DE19641662A1 - Oberflächenakustikwellenvorrichtung, bei der eine verlustbehaftete akustische Oberflächenwelle verwendet wird, mit einem optimierten Schnittwinkel eines piezoelektrischen Substrats - Google Patents
Oberflächenakustikwellenvorrichtung, bei der eine verlustbehaftete akustische Oberflächenwelle verwendet wird, mit einem optimierten Schnittwinkel eines piezoelektrischen SubstratsInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen Ober
flächenakustikwellen-(SAW)-Vorrichtungen, und im besonderen
eine SAW-Vorrichtung mit einer verbesserten Durchlaßbandcha
rakteristik speziell in einem Superhochfrequenzband, das ein
GHz-Band enthält.
Oberflächenakustikwellen-(SAW)-Vorrichtungen werden in
Hochfrequenzschaltungen von kompakten Funktelekommunikati
onsvorrichtungen, die jene zur tragbaren Verwendung enthal
ten, umfassend eingesetzt, um Filter und Resonatoren zu
bilden. Solche SAW-Vorrichtungen sind im allgemeinen auf
einem Einkristall oder polykristallinen piezoelektrischen
Substrat gebildet. Unter anderem werden ein Einkristall
substrat aus LiNbO₃, das als 64°-Y-X-Schnitt-LiNbO₃ bezeich
net wird (K. Yamanouchi und K. Shibayama, J. Appl. Phys.,
Bd. 43, Nr. 3, März 1972, S. 856), und ein Einkristall
substrat aus LiTaO₃, das als 36°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃ bezeich
net wird, umfassend verwendet. Ein 64°-Y-X-Schnitt-LiNbO₃-
Substrat ist eine um 64° rotierte Y-Schnitt-Platte aus einem
LiNbO₃-Einkristall, in dem die Ausbreitungsrichtung der
akustischen Oberflächenwelle in der X-Richtung erfolgt.
Andererseits ist ein 36°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃-Substrat eine um
36° rotierte Y-Schnitt-Platte aus einem LiTaO₃-Einkristall,
in dem die Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächen
welle in der X-Richtung erfolgt.
Diese optimierten Schnittwinkel, die herkömmlicherweise
bei den piezoelektrischen Substraten aus LiNbO₃ oder LiTaO₃
verwendet werden, sehen jedoch ein optimales Ergebnis nur
vor, wenn der Effekt von zusätzlicher Masse, die durch die
Elektroden auf dem Substrat verursacht wird, ignoriert wird.
Während die Substrate, die mit den vorgenannten herkömmli
chen Schnittwinkeln gebildet sind, ein optimiertes Ergebnis
in den SAW-Vorrichtungen zur Verwendung in einem Niederfre
quenzband, das niedriger als mehrere hundert MHz ist, vorse
hen können, wo die Wellenlänge der angeregten Oberflächen
welle im Vergleich zu der Dicke der Elektroden ausreichend
lang ist, kann somit das Substrat für GHz-Anwendungen, wie
in jüngsten tragbaren Fernsprechsystemen gefordert, auf
Grund der Dicke der Elektroden, die angesichts der reduzier
ten Wellenlänge der darin angeregten akustischen Oberflä
chenwellen nicht mehr ignoriert werden kann, unzweckmäßig
sein. In solch einem Hochfrequenzband ist der Effekt der
Masse der Elektrode auffällig.
In einer SAW-Vorrichtung zur Verwendung in solch einem
Superhochfrequenzband ist es möglich, das Durchlaßband eines
SAW-Filters zu expandieren oder ein Kapazitätsverhältnis r
eines SAW-Resonators zu verringern, wenn die Dicke der
Elektrode auf dem piezoelektrischen Substrat zunimmt. Da
durch werden die scheinbaren elektromechanischen Kopplungs
koeffizienten vergrößert. Jedoch wirft die SAW-Vorrichtung
mit solch einer Konstruktion das Problem einer erhöhten
Volumenwellenemission von den Elektroden auf, wodurch ein
erhöhter Ausbreitungsverlust der akustischen Oberflächen
welle herbeigeführt wird. Die Volumenwellen, die von der
Elektrode so emittiert werden, werden als SSBW (surface
skimming bulk wave) bezeichnet, und die akustische Oberflä
chenwelle, die mit einer SSBW einhergeht, wird als LSAW
(leaky surface acoustic wave) bezeichnet. Bezüglich des
Ausbreitungsverlustes der LSAW in einem SAW-Filter, bei dem
ein dicker Elektrodenfilm verwendet wird, der auf einem 36°-
Y-X-Schnitt-LiTaO₃-Substrat oder auf einem 64°-Y-X-Schnitt-
LiNbO₃-Substrat vorgesehen ist, sollten Plessky et al. (V.
S. Plessky und C. S. Hartmann, Proc. 1993 IEEE Ultrasonics
Symp., S. 1239-1242) und Edmonson et al. (P. J. Edmonson
und C. K. Campbell, Proc. 1994 IEEE Ultrasonics Symp., S. 75
-79) konsultiert werden.
Ferner sei angemerkt, daß in den herkömmlichen SAW-Fil
tern, die zur Verwendung einer LSAW bestimmt sind und auf
einem 36°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃-Substrat oder auf einem 64°-Y-
X-Schnitt-LiNbO₃-Substrat konstruiert sind, die Schallge
schwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle dicht bei der
Schallgeschwindigkeit der Volumenwelle liegt, wenn die Dicke
der Elektrode klein ist. In solch einem Fall erscheint eine
ungewollte Spitze in der Nähe des Durchlaßbandes des SAW-
Filters auf Grund der Volumenwellenemission von der Elek
trode. Siehe Ueda et al. (M. Ueda et al., Proc. 1994 IEEE
Ultrasonics Symp., S. 143-146).
Fig. 1 zeigt die ungewollten Spitzen A und B, von denen
Ueda et al. (op. cit.) berichteten, welche ungewollten
Spitzen A und B als Resultat der Volumenwellenemission, wie
oben erwähnt, in der Nähe des Durchlaßbandes des SAW-Filters
gebildet werden. Das Resultat von Fig. 1 wird bei einem SAW-
Filter erhalten, das auf einem 36°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃-
Substrat gebildet ist und auf sich eine Interdigitalelek
trode aus einer Al-Cu-Legierung mit einer Dicke von 0,49 µm
trägt. Es sei erwähnt, daß die Dicke der Elektrode 3% der
Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle entspricht, die
in der SAW-Vorrichtung angeregt wird.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 sei angemerkt, daß die un
gewollte Spitze B außerhalb des Durchlaßbandes angeordnet
ist, das in der Nähe von 330 MHz gebildet ist, während die
ungewollte Spitze A innerhalb des Durchlaßbandes gebildet
ist und in ihm eine unerwünschte Welligkeit darstellt.
Da sich die Schallgeschwindigkeit einer SSBW nicht mit
der Dicke der Elektrode ändert, im Gegensatz zu der Schall
geschwindigkeit einer LSAW, die die Schallgeschwindigkeit in
Abhängigkeit von zusätzlicher Masse und daher von der Dicke
der Elektrode, die auf dem Substrat einer SAW-Vorrichtung
vorgesehen ist, ändert, nimmt die Schallgeschwindigkeit der
LSAW bezüglich der Schallgeschwindigkeit der SSBW ab, wenn
die SAW-Vorrichtung in einem Hochfrequenzband, wie einem
GHz-Band, betrieben wird, woraus eine Verschiebung des
Durchlaßbandes des SAW-Filters bezüglich der ungewollten
Spitze B resultiert. Dadurch würde für das SAW-Filter eine
wünschenswerte flache Durchlaßbandcharakteristik erhalten.
Jedoch führt solch eine Vergrößerung der Elektroden
dicke hinsichtlich der Wellenlänge der akustischen Oberflä
chenwelle zu dem Problem eines erhöhten Verlustes der LSAW
auf Grund der Emission der schon erläuterten SSBW. Ferner
verursacht solch eine Vergrößerung der Elektrodendicke eine
Verschlechterung des Formfaktors des SAW-Filters. Wie später
erläutert wird, stellt der Formfaktor eines SAW-Filters die
Steilheit sowie die Breite der Durchlaßbandcharakteristiken
des Filters dar. Genauer gesagt, die Filtercharakteristik
wird breit und undefiniert, wenn der Formfaktor des SAW-
Filters schlecht ist.
Ferner ist es in einem SAW-Filter zur Verwendung in
einem Superhochfrequenzband, das das GHz-Band umfaßt, erfor
derlich, eine gewisse Dicke für die Elektrode zu gewährlei
sten, um den Widerstand der Interdigitalelektroden zu redu
zieren. Solch eine Forderung nach vergrößerter Dicke der
Elektrode ist unvereinbar mit der Forderung nach reduziertem
Verlust und verbessertem Formfaktor der SAW-Vorrichtung.
Daher ist es eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, eine neuartige und nützliche SAW-Vorrichtung
vorzusehen, bei der die obigen Probleme eliminiert sind.
