DE19606128A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objek­ tes nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1, 11 oder 12.

Beim Herstellen eines dreidimensionalen Objektes mittels Rapid Prototyping wird eine verfestigbare Substanz schichtweise auf einen Träger bzw. eine vorhergehende Schicht aufgetragen und in jeder Schicht mittels Strahlung, beispielsweise in Form eines gebündelten Lichtstrahls an den dem Querschnitt des Ob­ jekts entsprechenden Stellen der Schicht verfestigt. Ist das verwendete Material pulverförmig und wird mittels Laserstrah­ len verfestigt, dann wird das Verfahren Lasersintern genannt. Ein solches Verfahren ist beispielsweise aus der US 4,863,538 bekannt. Wird flüssiges photoaushärtbares Material verwendet, dann wird das Verfahren Stereolithographie genannt. Ein sol­ ches Verfahren ist beispielsweise aus der US 5,014,207 be­ kannt.

Der Anmelderin ist es bekannt, beim Lasersinterverfahren den Laserstrahl über die zu verfestigende Schicht in einem Linien­ muster, beispielsweise in Mäanderform zu führen, wie es in Fig. 1 gezeigt ist.

Fig. 1 stellt eine Draufsicht auf eine zu verfestigende Schicht 1 eines zu bildenden dreidimensionalen Objektes in einem Koordinatensystem mit x- und y-Richtung dar. Bei dem Verfahren wird ein von der Geometrie der Schicht abhängendes Linienmuster 2 ermittelt. Das Linienmuster 2 weist parallel in einem Abstand d zueinander verlaufende Linien auf. Zum Verfe­ stigen der Schicht 1 wird der Laserstrahl in der durch den Pfeil gekennzeichneten Richtung auf der Oberfläche der zu ver­ festigenden Schicht 1 entlang des Linienmusters 2 mit konstan­ ter Geschwindigkeit v geführt. Aufgrund der Unregelmäßigkeit des Objektquerschnitts in dieser Schicht haben die Linien un­ terschiedliche Länge L.

Fig. 2 zeigt den Verlauf der Dichte der verfestigten Schicht in Abhängigkeit von der Geometrie der Schicht, d. h. indirekt in Abhängigkeit von der Länge der Linien, entlang derer der Laserstrahl geführt wurde. Es zeigt sich, daß mit zunehmender Länge der Linien die Dichte der verfestigten Schicht abnimmt. Insgesamt führt also dieses Verfahren zu einer inhomogenen Dichteverteilung in der verfestigten Schicht, wenn das Linien­ muster, entlang dessen der Strahl zum Verfestigen der Schicht geführt wird, Linien unterschiedlicher Länge aufweist und der Strahl die Schicht mit konstanter Geschwindigkeit über­ streicht.

Für das Zustandekommen der in Fig. 2 gezeigten inhomogenen Dichteverteilung in Abhängigkeit von der Länge der Linien des Linienmusters 2 ergibt sich die folgende Erklärung: Im allge­ meinen ist der Abstand d der Linien des Linienmusters zwei- bis vierfach kleiner als der Durchmesser des Laserstrahlquer­ schnittes auf der Oberfläche der zu verfestigenden Schicht 1. Daher kann ein Abschnitt auf einer Linie bis zu fünfmal be­ strahlt werden, wenn der Querschnitt des Strahles entlang be­ nachbarter Linien geführt wird. Bei einer geringen Linienlänge erfolgt demzufolge die Bestrahlung eines Abschnittes dieser Linie in schneller zeitlicher Folge. Hierdurch kann ein sol­ cher Abschnitt nahezu kontinuierlich auf einer Temperatur ge­ halten werden, die größer oder gleich der Sintertemperatur ist. Wärmeleitungsverluste werden durch die schnelle zeitliche Abfolge der Bestrahlung ausgeglichen. Damit ist der Eintrag der direkt zum Sintern bei tragenden Energie in einem solchen Abschnitt hoch, das zu sinternde Material weist einen hohen Flüssigphasenanteil auf. In einem solchen Abschnitt entsteht bei der Verfestigung eine hohe Dichte.

