DE19600514A1

DE19600514A1 - Teilchenstrahl - Zeichendatenerzeugungsvorrichtung und Teilchenstrahl - Zeichensystem

Info

Publication number: DE19600514A1
Application number: DE19600514A
Authority: DE
Inventors: Kinya Kamiyama; Koichi Moriizumi; Makoto Kanno; Hironobu Taoka
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-06-02
Filing date: 1996-01-09
Publication date: 1996-12-19
Also published as: JPH08330203A; US5796408A; GB2301759B; GB9600335D0; GB2301759A

Description

Die Erfindung betrifft eine Teilchenstrahl-Zeichendaten erzeugungsvorrichtung und ein Teilchenstrahl-Zeichensystem, wobei die Erzeugung von mikrografischen Zeichen bzw. Mikro grafiken, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Präzision bewirken, deutlich verringert ist.

Elektronenstrahlzeichnen wird wegen seiner hochfeinen Bear beitungscharakteristiken und seiner guten Steuerbarkeit weitgehend zur Herstellung von Masken angewandt, die bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen, insbesondere von hochintegrierten Schaltkreisen (LSI-Schaltkreisen) einge setzt werden.

Das Zeichensystem beim Elektronenstrahlzeichnen kann in zwei Typen unterteilt werden, und zwar das Rasterscan- und das Vektorscan-Verfahren. Das Rasterscan-Verfahren wird wegen der Einfachheit des Apparateaufbaus und der einfachen Er zeugung von Zeichendaten vielfach für die Herstellung von Masken verwendet. Ein Problem beim Rasterscan-Verfahren ist, daß die Zeichengeschwindigkeit weitgehend von der Größe der Schreibzeichen und der kleinsten Rastergröße (entsprechend der Adreßeinheitsgröße) zum Bezeichnen der Zeichenposition abhängig ist. Wenn dieses Rasterscan-Verfahren in der Praxis zur Erzeugung von Masken angewandt wird, die feine Adreß einheiten verlangen (entsprechend der kleinsten Einheit, die eine Zeichengrafik ausdrücken kann), wie etwa ein dynami scher 64-Mbit-RAM usw., gibt es Fälle, in denen das Schrei ben von Zeichen mit dem Rasterscan-Verfahren wegen der extrem langen Schreibdauer nicht möglich ist.

In den letzten Jahren hat daher ein variables Strahlform verfahren, das ein System vom Vektorscan-Typ ist, die Auf merksamkeit auf sich gezogen. Dieses Zeichen- bzw. Schreib system mit variabler Strahlformung besteht darin, daß ein Elektronenstrahl entsprechend der Größe der Zeichengrafik geformt und die Strahlen nur auf den erforderlichen Bereich gerichtet werden. Aus diesem Grund ist es mit diesem Zei chensystem möglich, eine hohe Zeichengeschwindigkeit zu erreichen und gleichzeitig die Adreßeinheitsgröße mit einer kleineren Größe vorzugeben. Von dem variablen Strahlformver fahren wird daher angenommen, daß es die Grundlage für das direkte Zeichnen mit Elektronenstrahl zur Herstellung von Masken für Bauelemente nach dem 64M-DRAM und der Entwicklung von Bauelementen nach einem 1G-DRAM bilden wird.

Das variable Strahlformverfahren bietet zwar die vorstehend angegebenen Vorteile, es besteht dabei aber auch das Problem bei der Erzeugung von Zeichendaten, daß eine längere Verar beitungszeit benötigt wird, und zwar wegen der Komplexität der Verarbeitung gegenüber dem Rasterscan-Verfahren.

Nachstehend wird der Vorgang der Erzeugung von Schreib- bzw. Zeichendaten und der Schreibvorgang bei dem Zeichensystem mit variabler Strahlformung beschrieben.

Fig. 26 zeigt einen Teil von Entwurfsstrukturdaten (entspre chend Entwurfslayoutdaten) eines LSI-Schaltkreises, der normalerweise als ein Polygon ausgebildet ist (dabei sind Koordinatendaten an jedem Scheitelpunkt angeordnet). Wie oben erläutert wurde, ist es zum Zeichnen dieser Entwurfs strukturdaten mit dem Zeichensystem mit variabler Elektro nenstrahlformung zuerst einmal notwendig, die Entwurfs struktur in Grundgrafiken wie Rechtecke, Quadrate, Dreiecke, Trapeze usw. (nachstehend einfach als "Grundgrafik" oder "Trapez" bezeichnet) zu teilen. Die Fig. 27 und 28 zeigen Beispiele, wobei das Polygon von Fig. 26 in zwei Grund grafiken geteilt ist, indem eine Teilungslinie von den jeweiligen Scheitelpunkten des Polygons von Fig. 26 in der Horizontal- bzw. der Vertikalrichtung eingefügt wird.

Als nächstes folgt die Beschreibung des Vorgangs des eigent lichen Schreibens von grafischen Zeichen unter Verwendung von Zeichendaten, die nach der oben beschriebenen Aufteilung in Grundgrafiken verarbeitet werden.

Wenn die Strukturdaten in dem schraffierten Teil, der in den in Horizontalrichtung geteilten Zeichendaten von Fig. 27 zu sehen ist, in das Elektronenstrahl-Zeichensystem eingegeben werden, formt das Elektronenstrahl-Zeichensystem zuerst einen Elektronenstrahl mit einer Größe der Breite WS1 und der Höhe HS1 mit Hilfe einer Ablenkeinrichtung zum Formen des Elektronenstrahls.

Dann wird der Elektronenstrahl in die Belichtungsposition (x1, y1), die in Fig. 27 gezeigt ist, von einer Ablenkein richtung bewegt, die die Belichtungsposition des Elektro nenstrahls im Inneren des Zeichensystems bezeichnet, und der Elektronenstrahl wird auf einen Fotolack gerichtet, der auf ein Objekt wie etwa eine Maskenplatte, ein Siliziumwafer usw. aufgebracht ist, und zwar für eine Dauer, die der zur Sensibilisierung des Fotolacks erforderlichen Belichtung entspricht. Als nächstes werden die Grafikdaten des schraf fierten Teils der Zeichendaten von Fig. 27 in das Elektro nenstrahl-Zeichensystem eingegeben, und das Zeichnen mit Elektronenstrahl wird auf die gleiche Weise ausgeführt. Durch sukzessives Wiederholen dieses Vorgangs für sämtliche Strukturen des LSI-Schaltkreises wird das Zeichnen aller Strukturen in dem LSI-Schaltkreis ausgeführt.

Das oben beschriebene Zeichensystem mit variabler Elektro nenstrahlformung weist bei der Erzeugung von Schreibdaten zwei Probleme auf:

1) Das eine Problem tritt auf, wenn die Entwurfslayoutdaten in Grundgrafiken unterteilt werden, die von dem Zeichen system mit variabler Elektronenstrahlformung gezeichnet werden können. Ein solcher Teilungsvorgang wird nachstehend als "Trapezteilung" bezeichnet; das Problem wird nachstehend im einzelnen erläutert.

Die Layoutdaten des Entwurfs gemäß Fig. 26 werden in die Elektronenstrahl-Zeichendaten (nachstehend einfach "Zeichen daten" genannt) umgesetzt, und das Zeichnen erfolgt auf der Maske unter Nutzung dieser Zeichendaten. Eine Fotolack struktur wird auf der Maske gebildet, indem eine Fotolack entwicklung dieser Zeichnung erfolgt. Fig. 29 zeigt die Fotolackstruktur. Nun wird auf die dimensionsmäßige Genau igkeit der Struktur an dem Bereich geachtet, der durch die Breite Wm dieser Fotolackstruktur bestimmt ist, um Faktoren zu erläutern, die eine Verschlechterung der Genauigkeit bewirken. Faktoren, die sich auf Bedingungen des Struktur formungsvorgangs beziehen, wie etwa die Fotolackentwicklung usw., werden dabei jedoch nicht berücksichtigt.

In dem Fall, in dem die Entwurfslayoutdaten gemäß Fig. 26 mit einer Trennlinie in der Horizontalrichtung entsprechend Fig. 27 geteilt sind, ist der Faktor, der die Dimension der Breite Wm von Fig. 29 beeinflußt, nur die Formgenauigkeit des Elektronenstrahls, der entsprechend der Grafik in dem schraffierten Teil von Fig. 27 geformt wird, d. h. die dimensionsmäßige Genauigkeit des Elektronenstrahls des Be reichs, der der Breite WS1 entspricht.

Wenn andererseits die Entwurfslayoutdaten mit einer Tei lungslinie in der Vertikalrichtung entsprechend Fig. 28 geteilt sind, sind die Faktoren, die einen Einfluß auf die Dimension der Breite Wm von Fig. 29 haben, die Genauigkeit der Einstrahlposition (x1, y1) des Elektronenstrahls ent sprechend dem schraffierten Teil von Fig. 28, die Genauig keit der Einstrahlposition (x2, y2) des Elektronenstrahls entsprechend dem gestrichelt gezeichneten Teil und seiner Formgenauigkeit (d. h. der Breite WS2). In diesem Fall ist der Faktor nicht durch die Formgenauigkeit (d. h. die Breite WS1) des Elektronenstrahls entsprechend dem schraffierten Teil gebildet. Infolgedessen erhöht sich im Fall von Fig. 28 die Anzahl der Faktoren, die einen Einfluß auf die dimen sionsmäßige Genauigkeit der Fotolackstruktur haben, um zwei gegenüber dem Fall, in dem die Struktur mit einer Teilungs linie in der Horizontalrichtung wie in Fig. 27 geteilt wird.

