DE102004063539A1

DE102004063539A1 - Magnetsensoranordnung

Info

Publication number: DE102004063539A1
Application number: DE102004063539A
Authority: DE
Inventors: Rasmus Rettig; Christian Bauer; Birgit Vogelgesang
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-12-30
Publication date: 2005-09-29
Also published as: CN100520303C; CN1930451A

Abstract

Es wird eine Magnetsensoranordnung (1) vorgeschlagen, bei der magnetfeldempfindlichen Sensorelemente (7, 8) angeordnet sind, deren elektrische Eigenschaften in Abhängigkeit von einem Magnetfeld veränderbar sind, das durch ein bewegtes passives Geberelement (11) beeinflussbar ist. Die Magnetsensoranordnung (1) weist zwei Sensorelemente (7, 8) in einer Gradiometeranordnung auf, die jeweils einem von zwei in einem vorgegebenen Abstand (sa) angeordneten magnetischen Bereichen (4, 5) eines als Spaltmagneten (2; 20; 23) ausgeführten Permanentmagneten zugeordnet sind. Die Bereiche (4, 5) und der Spaltmagnet (2; 20; 23) sind hinsichtlich der beispielsweise keilförmigen Formgebung, der Abmaße (h, b, t), der Spaltbreite (sa) sowie der Spalttiefe (st) und ihrer Positionen zu den Sensorelementen (7, 8) so angeordnet, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente (7, 8) in der Gradiometeranordnung minimiert ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Magnetsensoranordnung, insbesondere zur Sensierung der Bewegung von linear oder rotatorisch bewegten Elementen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.

Es ist an sich bekannt, dass magnetfeldempfindliche Sensoren in vielen Bereichen Anwendung finden, bei denen eine berührungsfreie Detektierung einer Bewegung gewünscht ist. Dabei kann es sich sowohl um eine Rotationsbewegung als auch eine Linearbewegung handeln. Zu unterscheiden sind hier zwei grundlegend verschiedene Messprinzipien. Zum einen lässt sich durch Anbringen eines oder mehrerer magnetischer Dipole als aktive Elemente auf dem zu detektierenden Element die Bewegung direkt durch das sich zeitlich ändernde Magnetfeld am Sensorort bestimmen. Im Gegensatz dazu wird bei passiven Geberelementen, die aus einem weichmagnetischen Material bestehen, das magnetische Feld durch einen Arbeitsmagneten erzeugt, der fest mit dem Sensor verbunden ist. Der Sensor misst die Änderung des Magnetfeldes des Arbeitsmagneten, die durch die Bewegung der Geberelemente hervorgerufen wird.

Neben der an sich bekannten Hall-Technologie zur Magnetfeldmessung werden vermehrt auch bei passiven Geberelementen im Kraftfahrzeugbereich alternativ sog. XMR-Technologien, d.h. magnetoresistive Messprinzipien, eingesetzt. Dabei ist zu beachten, dass XMR-Sensoren im Gegensatz zu Hall-Sensoren die sog. "in-plane"-Komponente des Magnetfeldes im Sensorelement detektieren. Bisher übliche XMR-Sensoren verwenden dazu einen Arbeitsmagneten, dessen Feld so abgeglichen werden muss, dass der Offset am Ort des sensitiven Elementes Null ist oder es wird ein sogenanntes Backbias-Feld erzeugt, das den Arbeitspunkt des Sensors definiert.

Beispielsweise ist in der DE 101 28 135 A1 ein Konzept beschrieben, bei dem eine hartmagnetische Schicht in der Nähe, d.h. insbesondere auf und/oder unter einem magnetoresistiven Schichtstapel, deponiert wird. Diese hartmagnetische Schicht koppelt dann vorwiegend durch ihr Streufeld an die magnetosensitiven Schichten und erzeugt dabei ein sogenanntes Bias-Magnetfeld, das als Magnetfeld-Offset wirkt, so dass auch bei einer nur schwachen Variation eines dem internen Magnetfeld überlagerten externen Magnetfelds eine gut messbare und relativ große Veränderung des eigentlichen Messwertes, der als Widerstandsänderung in der Schichtanordnung detektiert wird, erreichbar ist.

