DE19608428A1 - Analyseverfahren unter Verwendung von porösem Silicium zur Erfassung einer Substanz oder der Konzentration einer Substanz in Lösungen sowie eine Analyseeinrichtung für ein solches Verfahren - Google Patents
Analyseverfahren unter Verwendung von porösem Silicium zur Erfassung einer Substanz oder der Konzentration einer Substanz in Lösungen sowie eine Analyseeinrichtung für ein solches VerfahrenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Analyseverfahren unter Verwendung von
porösem Silicium gemäß Oberbegriff von Anspruch 1 sowie eine
Analyseeinrichtung für ein solches Verfahren gemäß Oberbegriff von Anspruch
8.
Poröses Silicium (PS) ist aufgrund seiner Kompatibilität zur hochentwickelten
Si-Mikroelektronik sowie seiner einfachen, preiswerten Herstellbarkeit ein
vielversprechendes Material für Anwendungen in der Sensorik (Gassensor,
Feuchtesensor, Biosensor), wobei die große innere Oberfläche des Materials
(bis zu einigen 100 m²/cm³) sowie die Mikrostruktur genutzt werden.
Desweiteren eignen sich Schichtsysteme aus PS hervorragend zur preiswerten
Herstellung von optischen Filtern und Spiegeln sowie von Wellenleitern, wobei
sich in den Poren des PS Luft befindet und der Brechungsindex des PS durch
Substratdotierung, Ätzstromdichte und Zusammensetzung der Ätzlösung
während der Herstellung festgelegt wird.
Poröses Silicium (PS) besteht aus einem schwammartigen Gerüst aus Silicium-
Kristalliten, welches von Poren durchzogen ist. Die Größe der Kristallite und
der Poren variiert je nach Dotierung des Siliciums und der
Herstellungsbedingungen zwischen einigen Nanometern und einigen
Mikrometern. Falls die Wellenlänge von Licht sehr viel größer ist als die
Größe der Strukturen im PS, erscheint das PS für das Licht als homogenes
Material ("effektives Medium") und seine Eigenschaften können deshalb durch
die Angabe eines effektiven Brechungsindexes beschrieben werden, welcher
von den Brechungsindizes der Silicium-Kristallite und des Materials in den
Poren abhängt.
Die Strukturierung von PS mit CMOS-kompatiblen Prozeßschritten ist bereits
demonstriert worden. Interferenzfilter aus PS, speziell Bragg-Reflektoren und
Fabry-Perot-Filter, wurden ebenfalls bereits hergestellt und sind aus M. G.
Berger, M. Thönissen, R. Arens-Fischer, H. Münder H. Lüth, M. Arntzen und
W. Theiß Thin Solid Films 255 (1995) 313-316, bekannt. Bragg-Reflektoren
konnten bereits als farbselektive Schicht in eine Silicium-Photodiode integriert
werden. Desweiteren wurde Lichtwellenleitung in Wellenleitern aus PS
demonstriert.
Eine weitere Möglichkeit, den Brechungsindex des PS zu variieren, besteht nun
darin, die Poren des PS statt mit Luft mit einem anderen Material zu füllen, um
Substanzen nachzuweisen oder ihre Konzentration in Lösungen zu bestimmen.
Diese Eigenschaft des PS wurde bisher im Stand der Technik nicht genutzt.
Durch Verwendung von Membranen mit selektiver Permeabilität auf der
Oberfläche des PS kann eine Selektivität auf ausgewählte Substanzen erreicht
werden.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, ein Analyseverfahren und
eine Analyseeinrichtung zu schaffen, mit dem bzw. mit der unter Verwendung
von porösem Silicium der Nachweis einer Substanz bzw. die Bestimmung ihrer
Konzentration durchgeführt werden kann.