Wird der Strahl dagegen entlang einer langen Linie geführt, so kühlt ein Abschnitt entlang dieser Linie aufgrund von Wärme­ leitungsverlusten, nachdem der Strahlquerschnitt diesen Ab­ schnitt überstrichen hat, wieder auf seine ursprüngliche Tem­ peratur ab. Beim erneuten Überstreichen dieses Abschnittes muß dieser wieder auf die Sintertemperatur erwärmt werden. Damit können in einem solchen Abschnitt Wärmeleitungs- und Wiederer­ wärmungsverluste nicht ausgeglichen werden und es entsteht eine Verfestigung mit einer Dichte, die geringer als die Dichte der Substanz in dem Abschnitt mit der kleineren Linien­ länge ist.

Eine derartige inhomogene Dichteverteilung innerhalb der ver­ festigten Schicht und damit innerhalb eines zu bildenden drei­ dimensionalen Objektes führt während der Belichtung zu mecha­ nischen Eigenspannungen, die zu einem Verzug und damit einem Verlust der Herstellungsgenauigkeit des zu bildenden dreidi­ mensionalen Objektes führen.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Ver­ fahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensio­ nalen Objektes mittels Rapid Prototyping anzugeben, bei denen eine homogene Dichteverteilung in einem zu bildenden dreidi­ mensionalen Objekt auch dann gewährleistet ist, wenn das Ob­ jekt aus Schichten mit beliebigen Querschnittsgeometrien ge­ bildet wird, und bei der Belichtung Linienmuster verwendet werden, die Linien unterschiedlicher Länge aufweisen.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 oder 12 und eine Vorrichtung nach Anspruch 11 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren kann auf sehr einfache Weise erreicht werden, daß ein dreidimensionales Objekt bei beliebiger Gestaltung eine homogene Dichteverteilung aufweist.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens nimmt die Geschwindigkeit v, mit der der Strahl über die Linien des Li­ nienmusters 2 geführt wird, mit zunehmender Linienlänge ab. Hierdurch wird gewährleistet, daß Verluste, die sich aus dem Abfluß der Wärme und der damit notwendigen Wiederaufheizung ergeben, ausgeglichen werden und somit die Ausbildung einer homogenen Dichteverteilung gewährleistet werden kann.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen an­ hand der Figuren.

Die Figuren zeigen

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine zu verfe­ stigende Schicht und das bei der Belichtung verwendete Linienmuster,

Fig. 2 ein Schaubild zur Erläuterung des Zusammenhangs zwischen der Schichtgeometrie und der Dichte­ verteilung,

Fig. 3 eine schematischen Ansicht des Aufbaus einer Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensio­ nalen Objektes mittels eines Lasersinterverfah­ rens, und

Fig. 4a-4c Schaubilder zur Erläuterung der Abhängigkeit der Linienlänge L, der Strahlgeschwindigkeit v und der Dichteverteilung jeweils von der Schichtgeometrie x.

Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, weist die Vorrichtung einen Behälter 3 auf, der nur durch eine in Umfangsrichtung ge­ schlossene Seitenwand 4 gebildet wird. Durch den oberen Rand 5 der Seitenwand 4 bzw. des Behälters 3 ist eine Arbeitsebene 50 definiert. In dem Behälter 3 ist ein Träger 6 zum Tragen eines zu bildenden Objektes 7 angeordnet. Das Objekt 7 befindet sich auf der Oberseite des Trägers 6 und ist aus einer Mehrzahl von sich parallel zu der Oberseite des Trägers 6 erstreckenden Schichten gebildet. Diese Schichten sind aus einem mittels elektromagnetischer Strahlung verfestigbaren pulverförmigen Aufbaumaterials 8 in der später beschriebenen Weise gebildet. Der Träger 6 ist über eine Höheneinstellvorrichtung 9 in ver­ tikaler Richtung, d. h. parallel zu der Seitenwand 4 des Behäl­ ters 3 verschiebbar. Damit kann die Position des Trägers 6 re­ lativ zur Arbeitsebene 50 eingestellt werden.