Die Fig. 30 und 31 zeigen Meßergebnisse von Dimensionen der Fotolackstrukturen auf der Maske, die durch Bilden einer großen Anzahl von Fotolackstrukturen unter Nutzung von Zeichendaten verschiedener Teilungsmethoden gemäß Fig. 27 bzw. Fig. 28 erhalten wurden. Von diesen Zeichnungen zeigt Fig. 30 Abweichungen der Fotolackstruktur im Fall der Ver wendung von Zeichendaten, die in Fig. 27 angegeben sind, und zwar einen Fall, in dem die Fotolackstruktur des Bereichs der Breite Wm in Fig. 29 durch Belichten mit einem Elektro nenstrahlschuß gebildet wird. Andererseits zeigt Fig. 31 das Ergebnis im Fall der Verwendung von Zeichendaten entspre chend Fig. 28, also einen Fall, in dem die Fotolackstruktur des Bereichs der Breite Wm in Fig. 29 durch Belichten mit zwei Elektronenstrahlschüssen aus verschiedenen Einstrahl positionen ((x1, y1), (x2, y2)) gebildet ist. In beiden Figuren bezeichnet Wd den zentralen bzw. Mittenwert.

Wie aus den Fig. 30 und 31 ersichtlich ist, beträgt in dem Fall, in dem die Fotolackstruktur durch Belichten mit einem Schuß des Elektronenstrahls gebildet ist, die Abweichung der Dimension der Fotolackstruktur ca. ± 0,025 µm, wohingegen diese Abweichung der Dimension der Fotolackstruktur auf ungefähr ± 0,075 µm zunimmt, wenn die Fotolackstruktur durch Belichten mit zwei Schüssen des Elektronenstrahls gebildet wird. Es versteht sich also, daß die Abweichung der Dimen sion der Fotolackstruktur, d. h. die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Präzision, in dem Fall stärker ausgeprägt ist, in dem die Fotolackstruktur durch Belichten mit zwei Elektronenstrahlschüssen gegenüber dem Fall der Belichtung mit nur einem Elektronenstrahlschuß gebildet ist. Anders ausgedrückt bedeutet das, daß die Präzision der Dimension der Fotolackstruktur durch die Art und Weise der Teilung der Entwurfslayoutdaten zum Zeitpunkt der Erzeugung der Zeichen daten stark beeinflußt wird. Das ist eines der Probleme, die bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der variablen Elek tronenstrahlformung auftreten.

2) Das zweite Problem besteht darin, daß bei der Bildung der Fotolackstruktur durch Belichten mit nicht weniger als zwei Schüssen des Elektronenstrahls aus verschiedenen Einstrahl positionen die dimensionsmäßige Genauigkeit der gebildeten Fotolackstruktur dann weiter abnimmt, wenn der die Ränder der Fotolackstruktur bildende Schuß extrem kleine Größe hat. Dieser Aspekt wird unter Bezugnahme auf die Fig. 32 bis 35 beschrieben.

Fig. 32 zeigt ein Beispiel von Positionsdaten von Zeichen grafik in einem Fall, in dem das Zeichnen mit einem Schuß des Elektronenstrahls durchgeführt wird. Das Diagramm von Fig. 33 zeigt die Intensitätsverteilung des Elektronen strahls, der zu der in Fig. 32 gezeigten Gestalt geformt ist. Wie Fig. 33 zeigt, ist die Intensitätsverteilung des Elektronenstrahls nicht vollkommen viereckig, sondern läuft an den Rändern x1, x2 nach. Die Neigung der Intensitätsver teilung an den Rändern (nachstehend als "Strahlschärfe" bezeichnet) ändert sich mit der Größe des geformten Strahls. Im allgemeinen ist die Coulombsche Abstoßung im Inneren des Elektronenstrahls umso größer, je größer der geformte Strahl ist, und infolgedessen nimmt die Strahlschärfe ab, und die Intensitätsverteilung an den Rändern wird unscharf.

Fig. 35 zeigt die Intensitätsverteilung des Elektronen strahls in einem Fall, in dem eine Struktur gleicher Größe wie die Zeichengrafik von Fig. 32 mit zwei Elektronenstrahl schüssen belichtet wird, wobei der mit einem Elektronen strahlschuß auf der linken Seite gebildete Bereich extrem geringe Größe hat (siehe Fig. 34). In dem in Fig. 35 ge zeigten Fall ist die Intensitätsverteilung an dem Randbe reich (entsprechend einem Bereich der Position x1 auf der linken Seite) von derjenigen beim Zeichnen mit einem Schuß verschieden (siehe Fig. 33), und das führt zu einer Dif ferenz der Dimension der gebildeten Fotolackstruktur. In diesem Fall tritt zusätzlich zu diesem Problem ein weiteres Problem auf, daß es nämlich vom Aspekt der Steuerung des elektrischen Stroms nicht leicht ist, einen Elektronenstrahl mit Mikrogröße zu formen, und infolgedessen die Form des Elektronenstrahls instabil wird, wodurch die Verschlech terung der dimensionsmäßigen Präzision der Fotolackstruktur weiter beschleunigt wird.

Fig. 36 zeigt Meßergebnisse der Dimensionen von jeweiligen Fotolackstrukturen, die durch Erzeugen einer größeren Anzahl Fotolackstrukturen einschließlich der Mikrografik von Fig. 34 mit zwei Schüssen als der Strukturfrequenz (entsprechend der Anzahl Strukturen mit gleicher Dimension) erhalten wur den. Dabei wird zusätzlich zu einer größeren dimensionsmäßi gen Abweichung ein Unterschied auch hinsichtlich des Mit tenwerts, verglichen mit dem Ergebnis des Zeichnens mit einem Schuß (Fig. 30), erzeugt. Die Differenz des Mitten werts stammt aus der oben beschriebenen Belichtung der Mikrografik mit dem Elektronenstrahl.

Die Größe der Mikrografik, die die auffällige Verschlech terung der dimensionsmäßigen Präzision der Fotolackstruktur wie oben beschrieben ergibt, d. h. der dimensionsmäßige Wert der Mikrografik, hängt weitgehend von der Bauart des ver wendeten Elektronenstrahl-Zeichensystems, der Art des Fotolacks, der Verarbeitungsmethode oder den Bedingungen der Strukturbildung usw. ab, beträgt aber im allgemeinen nicht mehr als 0,5 µm. Wenn also der dimensionsmäßige Wert der Mikrografik mit 0,5 µm vorgegeben ist, ist die Mikrografik eine Grafik, deren Seitenlänge entweder in der Breiten richtung oder der Höhenrichtung nicht mehr als 0,5 µm beträgt.

Unter Berücksichtigung der zwei vorstehend genannten Pro bleme 1) und 2) folgt nun eine Untersuchung des Herstel lungsverfahrens in der Zeichendaten-Erzeugungsvorrichtung mit der herkömmlichen Zeicheneinrichtung mit geformtem Elektronenstrahl, um technische Probleme aktuell darzu stellen, die den herkömmlichen Zeichendaten-Erzeugungsvor richtungen innewohnen.

Fig. 37 zeigt den Datenverarbeitungsfluß in der herkömmli chen Datenerzeugungsvorrichtung.

(1) Als erstes eliminieren die Entwurflayoutdaten eine Grafik-Duplizierung mit der Duplizierungs-Eliminierfunktion der Zeichendaten-Erzeugungsvorrichtung (Schritt T1). Das erfolgt zum Zweck der Vermeidung einer Duplizierung beim Belichten mit Elektronenstrahl auf ein und derselben Fläche (OR-Verarbeitung) und ist eine Verarbeitung, die für die Erzeugung von Zeichendaten mit einem Zeichensystem mit variablem geformten Elektronenstrahl wesentlich ist.

In diesem Fall sind verschiedene Methoden zur Beseitigung der Duplizierung denkbar, aber die im allgemeinen angewandte Methode besteht in der Aufteilung der Grafik in Streifen (nachstehend als "Streifenmethode" bezeichnet), wie das in den Fig. 38 und 39 gezeigt ist. Es folgt nun eine Beschrei bung des Falls, bei dem diese Streifenmethode in Schritt T1 von Fig. 37 angewandt wird.

Zuerst werden Teilungslinien in die gesamte Verarbeitungs fläche in einer festen Richtung (entsprechend einer Hori zontal- oder einer Vertikalrichtung) vom Scheitelpunkt der jeweiligen Grafiken eingefügt, um die Streifen zu bilden. Dann werden die jeweiligen Grafiken an Streifengrenzen ge teilt. Die Fig. 38 und 39 zeigen einen Fall der Unterteilung in Horizontalrichtung.

Dann erhält jede Seite der jeweiligen unterteilten Grafiken eine Orientierung (Einfügen von Vektoren) auf jeder Seite der jeweiligen geteilten Grafiken. Die Art und Weise der Orientierung wird entweder durch Rechtslauf oder Linkslauf der jeweiligen Scheitelpunkte entlang den Seiten bestimmt. Die Fig. 38 und 39 zeigen einen Fall von Rechtslauf (Uhr zeigersinn).

Als nächstes werden unnötige Vektoren (also duplizierte Grafikbereiche) gelöscht. Die Löschmethode wird nachstehend beschrieben.

Zuerst wird jeder Vektor mit Koordinatenwerten für jeden Streifen sortiert. Dann erhält jeder Vektor einen Zahlenwert entsprechend der Vektorrichtung. Beispielsweise gibt man Aufwärtsvektoren eine 1 und Abwärtsvektoren -1. Dieses Beispiel ist in bezug auf den Streifen 5 in Fig. 38 gezeigt.

