DE19610521A1 - Verfahren zur Massenanalyse von hochangeregten Teilchen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Massenanalyse von hochange­ regten Teilchen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Bei der Flugzeit-Massenanalyse gibt es einen Start-Zeitpunkt, ab wel­ chem eine Gruppe von Ionen im Flugzeit-Massenspektrometer gestartet wird. Am Ende einer Flugstrecke wird die Zeit gemessen, welche das jeweilige ankommende Ion benötigt hat und hieraus die Masse des be­ treffenden Ions ermittelt.

Sollen mittels eines Flugzeit-Massenspektrometers Ionen bzw. zu er­ zeugende Ionen aus des Gasphase nachgewiesen werden, so versteht man unter Abzugsvolumen denjenigen Raumbereich der Ionenquelle, aus wel­ chem, beginnend ab dem Start-Zeitpunkt der Massenanalyse, Ionen auf die Oberfläche des Detektors des Flugzeit-Massenspektrometers gelan­ gen können. Die Bahnen, auf welchen sich die Ionen dabei bewegen, sind bestimmt durch die vorhandenen elektrischen Felder und ergeben sich in einfacher Weise aus den physikalischen Gesetzen.

Der Start-Zeitpunkt der Flugzeit-Analyse kann z. B. gegeben sein durch

• - den Zeitpunkt, in dem neutrale Teilchen eines im Abzugsvolumen befindlichen zu untersuchenden Gases durch den Puls einer das Ab­ zugsvolumen durchstrahlenden L aserstrahl- oder Elektronenstrahl­ quelle ionisiert werden.
• - den Zeitpunkt des Anschaltens der Elektrodenspannungen der Io­ nenquelle. In diesem Fall handelt es sich meist darum, Ionen zu untersuchen, da Ionen nur dann ii das Abzugsvolumen gelangen können, wenn an den Elektroden der Ionenquelle keine oder nur sehr geringe Spannungen anliegen.

Als ionenoptische Achse bezeichnet man bei Ionenquellen diejenige Bahn eines Ions, welches zum Startzeitpunkt von einem geeignet gewähl­ ten Punkt nahe der geometrischen Mitte des Abzugsvolumens mit der Anfangsgeschwindigkeit = 0 aus startet. Ist der Aufbau der Ionen­ quelle zylindersymmetrisch, so wird als Startpunkt der ionenoptischen Achse üblicherweise ein Punkt auf der Symmetrieachse der Ionenquelle ausgewählt.

Sollen in einem Flugzeit-Massenspektrometer Teilchen aus der Gas­ phase mit hoher Massenauflösung nachgewiesen werden, so müssen die Anfangs- Geschwindigkeitskomponenten der Ionen in Beschleunigungsrich­ tung klein gehalten werden. Dies läßt sich erreichen, indem der zu un­ tersuchende Gas- bzw. Ionenstrahl in rechtem Winkel zur Beschleuni­ gungsrichtung die Ionenquelle durchquert. In der Veröffentlichung von Bergmann et al. (Review of Scientific Instruments, Band 60(4), Seiten 792-793, 1989) ist gezeigt, warum der rechte Winkel nötig ist, und wie auf diese Weise eine Massenauflösung von 35 000 (m/Δm) FWHM (Full Width at Half Maximum) erzielt wurde.

Sollen im Flugzeit-Massenspektrometer hochaufgelöste lichtspektro­ skopische Messungen an Molekülen vorgenommen werden, so kann man diese Moleküle mit einem abgestimmten Laserstrahl in hochangeregte Rydbergzustände versetzen. Hochangeregte Rydbergzustände sind elek­ tronische Anregungen, bei welchen ein Elektron des Moleküls in einen Quantenzustand mit sehr hoher Hauptquantenzahl gehoben wird. Die­ ser Zustand ist ladungsmäßig neutral, und befindet sich energetisch nur sehr knapp unter dem ionisierten Zustand. Durch Anlegen eines sehr schwachen elektrischen Feldes von nur einigen 100 mV/cm kann man die­ sem Molekül das hochangeregte Elektron entreißen, wodurch das Molekül ionisiert wird. Von diesem Zeitpunkt an kann der Bewegungszustand die­ ses Moleküls durch das anliegende schwache Feld verändert werden.

