DE19703796A1 - Sensor zum selektiven Nachweis von Ammoniak in NO¶x¶-haltigen, sauerstoffreichen Gasen - Google Patents
Sensor zum selektiven Nachweis von Ammoniak in NO¶x¶-haltigen, sauerstoffreichen GasenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor zum selektiven Nachweis von Ammoniak
(NH3) in NOx-haltigen, sauerstoffreichen Gasen, z. B. Abgase von Dieselmoto
ren oder eines direkteinspritzenden Ottomotors oder die Abluft eines Kraftwer
kes ist.
Es ist bekannt, daß die Entstickung von dieselmotorischen Abgasen durch die
selektive katalytische Reduktion (SCR) unter Verwendung von Ammoniak als
Reduktionsmittel durchgeführt werden kann. Ammoniak kann entweder direkt
oder in Form einer Verbindung, aus der Ammoniak on Board gewonnen wird,
im Fahrzeug mitgeführt werden.
Für die katalytische Reduktionsreaktion wird Ammoniak dem motorischen Ab
gas in einem festen Verhältnis zum momentan im Abgas vorhanden NOx-Ge
halt zudosiert. Es ist bekannt, daß das NH3-NOx-Verhältnis zum Erreichen
des maximal möglichen NOx-Umsatzes gerade 1 sein müßte. Ein kleineres
Verhältnis führt zu einem geringeren Umsatz, ein größeres Verhältnis führt zu
einem "NO3-Durchbruch". Da weder fahrzeugtaugliche NOx- noch NH3-Sen
soren zur Verfügung stehen, werden die NOx-Werte aus Motorkennfeldern
entnommen, die in Speichern abgelegt wurden.
Auf der einen Seite muß eine NH3-Emission in allen Betriebszuständen si
cher verhindert werden. Auf der anderen Seite gelten NOx-Kennfelder nicht
für den individuellen Motor, sondern für die Baureihe, so daß herstellungsbe
dingte Schwankungen im NOx-Rohgasgehalt bei gleichen Kennfeldpunkten
vorkommen. Außerdem kann der momentane Katalysatorzustand (Tempera
tur, NOx- und NHe-Beladung) bei gleichen Kennfeldpunkten verschieden
sein. Deshalb wird in der Praxis ein NH3/NOx-Verhältnis deutlich kleiner als 1
(z. B. 0,6) gewählt, damit ein genügend großer Sicherheitsabstand eingehal
ten werden kann. Man nimmt also bewußt eine schlechtere Entstickungsrate
des Katalysators in Kauf.
Um die NOx-Grenzwerte zu erreichen, muß man die NO-Rohemission durch
innermotorische Maßnahmen weiter herabsetzen, als es bei besserer Ausnut
zung des Katalysators nötig wäre. Dies geht zu Lasten des Dieselverbrauchs.
Eine bessere Ausnutzung des Entstickungskatalysators könnte mit Hilfe eines
NH3-Sensors erreicht werden, der als Regelglied oder als NH3-Durchbruchs
sensor im Bereich des Katalysatorendes angebracht würde. Dieser NH3-Sen
sor müßte unter dieselmotorischen Abgasbedingungen geringe Menge NH3
sicher und ohne wesentliche Querempfindlichkeit zu den anderen relevanten
Gasen (vor allem NOx, H2O und O2) nachweisen.
In EP 0426 989 B1 wird ein chemischer Sensor für Gase auf der Basis zeo
lithbeschichteter, direkt geheizter, planarer Interdigitalkondensatoren (im fol
genden mit IDK abgekürzt) beschrieben. Dieser Sensor besteht in einer Aus
führungsform aus einer platinhaltigen, zeolithischen Schicht.
Es zeigt sich nun bei den Untersuchungen zur NH3-Empfindlichkeit, daß
IDK-Sensoren, die mit edelmetallhaltigen Zeolithen beschichtet sind, aus zwei
Gründen für einen Einsatz als NH3-Sensor im Abgas nicht in Frage kommen:
entweder fehlt ihnen überhaupt eine ausreichend große NH3-Empfindlichkeit
(Fig. 1) oder sie weise zwar NH3 nach (Fig. 2 oben), besitzen aber gleichzeitig
eine sehr hohe Querempfindlichkeit zu NO (Fig. 2 unten).
