DE19753303A1 - Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmeßgeräten und Koordinatenmeßgerät - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmeßgeräten, bei dem ein Tastkopf mit einem daran beweglich befestigten Taster verfahren wird und bei dem der Taster mit einer Meßkraft gegenüber dem Tastkopf beaufschlagt wird, sowie ein entsprechendes Koordinatenmeßgerät.

Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der deutschen Patentschrift DE 42 12 455 C2 bekannt. Bei diesem bekannten Verfahren werden Geometriedaten von Geometrieelementen des Werkstücks in Form von Solldaten von einem Rechner an die Steuerung des Koordinatenmeßgerätes übergeben. In der Steuerung werden die Solldaten in das Maschinenkoordinatensystem transformiert und anschließend an einen Interpolator gegeben, der die Lagesollwerte generiert, auf denen der Tastkopf mit dem daran beweglich befestigen Taster gesteuert verfahren wird. Außerdem wird in einem Ausführungsbeispiel zusätzlich von dem besagten Rechner an die Steuerung des Koordinatenmeßgeräts eine Sollmeßkraft übergeben, aufgrund derer ein Kraftregler den Taster laufend mit einer Meßkraft gegenüber dem Tastkopf beaufschlagt, die dem Betrag nach konstant ist und immer normal auf die zu vermessende Oberfläche des Werkstückes steht.

Die Besonderheit des hierin gezeigten Verfahrens ist darin zu sehen, daß der Betrag der eingestellten Meßkraft während des gesamten Meßablaufes konstant ist und der vorgegebenen Soll­ meßkraft entspricht. Die tatsächliche Tastkraft, mit der die Tastkugel des Tasters an die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes angepreßt wird verändert sich jedoch bedingt durch Massenträgheitskräfte die bei Beschleunigungen des Tasters auftreten. Insbesondere beim Abtasten von gekrümmten Ober­ flächenabschnitten des Werkstückes treten Zentrifugal­ beschleunigungen auf, die bei konkaven Krümmungen in Richtung der Meßkraft wirken, so daß die tatsächliche Kraft, mit der die Kugel des Tasters auf die Oberfläche des zu vermessenden Werk­ stückes gepreßt wird sich erhöht. Bei konvexen Krümmungen wirken die Zentrifugalbeschleunigungen der Meßkraft entgegen und verringern somit die tatsächliche Kraft mit der die Kugel des Tasters auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes gepreßt wird. Beim schnellen Abfahren von konvexen Krümmungen kann sogar die Zentrifugalkraft die aufgeschaltete Meßkraft übersteigen, so daß hierdurch der Taster, bzw. die hieran befestigte Kugel von der Werkstückoberfläche abhebt. In jedem Falle werden durch die besagten Wirkungen die Meßergebnisse verfälscht, so daß zur Vermeidung der besagten Effekte die Bahngeschwindigkeit des Tasters vor dem Erreichen von gekrümmten Oberflächenabschnitten des Werkstückes stark vermindert wurden, wie dies beispielsweise detailliert in der nachveröffentlichten deutschen Patentanmeldung DE 195 29 547.1 beschrieben ist.

Die Verminderung der Bahngeschwindigkeit führt jedoch insbesondere bei Werkstücken, die viele Krümmungen aufweisen, wie beispielsweise Zahnräder, Wellen, Motorblöcke etc. zu hohen Meßzeiten.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmeßgeräten vorzu­ schlagen, bei dem die Meßzeit stark verringert werden kann.

Die Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der Ansprüche 1 und 5 gelöst.

Der gemeinsame Grundgedanke der Erfindung ist darin zu sehen, daß sich die aufgeschaltete Meßkraft (mess) zusammensetzt

• - aus einer dem Betrag nach konstanten, normal auf die Ober­ fläche der zu vermessenden Werkstückes (15) gerichteten Sollmeßkraft (soll) und
• - einer Korrekturmeßkraft (korr), die der zumindest teilweisen Kompensation von durch die Beschleunigung des Tasters (24) auftretenden Massenträgheitskräfte (tr, zp) dient.