Die Aufgabe wird gemäß Anspruch 1 dadurch gelöst, daß eine Substanz bzw.
deren Konzentration in einem Fluid aufgrund der Änderung der optischen
Eigenschaft von porösem Silicium in Abhängigkeit von dem Brechungsindex
der in dem Porenraum des porösen Siliciums vorhandenen Substanz bzw. des
die Substanz enthaltenden Fluids nachgewiesen bzw. bestimmt wird.
Die Aufgabe wird zudem gemäß Anspruch 8 dadurch gelöst, daß ein
Bauelement wenigstens teilweise aus porösem Silicium vorgesehen ist, dessen
optische Eigenschaft von dem Brechungsindex der Substanz bzw. des die
Substanz enthaltenden Fluids abhängig ist, wobei eine Änderung der optischen
Eigenschaft des porösen Siliciums als Nachweis der Substanz bzw. als
Konzentrationsbestimmung derselben im Porenraum des porösen Siliciums
erfaßbar ist.
Für das erfindungsgemäße Analyseverfahren bzw. die erfindungsgemäße
Analyseeinrichtung wird vorgeschlagen die Abhängigkeit des
Brechungsindexes des PS von dem Brechungsindex des Materials in den Poren
dazu zu verwenden, Substanzen nachzuweisen oder ihre Konzentration in
Lösungen zu bestimmen. Hierzu muß die Substanz in vorteilhafter Weise nicht
nur irreversibel in den Poren abgeschieden werden (Anspruch 4), sondern sie
kann zudem auch während des Meßvorganges in einer zeitaufgelösten Messung
(Anspruch 3) ausgetauscht (Anspruch 2) werden.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung, als Interferenzfilter
(Anspruch 9-16), als Wellenleiter (Anspruch 17-19), als Interferometer
(Ansprüche 20-25) sowie mit einer Membran mit selektiver Permeabilität
(Anspruch 26) sind in den in Klammern angegebenen Unteransprüchen
aufgeführt.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im folgenden anhand
der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines farbselektiven Reflektors aus
porösem Silicium, die die spektrale Abhängigkeit des Reflexionsvermögens
vom Brechungsindex des Materials in den Poren wiedergibt;
Fig. 2 ein Diagramm in dem gemessene Reflexionsspektren eines Fabry-Perot-
Filters mit unterschiedlichen Materialien in den Poren des porösen Siliciums
dargestellt ist;
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Photodiode mit Interferenzfilter aus
porösem Silicium als farbselektive Schicht, wobei eine zu untersuchende
Flüssigkeit in den Porenraum des porösen Siliciums eindringt und den
Brechungsindex des porösen Siliciums und somit die optischen Eigenschaften
des Interferenzfilters verändert;
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Wellenleiters aus porösem Silicium
im Querschnitt, wobei die Güte der Anpassung zwischen Kern und Mantel des
Wellenleiters in Abhängigkeit vom Brechungsindex des Materials variiert;
Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Wellenleiter-Interferometers in
Draufsicht, wobei Wellenleiter-Kern und -Mantel aus Gründen der
Vereinfachung nicht getrennt dargestellt sind;
Fig. 6 eine schematische Darstellung eines Wellenleiter-Interferometers in
Draufsicht mit einem Gate zur Einstellung eines Arbeitspunktes, wobei
Wellenleiter-Kern und-Mantel ebenfalls aus Gründen der Vereinfachung nicht
getrennt dargestellt sind.
Bei dem in Fig. 1 schematisch dargestellten Meßaufbau wird ein
Interferenzfilter aus PS beleuchtet und der reflektierte Anteil des Lichtes mit
einem Detektor gemessen. Der Interferenzfilter dient hierbei als
Reflexionsfilter, dessen spektrale Eigenschaften durch die Verwendung von
unterschiedlichen PS-Schichten variiert werden können. Befindet sich der Filter
in einer Flüssigkeit und dringt diese in die Poren des PS ein, so ändert sich das
spektrale Reflexionsvermögen des Filters.