Ein anderes und spezifischeres Ziel der vorliegenden
Erfindung ist es, eine SAW-Vorrichtung vorzusehen, die auf
einem piezoelektrischen Substrat konstruiert ist, das mit
einem Winkel geschnitten ist, der hinsichtlich einer Dicke
einer darauf vorgesehenen Elektrode optimiert ist.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine SAW-Vorrichtung vorzusehen, die ein Durchlaßband hat,
das eine ungewollte Spitze vermeidet, die durch eine Volu
menwellenemission verursacht wird.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein
Oberflächenakustikwellenfilter vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode umfaßt;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode umfaßt;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
einen Oberflächenakustikwellenresonator vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode umfaßt;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°;
welche Interdigitalelektrode eine erste Elektroden gruppe und eine zweite Elektrodengruppe umfaßt, welche erste Elektrodengruppe eine erste Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem ersten Anschluß verbunden sind, welche zweite Elektrodengruppe eine zweite Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem zweiten Anschluß verbunden sind, welche ersten und zweiten Gruppen von Elektrodenfingern so angeordnet sind, daß ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe zwischen einem Paar von Elektrodenfingern der ersten Gruppe liegt.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode umfaßt;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°;
welche Interdigitalelektrode eine erste Elektroden gruppe und eine zweite Elektrodengruppe umfaßt, welche erste Elektrodengruppe eine erste Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem ersten Anschluß verbunden sind, welche zweite Elektrodengruppe eine zweite Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem zweiten Anschluß verbunden sind, welche ersten und zweiten Gruppen von Elektrodenfingern so angeordnet sind, daß ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe zwischen einem Paar von Elektrodenfingern der ersten Gruppe liegt.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenverzögerungsleitung vorzusehen,
mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode bildet;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches, piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält, welches Elektrodenmuster eine Inter digitalelektrode bildet;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches, piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,004-0,021fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,004-0,021fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,009-0,045fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,009-0,045fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Schnittwinkel
des LiTaO₃-Substrats hinsichtlich der Masse der Elektrode,
die auf der Oberfläche des Substrats vorgesehen ist, zum
Minimieren des Verlustes optimiert. Dadurch erhält man
verschiedene SAW-Vorrichtungen mit einem breiten Durchlaß
band und einem verbesserten Formfaktor, die ein SAW-Filter,
einen SAW-Resonator und eine SAW-Verzögerungsleitung umfas
sen.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,04-0,12fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf dem Substrat angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,04-0,12fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf dem Substrat angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,005-0,017fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,005-0,017fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es,
eine Oberflächenakustikwellenvorrichtung vorzusehen, mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,012-0,036fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiNbO₃-Ein kristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Pri märkomponente enthält;
welches Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,012-0,036fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Schnittwinkel
des LiNbO₃-Substrats hinsichtlich der Masse der Elektrode,
die auf der Oberfläche des Substrats vorgesehen ist, zum
Minimieren des Verlustes optimiert. Dadurch erhält man
verschiedene SAW-Vorrichtungen mit einem breiten Durchlaß
band und einem verbesserten Formfaktor, die ein SAW-Filter,
einen SAW-Resonator und eine SAW-Verzögerungsleitung umfas
sen.
Andere Ziele und weitere Merkmale der vorliegenden
Erfindung gehen aus der folgenden eingehenden Beschreibung
in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen hervor.
Fig. 1 ist ein Diagramm, das die Durchlaßbandcharakte
ristiken eines typischen herkömmlichen SAW-Filters zeigt;
Fig. 2 ist ein Diagramm, das den Schnittwinkel eines
piezoelektrischen Kristalls erläutert;
Fig. 3 ist ein Diagramm, das einen Ausbreitungsverlust
einer SAW-Vorrichtung als Funktion des Schnittwinkels eines
LiTaO₃-Substrats für einen Fall zeigt, bei dem eine gleich
förmige Elektrode auf dem Substrat mit verschiedenen Dicken
vorgesehen ist;
Fig. 4 ist ein Diagramm, das einen Ausbreitungsverlust
einer SAW-Vorrichtung als Funktion des Schnittwinkels des
LiTaO₃-Substrats für einen Fall zeigt, bei dem eine Gitter
elektrode auf dem Substrat mit verschiedenen Dicken vorgese
hen ist;
Fig. 5 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen
einer Mittenfrequenz und der Temperatur für eine SAW-Vor
richtung zeigt, die auf einem LiTaO₃-Substrat mit verschie
denen Schnittwinkeln konstruiert ist;
Fig. 6 ist ein Diagramm, das eine Temperaturabhängig
keit eines minimalen Einfügungsverlustes einer SAW-Vorrich
tung zeigt, die auf einem LiTaO₃-Substrat mit verschiedenen
Schnittwinkeln konstruiert ist;
Fig. 7 ist ein Diagramm, das einen Ausbreitungsverlust
einer SAW-Vorrichtung als Funktion des Schnittwinkels eines
LiNbO₃-Substrats für einen Fall zeigt, bei dem eine gleich
förmige Elektrode auf dem Substrat mit verschiedenen Dicken
vorgesehen ist;
Fig. 8A und 8B sind Diagramme, die die Konstruktion
eines SAW-Filters gemäß einer ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung jeweilig in einer Draufsicht und in
einem Schaltungsdiagramm zeigen;
Fig. 9 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen
einem minimalen Einfügungsverlust eines SAW-Filters und dem
Schnittwinkel eines LiTaO₃-Substrats zeigt, das für das SAW-
Filter verwendet wird;
Fig. 10A und 10B sind Diagramme, die jeweilig die Defi
nition eines Formfaktors und die Beziehung zwischen dem
Formfaktor und dem Schnittwinkel des LiTaO₃-Substrats zei
gen;
Fig. 11 ist ein Diagramm, das die Durchlaßbandcharakte
ristiken des SAW-Filters von Fig. 8A und 8B erläutert;
Fig. 12 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen
dem Schnittwinkel des LiTaO₃-Substrats und einem elektrome
chanischen Kopplungskoeffizienten für die SAW-Vorrichtung
von Fig. 8A und 8B zeigt;
Fig. 13 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen
dem Ausbreitungsverlust und der Elektrodendicke für ver
schiedene Schnittwinkel des LiTaO₃-Substrats in der SAW-
Vorrichtung von Fig. 8A und 8B zeigt;
Fig. 14 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen
dem Ausbreitungsverlust und der Elektrodendicke für ver
schiedene Schnittwinkel des LiNbO₃-Substrats in der SAW-
Vorrichtung von Fig. 8A und 8B zeigt;
Fig. 15A und 15B sind Diagramme, die eine Abwandlung
des SAW-Filters der ersten Ausführungsform zeigen;
Fig. 16 ist ein Ersatzschaltungsdiagramm eines SAW-Fil
ters gemäß einer weiteren Abwandlung der ersten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung;
Fig. 17 ist ein Diagramm, das die Konstruktion eines
SAW-Filters gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung in einer Draufsicht zeigt;
Fig. 18 ist ein Diagramm, das die Konstruktion eines
SAW-Filters gemäß einer dritten Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung in einer Draufsicht zeigt;
Fig. 19 ist ein Diagramm, das die Konstruktion eines
SAW-Filters gemäß einer vierten Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung zeigt;
Fig. 20 ist ein Diagramm, das die Konstruktion eines
Einzelport-SAW-Resonators gemäß einer fünften Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung in einer Draufsicht zeigt;
und
Fig. 21 ist ein Diagramm, das die Konstruktion eines
Dualport-SAW-Resonators gemäß einer sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
Zuerst wird das Prinzip der vorliegenden Erfindung
unter Bezugnahme auf Fig. 2 und 3 beschrieben, wobei Fig. 2
ein Diagramm ist, das den Schnittwinkel eines piezoelektri
schen Substrats erläutert.
Unter Bezugnahme auf Fig. 2, die einen sogenannten θ
rotierten Y-X-Schnitt eines Einkristallsubstrats aus LiTaO₃
oder LiNbO₃ zeigt, sei erwähnt, daß das piezoelektrische
Substrat aus einem Block des LiTaO₃- oder LiNbO₃-Einkri
stalls, der Kristallachsen X, Y und Z hat, in solch einem
Zustand geschnitten ist, daß das Substrat von der Y-Achse
mit einem Rotationswinkel θ um die X-Achse hin zu der Z-
Achse rotiert ist. So wird der Rotationswinkel θ auch als
Schnittwinkel des Substrats bezeichnet.
Fig. 3 zeigt den Einfügungsverlust eines SAW-Resona
tors, der auf einem θ-rotierten Y-X-Schnitt-LiTaO₃-Substrat
gebildet ist, für verschiedene Schnittwinkel θ des
Substrats.
Wie zuvor erläutert, wird gewöhnlich ein 36°-Y-X-
Schnitt-Substrat verwendet, wenn LiTaO₃ für das piezoelek
trische Substrat eingesetzt wird, welcher besondere Schnitt
winkel von 36° angesichts der Minimierung des Ausbreitungs
verlustes bei der akustischen Oberflächenwelle mit relativ
langer Wellenlänge verwendet worden ist. Siehe Nakamura K.,
et al., Shingaku Gihou US77-42, 1977, S. 31-36 (auf japa
nisch). In dem Fall einer SAW-Vorrichtung, die auf einem
LiNbO₃-Substrat konstruiert ist, ist für das Substrat
gewöhnlich ein Schnittwinkel von 64° verwendet worden.
Unter Bezugnahme auf Fig. 3 stellen die vollen Kreise
das Berechnungsresultat des Ausbreitungsverlustes einer LSAW
für eine SAW-Vorrichtung dar, in der eine hypothetische
Elektrode mit der Dicke von Null gleichförmig über die
Oberfläche eines 36°-Y-X-Schnitt-Substrats aus LiTaO₃ gebil
det ist. Die Kurve, die durch die vollen Kreise dargestellt
wird, gibt den minimalen Ausbreitungsverlust bei dem Winkel
θ von 36° deutlich an. Bei der Berechnung von Fig. 3 wurden
Kristallkonstanten verwendet, die von Kovacs genannt wurden
(Kovacs, G., et al., Proc. 1990 IEEE Ultrasonics Symp., S.
435-438).