Der besondere Vorteil des Verfahrens ist insbesondere darin zu sehen, daß auch gekrümmte Oberflächenabschnitte mit einer relativ hohen Bahngeschwindigkeit abgetastet werden können, ohne daß sich hierdurch die Kraft ändert, mit der die am Taster befestigte Kugel auf die Werkstückoberfläche gepreßt wird. Hierdurch kann die Meßzeit insbesondere bei Werkstücken mit einer Vielzahl von gekrümmten Oberflächenabschnitten, wie beispielsweise Zahnrädern, Zylindern, Motorblöcken, etc. erheblich schneller vermessen werden, als dies bisher möglich war.

Die Ermittlung der Korrekturmeßkraft kann hierbei auf unter­ schiedliche Weise erfolgen. Eine Möglichkeit besteht beispiels­ weise darin beim Auftreten von Massenträgheitskräften, eine dem Betrag nach konstante Korrekturmeßkraft vorzugeben, die von ihrer Richtung her der Massenträgheitskraft entgegenwirkt.

Hierdurch können auf einfache Weise in einem Koordinatenmeß­ gerät Massenträgheitskräfte des Tasters kompensiert werden, so daß die am Taster befestigte Kugel zumindest beim abtasten von konvex gekrümmten Oberflächenabschnitten nicht mehr abheben kann. Das Verfahren weist jedoch den Nachteil auf, daß die auftretenden Massenträgheitskräfte nur sehr undifferenziert korrigiert werden, so daß es hierbei nach wie vor zu Meßfehlern kommt.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird die Korrekturmeßkraft proportional zu den besagten Massenträgheits­ kräfte gewählt, wobei der Proportionalitätsfaktor vorteilhaft so gewählt wird, daß die Richtung der Korrekturmeßkraft genau entgegengesetzt zur resultierenden Massenträgheitskraft ist und der Betrag der Korrekturmeßkraft gleich dem Betrag der resultierenden Massenträgheitskraft ist.

Die Korrekturmeßkraft wird üblicherweise aus der Bahn­ beschleunigung des Tastkopfes ermittelt, wobei sich die Bahn­ beschleunigung besonders vorteilhaft entweder aus der zeitlichen Ableitung der gemessenen Maschinenpositionen oder aus der zeitlichen Ableitung der Lagesollwerte ermitteln läßt. Weiterhin ließe sich die Bahnbeschleunigung auch rein qualitativ aus der Krümmung der Bahn abschätzen. Selbstverständlich kann die Beschleunigung auch durch einen Beschleunigungsaufnehmer ermittelt werden, der beispielsweise im Tastkopf untergebracht sein kann.

Weitere Vorteile und Weiterbildungen der Erfindung sind den Figuren zu entnehmen.

Hierin zeigen:

Fig. 1 eine einfache Prinzipskizze mit wesentlichen Komponenten der Steuerung eines Koordinatenmeß­ gerätes, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann;

Fig. 2 eine Prinzipskizze eines Abtastvorganges eines Werk­ stückes mit einer Steuerung gemäß Fig. 1.

Fig. 1 zeigt eine einfache Prinzipskizze der Steuerung (1) eines Koordinatenmeßgerätes, die einen Tastkopf (2) und einen daran beweglich befestigten Taster (24) nach Solldaten gesteuert verfährt.

Bevor die Funktion der Steuerung (1) beschrieben wird, soll an dieser Stelle auf die genaue Definition des Begriffes Taster (24) eingegangen werden. Im Zusammenhang mit der hier gezeigten Steuerung (1) sollen unter dem Begriff Taster (24) all diejenigen Komponenten verstanden werden, die beweglich am Tastkopf (2) befestigt sind. Hierzu zählen bei dem hier nur beispielhaft gezeigten Taster (24) neben dem Taststift (19) und der Tastkugel (7) auch die nicht gezeigte Wechselhalterung, über die der Taststift (19) auswechselbar am Tastkopf (2) befestigt ist, die Mechanik die den Taststift (19), die Tast­ kugel (7) und die Wechselhalterung beweglich am Tastkopf (2) lagert, die Tauchspulen der Meßkraftgeneratoren sowie die Tauchspulen, die der Messung der Taststiftauslenkung dienen.

