JP3617783B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はリニアアクチュエータの位置決め制御装置に関し、特にリニアアクチュエータにプローブを備えた形状測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プローブを有し、プローブを一方向、例えば上下に往復させて面の形状を測定する3次元測定装置には、従来、特許2638157号に記載の形状測定装置や特開平9−308283号公報における位置決め制御装置がある。特許2638157号に記載の形状測定装置を図8に示す。ばね51により支持されたリニアモータ52が一方向に往復する。リニアモータ52にはZ移動部53が取付けられ、リニアモータ52によりZ軸方向に駆動される。Z移動部53からは光線が測定対象の測定面57に照射される。なお、光線はプローブの対物レンズ56により集光される。Z移動部53の位置は位置検出器54により検出され、サーボ回路55に送信される。サーボ回路55は位置検出器54により検出されたZ移動部53の位置に基づきリニアモータ52に所定の制御信号を送信する。
【0003】
また、特開平9−308283号公報に記載の位置決め制御装置は、位置決め制御の対象であるキャリッジがモータによって駆動されている。この位置決め制御装置はモータの状態量を推定する外乱オブザーバを有する。外乱オブザーバにより推定された外乱の値によって、位置決め制御装置の異常を検出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
特許2638157号に記載の形状測定装置においては、Z軸方向のZ移動部53が測定面57に衝突したり、過負荷がかかったり、リニアモータ52の異常を検知できない。よって、プローブの対物レンズ56を損傷させる可能性がある。
【0005】
また、特開平9−308283号公報に記載の位置決め制御装置においては、外乱オブザーバの設計に使用するノミナルモデルをばね支持されたモデルとすれば、上記のような異常を検知できる。しかし、外乱オブザーバを機能させるためには、高次元演算が必要となり、コントローラ演算を行う演算器への負荷が大きくなってしまう。よって、位置決め制御に要求されるサンプリング時間では演算が間に合わなくなる可能性がある。
【0006】
そこで、本発明は、プローブを有し、プローブを一方向、例えば上下に往復させて面の形状を測定する形状測定装置において、プローブの衝突等の異常を、位置決め制御に要求されるサンプリング時間内に間に合わせて検知することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ばねで支持され、モータによって駆動されるリニアアクチュエータと、前記リニアアクチュエータに搭載されて被検物との距離を検出するプローブと、リニアアクチュエータの変位を検出し位置信号として出力する位置検出部と、リニアアクチュエータの目標位置と位置信号を比較し操作量を出力する位置決めコントローラと、操作量に応じてモータ駆動電流を出力しリニアアクチュエータを駆動するモータドライバとを有する形状測定装置に関するものである。
【0008】
この形状測定装置は電流リミッタを備え、電流リミッタは、
(a)ばねのばね定数、モータのモータ推力定数および位置信号から、ばねに発生する力に対するモータの定常的な電流値を算出する、
(b)電流値に所定の値を加算したものをモータの電流の上限値あるいは下限値とする、
(c)上限値あるいは下限値と操作量あるいはモータの電流を比較する、
ものであることを特徴とする。
【0009】
上限値あるいは下限値と操作量あるいはモータの電流を比較し、操作量等が上限値を超え、あるいは下限値を下回れば、異常が発生したことが検知できる。しかも、上限値あるいは下限値の算出や操作量等との比較は、高次元演算ではなく、低次元の演算なので、位置決め制御に要求されるサンプリング時間内に間に合わせることができる。
【0010】
また、本発明においては、電流リミッタが、モータの駆動方向に応じてモータの電流の上限値あるいは下限値を異なる値にしてもよい。駆動方向に応じたアクチュエータの過負荷設定を別々に設定できる。
【0011】
さらに、本発明においては、電流リミッタが、操作量あるいはモータの電流が入力されるローパスフィルタと、モータの電流の上限値あるいは下限値とローパスフィルタの出力を比較する比較器を備えてもよい。
【0012】
ローパスフィルタによって、操作量あるいはモータの電流のノイズによる誤動作を防ぐことができる。さらに、ローパスフィルタの遮断周波数を変更することで、異常検知の応答性能を調整できる。
【0013】
さらに、本発明においては、電流リミッタが、ローパスフィルタの出力がモータの電流の上限値に対し、所定の時間大きくなっていたかを判定する判定器を備えてもよい。
【0014】