Bei der Operation der SAW-Vorrichtung in einem Super
hochfrequenzband, wie einem GHz-Band, kann jedoch die Dicke
der Elektrode im Vergleich zu der Wellenlänge der akusti
schen Oberflächenwelle, die in der SAW-Vorrichtung angeregt
wird, nicht ignoriert werden, wie schon erläutert wurde. So
ist bei der Operation der SAW-Vorrichtung in solch einem
Superhochfrequenzband der Effekt der hinzugefügten Masse der
Elektrode auffällig. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung
haben entdeckt, daß auf Grund des Effektes von solch einer
hinzugefügten Masse der Elektrode die Kurve, die den Aus
breitungsverlust in Fig. 3 darstellt, von der Kurve, die
durch die vollen Kreise dargestellt wird, in der durch einen
Pfeil in Fig. 3 gekennzeichneten Richtung zu einer Kurve
verschoben wird, die durch leere Kreise dargestellt wird. Im
Zusammenhang mit solch einer Verschiebung des Übertragungs
verlustes vergrößert sich der optimale Winkel θ, der den
minimalen Übertragungsverlust vorsieht, von 36° auf 38° oder
mehr. In Fig. 3 ist das Resultat, das durch die leeren
Kreise dargestellt wird, für den Fall, bei dem die Elektrode
auf dem piezoelektrischen Substrat mit einer Dicke von etwa
10% der Wellenlänge der angeregten akustischen Oberflächen
welle vorgesehen ist.
Fig. 4 zeigt den Ausbreitungsverlust für den Fall, bei
dem eine Gitterelektrode aus Al auf einem LiTaO₃-Substrat
vorgesehen ist, als Funktion des Schnittwinkels θ des
Substrats. Die unterbrochene Linie in Fig. 4 stellt das
Resultat dar, bei dem die Dicke der Al-Elektrode Null
beträgt, während die durchgehende Linie das Resultat angibt,
bei dem die Elektrode eine normierte Dicke von 10% hin
sichtlich der Wellenlänge der angeregten Oberflächenwelle
hat. Offensichtlich wird der Schnittwinkel, der das Minimum
des Ausbreitungsverlustes vorsieht, zu der Seite des höheren
Schnittwinkels verschoben, wenn eine Gitterelektrode mit
finiter Dicke auf dem Substrat vorgesehen wird.
So zeigen die Resultate von Fig. 3 und 4 deutlich, daß
man eine SAW-Vorrichtung realisieren kann, die einen hohen
Q-Faktor und daher eine niedrige Abschwächung von akusti
schen Oberflächenwellen in einem GHz-Band aufweist, indem
der Schnittwinkel θ größer als der herkömmlicherweise ver
wendete Schnittwinkel von 36° festgelegt wird, wenn ein
LiTaO₃-Einkristall für das piezoelektrische Substrat verwen
det wird. Ferner verschiebt sich im Zusammenhang mit dem
Effekt der hinzugefügten Masse der Elektrode bei solch einer
Superhochfrequenz das in Fig. 1 gezeigte Durchlaßband des
SAW-Filters in die Richtung der Seite der niedrigeren Fre
quenz hinsichtlich der ungewollten Spitzen A und B, woraus
eine SAW-Vorrichtung resultiert, die in dem Durchlaßband im
wesentlichen frei von Welligkeit ist. Wie schon erwähnt,
werden die ungewollten Spitzen A und B durch die Volumenwel
lenemission verursacht und durch die hinzugefügte Masse der
Elektrode nicht beeinflußt.
Ferner haben die Erfinder entdeckt, daß sich der Form
faktor des Durchlaßbandes auch mit dem Schnittwinkel θ
ändert. Genauer gesagt, das SAW-Filter, das auf einem
LiTaO₃-Substrat mit dem Schnittwinkel θ konstruiert ist, der
größer als der herkömmlicherweise verwendete Schnittwinkel
ist, sieht nicht nur eine verbesserte Durchlaßbandcharakte
ristik sondern auch einen verbesserten Formfaktor bei der
Operation in GHz-nahen Bändern vor.
Fig. 5 und 6 zeigen jeweilig die Temperaturabhängigkeit
der Mittenfrequenz und des minimalen Einfügungsverlustes für
ein SAW-Filter, das auf einem LiTaO₃-Substrat konstruiert
ist. Bei den, Experimenten von Fig. 5 und 6 wurde ein SAW-
Filter, das später unter Bezugnahme auf Fig. 8A und 8B
beschrieben wird, verwendet, in dem die Elektrode auf ver
schiedenen LiTaO₃-Substraten mit verschiedenen Schnittwin
keln (36°Y, 40°Y, 42°Y, 44°Y) mit einer normierten Dicke von
etwa 10% der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle,
die auf dem Substrat angeregt wird, gebildet war.
Wie aus Fig. 5 deutlich hervorgeht, weist das SAW-Fil
ter ungeachtet des Schnittwinkels des Substrats im wesentli
chen dieselbe Temperaturabhängigkeit der Mittenfrequenz auf.
Die beobachtete Streuung der Mittenfrequenz wird auf die
Veränderung der Schallgeschwindigkeit in dem Substrat und
auf den Herstellungsprozeß der Vorrichtung zurückgeführt.
Ferner zeigt Fig. 6, daß man wenigstens in dem normalen
Temperaturbereich von -35°C - 85°C den minimalen Einfü
gungsverlust hinsichtlich der Vorrichtung, die auf einem
36°-Y-X-LiTaO₃-Substrat konstruiert ist, reduzieren kann,
indem der Schnittwinkel auf 40°Y-44°Y festgelegt wird. Im
besonderen ist ersichtlich, daß die Größe der Veränderung
des minimalen Einfügungsverlustes auch durch Festlegen des
Schnittwinkels auf den Bereich zwischen 40°Y und 42°Y redu
ziert wird.
Fig. 7 zeigt den Einfügungsverlust eines SAW-Resona
tors, der auf einem Y-X-Substrat aus LiNbO₃ konstruiert ist,
für verschiedene Rotationswinkel θ.
Unter Bezugnahme auf Fig. 7 gibt die Kurve, die durch
eine unterbrochene Linie dargestellt wird, einen berechneten
Ausbreitungsverlust einer LSAW für den Fall an, bei dem eine
gleichförmige Elektrode auf einem 64°-Y-X-Substrat aus
LiNbO₃ mit einer Dicke der Elektrode von Null vorgesehen
ist. Das Resultat von Fig. 7 gibt an, daß ein Minimum des
Ausbreitungsverlustes erreicht wird, indem der Schnittwinkel
θ auf 64° festgelegt wird. Es sei erwähnt, daß die Berech
nung von Fig. 7 unter Verwendung der Kristallkonstanten
erfolgte, die durch Warner et al., J. Acoustic. Soc. Amer.,
42, 1967, S. 1223-1231, genannt wurden.
Im Fall der Operation in einer Zone mit kürzerer Wel
lenlänge, wie in dem GHz-Band, kann der Effekt der Dicke der
Elektrode angesichts der erhöhten relativen Dicke der Elek
trode hinsichtlich der Wellenlänge der angeregten Oberflä
chenwelle nicht mehr vernachlässigt werden. Der Erfinder der
vorliegenden Erfindung hat entdeckt, daß sich auf Grund
solch eines Effektes der hinzugefügten Masse der Elektrode
die charakteristische Kurve von Fig. 7 zu der Seite des
höheren Schnittwinkels θ verschiebt, wie in Fig. 7 durch
einen Pfeil gekennzeichnet. Im Zusammenhang damit verschiebt
sich der Schnittwinkel θ, der den minimalen Ausbreitungsver
lust vorsieht, auch auf die Seite des höheren Winkels, wie
in Fig. 7 durch eine durchgehende Linie gezeigt. Es sei
erwähnt, daß in Fig. 7 die durchgehende Linie den Fall
darstellt, bei dem die Elektrode eine Dicke von etwa 3% der
Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle hat, die auf
dem Substrat angeregt wird.
Das Resultat von Fig. 7 zeigt deutlich, daß man eine
SAW-Vorrichtung mit hoher Qualität erhalten kann, die eine
reduzierte Abschwächung der akustischen Oberflächenwelle in
einem GHz-Band aufweist, indem der Schnittwinkel θ eines
LiNbO₃-Einkristalls festgelegt wird, um größer als 64° zu
sein.
Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung unter Bezug
nahme auf bevorzugte Ausführungsformen eingehend beschrie
ben.
Fig. 8A und 8B zeigen ein SAW-Filter des Abzweigtyps,
SAW-Filterkette, gemäß einer ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung, wobei Fig. 8A das Layout des SAW-
Filters in einer Draufsicht zeigt, während Fig. 8B ein Er
satzschaltungsdiagramm der Vorrichtung von Fig. 8A zeigt.
Unter Bezugnahme auf Fig. 8A ist das SAW-Filter auf
einem θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrat aus einem LiTaO₃-
Einkristall oder einem LiNbO₃-Einkristall gebildet und trägt
eine erste Interdigitalelektrode R₁ auf sich, die eine
Elektrode der Eingangsseite hat, die mit einem Eingangs
anschluß IN verbunden ist, der auf dem Substrat vorgesehen
ist, eine zweite Interdigitalelektrode R₁′, die eine Elek
trode der Eingangsseite hat, die mit einer Elektrode der
Ausgangsseite der Interdigitalelektrode R₁ verbunden ist,
und eine Elektrode der Ausgangsseite, die mit einer Elek
trode der Ausgangsseite der Interdigitalelektrode R₁ verbun
den ist, eine dritte Interdigitalelektrode R₂, die eine
Elektrode der Eingangsseite hat, die mit der obigen Elek
trode der Eingangsseite der Interdigitalelektrode R₁′ ver
bunden ist, und eine geerdete Elektrode der Ausgangsseite,
eine vierte Interdigitalelektrode R₂′, die eine Elektrode
der Eingangsseite hat, die mit der obigen Elektrode der
Ausgangsseite der Interdigitalelektrode R₁ verbunden ist,
und eine geerdete Elektrode der Ausgangsseite, und eine
fünfte Interdigitalelektrode R₂′′, die eine Elektrode der
Eingangsseite hat, die mit der Elektrode der Ausgangsseite
der Interdigitalelektrode R₁′ verbunden ist, und eine geer
dete Elektrode der Ausgangsseite.