Als nächstes werden, wenn Streifen horizontal gebildet sind, die den jeweiligen Vektoren gegebenen Zahlenwerte (die Vektorwerten entsprechen) in der Reihenfolge von links auf der Suche nach einem Vektor addiert, bei dem die Summe zu 0 wird. Und es wird eine Grafik mit dem Vektor, bei dem die Addition begonnen wurde, und dem Vektor, bei dem das Additionsergebnis der Vektorwerte 0 wird, konstruiert.

Ein Beispiel eines solchen Ablaufs kann wie folgt unter Bezugnahme auf den Streifen 5 in Fig. 39 beschrieben werden: Die Addition beginnt bei dem Vektor am linken Ende, und das Additionsergebnis der Vektorwerte wird in der Phase der Addition des zweiten Vektors zu 2, in der Additionsphase des dritten Vektors zu 1 und in der Additionsphase des vierten Vektors zu 0. Daher wird die Grafik mit dem Vektor am linken Ende in Streifen 5 und dem von dort ausgehend vierten Vektor konstruiert, und der zweite und der dritte Vektor werden als unnötige Vektoren gelöscht. Das Verarbeitungsergebnis wird dann so, wie es in Fig. 39 gezeigt ist.

Wenn eine solche Verarbeitung mit den Vektoren in allen Streifen ausgeführt wird, kann die Duplizierung sämtlicher Grafiken beseitigt werden.

Es ist ersichtlich, daß bei Anwendung dieser Methode die Daten als das Verarbeitungsergebnis sämtlich in Grundgra fiken aufgeteilt sind. Wie jedoch aus den Teilungsergeb nissen der Fig. 39 zu sehen ist, wird überhaupt keine Gegenmaßnahme in bezug auf die Probleme in Betracht gezogen, die vorher beschrieben wurden, nämlich: 1) Teilung eines Bereichs, der hohe dimensionsmäßige Präzision erfordert, und 2) Erzeugung von Grafiken mit äußerst geringer Größe. Daher resultiert Schritt T1 in Fig. 37 in der Erzeugung einer Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit aufgrund der beiden oben beschriebenen Probleme 1) und 2).

(2) Der nächste Prozeß verzweigt sich in zwei Abläufe (T2), (T2A, T2B), wie Fig. 37 zeigt, und zwar in Abhängigkeit von der Art des verwendeten Fotolacks (positiv oder negativ) und der Art und Weise des bei dem Entwurf verwendeten Layouts.

Wenn der Elektronenstrahl auf einen anderen Bereich als den zum Zeitpunkt des Entwurfs erstellten Eingabebereich ge richtet werden muß, wird ein Vorgang zur Tonwertumkehrung der Grafik (Schritt T2) notwendig. Dieser Tonwertumkehrvor gang kann auch mit einer Methode ähnlich derjenigen zur Eliminierung einer Duplizierung von Grafiken, wie sie vorher beschrieben wurde, ausgeführt werden. Die Methode der Ton wertumkehrung der Grafik wird daher unter Bezugnahme auf die Fig. 40 und 41 beschrieben.

Der Ablauf beginnt aus dem Zustand heraus, in dem die je weiligen Seiten nach der Duplizierung-Eliminierung der Grafik in Vektoren unterteilt sind. Zuerst wird ein Bereich (Rahmen) für die Tonwertumkehrung vorgegeben, und die Grafik (d. h. ein Viereck) entsprechend diesem Rahmen wird in Vektoren je nach den entsprechenden Streifen aufgeteilt, und ein Vektorrichtungswert wird für jeden Vektor auf die gleiche Weise wie im Fall der Duplizierungs-Eliminierung vorgegeben.

Als nächstes wird die Richtung eines Vektors, der in dem Tonwertumkehrungsbereich vorhanden ist, umgekehrt. In bezug auf die Fig. 38 und 39 werden zum Zeitpunkt der Duplizie rungs-Eliminierung die nach oben gesetzten Vektoren nach unten gerichtet, und die nach unten gesetzten Vektoren werden nach oben gerichtet. Dieser Zustand ist in Fig. 40 gezeigt.

Der darauffolgende Ablauf ist der gleiche wie der Ablauf zur Duplizierungs-Eliminierung. Die Addition von Vektor werten beginnt ausgehend von dem Vektor an dem Tonwertumkeh rungsrahmen für jeden Streifen auf der Suche nach einem Vektorpaar, bei dem der Additionswert 0 wird, so daß eine Grafik gebildet wird. Fig. 41 zeigt den Zustand der Ton wertumkehrung.

Wenn die Tonwertumkehrung vorgenommen wird, ist außerdem ersichtlich, daß keine Gegenmaßnahmen vorgesehen sind gegen 1) eine Teilung eines Bereichs, der hohe dimensionsmäßige Genauigkeit verlangt, und 2) die Erzeugung von Grafiken mit äußerst geringer Größe; das entspricht dem Fall der Dupli zierungs-Eliminierung.

Wenn dagegen keine Tonwertumkehrung notwendig ist, kann die Gegenmaßnahme implementiert werden. Dabei ist es, wenn man die Teilung eines Bereichs, der hohe dimensionsmäßige Präzision verlangt, und die Erzeugung von Grafiken mit äußerst geringer Größe berücksichtigt, möglich, die Methode anzuwenden, bei der die als Resultat der Duplizierungs- Eliminierung in Grundgrafiken umgesetzte Grafik erneut zu Polygonen gemacht wird (Schritt T2A), und diese Polygone erneut einzeln zu unterteilen, während gleichzeitig die Teilung eines Bereichs, der hohe dimensionsmäßige Präzision verlangt, und die Erzeugung von Grafiken mit äußerst ge ringer Größe berücksichtigt wird (Schritt T2B).

Diese Verarbeitungsmethode (T2A, T2B) kann aber nicht in dem Fall angewandt werden, in dem die Tonwertumkehrung verlangt wird. Denn wenn irgendeine Gruppe von Grafiken, die einer Tonwertumkehrung unterzogen wurde, wiederum zu Polygonen gemacht wird, werden sämtliche Grafiken miteinander ver bunden und zu einem einzigen Polygon gemacht, das eine sehr hohe Zahl von Scheitelpunkten hat, was eine anschließende Verarbeitung, d. h. eine erneute Aufteilung in Grundgrafi ken, praktisch unmöglich macht.

Aus diesem Grund wurde bei der herkömmlichen Methode keine Gegenmaßnahme gegen das oben beschriebene Problem der Ver schlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit aufgrund 1) einer Aufteilung von Grafiken und 2) der Erzeugung von äußerst kleinen Grafiken ergriffen, wenn die Tonwertumkeh rung notwendig ist.

Es wird nun erneut auf Fig. 37 Bezug genommen. Wenn Grund grafikdaten erzeugt und gespeichert werden (Schritt T3), dann wird die Zeichenfeldgrenze-Teilungsfunktion in Schritt T4 ausgeführt. Bei dieser Funktion wird die Zeichenfläche in Bereiche aufgeteilt, in denen das Elektronenstrahl-Zeichen system nur unter Ablenkung des Elektronenstrahls zeichnen kann (nachstehend als "Zeichenfeldbereiche" bezeichnet). Da nach wird eine Elektronenstrahl-Zeichendatenformatier funktion von Schritt T5 ausgeführt, um die Daten zu einer Struktur zu formatieren, die zur Eingabe in verschiedene Zeichensysteme verfügbar ist, so daß die Elektronenstrahl- Zeichendaten erzeugt werden. Das hier als Beispiel genommene Zeichensystem mit variabler Elektronenstrahlformung kann die Größe des Zeichenfeldbereichs auf einen fakultativen Wert von gewöhnlich 2,5 mm oder kleiner einstellen.

Die Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung gemäß der Erfindung, die aus einem Entwurflayoutdatensignal ein Zeichendatensignal zur Eingabe in eine Teilchenstrahl-Zei chenvorrichtung erzeugt, ist gekennzeichnet durch eine Ein gabeeinrichtung zur Eingabe eines Signals, das Dimensions daten eines Grafikdatenverarbeitungsbereichs bezeichnet, und eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion, um einen von dem Entwurflayoutdatensignal bezeichneten Bereich in Einheiten eines Grafikdatenverarbeitungsbereichs zu teilen, wobei der Grafikdatenverarbeitungsbereich durch die von der Eingabeeinrichtung bezeichneten Dimensionsdaten des Grafikdatenverarbeitungsbereichs bestimmt ist.

Bei der Erfindung gemäß dem Patentanspruch 1 wird das Zei chendatensignal aus dem Entwurflayoutsignal in den jewei ligen Grafikdaten-Verarbeitungsbereichen erzeugt, die als Ergebnis einer Teilung durch die Grafikdatenverarbeitungs bereich-Teilungsfunktion erzeugt werden.

Dabei ist es möglich, Zeichendaten zu erzeugen, bei denen eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit von Strukturen, die durch die Teilchenstrahl-Zeichenvorrichtung gebildet werden, vermieden wird.

