DE19700426C2 - Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation

Info

Publication number
DE19700426C2
DE19700426C2 DE1997100426 DE19700426A DE19700426C2 DE 19700426 C2 DE19700426 C2 DE 19700426C2 DE 1997100426 DE1997100426 DE 1997100426 DE 19700426 A DE19700426 A DE 19700426A DE 19700426 C2 DE19700426 C2 DE 19700426C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
hollow body
layers
plasma
gas
monomer gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE1997100426
Other languages
English (en)
Other versions
DE19700426A1 (de
Inventor
Henning Gleich
Olaf Hoyer
Juergen Klare
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inpro Innovationsgesellschaft fuer Fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH
Original Assignee
Inpro Innovationsgesellschaft fuer Fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inpro Innovationsgesellschaft fuer Fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH filed Critical Inpro Innovationsgesellschaft fuer Fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH
Priority to DE1997100426 priority Critical patent/DE19700426C2/de
Publication of DE19700426A1 publication Critical patent/DE19700426A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19700426C2 publication Critical patent/DE19700426C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62Plasma-deposition of organic layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00Processes of polymerisation
    • C08F2/46Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/52Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by electric discharge, e.g. voltolisation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/12Chemical modification
    • C08J7/16Chemical modification with polymerisable compounds
    • C08J7/18Chemical modification with polymerisable compounds using wave energy or particle radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/22Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to internal surfaces, e.g. of tubes
    • B05D7/227Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to internal surfaces, e.g. of tubes of containers, cans or the like
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/338Changing chemical properties of treated surfaces
    • H01J2237/3382Polymerising