Die genaue Funktion des Koordinatenmeßgeräts soll nun im folgenden erläutert werden. Die Steuerung (1) des Koordinaten­ meßgerätes ist über die Eingangsschnittstelle (10) und die Sendeschnittstelle (17) mit dem Auswerterechner (20) des Koordinatenmeßgerätes verbunden. Über die Eingangsschnittstelle (10) werden vom Rechner (20) u. a. folgende Daten an die Steuerung (1) übergeben:

• a) die Transformationsmatrix (T), die die Lage des Werkstück­ koordinatensystems (WKS) im Maschinenkoordinatensystem (MKS) des Koordinatenmeßgeräts beschreibt;
• b) der Vektor (), der die Ablage des Mittelpunkts der verwendeten Tastkugel (7) im Maschinenkoordinatensystem (MKS) von einem Bezugspunkt am Tastkopf (2) des Koordinatenmeßgeräts beschreibt;
• c) der Betrag der Sollmeßkraft (Fsoll), die der Taststift (19) bzw. die daran befestigte Tastkugel (7) auf das abzutastende Werkstück (15) ausüben soll.

Außerdem werden über die Eingangsschnittstelle (10) die Informationen übergeben, die zur Beschreibung der von dem Tast­ stift (19) bzw. der daran befestigten Tastkugel (7) abzufahrenden Sollkontur erforderlich sind. Das sind beispiels­ weise Punktefolgen (Pi(x, y, z)). Gleichzeitig können auch, soweit vorhanden, für die einzelnen Punkte (Pi (x, y, z)) jeweils zugeordnete Normalenvektoren (i) übergeben werden, die die normale Richtung auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (15) an den betreffenden Punkten beschreiben.

Das wichtigste Bauelement der Steuerung (1) sind ein oder mehrere Mikroprozessoren. Demzufolge sind einige der in Fig. 1 bezeichneten Funktionsbaugruppen nicht in Hardware realisiert, sondern Teil der Firmware dieser Mikroprozessoren. Das gilt beispielsweise auch für die auf die Eingangsschnittstelle (10) folgende Funktionsbaugruppe (11) "Transformation Steuerdaten". Die Funktionsbaugruppe (11) "Transformation Steuerdaten" berechnet aus den erhaltenen Informationen die Bahndaten, mit denen die Tastkugel (7) gegenüber dem Werkstück (15) verfahren wird. Diese Bahndaten werden durch eine Koordinatentransfor­ mation in das Steuersystem, d. h. das Maschinenkoordinatensystem (MKS) übertragen.

In der Funktionsbaugruppe (12) "Interpolation" werden im steuereigenen Systemtakt die aufbereiteten diskreten abzufahrenden Bahndaten (Si) nach einem vorgegebenen Algorithmus, beispielsweise linear oder nach einem Spline-Al­ gorithmus interpoliert und Lagesollwerte (Li) an den nachgeordneten Lageregler (3) für die Antriebe der drei Meß­ achsen des Koordinatenmeßgerätes übergeben.

Die im Lageregler (3) erzeugten Lagesollwerte werden anschließend von digital nach analog gewandelt und als analoge Stellgrößen an die drei Antriebe (4) für die x-, y- und z-Achse des Koordinatenmeßgerätes übergeben. Ebenfalls an den Lage­ regler (3) angeschlossen sind die Wegmeßsysteme (5) des Koordinatenmeßgerätes und zwar über die Funktionsbaugruppe (6) Meßwerterfassung. Diese Funktionsbaugruppe (6) sorgt für eine zyklische Erfassung der Maschinenpositionen (xm, ym, zm), also der Position des Tastkopfs (2) im Maschinenkoordinatensystem (MKS) und schließt den Positionsregelkreis für die drei Meß­ achsen des Koordinatenmeßgeräts.