In Weiterbildung der Erfindung ist die Teilchenstrahl- Zeichendatenerzeugungsvorrichtung dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabeeinrichtung außerdem ein Signal eingibt, das einen Mikrografik-Dimensionswert bezeichnet; und daß die Vorrichtung ferner folgendes aufweist: eine Grafikdatenver arbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, die für jeden der Grafikdatenverarbeitungsbereiche und sowohl für eine Hori zontal- als auch eine Vertikalrichtung des von dem Entwurf layoutdatensignal gegebenen Bereichs eine vorgeschriebene Grafikverarbeitungsoperation an dem Entwurflayoutdatensignal ausführt, um ein Grafikdatenverarbeitungsergebnis zu erzeu gen, wobei das Grafikdatenverarbeitungsergebnis Datensignale von Grundgrafiken ergibt, die in dem betreffenden Grafik datenverarbeitungsbereich gebildet sind; und eine Grafikda tenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion, um für jeden der Grafikdatenverarbeitungsbereiche und jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung Mikrografiken bezeichnende Datensignale aus den Datensignalen der Grund grafiken, die in dem Grafikdatenverarbeitungsergebnis ent halten sind, auf der Basis des Signals des Mikrografik- Dimensionswerts zu beurteilen, um einen Mikrografik-Bewer tungswert zu bestimmen, der einen Grad der Beeinflussung des Teilchenstrahlzeichnens durch die Mikrografiken bezeichnet, und um die Mikrografik-Beurteilungswerte in bezug sowohl auf die Horizontal- als auch die Vertikalrichtung zu vergleichen und somit dasjenige Grafikdatenverarbeitungsergebnis aus zuwählen, in bezug auf dessen Richtung der Mikrografik- Bewertungswert kleiner ist.

Dabei werden für die jeweiligen Grafikdatenverarbeitungs bereiche die folgenden Verarbeitungsvorgänge ausgeführt: Die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion erzeugt das Grafikdatenverarbeitungsergebnis im Hinblick auf die Horizontalrichtung durch Ausführung der Grafikoperationen, die sich auf die Horizontalrichtung beziehen, und erzeugt außerdem das Grafikdatenverarbeitungsergebnis im Hinblick auf die Vertikalrichtung durch Ausführung der Grafikopera tionen, die sich auf die Vertikalrichtung beziehen. Außerdem beurteilt die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/ Auswählfunktion das Vorhandensein der Mikrografik in dem Grafikdatenverarbeitungsergebnis in bezug auf die Horizon talrichtung, um ihren Mikrografik-Bewertungswert zu be stimmen, und beurteilt außerdem das Vorhandensein der Mikrografik in dem Grafikdatenverarbeitungsergebnis in bezug auf die Vertikalrichtung, um ihren Mikrografik-Bewertungs wert zu bestimmen, und vergleicht dann den Mikrografik- Bewertungswert hinsichtlich der Horizontalrichtung mit dem Mikrografik-Bewertungswert hinsichtlich der Vertikalrich tung, um die relative Größe von beiden zu beurteilen. Wenn der Mikrografik-Bewertungswert in bezug auf die Vertikal richtung kleiner ist, wählt zu diesem Zeitpunkt die Grafik datenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion das Grafikdatenverarbeitungsergebnis hinsichtlich der Verti kalrichtung aus. Die aus diesem ausgewählten Grafikdaten verarbeitungsergebnis erzeugten Zeichendaten werden zu Daten hoher Güte mit nur geringem Einfluß von Mikrografiken.

Dabei ist es möglich, die Erzeugung der Mikrografiken, die zum Zeitpunkt der vorgeschriebenen Grafikoperationen erzeugt werden, zu verringern und Zeichendaten hoher Güte zu erzeu gen, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Prä zision unterdrücken können.

Eine weitere Ausbildung der Teilchenstrahl-Zeichendaten erzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion eine Duplizierungs-Eliminier- und Tonwertumkehr-Funktion auf weist, um einen Vorgang der Beseitigung von duplizierten Teilen und einer Tonwertumkehrung in dem Entwurflayout datensignal als die vorgeschriebene Grafikdatenverarbei tungsoperation auszuführen.

Dabei wählt die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurtei lungs/Auswähleinrichtung das Grafikdatenverarbeitungs ergebnis aus, das die geringere Erzeugung von Mikrografiken hat, die zum Zeitpunkt der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung erzeugt wurden.

Dabei ist es möglich, durch Teilung des Grafikdatenverar beitungsbereichs in Einheiten diejenigen Bereiche zu unter drücken, in denen herkömmlich die jeweiligen Scheitelpunkte bei der herkömmlichen Duplizierungs-Eliminierung und bei der Tonwertumkehrung einen Einfluß auf die Teilung der übrigen Grafikdaten haben, und die Erzeugung der Mikrografiken, die zum Zeitpunkt der Duplizierungs-Eliminierung und der Ton wertumkehrung gebildet werden, deutlich herabzusetzen, so daß schließlich Zeichendaten hoher Güte erzeugt werden.

Eine vorteilhafte Ausbildung der Teilchenstrahl-Zeichen datenerzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswähl funktion eine Mikrografik-Beurteilungsfunktion aufweist, um zu beurteilen, daß das Datensignal der betreffenden Grund grafik die genannte Mikrografik ergibt, wenn jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung wenigstens einer von Dimensionswerten der Seiten der Grundgrafik nicht größer als der Mikrografik-Dimensionswert ist.

Die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswähl funktion beurteilt dabei das Vorhandensein einer Mikrografik unter Bezugnahme auf die folgende Beziehung als Kriterium: {(wenigstens einer von Dimensionswerten von Seiten der Grundgrafik) (Mikrografik-Dimensionswert)}.

Dabei ist es möglich, nach dem Grafikdatenverarbeitungs ergebnis die An- oder Abwesenheit der Mikrografik zu beurteilen.

Eine andere vorteilhafte Ausbildung der Teilchenstrahl-Zei chendatenerzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um die Zahl der Mikrografiken entsprechend einem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungsfunktion aufzusummieren und die Summe als den Mikrografik-Bewer tungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung.

Dabei wertet die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beur teilungs/Auswählfunktion den Grad des Einflusses von Mikro grafiken aus der Summe der Anzahl von Mikrografiken aus.

Dabei ist es möglich, die Mikrografik-Auswertung mit hoher Präzision auszuführen, wodurch qualitativ hochwertige Ergebnisse der Grafikdatenverarbeitung erhalten werden, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Präzision vermeiden können, so daß Zeichendaten hoher Güte erhalten werden.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist die Teilchen strahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung dadurch gekenn zeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beur teilungs/Auswählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertre chenfunktion aufweist, um die Längen der langen Seite der Mikrografiken entsprechend dem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungsfunktion aufzusummieren und die Summe als den Mikrografik-Bewertungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung.

Dabei wertet die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beur teilungs/Auswählfunktion den Grad des Einflusses von Mikrografiken mit der Summe der Längen langer Seiten von Mikrografiken aus.

Dabei ist es möglich, die Mikrografik-Auswertung mit höherer Genauigkeit durchzuführen, wodurch qualitativ hochwertige Ergebnisse der Grafikdatenverarbeitung erzeugt werden, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Präzision deutlich vermeiden können, so daß Zeichendaten höherer Güte erhalten werden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Teilchenstrahl-Zeichen datenerzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswähl funktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um die Oberflächen der Mikrografiken entsprechend dem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungs funktion aufzusummieren und eine Summe der Oberflächen dieser Mikrografiken als den Mikrografik-Bewertungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung.

Dabei wertet die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurtei lungs/Auswählfunktion den Grad des Einflusses von Mikro grafiken mit den Flächenbereichen von Mikrografiken aus.

Dabei ist es möglich, die Mikrografik-Auswertung mit höherer Genauigkeit durchzuführen, wodurch qualitativ höherwertige Ergebnisse der Grafikdatenverarbeitung erzeugt werden, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Präzision deutlich vermeiden können, so daß Zeichendaten höherer Güte erhalten werden.

Eine Weiterbildung der Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeu gungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Gra fikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung die Seitenverhältnisse, die als Verhältnis der Länge der langen Seite zu der Länge der kurzen Seite der Mikrografiken gemäß dem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungsfunk tion gegeben sind, aufzusummieren und eine Summe dieser Seitenverhältnisse der Mikrografiken als den Mikrografik- Bewertungswert abzugeben.

Hierbei wertet die Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion den Grad des Einflusses von Mikrografiken mit der Summe von Seitenverhältnissen von Mikrografiken aus.

Dabei ist es möglich, die Mikrografik-Auswertung mit noch höherer Genauigkeit durchzuführen, wodurch Ergebnisse der Grafikdatenverarbeitung noch höherer Qualität erzeugt wer den, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genau igkeit erheblich unterdrücken können, so daß Zeichendaten noch höherer Güte erhalten werden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Teilchenstrahl-Zei chendatenerzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabeeinrichtung nicht nur das Signal bezeichnet, das den Mikrografik-Dimensionswert über eine größere Anzahl von Mikrografik-Dimensionswertbereichen angibt, sondern auch ein Signal liefert, das eine Gewichtung vorgibt, wobei diese Gewichtung für jeden der Vielzahl von Mikrografik-Dimen sionswertbereichen einen Bedeutungsgrad der Dimension der Mikrografik definiert, und daß die Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion aufweist: eine Mikro grafik-Beurteilungsfunktion, um zu beurteilen, ob wenigstens einer von Dimensionswerten von Seiten der Grundgrafik in einen der Vielzahl von Mikrografik-Dimensionswertbereichen fällt, um so zu beurteilen, ob das Datensignal der Grund grafik die Mikrografik ergibt, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung; und eine Mikrografik- Bewertungswertrechenfunktion, um den Mikrografik-Bewertungs wert auf der Basis des Signals, das die Gewichtung vorgibt, in Übereinstimmung mit den Mikrografik-Dimensionswertberei chen aufgrund eines Ergebnisses, das von der Mikrografik- Beurteilungsfunktion als die Mikrografik beurteilt ist, für jeweils die Horizontal- und die Vertikalrichtung zu be rechnen.

Dabei wird eine sorgfältiger durchdachte Berechnung des Mikrografik-Bewertungswerts durch die Gewichtung durchge führt, die für die jeweiligen Dimensionsbereiche der Mikro grafik vorgesehen ist.