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation, bei dem durch Einführung mindstens eines reaktionsfähigen Monomergases bei einer Temperatur von 20°C bis 100°C ein Druckgefälle zwischen Innen- und Außenwand des Hohlkörpers erzeugt und das Monomergas dann durch Energiezufuhr angeregt und zur Plasmapolymerisation gebracht wird, wobei auf der Innenfläche des Hohlkörpers mindestens eine Polymerschicht appliziert und ein stufenweiser Schichtaufbau durch wechselnde Steuerung der Gasanteile der Prozeßatmosphäre erzeugt wird.
Die Möglichkeit, Schichten mittels Plasmapolymerisation auf organische Träger aufzubringen, die sich durch eine hohe Diffusionswirkung auszeichnen, ist bekannt (WO 8602023 A1; EP 0 677 366 A1; JP- 3-107458 A). Speziell durch eine plasmapolymerisierte Innenbeschichtung von Hohlkörpern kann eine erhebliche Verminderung der Permeationsrate flüssiger und/oder gasförmiger Befüllungen dieser Hohlkörper erreicht werden.
Bekannt ist auch (DE-A-41 41 805; US 4264750), mittels einer Mikrowellenanregung in einem Niederdruckreaktor ein Monomergas anzuregen und zur Plasmapolymerisation zu führen. Derartige Prozesse werden üblicherweise bei Drücken zwischen 1 Pa und 100 Pa und Temperaturen zwischen 20°C und 100°C durchgeführt. Je nach Konzentration des eingespeisten Monomergases stellt sich eine bestimmte Temperatur ein.
Bei einem aus der EP 0 739 655 A1 bekannten Verfahren der eingangs erwähnten Art wird ein stufenweiser Schichtaufbau durch wechselnde Steuerung der Gasanteile der Prozeßatmosphäre erzeugt, indem das Konzentrationsverhältnis von Monomer- und Trägergas variiert und das Monomergas in einer bestimmten Konzentration in den Hohlkörper eingeführt wird.
Bekannt ist ferner (DE 36 32 748 C2), zur Erzielung einer verbesserten Diffusionsschutzwirkung bei Kunststoffbehältern nach der Auspolymerisation der Monomerradikale auf der beschichteten Oberfläche noch eine Nachbehandlung in einem Sauerstoff-Plasma durchzuführen.
Schließlich ist ein Verfahren zur Plasmabeschichtung von Hohlkörpern bekannt (DE 43 16 349 C2), bei dem ein plasmapolymerisierbares Monomer und ein Zusatzgas so zugeführt werden, daß das Monomer vollständig polymerisiert wird.
Ausgangspunkt der vorliegenden Erfindung ist die Erkenntnis, daß eine bestimmte Mindestkonzentration an reaktionsfähigem Monomer erforderlich ist, um überhaupt eine Plasmapolymerisation einleiten zu können. Wird diese Konzentration unterschritten, so erlischt das Plasma und es findet keine weitere Polymerisationsreaktion mehr statt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, mit dem gegenüber Flüssigkeit und/oder Gasen hochsperrende, praktisch pin-hole-freie Schichten auf räumlichen Ausgangssubstraten wie den Innenflächen von Kunststoffhohlkörpern aufgebaut werden können.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der stufenweise Schichtaufbau erzeugt wird, indem ein Gemisch aus Argon und Monomergas in einer solchen Konzentration in den in einem Reaktor befindlichen Hohlkörper eingeleitet wird, daß die eingespeiste Energiemenge in Form einer Mikrowelle ausreicht, daß der Umsatz an Monomer während der Plasmapolymerisation höher ist als die nachgeführte Menge Monomergas und das Plasma mangels Monomergaskonzentration erlischt und die Polymerisation aussetzt, während die Energiezufuhr auch nach dem Abklingen der Plasmapolymerisation aufrechterhalten wird und hierbei eine Nachvernetzung und/oder Ausheilung der während der Polymerisationsphase auf der Innenwand des Hohlkörpers abgelagerten Schicht erfolgt, worauf der Vorgang entsprechend der gewünschten Stärke des Schichtaufbaus nach Erreichen der erforderlichen Konzentration des für die Plasmapolymerisation weiterhin zugeführten Monomergases zyklisch wiederholt wird, und daß zusätzlich der Monomergaszufluß in den Hohlkörper nach jedem Zyklus der Vorgangs und/oder am Ende aller Zyklen des Vorgangs abgeschaltet sowie durch einen Wasserstoffgaszufluß ersetzt wird, durch den die Nachvernetzungen und/oder Ausheilungen der bereits auf der Innenwand des Hohlkörpers abgelagerten Schicht oder Schichten verstärkt wird.
Vorzugsweise werden ungesättigte Monomere, insbesondere Butadien, Acetylen oder Ethylen verwendet, und es erfolgen bevorzugt ein Energieeintrag von 1200 W/m3 und die Einführung des Monomergases mit einer Konzentration von 15 ml/min in den Hohlkörper mit einem Innenvolumen von ca. 70 l über einen Zeitraum von 16 min, wobei eine Reduzierung der Permeation durch die Außenwand des Hohlkörpers von mehr als 99% erzeugt wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kommt die Plasmareaktion nach einer bestimmten Zeit zum Stillstand und die weiterhin eingespeiste Energie bewirkt, daß in der bereits abgelagerten Polymerschicht Nachvernetzungen stattfinden. Die Folge ist ein erhöhter Vernetzungsgrad verbunden mit der Ausheilung zunächst vorhandener Fehlstellen und somit die Erzielung einer pin-hole-freien Schicht. Die Nachvernetzungen laufen solange ab, bis die Konzentration an Monomergas wieder über die kritische Grenze angestiegen ist und erneut eine Plasmapolymerisation stattfindet, die zum Aufbau einer weiteren Schicht führt. Dieser Verfahrensablauf wird zyklisch fortgeführt, bis die Dicke der an der Innenwand des Hohlkörpers angelagerten gesamten getaperten Beschichtung die gewünschte Stärke erreicht hat. Die Wechselzyklen des Plasmabrandes, bei dem sich die Monomere anlagern, und die Nachvernetzung der Schicht nach dem Abflachen des Plasmas enstehen nach optischer Beobachtung in Intervallen etwa zwischen 1/100 Sekunden und einer Sekunde.
