DE19742923A1

DE19742923A1 - Vorrichtung zum Beschichten eines im wesentlichen flachen, scheibenförmigen Substrats

Info

Publication number: DE19742923A1
Application number: DE19742923A
Authority: DE
Inventors: Michael Koenig
Original assignee: Leybold Systems GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum Systems GmbH
Priority date: 1997-09-29
Filing date: 1997-09-29
Publication date: 1999-04-01
Also published as: CN1215093A; JPH11158618A; CN1188542C; EP0905275A2; TW371672B; EP0905275B1; DE59809788D1; EP0905275A3; US6203677B1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Be schichten eines im wesentlichen flachen, scheiben förmigen Substrats mit Hilfe der Kathodenzerstäu bung, mit einer etwa kreiszylindrischen Transport kammer, bestehend aus einem kreisscheibenförmigen Deckel, einer sich zu diesem in einer parallelen Ebene erstreckenden Bodenplatte und einem beide Teile druckfest verbindenden und mit Abstand zu einander haltenden, ringförmigen, die Seitenwand bildenden Gehäuseteil und mit einer an die Trans portkammer angeschlossenen Vakuumpumpe und mit ei ner im Deckel der Transportkammer vorgesehenen, von einer Platte verschließbaren Öffnung zum Ein- und Ausschleusen der Substrate und mit einer mit dem Deckel verbundenen, die Kathode enthaltenden durch eine Öffnung im Deckel mit dem Transportraum verbundenen Beschichtungskammer und einem in der Transportkammer rotierbar gelagerten Substratträ ger.

Es ist eine Vorrichtung der in Frage stehenden Art bekannt (US 3,874,525), die eine Beschichtungskam mer aufweist, in der ein zweiarmiges Greifwerkzeug um eine vertikale Achse drehbar gelagert ist. Die ses zweiarmige Werkzeug weist an seinen einander diametral gegenüberliegenden Enden Gabeln auf, die mit Hilfe eines Zahnstangengetriebes mit Antriebs motor in vertikaler Ebene gegenläufig zueinander bewegbar sind. Weiterhin sind zwei Konsolen in der Beschichtungskammer angebracht, von denen die eine unterhalb einer Schleuse im Deckel der Beschich tungskammer angeordnet ist und die andere auf der dieser Konsole gegenüberliegenden Seite unterhalb der Elektronenkanone.

Diese bekannte Vorrichtung hat den Nachteil, daß das zweiarmige Greifwerkzeug vergleichsweise auf wendig ausgebildet ist und auch wenig zuverlässig arbeitet, da der komplizierte Zahntrieb Abrieb er zeugt. Weiterhin besteht bei dieser Vorrichtung die Gefahr, daß das Werkstück nicht einwandfrei vom gabelförmigen Werkzeug erfaßt wird und dann entweder verkantet aufgenommen wird oder aber sich vollständig vom Werkzeug löst und dann auf die Bo denfläche der Beschichtungskammer fällt, was zwangsläufig zu einer Blockade bzw. zum Ausfall der gesamten Anlage führt. Schließlich benötigt die bekannte Vorrichtung eine große Bauhöhe, was eine unerwünscht voluminöse Beschichtungskammer erforderlich macht.

Bekannt ist auch eine Vorrichtung der in Frage stehenden Art (US 4,548,699), bei der eine etwa kreiszylindrische Beschichtungskammer vorgesehen ist, bestehend aus einem kreisscheibenförmigen Deckel und einer eben solchen Bodenplatte, wobei Deckel und Bodenplatte mit einem hohlzylindrischen bzw. ringförmigen Seitenteil fest verbunden sind und bei der in der Beschichtungskammer ein kreis scheibenförmiger Drehteller zur Halterung und Füh rung der Substrate und eine weitere Druckplatte angeordnet sind, die im übrigen in Richtung auf den Deckel zu verschiebbar sind und nach dem Ver schieben zusammen mit dem Deckel eine im Deckel vorgesehene Einschleusöffnung druckfest verschlie ßen. Diese bekannte Vorrichtung weist einen kom plizierten Aufbau auf und arbeitet relativ lang sam, insbesondere da die Wafer von federnden Ele menten übernommen werden müssen und die Ein schleusöffnung durch eine zusätzliche Verschluß platte, die um einen sich quer zur Rotationsachse angeordneten Bolzen schwenkt, verschlossen werden muß.