Hinsichtlich jeder der Interdigitalelektroden R₁, R₁′,
R₂, R₂′ und R₂′′ sei erwähnt, daß die Interdigitalelektrode
eine Elektrode i der Eingangsseite und eine Elektrode o der
Ausgangsseite enthält, wie in Fig. 8A gezeigt. Die Elektrode
i der Eingangsseite enthält eine erste Gruppe von Elektro
denfingern, die sich in einer ersten Richtung parallel
zueinander erstrecken, um den Weg der akustischen Oberflä
chenwelle zu kreuzen, die sich auf der Oberfläche des
Substrats in der Richtung der X-Achse ausbreitet. Ähnlich
enthält die Elektrode o der Ausgangsseite eine zweite Gruppe
von Elektrodenfingern, die sich in einer zweiten, entgegen
gesetzten Richtung parallel zueinander erstrecken, wobei die
erste Gruppe von Elektrodenfingern und die zweite Gruppe von
Elektrodenfingern auf der Substratoberfläche in der Ausbrei
tungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle alternierend
angeordnet sind. Ferner wird jede der Interdigitalelektroden
R₁, R₁′, R₂ und R₂′ von einem Paar von Reflektoren R₁ be
gleitet, das in der Richtung der X-Achse auf beiden Seiten
von ihr angeordnet ist. Jeder der Reflektoren R₁ hat eine
Konstruktion, bei der eine Vielzahl von zueinander paralle
len Elektrodenfingern an beiden Enden der Elektrodenfinger
untereinander verbunden ist. Es sei erwähnt, daß bei der
vorliegenden Ausführungsform die Interdigitalelektroden R₁ ,
R₁′, R₂ und R₂ aus einer Aluminiumlegierung gebildet sind,
die Al und 1 Gew.-% Cu enthält, und eine Dicke von etwa 0,4
µm haben, die etwa 10% der Durchlaßbandwellenlänge des SAW-
Filters entspricht.
Fig. 8B zeigt das Ersatzschaltungsdiagramm des Filters
von Fig. 8A.
Unter Bezugnahme auf Fig. 8B sind die Interdigitalelek
troden R₁ und R₁′ seriell verbunden, während die Interdigi
talelektroden R₂, R₂′ und R₂′′ auf beiden Seiten der Interdi
gitalelektrode R₁′ oder R₁ parallel miteinander verbunden
sind.
Fig. 9 zeigt den minimalen Einfügungsverlust, der für
das SAW-Filter von Fig. 8A und 8B für verschiedene Schnitt
winkel θ des LiTaO₃-Substrats 11 experimentell erhalten
wurde. Der minimale Einfügungsverlust enthält Anteile sowohl
von dem Ausbreitungsverlust der akustischen Oberflächenwelle
als auch von dem Filteranpaßverlust, wenn auch der Filter
anpaßverlust durch den Schnittwinkel θ nicht beeinflußt
wird.
Unter Bezugnahme auf Fig. 9 nimmt der minimale Einfü
gungsverlust mit zunehmendem Schnittwinkel des Substrats ab
und erreicht in der Nähe von 42° ein Minimum. Wenn der
Schnittwinkel θ 42° überschreitet, beginnt der minimale
Einfügungsverlust, sich wieder zu erhöhen. So sei erwähnt,
daß man den minimalen Einfügungsverlust des SAW-Filters auf
unter 1,6 dB herabdrücken kann, indem der Schnittwinkel des
LiTaO₃ auf den Bereich zwischen 38° und 46° festgelegt wird.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben entdeckt,
daß der Schnittwinkel θ eines LiTaO₃-Einkristalls auch den
Formfaktor des SAW-Filters beeinflußt.
Fig. 10A zeigt die Definition des Formfaktors.
Unter Bezugnahme auf Fig. 10A ist der Formfaktor hin
sichtlich der Bandbreiten B₁ und B₂ als BW₁/BW₂ definiert,
wobei die Bandbreite B₁ einer Bandbreite entspricht, die
eine Abschwächung von 1,5 dB vorsieht, während die Band
breite B₂ einer Bandbreite entspricht, die eine Abschwächung
von 20 dB vorsieht. Mit zunehmendem Formfaktor werden die
Filtercharakteristiken breit, was zu einer Verschlechterung
der Selektivität führt und das Durchlaßband verengt. So ist
es wünschenswert, daß ein SAW-Filter einen Formfaktor so
nahe an 1 wie möglich hat.
Fig. 10B zeigt den Formfaktor, der für das SAW-Filter
von Fig. 8A und 8B experimentell erhalten wurde, als Funk
tion des Schnittwinkels θ des piezoelektrischen Substrats
11.
Wie aus Fig. 10B hervorgeht, nähert sich der Formfaktor
mit zunehmendem Schnittwinkel θ1 und erreicht bei dem
Schnittwinkel θ von 42° ein Minimum von 1,47. Wenn anderer
seits der Schnittwinkel den obigen Winkel von 42° über
schreitet, beginnt der Formfaktor, sich wieder zu erhöhen,
was zu einer Verschlechterung der Filterselektivität führt.
In dem SAW-Filter der vorliegenden Erfindung ist es deshalb
wünschenswert, den minimalen Einfügungsverlust von 1,6 dB
oder weniger und den Formfaktor von 1,55 oder weniger zu
haben. Angesichts der Beziehung von Fig. 10B erhält man
deshalb einen optimalen Schnittwinkel θ von 40-46°, beson
ders in dem Bereich von 40-44°. Indem der Schnittwinkel θ
im besonderen auf 42° festgelegt wird, wird der minimale
Einfügungsverlust minimiert und gleichzeitig der Formfaktor.
Fig. 11 zeigt eine Durchlaßbandcharakteristik, die für
das SAW-Filter von Fig. 8A und 8B experimentell erhalten
wurde. Unter Bezugnahme auf Fig. 11 stellt die durchgehende
Linie den Fall dar, bei dem 42°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃ für das
Substrat 11 verwendet wird, während die Strichpunktlinie den
Fall darstellt, bei dem herkömmliches 36°-Y-X-Schnitt-LiTaO₃
für das Substrat 11 verwendet wird.
Unter Bezugnahme auf Fig. 11 sei erwähnt, daß beide
SAW-Filter eine Mittenfrequenz bei 880 MHz haben und durch
ein flaches Durchlaßband von etwa 40 MHz Breite charakteri
siert sind, das durch einen scharfen Abschwächungsanstieg
außerhalb des Durchlaßbandes definiert ist, wobei das SAW-
Filter, bei dem die 42°-Y-X-Schnitt-Platte aus LiTaO₃ für
das Substrat 11 verwendet wird, einen verbesserten Formfak
tor einhergehend mit einem steileren Abschwächungsanstieg
außerhalb des Durchlaßbandes im Vergleich zu dem herkömmli
chen SAW-Filter vorsieht, bei dem die herkömmliche 36°-Y-X-
Schnitt-Platte aus LiTaO₃ für das Substrat 11 verwendet
wird. Ferner sind, wie in Fig. 11 gezeigt, die ungewollten
Spitzen A und B, die durch die SSBW verursacht werden, jetzt
außerhalb des Durchlaßbandes des SAW-Filters angeordnet, das
auf dem 42°-Y-X-LiTaO₃-Substrat gebildet ist.
Fig. 12 zeigt das Berechnungsresultat der elektromecha
nischen Kopplungskoeffizienten k² eines θ-rotierten Y-X-
Schnitt-LiTaO₃-Substrats, das auf sich eine Elektrode mit
einer Dicke von etwa 7% der akustischen Oberflächenwelle
trägt, die auf ihm angeregt wird, für verschiedene Schnitt
winkel θ. Die Berechnung erfolgte unter Verwendung der
Kristallkonstanten, die durch Kovacs op. cit. genannt wur
den.
Unter Bezugnahme auf Fig. 12 sei erwähnt, daß die elek
tromechanischen Kopplungskoeffizienten k² eine Tendenz zur
Verringerung bei zunehmendem Schnittwinkel θ aufweisen. Wie
wohlbekannt ist, stellen die elektromechanischen Kopplungs
koeffizienten k² das Verhältnis der Energie dar, die in
einem piezoelektrischen Kristall auf Grund des piezoelektri
schen Effekts akkumuliert wurde. Wenn der Wert von k² zu
klein ist, treten verschiedene Probleme auf, wie ein redu
ziertes Durchlaßband, das Auftreten von Welligkeit in dem
Durchlaßband und dergleichen. Nach der Beziehung von Fig. 12
ist es deshalb wünschenswert, den Schnittwinkel θ festzule
gen, um 46° nicht zu überschreiten.
Fig. 13 zeigt das Berechnungsresultat des Ausbreitungs
verlustes bei einem SAW-Filter von Fig. 8A und 8B für ver
schiedene Schnittwinkel θ und für verschiedene Dicken der
Interdigitalelektroden. Auch bei der Berechnung von Fig. 9
wurden die Kristallkonstanten von Kovacs verwendet.
Wie aus Fig. 13 ersichtlich ist, nimmt der Verlust mit
der Dicke der Elektrode exponentiell zu, wenn der Schnitt
winkel θ unter 38° liegt. Wenn der Schnittwinkel θ 40°
überschreitet, beginnt der Verlust andererseits, mit zuneh
mender Dicke der Elektrode abzunehmen, und in der charakte
ristischen Kurve erscheint ein Minimum. Solch ein Minimum
erscheint besonders bei der Dicke der Elektrode, die größer
als etwa 3% der akustischen Oberflächenwellenlänge festge
legt ist. Mit anderen Worten, Fig. 13 zeigt, daß es wün
schenswert ist, die Elektrode so zu bilden, daß die Dicke,
die durch die Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle
normiert ist, gleich oder größer als 3% ist. Wenn die Dicke
der Elektrode übermäßig ist, treten Probleme auf, wie z. B.