Die Steuerung (1) nach Fig. 1 enthält ebenfalls die Elektronik (8) zur Weiterverarbeitung der von den Meßwertgebern im Tast­ kopf (2) abgegebenen Signale, die das Auslenken des Tasters (24) beim Kontakt der am Taststift (19) befestigten Tastkugel (7) mit dem Werkstück (15) in den drei Raumrichtungen beschreiben. Die von diesen Meßwertgebern kommenden und in der Elektronik (8) aufbereiteten Lagesignale werden in der Funktionsbaugruppe (9) in digitale Signale, im folgenden die Tasterauslenkung (xT, yT, zT) umgewandelt. Die Tasterauslenkung (xT, yT, zT) ist ebenso wie die Maschinenpositionen (xm, ym, zm) über eine noch weiter unten zu beschreibende Funktions­ baugruppe (23) "Korrektur" auf die Sendeschnittstelle (17) gelegt und werden vom Rechner (20) zur Berechnung des Meßergeb­ nisses benötigt.

Außerdem weist die Steuerung (1) einen mit der Funktions­ baugruppe (9) verbundenen Regler (16) auf, der die Taster­ auslenkung (xT, yT, zT), die die Auslenkung des Taststifts in den drei Raumrichtungen beschreibt, überwacht. Überschreitet die Tasterauslenkung (xT, yT, zT) gewisse vorgegebene Werte, so schaltet der Regler (16) auf die Funktionsbaugruppe (12) "Interpolator" eine Störgröße, durch die die Bahn derart korrigiert wird, daß die Auslenkung des Tasters (24) wieder in den zulässigen Bereich zurückgeführt wird.

Im folgenden soll nun der Kraftregler (18) beschrieben werden mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann.

Der in der Steuerung (1) angeordnete Kraftregler (18) stellt die Beaufschlagung des Tasters (24) mit einer Meßkraft (mess) gegenüber dem Tastkopf (2) ein, wobei sich die Meßkraft (mess) zusammensetzt

• - aus einer dem Betrag nach konstanten, normal auf die Ober­ fläche des zu vermessenden Werkstückes (15) gerichteten Sollmeßkraft (soll) und
• - einer Korrekturmeßkraft (korr), die der zumindest teilweisen Kompensation von durch die Beschleunigung des Tasters (24) auftretenden Massenträgheitskräfte (tr, zp) dient.

Zum Erzeugen der Meßkraft sind im Tastkopf (2) entweder, wie im hier gezeigten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1, einstellbare Meßkraftgeneratoren oder aber Federn, die eine der Auslenkung des Tasters (24) in den Meßrichtungen (x, y, z) proportionale Meßkraft erzeugen, vorgesehen.

Die hier verwendeten Meßkraftgeneratoren, sind in Form von z. B. Linearmotoren oder Tauchspulenmagneten realisiert. Die Meß­ kraftgeneratoren lenken den Taster (24) auf ein vorgegebenes Signal (mess) hin in den drei Raumrichtungen (x, y, z) aus. Die entsprechende Funktionsbaugruppe (13) "Antriebe Tako" erhält die Information über Betrag und Richtung der einzu­ stellenden Meßkraft (mess) sowohl von der Funktionsbaugruppe (11) "Transformation Steuerdaten" in Form des Signals einer Sollmeßkraft (soll), wie auch von der Funktionsbaugruppe (21) "Berechnung Korrekturmeßkraft" in Form eines Signals, das die Korrekturmeßkraft (korr) angibt.

Das Signal für die Sollmeßkraft (soll) gibt für jede der drei Raumrichtungen (x, y, z) Richtung und Betrag der einzustellenden Meßkraft an, so daß die hierdurch eingestellte Meßkraft (mess) normal auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (15) steht und der Betrag der hieraus resultierenden Meßkraft dem Betrag des durch den Rechner (20) an die Funktionsbaugruppe (11) "Transformation Steuerdaten" übergebenen Wertes der Sollmeßkraft (soll) entspricht. Das an der Funktionsbaugruppe (13) "Antriebe Tako" anliegende Signal der Sollmeßkraft (soll) wird in der Funktionsbaugruppe (11) "Transformation Steuerdaten" über den vom Rechner (20) eingegebenen Betrag der Sollmeßkraft (soll) und aus den zu den einzelnen Punkten (Pi) gehörenden Normalenvektoren (i) generiert.