Dabei ist es möglich, die Mikrografik-Auswertung mit noch höherer Genauigkeit durchzuführen und dadurch Ergebnisse der Grafikdatenverarbeitung noch höherer Qualität zu erzeugen, die eine Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit deutlich unterdrücken können, und somit Zeichendaten noch höherer Güte zu erhalten.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Teilchenstrahl-Zeichen datenerzeugungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion eine Duplizierungs-Eliminierfunktion aufweist, um das Entfernen von duplizierten Teilen in dem Entwurflayoutdatensignal als die vorgeschriebene Grafikverarbeitungsoperation auszu führen.

Hierbei wird von der Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion dasjenige Grafikdatenverarbei tungsergebnis ausgewählt, das die geringere Erzeugung von Mikrografiken, die zum Zeitpunkt der Duplizierungs-Elimi nierung gebildet wurden, aufweist.

Dabei ist es möglich, die Erzeugung der bei der Duplizie rungs-Eliminierung produzierten Mikrografiken auch in einem Fall zu verringern, in dem ein Tonwertumkehrungsvorgang nicht notwendig ist, und schließlich Zeichendaten hoher Güte zu erzeugen, während gleichzeitig die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit unterdrückt wird.

Gemäß der Erfindung ist eine Teilchenstrahl-Zeichendaten erzeugungsvorrichtung, um aus einem Entwurflayoutdatensignal ein Zeichendatensignal zu erzeugen, das in eine Teilchen strahl-Zeichenvorrichtung einzugeben ist, gekennzeichnet durch eine Eingabeeinrichtung zur Eingabe eines Signals, das einen Mikrografik-Dimensionswert bezeichnet, eine Grafik datenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, um vorge schriebene Grafikverarbeitungsoperationen an dem Entwurf layoutdatensignal auszuführen und ein Grafikdatenverarbei tungsergebnis zu erzeugen, das Datensignale von Grundgra fiken bezeichnet, die in einem Bereich gebildet sind, der durch das Entwurflayoutdatensignal gegeben ist, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung des genannten Bereichs, und eine Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion, um aus den Daten signalen der Grundgrafiken, die in dem Grafikdatenverarbei tungsergebnis enthalten sind, Mikrografiken bezeichnende Datensignale auf der Basis des Signals des Mikrografik- Dimensionswerts zu beurteilen, um einen Mikrografik-Bewer tungswert zu bestimmen, der einen Grad der Beeinflussung des Teilchenstrahlzeichnens durch die Mikrografiken bezeichnet, und zwar für jeweils die Horizontal- und die Vertikalrich tung, und um die Mikrografik-Bewertungswerte in bezug auf die Horizontal- und die Vertikalrichtung zu vergleichen und das Grafikdatenverarbeitungsergebnis in bezug auf diejenige Richtung auszuwählen, in der der Mikrografik-Bewertungswert kleiner ist.

Dabei wählt die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurtei lungs/Auswählfunktion dasjenige Grafikdatenverarbeitungs ergebnis mit geringerer Erzeugung von Mikrografiken aus.

Dabei kann die Erzeugung der Mikrografiken, die zum Zeit punkt eines vorbestimmten Grafik-Berechnungsablaufs erzeugt wurden, verringert werden, und es können schließlich Zei chendaten hoher Güte erzeugt werden, während gleichzeitig die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit unterdrückt wird.

Ein Teilchenstrahl-Zeichensystem gemäß der Erfindung mit einer Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung zum Erzeugen eines Zeichendatensignals aus einem gegebenen Entwurflayoutdatensignal und mit einer Teilchenstrahl- Zeichenvorrichtung zur Durchführung von Teilchenstrahl- Zeichnen auf der Basis des Zeichendatensignals, um eine Fotolackstruktur zu bilden, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung auf weist: eine Eingabeeinrichtung zur Eingabe eines Signals, das eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Dimension angibt, und eines Signals, das einen Mikrografik-Dimensionswert angibt; eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunk tion zum Teilen eines durch das Entwurflayoutdatensignal gegebenen Bereichs in Einheiten eines Grafikdatenverarbei tungsbereichs, der durch die Grafikdatenverarbeitungs bereich-Dimension bestimmt ist; eine Grafikdatenverarbei tungsergebnis-Erzeugungsfunktion, um vorgeschriebene Gra fikdatenverarbeitungsoperationen an dem Entwurflayoutdaten signal sowohl für eine Horizontal- als auch eine Vertikal richtung des genannten Bereichs, der durch das Entwurf layoutdatensignal gegeben ist, auszuführen, um ein Grafik datenverarbeitungsergebnis zu erzeugen, das Datensignale von Grundgrafiken, die in dem betreffenden Grafikdatenverarbei tungsbereich gebildet sind, für jeden Grafikdatenverarbei tungsbereich zu ergeben; eine Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion, um Mikrografiken angebende Datensignale aus den Datensignalen der Grund grafiken, die in dem Grafikdatenverarbeitungsergebnis ent halten sind, auf der Basis des von der Eingabeeinrichtung gegebenen Signals des Mikrografik-Dimensionswerts zu be urteilen und so einen Mikrografik-Bewertungswert zu bestim men, der einen Grad der Beeinflussung des Teilchenstrahl- Zeichnens durch die Mikrografiken bezeichnet, und zwar für jeweils die Horizontal- und die Vertikalrichtung, und um die Mikrografik-Bewertungswerte in bezug auf die Horizontal- und die Vertikalrichtung zu vergleichen und das Grafikdatenver arbeitungsergebnis in bezug auf diejenige Richtung, in der der Mikrografik-Bewertungswert kleiner ist, für jeden Gra fikdatenverarbeitungsbereich auszuwählen und abzugeben; und eine Zeichendatenerzeugungseinrichtung, um das Zeichendaten signal auf der Basis des Zeichendatenverarbeitungsergeb nisses, das von der Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beur teilungs/Auswählfunktion abgegeben wird, zu erzeugen.

Dabei werden die Grafikoperationen in bezug auf die Hori zontal- und die Vertikalrichtung von der Grafikdatenver arbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion für die jeweiligen Grafikdatenverarbeitungsbereiche durchgeführt, und die Art des zu verwendenden Grafikdatenverarbeitungsergebnisses wird von der Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion unter Bezugnahme auf den Grafikdaten-Bewer tungswert ausgewählt.

Dabei kann ein gewünschtes Grafikdatenverarbeitungsergebnis erhalten werden, wobei die Erzeugung von Mikrografiken wesentlich unterdrückt ist. Es ist daher möglich, Zeichen daten hoher Güte zu erzeugen und letztlich die dimensions mäßige Genauigkeit der Fotolackstruktur zu verbessern.

Für die jeweiligen Grafikdatenverarbeitungsbereiche werden Zeichendaten aus dem ausgewählten Grafikdatenverarbeitungs ergebnis hoher Güte erstellt, und das Zeichnen mit Teil chenstrahl wird auf der Basis dieser Zeichendaten durch geführt.

Die Erfindung stellt eine Vorrichtung zum Erzeugen von Zei chendaten mittels Teilchenstrahl bereit, die die Erzeugung von Mikrografiken, die zu einer Verschlechterung der dimen sionsmäßigen Genauigkeit führen, deutlich verringern kann, wobei insbesondere die Tatsache berücksichtigt wird, daß beim Stand der Technik die dimensionsmäßige Genauigkeit stark abnimmt, und zwar besonders dann, wenn eine Tonwert umkehrung erforderlich ist.

Ferner kann die Erfindung zur Lösung verschiedener Probleme, die als Ergebnis der Duplizierungs-Eliminierung auftreten, genutzt werden, und durch die Erfindung werden vorteilhaf tere neue Technologien aufgezeigt.

Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:

Fig. 1 ein Blockbild, das den Systemaufbau der Teilchen strahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung gemäß den verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung zeigt;

Fig. 2 den Ablauf der Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeu gung in der Vorrichtung gemäß der ersten Ausfüh rungsform der Erfindung;

Fig. 3 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 4 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 5 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 6 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 7 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 8 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 9 ein konkretes Beispiel zur Erläuterung der ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 10 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenver arbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bei der ersten Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 11 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenverarbei tungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bei der ersten Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 12 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenverarbei tungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bei der ersten Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 13 ein Flußdiagramm, das die Methode der Berechnung des Mikrografik-Bewertungswerts in der Grafik datenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion der ersten Ausführungsform der Er findung beschreibt;

Fig. 14 ein Flußdiagramm, das ein modifiziertes Beispiel der ersten Ausführungsform zeigt;

Fig. 15 ein Flußdiagramm, das ein modifiziertes Beispiel der ersten Ausführungsform zeigt;

Fig. 16 ein Flußdiagramm, das die Berechnungsmethode des Mikrografik-Bewertungswerts bei der zweiten Ausführungsform der Erfindung erläutert;

Fig. 17 eine Darstellung der Auswirkungen der zweiten Ausführungsform;

Fig. 18 ein Flußdiagramm, das die Berechnungsmethode des Mikrografik-Bewertungswerts bei der dritten Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 19 ein Flußdiagramm, das die Berechnungsmethode des Mikrografik-Bewertungswerts bei der vierten Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 20 eine Erläuterung der Auswirkungen der vierten Ausführungsform;

Fig. 21 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenverarbei tungsergebnis -Beurteilungs/Auswählfunktion bei der fünften Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 22 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenverarbei tungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bei der fünften Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 23 ein Flußdiagramm, das die Grafikdatenverarbei tungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bei der fünften Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 24 ein Flußdiagramm, das die Berechnungsmethode des Mikrografik-Bewertungswerts bei der fünften Ausführungsform der Erfindung beschreibt;