Der erfindungsgemäße zusätzliche Monomergaszufluß erfolgt sowohl in den Reaktorraum als auch in den Hohlkörper, und zwar erfolgt die Einspeisung der Gase über in der Reaktorwand befindliche Düsen (Außeneinspeisung des Gases) sowie über eine Direkteinspeisung in den Hohlkörper (Inneneinspeisung des Gases), wobei ein zyklenweises Heraus- bzw. Hereinwandern des Plasmas aus bzw. in den Hohlkörper erzeugt wird. Über eine Ventilregelung der Gasführung ist neben der prinzipiellen Durchführung der Innen- bzw. der Außeneinspeisung auch eine mechanisch gepulste Einleitung oder die getrennte Einleitung unterschiedlicher Gase bzw. Gaskombinationen innen und außen möglich. Die prinzipiell vorhandene Druckdifferenz zwischen dem Reaktorraum und dem Innenraum des Hohlkörpers wird zusätzlich optimal genutzt. Durch gleichzeitige Einspeisung des Gases bzw. der Gaskombination in einen nicht mit Rußadditiv versehenen Referenzhohlkörper kann der Prozeß als stabil oder unregelmäßig brennend optisch insitu-detektiert werden. Anstelle eines kleinen, naturfarbenen Referenzhohlkörpers kann auch eine naturfarbene Platte als Plasmaindikator an einer oder mehreren Öffnungen des Hohlkörpers angebracht werden.
Durch die erfindungsgemäße zusätzliche Vernetzung und damit verbundene Ausheilung zunächst vorhandener Fehlstellen durch Deaktivierung reaktiver Postplasmateilchen ist die Erzielung pin- hole-freier Schichten gewährleistet. Durch die Ausheilung ursprünglich nicht fehlerfreier Schichten der Beschichtung des Hohlkörpers ist eine Verbesserung der Barrierewirkung beim Einsatz unterschiedlicher Kraftstoffe, eine homogenere und gleichmäßigere Schichtaufbringung und eine schonendere Substratoberflächenbehandlung gewährleistet.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird nun anhand der Zeichnungen erläutert. In diesen sind:
Fig. 1 eine schematische Darstellung des Aufbaus einer auf ein Substrat wie auf eine Innenwand eines Hohlkörpers aufgebrachte plasmapolymerisierte Beschichtung unter Einwirkung des hochfrequenten "Disco-Effektes",
Fig. 2 ein schematischer Aufbau einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens,
Fig. 3 ein Diagramm, aus dem das Schichtwachstum über die Zeit hervorgeht, wobei vergrößert und herausgezogen Zeitabschnitte des aktiven sowie des reduzierten Plasmabrandes dargestellt sind, und
Fig. 4 eine schematische Darstellung, die die zyklische Nachvernetzung durch reduzierendes Gas der auf das Substrat aufgebrachten polymerisierten Beschichtung verdeutlicht.
Bei der Herstellung plasmapolymerisierter Schichten auf räumliche Ausgangssubstrate werden bekannterweise Mikrowellen während eines jeden Verfahrenszyklus wechselnd in den Reaktorraum eingeleitet, wobei sich die Dynamik der Zyklen auf den Plasmapolymerisationsprozeß überträgt und für einen zyklischen Schichtauftrag im energieaktiven Zustand sorgt. Ähnlich wirkt auch das bekannte instabile Plasmaleuchten im Hohlkörper, der sogenannte "Disco-Effekt", der auf einem zyklischen Brennen des Plasmas im KKB mit aktiver Monomerumsetzung (Phase I) im Wechsel mit einem Postplasma (passives Plasma) oder mit Postplasmareaktionen reduzierter Plasmaintensität mit geringster Monomerumsetzung im KKB (Phase II) mit einer Frequenz von 20 Hertz bis zu mehreren hundert Hertz basiert. Fig. 1 zeigt die Wirkung des hochfrequenten "Disco-Effektes" bei der Herstellung einer plasmapolymerisierten Beschichtung 2 auf einem Substrat 1 bei zyklischer Wechselwirkung der Phase I (aktive Monomerumsetzung = Plasmabrand) und der Phase II (passives Plasma = geringste Monomerumsetzung und Postplasmareaktionen). Durch die hochfrequente Vernetzung ergeben sich die getaperten Schichten 3 gemäß Fig. 1, wobei sich das Schichtwachstum über die Zeit in der aus Fig. 3 ersichtlichen Weise vollzieht, d. h., die Schicht wächst jeweils in der Phase des aktiven Plasmabrandes, während in der Phase des reduzierten Plasmabrandes im wesentlichen die Nachvernetzung stattfindet. Der "Disco-Effekt" wird durch zusätzliche Stimmulation aus dem Reaktorraum bzw. im Innern des Hohlkörpers gestützt und führt als Kettenreaktion in zeitlicher Größenordnung von Sekunden zu zyklenweise sehr starkem und extrem geringen Umsatz an Plasmareaktionen, also zu hochfrequent auftretenden intervallmäßigen Nachvernetzungen oder zu zyklischen Postplasmareaktionen im molekularen Bereich (Fig. 3).
Fig. 2 verdeutlicht den prinzipiellen Aufbau einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, wonach ein Hohlkörper 4, z. B. ein KKB, mit einem Innendruck P2 in einer Reaktorkammer 5 angeordnet ist, in der ein Innendruck P1 herrscht. Über eine Öffnung 6 des Hohlkörpers 4 findet der dynamische zyklische Druckausgleich statt. Eine Zuleitung für ein Monomergas und ein Trägergas bzw. entsprechende Gaskombinationen führt durch die Wand 7 der Reaktorkammer 5 und letztere hindurch und über eine weitere Öffnung 8 des Hohlkörpers 4 unmittelbar in diesen, während über eine Öffnung 9 in der Wand 7 der Reaktorkammer 5 unmittelbar Trägergas in letztere zugeführt wird. Über eine weitere Öffnung 10 im Boden 11 der Reaktorkammer 5 wird für eine Absaugung der Gase gesorgt. Ein Magnetron 12 dient zur Mikrowellenerzeugung.
Der oben beschriebene Aufbau ermöglicht bei der Nutzung des Plasmas zur Beschichtung des Hohlkörpers 4 drei prinzipielle Varianten in der Verfahrensführung:
  • 1. Die Variante der vakuumdichten Abschirmung von Hohlkörper 4 zur Reaktorkammer 5 mit der Möglichkeit einer getrennten Gaszuführung und -abführung.
  • 2. Die Variante einer ungehinderten, d. h. offenen Evakuierung von Reaktorkammer 5 und Hohlkörper 4.
  • 3. Die Variante einer gehinderten, d. h. quasioffenen Evakuierung des Hohlkörpers 4.
Zusätzlich kann, wie aus Fig. 2 hervorgeht, eine Stabilisierung des Plasmas mit gleichzeitiger Innen- und Außengaseinspeisung erzielt werden. Mittels Ventilen oder Drosselklappen an den Hohlkörperöffnungen, die temporär zur Reaktorkammer 5 vollständig öffnen und schließen oder den Auslaßquerschnitt vergrößern oder verkleinern können, ist eine geeignete Regelung möglich.
Fig. 4 verdeutlicht die zyklischen Nachvernetzung des Verfahrens durch ein nachgeschaltetes und reduziertes Plasma, wobei wahlweise eine Kopplung mit dem "Disco-Effekt" stattfinden kann. Durch Kopplung beider Mechanismen wird ein höherer Vernetzungsgrad erzeugt. Fig. 4 zeigt die auf das Substrat 1 aufgebrachten getaperten plasmapolymerisierten Schichten 3 im Stadium 1 geringer Vernetzung und im Stadium 2 mit hoher Vernetzung nach Einsatz eines reduzierenden Gases.