Seitlich an dem Behälter 3 ist ein an seiner Oberseite offener Vorratsbehälter 10 für das Aufbaumaterial 8 vorgesehen. Der Vorratsbehälter 10 ist mit dem pulverförmigen Aufbaumaterial 8 stets bis etwas über den an den Behälter 3 angrenzenden oberen Rand 5 gefüllt. Um dies zu gewährleisten, ist ein in Fig. 3 nicht dargestellter Stempel bzw. ein verschiebbarer Boden, ähnlich dem Träger 6 vorgesehen, der in dem Vorratsbehälter 10 in vertikaler Richtung verschiebbar ist.

Als pulverförmiges Aufbaumaterial 8 wird insbesondere Metall­ pulver, Keramikpulver oder Kunststoffpulver verwendet. Auch kunststoffummanteltes Metall- bzw. Keramikpulver oder Formsand bestehend aus Quarzsand mit einem Überzug aus Kunstharz kann verwendet werden.

Oberhalb des Behälters 3 bzw. der Arbeitsebene 50 ist ein Be­ schichter 11 angeordnet, dessen Unterkante in der Arbeitsebene 50 liegt. Dieser Beschichter 12 dient zum Aufbringen des Auf­ baumaterials 8 auf die Oberseite des Trägers 6 bzw. eine zuvor gebildete Schicht des zu bildenden Objektes 7. Der Beschichter 11 ist von einer ersten Position über dem Vorratsbehälter 10 quer über den Behälter 3 bis zu einer dem Vorratsbehälter ge­ genüber liegenden zweiten Position parallel zu dem oberen Rand 5 des Behälters 3 und wieder zurück mittels einer Verschiebe­ vorrichtung 12 verschiebbar.

Oberhalb des Behälters 3 bzw. der Arbeitsebene 50 ist eine in Fig. 3 nur schematisch dargestellte Heizeinrichtung 13 vorge­ sehen. Die Heizeinrichtung 13 dient zum Aufheizen der mit dem Beschichter 11 aufgetragenen Pulverschicht auf eine für die Sinterung mittels des Laserstrahls erforderliche Vortempera­ tur.

Ferner ist oberhalb des Behälters 3 bzw. der Arbeitsebene 50 eine Vorrichtung 14 zum Verfestigen der an die Arbeitsebene 50 angrenzenden jeweils oberste Schicht 1 des Objektes 7 vorgese­ hen. Die Vorrichtung 14 weist eine Strahlungsquelle in Form eines Lasers auf, der einen gebündelten Lichtstrahl 15 er­ zeugt. Etwa mittig oberhalb des Behälters 3 ist ein Umlenk­ spiegel 16 angeordnet, der kardanisch aufgehängt ist und von einer schematisch angedeuteten Schwenkvorrichtung 17 so ge­ schwenkt werden kann, daß der auf den Spiegel 16 gerichtete Lichtstrahl 15 als reflektierter Lichtstrahl 18 im wesentli­ chen an jeder Stelle der Arbeitsebene 50 positioniert werden kann.

Die Höheneinstellvorrichtung 9, die Verschiebevorrichtung 12 und die Schwenkvorrichtung 17 sind mit einer gemeinsamen Steu­ ervorrichtung 19 zur zentralen und koordinierten Steuerung dieser Vorrichtungen verbunden. Die Steuervorrichtung 19 ist mit einem Computer 60 verbunden. Die Steuerung 19 ist so aus­ gebildet, daß sie die Schwenkvorrichtung 17 für den Umlenk­ spiegel 16 entsprechend einem vorgegebenen Linienmuster 2 zur Ablenkung des Laserstrahls mit vorgegebenen Geschwindigkeiten v steuern kann.