Die zuvor beschriebenen Sensoren werden in an sich bekannter Weise zur Drehzahlerfassung, beispielsweise in der Kraftfahrzeugtechnik, oft in einer sogenannten Gradiometeranordnung ausgeführt. Das heißt je zwei Zweige einer Wheatstoneschen Messbrücke sind in vorgegebenem Abstand angeordnet, so dass ein homogenes Magnetfeld kein Brückensignal bewirkt. Eine Variation des Magnetfelds im Bereich des vorgegebenen Abstands hingegen erzeugt ein Brückensignal. Damit misst der Sensor nur das Signal eines magnetischen Polrads, dessen Polpaarabstand in etwa dem vorgegebenen Gradiometerabstand entspricht.

Durch den Einsatz des Gradiometerprinzips in einer magnetoresistiven XMR-Messbrücke lässt sich im Gegensatz zu den absolut messenden XMR-Elementen eine Reduzierung der Empfindlichkeit der Sensoren gegenüber homogenen Störfeldern erreichen. Ein Abgleich der bisher eingesetzten Magnete, so dass an beiden Orten der Sensorelemente der Gradiometeranordnung der Offset eliminiert werden kann, lässt sich hier jedoch nicht mehr durchführen; eine elektronischer Abgleich ist zwar prinzipiell möglich, aber hier ist ein relativ kleines Signal auf großem Offset vorhanden.

Vorteile der Erfindung

Bei einer Weiterbildung einer Magnetsensoranordnung der eingangs angegebenen Art weist die Magnetsensoranordnung erfindungsgemäß zwei Sensorelemente in einer Gradiometeranordnung auf, die jeweils einem von zwei in einem vorgegebenen Abstand angeordneten magnetischen Bereiche eines Spaltpermanentmagneten zugeordnet sind. Diese Bereiche und der gesamte Spaltpermanentmagnet sind in vorteilhafter Weise hinsichtlich der Abmaße, der Spaltbreite sowie der Spaltform, der Spalttiefe und ihrer Positionen zu den Sensorelementen so angeordnet, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente in der Gradiometeranordung minimiert ist.

Mit der Erfindung wird somit erreicht, dass die Auslegung eines Magnetkreises, der ein Arbeitsfeld für einen auf dem Gradiometerprinzip, d.h. mit einer Erfassung des Feldgradienten arbeitenden Sensors erzeugt, optimiert ist und somit einen offsetfreien Betrieb des Sensors bei Variation des magnetischen Feldes durch sich bewegende Geberelemente, insbesondere ferromagnetische Zahnräder, ermöglicht. Dazu wurde der Magnetkreis aus zwei Bereichen zusammengesetzt, deren Felder sich so überlagern, dass die sog. "in-plane"-Komponenten des resultierenden magnetischen Feldes, bzw. das Arbeitsfeld in der sensitiven x-Richtung bei XMR-Sensoren, an den Gradiometerpositionen soweit reduziert werden, dass sie durch den Einfluss der passiven Geberelemente um die Nulllage variieren. Somit können sehr kleine Signale offsetfrei detektiert werden.

Dies ist besonders bei sehr empfindlichen magnetoresistiven XMR-Sensoren von Vorteil, die möglichst ohne eine Offset-Korrektur einen großen Arbeitsbereich, d.h. sehr große bis sehr kleine Feldstärken, abdecken sollen. Im Vergleich zu Magnetkreisen, die aus mehreren separaten Komponenten bestehen, ist der erfindungsgemäße einkomponentige Spaltmagnet einfacher aufgebaut und kostengünstiger in der Herstellung.

In besonders vorteilhafter Weise weist der Spalt des Spaltmagneten eine keilförmige oder auch eine sonstige kurvenförmige Kontur auf. Diese Spaltform bewirkt, dass bei dem Magnetkreis die Offsetminimierung nicht auf die beiden Gradiometerpositionen reduziert ist, sondern über einen weiten Bereich parallel zur Oberfläche des Magneten bzw. einer Flussleitscheibe stattfindet. Somit ergeben sich deutlich reduzierte Positionierungsanforderungen an die Gradiometerposition des XMR-Sensorelements hinsichtlich der Magnetanordnung.