Fig. 25 eine Erläuterung der Beziehung zwischen einem Mikrografik-Dimensionswertbereich und seiner Gewichtung;

Fig. 26 die Entwurfslayoutdaten zur Beschreibung des Erzeugungsablaufs von Zeichendaten durch die herkömmliche Vorrichtung mit variabler Strahl formung;

Fig. 27 die Elektronenstrahl-Zeichendaten zur Erläuterung des herkömmlichen Zeichenverfahrens mit variabler Strahlformung;

Fig. 28 die Elektronenstrahl-Zeichendaten zur Erläuterung des herkömmlichen Vorgangs mit variabler Strahl formung;

Fig. 29 die Fotolackstruktur auf einer Maske zur Erläu terung von Problemen bei der Erzeugung von Zei chendaten in der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahlformung;

Fig. 30 Abweichungen der Dimensionen einer Fotolackstruk tur auf einer Maske beim Zeichnen mit einem Elektronenstrahlschuß, zur Erläuterung von Pro blemen bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahl formung;

Fig. 31 Abweichungen der Dimensionen einer Fotolackstruk tur auf einer Maske beim Zeichnen mit zwei Elek tronenstrahlschüssen, zur Erläuterung von Pro blemen bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahl formung;

Fig. 32 eine gezeichnete Grafik im Fall des Zeichnens mit einem Elektronenstrahlschuß, zur Erläuterung von Problemen bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahlformung;

Fig. 33 die Intensitätsverteilung des Elektronenstrahls entsprechend Fig. 32;

Fig. 34 eine gezeichnete Grafik im Fall des Zeichnens mit zwei Elektronenstrahlschüssen, zur Erläuterung von Problemen bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahlformung;

Fig. 35 die Intensitätsverteilung von Elektronenstrahlen entsprechend Fig. 34;

Fig. 36 Abweichungen von Fotolackstruktur-Dimensionen auf einer Maske im Fall des Zeichnens mit zwei Elek tronenstrahlschüssen und im Fall eines Elektronen strahls von Mikrogröße, zur Erläuterung von Pro blemen bei der Erzeugung von Zeichendaten mit der herkömmlichen Vorrichtung mit variabler Strahl formung;

Fig. 37 den Datenverarbeitungsfluß beim Elektronenstrahl zeichnen in der herkömmlichen Elektronenstrahl- Zeichendatenerzeugungsvorrichtung;

Fig. 38 den Ablauf zur Duplizierungs-Eliminierung von Grafiken;

Fig. 39 den Ablauf zur Duplizierungs-Eliminierung von Grafiken;

Fig. 40 den Ablauf bei der Tonwertumkehrung von Grafiken; und

Fig. 41 den Ablauf bei der Tonwertumkehrung von Grafiken.

Das Blockbild von Fig. 1 zeigt den Systemaufbau der Vor richtung zum Erzeugen von Zeichendaten mit einem geladenen Teilchenstrahl (kurz: Teilchenstrahl), wobei dieser System aufbau allen nachstehend beschriebenen Ausführungsformen gemeinsam ist.

1 ist eine Teilchenstrahl-Zeichenvorrichtung, und ein charakteristisches Beispiel hierfür ist eine Elektronen strahl-Zeichenvorrichtung. Die Teilchenstrahl-Zeichenvor richtung führt einen Zeichenvorgang aus durch Empfang der Eingabe eines Teilchenstrahl-Zeichendatensignals V1. Das Teilchenstrahl-Zeichendatensignal V1 wird nachstehend einfach als Zeichendatensignal V1 bezeichnet.

Eine Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung 2 besteht aus einem Rechner mit einer CPU 3 als Zentrum und einem außerhalb des Rechners vorgesehenen Externspeicher 7. Zusätzlich zu der CPU 3 weist der Rechner eine Displayein heit 4, eine Eingabeeinrichtung 5 wie etwa eine Tastatur oder eine Maus usw. und einen Hauptspeicher 6, bestehend aus einem ROM und einem RAM, auf.

Die jeweiligen Funktionen, die nachstehend im Zusammenhang mit den verschiedenen Ausführungsformen beschrieben werden, sind in der Hauptsache Funktionen der CPU 3. Das System, das aus den vorstehenden beiden Vorrichtungen 1, 2 besteht, wird allgemein als Teilchenstrahl-Zeichensystem bezeichnet.

(Erste Ausführungsform)

Nachstehend wird die erste Ausführungsform beschrieben, wo bei nach Bedarf auf Fig. 1 Bezug genommen wird.

Fig. 2 zeigt den Fluß der Datenverarbeitung, die von der Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung 2 (haupt sächlich der CPU 3) durchgeführt wird, und dient der Erläu terung dieser Ausführungsform. Diese ist dadurch charak terisiert, daß sie folgendes aufweist: (1) eine Grafikdaten verarbeitungsbereich-Teilungsfunktion, um ein eingegebenes Entwurfslayoutdatensignal in Einheiten eines Grafikdaten- Verarbeitungsbereichs zu teilen (Schritt S1), (2) eine Gra fikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, um einen Ablauf der Duplizierungs-Eliminierung und Tonwertumkehrung in den jeweiligen Einheiten des Grafikdaten-Verarbeitungs bereichs für die jeweiligen Streifen sowohl in Horizontal richtung (X) als auch in Vertikalrichtung (Y) durchzuführen (Schritte S2A, S2B), und (3) eine Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion zum Bewerten durch Vergleich, Beurteilen und Auswählen der Ergebnisse der Vor gänge der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertum kehrung, die an den Streifen in X,Y-Richtungen (entsprechend Grafikdatenverarbeitungsergebnissen) in den jeweiligen Ein heiten des Grafikdaten-Verarbeitungsbereichs durchgeführt wurden (Schritt S3). Die Schritte S4, S5 sind die gleichen wie bei der herkömmlichen Vorrichtung (siehe Fig. 37). Der konkrete Verarbeitungsablauf wird nachstehend für die je weiligen Funktionen beschrieben.

(1) Die Funktion von Schritt S1 wird zuerst beschrieben. Wie in der Erläuterung der Probleme bekannter Vorrichtungen ge sagt wurde, werden die Vorgänge der Duplizierungs-Elimi nierung und der Tonwertumkehrung als Teil von Grafikopera tionsvorgängen im allgemeinen nach der Streifenmethode aus geführt. Da diese Methode jedoch für die jeweiligen Schei telpunkte der entsprechenden Grafiken, die durch die Ent wurfslayoutdaten gegeben sind, irgendeine Teilungslinie bildet, bestimmt die Situation der Anordnung der jeweiligen Scheitelpunkte die Güte (d. h. die Erzeugung von Mikrogra fiken) der verarbeiteten Grafikdaten. Die Fig. 3 bis 6 zeigen konkrete Beispiele.

Beispielhaft soll zuerst ein Fall betrachtet werden, bei dem die Entwurfslayoutdaten gemäß Fig. 3 den Vorgängen der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung unter zogen werden. Dabei werden im bekannten Fall entweder die Streifen in der X-Richtung (siehe Fig. 4) oder die Streifen in der Y-Richtung (siehe Fig. 5) gewählt. Nach dieser Methode beeinflußt die Situation der Anordnung der jewei ligen Scheitelpunkte die Güte der Grafikdaten nach der Ver arbeitung sehr stark, wie aus den Fig. 4 und 5 ersichtlich ist, und führt außerdem zu einer Situation, in der die Erzeugung von Mikrografik unvermeidlich ist.

Um dieses Problem zu lösen, führt also bei der ersten Ausführungsform die CPU 3 in Schritt S1 von Fig. 2 die Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion auf der Basis der Entwurfslayoutdaten (die einem Signal entsprechen, das Information über die Positionskoordinaten gibt), die durch die Eingabeeinheit 5 eingegeben werden, und der Daten (des Datensignals), die die Dimensionen des Grafikdaten- Verarbeitungsbereichs angeben, durch. Beispielsweise teilt die CPU 3 den Entwurfslayoutdatenbereich 11, der ein mit dem Entwurfslayoutdatensignal gegebener Bereich ist, in Grafik daten-Verarbeitungsbereiche 12 auf, die von den Dimensionen des Grafikdaten-Verarbeitungsbereichs vorgegeben sind, wie Fig. 6 zeigt. Wie unten beschrieben wird, führt die CPU 3 die Vorgänge der Duplizierungs-Eliminierung und der Ton wertumkehrung in den jeweiligen Einheiten der Grafikdaten- Verarbeitungsbereiche 12 aus. Da die CPU 3 mit dieser Funk tion von Schritt S1 ausgestattet ist, wird es möglich, zum Zeitpunkt der Durchführung der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung diejenigen Bereiche zu unter drücken, in denen die jeweiligen Scheitelpunkte der Grafik die Teilung anderer Grafikdaten beeinflussen, so daß dadurch die Anzahl der erzeugten Mikrografiken verringert und die Güte der Zeichendaten verbessert wird.

(2) Als nächstes führt die CPU 3 den Vorgang der Duplizie rungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung in den Streifen der X-Richtung (Schritt S2A) sowie der Duplizierungs-Eli minierung und der Tonwertumkehrung in den Streifen der Y- Richtung (Schritt S2B) in jedem Grafikdaten-Verarbeitungs bereich 12 aus. Dabei wird die bekannte Streifenmethode als Verarbeitungsmethode sowohl in Schritt S2A als auch in Schritt S2B angewandt.

Zuerst werden Teilungslinien in den gesamten Verarbeitungs bereich in einer Festrichtung (die der Horizontal- oder der Vertikalrichtung entspricht) vom Scheitelpunkt der jewei ligen Grafik eingesetzt, um die Streifen zu bilden. Dann werden die jeweiligen Grafiken an Streifengrenzen geteilt. Die Fig. 38 und 39 zeigen einen Fall der Teilung in Hori zontalrichtung.