Bei der Herstellung eines dreidimensionalen Objektes werden zunächst in dem mit der Steuerung 19 gekoppelten Computer mit einem Konstruktionsprogramm Daten über die Form des Objektes 7 erstellt. Diese Daten werden für die Herstellung des Objektes 7 so aufbereitet, daß das Objekt in eine Vielzahl von horizon­ talen, im Vergleich zu der Objektdimension dünnen Schichten mit einer Dicke von beispielsweise 0,1-1,0 mm zerlegt wird und die Formdaten für diese Schicht bereitgestellt werden.

Dann werden für jede Schicht die folgenden Schritte durchge­ führt.

Der Träger 6 wird mittels der Höheneinstellvorrichtung 9 so in dem Behälter 3 positioniert, daß bei der ersten Schicht seine Oberseite bzw. beim Vorhandensein bereits verfestigter Schich­ ten die Oberseite der zuletzt verfestigten Schicht um eine ge­ wünschte Schichtdicke h unterhalb des Randes 5 des Behälters 3 liegt. Dann wird eine Schicht des Materials 8 mit dem Be­ schichter 11 von dem Vorratsbehälter 10 auf der Oberseite des Trägers 6 bzw. auf einer vorgebildeten Schicht aufgebracht. Dieses neu aufgebrachte Pulver ist kaltes Pulver aus dem Vor­ ratsbehälter 10 und wird über die Heizeinrichtung 13 auf eine vorbestimmte Vorsintertemperatur gebracht. Wenn die gesamte neu aufgetragene Pulverschicht die zum Sintern erforderliche Temperatur erreicht hat, wird die Schwenkvorrichtung 17 ent­ sprechend den Formdaten für die Schicht derart gesteuert, daß der abgelenkte Lichtstrahl 18 an den auf dem Querschnitt des Objektes 6 entsprechenden Stellen der Schicht auftrifft und dort das Aufbaumaterial 7 verfestigt bzw. sintert. Hierauf wird im folgenden genauer eingegangen.

Bei der Aufbereitung der Daten der Geometrie der jeweils her­ zustellenden dünnen Schichten des zu bildenden dreidimensiona­ len Objektes 7 wird durch die Steuereinrichtung 19 ein Muster 2 aus Linien bestimmt, entlang derer der Auftreffpunkt des La­ serstrahls 18 auf der Oberfläche der zu verfestigenden Schicht 1 in der Arbeitsebene 50 geführt werden soll. Das Linienmuster 2 besteht aus zueinander parallelen Linien mit einem Abstand d, die an ihren Enden so miteinander verbunden sind, daß sich ein mäanderförmiges Muster ergibt. Die Linien werden als Füllinien bezeichnet. Das Linienmuster 2 füllt die zu verfe­ stigende Fläche der Schicht aus. In der Steuereinrichtung 19 oder dem damit gekoppelten Computer 50 werden die verschie­ denen Längen L der Linien des Linienmusters 2 ermittelt, ent­ lang derer der Laserstrahl 18 geführt werden soll. Die Analyse der Linienlänge in Abhängigkeit von der Schichtgeometrie in x- Richtung ist in Fig. 4a gezeigt.

Anschließend wird für jede Linie des Linienmusters 2 eine Ge­ schwindigkeit v bestimmt, mit der der Laserstrahl 18 in der Arbeitsebene 50 über die zu verfestigende Schicht 1 entlang der entsprechenden Linie geführt werden soll. Die Zuordnung der Strahlgeschwindigkeiten v zu den Linienlängen L erfolgt dabei derart, daß in der gesamten zu verfestigenden Schicht 1 eine homogene Dichteverteilung erzeugt wird.

Die genaue Bestimmung der zum Erreichen einer homogenen Dichte erforderlichen Geschwindigkeit v in Abhängigkeit von der Linienlänge L erfolgt über eine Wertetabelle, die experimen­ tell bestimmt wird. Die experimentelle Bestimmung der Zuord­ nung der Geschwindigkeit v zur Linienlänge L erfolgt über das Erzeugen einer Mehrzahl von quaderförmigen Testkörpern mittels des Lasersinterverfahrens, welche dieselbe Breite und Höhe, jedoch unterschiedliche Länge aufweisen. Die Geschwindigkeit des Laserstrahles bei der Belichtung eines jeden Testkörpers wird so gewählt, daß die Testkörper alle die gleiche ge­ wünschte Dichte haben. Damit ist eine Zuordnung zwischen der Länge eines Testkörpers und der erforderlichen Geschwindigkeit gegeben. Zwischen den Punkten der Wertetabelle wird dann in­ terpoliert.

Die zum Erreichen einer homogenen Dichte erforderliche Strahl­ geschwindigkeitsverteilung für das in Fig. 1 dargestellte Linienmuster 2 ist in Fig. 4b dargestellt. Fig. 4c zeigt die hieraus resultierende homogene Dichteverteilung.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren wird einer kurzen Linie eine höhere Geschwindigkeit zugeordnet als einer langen Linie.

Durch die näherungsweise zur Linienlänge L umgekehrt propor­ tionale Strahlgeschwindigkeit v ist gewährleistet, daß an je­ dem Ort des zu verfestigenden Schichtbereiches der zum Errei­ chen einer homogenen Dichteverteilung geeignete Energieeintrag durch den Laserstrahl gegeben ist.

Im folgenden wird nun ein alternatives Verfahren zum Erreichen einer homogenen Dichteverteilung beschrieben. Es wird wieder auf das bei der Aufbereitung der Daten über die Form der zu verfestigenden Schicht 1 verwendete Linienmuster 2, wie es in Fig. 1 dargestellt ist, Bezug genommen. Die Schicht 1 wird da­ bei in zwei aufeinanderfolgenden Schritten mit jeweils kon­ stanter Geschwindigkeit v des Laserstrahles belichtet. In einem ersten Schritt wird eine Belichtung nach dem Linienmu­ ster 2 mit einem Linienabstand d₁, der größer als der Quer­ schnittsdurchmesser des Laserstrahles ist, durchgeführt. In einem zweiten Schritt wird dieselbe Schicht nochmals einem zweiten Linienmuster 2′ mit dem selben Linienabstand d₁ be­ lichtet, wobei aber das zweite Muster 2′ um d₁/2 gegenüber dem ersten Linienmuster 2 versetzt ist.

Alternativ kann die Schicht auch in insgesamt N Schritten be­ lichtet werden, wobei das n-te Linienmuster n=2, . . . N des n-ten Schrittes gegenüber dem vorhergehenden Linienmuster jeweils um den Abstand d₁/N versetzt ist.

Durch dieses Verfahren werden Abschnitte auf angrenzenden Linien selbst dann nicht in schneller zeitlicher Folge über­ strichen, wenn die Linien in diesem Bereich kurze Längen auf­ weisen, da nebeneinanderliegende Linien, die einen Abstand voneinander aufweisen, der geringer ist als der Querschnitts­ durchmesser des Laserstrahles, erst im nächsten Schritt be­ lichtet werden. Damit ist der Wärmeleitungsverlust für alle Bereiche der zu verfestigenden Schicht 1 konstant.

Die Erfindung ist nicht auf das in Fig. 1 dargestellte mäan­ derförmige Linienmuster 2 der Belichtung beschränkt. Es kann auch beispielsweise zuerst eine Konturbelichtung der zur ver­ festigenden Schicht durchgeführt werden und anschließend die Kontur mit parallelen Schraffurlinien ausgefüllt werden.

Ferner ist die Erfindung nicht auf das Lasersintern be­ schränkt, sondern kann auch in der Stereolithographie einge­ setzt werden.