過渡応答のために瞬間的に大きくなった操作量、モータの電流、ノイズ成分による誤動作を防ぐことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置の構成図である。質量Mのキャリッジ1は、ばね2によって吊されている。ただし、実際にはばね2は、弾性と粘性を示す部分があるため、弾性部分2aと粘性部分2bにわけて表わしている。キャリッジ1はボイスコイルモータ3によって上下方向に駆動される。よって、キャリッジ1はリニアアクチュエータとして機能する。キャリッジ1の原点からの変位量である位置信号Xはキャリッジ1に取付けられているリニアエンコーダ4によって検出される。リニアエンコーダ4の出力である位置信号Xを使用してキャリッジ1の位置決めを行う。
【0016】
キャリッジ1上には、被検物12との距離を非接触で検出するフォーカス式プローブ11が搭載される。フォーカス式プローブ11の出力信号を使用して追従制御を行うことにより、被検物の表面形状を測定する。なお、フォーカス式プローブ11のかわりに接触式プローブを搭載してもよい。
【0017】
ここで、モータ推力定数をKf、モータ電流をI、モータ推力をF、弾性部分2aのばね定数をk、粘性部分2bの減衰係数をCとすると、ばねに吊されたキャリッジ1のモデルは(1)、(2)式で表わされる。
【0018】
【数1】
【0019】
よって、モータ電流Iから位置信号Xへの伝達関数は(3)式で表わされる。
【0020】
【数2】
【0021】
目標位置Xrefとリニアエンコーダ4によって検出された位置信号Xは位置決めコントローラ5で比較され偏差に応じた電流司令値ic(操作量)が出力される。電流司令値icは電流リミッタ7に入力されモータ電流制限値ilimと比較される。電流司令値icがモータ電流制限値ilim以下である場合ic’としてモータドライバ6に入力される。モータドライバ6はボイスコイルモータ3に電流司令値icに比例したモータ電流Iを流してキャリッジ1を上下方向に駆動する。また、電流司令値icがモータ電流制限値ilimを越えた場合、アクチュエータの異常を検知し、ic’を操作しリニアアクチュエータの動作を停止させる。
【0022】
電流リミッタ7では(4)式によって、モータ電流制限値ilimを算出する。
【0023】
【数3】
【0024】
(4)式では、ばね定数k、モータ推力定数Kf、位置信号Xからモータ電流制限値ilimを常時計算し、電流リミッタ7におけるモータ電流制限値に使用する。また、iaddはばね力以外のリニアアクチュエータに加わる外力やモータの過渡応答特性やパラメータ変動等を考慮して設定する所定の値とする。
【0025】
図2に異常検知の動作を図示する。位置信号Xが変化するのに伴い、モータ電流制限値ilimは比例して変化していく。電流司令値icもばね力の増加に伴い変化していく。電流リミッタ7は電流司令値icがモータ電流制限値ilimを越えるか否かを比較する。もし越えれば、何らかの異常があったことになる。そこで、ic’を操作しリニアアクチュエータを停止させる。
【0026】
本発明の第1の実施の形態によれば、ばねで支持されたアクチュエータに加わるばね力以外の外力が所定の値にならないように制限し、アクチュエータの過負荷や衝突等の異常を検知する機構を備えた形状測定装置を提供できる。しかも、モータ電流制限値ilimの算出や電流司令値icとの比較は、高次元演算ではなく、低次元の演算なので、位置決め制御に要求されるサンプリング時間内に間に合わせることができる。
【0027】
本発明の第2の実施の形態に係る形状測定装置においては、第1の実施の形態とモータ電流制限値ilimの求め方が異なる。すなわち、電流リミッタ7において、あらかじめ計算し段階的にテーブルとして設定してあるモータ電流制限値ilim(n)を位置信号Xによって選択し、電流司令値icがモータ電流制限値ilim(n)を越えた場合、リニアアクチュエータの異常を検知し、ic’を操作しリニアアクチュエータを停止させる。ilim(n)を位置信号Xによって選択するために、例えば、以下のようなテーブルを作成しておく。
【0028】
【数4】
【0029】
図3に異常検知の動作を図示する。位置信号Xが変化するのに伴い、電流司令値icは連続的にモータ電流制限値ilim(n)は段階的に変化していく。電流司令値icがモータ電流制限値ilim(n)を越えるとリニアアクチュエータの異常を検知する。
【0030】
本発明の第2の実施の形態によれば、モータ電流制限値ilim(n)を計算せずに選択すればすむため、計算負荷を低減できる。
【0031】
本発明の第3の実施の形態に係る形状測定装置においては、第1の実施の形態とモータ電流制限値ilimの求め方が異なる。キャリッジ1は位置信号Xが負になる部分を移動している。電流リミッタ7においては、キャリッジ1が正方向に駆動されている、あるいは負方向に外力が働いているときは(5)式により算出される値を電流司令値icの上限とする。電流司令値icがilim+より大きくなれば、キャリッジ1に異常があったということになる。
【0032】
【数5】
【0033】