Schwierigkeiten beim Mustern der Elektrode oder wesentliche
Veränderung der Schallgeschwindigkeit bei winziger Verände
rung der Elektrodendicke. So wird die Elektrode bevorzugt so
gebildet, daß die Elektrodendicke 15% der Wellenlänge der
akustischen Oberflächenwelle nicht überschreitet.
Fig. 13 zeigt auch, daß der Ausbreitungsverlust bei
beliebigen Schnittwinkeln steil ansteigt, wenn die Dicke der
Elektrode auf der Al-Legierung 15% der Wellenlänge der
akustischen Oberflächenwelle überschreitet. Dies gibt an,
daß die Emission von Volumenwellen unter solchen Bedingungen
vorherrschend wird. Angesichts dessen ist es somit wün
schenswert, die Elektrodendicke festzulegen, um in den
Bereich von 7-15% der akustischen Oberflächenwellenlänge
zu fallen, wenn der Schnittwinkel θ in dem Bereich zwischen
40° und 46° liegt, und im besonderen in den Bereich von 5-
10% der akustischen Oberflächenwellenlänge, wenn der
Schnittwinkel θ in dem Bereich zwischen 40°-44° liegt.
Fig. 14 zeigt das Resultat der Berechnung des Ausbrei
tungsverlustes für ein SAW-Filter mit der Konstruktion von
Fig. 8A und 8B, außer daß für das Substrat 11 anstelle des
Y-X-LiTaO₃ ein Y-X-LiNbO₃-Einkristall verwendet wird, wäh
rend die Dicke der Elektrode auf dem Substrat 11 verändert
wird. Bei der Berechnung von Fig. 14 wurden die Kristallkon
stanten verwendet, die durch Warner et al., op. cit., ge
nannt wurden.
Unter Bezugnahme auf Fig. 14 sei erwähnt, daß der Aus
breitungsverlust zuerst auf ein Minimum verringert wird und
dann mit einer Vergrößerung der Elektrodendicke beginnt,
exponentiell zuzunehmen, wobei das Minimum des Ausbreitungs
verlustes bei dem herkömmlichen optimalen Schnittwinkel von
64° oder weniger nur auftritt, wenn die Elektrodendicke
kleiner als 3,5% der Wellenlänge der angeregten Oberflä
chenwelle ist. Wenn die Dicke der Elektrode andererseits
größer als etwa 4% der Wellenlänge der angeregten akusti
schen Oberflächenwelle ist, erscheint das Minimum des Aus
breitungsverlustes bei einem Schnittwinkel, der 66° über
schreitet. Mit anderen Worten, unter der Betriebsbedingung
der SAW-Vorrichtung, bei der die Dicke der Elektrode hin
sichtlich der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle
nicht ignoriert werden kann, ist es wünschenswert, den
Schnittwinkel des LiNbO₃-Substrats festzulegen, um größer
als etwa 66° zu sein.
Wenn andererseits die Dicke der Elektrode übermäßig
ist, kann die Schallgeschwindigkeit in dem Substrat durch
die Dicke der Elektrode beeinflußt werden. Ferner kann solch
eine dicke Elektrode Schwierigkeiten beim Mustern der Elek
trode verursachen. Aus diesem Grund ist es wünschenswert,
die Dicke der Elektrode festzulegen, um 12% der Wellenlänge
der angeregten akustischen Oberflächenwelle nicht zu über
schreiten. In diesem Zusammenhang ist es vorzuziehen, den
Schnittwinkel des LiNbO₃-Substrats festzulegen, um in einen
Bereich zwischen 66° und 74° zu fallen.
Bei der obigen Beschreibung wurde angenommen, daß die
Elektrode aus einer Aluminiumlegierung gebildet wird, die Al
und 1 Gew.-% Cu (Al-1%Cu) enthält. Wenn für die Elektrode
eine andere Zusammensetzung und daher eine verschiedene
Masse verwendet wird, sollte die Dicke der Elektrode ent
sprechend verändert werden. Wenn zum Beispiel für die Elek
trode auf einem LiTaO₃-Substrat Au verwendet wird, wird die
Elektrodendicke vorzugsweise gewählt, um in den Bereich
zwischen 0,4 und 2,1% der Wellenlänge zu fallen. Wenn für
die Elektrode auf einem LiTaO₃-Substrat ferner Cu verwendet
wird, wird die Elektrodendicke vorzugsweise gewählt, um in
den Bereich zwischen 0,9 und 4,5% der Wellenlänge der
akustischen Oberflächenwelle zu fallen.
Wenn andererseits für das Substrat der SAW-Vorrichtung
ein Y-X-LiNbO₃-Einkristall verwendet wird, ist es vorzuzie
hen, die Dicke einer Au-Elektrode festzulegen, um in den
Bereich zwischen 0,5 und 1,7% zu fallen. Wenn eine Cu-
Elektrode auf dem LiNbO₃-Substrat gebildet wird, ist es
vorzuziehen, die Dicke der Elektrode auf den Bereich zwi
schen 1,2 und 3,6% der Wellenlänge der akustischen Oberflä
chenwelle festzulegen.
Fig. 15A zeigt eine Abwandlung des SAW-Filters von Fig.
8A, während Fig. 15B das Ersatzschaltungsdiagramm des SAW-
Filters von Fig. 15A zeigt.
Unter Bezugnahme auf Fig. 15A ist das SAW-Filter auf
einem Y-X-Einkristallsubstrat aus LiTaO₃ oder LiNbO₃ kon
struiert, ähnlich wie bei der vorherigen Ausführungsform,
wobei das Substrat auf sich eine erste Interdigitalelektrode
R₁ trägt, die eine Elektrode der Eingangsseite hat, die mit
einem Eingangsanschluß IN verbunden ist, der auf dem
Substrat vorgesehen ist, eine zweite Interdigitalelektrode
R₁′, die eine Elektrode der Eingangsseite hat, die mit einer
Elektrode der Ausgangsseite der Interdigitalelektrode R₁
verbunden ist, und eine Elektrode der Ausgangsseite, die mit
einem Ausgangsanschluß verbunden ist, eine dritte Interdigi
talelektrode R₂′, die eine Elektrode der Eingangsseite hat,
die mit der obigen Elektrode der Ausgangsseite der Interdi
gitalelektrode R₁ verbunden ist, und eine geerdete Elektrode
der Ausgangsseite, und eine vierte Interdigitalelektrode R₂,
die eine Elektrode der Eingangsseite hat, die mit der Elek
trode der Ausgangsseite der Interdigitalelektrode R₁′ ver
bunden ist, und eine geerdete Elektrode der Ausgangsseite.
Unter Bezugnahme auf Fig. 15B sind die Interdigital
elektroden R₁ und R₁′ seriell verbunden, während die Inter
digitalelektroden R₂ und R₂′ auf beiden Seiten der Interdi
gitalelektrode R₁′ parallel miteinander verbunden sind. Es
sei erwähnt, daß jede der Interdigitalelektroden R₁, R₁′, R₂
und R₂′ einen Resonator bildet, und die Interdigitalelek
trode R₁′ hat eine Kapazität von etwa der Hälfte der Kapazi
tät der Interdigitalelektrode R₁. Andererseits hat die
Interdigitalelektrode R₂′ eine Kapazität, die zweimal so
groß wie die Kapazität der Interdigitalelektrode R₂ ist.
Auch in dem SAW-Filter von Fig. 15A und 15B ist es mög
lich, den Ausbreitungsverlust bei GHz-Band-Betrieb zu mini
mieren, bei dem der Effekt der hinzugefügten Masse der
Elektrode auffällig wird, indem der Schnittwinkel des
LiTaO₃-Substrats festgelegt wird, um größer als 38° aber
kleiner als etwa 46°, vorzugsweise größer als etwa 40° aber
kleiner als etwa 46° zu sein, am bestem auf etwa 42°. In dem
Fall, wenn Y-X-LiNbO₃ für das Substrat verwendet wird, ist
es andererseits vorzuziehen, den Schnittwinkel festzulegen,
um größer als 66° aber kleiner als 74° zu sein, am besten
auf etwa 68°, wenn das SAW-Filter in der Frequenzzone ver
wendet wird, in der der Effekt der hinzugefügten Masse
auffällig ist.
Es sei erwähnt, daß die vorliegende Erfindung keines
falls auf das obige SAW-Filter des Abzweigtyps beschränkt
ist, sondern auch auf SAW-Filter anderer Typen, verschiedene
SAW-Resonatoren und SAW-Verzögerungsleitungen anwendbar ist.
Zum Beispiel kann man das Elektrodenmuster des SAW-Filters
von Fig. 8A und 8B abwandeln, um ein SAW-Filter des Gitter
typs zu bilden, das in Fig. 16 gezeigt ist.
Fig. 17 zeigt die Konstruktion eines SAW-Filters 20 mit
IIDT-(Interdigital-Interdigital-Wandler)-Konstruktion gemäß
einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 17 ist das IIDT-Filter 20 auf
einem Y-X-Schnitt-Substrat 11 aus LiTaO₃ gebildet, das einen
Schnittwinkel von 38-46° hat und auf sich Interdigital
elektroden mit einer Dicke in dem Bereich von 3-15% der
Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle trägt. Alterna
tiv kann das IIDT-Filter 20 auf einem Y-X-Schnitt-Substrat
aus LiNbO₃ gebildet sein, das einen Schnittwinkel von 68-
72° hat. In diesem Fall sind die Interdigitalelektroden auf
dem Substrat mit einer Dicke von 4-12% der Wellenlänge
der akustischen Oberflächenwelle gebildet, die auf dem
Substrat angeregt wird. Auch in dem Filter 20 wird eine LSAW
angeregt, und die so angeregte LSAW breitet sich in der
Richtung der X-Achse aus.