Claims (3)

1. Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation, bei dem durch Einführung mindestens eines reaktionsfähigen Monomergases bei einer Temperatur von 20°C bis 100°C ein Druckgefälle zwischen Innen- und Außenwand des Hohlkörpers erzeugt und das Monomergas dann durch Energiezufuhr angeregt und zur Plasmapolymerisation gebracht wird, wobei auf der Innenfläche des Hohlkörpers mindestens eine Polymerschicht appliziert und eine stufenweiser Schichtaufbau durch wechselnde Steuerung der Gasanteile der Prozeßatmosphäre erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der stufenweise Schichtaufbau erzeugt wird, indem ein Gemisch aus Argon und Monomergas durchflußgesteuert in einer solchen Konzentration in den in einem Reaktor befindlichen Hohlkörper eingeleitet wird, daß die eingespeiste Energiemenge in Form einer Mikrowelle ausreicht, daß der Umsatz an Monomer während der Plasmapolymerisation hoher ist als die nachgeführte Menge Monomergas und das Plasma mangels Monomergaskonzentration erlischt und die Polymerisation aussetzt, wahrend die Energiezufuhr auch nach dem Abklingen der Plasmapolymerisation aufrechterhalten wird und hierbei eine Nachvernetzung und/oder Ausheilung der während der Polymerisationsphase auf der Innenenwand des Hohlkörpers abgelagerten Schicht erfolgt, worauf der Vorgang entsprechend der gewünschten Stärke des Schichtaufbaus nach Erreichen der erforderlichen Konzentration des für die Plasmapolymerisation weiterhin zugeführten Monomergases zyklisch wiederholt wird, und daß zusätzlich der Monomergaszufluß in den Hohlkörper nach jedem Zyklus des Vorgangs und/oder am Ende aller Zyklen des Vorgangs abgeschaltet und durch einen Wasserstoffgaszufluß ersetzt wird, durch den die Nachvernetzungen und/oder Ausheilungen der bereits auf der Innenwand des Hohlkörpers abgelagerten Schicht oder Schichten verstärkt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ungesättigte Monomere, insbesondere Butadien, Acetylen oder Ethylen verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Energieeintrag von 1200 W/m3 und die Einführung des Monomergases mit einer Konzentration von 15 ml/min in den Hohlkörper mit einem Innenvolumen von ca. 70 l über einen Zeitraum von 16 min erfolgen, wobei eine Reduzierung der Permeation durch die Außenwand des Hohlkörpers von mehr als 99% erzeugt wird.
DE1997100426 1997-01-09 1997-01-09 Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation Expired - Fee Related DE19700426C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1997100426 DE19700426C2 (de) 1997-01-09 1997-01-09 Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1997100426 DE19700426C2 (de) 1997-01-09 1997-01-09 Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19700426A1 DE19700426A1 (de) 1998-07-16
DE19700426C2 true DE19700426C2 (de) 2002-03-21

