JP5697416B2 - 接触式形状測定装置 - Google Patents
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Description
プローブを被測定物に接触させつつ前記被測定物の表面を走査させるとともにプローブの位置を計測することで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置において、
三次元方向に移動可能な移動部材と、
前記移動部材に対して移動可能に支持されたプローブと、
前記プローブの位置を測定する位置測定手段と、
前記位置測定手段にて得られた前記プローブの位置情報から、プローブの移動方向の速度情報であるプローブ速度を求めるプローブ速度演算手段と、
前記被測定物を走査している状態のプローブ速度情報を参照してプローブ目標速度を演算する目標速度演算手段と、
前記プローブ目標速度と前記プローブ速度の差であるプローブ速度エラーに基づいて、前記プローブ速度エラーを抑える作用力を求める作用力演算手段と、
求められた前記作用力に応じて前記プローブに対して、前記プローブの移動方向の成分の作用力を発生させる力発生手段と、
を有し、
前記目標速度演算手段は、前記プローブ速度エラーが予め定められた閾値の範囲以内である区間のプローブ速度の過去情報を参照して、目標速度として設定することを特徴とする形状測定装置である。
2 被測定物
2a 被測定面
2s 段差
8 力発生手段
9 移動部材
12 プローブ速度演算手段
13 目標速度演算手段
14 作用力演算手段
v1 プローブ速度
vt 目標速度
e プローブ速度エラー
f1 作用力
Claims (5)
- プローブを被測定物に接触させつつ前記被測定物の表面を走査させるとともにプローブの位置を計測することで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置において、
三次元方向に移動可能な移動部材と、
前記移動部材に対して移動可能に支持されたプローブと、
前記プローブの位置を測定する位置測定手段と、
前記位置測定手段にて得られた前記プローブの位置情報から、プローブの移動方向の速度情報であるプローブ速度を求めるプローブ速度演算手段と、
前記被測定物を走査している状態のプローブ速度情報を参照してプローブ目標速度を演算する目標速度演算手段と、
前記プローブ目標速度と前記プローブ速度の差であるプローブ速度エラーに基づいて、前記プローブ速度エラーを抑える作用力を求める作用力演算手段と、
求められた前記作用力に応じて前記プローブに対して、前記プローブの移動方向の成分の作用力を発生させる力発生手段と、
を有し、
前記目標速度演算手段は、前記移動部材と前記プローブの相対位置が予め定められた閾値以内かどうかに応じて、
前記閾値以内の場合は現在のプローブ速度を目標速度として設定し、
前記閾値を超える場合は前記プローブ速度エラーが予め定められた閾値の範囲以内である区間のプローブ速度の過去情報を参照して、目標速度として設定することを特徴とする形状測定装置。 - 前記作用力演算手段は、プローブ速度エラーが閾値を越える場合に、プローブ速度エラーに比例係数を乗じて作用力を求めることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記作用力演算手段は、プローブ速度エラーが閾値を越える場合に、一定の作用力を求めることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記プローブ速度の過去情報は、前記被測定物の設計形状に基づいて判断された前記被測定物の段差の位置の情報に基づいて定められた、前記プローブが前記段差を通過する前の区間における前記被測定物の被測定面に沿ったプローブ速度であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の形状測定装置。
- 前記プローブ速度エラーが、予め定められた閾値の範囲内にある場合は前記作用力を発生させない制御を行い、
前記プローブ速度エラーが、前記プローブが前記被測定物の被測定面に近づく方向に移動し、かつ前記閾値を超える場合は前記プローブの降下を促進する方向に前記作用力を発生させる制御をおこない、
前記プローブ速度エラーが、前記プローブが前記被測定物の被測定面に離れる方向に移動し、かつ前記閾値を超える場合は前記作用力として粘性力を発生させる制御を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の形状測定装置。
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