Bei der Konstruktion von Fig. 17 sei erwähnt, daß die
Interdigitalelektrode eine Vielzahl von Interdigitalelektro
den der Eingangsseite Rin und eine Vielzahl von Interdigi
talelektroden der Ausgangsseite Rout enthält, die längs des
Ausbreitungsweges der akustischen Oberflächenwelle alternie
rend angeordnet sind. Die Interdigitalelektroden der Ein
gangsseite Rin sind gemeinsam mit einem Eingangsanschluß 21
verbunden, und jede enthält in sich Elektrodenfinger einer
ersten Gruppe, die sich parallel zueinander erstrecken und
den Weg der akustischen Oberflächenwelle kreuzen, und Elek
trodenfinger einer zweiten Gruppe, die zwischen den Elektro
denfingern der ersten Gruppe liegen. Dadurch werden eine
erste Gruppe von Elektrodenfingern und eine zweite Gruppe
von Elektrodenfingern in der Ausbreitungsrichtung der aku
stischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt, wie es
bei Interdigitalelektroden üblich ist. Ähnlich sind die
Interdigitalelektroden der Ausgangsseite Rout gemeinsam mit
einem Ausgangsanschluß 22 verbunden, und jede enthält eine
erste Gruppe von Elektrodenfingern, die sich parallel zuein
ander erstrecken und den Weg der akustischen Oberflächen
welle kreuzen, und eine zweite Gruppe von Elektrodenfingern,
die zwischen den Elektrodenfingern der ersten Gruppe liegen.
Dadurch erstreckt sich die erste Gruppe von Elektrodenfin
gern der Interdigitalelektrode der Eingangsseite Rin in
entgegengesetzter Richtung zu der ersten Gruppe von Elektro
denfingern der Interdigitalelektrode der Ausgangsseite Rout.
So hat die SAW-Vorrichtung mit solch einer Konstruktion das
Merkmal, daß bei jeder der Interdigitalelektroden wenigstens
eine Hälfte der Oberfläche, die den Weg der akustischen
Oberflächenwelle bildet, durch eine Elektrode bedeckt ist.
Ferner ist ein Paar von Reflektoren R₁ an beiden Enden der
Elektrodenreihe angeordnet, die aus den Interdigitalelektro
den Rin und Rout gebildet ist und sich in der X-Richtung
erstreckt, wie es bei einer SAW-Vorrichtung üblich ist.
Auch bei dem SAW-Filter mit solch einer Konstruktion
ist es möglich, den Verlust zu minimieren, den Formfaktor zu
verbessern und das Durchlaßband zu expandieren, indem der
Schnittwinkel θ des θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrats aus
LiTaO₃ und die Dicke der auf ihm vorgesehenen Elektrode
optimiert werden.
Fig. 18 zeigt die Konstruktion eines SAW-Filters 30
gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfin
dung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 18 ist das SAW-Filter 30 auf
einem θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrat 11 aus LiTaO₃ oder
LiNbO₃ gebildet, bei dem der Schnittwinkel θ auf den Bereich
von 38-46° festgelegt ist, wenn das Substrat aus LiTaO₃
gebildet ist. Wenn das Substrat andererseits aus LiNbO₃
gebildet ist, ist der Schnittwinkel θ auf den Bereich zwi
schen 66° und 74° festgelegt. Das SAW-Filter 30 enthält
ferner Interdigitalelektroden, die auf dem Substrat 11 mit
einer Dicke von 3-15% der Wellenlänge der akustischen
Oberflächenwelle gebildet sind, wenn das Substrat 11 aus
LiTaO₃ gebildet ist, während die Dicke der Interdigitalelek
troden auf etwa 4-12% der Wellenlänge der akustischen
Oberflächenwelle festgelegt ist, wenn LiNbO₃ für das
Substrat 11 verwendet wird. Auch bei der vorliegenden Aus
führungsform wird eine LSAW angeregt, und die so angeregte
LSAW breitet sich in der X-Richtung aus.
Es sei erwähnt, daß das SAW-Filter 30 eine Konstruktion
hat, bei der eine Interdigitalelektrode der Eingangsseite,
die mit der Interdigitalelektrode Rin von Fig. 17 identisch
ist, und eine Interdigitalelektrode der Ausgangsseite, die
mit der Interdigitalelektrode Rout von Fig. 17 identisch
ist, miteinander benachbart angeordnet sind. Ferner ist ein
Paar von Reflektoren R₁ auf beiden Seiten der Elektroden
reihe angeordnet, die aus den Elektroden Rin und Rout gebil
det ist, ähnlich wie im Fall der Vorrichtung von Fig. 17.
Auch bei dem SAW-Filter 30 von Fig. 18 ist es möglich, den
Verlust zu minimieren und den Formfaktor zu verbessern,
indem der Schnittwinkel des Substrats und die Elektroden
dicke optimiert werden, ähnlich wie im Fall der Vorrichtung
von Fig. 8A und 8B.
Fig. 19 zeigt die Konstruktion eines Einzelport-SAW-
Resonators 40 gemäß einer vierten Ausführungsform der vor
liegenden Erfindung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 19 ist der SAW-Resonator 40
auf dem θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrat 11 aus LiTaO₃
gebildet, das den Schnittwinkel θ von 38-46° hat, ähnlich
wie zuvor. Alternativ kann man für das Substrat 11 einen Y-
X-Schnitt-LiNbO₃-Einkristall mit dem Schnittwinkel θ von 66
-74° verwenden. Das Substrat 11 trägt auf sich eine Inter
digitalelektrode mit einer Dicke, die auf 3-15% der
Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle festgelegt ist,
die auf dem Substrat 11 angeregt wird, wenn für das Substrat
11 der Y-X-Schnitt-LiTaO₃-Einkristall verwendet wird. Wenn
das Substrat andererseits aus dem Y-X-LiNbO₃-Einkristall
gebildet ist, werden die Elektroden mit einer Dicke von 4-
12% der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle gebil
det, die auf dem Substrat angeregt wird. Auch bei dem vor
liegenden Beispiel wird eine LSAW angeregt, und die so
angeregte LSAW breitet sich in der X-Richtung aus.
Es sei erwähnt, daß das SAW-Filter 40 in Fig. 19 eine
Konstruktion hat, bei der ein Paar von Interdigitalelektro
den der Eingangsseite, die mit der Interdigitalelektrode Rin
von Fig. 17 identisch ist, und eine Interdigitalelektrode
der Ausgangsseite, die mit der Interdigitalelektrode Rout
von Fig. 17 identisch ist, miteinander benachbart angeordnet
sind, so daß die Interdigitalelektroden Rin auf beiden
Querseiten der Interdigitalelektrode Rout angeordnet sind,
wobei beide Interdigitalelektroden Rin gemeinsam mit einem
Eingangsanschluß 41 verbunden sind, während die Interdigi
talelektrode Rout mit einem Ausgangsanschluß 42 verbunden
ist. Ferner ist ein Paar von Reflektoren R₁ auf beiden
Seiten der Elektrodenreihe angeordnet, die aus den Elektro
den Rin und Rout gebildet ist, ähnlich wie im Fall der
Vorrichtung von Fig. 17. Auch bei dem SAW-Filter 40 von Fig.
19 ist es möglich, den Verlust zu minimieren und den Form
faktor zu verbessern, indem der Schnittwinkel des Substrats
und die Elektrodendicke optimiert werden, ähnlich wie im
Fall der Vorrichtung von Fig. 8A und 8B.
Fig. 20 zeigt die Konstruktion eines Einzelport-SAW-
Resonators 50 gemäß einer fünften Ausführungsform der vor
liegenden Erfindung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 20 ist der SAW-Resonator 50
auf dem θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrat 11 aus LiTaO₃
konstruiert, das den Schnittwinkel θ von 38-46° hat, wobei
das Substrat 11 auf sich eine Interdigitalelektrode R mit
einer Dicke von etwa 3-15% der Wellenlänge der LSAW
trägt, die auf dem Substrat 11 angeregt wird. Alternativ
kann das Substrat 11 aus einem Y-X-Schnitt-Einkristall aus
LiNbO₃ gebildet sein, das den Schnittwinkel θ von 66-74°
hat. In diesem Fall hat die Elektrode auf dem Substrat 11
eine Dicke von etwa 4-12% der Wellenlänge der LSAW, die
auf dem Substrat 11 angeregt wird. Auch bei der vorliegenden
Ausführungsform breitet sich die LSAW in der X-Richtung aus.
Es sei erwähnt, daß der SAW-Resonator 50 eine einzelne
Interdigitalelektrode R mit einer Konstruktion trägt, die
jener der Interdigitalelektrode Rin oder Rout von Fig. 11
ähnlich ist, und ein Paar von Reflektoren R₁ ist auf beiden
Seiten der Elektrode R in der X-Richtung angeordnet. Der
Resonator 50 wird dabei angetrieben, indem eine Spannung
quer über einen ersten Anschluß 51, der mit der ersten
Gruppe von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode R
verbunden ist, und über einen zweiten Anschluß 52, der mit
der zweiten Gruppe von Elektrodenfingern derselben Interdi
gitalelektrode R verbunden ist, angewendet wird.
Bei solch einer Konstruktion ist es möglich, einen
Resonator mit hoher Qualität vorzusehen, der einen minimalen
Verlust hat, indem der Schnittwinkel θ des Substrats und die
Dicke der Elektrode ähnlich wie bei der Ausführungsform von
Fig. 8A und 8B optimiert werden.
Fig. 21 zeigt die Konstruktion eines Dualport-SAW-Reso
nators 60 gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 21 ist der SAW-Resonator 60
auf dem θ-rotierten Y-X-Schnitt-Substrat 11 aus LiTaO₃
konstruiert, das den Schnittwinkel θ von 38-46° hat, wobei
das Substrat 11 auf sich eine Interdigitalelektrode mit
einer Dicke von etwa 3-15% der Wellenlänge der LSAW
trägt, die auf dem Substrat 11 angeregt wird. Alternativ
kann das Substrat 11 aus einem Y-X-Schnitt-Einkristall aus
LiNbO₃ gebildet sein, das den Schnittwinkel θ von 66-74°
hat. In diesem Fall hat die Elektrode auf dem Substrat 11
eine Dicke von etwa 4 - 12% der Wellenlänge der LSAW, die
auf dem Substrat 11 angeregt wird. Auch bei der vorliegenden
Ausführungsform breitet sich die LSAW in der X-Richtung aus.