Die Fig. 1 zeigt die Impedanzspektren (Frequenzbereich: 20 Hz bis 1 MHz) ei
nes IDK-Sensors mit einer PtNaZSM5-Schicht mit (dreieckige Symbole) und
ohne (rechteckige Symbole) NH3. Im gesamten Frequenzbereich ist der Un
terschied zwischen dem Impedanzspektrum mit 1000 ppm NH3 und 0 ppm
NH3 sehr gering: dieser Sensor zeigt keine NH3-Empfindlichkeit.
Fig. 2 zeigt oben die Impedanzspektren des bekannten IDK-Sensors mit einer
PtNaY-Schicht mit (dreieckige Symbole) und ohne (rechteckige Symbole)
NH3. Das Impedanzspektrum mit 1000 ppm ist im Vergleich zu dem bei 0 ppm
NH3 deutlich zu niedrigeren Frequenzen hin verschoben: Dieser Sensortyp
ist empfindlich auf NH3.
Fig. 2 zeigt unten die Impedanzspektren dieses IDK-Sensors mit und ohne
NO. Hier zeigt sich, daß dieser Sensortyp ebenfalls empfindlich auf NO ist.
Diese Querempfindlichkeit zu NO läßt einen Einsatz als NH3-Sensor im Ab
gas nicht zu.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Sensor zu schaffen, der auch geringe
Mengen von NH3 sicher und ohne wesentliche Querempfindlichkeit zu den
anderen relevanten Gasen (vor allem NOx, H2O und O2) ermöglicht.
Diese Aufgabe wird mit dem Sensor nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Aus
führungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Erfindungsgemäß umfaßt der NH3-Sensor ein als Kondensator wirkendes
Bauelement und eine gasdurchlässige, sensitive Schicht als Dielektrikum,
wobei die sensitive Schicht ein hydrophober, edelmetallfreier Zeolith mit ge
ringer Azidität (Säurestärke) ist, der eine geordnete, kristalline Struktur aus
Primärporen aufweist, deren Durchmesser in der Größenordnung des gaski
netischen Durchmessers von NH3 ist.
Die Wechselwirkung des zu detektierenden Moleküls mit dem edelmetall
freien zeolithischen Festkörper des erfindungsgemäßen Sensors geschieht
völlig anders als bei dem in der EP 0 426 989 B1 beschriebenen Sensor mit
platinhaltiger zeolithischer Schicht. Bei der platinhaltigen zeolithischen
Schicht kommt es zu einer katalytischen Umsetzung der Gasmoleküle an den
Platinclustern innerhalb des zeolithischen Porensystems. Durch die zeitlich
nicht unendlich schnell ablaufenden Reaktion kommt es zu einer Behinderung
der Beweglichkeit der Kationen (im allgemeinen Natriumionen) des Zeolithen,
die bei erhöhter Temperatur durch das elektrische Wechselfeld bewegt wer
den können. Diese Erniedrigung der Mobilität der Kationen macht sich bei
niedrigen Frequenzen in einer Veränderung der Impedanz bemerkbar.
Bei dem erfindungsgemäßen Sensor mit edelmetallfreier, hydrophober Zeo
lithschicht als ammoniaksensitive Schicht finden keine katalytische Umset
zung des NH3 statt, da die in Frage kommenden Zeolithe keinerlei katalyti
sche Umsetzungsaktivität für NH3 besitzen. Vielmehr spielt die Adsorption des
Ammoniakmoleküls die bestimmende Rolle für das Sensorverhalten. Die Pro
tonen der adsorbierten Ammoniakmoleküle sind die Ladungsträger, deren
Mobilität im elektrischen Wechselfeld das Sensorsignal erzeugen. Gegenüber
dem unbelegten Ausgangszustand ändert sich die ionische Leitfähigkeit im
gesamten untersuchten Frequenzbereich von 20 Hz bis 1 MHz. Bei den ho
hen Frequenzen können nur noch die Protonen dem Wechselfeld folgen, die
wesentlich schwereren anderen, in Frage kommenden Kationen können das
nicht mehr.
Der hydrophobe Charakter der Zeolithe wird durch ihre Tendenz bestimmt,
polare Moleküle (z. B. Wasser) nur in sehr geringen Mengen, unpolare Verbin
dungen (z. B. Kohlenwasserstoffe) hingegen in großen Mengen aufzunehmen.