Bekannt ist auch eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines im wesentlichen flachen Werk stücks (DE 37 16 498) in eine evakuierte, im we sentlichen kreiszylindrische, aus einem flachen, kreisscheibenförmigen Deckel und einem sich zu diesem in einer parallelen Ebene erstreckenden flachen, kreisscheibenförmigen Bodenplatte und ei nem beide Teile druckfest verbindenden und im Ab stand zueinander haltenden ringförmigen Seitenteil gebildete Beschichtungskammer mit einem in der Be schichtungskammer rotierbar gelagerten kreisschei benförmigen Drehteller zur Halterung der Werkstüc ke während des Beschichtungsprozesses, wobei die Vorrichtung zum Zuführen und Rückführen des Werk stücks in und aus dem Bereich einer am Deckel der Beschichtungskammer angeordneten Beschichtungs quelle zum Zwecke der Behandlung der Werkstücko berfläche dient, wobei eine auf dem Deckel der Be schichtungskammer angeordnete Beschichtungsvor richtung mit einem oder mehreren deckelförmigen Werkstückträgern mit Hilfe derer die Werkstücke in eine einer Öffnung der Beschichtungskammer benach barten Position bringbar sind, von der aus die Öffnung von oben her vom Werkstückträger und von unten her von einem Hubteller verschließbar ist, der auf einem innerhalb der Beschichtungskammer rotierbar gelagerten Drehteller gehalten und ge führt ist, wobei der Werkstückträger von einem sich an der Beschichtungsvorrichtung abstützenden Hubzylinder und der Hubteller von einer an der Bo denplatte befestigten Hubvorrichtung an den Deckel der Beschichtungskammer anpreßbar sind.

Schließlich ist eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Aufdampfen dünner Schichten auf Substrate bekannt (US 3,915,117), mit einer Eintrittskammer, weite ren Kammern zur Behandlung bzw. Beschichtung der Substrate und mit einer Austrittskammer sowie mit einer in einer evakuierbaren Hauptkammer angeord neten Fördereinrichtung zum Transport der Substra te durch die Kammern, wobei Abdichteinrichtungen zur zeitweisen Abdichtung zwischen den genannten Kammern und der Hauptkammer vorgesehen sind, wobei die Fördereinrichtung um eine gemeinsame Achse herum angeordnete und um diese schwenkbare Rahmen für die Aufnahme des zu beschichtenden Gutes auf weist, wobei in wenigstens zwei Behandlungsposi tionen, nämlich einer Ein- und Austrittsposition und einer Aufdampfposition ein solcher Rahmen selbst Teil der Wand einer Behandlungskammer, näm lich der Ein- und Austrittskammer und einer Auf dampfkammer bildet und daß in mindestens einer dieser Behandlungspositionen eine bewegliche Ven tilplatte zum Absperren einer Stirnseite des einen Teils der Behandlungskammer bildenden Rahmens vor gesehen ist.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu grunde eine Vorrichtung des in Frage stehenden Typs so auszubilden, daß die Zeit zum Wechseln der Kathode auf ein Minimum verkürzbar ist. Darüber hinaus soll die Vorrichtung einfacher im Aufbau und damit auch Preiswerter in der Herstellung und auch betriebssicherer sein. Schließlich soll das von der Vorrichtung beanspruchte Bauvolumen da durch verringert werden, daß insbesondere auf zu sätzliche Antriebe im Umfangsbereich der Trans portkammer verzichtet wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Substratträger mit der Abtriebswelle einer Motor-Getriebeeinheit verbunden ist und zum einen von dieser innerhalb des Transportraums aus einer mittleren Betriebsposition in einer vertikalen Hubbewegung in eine obere Beschichtungsposition und eine untere Ruheposition verschiebbar ist und zum anderen mit der Abtriebswelle innerhalb des Transportraums rotierbar ist, wobei der Saugstut zen der Vakuumpumpe am Bodenteil der Transportkam mer angeordnet ist und vom Substratträger in der Ruheposition verschließbar ist.

