im Sinne eines Meßgeräts, kann diese beispielsweise derart verwendet werden, daß sie zur Magnetfeld- und damit zur Strommessung in den Be­ reich des das Magnetfeld erzeugenden Leiters gebracht wird. Als zweckmäßig hat es sich aber insbesondere im Hinblick auf die Ausbildung als Bauelement erwiesen, wenn ein das zu mes­ sende Magnetfeld erzeugendes Mittel in oder an der Vorrich­ tung integriert ist, wobei das Mittel und die Sensoreinrich­ tung derart bezüglich einander ausgerichtet sind, daß das von dem Mittel erzeugte Magnetfeld in einem vorbestimmten Winkel zur Magnetisierung der Folie steht, wobei dieser Winkel zweckmäßigerweise 90° beträgt. Dabei kann das Mittel erfin­ dungsgemäß ein stromdurchflossener Leiter, insbesondere ein Streifenleiter sein, wie dies beispielsweise bei einem Re­ lais, als welches die erfindungsgemäße Einrichtung ausgebil­ det sein kann, der Fall ist.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er­ geben sich aus den in folgenden beschriebenen Ausführungsbei­ spielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Prinzipskizze zur Darstellung der magnetores­ istiven Sensoreinrichtung mit zugeordnetem strom­ durchflossenem Leiter, sowie eine Darstellung der erzeugten Magnetfelder,

Fig. 2 ein Diagramm zur Darstellung der Änderung des elek­ trischen Widerstands der magnetoresistiven Sen­ soreinrichtung in Abhängigkeit des anliegenden ex­ ternen Feldes, und

Fig. 3 eine magnetoresistive Sensoreinrichtung einer zwei­ ten Ausführungsform mit zwei Sensorelementen mit einander entgegengesetzter Bezugsrichtung, zwischen denen die Folie angeordnet ist.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Sensoreinrichtung 1, be­ stehend aus einem Sensorelement 2 und einer diesem zugeordne­ ten magnetischen Folie 3. Bei dem Sensorelement 2 kann es sich beispielsweise um ein giant-magnetoresistives Sensorele­ ment handeln mit einer hartmagnetischen und einer weichmagne­ tischen Schicht. Der Pfeil 4 gibt dabei die Bezugsrichtung der Magnetisierung des Sensorelements 2 an, welche im Bei­ spielsfall des giant-magnetoresistiven Sensorelements der Ma­ gnetisierung der hartmagnetischen Schicht entspricht. Die Fo­ lie 3 und das Sensorelement 2 sind miteinander mittels einer Kleberschicht 5 verklebt, welche aus Übersichtlichkeitsgrün­ den lediglich gestrichelt dargestellt ist. Die Folie 3 selbst ist im gezeigten Ausführungsbeispiel eine Kunststoffolie mit darin eingebundenen Permanentmagnetelementen, welche bei­ spielsweise ein Ferrit, eine NdFeB-Verbindung oder CoSm-Ver­ bindung sein kann. Diese Materialien lassen sich in hin­ reichend kleiner Partikeldimension herstellen, und können oh­ ne weiteres in einen Kunststoffträger eingebunden werden. Die Dicke der gezeigten Folie 3 beträgt vorzugsweise weniger als 1 mm. Die Folie 3 weist ebenfalls eine feste Magnetisierungs­ richtung auf, wie durch den Pfeil 6 angegeben. Die Magneti­ sierungsrichtungen gemäß der Pfeile 4 und 6 stehen im gezeig­ ten Beispiel unter einem Winkel von 90° zueinander.

Gezeigt ist ferner ein Leiter 7, hier ein Streifenleiter, wie er beispielsweise in Relais zum Einsatz kommt. Der Leiter 7 ist, wie durch den Pfeil 8 angegeben, im Bedarfsfall strom­ durchflossen und erzeugt ein Magnetfeld 9, welches nachfol­ gend als "H_ex" gekennzeichnet ist. Die gesamte gezeigte An­ ordnung bestehend aus der Sensoreinrichtung 1 und dem Leiter 7 kann Teil eines elektronischen Bauelements beispielsweise in Form eines Relais sein, wobei im gezeigten Beispiel der Übersichtlichkeit halber etwaige weitere Bauelementteile und das Gehäuse weggelassen sind.