Eine Messung mit solch einem Meßaufbau zeigt Fig. 2. Hierbei sind Lampe und
Detektor in einem Weißlichtinterferometer integriert. Der verwendete
Reflexionsfilter besteht aus einem Schichtsystem der Art [HL]⁵[LH]⁵, d. h.
einem Fabry-Perot-Filter mit 10 Perioden des Schichtpakets HL. Hierbei
bezeichnet H eine Schicht mit hohem Brechungsindex und L eine Schicht mit
niedrigem Brechungsindex. Verwendet wird ein hoch p-dotiertes Si-Substrat
(1 *10¹⁹cm-3) und eine Ätzlösung mit H₂O:HF:C₂H₅OH im Verhältnis 1 : 1:2.
Zur Herstellung der H-Schicht wird für 0.675 s eine Ätzstromdichte von
100 mA/cm² verwendet und für die H-Schicht analog 280 mA/cm- für 0.478 s.
Die Filterfrequenz des Fabry-Perot-Filters wird, wie erwartet, mit
zunehmendem Brechungsindex des Materials in den Poren zu größeren
Wellenlängen hin verschoben (Luft 570 nm, Methanol 621 nm, Ethanol 625 nm,
Glycerin 639 nm).
Bei dieser Messung wird das Reflexionsspektrum des Interferenzfilters über
einen weiten Spektralbereich vermessen, was die Verwendung eines
Spektrometers erfordert. Eine preiswerte Alternative hierzu ist die Verwendung
einer Laserdiode als Lichtquelle und einer Photodiode als Empfänger. In
diesem Fall muß die Filterfrequenz des Interferenzfilters auf die Wellenlänge
des Lasers abgestimmt werden. Da die Laserdiode monochromatisches Licht
emittiert, wird nur die Änderung der Filter-Reflektivität für diese Wellenlänge
gemessen, was zur Charakterisierung des Materials in den Poren ausreicht.
Interferenzfilter aus PS können, statt als Reflexionsfilter wie in Fig. 1, auch als
Transmissionsfilter wie in Fig. 3 verwendet werden. In dieser Ausführungsform
ist der Interferenzfilter bereits in einer Si-Photodiode integriert. Bei Bestrahlung
mit monochromatischem Licht ist der Photostrom IPh ein Maß für das
Transmissionsvermögen des Filters bei dieser Wellenlänge.
Außer zur Herstellung von Interferenzfiltern eignet sich PS auch zur
Herstellung von Wellenleitern, deren Eigenschaften ebenfalls durch den
Brechungsindex des Materials in den Poren beeinflußt werden (Fig. 4). Der
Verlust in der Lichtintensität, d. h. das Verhältnis von ausgekoppelter
Lichtleistung I₁ zu eingekoppelter Leistung 10, hängt bei Wellenleitern unter
anderem von der Anpassung der Brechungsindizes von Kern und Mantel des
Wellenleiters ab. Bei Wellenleitern aus PS ist der Kern des Wellenleiters aus
PS mit größerem Volumenverhältnis VSi-Kristallite/VPoren hergestellt als der Mantel
des Wellenleiters. Deshalb ändert sich der Brechungsindex im Kern des
Wellenleiters weniger als im Mantel des Wellenleiters, falls der
Brechungsindex des Materials in den Poren des PS variiert wird. Auf diese
Weise ändert sich auch die Anpassung der Brechungsindizes von Kern und
Mantel und somit die Verluste in der Lichtintensität, d. h. bei festgehaltener
Eingangsleistung I₀ ist die Ausgangsleistung I₁ ein Maß für den Brechungsindex
des Materials in den Poren des Wellenleiters.