Weitere Einzelheiten und Merkmale sind in den Pa tentansprüchen näher beschrieben und gekennzeich net.

Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausfüh rungsmöglichkeiten zu; eine davon ist in den an hängenden Zeichnungen rein schematisch näher dar gestellt und zwar zeigen:

Fig. 1 Die Vorrichtung in der Seitenansicht und teilweise im Schnitt, wobei der Substrat träger in seiner mittleren, d. h. in der Transportposition innerhalb der Transport kammer gezeigt ist,

Fig. 2 die Transportkammer nach Fig. 1, jedoch mit dem Substratträger in der oberen bzw. in der Einschleus- und Beschichtungsposi tion und

Fig. 3 die Transportkammer nach Fig. 1, jedoch mit dem Substratträger in der unteren, d. h. in der Sperr- bzw. Ruheposition.

Die Vorrichtung zum Beschichten von Substraten 3 besteht im wesentlichen aus der Transportkammer 7 mit dem in dieser drehbar angeordneten Substrat träger 12 mit Substrataufnahmen 17, 18, der Be schichtungskammer 11 mit der der in dieser ange ordneten Zerstäubungskathode 10, der Verschluß platte 16 zum Verschließen der Schleusenöffnung 9 im Deckel 4 der Transportkammer 7, der Motor- Getriebeeinheit 14 für die Antriebswelle 13 auf der der Substratträger 12 drehfest aufgesetzt ist und der Vakuumpumpe 8 deren Saugstutzen 15 mit dem Transportraum 19 verbunden ist.

Für das Einschleusen bzw. das Ausschleusen des Substrats 3 und auch für den Beschichtungsvorgang wird der Substratträger 12 mittels der Motor- Getriebeeinheit 14 in die in Fig. 2 dargestellte Position B gefahren, in der sich der Substratträ ger 12 mit seiner Oberseite auf die Dichtung 20 legt und damit den Transportraum 19 von der Ein schleuskammer 21 abkoppelt bzw. die Öffnung 9 im Deckel 4 der Transportkammer 7 verschließt. Nach Erreichen der Position B kann auch ein weiteres - bereits vorher eingeschleustes - Substrat 3' be schichtet werden, das sich in einer der Substrataufnahme 17 gegenüberliegend angeordneten Substrataufnahme 18 befindet und dabei genau un terhalb der Kathode 10 positioniert ist. Wie Fig. 2 weiter zeigt, wird die Platte 16 zum Einschleu sen (bzw. zum Ausschleusen) von der Einschleuskam mer 21 abgehoben bzw. von dieser entfernt, so daß ein Substrat 3 eingeschleust bzw. ausgeschleust werden kann. Nach dem Ein- bzw. Ausschleusen kann die Schleusenkammer 21 wieder mit Hilfe der Platte 16 verschlossen werden und der Substratträger 12 kann anschließend in die in Fig. 1 gezeigte Posi tion A abgesenkt und danach gedreht werden, so daß das zuletzt eingeschleuste Substrat 3'. . . die Be schichtungsposition erreicht. Um die Kathode 10 bzw. deren Target (das zerstäubt wird) wechseln zu können, ohne daß die an den Transportraum 19 ange schlossene und diesen evakuierende Vakuumpumpe 8 abgeschaltet werden muß, kann der Substratträger 12 in die Position C abgesenkt werden (Position C), wobei sich die Unterseite des Substratträgers 12 auf die Dichtung 22 aufsetzt und den Saugstut zen 15 absperrt, was für die laufende Vakuumpumpe 8 problemlos ist. Nach dem Absenken in die Positi on C (Fig. 3) kann die Beschichtungskammer 11 von der Transportkammer 7 entfernt bzw. geöffnet wer den und die Kathode 10 kann durch eine andere er setzt werden. Nach dem Kathodenwechsel und dem Aufsetzen bzw. Schließen der Beschichtungskammer 11 kann der Substratträger 12 in die Betriebsstel lung gemäß Fig. 1 gehoben werden, so daß die Ver bindung der immer noch laufenden Vakuumpumpe 8 mit dem Transportraum 19 wiederhergestellt ist.