Da bei der Signalerzeugung des erfindungsgemäßen NH3-Sensors der Ad
sorptionszustand des NH3-Moleküls im zeolithischen Porensystem die ent
scheidende Rolle spielt, ist es wichtig, daß nur geringe eine Menge an Wasser
im Porensystem vorliegt. Auf der einen Seite könnte sich das NH3 im Poren
wasser als Ammoniumhydroxid (NH4OH) lösen und zum Teil dissoziieren. Auf
der anderen Seite wäre die Querempfindlichkeit zum Wasser groß.
Die Erfindung wird anhand von Fig. näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 Impedanzspektren (Frequenzbereich: 20 Hz bis 1 MHz) eines mit
PtZSM5 beschichteten, an sich bekannten IDK-Sensors, beaufschlagt
mit 1000 ppm NH3 (dreieckige Symbole) und 0 ppm NH3 (rechteckige
Symbole) in 10% O2, 5% abs H2O.
Fig. 2 Impedanzspektren eines mit PtY-Zeolith beschichteten, an sich be
kannten IDK-Sensors in 10% O2 5% abs H2O;
oben: bei 1000 ppm NH3 (dreieckige Symbole) und 0 ppm NH3 (recht eckige Symbole)
unten: bei 1000 ppm NO (dreieckige Symbole) und 0 ppm NO (recht eckige Symbole);
oben: bei 1000 ppm NH3 (dreieckige Symbole) und 0 ppm NH3 (recht eckige Symbole)
unten: bei 1000 ppm NO (dreieckige Symbole) und 0 ppm NO (recht eckige Symbole);
Fig. 3 oben: relative Widerstandsänderungen dR/R1 (weiße Balken) und rela
tive Kapazitätsänderungen dC/C1 (dunkle Balken) für unterschiedliche
Modifikationen des Zeolithtyps Beta bei einer NH3-Konzentrationsän
derung von 0 auf 124 ppm (10% O2 5% abs H2O, 251 ppm NO);
unten: Widerstandsänderung dR2 (weiße Balken) und Kapazitätsände rung dC2 (dunkle Balken) bei einer NO-Konzentrationsänderung von 251 auf 653 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 124 ppm NH3) im Verhältnis zu der Widerstandsänderung dR1 bzw. dC1 bei einer NH3-Konzentra tionsänderung von 0 auf 124 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 251 ppm NO);
unten: Widerstandsänderung dR2 (weiße Balken) und Kapazitätsände rung dC2 (dunkle Balken) bei einer NO-Konzentrationsänderung von 251 auf 653 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 124 ppm NH3) im Verhältnis zu der Widerstandsänderung dR1 bzw. dC1 bei einer NH3-Konzentra tionsänderung von 0 auf 124 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 251 ppm NO);
Fig. 4 oben: relative Widerstandsänderungen dR/R1 (weiße Balken) und rela
tive Kapazitätsänderungen dC/C1 (dunkle Balken) für unterschiedliche
Moduli des Zeolithtyps ZSM5 bei einer NH3-Konzentrationsänderung
von 0 auf 124 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 251 ppm NO);
unten: Widerstandsänderung dR2 (weiße Balken) und Kapazitätsände rung dC2 (dunkle Balken) bei einer NO-Konzentrationsänderungen von 251 auf 653 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 124 ppm NH3) im Ver hältnis zu der Widerstandsänderung dR1 bzw. dC1 bei einer NH3-Kon zentrationsänderung von 0 auf 124 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 251 ppm NO);
unten: Widerstandsänderung dR2 (weiße Balken) und Kapazitätsände rung dC2 (dunkle Balken) bei einer NO-Konzentrationsänderungen von 251 auf 653 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 124 ppm NH3) im Ver hältnis zu der Widerstandsänderung dR1 bzw. dC1 bei einer NH3-Kon zentrationsänderung von 0 auf 124 ppm (10% O2, 5% abs H2O, 251 ppm NO);