Fig. 5 zeigt ein Interferometer aus Wellenleitern bei dem der in einen
Wellenleiterabschnitt 1 eingekoppelte Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen
aufgespalten die nach Durchlaufen der Wellenleiterabschnitte 2 bzw. 3 wieder
in einem Wellenleiterabschnitt 4 zusammengeführt werden. Hierbei kommt es
zur Interferenz der Teilstrahlen, wobei ihre Phasendifferenz durch die
optischen Weglängen, also dem Produkt aus geometrischer Weglänge und
Brechungsindex, festgelegt ist. Solch eine Struktur kann auf zwei Arten genutzt
werden:
Die Abschnitte 2 und 3 sind beide aus PS hergestellt, besitzen aber
unterschiedliche geometrische Längen. Wird nun der Brechungsindex des
Materials in den Poren variiert ändert sich die optische Weglänge in Abschnitt
2 und 3 um den gleichen Faktor, da sich der Brechungsindex des PS um den
gleichen Faktor ändert. Die Phasendifferenz der Teilstrahlen wird aber nicht
durch den Quotienten, sondern durch die Differenz der optischen Weglängen in
Abschnitt 2 und 3 festgelegt. Durch Variation des Brechungsindexes des
Materials in den Poren ändert sich somit die Phasendifferenz der Teilstrahlen
und auf diese Weise die Intensität I₁ des Lichtes, welches durch Interferenz der
beiden Teilstrahlen entsteht.
Entweder Abschnitt 2 oder Abschnitt 3 ist aus PS hergestellt, der andere
Abschnitt aus einem anderen Material (beispielsweise SiGe/Si oder Si/Isolator).
Die Länge der Abschnitte braucht nicht unterschiedlich zu sein. Wird nun der
Brechungsindex des Materials in den Poren geändert, so ändert sich nur die
optische Weglänge des PS-Wellenleiterabschnittes, wohingegen die optische
Weglänge des anderen Abschnittes konstant bleibt. Auf diese Weise wird die
Empfindlichkeit des Bauelementes gegenüber dem Fall a) erhöht. Für einen
1 mm langen Wellenleiterabschnitt aus PS ergibt sich beispielsweise schon bei
einer Änderung des Brechungsindexes des PS um 0.001 eine Änderung der
optischen Weglänge um 1 µm was bei Verwendung von Licht mit einer
Wellenlänge von 1 µm einer vollen Periode im Interferenzsignal entspricht.
Ein Problem beim Betrieb der Bauelemente aus Ausführungsform 4 besteht
darin daß die Intensität des Interferenzsignals für ein gegebenes
Porenmaterial durch die Geometrie des Bauelementes festgelegt ist. In vielen
Fällen ist es jedoch erforderlich, den Arbeitspunkt des Bauelementes während
des Betriebes zu variieren. Dies kann beispielsweise bedeuten, daß für ein
bestimmtes Porenmaterial die ausgekoppelte Lichtintensität maximal sein soll,d. h. das konstruktive Interferenz der Teilstrahlen vorliegen soll. Dies ist
möglich, indem bei dem Bauelement der Ausführungsform 4b) über dem
Wellenleiterabschnitt ohne PS ein Gate angebracht wird. Diese Geometrie ist in
Fig. 6 dargestellt. Durch die Spannung an dem Gate kann der Brechungsindex
des darunterliegenden Wellenleiters variiert und somit die Phasendifferenz der
Teilstrahlen eingestellt werden. Ein solches Bauelement, allerdings ohne
variablen PS-Wellenleiterabschnitt, wird als Mach-Zender-Interferometer
bezeichnet.
Wird auf die Oberfläche des PS eine Membran mit selektiver Permeabilität
aufgebracht so können nur solche Substanzen in die Poren des PS gelangen,
für die die Membran durchlässig ist. Somit können auch nur diese Substanzen
zu einer Änderung des Brechungsindexes des PS führen. Auf diese Weise
können, durch Wahl einer geeigneten Membran, die Bauelemente aus den
Ausführungsformen 1 bis 5 eine Selektivität auf individuelle Substanzen
erhalten.
Zusammenfassend sei der Erfindungsgedanke wie folgt beschrieben:
- 1) Verfahren bei denen das Vorhandensein von Substanzen festgestellt oder ihre Konzentration in Lösungsmitteln bestimmt wird durch die von ihnen hervorgerufenen Brechungsindexänderung von PS.