Weiterhin ist es jedoch auch möglich, dass der Spalt des Spaltpermanentmagneten eine rechteckige Kontur aufweist.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform sind zwischen den Sensorelementen und den magnetischen Bereichen Flussleitscheiben als Homogenisierungsplatten angeordnet. Damit wird das Feld in der Ebene der Sensorelemente homogenisiert und die notwendige Positioniergenauigkeit der Sensorelemente gegenüber dem Magnetpaar zum offsetfreien Betrieb reduziert.

Vorteilhaft ist es außerdem, wenn gemäß einer weiteren Ausführungsform die Magnetisierung der Bereiche abweichend von ihrer den Sensorelementen zugewandten Längsrichtung jeweils um einen vorgegebenen Winkel α gedreht ist.

Durch diese, durch die Schräglage des Feldes bedingte Vormagnetisierung wird erreicht, dass sich die Sensorelemente in einem Magnetfeld befinden, bei dem die Sensitivität durch ein sogenanntes Bias-Feld maximal ist. Auch hierbei ist eine Anordnung von den zuvor erwähnten Homogenisierungsplatten in vorteilhafter Weise möglich.

Besonders vorteilhaft lässt sich die Erfindung bei einer Magnetsensoranordnung zur Erfassung des Drehwinkels eines Rades als Geberelement einsetzen, wobei das Rad, z.B. als Stahlrad, an seinem Umfang mit Zähnen zur Beeinflussung des Magnetfeldes im Bereich der Magnetsensoranordnung versehen ist. Insbesondere bei einer Anwendung in einem Kraftfahrzeug ergeben sich Einsatzgebiete als Drehzahlfühler am Rad oder an der Kurbelwelle, als Phasengeber an der Nockenwelle, als Drehzahlsensor im Getriebe oder als sonstige Linearweg-, Winkel- oder Näherungssensoren, bei denen die Magnetfeldänderungen durch bewegte metallische Elemente induziert werden.