Fig. 5 Widerstandsänderungen über der Zeit für den Zeolithtyp H-ZSM5 (Mo
dul 140) durch unterschiedliche NH3-Konzentrationsänderungen (40
ppm, 60 ppm, 80 ppm 100 ppm) in einem Meßgas mit 1000 ppm NO,
5% abs H2O und 10% O2; Sensorbetriebstemperatur 420°C, Meßga
stemperatur 260°C;
Fig. 6 Relative Widerstandsänderungen dR/R für den Zeolithtyp H-ZSM5 (Mo
dul 140) durch NH3-Konzentrationsänderungen 0-100 ppm in einem
Meßgas mit 10% O2, 2% H2O (Quadrat), 5% H2O (Raute), 10% H2O
(Dreieck); Sensorbetriebstemperatur 420°C, Meßgastemperatur
260°C;
Fig. 7 Relative Widerstandsänderungen dR/R für den Zeolithtyp H-ZSM5 (Mo
du 140) durch NH3-Konzentrationsänderungen von 50 ppm bei unter
schiedlichen Betriebspunkten: 1. Leerlauf, 2. mittlere Last, 3. Vollast;
Sensorbetriebstemperatur 420°C, Meßgastemperatur 260°C
Fig. 8 Widerstandsänderungen für den Zeolithtyp H-ZSM5 (Modul 140) durch
NH3-Konzentrationsänderungen 0 ppm → 60 ppm → 0 ppm in ei
nem Meßgas mit 10% O2, 5% H2O; Sensorbetriebstemperatur 420°C,
Meßgastemperatur 260°C;
0-16 min: 30 sec 60 ppm NH3, 30 sec 0 ppm NH3
16-23 min: 20 sec 60 ppm NH3, 20 sec 0 ppm NH3
23-27 min: 15 sec 60 ppm NH3, 15 sec 0 ppm NH3;
0-16 min: 30 sec 60 ppm NH3, 30 sec 0 ppm NH3
16-23 min: 20 sec 60 ppm NH3, 20 sec 0 ppm NH3
23-27 min: 15 sec 60 ppm NH3, 15 sec 0 ppm NH3;
Fig. 9 einen erfindungsgemäßen Sensor.
Es wurden umfangreiche Untersuchungen der NH3-Empfindlichkeit zeolithi
scher IDK-Sensoren in Abhängigkeit von dem eingesetzten Zeolithtyp und der
verwendeten Zeolithmodifikation durchgeführt. Dabei wurde sowohl die NH3-
Sensorempfindlichkeit als auch die Querempfindlichkeit zu NO, H2O, CO, HC
untersucht. Die Zeolithe wurden sowohl in der Na- und H-Form eingesetzt. Zu
sätzlich wurden diese Kationen durch andere Elemente durch Ioneneintausch
kationischer Verbindungen dieser Elemente durchgeführt.
Die Fig. 3 zeigt als ein Beispiel die NH3-Sensorempfindlichkeit (oben) und die
NO-Querempfindlichkeit (unten) für Modifikationen des Beta-Zeolithen. Der
Modul ist bei allen dargestellten Modifikationen im wesentlichen der gleiche.
Die Fig. 4 zeigt als ein weiteres Beispiel die NH3-Sensorempfindlichkeit
(oben) und NO-Querempfindlichkeit (unten) für unterschiedliche Moduli des
Zeolithtypen ZSM5 in der H-Form. Dabei wurden Zeolithen unterschiedlicher
Hersteller berücksichtigt. Die Hersteller sind in der Fig. 4 mit "Herst. A", "Herst.
B", "Herst. C" bezeichnet.
Bei den Diagrammen zur NO-Querempfindlichkeit ist zu beachten, daß bei ei
nem Faktor 1,0 gerade kein NO-Einfluß vorliegt. Die Meßsäulen geeigneter
Sensormaterialien enden deshalb in dem eingezeichneten Intervall um den
Faktor 1,0.
Die Messungen wurden bei 10% O2 und 5% abs H2O in der Weise durchge
führt, daß
- (1) NH3 von 0 auf 124 ppm erhöht wurde, wobei sich zusätzlich 251 ppm NO im Meßgas befand,
- (2) NO von 251 ppm auf 653 ppm erhöht wurde, wobei sich zusätzlich 124 ppm NH3 im Meßgas befand.
Durch diese Meßprozedur wurden die tatsächlichen bei einer bestimmten
NOx-Rohemission nach einer bestimmten Katalysatorlänge (30% der Gesamt
länge) bei einem bestimmten NO-Umsatz (60%) vorliegenden NO/NH3-Kon
zentrationen berücksichtigt.