Im Falle eines Stromflusses durch den Leiter 7 bildet sich ein externes Magnetfeld 9 aus, wie bereits beschrieben. Die­ ses externe Magnetfeld steht infolge der Lagebeziehung zwi­ schen dem Leiter 7 und der Magnetisierung 6 der Folie 3 senk­ recht auf dem von der Magnetisierung 6 ausgebildeten Biasfel­ des, welches nachfolgend "H_b" genannt ist. Das in Fig. 1 ge­ zeigte Vektordiagramm gibt die Feldzusammenhänge wieder. Er­ sichtlich stehen die beiden Felder H_ex und H_b senkrecht auf­ einander. Das tatsächlich wirkende äußere Feld, welches am Sensorelement 2 anliegt und ausschlaggebend für das Meßsignal ist, ergibt sich durch vektorielle Addition der beiden Felder H_ex und H_b zum resultierenden äußeren magnetischen Feld "H".

Ersichtlich schließt das resultierende Feld H einen α zum Blasfeld H_b ein. Die Widerstandsänderung der Sensoreinrich­ tung, nachfolgend als ΔR genannt, zeigt einen im wesentlichen sinusförmigen Verlauf in Abhängigkeit des Winkels α eines äußeren Feldes H, wie in Fig. 2 gezeigt. Nimmt man die Magne­ tisierungsrichtung 6 der Folie 3 als Bezugsachse für den Win­ kel α, so gilt:

ΔR ∝ sinα.

Der Winkel α errechnet sich für die oben beschriebene Feld­ geometrie (H_ex senkrecht zu H_b) wie folgt:

α = arctan (H_ex/H_b)

Damit ergibt sich für die Widerstandsänderung folgender Zu­ sammenhang:

ΔR ∝ sin arctan (H_ex/H_b).

Dieser Verlauf der Abhängigkeit der Widerstandsänderung ΔR als Funktion des Verhältnisses H_ex/H_b ist in Abb. 2 ge­ zeigt. Dabei ist längs der Ordinate die normalisierte Wider­ standsänderung ΔR/ΔR_max und längs der Abszisse der Quotient H_ex/H_b aufgetragen. Wie Fig. 2 zu entnehmen ist, ist der Ver­ lauf im Bereich von etwa H_ex/H_b = ±1 im wesentlichen linear und nähert sich für größere/kleinere Werte asymptotisch gegen 1. Das heißt, mit dem in Fig. 1 beschriebenen Aufbau ist es möglich, externe Felder bis etwa der Größe ±H_b leicht quantitativ sowie hinsichtlich ihres Vorzeichens zu messen.

Dabei ist darauf hinzuweisen, daß sich die Größe des Biasfel­ des H_b durch das Material der Magnetfolie beziehungsweise de­ ren magnetischen Elementen, durch ihre entsprechende Aufma­ gnetisierung sowie durch Variation des Abstands der Folie vom Sensor einstellen läßt.

Schließlich zeigt Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Aus­ führungsform einer Sensoreinrichtung 10. Diese besteht aus zwei Sensorelementen 11a, 11b, welche wiederum wie durch die Pfeile 12a, 12b angegeben eine magnetische Bezugsrichtung aufweisen, wobei hier die beiden Bezugsrichtungen entgegenge­ setzt zueinander verlaufen. Auch hier können wieder giant-mag­ netoresistive Sensorelemente verwendet werden, wobei die angegebenen Bezugsrichtungen 12a, 12b die Richtung der Magne­ tisierung der harten Schicht wiedergeben. Die Sensorelemente 11a, 11b können jeweils als Brückenschaltung ausgeführt sein, wie auch das Sensorelement 12 in Fig. 1. Zwischen diese Schichten ist auch hier eine Folie 13 gebracht, welche in diesem Beispiel ebenfalls mittels Kleberschichten 14 mit den Sensorelementen 11a, 11b verbunden ist. Auch hier steht die Magnetisierungsrichtung 15 der Folie 13 senkrecht zu den Be­ zugsrichtungen 12a, 12b der beiden Sensorelemente 11a, 11b. Der gesamte Aufbau entspricht einer Sensorbrücke, mittels welcher thermische Eigenschaften der Sensorelemente 11a, 11b, die zu temperaturbedingten Änderungen des Widerstands und da­ mit zu einer Verfälschung des Meßergebnisses führen können, kompensiert werden können. Erforderlich ist hierfür, einen guten thermischen Kontakt zwischen der Folie und den Sensore­ lementen 11a, 11b zu realisieren, was mittels des Verklebens hinreichend möglich ist. Auch hier ist ein Leiter 16 vorgese­ hen, welcher ebenfalls stromführend sein kann, wie durch den Pfeil 17 angegeben, und welcher infolgedessen ebenfalls ein externes Magnetfeld ausbilden kann, vergleiche Bezugszeichen 18. Das externe Magnetfeld H_ex steht senkrecht zum mittels der Folie 13 erzeugbaren Biasfeldes H_b, wobei hinsichtlich der Erzeugung des resultierenden Magnetfelds H sowie der hierdurch erzielbaren Widerstandsänderung die Ausführungen betreffend Fig. 1 und 2 in gleicher Weise gelten.