Darüberhinaus wird die Meßkraft (mess) durch die Funktions­ baugruppe (13) "Antriebe Tako" zusätzlich auf Basis des Signales für die Korrekturmeßkraft (korr) eingestellt, die der Sollmeßkraft (soll) überlagert wird. Auch die Korrektur­ meßkraft (korr) gibt für jede der drei Raumrichtungen (x, y, z) nach Betrag und Richtung die zusätzlich aufzuschaltende Korrekturmeßkraft vor. Das Signal der Korrekturmeßkraft (korr) wird hierbei durch die Baugruppen (22) "Berechnung Bahn­ beschleunigung" und durch die Funktionsbaugruppe (21) "Berechnung Korrekturmeßkraft" wie folgt ermittelt.

Die Funktionsbaugruppe (22) "Berechnung Bahnbeschleunigung" ermittelt aus den durch die Funktionsbaugruppe (6) "Meßwerterfassung" erfaßten Maschinenpositionen (xm, ym, zm) für jede der Raumrichtungen (x, y, z) die zweite Ableitung nach der Zeit, so daß hierdurch ein dreidimensionaler Bahn­ beschleunigungsvektor () ermittelt wird:

Der so berechnete Bahnbeschleunigungsvektor () wird dann an die Funktionsbaugruppe (21) "Berechnung Korrekturmeßkraft" weitergegeben, in der der Bahnbeschleunigungsvektor () mit der Tastermasse (mtast) wie folgt multipliziert wird,

korr = mtast .

um hierdurch einen Vektor für die Korrekturmeßkraft (korr) zu erhalten.

Die Tastermasse (mtast) ist hierbei die Gesamtmasse des Tasters (24) und kann wie folgt ermittelt werden. Das Koordinatenmeß­ gerät mit dem ungeklemmten Taster (24) wird so verfahren, daß der Taster (24) einer sowohl richtungs- wie auch betragsmäßig konstanten Bahnbeschleunigung (tm) ausgesetzt ist, wobei hier­ bei die Kraft (halt) gemessen wird, die benötigt wird, um den Taster (24) in seiner Ruheposition zu halten. Über die Beziehung

läßt sich dann einfach die Tastermasse (mtast) errechnen. Es gilt hierbei, wie bereits oben ausgeführt, zu beachten, daß in die Tastermasse (mtast) nicht ausschließlich der Taststift (19) und die Tastkugel (7) eingehen, sondern gleichfalls alle hier­ mit festverbundenen Teile, die beweglich gegenüber dem Tastkopf (2) gelagert sind.

Der berechnete Vektor der Korrekturmeßkraft (korr) wird hier­ bei, wie bereits beschrieben an die Funktionsbaugruppe (13) "Antriebe Tako" übergeben und hierin mit der Sollmeßkraft (soll) durch eine Vektor-Addition überlagert und der hieraus resultierende Vektor der Meßkraft (mess) verwendet, um den Taster (24) mit der besagten Meßkraft (mess) gegenüber dem Tastkopf (2) zu beaufschlagen.

Da die in der Funktionsbaugruppe (21) "Berechnung Korrekturmeß­ kraft" berechnete Korrekturmeßkraft (mess) betragsmäßig identisch der durch die Bahnbeschleunigung () erzeugten Massenträgheitskraft (tr, zp) entspricht und richtungsmäßig genau entgegengesetzt zur Massenträgheitskraft (tr, zp) wirkt, stellt also der Kraftregler (18) die Korrekturmeßkraft (korr) proportional zu den besagten Massenträgheitskräften (tr, zp) ein, wobei der Kraftregler (18) die Korrekturmeß­ kraft (korr) aus der Bahnbeschleunigung () des Tastkopfes (2) bestimmt. Die Bahnbeschleunigung () kann dabei entweder wie in der Steuerung (1) gemäß Fig. 1 aus der zeitlichen Ableitung der gemessenen Maschinenpositionen (xm, ym, zm) oder aber genauso gut auch aus der zeitlichen Ableitung der Bahnstütz­ punkte (Li) ermittelt werden.

Selbstverständlich kann die Beschleunigung auch durch einen Beschleunigungsaufnehmer ermittelt werden, der beispielsweise im Tastkopf untergebracht sein kann. Es sind hierbei seismische oder piezoelektrische Beschleunigungsaufnehmer denkbar.