Family

ID=7816984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1997100426 Expired - Fee Related DE19700426C2 (de) 1997-01-09 1997-01-09 Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19700426C2 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE59913736D1 (de) * 1999-05-16 2006-09-14 Inpro Innovations Gmbh Vorrichtung zur Plasmapolymerisation von Hohlkörperchargen in Mehrstückbearbeitung

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4264750A (en) * 1979-08-01 1981-04-28 Massachusetts Institute Of Technology Process for fluorinating polymers
WO1986002023A1 (fr) * 1984-10-03 1986-04-10 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'e Procede d'impermeabilisation d'une surface constituee d'un polymere, son application a la fabrication d'objets en polymere, et appareil de mise en oeuvre
DE3632748C2 (de) * 1986-09-26 1989-04-13 Vereinigung Zur Foerderung Des Instituts Fuer Kunststoffverarbeitung In Industrie Und Handwerk An Der Rhein.-Westf. Technischen Hochschule Aachen Ev, 5100 Aachen, De
JPH03107458A (ja) * 1989-09-22 1991-05-07 Suzuki Motor Corp 樹脂製容器内面に被膜を形成する方法
DE4141805A1 (de) * 1991-12-18 1993-06-24 Rhein Bonar Kunststoff Technik Verfahren und vorrichtung zur herstellung von thermoplastischen kunststoffteilen mit hilfe von niedertemperaturplasmen
EP0677366A1 (de) * 1994-04-13 1995-10-18 Inpro Innovationsgesellschaft Für Fortgeschrittene Produktionssysteme In Der Fahrzeugindustrie Mbh Verfahren zur Herstellung von Werkstücken oder Bauteilen unter Verwendung einer polymeren Ausgangssubstanz, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoff-Behältern
DE4316349C2 (de) * 1993-05-15 1996-09-05 Ver Foerderung Inst Kunststoff Verfahren zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern mit organischen Deckschichten durch Plasmapolymerisation, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP0739655A1 (de) * 1995-04-28 1996-10-30 INPRO Innovationsgesellschaft für fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH Verfahren zu plasmagestützten Herstellung multifunktionaler Schichten auf Kunststoffteilen