Die Energie der hochangeregten Rydberg-Zustände dieser Moleküle liegt sehr nahe an der Ionisationsenergie. Da vor der Anregung diese Moleküle möglicherweise in unterschiedlichen Rotations- oder Schwin­ gungszuständen vorlagen, werden sie nach der Anregung zwar sehr nahe an der Ionisationsenergie, innerhalb dieses engen Bereichs jedoch unter­ schiedlich weit davon entfernt sein. Abhängig von dem genauen Abstand zur Ionisationsenergie kann mit einer bestimmten elektrischen Feldstärke das betreffende Molekül ionisiert werden. Es können also durch stufen­ weises Anheben dieses schwachen elektrischen Feldes nacheinander zu verschiedenen Zeitpunkten aus einer Gruppe von neutralen angeregten Molekülen mit nur einem Bewegungszustand verschiedene Gruppen von Ionen mit verschiedenen Bewegungszuständen erzeugt werden. Da man bei dieser optischen Spektroskopie nur an der Gruppe von Ionen interes­ siert ist, deren Abstand zur Ionisationsenergie in einem eng begrenzten Bereich lag bzw. welche vor der Anregung in einem ganz bestimmten Rotations- und Schwingungszustand vorlag, läßt sich durch stufenweises Anheben des elektrischen Feldes die gewünschte Gruppe von Ionen aus der Gesamtheit der angeregten Moleküle herausfiltern.

Wird nun in der Ionenquelle des Flugzeit-Massenspektrometers das wesentlich stärkere Beschleunigungsfeld eingeschaltet, so kann es entwe­ der sein, daß nur eine bestimmte Gruppe von Ionen am Detektor des Flugzeit-Massenspektrometers nachgewiesen wird, oder, daß diese Grup­ pen zu verschiedenen Zeiten oder an verschiedenen Orten auf dem De­ tektor auftreffen.

Durch dieses Aufteilen der Ionen in verschiedene Gruppen läßt sich die Auflösung dieser optischen Spektroskopie wesentlich verbessern. Im üblichen Sprachgebrauch nennt man diese Form der optischen Spektro­ skopie Mass Analysed Threshold Ionization (MATI).

Diese optische Spektroskopie ist in der Veröffentlichung von Boo­ gaarts et al. (Chemical Physics Letters, Band 223, Seite 537-540, 1994) vorgestellt. Bei dieser Methode werden die Felder zur Beeinflussung des Ladungs- und Bewegungszustands der Teilchen in Beschleunigungsrich­ tung der Ionenquelle des Flugzeit-Massenspektrometers angelegt. Dies ist nachteilig, da auf diese Weise die Massenauflösung des Flugzeit-Massen­ spektrometers verschlechtert wird, und außerdem lassen sich so die Teil­ chen in höchstens zwei Gruppen aufteilen: Eine Gruppe, welche den Detektor des Flugzeit-Massenspektrometers erreicht, und eine weitere, welche den Detektor nicht erreicht.

Eine weitere Möglichkeit, hochaufgelöste optische Spektroskopie mit Rydberg-Zuständen durchzuführen, ist in der Veröffentlichung von Diet­ rich et al. (Journal of Chemical Physics, Band 101, Seite 3399-3402, 1994) beschrieben. Hierbei werden die neutralen angeregten Moleküle durch nacheinander folgendes Anheben der Feldstärke in drei Gruppen mit un­ terschiedlichem Bewegungszustand aufgeteilt. Um diese drei Gruppen am Detektor des Flugzeit-Massenspektrometers trennen zu können, wer­ den die Spannungen an der Ionenquelle des Flugzeit-Massenspektrometers beim Abzug der Ionen so eingestellt, daß die Ankunftszeit der Ionen nicht unabhängig von deren Startort ist. Man hat also die Ionen vorher räum­ lich aufgetrennt, und so kommen sie dann zu verschiedenen Zeiten am Detektor an. Nachteilig bei diesem Verfahren ist der weitgehende Verlust der Massentrennfähigkeit des Flugzeit-Massenspektrometers.