Ein besonderer Vorteil der Vorrichtung besteht darin, daß vor dem Kathodenwechsel die Vakuumpumpe 8 nicht abgeschaltet und nach erfolgtem Kathoden wechsel nicht wieder angeschaltet werden muß - ein Vorgang der vergleichsweise längere Zeit bean sprucht, insbesondere wenn eine Hochvakuumpumpe (Turbomolekularpumpe) Verwendung findet. Einen weiteren Vorteil bietet die kompakte Motor- Getriebeeinheit, die sowohl für die Drehbewegung des Substratträgers 12, als auch für die Hubbewe gung Sorge trägt.

Bezugszeichenliste

3

,

3

' Substrat

4

Deckel

5

Bodenplatte

6

Seitenwandteil

7

Transportkammer

8

Vakuumpumpe

9

Öffnung, Schleusenöffnung

10

Kathode

11

Beschichtungskammer

12

Substratträger

13

Antriebswelle

14

Motor-Getriebeeinheit

15

Saugstutzen

16

Platte, Verschlußplatte

17

Substrataufnahme

18

Substrataufnahme

19

Transportraum

20

Dichtung

21

Schleusenkammer

22

Dichtung

23

Öffnung

24

Kanal

25

Vakuumpumpenanschluß

Claims

1. Vorrichtung zum Beschichten eines im wesentli chen flachen, scheibenförmigen Substrats (3, 3',. . .) mit Hilfe der Kathodenzerstäubung, mit einer etwa kreiszylindrischen Transport kammer (7), bestehend aus einem kreisscheiben förmigen Deckel (4), einer sich zu diesem in einer parallelen Ebene erstreckenden Boden platte (5) und einem beide Teile druckfest verbindenden und mit Abstand zueinander hal tenden, ringförmigen, die Seitenwand der Transportkammer (7) bildenden Gehäuseteil (6) und mit einer an die Transportkammer (7) ange schlossenen Vakuumpumpe (8) und mit einer im Deckel (4) der Transportkammer (7) vorgesehe nen, von einer Platte (16) verschließbaren Öffnung (9) zum Ein- und Ausschleusen der Substrate (3, 3',. . .) und mit einer mit dem Deckel (4) verbundenen, die Kathode (10) ent haltenden durch eine Öffnung (23) im Deckel (4) mit dem Transportraum (19) verbundenen Be schichtungskammer (11) und einem im Transpor traum (19) rotierbar gelagerten Substratträger (12), dadurch gekennzeichnet, daß der Substratträger (12) mit der Abtriebswelle (13) einer Motor-Getriebeeinheit (14) verbunden ist und zum einen von dieser innerhalb des Trans portraums (19) aus einer mittleren Betriebspo sition (A) in einer vertikalen Hubbewegung in eine obere Beschichtungsposition (B) und eine untere Ruheposition (C) verschiebbar ist und zum anderen von der Abtriebswelle (13) inner halb des Transportraums (19) rotierbar ist, wobei der Saugstutzen (15) der Vakuumpumpe (8) am Bodenteil (4) des Transportraums (19) ange ordnet ist und vom Substratträger (12) in der Ruheposition (C) verschließbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Öffnung (9) zum Ein- und Ausschleusen der Substrate (3, 3',. . .) im Deckel (4) der Transportkammer (7) oder eine mit ihr korrespondierende Schleusenkammer (21) mit einem Anschluß (25) für eine Vakuum- Vorpumpe versehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Öffnung (23) im Deckel (4) für die Beschichtungskammer (11) über einen einen Bypass bildenden Kanal (24) mit dem Transportraum (18) verbunden ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Beschichtungskammer (11) mit der Transportkammer (7) lösbar verbunden ist.