Aus Fig. 21 geht hervor, daß die Interdigitalelektrode
des SAW-Resonators 60 eine Eingangselektrode R₁ enthält, die
mit einem Eingangsanschluß 61 verbunden ist, und eine Aus
gangselektrode R₂, die mit einem Ausgangsanschluß 62 verbun
den ist, welcher Eingangsanschluß 61 und welcher Ausgangsan
schluß 62 in der Ausbreitungsrichtung X der akustischen
Oberflächenwelle angeordnet sind. Ferner ist jede der Inter
digitalelektroden R₁ und R₂ aus einer ersten Interdigital
elektrode und einer zweiten Interdigitalelektrode gebildet,
wobei die erste Interdigitalelektrode der Elektrode R₁ mit
dem Eingangsanschluß 61 verbunden ist, während die erste
Interdigitalelektrode der Elektrode R₂ mit dem Eingangs
anschluß 62 verbunden ist. Ferner sind die zweite Interdigi
talelektrode der Elektrode R₁ und die zweite Interdigital
elektrode der Elektrode R₂ miteinander verbunden, um ein
einzelnes Erdungsmuster zu bilden. Auf beiden Seiten der
Interdigitalelektrode, die so aus der Elektrode R₁ und R₂
gebildet ist, ist ein Paar von Reflektoren R₁ wie üblich
angeordnet.
Auch bei dem Dualport-SAW-Resonator 60 ist es möglich,
den Q-Faktor zu maximieren und den Verlust zu minimieren,
indem der Schnittwinkel des Substrats und die Dicke der
Interdigitalelektrode optimiert werden, ähnlich wie bei dem
SAW-Filter von Fig. 8A und 8B.
Somit ist die vorliegende Erfindung auf verschiedene
SAW-Filter und Resonatoren anwendbar, wie auf jene mit der
Abzweigkonstruktion wie im Fall von Fig. 8B und 15B, der
Gitterkonstruktion wie im Fall von Fig. 16 oder der IIDT-
Konstruktion wie im Fall von Fig. 17. Ferner ist die vorlie
gende Erfindung auf Multimodenfilter anwendbar.
Des weiteren ist die vorliegende Erfindung nicht auf
das SAW-Filter und den SAW-Resonator beschränkt, die zuvor
beschrieben wurden, sondern ist auch auf SAW-Verzögerungs
leitungen sowie auf SAW-Wellenleiter anwendbar.
Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung keines
falls auf die zuvor beschriebenen Ausführungsformen be
schränkt, sondern Veränderungen und Abwandlungen können
möglich sein, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuwei
chen.
Claims (34)
1. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃- Einkristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält;
dadurch gekennzeichnet, daß
das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout) eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15-fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird; und
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel (θ) in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃- Einkristall; und
einem Elektrodenmuster, das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält;
dadurch gekennzeichnet, daß
das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout) eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15-fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird; und
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel (θ) in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
2. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das piezoelektrische Substrat (11) eine Orientie
rung hat, bei der der Rotationswinkel (θ) auf den Bereich
von etwa 40-46° festgelegt ist.
3. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) eine Dicke in dem Bereich des etwa 0,07-0,15fachen
der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle hat, die
auf dem piezoelektrischen Substrat angeregt wird.
4. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) eine Dicke in dem Bereich des etwa 0,05-0,10fachen
der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle hat, die
auf dem piezoelektrischen Substrat (11) angeregt wird, und
bei der das piezoelektrische Substrat (11) eine Orientierung
hat, bei der der Rotationswinkel (θ) auf den Bereich von
etwa 40-44° festgelegt ist.
5. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das piezoelektrische Substrat (11) eine Orientie
rung hat, bei der der Rotationswinkel (θ) auf etwa 42°
festgelegt ist.
6. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) aus Al gebildet ist.
7. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
1, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R2,′, R₂′′; Rin,
Rout) aus einer kupferhaltigen Aluminiumlegierung gebildet
ist.
8. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach den
Ansprüchen 1-7, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂,
R₂′, R₂′′; Rin, Rout) eine Vielzahl von Resonatoren auf der
Oberfläche des piezoelektrischen Substrats bildet.
9. Oberflächenakustikwellenfilter mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente ent hält, welches Elektrodenmuster eine Interdigitalelektrode umfaßt;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout) eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat (11) eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel (θ) in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente ent hält, welches Elektrodenmuster eine Interdigitalelektrode umfaßt;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout) eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat (11) eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel (θ) in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
10. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 9,
bei dem das Elektrodenmuster eine erste Interdigitalelek
trode (Rin) und eine zweite Interdigitalelektrode (Rout)
enthält, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen
Substrats (11) längs eines Weges der akustischen Oberflä
chenwelle vorgesehen sind, welche ersten und zweiten Inter
digitalelektroden jeweilig mit einem Eingangsanschluß (21)
und einem Ausgangsanschluß (22) verbunden sind, bei dem bei
jeder der ersten und zweiten Interdigitalelektroden (Rin,
Rout) ein Leiter, der das Elektrodenmuster bildet, wenig
stens eine Hälfte eines Bereichsteils der Oberfläche des
piezoelektrischen Substrats (11) bedeckt, der den Weg der
akustischen Oberflächenwelle bildet.
11. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 10,
bei dem
die erste Interdigitalelektrode (Rin) enthält:
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe, die den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats kreuzen und gemeinsam mit dem Eingangsanschluß verbunden sind; und
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe, die miteinander verbunden sind und so zwischen der ersten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektro denfinger der ersten Gruppe und ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe in einer Richtung des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
die zweite Interdigitalelektrode (Rout) enthält:
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe, die den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats kreuzen und gemeinsam mit dem Ausgangsanschluß verbunden sind; und
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer vierten Gruppe, die miteinander verbunden sind und so zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elek trodenfinger der dritten Gruppe und ein Elektrodenfinger der vierten Gruppe in der Richtung des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden.
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe, die den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats kreuzen und gemeinsam mit dem Eingangsanschluß verbunden sind; und
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe, die miteinander verbunden sind und so zwischen der ersten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektro denfinger der ersten Gruppe und ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe in einer Richtung des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
die zweite Interdigitalelektrode (Rout) enthält:
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe, die den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats kreuzen und gemeinsam mit dem Ausgangsanschluß verbunden sind; und
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer vierten Gruppe, die miteinander verbunden sind und so zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elek trodenfinger der dritten Gruppe und ein Elektrodenfinger der vierten Gruppe in der Richtung des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden.
12. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 10,
bei dem eine Vielzahl von jeweils den ersten und zweiten
Interdigitalelektroden (Rin, Rout) so vorgesehen ist, daß
die ersten und zweiten Interdigitalelektroden in einer
Richtung des Weges der akustischen Oberflächenwelle alter
nierend wiederholt werden.
13. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 9,
bei dem das Elektrodenmuster erste und zweite Interdigital elektroden (R₁, R₁′) enthält, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet sind;
welche erste Interdigitalelektrode (R₁) auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats (11) gebildet ist, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen, und enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i), die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die gemeinsam miteinander verbun den sind und so zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der ersten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet ist, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen, und enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i), die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elek trodenfingern (o) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und so zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der dritten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der vierten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden.
bei dem das Elektrodenmuster erste und zweite Interdigital elektroden (R₁, R₁′) enthält, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet sind;
welche erste Interdigitalelektrode (R₁) auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats (11) gebildet ist, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen, und enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i), die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die gemeinsam miteinander verbun den sind und so zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der ersten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der zweiten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet ist, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen, und enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i), die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elek trodenfingern (o) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und so zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der dritten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der vierten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden.
14. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 13,
bei dem das Elektrodenmuster ferner eine dritte Interdigi talelektrode (R₂′) und eine vierte Interdigitalelektrode (R₂) enthält, die beide auf dem piezoelektrischen Substrat vorgesehen sind, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen;
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂′) enthält:
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i), die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektroden fingern (o) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektro denfingern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde (GND) verbunden sind und so zwischen der fünften Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der fünften Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der sechsten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
welche vierte Interdigitalelektrode enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer siebten Gruppe, die zusammen mit den Elektrodenfingern der vierten Gruppe gemeinsam mit dem Ausgangsanschluß verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe, die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und so zwischen der siebten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elek trodenfinger der siebten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der achten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Ober flächenwelle alternierend wiederholt werden.
bei dem das Elektrodenmuster ferner eine dritte Interdigi talelektrode (R₂′) und eine vierte Interdigitalelektrode (R₂) enthält, die beide auf dem piezoelektrischen Substrat vorgesehen sind, um den Weg der akustischen Oberflächenwelle zu kreuzen;
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂′) enthält:
eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i), die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektroden fingern (o) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektro denfingern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde (GND) verbunden sind und so zwischen der fünften Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elektrodenfinger der fünften Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der sechsten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Oberflächenwelle alternierend wiederholt werden;
welche vierte Interdigitalelektrode enthält: eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer siebten Gruppe, die zusammen mit den Elektrodenfingern der vierten Gruppe gemeinsam mit dem Ausgangsanschluß verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe, die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und so zwischen der siebten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, daß ein Elek trodenfinger der siebten Gruppe (i) und ein Elektrodenfinger der achten Gruppe (o) längs des Weges der akustischen Ober flächenwelle alternierend wiederholt werden.
15. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 11,
bei dem das Elektrodenmuster ferner eine dritte Interdigi
talelektrode (Rin) enthält, welche dritte Interdigitalelek
trode eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften
Gruppe umfaßt, die gemeinsam mit dem Eingangsanschluß (41)
verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern
einer sechsten Gruppe, die zwischen den Elektrodenfingern
der fünften Gruppe liegen, und bei dem die dritte Interdigi
talelektrode angrenzend an die zweite Interdigitalelektrode
(Rout) angeordnet ist.
16. Oberflächenakustikwellenfilter nach Anspruch 9,
bei dem das Elektrodenmuster erste bis fünfte Interdigital elektroden (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′) enthält, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats längs eines Weges der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind, welche erste Interdigitalelektrode (R₁) eine Viel zahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der ersten und zweiten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit den Elektrodenfingern der zweiten Gruppe verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der dritten und vierten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der ersten Gruppe von Elektroden fingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit einer Erde (GND) verbunden sind und zwischen der fünften Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der fünften und sechsten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche vierte Interdigitalelektrode (R₂′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer siebten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde (GND) verbunden sind und zwischen der siebten Gruppe von Interdigitalelektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der siebten und achten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche fünfte Interdigitalelektrode (R₂′′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer neunten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der vierten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine zehnte Gruppe von Elektrodenfingern (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der neunten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der neunten und zehnten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf dem Substrat kreuzt.
bei dem das Elektrodenmuster erste bis fünfte Interdigital elektroden (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′) enthält, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats längs eines Weges der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind, welche erste Interdigitalelektrode (R₁) eine Viel zahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der ersten und zweiten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit den Elektrodenfingern der zweiten Gruppe verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der dritten und vierten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der ersten Gruppe von Elektroden fingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit einer Erde (GND) verbunden sind und zwischen der fünften Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der fünften und sechsten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche vierte Interdigitalelektrode (R₂′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer siebten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde (GND) verbunden sind und zwischen der siebten Gruppe von Interdigitalelektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der siebten und achten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche fünfte Interdigitalelektrode (R₂′′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer neunten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der vierten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine zehnte Gruppe von Elektrodenfingern (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der neunten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der neunten und zehnten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf dem Substrat kreuzt.
17. Oberflächenakustikwellenresonator mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₂), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält, welches Elektroden muster eine Interdigitalelektrode umfaßt;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°;
welche Interdigitalelektrode eine erste Elektro dengruppe (R₁) und eine zweite Elektrodengruppe (R₂) ent hält, welche erste Elektrodengruppe (R₁) eine erste Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem ersten Anschluß verbunden sind, welche zweite Elektrodengruppe (R₂) eine zweite Gruppe von Elektrodenfin gern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem zweiten Anschluß verbunden sind, welche ersten und zweiten Gruppen von Elektrodenfingern so angeordnet sind, daß ein Elektro denfinger der zweiten Gruppe zwischen einem Paar von Elek trodenfingern der ersten Gruppe liegt.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₂), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält, welches Elektroden muster eine Interdigitalelektrode umfaßt;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°;
welche Interdigitalelektrode eine erste Elektro dengruppe (R₁) und eine zweite Elektrodengruppe (R₂) ent hält, welche erste Elektrodengruppe (R₁) eine erste Gruppe von Elektrodenfingern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem ersten Anschluß verbunden sind, welche zweite Elektrodengruppe (R₂) eine zweite Gruppe von Elektrodenfin gern umfaßt, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen sind und gemeinsam mit einem zweiten Anschluß verbunden sind, welche ersten und zweiten Gruppen von Elektrodenfingern so angeordnet sind, daß ein Elektro denfinger der zweiten Gruppe zwischen einem Paar von Elek trodenfingern der ersten Gruppe liegt.
18. Oberflächenakustikwellenverzögerungsleitung mit:
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃- Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält, welches Elektrodenmu ster eine Interdigitalelektrode bildet;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat aus einem LiTaO₃- Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente enthält, welches Elektrodenmu ster eine Interdigitalelektrode bildet;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,03-0,15fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats angeregt wird;
welches piezoelektrische Substrat eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel in einem Bereich größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
19. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,04-0,12fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf dem Substrat angeregt wird; und
das piezoelektrische Substrat (11) eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel (6) in einem Bereich größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Al als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des etwa 0,04-0,12fachen einer Wellenlänge einer akusti schen Oberflächenwelle hat, die auf dem Substrat angeregt wird; und
das piezoelektrische Substrat (11) eine von seiner Y-Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orientierung hat, mit einem Rotationswinkel (6) in einem Bereich größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
20. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das piezoelektrische Substrat (11) eine Orien
tierung hat, bei der der Rotationswinkel (6) auf den Bereich
von etwa 68-72° festgelegt ist.
21. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) eine Dicke in dem Bereich des etwa 0,05-0,10fachen
der Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle hat, die
auf dem piezoelektrischen Substrat angeregt wird.
22. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) aus Al gebildet ist.
23. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) aus einer kupferhaltigen Aluminiumlegierung gebildet
ist.
24. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) ein Abzweigfilter bildet, das eine Vielzahl von Reso
natoren auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats
enthält.
25. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R, R₁, R₂) einen Resonator
auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats (11)
bildet.
26. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′) ein
Gitterfilter mit einer Vielzahl von Resonatoren auf der
Oberfläche des piezoelektrischen Substrats bildet.
27. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) ein Interdigital-Interdigital-Wandler-Filter auf der
Oberfläche des piezoelektrischen Substrats bildet.
28. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) eine Verzögerungsleitung auf der Oberfläche des piezo
elektrischen Substrats bildet.
29. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin,
Rout) ein Multimodenfilter auf der Oberfläche des piezoelek
trischen Substrats bildet.
30. Oberflächenakustikwellenvorrichtung nach Anspruch
19, bei der das Elektrodenmuster erste bis fünfte Interdigi
talelektroden (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′) enthält, die auf der
Oberfläche des piezoelektrischen Substrats (11) längs eines
Weges der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind,
welche erste Interdigitalelektrode (R₁) eine Viel zahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der ersten und zweiten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit den Elektrodenfingern der zweiten Gruppe verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der dritten und vierten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der ersten Gruppe von Elektroden fingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit einer Erde verbunden sind und zwischen der fünften Gruppe von Elektro denfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der fünften und sechsten Gruppen den Weg der akustischen Ober flächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche vierte Interdigitalelektrode (R₂′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer siebten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der siebten Gruppe von Interdigitalelektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elek trodenfinger der siebten und achten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche fünfte Interdigitalelektrode (R₂′′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer neunten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der vierten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und Elektrodenfinger einer zehnten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der neunten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der neunten und zehnten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf dem Substrat (11) kreuzt.
welche erste Interdigitalelektrode (R₁) eine Viel zahl von Elektrodenfingern einer ersten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit einem Eingangsanschluß (IN) verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer zweiten Gruppe (o), die zwischen der ersten Gruppe von Elektroden fingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der ersten und zweiten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche zweite Interdigitalelektrode (R₁′) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer dritten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit den Elektrodenfingern der zweiten Gruppe verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer vierten Gruppe (o), die gemeinsam mit einem Ausgangsanschluß (OUT) verbunden sind und zwischen der dritten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der dritten und vierten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche dritte Interdigitalelektrode (R₂) eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer fünften Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der ersten Gruppe von Elektroden fingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfin gern einer sechsten Gruppe (o), die gemeinsam mit einer Erde verbunden sind und zwischen der fünften Gruppe von Elektro denfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der fünften und sechsten Gruppen den Weg der akustischen Ober flächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche vierte Interdigitalelektrode (R₂′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer siebten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der zweiten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und eine Vielzahl von Elektrodenfingern einer achten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der siebten Gruppe von Interdigitalelektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elek trodenfinger der siebten und achten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf der Oberfläche des Substrats (11) kreuzt,
welche fünfte Interdigitalelektrode (R₂′′) eine Vielzahl von Interdigitalelektrodenfingern einer neunten Gruppe (i) umfaßt, die gemeinsam mit der vierten Gruppe von Elektrodenfingern verbunden sind, und Elektrodenfinger einer zehnten Gruppe (o), die gemeinsam mit der Erde verbunden sind und zwischen der neunten Gruppe von Elektrodenfingern liegen, wobei jeder der Elektrodenfinger der neunten und zehnten Gruppen den Weg der akustischen Oberflächenwelle auf dem Substrat (11) kreuzt.
31. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,004-0,021fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,004-0,021fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
32. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,009-0,045fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiTaO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,009-0,045fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 38° aber kleiner als etwa 46°.
33. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,005-0,017fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Au als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,005-0,017fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
34. Oberflächenakustikwellenvorrichtung mit:
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,012-0,036fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
einem piezoelektrischen Substrat (11) aus einem LiNbO₃-Einkristall; und
einem Elektrodenmuster (R₁, R₁′, R₂, R₂′, R₂′′; Rin, Rout), das auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats vorgesehen ist und Cu als Primärkomponente ent hält;
dadurch gekennzeichnet, daß:
das Elektrodenmuster eine Dicke in einem Bereich des 0,012-0,036fachen einer Wellenlänge einer akustischen Oberflächenwelle hat, die auf der Oberfläche des piezoelek trischen Substrats angeregt wird;
das piezoelektrische Substrat eine von seiner Y- Achse um seine X-Achse hin zu seiner Z-Achse rotierte Orien tierung hat, mit einem Rotationswinkel größer als 66° aber kleiner als etwa 74°.
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DE19655247A DE19655247B4 (de) | 1995-10-13 | 1996-10-10 | Oberflächenakustikwellenvorrichtung, bei der eine verlustbehaftete akustische Oberflächenwelle verwendet wird, mit einem optimierten Schnittwinkel eines piezoelektrischen Substrats |
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DE19655247A DE19655247B4 (de) | 1995-10-13 | 1996-10-10 | Oberflächenakustikwellenvorrichtung, bei der eine verlustbehaftete akustische Oberflächenwelle verwendet wird, mit einem optimierten Schnittwinkel eines piezoelektrischen Substrats |
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