- 2) Bauelemente bei dem die optischen Eigenschaften eines Interferenzfilters aus PS durch den Brechungsindex der zu detektierenden Substanz bestimmt werden.
- 3) Bauelement nach Unterpunkt 2), welches die Komponenten Lichtquelle. Interferenzfilter und Lichtdetektor beinhaltet. Das Bauelement kann aus separaten Komponenten bestehen, oder mehrere bzw. alle Komponenten können auf einem Chip integriert sein.
- 4) Bauelement, welches Wellenleiter aus PS beinhaltet und in dem die Transmission des Lichtes durch den Wellenleiter variiert wird durch den Brechungsindex des Materials, welches sich in den Poren des PS befindet. Die Wellenleiter müssen hierbei nicht vollständig aus PS bestehen.
- 5) Bauelement nach Unterpunkt 4), bei welchem die Transmission durch einen oder mehrere Wellenleiter aus PS dadurch variiert wird daß aufgrund der Brechungsindexänderung des PS der Brechungsindexunterschied zwischen Wellenleiterkern und -mantel variiert und hierdurch ein Teil des im Wellenleiter geführten Lichtes ausgekoppelt wird.
- 6) Bauelement nach Unterpunkt 4) bei dem das im Wellenleiter geführte Licht in mehrere Teilstrahlen aufgespalten und anschließend wieder zusammengeführt wird, so daß die Teilstrahlen miteinander interferieren. Einer oder mehrere der Teilstrahlen werden hierbei in Wellenleiterabschnitten aus PS geführt, so daß die optische Weglänge dieser Teilstrahlen variiert werden kann über den Brechungsindex des Stoffes in den Poren des PS. Hierdurch ändert sich die Phasendifferenz der Teilstrahlen und somit die Intensität des Lichtstrahls, welcher durch Interferenz dieser Teilstrahlen entsteht.
- 7) Bauelement nach Unterpunkt 6), bei dem auf einem oder auf mehreren Wellenleiterabschnitten Schottky-Gates angebracht werden. Durch die elektrische Spannung an diesen Gates kann der Brechungsindex unterhalb des Gates gesteuert werden und somit der Arbeitspunkt des Bauelementes eingestellt werden.
- 8) Bauelement nach Unterpunkt 2) bis 6) bei dem durch Verwendung einer semipermeablen Membran auf der Oberfläche des PS nur ausgewählte Substanzen in die Poren gelangen können, wodurch das Bauelement selektiv auf die gewünschte Substanz wird.
Claims (27)
1. Analyseverfahren unter Verwendung von porösem Silicium,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Substanz bzw. deren Konzentration in einem Fluid aufgrund der
Änderung der optischen Eigenschaft von porösem Silicium in Abhängigkeit von
dem Brechungsindex der in dem Porenraum des porösen Siliciums vorhandenen
Substanz bzw. des die Substanz enthaltenden Fluids nachgewiesen bzw.
bestimmt wird.
2. Analyseverfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Fluid im Porenraum während eines Analysevorganges ausgetauscht
wird.
3. Analyseverfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Analysevorgang zeitaufgelöst durchgeführt wird.
4. Analyseverfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Substanz vor dem Analysevorgang im Porenraum abgeschieden wird.
5. Analyseverfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das poröse Silicium vor einem Analysevorgang bezüglich seiner optischen
Eigenschaft in Abhängigkeit von seinen Nachweis- bzw. Bestimmungsbereichen
voreingestellt wird.
6. Analyseverfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß vor einem Analysevorgang auf der Oberfläche von porösem Silicium eine
Membran mit selektiver Permeabilität aufgebracht wird, um eine Selektivität
auf ausgewählte Substanzen zu erreichen.
7. Analyseverfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß als optische Eigenschaft des porösen Siliciums der Brechungsindex des
porösen Siliciums ausgewählt wird.