Die Fig. 3 zeigt das bislang noch nicht bekannte Ergebnis, daß sowohl die
NH3-Empfindlichkeit als auch die NO-Querempfindlichkeit beim gleichen Zeo
lithtyp (im Beispiel "Beta") durch die Art und Konzentration der Austauschkat
ionen und damit durch die Azidität des modifizierten Zeolithen beeinflußt wer
den kann.
Die Fig. 4 zeigt das bislang noch nicht bekannte Ergebnis, daß sowohl die
NH3-Empfindlichkeit als auch die NO-Querempfindlichkeit bei der gleichen
Zeolithform (im Beispiel "H-Form") von der Wahl des Moduls und damit der
Azidität des Zeolithen abhängt.
Damit ergibt sich überraschenderweise die Möglichkeit, die Querempfindlich
keit gegenüber NO durch Eintausch unterschiedlich hoher Anteile von Katio
nen, durch die Art des Kations, durch die Wahl des Zeolithtyps und durch den
Modul des Zeolithen, und damit durch die Einstellung der Azidität der Zeolithe,
einzustellen.
So ist der H-Beta-Zustand mit einer Widerstandsabnahme von 72% sehr emp
findlich für NH3, gleichzeitig aber auch sehr querempfindlich gegen NO.
Durch eine NO-Konzentrationsänderung von 251 auf 653 ppm ändert sich
nämlich der Widerstand um einen Faktor -1,1. Dies bedeutet, daß der Wider
stand wieder zunimmt und seinen Ausgangswert von der NH3-Beaufschla
gung erreicht. In Fig. 3 stehen die Proben Na-Beta (0,01M), Na-Beta(1x), Na-
Beta(2x) und Na-Beta(3x) für eine zunehmende Natriumionenkonzentration,
wodurch die Azidität verringert wird. Die Zeolithe Na-Beta(1x) und Na-Be
ta(2x) zeigen fast keine NO-Querempfindlichkeit. (Faktor 1,0 bedeutet, daß
kein NO-Einfluß vorliegt).
Fig. 4 zeigt mehrere Zeolithen des Typs ZSM5, wobei das Modul der einzel
nen Zeolithen des gleichen Herstellers von links nach rechts kleiner wird, wo
durch die Azidität verringert wird. Aus dieser Fig. ist zu entnehmen, daß z. B.
ein H-ZSM5 mit einem Modul von 140 empfindlich für NH3 und nicht que
rempfindlich gegen NO ist, während ein HZSM5 des gleichen Herstellers mit
einem Modul 50 zwar sehr NH3-empfindlich ist aber gleichzeitig auch eine
stake NO-Querempfindlichkeit besitzt.
Fig. 5 zeigt die NH3-Empfindlichkeit für den Zeolithtyp H-ZSMF (Modul 140)
als eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen NH3-Sensors. Der Sensor
wird hintereinander mit 40 ppm, 60 ppm, 80 ppm, 100 ppm NH3 beaufschlagt.
Der Widerstand nimmt durch 40 ppm NH3 von 31 auf 25 kOhm ab. Dies ent
spricht eine Widerstandsabnahme um 20%. Bei 100 ppm NH3 nimmt der
Widerstand um die Hälfte auf 15 kOhm ab.
Die Fig. 6 zeigt für verschiedene H2O-Konzentrationen (2%, 5%, 10%) im
Feedgas die Abhängigkeit zwischen der Widerstandsabnahme und der NH3-
Konzentration eines erfindungsgemäßen H-ZSM5-Zeoliths mit Modul 140. Nur
bei sehr geringen NH3-Konzentrationen macht sich ein Wechsel der H2O-
Konzentrationen im relativen Wertebereich störend bemerkbar. Ab 40 ppm
NH3 spielt diese Restquerempfindlichkeit gegenüber Wasser keine Rolle
mehr.
Die Fig. 7 zeigt in tabellarischer Form die Signaländerung eines erfindungs
gemäßen NH3-Sensors (H-ZSM5, Modul 140), die bei unterschiedlichen
Feedgaszusammensetzungen durch 50 ppm NH3 hervorgerufen werden. Die
Feedgaszusammensetzungen entsprechen den Bedingungen bei Leerlauf,
Zwischenlast und Vollast nach einer bestimmten Länge eines SCR-Katalysa
tors mit einem bestimmten NOx-Umsatz. Es zeigt sich, daß 50 ppm NH3 in al
len Lastzuständen, unabhängig vom jeweiligen Gehalt an NO, O2 H2O, si
cher erkannt werden können.