Die bei beschleunigten Bewegungen des Tasters (24) bzw. des Tastkopfes (2) auftretenden Massenträgheitskräfte verursachen jedoch neben einer Veränderung der Meßkraft (mess) auch Durch­ biegungen der Komponenten des Koordinatenmeßgerätes wie insbesondere des Taststiftes (19) und der Mimik, an der der Tastkopf (2) aufgehängt ist. Selbst wenn keine Massenträgheits­ kräfte auftreten, kann der Taststift (19) alleine schon aufgrund der anliegenden Meßkraft (mess) verbogen werden. Es ist deshalb besonders vorteilhaft in der Steuerung (1) gemäß Fig. 1 eine Funktionsbaugruppe (23) "Korrektur" vorzusehen, in der die Tasterauslenkung (xT, yT, zT) sowie die Maschinen­ positionen (xm, ym, zm) entsprechend einer vorher abge­ speicherten Korrekturtabelle in Abhängigkeit von den Lagesoll­ werte (Li) und den Daten der Baugruppe 11 "Transformation Steuerdaten" korrigiert werden. Die genaue Vorgehensweise zur Korrektur der entsprechenden Signale ist beispielsweise detailliert in den Offenlegungsschriften DE 44 36 507 A1 und DE 195 18 268 A1 der Patentanmelderin beschrieben, auf die hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird.

Es ist somit also eine Funktionsbaugruppe (23) vorgesehen, die sowohl die statische, wie auch die dynamische Biegung des Tast­ stiftes (19) und der Mimik des Koordinatenmeßgerätes korrigiert.

Weitere Informationen zu einzelnen Funktionsbaugruppen der beschriebenen Steuerung (1) befinden sich in der eingangs genannten DE 42 12 455 C2 der Anmelderin, auf die an dieser Stelle ausdrücklich Bezug genommen wird.

Die genaue Funktionsweise der Steuerung 1 soll im folgenden anhand von Fig. 2 noch einmal verdeutlicht werden. Mit S ist hierbei die Bahn bezeichnet, auf der die Tastkugel (7) verfahren werden soll. (S1, S2, S3, . . .) sind hierbei die einzelnen Bahndaten (Si), die von der Funktionsbaugruppe 11 "Transformation Steuerdaten" an die Funktionsbaugruppe (12) "Interpolation" übergeben wurden, wobei die Funktionsbaugruppe (12) "Interpolation" dann zwischen den Bahndaten (S1, S2, S3, . . .) wie oben beschrieben die Lagesollwerte (L1, L2, . . .) berechnet auf denen die Tastkugel (7) in einem fest vorgegebenen Zeittakt von Lagesollwert (Li) zu Lagesollwert (Li+1) verfährt. Wie aus der Fig. 2 ersichtlich, befindet sich die Tastkugel (7) am Lagesollwert (L1) in einer Bewegung mit konstanter Geschwindigkeit, so daß keine Massenträgheitskräfte auftreten. Der Taster (24) wird hier deshalb nur mit der Betragsmäßig konstanten und normal auf die Oberfläche des Werk­ stückes (15) wirkenden Sollmeßkraft (soll) beaufschlagt. Die Kraft (tast), mit der die Tastkugel (7) auf die Werkstückober­ fläche des Werkstückes (15) aufgepreßt wird entspricht deshalb betrags- und richtungsmäßig der Sollkraft (soll). Am Lagesoll­ wert (L6) wird der Taster (24) über einen konkav gekrümmten Oberflächenabschnitt des Werkstückes (15) geführt, so daß hierbei eine Massenträgheitskraft in Form einer Zentrifugal­ kraft (zp) auftritt. Die Baugruppen (22) "Berechnung Bahn­ beschleunigung" und (21) "Berechnung Korrekturmeßkraft" ermitteln deshalb wie oben detailliert beschrieben eine Korrekturmeßkraft (korr), die zusätzlich zur normal auf die Werkstückoberfläche stehende Sollmeßkraft (soll) aufgeschaltet wird, so daß sich die resultierende Meßkraft (mess) aus der Sollmeßkraft (soll) und der Korrekturmeßkraft (korr) zusammensetzt. Da die Korrekturmeßkraft (korr) die Zentrifugalkraft (zp) kompensiert entspricht die tatsächlich wirkende Kraft (tast), mit der die Tastkugel (7) auf der Werkstückoberfläche angepreßt wird folglich der Sollmeßkraft (soll). Analog verhält sich die Situation im Lagesollwert (L12) mit dem einzigen Unterschied, daß hier ein konkav gekrümmter Oberflächenabschnitt vermessen wird, so daß eine Zentrifugalkraft (zp) auf die Oberfläche zu gerichtet ist, während die Korrekturmeßkraft (korr) von der Werkstückober­ fläche wegzeigt.

Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die hier gezeigten Ausführungsformen beschränkt. Es sollen vielmehr auch alle Ausführungsformen miterfaßt sein, die dem Sinngehalt der Erfindung entsprechen.

Claims (10)

1. Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmeßgeräten, bei dem ein Tastkopf (2) mit einem daran beweglich befestigten Taster (24) verfahren wird und bei dem der Taster (24) mit einer Meßkraft (mess) gegenüber dem Tastkopf (2) beaufschlagt wird, wobei sich die Meßkraft (mess) zusammensetzt

• - aus einer dem Betrag nach konstanten, normal auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (15) gerichteten Sollmeßkraft (soll) und
• - einer Korrekturmeßkraft (korr), die der zumindest teilweisen Kompensation von durch die Beschleunigung des Tasters (24) auftretenden Massenträgheitskräfte (tr, zp) dient.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Korrekturmeßkraft (korr) proportional zu den besagten Massenträgheitskräften (tr, zp) gewählt wird.

3. Verfahren nach Ansprüchen 1-2, wobei die Korrekturmeßkraft (korr) aus der Bahnbeschleunigung () des Tastkopfes (2) bestimmt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Bahnbeschleunigung () des Tastkopfes (2) entweder aus der zeitlichen Ableitung der gemessenen Maschinenpositionen (xm, ym, zm) oder aus der zeitlichen Ableitung der Lagesollwerte (Li) ermittelt wird.

5. Koordinatenmeßgerät mit

• - einer Steuerung (1), die einen Tastkopf (2) und einen daran beweglich befestigten Taster (24) verfährt
• - einem Kraftregler (18), der die Beaufschlagung des Tasters (24) mit einer Meßkraft (mess) gegenüber dem Tastkopf (2) einstellt, wobei sich die Meßkraft (mess) zusammensetzt
• - aus einer dem Betrag nach konstanten, normal auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (15) gerichteten Sollmeßkraft (soll) und
• - einer Korrekturmeßkraft (korr), die der zumindest teilweisen Kompensation von durch die Beschleunigung des Tasters (24) auftretenden Massenträgheitskräfte (tr, zp) dient.

6. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 5, wobei die Korrektur­ meßkraft (korr) durch den Kraftregler (18) ermittelbar ist und proportional zu den besagten Massenträgheitskräften (tr, zp) gewählt wird.

7. Koordinatenmeßgerät nach Ansprüchen 5-6, wobei der Kraft­ regler (18) die Korrekturmeßkraft (korr) aus der Bahn­ beschleunigung () des Tastkopfes (2) bestimmt.

8. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 7, wobei der Kraftregler (18) die Bahnbeschleunigung () entweder aus der zeitlichen Ableitung der gemessenen Maschinenpositionen (xm, ym, zm) oder aus der zeitlichen Ableitung der Lage­ sollwerte (Li) ermittelt.

9. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 5, wobei der Tastkopf (2) zum Erzeugen der Meßkraft entweder einstellbare Meß­ kraftgeneratoren umfaßt oder Federn, die eine der Auslenkung des Tasters (24) in den Meßrichtungen (x, y, z) proportionale Meßkraft erzeugen.

10. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 5, wobei eine Funktions­ baugruppe (23) vorgesehen ist, die die statische und dynamische Biegung des Taststiftes (19) und der Mechanik zur Bewegung des Tastkopfes (2) korrigiert.