Als nächstes erhält jede Seite der jeweiligen geteilten Grafiken eine Orientierung (Richtungszeiger). Die Art und Weise der Orientierung ist entweder durch Rechtslauf oder Linkslauf der jeweiligen Scheitelpunkte entlang den Seiten bestimmt. Die Fig. 38 und 39 zeigen einen Fall von Rechts lauf (Uhrzeigersinn).

Als nächstes werden unnötige Vektoren (d. h. duplizierte Bereiche der Grafik) beseitigt. Die Methode ihrer Beseiti gung wird nachstehend beschrieben.

Zuerst wird jeder Vektor mit Koordinatenwerten für jeden Streifen geordnet. Dann erhält jeder Vektor einen Zahlenwert entsprechend der Vektorrichtung. Beispielsweise erhalten nach oben zeigende Vektoren den Zahlenwert 1, und nach unten gerichtete Vektoren erhalten den Zahlenwert -1. Dieses Beispiel ist in bezug auf einen Streifen 5 in Fig. 38 gezeigt.

Wenn die Streifen in Horizontalrichtung gebildet sind, wer den dann die den jeweiligen Vektoren gegebenen Zahlenwerte (die vektoriellen Werten entsprechen) in der Reihenfolge von links addiert auf der Suche nach einem Vektor, bei dem die Summe 0 wird. Eine Grafik wird mit dem Vektor, bei dem die Addition begonnen wurde, und dem Vektor, bei dem das Addi tionsergebnis der vektoriellen Werte 0 wird, konstruiert.

Ein Beispiel einer solchen Verarbeitung kann unter Bezug nahme auf den Streifen 5 in Fig. 39 beschrieben werden: Dabei beginnt die Addition bei dem Vektor am linken Ende, und das Additionsergebnis der vektoriellen Werte wird 2 in der Phase der Addition des zweiten Vektors, es wird 1 in der Phase der Addition des dritten Vektors, und es wird 0 in der Phase der Addition des vierten Vektors. Daher wird eine Grafik mit dem Vektor am linken Ende in dem Streifen 5 und dem von dort ausgehend vierten Vektor konstruiert, und der zweite und der dritte Vektor werden als unnötige Vektoren beseitigt. Das Verarbeitungsergebnis wird dann so, wie es in Fig. 39 gezeigt ist.

Die Duplizierung aller Grafiken kann beseitigt werden, wenn diese Verarbeitung an allen Vektoren in allen Streifen durchgeführt wird.

Die Methode der Tonwertumkehrung der Grafik wird unter Bezugnahme auf die Fig. 40 und 41 beschrieben.

Die Verarbeitung beginnt in dem Zustand, in dem die jewei ligen Seiten nach Duplizierungs-Eliminierung der Grafik in Vektoren aufgeteilt sind. Zuerst wird ein Bereich (Rahmen) für die Tonwertumkehrung vorgegeben, und die diesem Rahmen entsprechende Grafik (d. h. ein Viereck) wird in Vektoren entsprechend den jeweiligen Streifen geteilt, und ein Vek torrichtungswert wird für jeden Vektor auf die gleiche Weise wie im Fall der Duplizierungs-Eliminierung vorgegeben.

Als nächstes wird die Vektorrichtung, die in dem Tonwert umkehrbereich vorhanden ist, umgekehrt. Bezogen auf die Fig. 38 und 39 werden zum Zeitpunkt der Duplizierungs-Elimi nierung die nach oben gesetzten Vektoren nach unten ge richtet, und die nach unten gesetzten Vektoren werden nach oben gerichtet. Dieser Zustand ist in Fig. 40 gezeigt.

Die darauffolgende Verarbeitung ist die gleiche wie die Verarbeitung zur Duplizierungs-Eliminierung. Die Addition der vektoriellen Werte beginnt bei dem Vektor an dem Ton wertumkehrungs-Rahmen für jeden Streifen auf der Suche nach einem Vektorpaar, bei dem der Additionswert 0 wird, so daß eine Grafik gebildet wird. Fig. 41 zeigt den Zustand der Tonwertumkehrung.

Die Fig. 7 bis 9 zeigen Beispiele von Ergebnissen des oben beschriebenen Ablaufs in X- und in Y-Richtung für einen Grafikdaten-Verarbeitungsbereich 12.

Durch das Berechnen des Mikrografik-Bewertungswerts mit der anschließenden Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurtei lungs/Auswählfunktion gegenüber den Ergebnissen der Dupli zierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung in den jeweiligen Richtungen (nachstehend auch als Grafikdaten verarbeitungsergebnis für den Erhalt eines Positionsdaten signals einer Grundgrafik in dem Grafikdaten-Verarbei tungsbereich 12 bezeichnet) und durch die Durchführung eines Vergleichs und einer Auswahl wird es somit möglich, die Menge der erzeugten Mikrografiken zu verringern und Zei chendaten höherer Güte zu erzeugen.

(3) Als nächstes wird die Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion von Schritt S3 im einzelnen erläutert. Die Flußdiagramme der Fig. 10 bis 12 zeigen den Verarbeitungsablauf der Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion von Fig. 2. Dabei ist jedoch die unterbrochene Linie BL1 in Fig. 10 eine Grenzlinie, um die Erstellung eines kompletten Flußdiagramms in den Fig. 11 und 12 zu vereinfachen.

In Schritt S31 gibt die Eingabeeinheit 5 ein Datensignal ein, das einen Mikrografik-Dimensionswert bezeichnet, und nach Empfang dieses Datensignals speichert die CPU 3 die diesen Wert bezeichnende Information in dem Hauptspeicher 6.

Wie bereits beschrieben wurde, hängt zwar der Mikrografik- Dimensionswert weitgehend von der Art der verwendeten Zeichenvorrichtung oder den Verarbeitungsbedingungen usw. ab, bei diesem Beispiel ist er aber mit einem Wert von 0,5 µm als allgemeiner Wert vorgegeben. Wenn daher der Wert wenigstens einer Seite der Grundgrafik 0,5 µm oder kleiner ist, wird das als die Mikrografik erkannt.

Dann speichert die CPU 3 das Grafikdatenverarbeitungs ergebnis für die X-Richtung, das in Schritt S2A erhalten wurde, d. h. die Positionskoordinateninformation der je weiligen Grundgrafiken, die erhalten wurden (diese Infor mation wird als Grundgrafikinformation 1 bezeichnet) durch Teilung des Innenbereichs des betroffenen Bereichs 12 in der X-Richtung in Einheiten eines Grafikdaten-Verarbeitungs bereichs 12 und durch Vornahme des Tonwertumkehrungs prozesses darin, in dem Externspeicher 7, indem der be troffene Bereich 12 als eine Dateieinheit gesetzt wird (Schritt S32). Auf die gleiche Weise speichert die CPU 3 das Grafikdatenverarbeitungsergebnis für die Y-Richtung, das in Schritt S2B erhalten wird, in dem Externspeicher 7 als eine Grundgrafikinformation 2 (Schritt S33).

Als nächstes geht die CPU 3 zur Ausführung des Programms, das den Kern der betreffenden Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion bildet. Zuerst liest die CPU 3 in Schritt S34 die Grundgrafikinformation 1 und die Grundgrafikinformation 2 in bezug auf einen Grafikda tenverarbeitungsbereich 12, der den Gegenstand der Beurtei lung des Grafikdatenverarbeitungsergebnisses bildet, aus dem Externspeicher 7 aus und speichert sie in dem Hauptspeicher 6.

Die CPU 3 ruft die erforderlichen Daten in dem Hauptspeicher 6 ab und berechnet für die Grundgrafikinformation 1 und die Grundgrafikinformation 2 jeweils den Mikrografik-Bewer tungswert unter Nutzung des Mikrografik-Dimensionswerts als Kriterium der Auswertung (Schritte S35A, S35B). Der hier beschriebene Mikrografik-Bewertungswert ist gegeben durch den numerischen Ausdruck des Grads des Einflusses, den die Mikrografiken auf das Zeichnen mit einem bestimmten Index haben. Je größer dieser Wert ist, umso größer ist der Grad des Einflusses der Mikrografiken auf den Zeichenvorgang. Die Methode der Berechnung des Mikrografik-Bewertungswerts wird später beschrieben.

Als nächstes vergleicht die CPU 3 die Mikrografik-Bewer tungswerte VAL1, VAL2, die in Schritten S35A, S35B erhalten wurden (Schritt S36), und wählt das Grafikdatenverarbei tungsergebnis mit dem kleineren Mikrografik-Bewertungswert aus und gibt es in den Hauptspeicher 6 ab (Schritte S37A, S37B). Und die CPU 3 führt diese Operationen (S34 bis S37A, S37B) aus, bis kein weiterer unverarbeiteter Grafikdatenver arbeitungsbereich 12 mehr vorhanden ist (Schritt S38).

Als nächstes wird die vorgenannte Methode der Berechnung der Mikrografik-Bewertungswerte VAL1, VAL2 unter Bezugnahme auf das Flußdiagramm von Fig. 13 beschrieben. Dabei beurteilt die CPU 3 für jede der eingegebenen Grundgrafiken, ob die Breitendimension oder die Höhendimension nicht größer als der gegebene Mikrografik-Dimensionswert ist (Schritt 351 bis Schritt S353). Wenn beurteilt wird, daß die Grundgrafik eine solche Dimension hat, erkennt die CPU 3 diese Grundgrafik als die Mikrografik, summiert die Anzahl der Mikrografiken gegenüber allen Grundgrafiken innerhalb des betroffenen Grafikdatenverarbeitungsbereichs (Schritt S354), und gibt die erhaltene Gesamtanzahl von Mikrografiken als die Mikro grafik-Bewertungswerte (VAL1, VAL2) ab (Schritt S355).