Claims (24)

1. Magnetoresistive Sensoreinrichtung mit wenigstens einem Sensorelement zum Messen eines Magnetfelds, sowie einem Mit­ tel zum Erzeugen eines magnetischen Biasfeldes, da­ durch gekennzeichnet, daß das Mittel eine in der Umgebung des Sensorelements (2, 11a, 11b) ange­ ordnete magnetische Folie (3, 13) ist.

2. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (3, 13) zumindest teilweise aus permanentmagnetischem Materi­ al ist oder permanentmagnetisches Material enthält.

3. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das per­ manentmagnetische Material Ferrit oder eine NdFeB-Verbindung oder eine CoSm-Verbindung ist.

4. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß die Folie (3, 13) aus einem Kunststoffträger mit darin eingebundenem magnetischem Material, insbesondere per­ manentmagnetischem Material besteht.

5. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß die Dicke der Folie (3, 13) weniger als 1,5 mm, insbesondere weniger als 1 mm beträgt.

6. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß die Folie (3, 13) derart bezüglich des Sensore­ lements angeordnet ist, daß die Magnetisierungsrichtung (6, 15) der Folie (3, 13) unter einem vorbestimmten Winkel bezüg­ lich der Bezugsrichtung (4, 12a, 12b) des Sensorelements (2, 11a, 11b) steht.

7. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Win­ kel 90° beträgt.

8. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß die Folie (3, 13) unmittelbar am Sensorelement (2, 11a, 11b) oder in einem vorbestimmten Abstand zu diesem angeordnet ist.

9. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (3, 13) auf das Sensorelement (2, 11a, 11b) geklebt ist.

10. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen das Sensorelement und die Folie eine nichtmagnetische Schicht gebracht ist, welche vorzugsweise mit dem Sensorelement und der Folie verklebt ist.

11. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net , daß mehrere Sensorelemente (11a, 11b) vorgesehen sind, denen eine gemeinsame Folie (13) zugeordnet ist.

12. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die Folie (13) zwischen zwei Sensorelementen (11a, 11b) angeordnet ist.

13. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jedes Sensorelement und die Folie eine nichtmagnetische Schicht gebracht ist, welche vorzugsweise mit dem jeweiligen Sensorelement und der Folie verklebt ist.

14. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der An­ sprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sensoren (11a, 11b) eine Brückenschaltung bilden.

15. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Abschirmeinrichtung vorgesehen ist.

16. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß das oder die Sensorelemente (2, 11a, 11b) giant-magnetoresistives Sensorelemente sind.

17. Magnetoresistive Sensoreinrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß das oder die Sensorelemente (2, 11a, 11b) je­ weils als Brückenschaltung ausgeführt sind.

18. Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds, gekenn­ zeichnet durch eine magnetoresistive Sensorein­ richtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein das zu messende Magnet­ feld erzeugendes Mittel (7, 16) in oder an der Vorrichtung integriert ist, und daß das Mittel (7, 16) und die Sensorein­ richtung (1, 10) derart bezüglich einander ausgerichtet sind, daß das von dem Mittel (7, 16) erzeugte Magnetfeld (9, 18) in einem vorbestimmten Winkel (α) zur Magnetisierungsrichtung (6, 15) der Folie (3, 13) steht.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Winkel (α) 90° beträgt.

21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel ein stromdurch­ flossener Leiter (7, 16) ist.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Leiter (7, 16) ein Strei­ fenleiter ist.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 22, da­ durch gekennzeichnet, daß sie in ein elektronisches Bauelement integriert ist.

24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch ge­ kennzeichnet , daß das Bauelement ein Relais ist.