キャリッジ1が負方向に駆動されている、あるいは正方向に外力が働いているときは(6)式により算出される値を電流司令値icの下限とする。電流司令値icがilim−より小さくなれば、キャリッジ1に異常があったということになる。
【0034】
【数6】
【0035】
(5)式では、ばね定数k、モータ推力定数Kf、位置信号Xからモータ電流制限値ilim+を常時計算し、電流リミッタ7におけるモータ電流制限値に使用する。また、iadd+はばね力以外のアクチュエータに加わる外力やモータの過渡応答特性やパラメータ変動等を考慮して設定する所定の値とする。同様に、(6)式では、モータ電流制限値ilim−を常時計算する。(5)、(6)式で使用する所定の値iadd+、ilim−を変更することによって、アクチュエータの駆動方向もしくは外力の方向によってモータ電流制限値を変更できる。
【0036】
図4に異常検知の動作を図示する。位置信号Xが変化するのに伴い、モータ電流の上限値ilim+や下限値ilim−は変化する。キャリッジ1が正方向に駆動されている、あるいは負方向に外力が印加された場合は、電流司令値icがilim+より大きくなれば、キャリッジ1に異常があったということになる。キャリッジ1が負方向に駆動されている、あるいは正方向に外力が印加された場合は、電流司令値icがilim−より小さくなれば、キャリッジ1に異常があったということになる。
【0037】
本発明の第3の実施の形態によれば、印加される外力の方向によって異常検知のスレッシュレベルを変えることができるようになるため、駆動方向に応じたアクチュエータの過負荷設定を別々に設定できる。
【0038】
例えば、負方向に駆動される場合のスレッシュレベルを小さいものとすると、衝突時、フォーカス式プローブ11等のキャリッジ1に搭載されるプローブに加わる力を小さくでき、プローブの損傷を防ぐことができる。
【0039】
本発明の第4の実施の形態に係る形状測定装置においては、第1の実施の形態における電流リミッタ7の構成を特定したものである。図5に電流リミッタ7の構成を示す。位置決めコントローラ5の出力である電流司令値icあるいは検出されたモータ電流が電流リミッタ7に入力される。電流リミッタ7内では、電流司令値icをローパスフィルタ8を通してノイズ成分やパルス成分を除去する。ローパスフィルタ8を通った電流司令値icと位置信号Xは比較器9へ入力される。比較器9では、電流司令値icと位置信号Xから算出または選択されるモータ電流制限値とを比較してリニアアクチュエータの異常の有無を検知する。リニアアクチュエータの異常が検知されると、異常を知らせ、同時に切換え器10によりリニアアクチュエータを停止させる。
【0040】
本発明の第4の実施の形態によれば、操作量あるいはモータの電流のノイズによる誤動作を防ぐことができる。さらに、ローパスフィルタの遮断周波数を変更することで、ローパスフィルタの入出力の応答性能を変更できることから異常検知の応答時間を調整できる。
【0041】
本発明の第5の実施の形態に係る形状測定装置においては、リニアアクチュエータの異常の検知の方法が第1の実施の形態と異なる。位置決め制御コントローラ5の出力である電流司令値icはリミッタ7に入力され、モータ電流制限値ilimと比較される。電流司令値icがモータ電流制限値ilimを越えた時間tcが所定の時間tlimを越えた場合、アクチュエータの異常を検知しアクチュエータを停止させる。すなわち、(7)式に示す通りに異常を検知する。
【0042】
【数7】
【0043】
図6に異常検知の動作を図示する。電流司令値icがモータ電流制限値ilimを越えた場合、所定の時間tlimを越えていなければ、異常検知されない。越えた場合は、異常検知される。
【0044】
本発明の第5の実施の形態によれば、過渡応答のために瞬間的に大きくなった操作量、モータの電流、ノイズ成分による誤動作を防ぐことができる。
【0045】
本発明の第6の実施の形態に係る形状測定装置においては、第1の実施の形態とモータ電流制限値ilimの求め方およびリニアアクチュエータの異常の検知の方法が異なる。キャリッジ1は位置信号Xが負になる部分を移動している。電流リミッタ7においては、キャリッジ1が正方向に駆動されている、あるいは負方向に外力が働いているときはilim+を電流司令値icの上限とする。ここで、(8)式に示すように、電流司令値icがilim+よりも大きくなった時間tc+が所定の時間tlim+を越えた場合、リニアアクチュエータの異常を検知する。
【0046】
【数8】
【0047】
キャリッジ1が負方向に駆動されている、あるいは正方向に外力が働いているときは(6)式により算出される値を電流司令値icの下限とする。ここで、(9)式に示すように、電流司令値icがilim−より小さくなった時間tc−が所定の時間tlim−を越えた場合、リニアアクチュエータの異常を検知する。
【0048】
【数9】
【0049】
所定の時間tlim+、tlim−を異なる値に設定することによってアクチュエータの駆動方向もしくは外力の方向によって異常検知のスレッシュレベルを変更できる。
【0050】