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4264750A (en) * 1979-08-01 1981-04-28 Massachusetts Institute Of Technology Process for fluorinating polymers
WO1986002023A1 (fr) * 1984-10-03 1986-04-10 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'e Procede d'impermeabilisation d'une surface constituee d'un polymere, son application a la fabrication d'objets en polymere, et appareil de mise en oeuvre
DE3632748C2 (de) * 1986-09-26 1989-04-13 Vereinigung Zur Foerderung Des Instituts Fuer Kunststoffverarbeitung In Industrie Und Handwerk An Der Rhein.-Westf. Technischen Hochschule Aachen Ev, 5100 Aachen, De
JPH03107458A (ja) * 1989-09-22 1991-05-07 Suzuki Motor Corp 樹脂製容器内面に被膜を形成する方法
DE4141805A1 (de) * 1991-12-18 1993-06-24 Rhein Bonar Kunststoff Technik Verfahren und vorrichtung zur herstellung von thermoplastischen kunststoffteilen mit hilfe von niedertemperaturplasmen
DE4316349C2 (de) * 1993-05-15 1996-09-05 Ver Foerderung Inst Kunststoff Verfahren zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern mit organischen Deckschichten durch Plasmapolymerisation, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP0677366A1 (de) * 1994-04-13 1995-10-18 Inpro Innovationsgesellschaft Für Fortgeschrittene Produktionssysteme In Der Fahrzeugindustrie Mbh Verfahren zur Herstellung von Werkstücken oder Bauteilen unter Verwendung einer polymeren Ausgangssubstanz, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoff-Behältern
EP0739655A1 (de) * 1995-04-28 1996-10-30 INPRO Innovationsgesellschaft für fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH Verfahren zu plasmagestützten Herstellung multifunktionaler Schichten auf Kunststoffteilen

Also Published As

Publication number Publication date
DE19700426A1 (de) 1998-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112014005386B4 (de) Verbessertes plasmaaktiviertes ALD-System
DE3833232C2 (de)
DE4412915B4 (de) Plasmabehandlungsanlage, Verfahren zu deren Betrieb und Verwendung derselben
DE69532853T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur mikrowellen-plasmaerzeugung
DE3316693C2 (de)
DE4316349C2 (de) Verfahren zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern mit organischen Deckschichten durch Plasmapolymerisation, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP0705149B1 (de) Verfahren zum herstellen einer polymeren beschichtung an kunststoff-hohlkörpern
EP0821079B1 (de) CVD-Verfahren und Vorrichtung zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern
DE102004028369B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einer Rundläuferanlage
DE2251571A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufbringen von beschichtungen auf substraten
DE4445427A1 (de) Gradientenschicht
DE3402971A1 (de) Vorrichtung zur beschichtung eines substrates mittels plasma-chemical vapour deposition oder hochfrequenz-kathodenzerstaeubung
WO2005073427A2 (de) Verfahren zur herstellung eines ultrabarriere-schichtsystems
EP0741196B1 (de) Verfahren zur Abscheidung einer Siliziumoxidschicht
DE19912737A1 (de) Verfahren zur Herstellung von porösen SiO¶x¶-Schichten und poröse SiO¶x¶-Schichten
DE3128022A1 (de) Verfahren zum erzeugen von kohlenstoffueberzuegen fuer optische zwecke
DE19700426C2 (de) Verfahren zur Herstellung von gegenüber Flüssigkeiten und/oder Gasen permeationssperrenden Schichten auf Innenflächen von Kunststoffhohlbehältern, insbesondere von Kunststoff-Kraftstoffbehältern (KKB) mittels Plasmapolymerisation
EP0892082A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Dünnfilmen aus oxidischer Keramik
EP0132686A1 (de) Verfahren zum Erzeugen von Glimmpolymerisat-Schichten
DE102004020185A1 (de) Gaslanze für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern
DE3922601A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur niedertemperatur-plasmabehandlung von textilen substraten
EP1273676A2 (de) Verfahren zur Herstellung von gas- und flüssigkeitsundurchlässigen Schichten auf einem Substrat
WO2019243378A1 (de) Vorrichtung zum beschichten von behältern mit einer barriereschicht und verfahren zur heizung eines behälters
WO2008031604A1 (de) Verfahren zum aufbringen von schichten auf substrate mit gekrümmten oberflächen
DE102008050196A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abscheiden einer Gradientenschicht

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8181 Inventor (new situation)

Free format text: GLEICH, HENNING, 47259 DUISBURG, DE HOYER, OLAF, 16727 SCHWANTE, DE KLARE, JUERGEN, 38159 VECHELDE,DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee