DE19621335A1 - Verfahren zur Abstimmung von planaren supraleitenden Filtern - Google Patents

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Abstimmung von planaren supraleitenden Filtern nach der Gattung des unabhängigen Anspruchs.

Aus der EP 05 22 515 A1 ist eine Methode, einen planaren supraleitenden Filter mit einem einzelnen Resonator zu verstimmen, bekannt. Der abzustimmende planare Filter besteht hierbei aus einem Substrat mit einer Supraleiterschicht auf der Unterseite, welche als Masseleitung dient. Auf der Oberseite befindet sich, ebenfalls aus supraleitendem Material, eine Mikrostruktur, welche einen Leiter zur kapazitiven Einkopplung des Hochfrequenzsignals, einen Resonator, und eine Leitung zur kapazitiven Auskopplung des Signals umfaßt. Der Resonator ist eine in etwa kreisförmige planare Mikrostruktur, deren laterale Abmessungen seine Resonanzeigenschaften bestimmen. Des weiteren bestimmt die effektive dielektrische Funktion der Umgebung des Resonators seine Resonanzeigenschaften. Der Imaginärteil der effektiven dielektrischen Funktion bewirkt die Filterverluste, ihr Realteil beeinflußt die Lage der Resonanzfrequenz. Der Filter befindet sich in einem Gehäuse, in dessen Deckel mindestens ein mit einem Gewinde versehenes Durchgangsloch vorgesehen ist. Hierdurch wird eine Schraube gedreht, derart, daß der Schraubenkopf sich außerhalb des Gehäuses befindet, und das Gewindeende der Schraube in das elektrische Feld der sich im Filter fortpflanzenden Mikrowelle oder Millimeterwelle eintaucht. Zur Minimierung der Verluste wird die Anbringung eines supraleitenden Plättchens mit in etwa demselben Durchmesser wie das Gewinde der Schraube an der Schraubenspitze vorgeschlagen.

In einem Filter mit mehreren Resonatoren beeinflußt eine über einem Resonator befindliche Schraube in erster Näherung dessen Resonanzfrequenz. Eine Schraube, welche in den Zwischenraum zwischen zwei benachbarten Resonatoren eintaucht, beeinflußt in erster Linie die Kopplung zwischen diesen beiden Resonatoren. Die in EP 05 22 515 A1 für einen einzelnen Resonator vorgeschlagene Abstimmethode ist geeignet für die Herstellung von Filtern mit sehr geringen Verlusten, jedoch ist die Abstimmung von komplexeren Filtern mit einer größeren Anzahl von Resonatoren, bedingt durch die große Anzahl von Freiheitsgraden, extrem zeitaufwendig. Dies ist dem Fachmann bekannt.

Weiterhin ist aus der WO 94/28592, insbesondere Fig. 12, ist ein planarer Bandpaßfilter auf Hochtemperatursupraleiterbasis in Mikrostreifenleitertechnik bekannt. Auf einem Trägersubstrat befindet sich eine Supraleiterschicht auf der Unterseite, welche als Masseleitung dient. Auf der Oberseite befindet sich, ebenfalls aus supraleitendem Material, eine Mikrostruktur, welche einen Leiter zur kapazitiven Einkopplung des Hochfrequenzsignals, mehrere Resonatoren, und eine Leitung zur kapazitiven Auskopplung des Signals umfaßt. Der Resonator ist ein Streifenleiter von etwa rechteckiger Form, dessen laterale Abmessungen seine Resonanzeigenschaften bestimmen. In der WO 94/28591 besteht das Trägersubstrat aus einer Schichtstruktur, welche mindestens eine ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht beinhaltet. Durch Anlegen einer Spannung an diese ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht kann deren dielektrische Funktion signifikant geändert werden, und somit auch die dielektrische Funktion der Umgebung des planaren Filters. Somit kann auch die Resonanzcharakteristik des Filters geändert werden, allerdings nur integral, das heißt, in einer näherungsweise gleichen Weise für alle Resonatoren, welche den Filter bilden. Mit einher geht bei diesem Verfahren eine Erhöhung der Verluste.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des unabhängigen Anspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß die Abstimmung deutlich weniger aufwendig ist und trotzdem erlaubt, Filter mit geringen Verlusten herzustellen. Als weiterer Vorteil ist anzusehen, daß, bedingt durch den geringeren Zeitaufwand bei der Abstimmung, die Herstellungskosten eines fertig abgestimmten Filters deutlich niedriger ausfallen, da der Zeitaufwand, welcher zur Abstimmung notwendig ist, einen signifikanten Anteil an den Herstellungskosten darstellt.

Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im unabhängigen Anspruch angegebenen Verfahrens möglich. Besonders vorteilhaft ist es, am Gehäuse eine verschiebbare Wandung vorzusehen, da hiermit alle Resonanzfrequenzen aller Resonatoren gleichmäßig verschoben werden und nur noch geringfügiger Abstimmungsaufwand an weniger Schrauben zur Kopplung der einzelnen Resonatoren notwendig ist.

Besonders vorteilhaft ist ferner, eine doppelwandige Gehäusewandung mit einem absenkbaren Innendeckel vorzusehen, da somit das Gehäuse leichter abgedichtet werden kann.

Weiterhin ist es besonders vorteilhaft, diesen Innendeckel mittels Piezotranslatoren zu verschieben, da diese Methode der Abstimmung auch bei Betriebstemperatur (i.A. 77 Kelvin) und gegebenenfalls auch im Kältemittelbad erfolgen kann. Als weiterer Vorteil ist anzusehen, daß, bedingt durch die elektrische Steuerung der Resonanzverschiebung, diese Methode mit elektrischen Regelkreisen kompatibel ist.

Ferner ist besonders vorteilhaft, den Gehäusedeckel auf der Innenseite mit einer leitenden Platte einer genau definierten Dicke zu versehen, da diese Methode schon bei der Montage des Filters einen grob vorjustierten Filter liefert. Als weiterer Vorteil ist anzusehen, daß durch Herstellung eines geeigneten Satzes von Platten, welche sehr preiswert herzustellen sind, ein Satz von Filtern mit geringfügig verschiedenen Resonanzfrequenzen hergestellt werden kann, ohne unterschiedliche Supraleitermikrostrukturen zu erzeugen, für welche ein ungleich kostspieligerer Satz von verschiedenen Masken vonnöten wäre.

Schließlich ist es besonders vorteilhaft, mehrere Filter gleicher Bauart in einem Gehäuse mit gestuftem Deckel unterzubringen, da auf diese Weise sehr preisgünstig eine Filterbank für Frequenzmultiplexanwendungen erhalten werden kann.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 die perspektivische Ansicht eines Filters in einem aufgeschnittenen Gehäuse, welches mit einem höhenverstellbaren Deckel versehen ist,

Fig. 2 eine Transmissionskurve eines erfindungsgemäßen Filters,

Fig. 3 ein Filter eingebaut in ein Gehäuse, welches einen vom Deckel absenkbaren Innendeckel aufweist,

Fig. 4 einen Filter, welcher in ein Gehäuse eingebaut ist, welches einen mittels Piezotranslatoren gegenüber dem Deckel absenkbaren Innendeckel aufweist,

Fig. 5 einen Filter, eingebaut in ein Gehäuse, welches mit Platten auf der Deckelinnenseite versehen ist und

Fig. 6 eine Filterbank, auf deren Gehäusedeckel eine gestufte Platte angebracht ist.

Beschreibung der Erfindung

Fig. 1 zeigt einen planaren Filter in Mikrostreifenleiterbauweise in einem Gehäuse. Der planare Filter besteht aus einem dielektrischen Substrat (1), welches auf der Unterseite mit einem Supraleiter, vorzugsweise einem Hochtemperatursupraleiter, beschichtet ist. Diese Schicht bildet die Masseleitung (2). Auf der Oberseite des dielektrischen Substrats (1) ist eine Mikrostruktur, ebenfalls aus supraleitendem Material, aufgebracht, bestehend aus einer Eingangsleitung (3), Resonatoren (4, 5, 6) und einer Ausgangsleitung (7). Dieser planare supraleitende Filter ist in ein Gehäuse, bestehend aus einer Bodenplatte (10), einer Gehäusewand (11) und einem Deckel (12) eingebaut. Der Deckel (12) ist mittels zweier Schrauben (13, 14) an der Gehäusewand (11) befestigt. Im folgenden Text werden auch die Begriffe Gehäusewandung oder Wandung als Sammelbegriff für Deckel, Bodenplatte und Wand herangezogen. Im Deckel (12), senkrecht über der Linie (30) befindet sich eine Koppelschraube (20), deren Gewindeende in das Gehäuseinnere ragt. Die Linie (30) verläuft zwischen den Resonatoren (5, 6); Schnittzeichnungen in den folgenden Figuren geben Schnitte entlang einer Ebene, welche diese Linie beinhaltet und senkrecht zur Oberfläche des Substrats (1) verläuft, wieder.

Eine einlaufende Millimeter- oder Mikrowelle wird über den Eingangsleiter (3) an die Serie von Resonatoren (4, 5, 6) angekoppelt. Das gefilterte Signal steht am kapazitiv gekoppelten Ausgangsleiter (7) zur Verfügung. Bei dem in Fig. 1 gezeigten Planarfilter handelt es sich um einen Bandpaßfilter, bei welchem nur Mikrowellen oder Millimeterwellen (im folgenden auch mit dem Sammelbegriff Hochfrequenzwellen bezeichnet) mit einer Frequenz, welche der Eigenfrequenz der Resonatoren (4, 5, 6) entspricht, zwischen Eingangsleiter (3) und Ausgangsleiter (7) transmittiert werden. Durch geeignete Strukturierung sind auch andere Filterarten realisierbar, insbesondere Bandsperrfilter, Tiefpaßfilter oder Hochpaßfilter, auf welche die erfindungsgemäße Methode ebenfalls angewandt werden kann. Der Deckel (12) ist mittels der Schrauben (13, 14) an der Gehäusewand (11) befestigt. Darüber hinaus werden diese Schrauben (13, 14) zur Höhenverstellung des Deckels herangezogen. Dies geschieht durch Lockern der Schrauben (13, 14) und Hochhalten des Deckels (12) durch eine auf die Schrauben (13, 14) aufgesetzte Kontermutter (15). Die auf der Schraube (14) aufgesetzte Kontermutter wird vom Deckel (12) in Fig. 1 verdeckt. Durch Absenken des Deckels (12) werden die Resonanzfrequenzen aller Resonatoren (4, 5, 6) und damit das Transmissionsband des Filters zu höheren Frequenzen verschoben, Anheben des Deckels wirkt entgegengesetzt. Die Charakteristik eines solchen Filters, allerdings mit sieben Resonatoren, für zwei verschiedene Lagen des Deckels ist in Fig. 2 dargestellt.

Die Kopplung zwischen den einzelnen Resonatoren bestimmt die spektrale Feinstruktur innerhalb des Transmissionsbandes. Ein Beispiel für diese sehr schwache spektrale Feinstruktur ist in Fig. 2 mit einem Pfeil gekennzeichnet. Diese Kopplung wird durch die Koppelschraube (20) beeinflußt. Das Gewindeende der Koppelschraube taucht sowohl in das elektrische Feld des Resonators (5) als auch in das elektrische Feld des Resonators (6) ein und dient somit als doppelte kapazitive Kopplung zwischen den Resonatoren (5) und (6). Eine stärker entwickelte Kopplung, welche im hier gewählten Ausführungsbeispiel einer weiter eingedrehten Schraube entspricht, glättet die Feinstruktur innerhalb des Transmissionsbands. Bei stärkerer Kopplung wird auch das Transmissionsband gespreizt, so daß die Feinjustierung das Ziel hat, Bandbreite und spektrale Feinstruktur des Filters gleichzeitig an den beabsichtigten Einsatz anzupassen. Diese Feinjustierung der spektralen Transmissionscharakteristik wird im allgemeinen nach der Fixierung der spektralen Lage des gesamten Transmissionsbandes durch den absenkbaren Deckel vorgenommen werden.

Ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 3 dargestellt. Die Fig. 3 zeigt einen Schnitt durch einen Filter in einem Gehäuse entlang einer Schnittlinie (30) (siehe Fig. 1). Gleichartige oder gleichfunktionierende Bauteile wie in Fig. 1 wurden mit derselben Bezugsziffer versehen. Auf der Unterseite (2) eines dielektrischen Substrats (1) befindet sich eine supraleitende Schicht (2), welche als Masseleiter fungiert. Die Resonatoren des Filters liegen außerhalb der Schnittebene und sind deshalb in Fig. 3 nicht sichtbar. Der Filter ist in ein Gehäuse, mit Bodenplatte (10) und Gehäusewand (11), deren konstruktive Ausgestaltung eine sichere Fixierung des Filterelements gewährleistet, eingebaut. Dem Fachmann sind jedoch auch alternative Methoden zur Befestigung, wie z. B. Kleben, Schrauben, Klammern usw., offensichtlich. Ferner weist das Gehäuse einen Deckel (12) auf, welcher mit Löchern (50, 52, 53) versehen ist. Im Innern des Gehäuses, parallel zum Deckel (12), befindet sich der Innendeckel (40), welcher eine mit der Bohrung (50) fluchtende Bohrung (51) aufweist, welche mit einem Gewinde versehen ist. An dem Deckel (40) sind ferner zwei Gewindebolzen (41, 42) angebracht, dergestalt, daß sie durch die Löcher (52, 53) im Deckel (12) nach außen ragen, sowie eine Dichtung (45) welche den Innendeckel (40) gegen die Gehäusewand abdichtet. Auf den Gewindebolzen (41, 42) sind Muttern (44, 45) aufgeschraubt. Auf der Außenseite des Deckels sind Federn (16) aufgeklebt, derart, daß ihr federndes Ende das Ende der Gewindebolzen (41, 42) berührt und eine axiale Kraft auf diese in Richtung des Filters ausübt. Durch das Gewindeloch (51) ist eine Koppelschraube (20) eingeschraubt. An den Gehäusewänden (11) sind Sicherungsnasen (15) vorgesehen.

Die auf den Gewindebolzen (41, 42) befindlichen Muttern (44, 45) dienen zusammen mit den auf die Gewindebolzen drückenden Federn (16) zum Einstellen und Fixieren eines Abstandes zwischen dem Innendeckel (40) und dem Deckel (12). Durch Lösen der Kontermuttern (44, 45) wird der Innendeckel (40) durch den Federdruck abgesenkt und somit die Frequenz des Transmissionsbands des Filters erhöht. Die Sicherungsnasen (15) schützen die supraleitende Mikrostruktur auf der Oberseite des Substrats vor Beschädigungen durch einen irrtümlich losgelösten Innendeckel (40). Durch die Koppelschraube (20) ist es möglich, die Kopplung zwischen den einzelnen Resonatoren, und damit die spektrale Feinstruktur innerhalb des Transmissionsbands, zu beeinflussen. Die Dichtung (45) und die Tatsache, daß das Loch (51) mit einem Gewinde versehen ist, bewirken ein relativ dichtes Gehäuse. Trotzdem mag es u. U. zweckmäßig sein, das Loch (50) anstelle des Lochs (51) mit einem Gewinde zur Verstellung der Koppelschraube (20) zu versehen, um die Kopplung zwischen Resonatoren und die Frequenzverstimmung der Resonatoren zu trennen. Ebenso ist ein anderer Schraubenmechanismus zur Höhenverstellung des Innendeckels (40) als der hier gezeigte denkbar. Insbesondere sind hier auch hochgenaue, mit geringen Einbaumaßen aufwartende, in den Deckel zu integrierende Einsätze vorstellbar.

Eine elektrisch steuerbare Methode, den Innendeckel abzusenken, um den Filter abzustimmen, ist in dem weiteren Ausführungsbeispiel in Fig. 4 gezeigt. Wiederum befindet sich ein auf einem dielektrischen Substrat (1) aufgebrachter planarer Filter, von welcher in der dargestellten Schnittzeichnung nur der supraleitende Masseleiter (2) sichtbar ist, in einem Gehäuse, welches aus einer Bodenplatte (10), einer Gehäusewand (11) und einem Deckel (12) besteht. Filter und Gehäuse sind entlang der gleichen Schnittlinie aufgeschnitten wie die Einrichtung in Fig. 3. Gleiche oder funktionsgleiche Bauteile wie in den vorhergehenden Figuren wurden mit denselben Bezugszeichen versehen. An der Innenseite des Deckels (12) sind zwei Piezotranslatoren (60) angebracht, welche wiederum mit dem Innendeckel (40) verbunden sind. Innendeckel (40) und Deckel (12) weisen zwei koaxiale Bohrungen (51, 50) auf, von welchen die Bohrung (51) mit einem Gewinde versehen ist und die Bohrung (50) mit einer elektrisch isolierenden Führungsbuchse (61) versehen ist. In der Bohrung (51) befindet sich eine Koppelschraube (20).

Das Anheben und Absenken des Innendeckels, welches die Filtercharakteristik in derselben Weise wie im vorherigen Beispiel beeinflußt, geschieht in diesem Beispiel durch Anlegen einer Spannung an den oder die Piezotranslatoren (60). Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Koppelschraube (20) am Innendeckel und nicht am Außendeckel befestigt. Eine naheliegende Lösung für das Anlegen einer Spannung am Piezotranslator (60) besteht daher darin, eine Spannung zwischen Deckel (12) und Koppelschraube (20) anzulegen. Ebenso besteht die Möglichkeit, die Spannungszuführung zu den Piezotranslatoren (60) mittels zweier Leiterdrähte zu lösen; in diesem Falle besteht auch die Möglichkeit, die Koppelschraube (20) im Deckel (12) statt im Zwischendeckel (40) zu verankern, um die Justierung der spektralen Lage des Transmissionsbands einerseits, und seiner spektralen Form andererseits weitgehend zu trennen. Eine Anwendungsmöglichkeit dieses Ausführungsbeispiels der hier offenbarten Erfindung besteht darin, die elektrisch gesteuerte Abstimmung des Filters mit einem Steuer- und Regelkreis zu kombinieren, um somit beispielsweise Drifterscheinungen zu kompensieren.

Die Schnittzeichnung in Fig. 5 zeigt ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel. Der Schnitt ist entlang der in Fig. 1 dargestellten Schnittlinie ausgeführt; gleiche oder funktionsgleiche Bauteile wie in den vorhergehenden Figuren werden mit denselben Bezugszeichen versehen. Wiederum ist ein Filter, bestehend aus einem Masseleiter (2), aufgebracht auf einem dielektrischen Substrat (1), und einem nicht in der Fig. 5 sichtbaren Resonator in ein Gehäuse, bestehend aus Bodenplatte (10), Gehäusewand (11) und Deckel (12), eingebaut. Eine Koppelschraube (20) ist in ein Gewindeloch (50) eingeschraubt. Auf der Innenseite des Deckels (12) ist eine leitende Platte (70) angebracht.

In diesem Ausführungsbeispiel erfolgt die Auswahl der spektralen Lage des Filterbands durch Auswahl einer Platte (70) mit der passenden Dicke und ihrer Anbringung auf der Innenseite des Deckels (12). Wiederum kann die Koppelschraube (20) zur Beeinflussung der spektralen Feinstruktur des Filterbandes herangezogen werden. Die Änderung der spektralen Lage des Transmissionsbands ist nach dem Zusammenbau des Gehäuses nicht mehr möglich, ohne das Gehäuse wieder zu öffnen, jedoch läßt sich auf diese Weise mit sehr einfachen Mitteln eine Vorabstimmung treffen, welche dann mit Hilfe der Koppelschrauben (20) nur noch im Detail korrigiert werden muß. Ebenso ist es möglich, mittels eines Satzes ausgewählter Platten (70) aus derselben Supraleitermikrostruktur einen Satz Filter herzustellen, deren Transmissionscharakteristik sich in einer genau definierten Weise unterscheidet.

Fig. 6 zeigt den Querschnitt durch eine Filterbank, in welcher sich vier identische planare Filter (80), hergestellt mit identischen Masken auf identischen Substraten, ausgehend von identischen Supraleiterschichten auf beiden Seiten, befinden. Das Gehäuse besteht aus einer Bodenplatte (10), einer Gehäusewand (11) und einem Deckel (12). Auf der Innenseite des Deckels (12) ist eine Stufenplatte (72) befestigt.