図7に異常検知の動作を図示する。キャリッジ1が正方向に駆動されている、あるいは負方向に外力が印加された場合は、電流司令値icがilim+よりも大きくなった時間tc+が所定の時間tlim+を越えた場合、リニアアクチュエータの異常を検知する。負方向に駆動されている、あるいは正方向に外力が印加された場合は、電流司令値icがilim−より小さくなった時間tc−が所定の時間tlim−を越えた場合、リニアアクチュエータの異常を検知する。
【0051】
本発明の第6の実施の形態によれば、リニアアクチュエータの駆動方向に応じたリニアアクチュエータの過負荷時間を別々に設定できる。
【0052】
【発明の効果】
本発明によれば、モータの電流の上限値あるいは下限値と操作量あるいはモータの電流を比較し、操作量等が上限値を超え、あるいは下限値を下回れば、異常が発生したことが検知できる。しかも、上限値あるいは下限値の算出や操作量等との比較は、高次元演算ではなく、低次元の演算なので、位置決め制御に要求されるサンプリング時間内に間に合わせることができる。
【0053】
また、本発明によれば、駆動方向に応じたアクチュエータの過負荷設定を別々に設定できる。
【0054】
しかも、本発明によれば、電流リミッタがローパスフィルタを備えることで、操作量あるいはモータの電流のノイズによる誤動作を防ぐことができる。さらに、ローパスフィルタの遮断周波数を変更することで、異常検知の応答性能を調整できる。
【0055】
また、本発明によれば、電流リミッタが、ローパスフィルタの出力がモータの電流の上限値に対し、所定の時間大きくなっていたかを判定することで、過渡応答のために瞬間的に大きくなった操作量、モータの電流、ノイズ成分による誤動作を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置の構成図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置の異常検知の動作を示した図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係る形状測定装置の異常検知の動作を示した図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態に係る形状測定装置の異常検知の動作を示した図である。
【図5】電流リミッタ7の構成を示す回路図である。
【図6】本発明の第5の実施の形態に係る形状測定装置の異常検知の動作を示した図である。
【図7】本発明の第6の実施の形態に係る形状測定装置の異常検知の動作を示した図である。
【図8】従来技術の形状測定装置の構成図である。
【符号の説明】
1 キャリッジ
2 ばね
2a 弾性部分
2b 粘性部分
3 ボイスコイルモータ
4 リニアエンコーダ
5 位置決めコントローラ
6 モータドライバ
7 電流リミッタ
8 ローパスフィルタ
9 比較器
10 切換え器
11 フォーカス式プローブ
12 被検物
51 ばね
52 リニアモータ
53 Z移動部
54 位置検出器
55 サーボ回路
56 対物レンズ
57 測定面
Claims (4)
- ばねで支持され、モータによって駆動されるリニアアクチュエータと、
前記リニアアクチュエータに搭載されて被検物との距離を検出するプローブと、
前記リニアアクチュエータの変位を検出し位置信号として出力する位置検出部と、
前記リニアアクチュエータの目標位置と位置信号を比較し操作量を出力する位置決めコントローラと、
前記操作量に応じてモータ駆動電流を出力し前記リニアアクチュエータを駆動するモータドライバとを有する形状測定装置において、
前記ばねのばね定数、前記モータのモータ推力定数および前記位置信号から、前記ばねに発生する力に対する前記モータの定常的な電流値を算出し、前記電流値に所定の値を加算したものを前記モータの電流の上限値あるいは下限値とし、前記上限値あるいは前記下限値と前記操作量あるいは前記モータの電流を比較する電流リミッタを備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 前記電流リミッタが、前記モータの駆動方向に応じて前記モータの電流の前記上限値あるいは前記下限値を異なる値にすることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記電流リミッタが、
前記操作量あるいは前記モータの電流が入力されるローパスフィルタと、
前記モータの電流の前記上限値あるいは前記下限値と前記ローパスフィルタの出力を比較する比較器と、
を備えたことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記電流リミッタが、
前記ローパスフィルタの出力が前記モータの電流の前記上限値に対し、所定の時間大きくなっていたかを判定する判定器、
を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
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