Der Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein Ver­ fahren anzugeben, bei welchem man den Ladungs- und Bewegungszu­ stand von hochangeregten Teilchen, insbesondere Rydberg-Atomen oder -Molekülen vor dem Startzeitpunkt der Massenanalyse im Flugzeit-Massen­ spektrometer so beeinflussen kann, daß sie in mindestens drei Gruppen aufteilbar sind, und daß sie im Flugzeit-Massenspektrometer mit hoher Massenauflösung nachgewiesen werden können.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des An­ spruchs 1 gelöst.

Erfindungsgemäß werden die hochangeregten Rydberg-Teilchen vor dem Startzeitpunkt der Massenanalyse im Flugzeit-Massenspektrometer durch ein, bezogen auf die ionenoptische Achse der Ionenquelle des Flug­ zeit- Massenspektrometers im wesentlichen transversales elektrisches Feld, in zwei oder mehr Gruppen von Ionen mit unterschiedlichen Bewegungs­ zuständen aufgeteilt. Wird nach Aufteilung der Ionen in die verschie­ denen Gruppen das Beschleunigungsfeld in der Ionenquelle des Flugzeit-Mas­ senspektrometers angeschaltet, so starten diese Ionengruppen von verschiedenen transversalen Startorten und mit verschiedenen transver­ salen Geschwindigkeitskomponenten. Wird hinter der Beschleunigungs­ strecke eine kleine Blende angeordnet, so kann nur diejenige Ionengruppe, deren Bahn nach der Beschleunigungsphase durch diese Blende trifft, am Detektor des Flugzeit-Massenspektrometers nachgewiesen werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Fig. 2 ein Orts-Zeit-Diagramm zur Darstellung der Separation der Ionengruppen A, B, C.

Fig. 3a, 3b eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Fig. 4a, 4b eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Anhand von Fig. 1 soll nun die Erfindung näher beschrieben werden.

Die neutralen Moleküle werden in einem Strahl (10), in rechtem Win­ kel zur ionenoptischen Achse (15) der Ionenquelle, in diese eingeschossen.

Zum Zeitpunkt t₁ werden diese Moleküle durch einen oder mehrere gleich­ zeitige Laserpulse in einen hochangeregten Rydberg-Zustand gebracht. Die Wellenlänge der Laserstrahlung kann beispielsweise so gewählt sein, daß schwerpunktmäßig Rydberg-Zustände mit 100 < n < 150 (n = Hauptquantenzahl) der interessierenden molekularen Spezies angeregt werden.

Diese Laserpulse treffen auch Moleküle, welche nicht zu der interessie­ renden Spezies gehören, oder welche sich nicht in dem gewünschten quan­ tenmechanischen Ausgangszustand befinden. Ein Teil dieser Moleküle wird durch diesen Laserpuls schon ionisiert, bzw. durch das unmittelbar danach angeschaltete schwache transversale Feld ionisiert. Diese Ionen­ gruppe wird im Folgenden mit "A" bezeichnet. (In Fig. 1 werden die ionisierten Moleküle mit einem "+" gekennzeichnet.) Ab diesem Zeit­ punkt kann diese Ionengruppe das schwache transversale Feld spüren. Wird dieses Feld, wie hier gezeigt, in bremsender Richtung angelegt, so wird die Ionengruppe "A" gegenüber den anderen, noch neutralen Mo­ lekülen verzögert.

Zum Zeitpunkt t₂ wird das transversale elektrische Feld etwas erhöht. Dadurch entsteht eine weitere Gruppe von Ionen, hier mit "B" bezeich­ net. Diese Gruppe "B" enthält diejenigen Moleküle, welche sich vorher in dem gewünschten quantenmechanischen Ausgangszustand befunden haben. Ab dem Zeitpunkt t₂ kann die Gruppe "B" das schwache trans­ versale Feld spüren, und wird gegenüber den verbleibenden neutralen Molekülen verzögert.

Sobald die Gruppe "B" das Abzugsvolumen (11) der Ionenquelle er­ reicht, wird das Beschleunigungsfeld angeschaltet. Dadurch werden die verbleibenden hochangeregten Moleküle ionisiert. Diese Gruppe wird im folgenden mit "C" bezeichnet.

Hinter der Beschleunigungsstrecke befindet sich eine Blende (3). Die transversale Komponente des elektrischen Feldes wird während des Be­ schleunigungsvorgangs so eingestellt, daß die Gruppe "B" die Blende passieren kann. Die Gruppen "A" und "C" sind jedoch nicht in der Lage, die Blende zu passieren, so daß auf diese Weise nur die Gruppe "B" am Detektor des Flugzeit-Massenspektrometers nachgewiesen wird.

Da während der Auftrennung der Moleküle in die verschiedenen Io­ nengruppen die Geschwindigkeitskomponente der "B"-Gruppe parallel zur ionenoptische Achse der Ionenquelle nicht verändert wurde, können die Massen der Ionen in der "B"-Gruppe mit sehr hoher Auflösung im Flugzeit-Massenspektrometer bestimmt werden. Das ionisierende Feld oder Separationsfeld muß jedoch nicht exakt transversal zu dem Be­ schleunigungsfeld sein. Eine Verbesserung gegenüber dem Stand der Technik wird bereits erzielt, wenn es eine Komponente transversal zu dem Beschleunigungsfeld aufweist.

Fig. 2 stellt die Geschwindigkeitsverhältnisse während der Auftren­ nung in die verschiedenen Ionengruppen dar. Zum Zeitpunkt t₁ wird die "A"-Gruppe der Ionen erzeugt. Sie spüren als erste das Bremsfeld. Zum Zeitpunkt t₂ wird das transversale elektrische Feld etwas vergrößert, wo­ durch die Gruppe "B" der Ionen entsteht. Wenn die Gruppe "B" ihre gesamte Bewegungsenergie verloren hat, wird das Beschleunigungsfeld entlang der ionenoptischen Achse der Ionenquelle angeschaltet.

Es ist nicht zwingend erforderlich, daß die Gruppe "B" ihre gesamte Bewegungsenergie verloren hat, bevor das Beschleunigungsfeld angeschal­ tet wird. Notwendig ist, daß die Trennung der Ionengruppen (A, B, C, . . .) so weit fortgeschritten ist, daß die Blende (3) zuverlässig die Ionengrup­ pen "A" und "C" von der Ionengruppe "B" abtrennen kann.

Anhand von Fig. 2 erkennt man einen weiteren Vorteil der Erfin­ dung: Durch die Auftrennung gemäß der vorliegenden Erfindung wer­ den die verschiedenen Gruppen nicht nur räumlich aufgetrennt, sondern erhalten außerdem noch verschiedene transversale Geschwindigkeiten. Diese transversalen Geschwindigkeiten dienen dazu, die Gruppen räum­ lich noch weiter aufzutrennen, bevor sie die Blende (3) passieren müssen.

Oft möchte man schwere angeregte Moleküle mit sehr schwachen Fel­ dern auftrennen. Wird die Trennung durch elektrische Felder parallel zur ionenoptischen Achse durchgeführt, so kann man nur dann die drei Grup­ pen einwandfrei trennen, wenn sie sich beim Erreichen des Abzugsvolu­ mens (11) nicht mehr überlappen. Werden die Gruppen durch elektrische Felder, welche transversal zur ionenoptischen Achse stehen, getrennt, so dürfen die Ionen sich nicht mehr überlappen, wenn sie die Blende (3) er­ reichen. In der endlichen Zeit, welche die Ionen vom Abzugsvolumen bis zur Blende benötigen, können sie sich noch weiter auftrennen, was entwe­ der den Einsatz geringerer Felder zum Auftrennen, oder größere Massen der zu untersuchenden hochangeregten Moleküle erlaubt.

Fig. 3a und 3b, der Patentschrift DE 43 22 101 C2 entnommen, zei­ gen beispielhaft eine Vorrichtung zur Durchführung der Erfindung. Zur Erzeugung des Separationsfeldes werden die Elektroden (20) verwendet, welche in Patentschrift DE 43 22 101 C2 als Ablenkelektroden bezeichnet werden.

Die Atome oder Moleküle eines Gases werden in geeigneter Weise, etwa durch einen Laserstrahl angeregt (nicht dargestellt) und dann in Form eines Teilchenstrahls (10) in das durch die Elektroden (20) erzeugte Separationsfeld eingeschossen. Alternativ kann man die Moleküle auch zwischen den Elektroden (20) durch einen Laserstrahl anregen.

Die Spannung zwischen den Elektroden (20) wird - wie bereits be­ schrieben - stufenweise erhöht, so daß es zur Ausbildung von Ionengrup­ pen (A, B, C, . . .) kommt. Wenn die Ionengruppe "B" das Abzugsvolumen durchquert, wird das Beschleunigungsfeld angeschaltet, um diese Ionen­ gruppe in das Flugzeit-Massenspektrometer hinein zu beschleunigen.

In vorteilhafter Weise ist darüberhinaus bei diesem Ausführungs­ beispiel, entsprechend Anspruch 9, in die Beschleunigungselektrode (2) eine Blende (3) eingearbeitet, deren Öffnung nur die Ionengruppe "B" durchläßt. Alternativ kann natürlich eine separate Blende (3) hinter der Beschleunigungselektrode (2) angeordnet werden.

In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist, entsprechend Anspruch 5, das Separationsfeld mit dem Beschleunigungsfeld überlagert. Es ist je­ doch auch möglich, entsprechend Ansprüchen 6, 7 und 11 bis 14, das Se­ parationsfeld und das Beschleunigungsfeld getrennt anzuordnen. Dann müssen die Elektroden zur Erzeugung des Separationsfeldes Blenden (21) aufweisen, durch welche die Teilchen das Separationsfeld erreichen bzw. verlassen können.

Diese Anordnung ist in Fig. 4a und 4b gezeigt. Die Separations­ elektroden (20) sind hier vollständig außerhalb des Beschleunigungsfeldes angeordnet, wobei Öffnungen (21) vorgesehen sind, durch welche der Teil­ chenstrahl das Separationsfeld erreichen bzw. wieder verlassen kann.

Um das Abzugsvolumen (11) zu erreichen, muß der Teilchenstrahl bei Verlassen des Separationsfeldes noch eine endliche transversale Ge­ schwindigkeit haben. Andererseits ist es vorteilhaft, diese transversa­ len Geschwindigkeitskomponenten vor oder beim Einschuß der Ionen in die Driftstrecke des Flugzeit-Massenspektrometers zu reduzieren oder zu kompensieren. Daher sollten quer zur Beschleunigungsrichtung der Io­ nenquelle noch Ablenkelektroden (22) angeordnet werden, um die trans­ versalen Geschwindigkeitskomponenten der nachzuweisenden Ionen zu kompensieren. Wenn die Ablenkelektroden das Abzugsvolumen (11) umfassen, müssen in den Ablenkelektroden (22) noch Blenden (23) vor­ gesehen werden, damit die Teilchen bzw. Ionen das Abzugsvolumen (11) der Ionenquelle erreichen können. Die Kompensation der verbleibenden transversalen Geschwindigkeitskomponenten kann vor, während, oder nach der Beschleunigungsphase geschehen.

