DE19640127A1 - Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen mit einer Excimer-Laserstrahlung - Google Patents
Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen mit einer Excimer-LaserstrahlungInfo
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- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Die Druckschriften DE 20 20 016 A1 und DE 42 22 223 C1 beschreiben verschiedene
Techniken zur Herstellung von Zündbrückenwiderständen für elektrische Zünd-/An
zündmittel auf einem isolierenden Trägerkörper durch Aufbringen von verschiedenen
Metallschichten mittels Kathodenzerstäubung oder durch Bedampfung im Hochvaku
um. Die Zündbrücke wird durch Isolationsschnitte in der Metallisierung erzeugt, so
daß sich durch Länge, Breite und Kombination der verschiedenen Metallschichten ein
Widerstand ergibt, der beispielweise durch Naß- oder elektrochemische Ätzverfahren
auf ein vorher festgelegtes Widerstandstoleranzband getrimmt wird. Dabei wird die
Schicht nur in ihrer Dicke verändert, da die Fläche aus zündtechnischen Gründen
nicht verändert werden darf.
Die oben beschriebenen Verfahren erlauben es nur, Zündbrücken stufenweise in Par
tien auf einen vorgegebenen größeren Widerstandsbereich zu trimmen, da ein Einzel
elementabgleich zu kosten- und arbeitsintensiv ist. Die Folge davon ist, daß die
Streuung des Zündbrückenwiderstands aus wirtschaftlichen Gründen in einem relativ
großen Bereich liegt, damit die Fertigungsausbeute hoch ist. Engt man die Toleranzen
ein, sinkt die Ausbeute.
Ein weiterer Nachteil ist darin zu sehen, daß die Herstellung von Zündbrückenwider
ständen mit sehr engen Toleranzen bei niedriger Ausschußquote nicht möglich ist.
Ferner besteht die Möglichkeit, daß der chemische Abgleichprozeß zu zusätzlichen
Inhomogenitäten in der Widerstandsstruktur der Zündbrücke führt, was Auswirkungen
auf die Langzeitstabilität haben kann.
Ebenfalls wirkt sich der Widerstandsnachlaufeffekt beim Trimmen negativ auf die
Ausbeute aus, da bei Erreichen des Sollwertes nicht beliebig schnell gestoppt werden
kann.
Aus der Fachzeitschrift Laser und Optoelektronik 26 (4)/1994, Seiten 58-62, ist ein
Verfahren zum Abgleich von Dickschichtwiderständen mit einer Excimer-
Laserstrahlung bekannt. Der Laserstrahl wird hierzu auf das Widerstandsmaterial ge
lenkt und durch geeignete Wahl der Pulsenergie und der Pulsfrequenz wird aufgrund
des photoablativen Wechselwirkungsprozesses, ohne thermische Belastung des
Bauteils, die Oberfläche mit jedem Laserpuls schichtweise abgetragen. Ein Nachlau
fen ist hierbei ausgeschlossen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 anzugeben, mit dem es möglich ist, Zündbrückenwiderstände wirtschaft
lich hochgenau abzugleichen, so daß
- a) die Fertigungsausbeute erheblich gesteigert wird,
- b) die Toleranzen des Zündbrückenwiderstands erheblich eingeschränkt werden können,
- c) eine Kostenreduzierung bei einem jetzt möglichen Einzelelementabgleich des Zündbrückenwiderstands gegeben ist und
- d) ein zusätzlicher Naß- bzw. elektrochemischer Abgleich des Zündbrückenwider stands nicht mehr notwendig ist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß zum Abgleich eine Excimer-
Laserstrahlung verwendet wird, wobei der Laserstrahl mit einer einstellbaren Pulsfre
quenz und Pulsenergie auf die Oberfläche des Schichtwiderstands gelenkt wird und
die Oberfläche dabei flächig abgetragen wird, bis der Widerstandswert des Schichtwi
derstands einen vorgegebenen Sollwert erreicht.
Mit Hilfe dieses Verfahrens ist es möglich, den abzugleichenden Schichtwiderstand
während des sehr schnellen Trimmvorgangs kontinuierlich zu messen, da kein thermi
scher Nachlauf vorhanden ist, d. h. wird der Laser abgeschaltet, endet auch sofort der
Abtragungsprozeß. So kann bei Erreichen des Widerstands-Sollwerts die Abtragung
punktgenau beendet werden.
Die Widerstandsgenauigkeit wird nur bestimmt durch die Anzeigegenauigkeit des Wi
derstandsmeßgerätes und die Leistung des Laserstrahls in Verbindung mit der Puls
frequenz. Pulsenergie und Pulsfrequenz des Laserstrahls dienen als Steuerungspa
rameter für die Abgleichgenauigkeit- und geschwindigkeit. Gleichzeitig erfolgt eine
kontinuierliche Messung des aktuellen Zündbrückenwiderstands während des Ab
gleich-/Trimmprozesses.
Folgende Vorteile hat das erfindungsgemäße Verfahren:
- a) Gleichmäßige Abtragung der Widerstandsfläche mittels Laser in Atomlagen
- b) Homogene Zündbrückenfläche
- c) Keine thermische Belastung der Zündbrücke aufgrund des photoablativen Wechselwirkungsprozesses
- d) Steuerung des Abgleichprozesses durch Wahl von Wellenlänge, Pulsenergie und Pulsfrequenz des Lasers
- e) Gleichzeitige Messung des Zündbrückenwiderstands während des Abgleichpro zesses
- f) Punktgenaues Abgleichen von Zündbrückenwiderständen.
Claims (1)
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen für Zündbrücken von elektrisch initiierbaren Zünd-/Anzündmitteln, dadurch gekenn zeichnet, daß zum Abgleich eine Excimer-Laserstrahlung verwendet wird, wobei der Laserstrahl mit einer einstellbaren Pulsfrequenz und Pulsenergie auf die Oberfläche des Schichtwiderstandes gelenkt wird und die Oberfläche dabei flä chig abgetragen wird, bis der Widerstandswert des Schichtwiderstandes einen vorgegebenen Sollwert erreicht.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1996140127 DE19640127A1 (de) | 1996-09-28 | 1996-09-28 | Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen mit einer Excimer-Laserstrahlung |
PCT/EP1997/005215 WO1998013836A1 (de) | 1996-09-28 | 1997-09-23 | Verfahren zum abgleich von schichtwiderständen mit einer excimer-laserstrahlung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996140127 DE19640127A1 (de) | 1996-09-28 | 1996-09-28 | Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen mit einer Excimer-Laserstrahlung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE19640127A1 true DE19640127A1 (de) | 1998-04-02 |
Family
ID=7807315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE1996140127 Withdrawn DE19640127A1 (de) | 1996-09-28 | 1996-09-28 | Verfahren zum Abgleich von Schichtwiderständen mit einer Excimer-Laserstrahlung |
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WO (1) | WO1998013836A1 (de) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998013836A1 (de) | 1998-04-02 |
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