Durch die unterschiedlichen Abstände zwischen den planaren Filtern (80) und der ihnen zugewandten Oberfläche der Stufenplatte (72) wird die spektrale Lage der Transmissionsfrequenzen der durch die einzelnen Planarfilter realisierten Kanäle leicht gegeneinander verstimmt, ohne die spektrale Feinstruktur zu ändern. Auf diese Weise kann mit sehr einfachen Mitteln und unter Umgehung der Herstellung mehrerer Masken eine Vielkanalfilterbank gebaut werden. Falls erforderlich und/oder erwünscht können auch in diesem Realisierungsbeispiel noch zusätzliche Schrauben zur Feinabstimmung vorgesehen werden.

In den vorhergehenden Ausführungsbeispielen wurde der Gehäusedeckel stellvertretend für andere Gehäusekomponenten, welche sich hinreichend nahe am Planarfilter befinden, so daß sie mit dem elektrischen Feld der sich durch die Filterstruktur ausbreitenden Hochfrequenzwelle wechselwirken, herangezogen. Mögliche Abwandlungen der Erfindung bestehen darin, eine oder mehrere Seitenwände und/oder den Boden verschiebbar im oben genannten Sinne zu gestalten. Ebenso erscheint es denkbar, die Koppelschrauben (20) und den verschiebbaren Deckel an verschiedenen Flächen zu realisieren, beispielsweise die Koppelschrauben (20) an einer Seitenwand koaxial zu der in Fig. 1 gezeigten Linie (30) anzubringen, und die parallel zum Substrat (1) verlaufende, der Oberfläche (das heißt, der Fläche mit den Resonatoren) zugewandte Gehäusefläche als verschiebbaren Deckel im oben genannten Sinne auszubilden.

In den obigen Ausführungsbeispielen kamen Koppelschrauben (20), welche in den Halbraum zwischen zwei Resonatoren ragten, zum Einsatz, falls zusätzlich zur Verschiebung des Transmissionsbands durch die verschiebbare Gehäusewandung die Feinstruktur des Transmissionsbands geändert werden sollte. Ebenso ist aber denkbar, zusätzlich zum absenkbaren Gehäusedeckel, eine oder mehrere Abstimmschrauben im Feldraum über einem einzelnen Resonator vorzusehen. Es ist dann möglich, das gesamte Transmissionsband integral durch Verschieben der Gehäusewandung zu verschieben, und zusätzlich, beispielsweise durch Verschieben der Resonanz eines einzelnen Resonators, den Filter schmalbandiger oder breitbandiger auszugestalten.

Claims (7)

1. Verfahren zur Abstimmung von planaren supraleitenden Filtern für Millimeterwellen oder Mikrowellen mit mehreren Resonatoren, wobei der Filter in einem Gehäuse angeordnet ist, und wobei ein leitendes Element, welches sich hinreichend nahe am Filter befindet, so daß dieses mit dem elektrischen Feld der Millimeterwellen oder Mikrowellen wechselwirken kann, relativ zum Filter verschoben wird, dadurch gekennzeichnet, daß sich das leitende Element über mehrere Resonatoren erstreckt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, mindestens eine Gehäusewandung verschoben wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der den Resonatoren zugewandte Teil einer doppelwandigen Gehäusewandung relativ zum Filter verschoben wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung durch Drehen einer Schraube oder einer Mutter bewirkt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung durch Piezotranslatoren bewirkt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf mindestens einer Innenwand des Gehäuses eine leitende Platte mit der zur gewünschten Verstimmung notwendigen Dicke angebracht wird.

7. Filterbank bestehend aus mindestens zwei planaren supraleitenden Filtern für Millimeterwellen oder Mikrowellen, eingebaut in einem Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Deckelinnenseite eine leitende Stufenplatte in hinreichender Nähe, so daß die den Filtern zugewandte Oberfläche der Stufenplatte mit dem elektrischen Feld der Millimeterwellen oder Mikrowellen wechselwirken kann, angebracht ist.