Fig. 8 zeigt das Ansprechverhalten eines erfindungsgemäßen NH3-Sensors
anhand der Widerstandsänderung aufgrund periodischer NH3-Konzentra
tionsänderungen zwischen 0 und 60 ppm. Die Gasbeaufschlagung wurde in
der folgenden Weise durchgeführt:
0-16 min: 30 sec 60 ppm NH3, 30 sec 0 ppm NH3
16-23 min: 20 sec 60 ppm NH3, 20 sec 0 ppm NH3
23-27 min: 15 sec 60 ppm NH3, 15 sec 0 ppm NH3.
0-16 min: 30 sec 60 ppm NH3, 30 sec 0 ppm NH3
16-23 min: 20 sec 60 ppm NH3, 20 sec 0 ppm NH3
23-27 min: 15 sec 60 ppm NH3, 15 sec 0 ppm NH3.
Der NH3-Sensor besitzt in dieser Ausführungsform eine T50-Ansprechzeit im
Bereich von 2 sec.
Fig. 9 einen erfindungsgemäßen Sensor mit einem Interdigitalkondensator 20
als das als Kondensator wirkende Bauelement sowie der gasdurchlässigen,
sensitiven Zeolithschicht 30. Die obere Abbildung zeigt eine Draufsicht auf
den Sensor. In der mittleren Abbildung ist ein Schnitt durch den Sensor dar
gestellt. Die untere Abbildung zeigt eine weitere Draufsicht auf den Sensor,
bei der die Heizerstruktur 40 zu erkennen ist.
Auf einem Substrat 10, z. B. aus Quarzglas, Si oder Al2O3 sind die parallelen
Leiterbahnen (z. B. aus Au) des Interdigitalkondensators 20 aufgebracht. Sie
sind derart verschaltet, daß sich eine Anordnung elektrisch parallel geschalte
ter Kondensatoren ergibt, wobei ein einzelner Kondensator jeweils zwei be
nachbarte Leiterbahnen umfaßt. Über und zwischen den Leiterbahnen ist die
gasdurchlässige, sensitive Zeolithschicht 30 angeordnet. Die Schichtdicke
der Zeolithschicht 30 liegt z. B. in der Größenordnung von 40 µm. Auf der Un
terseite des Substrats 10 ist eine Heizung 40 angeordnet, deren Struktur aus
einzelnen Heizungsdrähten in der unteren Abbildung im Detail
dargestellt ist.
Claims (9)
1. Sensor zum selektiven Nachweis von Ammoniak in sauerstoffreichem,
NOx-haltigem Gas, welcher
- - ein als Kondensator wirkendes Bauelement (20) und
- - eine gasdurchlässige, sensitive Schicht (30) als Dielektrikum umfaßt, wobei die sensitive Schicht (30) ein hydrophober, edelmetallfreier Zeolith mit geringer Azidität ist, der eine geord nete, kristalline Struktur aus Primärporen aufweist, deren Durchmesser in der Größenordnung des gaskinetischen Durchmessers von NH3 ist.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Azidität der sensitiven Schicht (30) durch Eintausch unterschied
lich hoher Anteile von Kationen, durch die Art des Kations, durch
die Wahl des Zeolithtypes oder durch den Modul des Zeolithen
eingestellt wird.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Sauerstoffkonzentration zwischen 20% und 5000 ppm
liegt.
4. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Zeolith ein Y-, USY, Mordenit, ZSM5,
ZSM 12, Beta, L, SAPO-11, SAPO-34 oder MCM41 ist.
5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
Zeolith in der reinen H-Form oder der reinen Na-Form vorliegt,
oder teilweise oder vollständig mit Alkali-, Erdalkali- oder Über
gangselementen ausgetauscht ist.
6. Sensor nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet,
daß im Gitter des Zeolithen Aluminium teilweise durch Über
gangselemente ersetzt ist.
7. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das sauerstoffreiche, NOx-haltige Gas
das Abgas eines Dieselmotors oder eines direkteinspritzenden
Ottomotors ist.
8. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das sauerstoffreiche, NOx-haltige Gas die
Abluft eines Kraftwerkes ist.
9. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das als Kondensator wirkende Bauteil ein
Interdigitalkondensator ist.
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