Zeichnung
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
1 eine Prinzipansicht einer Magnetsensoranordnung mit zwei magnetischen Bereichen, die Bestandteil eins einkomponentigen Spaltpermanentmagneten sind und die jeweils einem magnetoresistiven Sensorelement in einer Gradiometeranordnung gegenüberliegen,
2 eine gegenüber der 1 erweiterte Anordnung mit Flussleitscheiben als Homogenisierungsplatten,
3 ein Ausführungsbeispiel einer Magnetsensoranordnung mit zwei Einzelmagneten, die in Abwandlung zur 1 ein abgewinkelt liegendes Magnetfeld aufweisen,
4 ein Ausführungsbeispiel nach der 3 mit Homogenisierungsplatten entsprechend der 2,
5 eine Ansicht einer Magnetsensoranordnung für ein mit Stahlzähnen versehenes Geberrad,
6 ein Diagramm des Verlaufs des Magnetfeldes in Abhängigkeit von der Position eines Zahnes bzw. einer Zahnlücke des Geberrades nach der 5,
7 eine Prinzipansicht eines Ausführungsbeispiels der Magnetsensoranordnung mit einem Spaltpermanentmagneten, der in Abänderung von den vorher be schriebenen Ausführungsbeispielen einen keilförmigen Spalt aufweist,
8 eine gegenüber der 7 erweiterte Anordnung mit einer Flussleitscheibe,
9 ein Ausführungsbeispiel, bei dem der keilförmige Spalt in einer kompakten Flussleitscheibe angeordnet ist,
10 ein Ausführungsbeispiel, das in Abwandlung von der 7 abgewinkelt liegende Magnetfelder aufweist,
11 eine gegenüber der 10 erweiterte Anordnung mit einer Flussleitscheibe,
12 ein Ausführungsbeispiel mit einem abgewinkelten Magnetfeld, bei dem der keilförmige Spalt in einer kompakten Flussleitscheibe angeordnet ist,
13 eine Ansicht einer Magnetsensoranordnung mit keilförmigem Spalt für ein mit Stahlzähnen versehenes Geberrad und
14 ein Diagramm des Verlaufs des Magnetfeldes in Abhängigkeit von der Position eines Zahnes bzw. einer Zahnlücke des Geberrades nach der 13.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In 1 ist eine Prinzipansicht einer Magnetsensoranordnung 1 gezeigt, die einen als Spaltmagnet 2 ausgeführten Permanentmagneten aufweist. Der Spaltmagnet 2 weist beiderseits eines Spaltes 3 in gleicher Richtung magneti sierte Bereiche 4 und 5 auf, deren jeweiliges magnetisches Feld B mit hier angedeuteten Feldlinien in Richtung auf einen Sensor 6 ausgerichtet ist. Der Sensor 6 ist hier als XMR-Sensor ausgeführt und weist zwei magnetoresistive Sensorelemente 7 und 8 auf. Die Sensorelemente 7 und 8 sind in einer Gradiometeranordnung mit dem Gradiometerabstand GM dargestellt und erfassen die Änderungen des jeweiligen Feldgradienten, die z.B. durch ein metallisches Geberelement, z.B. ein in 5 gezeigtes Zahnrad, das an der Magnetsensoranordnung 1 vorbeigeführt wird, verursacht wird.
Die Einstellung des optimalen Arbeitspunktes des Sensors 6 erfolgt über den Abstand der Einzelmagnete 4 und 5, definiert durch die Spaltbreite sa und die Spalttiefe st, zueinander und kann an den Gradiometerabstand GM der Sensorelemente 7 und 8 angepasst werden. Weiterhin hängen die Feldlinienverläufe von den Abmaßen h, b und t des Spaltmagneten 2 ab. Für einen festen Gradiometerabstand GM, z.B. 2,5 mm, kann hier beispielsweise durch Größe, Material und Anordnung des Spaltmagneten 2 so bestimmt werden, dass der Sensor 6 offsetfrei arbeitet und somit möglichst kleine Signale detektieren kann um wiederum einen möglichst großen Abstand zu einem Geberelement zu ermöglichen.
Ohne ein außen vorbeigeführtes Geberelement, z.B. ein Zahnrad, verlaufen die magnetischen Feldlinien der Magnetsensoranordnung 1 so, dass am Ort der Sensorelemente 7 und 8 eine kleine sogenannte "in-plane"-Komponente nach außen existiert. Durch den Einsatz z.B. eines sich bewegenden Zahnrads kommt es zu einer Variation des Magnetfeldes, wobei die "in-plane"-Komponenten um die Nulllage moduliert werden und damit ein offsetfreies Signal der Gradiometeranordnung erzeugen.
Aus 2 ist ein Ausführungsbeispiel zu entnehmen, bei dem in Abwandlung zu dem Ausführungsbeispiel nach der 1 zusätzliche Homogenisierungsplatten 9 und 10 zwischen den Oberflächen der magnetischen Bereiche 4 und 5 und dem Sensor 6 angebracht sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird mit den Homogenisierungsplatten 9 und 10 das Feld in der Ebene des Sensors 6 homogenisiert und damit die notwendige Positioniergenauigkeit des Sensors 6 gegenüber dem Magnetpaar bzw. der Bereiche 4 und 5 zum offsetfreien Betrieb reduziert.
Bei einigen Anwendungsbeispielen mit den zuvor beschriebenen magnetoresistiven XMR-Sensorelementen 7 und 8 benötigen die Sensorelemente 7 und 8 eine konstante Vormagnetisierung. Durch diese Vormagnetisierung wird erreicht, dass sich die Sensorelemente 7 und 8 in einem Magnetfeld befinden, bei dem die Sensitivität maximal ist. Realisiert wird dieses sogenannte Bias-Feld jeweils mit einem aus 3 und 4 zu entnehmenden Ausführungsbeispiel.
Wie in den 3 und 4 gezeigt, wird dieses Bias-Feld durch eine Drehung der Magnetisierung B in den Bereichen 4 und 5 um den Winkel α realisiert. Dabei lassen sich auch hier, wie zuvor beschrieben, wiederum zwei Aufbauvarianten ohne (3) und mit einer Justageverbesserung durch Homogenisierungsplatten 9 und 10 (4) realisieren.