Der besondere Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß gewährleistet wird, daß in jedem Abschnitt der zu verfestigenden Schicht die gleichen Anteile der Flüssigphase in dem zu sinternden Material erzeugt werden.

Claims (12)

1. Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes (7), bei dem das Objekt (7) durch aufeinander folgendes Verfe­ stigen einzelner Schichten (1) eines verfestigbaren Materials (8) an den dem Objektquerschnitt entsprechenden Stellen durch Einwirkung eines Strahls (18) elektromagnetischer Strahlung erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl (18) bei der Bestrahlung einer Schicht in einer Mehrzahl von nebeneinanderliegenden Strecken über die Schicht (1) geführt wird, wobei die Geschwindigkeit (v) mit der der Strahl über eine Strecke geführt wird, von der Länge (L) der jeweiligen Strecke abhängt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit (v) des Strahles mit zunehmender Länge (L) der Strecke abnimmt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strecken zueinander parallele und einen Abstand (d) voneinander aufweisende Linien sind.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils zwei Linien miteinander an ihren Endpunkten verbunden sind, so daß sich ein mäanderförmiges Linienmuster (2) ergibt.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Geschwindigkeit (v) für jede Strecke so gewählt wird, daß die Schicht nach der Verfestigung eine homo­ gene Dichte aufweist.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit (v) für jede Länge einer Strecke experi­ mentell ermittelt wird, indem eine Mehrzahl von quaderförmigen Testkörpern mit gleicher Höhe und Breite, aber unterschiedli­ cher Länge unter Verwendung jeweils unterschiedlicher Ge­ schwindigkeiten derart verfestigt werden, daß sie eine gleiche Dichte aufweisen.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß für eine gewünschte Dichte des herzustellenden Objektes (7) eine Wertetabelle zwischen der Länge (L) und der Geschwindig­ keit (v) aufgestellt wird und zwischen den gemessenen Werten interpoliert wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als verfestigbares Material ein pulverförmi­ ges Material in Form von Metall-, Keramik oder Kunststoffpul­ ver oder Formsand bestehend aus Quarzsand mit einem Kunstharz­ überzug verwendet wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als Material ein lichtaushärtendes Fluid verwendet wird.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß als Strahl (18) ein Laserstrahl verwendet wird.

11. Vorrichtung zum Durchführen eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, mit:
einem Träger (6) zum Tragen des zu bildenden Objektes (7), einer Auftragevorrichtung (11) zum Auftragen von Schichten des zu verfestigbaren Materials (8) auf dem Träger (6) oder einer zuvor verfestigten Schicht,
einer Strahlerzeugereinrichtung (14) zum Erzeugen eines Strahls elektromagnetischer Strahlung,
einer Ablenkeinrichtung (16) zum Ablenken des Strahls (15, 18) elektromagnetischer Strahlung auf die Oberfläche (50) der zu verfestigenden Schicht (1), und
einer Steuereinrichtung (19, 60) zum Steuern der Geschwindig­ keit (v) des Strahles (18) in Abhängigkeit von der Länge (L) der jeweils zu überstreichenden Strecke.

12. Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes (7), bei dem das Objekt (7) durch aufeinander folgendes Verfe­ stigen einzelner Schichten (1) eines verfestigbaren Materials (8) an den dem Objektquerschnitt entsprechenden Stellen durch Einwirkung eines Strahls (18) elektromagnetischer Strahlung erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht (1) in mindestens zwei Schritten mit konstanter Geschwindigkeit (v) des Strahles (18) bestrahlt wird, wobei der Strahl im ersten Schritt in einem Muster (2) aus zueinan­ der parallelen Linien, die einen Abstand voneinander aufwei­ sen, der größer ist als der Querschnittsdurchmesser des Strah­ les (18) auf der Schicht, über den zu verfestigenden Bereich geführt wird und in einem zweiten Schritt der Strahl in einem zweiten, dem ersten Muster (2) parallel-versetzten Muster (2′) über die Schicht geführt wird.