8. Analyseeinrichtung zum Nachweisen einer Substanz bzw. zum Bestimmen
der Konzentration einer Substanz in einem Fluid unter Verwendung von
porösem Silicium,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Bauelement wenigstens teilweise aus porösem Silicium vorgesehen ist,
dessen optische Eigenschaft von dem Brechungsindex der Substanz bzw. des
die Substanz enthaltenden Fluids abhängig ist, wobei eine Änderung der
optischen Eigenschaft des porösen Siliciums als Nachweis der Substanz bzw.
als Konzentrationsbestimmung derselben im Porenraum des porösen Siliciums
erfaßbar ist.
9. Analyseeinrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Bauelement ein Interferenzfilter ist den eine Lichtquelle beleuchtet und
das mit einem Lichtdetektor gekoppelt ist, um eine Änderung der optischen
Eigenschaft des Interferenzfilters zu erfassen.
10. Analyseeinrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die spektrale Eigenschaft des Interferenzfilters in Abhängigkeit von der
Ausbildung des porösen Siliciums variierbar ist.
11. Analyseeinrichtung nach Anspruch 9 oder 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle ein Laserdiode ist und der Detektor eine Photodiode ist.
12. Analyseeinrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Filterfrequenz des Interferenzfilters auf die Wellenlänge des Lasers
abgestimmt ist.
13. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 9-12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Interferenzfilter als Reflexionsfilter ausgebildet ist.
14. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 9-12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Interferenzfilter als Transmissionsfilter ausgebildet ist.
15. Analyseeinrichtung nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Transmissionsfilter in einer Photodiode integriert ist.
16. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Bauelement auf einem Mikrochip integriert ist.
17. Analyseeinrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Bauelement ein Wellenleiter ist, der wenigstens teilweise aus porösem
Silicium besteht.
18. Analyseeinrichtung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Kern des Wellenleiters ein größeres Volumenverhältnis aufweist als ein
Mantel des Wellenleiters.
19. Analyseeinrichtung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Verhältnis von eingekoppelter Lichtleistung 11 zu ausgekoppelter
Lichtleistung 10 ein Maß für den Brechungsindex der Substanz bzw. des die
Substanz enthaltenden Fluids ist.
20. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 17-19,
dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens zwei Wellenleiter ein Interferometer bilden, in welchem
wenigstens zwei Teilstrahlen eines eingekoppelten Lichtstrahls jeweils einen
Wellenleiterabschnitt 2, 3 durchlaufen und beim Zusammenführen eine
Interferenz erzeugen, wobei die Phasendifferenz durch die jeweiligen optischen
Weglängen festgelegt ist.
21. Analyseeinrichtung nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Wellenleiterabschnitte 2, 3 aus porösem Silicium bestehen und
unterschiedliche geometrische Weglängen aufweisen.
22. Analyseeinrichtung nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß einer der Wellenleiterabschnitte 2, 3 aus porösem Silicium besteht und der
andere Wellenleiterabschnitt 2 oder 3 aus einem anderen Material besteht.
23. Analyseeinrichtung nach Anspruch 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß das andere Material des anderen Wellenleiterabschnittes 2 oder 3 entweder
SiGe/Si oder Si/Isolator ist.
24. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 20-23,
dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens auf einem Wellenleiterabschnitt 2, 3 ein Schottky-Gate
angebracht ist, um einen Arbeitspunkt während des Betriebes zu variieren.
25. Analyseeinrichtung nach Anspruch 17-24.
dadurch gekennzeichnet,
daß die optische Eigenschaft eines Wellenleiters oder Wellenleiterabschnittes
aus porösem Silicium in Abhängigkeit von der Ausbildung des porösem
Siliciums variierbar ist.
26. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 8-25.
dadurch gekennzeichnet,
daß auf der Oberfläche des porösen Siliciums eine Membran mit selektiver
Permeabilität aufgebracht ist.
27. Analyseeinrichtung nach einem der Ansprüche 8-25,
dadurch gekennzeichnet,
daß als die optische Eigenschaft des porösen Siliciums der Brechungsindex des
porösen Siliciums ausgewählt ist.
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