In 5 ist ein Ausschnitt eines Modells dargestellt, bei dem die erfindungsgemäße Magnetsensoranordnung 1, beispielsweise nach der 1, im Zusammenhang mit einem Geberrad 11, das mit Zähnen 12 versehen ist, angewen det wird. Als Beispiel ist in einem Diagramm nach 6 ein Messergebnis dargestellt. Aufgetragen ist hier die sogenannte "in-plane"-Komponente des magnetischen Feldes Bx über der Gradiometerposition relativ zur Mitte des Sensors 6, jeweils für einen Zahn 12 (Verlauf 13) und für eine Zahnlücke (Verlauf 14).
Es ist hier bei einem vorgegeben konstruktiven Versuchsaufbau mit einem Gradiometerabstand GM von 2,5 mm zu erkennen, dass der Verlauf des Magnetfeldes Bx an der Sensorelementposition 1,25 mm für die zwei simulierten Positionen des Geberrades 11 (Zahn 12, Verlauf 13) und der Lücke (Verlauf 14)) symmetrisch um die Nulllage erfolgt, das heißt, dass das Signal des jeweiligen Sensorelementes 7, 8 offsetfrei ist.
In 7 ist ein für die Erreichung der erfindungsgemäßen Vorteile besonders günstiges Ausführungsbeispiel eines Spaltmagneten 20 gezeigt, der einen keilförmigen Spalt 2l aufweist. Die 7 zeigt hier in vergleichbarer Weise wie bei der 1 den Spaltmagneten 20 und dessen Position relativ zu den Sensorelementen 7 und 8 in einer Gradiometeranordnung. Die Einstellung des optimalen Arbeitspunktes erfolgt hier über die spezielle Formgebung und die Abmaße des keilförmigen Spalts 21.
Aus 8 ist in Abwandlung zu der 7 eine Variante des Spaltmagneten 20 zu entnehmen, die mit einer Flussleitscheibe 22 versehen ist, die sich der Form des Spaltes 21 anpasst.
9 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Magneten 23, bei dem anstelle eines geeignet geformten Spaltes 21 im Spaltmagneten eine speziell geformte Flussleitscheibe 24 auf der Oberfläche des rechteckigen Magneten 23 zum Ein satz kommt. Durch die Eigenschaften des weichmagnetischen Materials der Flussleitscheibe 24 wird das Feld in der Ebene der Sensorelemente 7 und 8 anders geformt als bei einem reinen Magneten, wobei die x-Komponente (vgl. 7) des Magnetfelds über weite x-Bereiche minimiert wird.
Es kann eventuell vorteilhaft sein, wenn bei der Verwendung von sogenannten XMR-Sensoren die Sensorelemente 7 und 8 eine konstante Vormagnetisierung bewirkt wird. Durch diese Vormagnetisierung wird erreicht, dass sich die Sensorelemente 7 und 8 in einem Magnetfeld befinden, bei dem die Sensitivität maximal ist. Dies kann durch ein „Bias-Feld" gemäß 10 und daran anschließend auch gemäß 11 und 12 durch eine Drehung der Magnetisierung B in den Magneten 20 bzw. 23 bewirkt werden.
In der 10 ist eine Anordnung ohne Flussleitscheibe (vgl. 7), in der 11 ist eine Anordnung mit einer Flussleitscheibe 22 (vgl. 8) und in der 12 ist eine Anordnung mit einer kompakten Flussleitscheibe 24 mit eingearbeitetem Spalt 21 (vgl. 9) gezeigt.
Aus 13 ist ein mit der 5 vergleichbarer Ausschnitt einer Anordnung zu entnehmen, mit dem Magnetfeldsimulationen zur Auslegung der Keilform des Spaltes 21 der Flussleitscheibe 24 durchgeführt werden können.
Mit dieser Anordnung können für einen festen Gradiometerabstand, als Beispiel wurden 2,5 mm gewählt, Magnetfeldsimulationen durchgeführt und die Größe, das Material und die Form des Spalts 21 so bestimmt werden, dass der Sensor bei hoher Sensitivität offsetminimiert arbeitet und somit möglichst kleine Signale detektieren kann. Damit erreicht man in einer Anwendung große Abstände zum einem ferromagnetischen Geberrad.
Wie schon in der Beschreibungseinleitung erwähnt, ist die Form des Spaltes 21 von großer Bedeutung, wobei insbesondere von der Rechteckform abweichende Geometrien vorteilhaft sind. Dabei kann es sich, wie anhand der 7 bis 14 dargestellt, um einen keilförmigen Spalt 21 oder auch um eine beliebige kurvenartige Ausformung des Spalts handeln. Die optimierte Formgebung des Spaltes 21 gewährleistet eine Offsetreduktion des Magnetfeldes B in Gradiometerrichtung nicht nur an den zwei Positionen der Sensorelemente 7 und 8 sondern über einen weiten Bereich hinaus, so dass die erforderliche Positioniergenauigkeit des Gradiometers gegenüber dem Magneten 20 deutlich herabgesetzt werden kann.
Als Beispiel ist in 14 wiederum ein Simulationsergebnis dargestellt. Aufgetragen ist hier die x-Komponente des B-Feldes (Bx) über der Gradiometerposition x relativ zur Sensormitte. Es ist zu erkennen, dass hier der Betrag des Offsets des Magnetfeldes B über einen weiten Bereich kleiner als 1mT ist. Es ist auch hier zu erkennen, dass der Verlauf des Magnetfeldes Bx für die zwei simulierten Positionen des Geberrades 11 (Zahn 12, Verlauf 25) und der Lücke (Verlauf 26)) symmetrisch um die Nulllage erfolgt, das heißt, dass das Signal des jeweiligen Sensorelementes 7, 8 offsetfrei ist. Der magnetische Hub als Unterschied zwischen der Position Zahn und Lücke, bleibt jedoch unverändert hoch.