Claims (16)

1. Verfahren zur Analyse von hochangeregten Teilchen, nämlich hoch­ angeregten Atomen oder Molekülen, in einem Flugzeit-Massenspek­ trometer, das eine Ionenquelle enthält,

• - in der durch bestimmungsgemäße Nutzung ein Raumbereich als Abzugsvolumen (11) definiert ist, in welchem sich Ionen, deren Masse bestimmt werden soll, zum Start-Zeitpunkt der Massenanalyse befinden,
• - mit Beschleunigungselektroden (1, 2), die ein elektrisches Feld definieren, welches Ionen in Richtung der ionenoptischen Achse beschleunigt, und
• - in der Teilchen vor dem Startzeitpunkt der Massenanalyse durch stufenweises Erhöhen eines elektrischen Separationsfel­ des zeitlich aufeinanderfolgend und gruppenweise sowohl ioni­ siert als auch räumlich voneinander separiert werden, so daß eine Anzahl von Ionengruppen (A, B, C, . . .) erzeugt wird,

dadurch gekennzeichnet,

• - daß das Separationsfeld eine zu dem Beschleunigungsfeld trans­ versale Komponente aufweist, und
• - daß die gewünschte Ionengruppe(B) durch eine in dem Mas­ senspektrometer angeordnete Blende (3) selektiert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

• - daß die Ionengruppen (A, B, C, . . .) nacheinander das Abzugsvo­ lumen (11) durchlaufen, und
• - daß die Ionen durch das Beschleunigungsfeld aus dem Abzugs­ volumen (11) abgezogen werden, und
• - daß eine Ionengruppe (B) in der Weise ausgewählt wird, daß das Beschleunigungsfeld zu einem Zeitpunkt aktiviert wird, zu dem sich die gewünschte Ionengruppe (B) in dem Abzugsvolu­ men (11) befindet.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Separationsfeld im wesentlichen transversal zu dem Be­ schleunigungsfeld ist.

4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Separationsfeld ein die Ionen abbremsendes Feld ist.

5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Separationsfeld und das Be­ schleunigungsfeld sich wenigstens teilweise überlagern.

6. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4 da­ durch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil des Separations­ feldes außerhalb des Beschleunigungsfeldes liegt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch Elektroden (20) zur Erzeugung des Separationsfeldes, welche außerhalb des Be­ schleunigungsfeldes liegen.

8. Verfahren nach einem, oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei hintereinander angeordnete Separationsfelder verwendet werden.

9. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine (2) der Beschleunigungselek­ troden (1, 2) der Ionenquelle gleichzeitig als Blende (3) zur Selektion der gewünschten Ionengruppe (B) verwendet wird.

10. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen Rydberg-Atome oder -Moleküle sind.

11. Flugzeit-Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Ionenquelle, umfassend

• - Beschleunigungselektroden (1, 2), die ein elektrisches Feld de­ finieren, welches Ionen in Richtung der ionenoptischen Achse beschleunigt,
• - Separationselektroden zur Definition eines im wesentlichen räum­ lich homogenen elektrischen Separationsfeldes, welches eine zur Beschleunigungsrichtung transversale Komponente aufweist, zur Ionisation der durch eine Öffnung in einer Separationselek­ trode in das Separationsfeld eintretenden Teilchen und zur räumlichen Separation der Ionen in eine Anzahl von Ionen­ gruppen (A, B, C, . . .),
• - und eine auf der ionenoptischen Achse in Beschleunigungs­ richtung der Ionen angeordnete Blende (3) mit einer Öffnung zum Selektieren einer gewünschten Ionengruppe (B) und zum Blockieren nichtgewünschter Ionengruppen,

wobei das Abzugsvolumen der Ionenquelle außerhalb des Separa­ tionsfeldes liegt und die dem Abzugsvolumen nächst gelegene Se­ parationselektrode eine Öffnung enthält, durch die die Teilchen und/oder Ionen von dem Separationsfeld in das Abzugsvolumen gelangen.

12. Flugzeit-Massenspektrometer nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Separationsfeld außerhalb des Beschleunigungs­ feldes liegt.

13. Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Separationselektroden flä­ chige Elektroden sind und die Form eines Plattenkondensators auf­ weisen.

14. Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Beschleunigungselektro­ den (1, 2) gleichzeitig die Blende (3) zur Selektion der gewünschten Ionengruppe enthält.