Claims

Magnetsensoranordnung mit – magnetfeldempfindlichen Sensorelementen (7, 8) deren elektrische Eigenschaften in Abhängigkeit von einem Magnetfeld veränderbar sind, das durch ein bewegtes passives Geberelement (11) beeinflussbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass – die Magnetsensoranordnung (1) zwei Sensorelemente (7, 8) in einer Gradiometeranordnung aufweist, die jeweils einem von zwei in einem vorgegebenen Abstand (sa) angeordneten Bereichen (4, 5) eines als Spaltmagneten (2) ausgeführten Permanentmagneten zugeordnet sind, – wobei die magnetischen Bereiche (4, 5) und der Spaltpermanentmagnet (2; 20) hinsichtlich der Abmaße (h, b, t), der Spaltbreite (sa) sowie der Spalttiefe (st) und ihrer Positionen zu den Sensorelementen (7, 8) so angeordnet sind, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente (7, 8) in der Gradiometeranordung minimiert ist.
Magnetsensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – der Spalt (21) in Richtung der Spalttiefe (st) des Spaltpermanentmagneten (20; 23) eine Kontur mit einer keilförmigen Verengung aufweist.
Magnetsensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – der Spalt des Spaltpermanentmagneten (2) eine rechteckige Kontur aufweist.
Magnetsensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – der Spalt in Richtung der Spalttiefe (st) des Spaltpermanentmagneten eine vorgegebene kurvenförmige Kontur aufweist.
Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – zwischen den Sensorelementen (7, 8) und den magnetischen Bereichen (4, 5) Flussleitscheiben (9, 10) angeordnet sind.
Magnetsensoranordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass – als Flussleitscheibe (24) ein kompakter Körper angeordnet ist, in den der Spalt (21) eingeformt ist.
Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Magnetisierung der Bereiche (4, 5) abweichend von ihrer den Sensorelementen (7, 8) zugewandten Längsrichtung jeweils um einen vorgegebenen Winkel (α) gedreht ist.
Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Magnetsensoranordnung (1) zur Erfassung des Drehwinkels eines Rades (11) als Geberelement eingesetzt ist, wobei das Rad (11) an seinem Umfang mit Zähnen (12) zur Beeinflussung des Magnetfeldes im Bereich der Magnetsensoranordnung (1) versehen ist.
Magnetsensoranordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass – das Rad (11) ein Stahlrad ist.
Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Sensorelemente (7, 8) magnetoresistive XMR-Sensoren sind.