Ein konkretes Beispiel dieses Ablaufs wird unter Bezugnahme auf ein Beispiel der Fig. 7 bis 9 beschrieben. Es sei ange nommen, daß einer der abgeteilten Grafikdatenverarbei tungsbereiche in Fig. 12 ein in Fig. 7 gezeigter Bereich ist, und die nachstehende Beschreibung bezieht sich speziell auf diesen Grafikdatenverarbeitungsbereich 12. Wenn diese Daten den Vorgängen der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung mit den Streifen in der X- und Y-Richtung unterzogen werden, wird das Ergebnis so, wie es in den Fig. 8 bzw. 9 gezeigt ist. Als nächstes wird der Mikrografik- Dimensionswert zuerst durch die Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion berechnet, und im Fall von Fig. 8 existieren zehn Mikrografiken 13, während im Fall von Fig. 9 keine Mikrografik existiert. Infolgedessen werden die Mikrografik-Bewertungswerte VAL1, VAL2 zu 10 bzw. 0, und als Ausgabeinformation werden die Daten von Fig. 9 (entspre chend der Grundgrafikinformation 2) in bezug auf den Strei fen in der Y-Richtung ausgewählt.

Es wird die Zeichenfeldgrenze-Teilungsfunktion in Schritt T4 ausgeführt. Bei dieser Funktion wird der Zeichenbereich in Bereiche geteilt, in denen das Elektronenstrahl-Zeichen system nur unter Ablenkung des Elektronenstrahls zeichnen kann (nachstehend als "Zeichenfeldbereiche" bezeichnet). Danach wird die Elektronenstrahl-Zeichendatenformatier funktion von Schritt T5 zur Formatierung der Daten zu einer Struktur ausgeführt, die zur Eingabe in verschiedene Zei chensysteme verfügbar ist, so daß die Elektronenstrahl- Zeichendaten erzeugt werden. Das hier als Beispiel verwen dete Zeichensystem mit variabler Strahlformung kann die Größe des Zeichenfeldbereichs mit einem fakultativen Wert von gewöhnlich 2,5 mm oder kleiner vorgeben.

Wie vorstehend beschrieben, ist es bei dieser ersten Ausfüh rungsform möglich, bei dem Vorgang der Duplizierungs- Eliminierung und der Tonwertumkehrung nicht nur den Bereich zu unterdrücken, in dem die jeweiligen Scheitelpunkte der Grafik auf die Teilung anderer Grafikdaten einen Einfluß haben, sondern auch eine deutliche Verringerung der Erzeu gung von Mikrografiken zu realisieren, und zwar wegen der Funktion der Durchführung der Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkehrung mit den Streifen in der X- bzw. der Y- Richtung und des Vergleichens, Beurteilens und Auswählens der Ergebnisse dieser Operationen, was die Erzeugung von Zeichendaten hoher Güte ermöglicht.

(Erstes Anwendungsbeispiel der ersten Ausführungsform)

Als Beispiel einer ersten Anwendung der ersten Ausführungs form kann die in Schritt S1 von Fig. 2 beschriebene Grafik datenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion auch als eine unabhängige Funktion getrennt von der Teilchenstrahl- Zeichendatenerzeugungsvorrichtung (2 in Fig. 2) beispiels weise in dem Verarbeitungsablauf der herkömmlichen Zeichen datenerzeugungsvorrichtung gemäß Fig. 37 vorgesehen sein. Ein solches Anwendungsbeispiel ist in dem Zeichendaten erzeugungsfluß von Fig. 14 gezeigt. Dabei sind die Schritte T1 bis T5, T2A und T2B die gleichen wie bei der herkömm lichen Ausführungsform.

Dadurch kann die Erzeugung von Mikrografiken zum Zeitpunkt der Duplizierungs-Eliminierung verringert werden, und infolgedessen wird die Erzeugung von Mikrografiken, die aus der Tonwertumkehrung resultieren, auch dann in Richtung einer Unterdrückung gesteuert, wenn Schritt T2 ausgeführt wird, wenn eine Tonwertumkehrung notwendig ist, so daß es möglich ist, die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit von Fotolackstrukturen zu vermindern. Ein weiterer Vorteil ist ferner, daß der Ablauf der Schritte T2A, T2B, die durchgeführt werden, wenn keine Tonwertumkeh rung notwendig ist, ebenfalls leicht ausgeführt werden kann, weil die in Schritt T1 erzeugte Menge an Mikrografiken vor her unter vorhergehender Ausführung von Schritt S1 ver ringert wird.

(Zweites Anwendungsbeispiel der ersten Ausführungsform)

Die erste Ausführungsform ist besonders in einem Fall effektiv, in dem die Tonwertumkehrung verlangt wird, und die Beschreibung bezieht sich beispielhaft auf einen solchen Fall. Aber auch dann, wenn kein Tonwertumkehrungsvorgang benötigt wird, kann die Erzeugung von Mikrografiken ver ringert werden, indem die Verarbeitung nach der Duplizie rungs-Eliminierung mit Hilfe der Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion von Schritt S3 in Fig. 2 ausgeführt wird. Dieses Beispiel der zweiten Anwendung entspricht dabei demjenigen, bei dem der Teil mit den Schritten T2A, T2B in Fig. 37 durch den Schritt S3 von Fig. 2 ersetzt wird. Ein Beispiel eines konkreten Verarbeitungs ablaufs dieses zweiten Anwendungsbeispiels ist in Fig. 15 gezeigt.

Die Verarbeitung gemäß Fig. 15 bietet gegenüber den Schritten T2A, T2B von Fig. 37 den folgenden Vorteil: Dieses zweite Anwendungsbeispiel kann die Verarbeitungszeit weiter verkürzen, weil es den Verarbeitungsablauf vereinfachen und Operationen entwickeln kann, indem die herkömmlich ange wandte Methode so beibehalten wird, wie sie ist.

(Drittes Anwendungsbeispiel der ersten Ausführungsform)

Der technische Gedanke der ersten Ausführungsform führt fer ner zu den gleichen Effekten wie bei der ersten Ausführungs form unter Anwendung der Grafikdatenverarbeitungsbereich- Teilungsfunktion und der Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion nicht nur für die Tonwertumkeh rung und die Duplizierungs-Eliminierung, wie das oben be schrieben wurde, sondern auch für verschiedene Arten von Grafikoperationsprozessen unter Anwendung der Streifenme thode wie beispielsweise eines Abgabevorgangs nur dupli zierter Teile (entsprechend einer UND-Verarbeitung).

(Zweite Ausführungsform)

Während bei der Beschreibung der ersten Ausführungsform der Mikrografik-Bewertungswert als die Gesamtzahl von Mikrogra fiken in der Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/ Auswählfunktion gegeben ist, wird bei dieser zweiten Aus führungsform der Mikrografik-Bewertungswert statt dessen als die Summe der Länge langer Seiten von Mikrografiken berech net, wie das Flußdiagramm von Fig. 16 zeigt (siehe die Schritte S354A, S355A). Die übrigen Aspekte sind die glei chen wie bei der ersten Ausführungsform.

Dadurch wird es möglich, eine hochpräzise Mikrografikbewer tung vorzunehmen und als Folge davon Zeichendaten höherer Güte im Vergleich mit der ersten Ausführungsform zu erhal ten. Der Grund hierfür ist schematisch in Fig. 17 gezeigt. Von den zwei Grafikdaten in Fig. 17 hat die oben gezeigte Information zwei Mikrografiken 3A, 3B, und die Anzahl ihrer Mikrografiken ist kleiner als die der Grafikdaten, die unten gezeigt sind, wobei vier Mikrografiken 3C, 3D, 3E, 3F vor handen sind. Aber die jeweiligen langen Seiten der Mikro grafiken 3A, 3B im ersteren Fall sind länger als die entsprechenden langen Seiten der Mikrografiken 3C bis 3F. Das bedeutet, daß die Ausdehnung von Bereichen, in denen Mikrografiken vorhanden sind, die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit weiter beschleunigt. Es bedeutet daher, daß es besser ist, den Mikrografik-Bewer tungswert dadurch zu bestimmen, daß die Summe von langen Seiten von Mikrografiken anstatt die Summe der Anzahl von Mikrografiken genutzt wird, um bessere Grafikdaten auszu wählen und abzugeben. Nach dieser Methode werden die letzt genannten Grafikdaten im Fall von Fig. 17 ausgewählt, und das führt zu günstigeren Ergebnissen.

(Dritte Ausführungsform)

Bei der zweiten Ausführungsform wird der Mikrografik-Bewer tungswert mit der Summe der Länge von langen Seiten jeder Mikrografik bei der Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion berechnet; dagegen wird bei dieser dritten Ausführungsform der Mikrografik-Bewertungs wert als die Summe der Oberflächen jeweiliger Mikrografiken berechnet, wie das Flußdiagramm von Fig. 18 zeigt (siehe die Schritte S354B, S355B). Das ergibt die gleichen Auswirkungen wie bei der zweiten Ausführungsform.

(Vierte Ausführungsform)

Während bei der dritten Ausführungsform der Mikrografik- Bewertungswert mit der Summe der Oberflächen jeweiliger Mikrografiken in der Grafikdatenverarbeitungsergebnis- Beurteilungs/Auswählfunktion berechnet wird, wird bei der vierten Ausführungsform der Mikrografik-Bewertungswert als die Summe der Seitenverhältnisse (entsprechend (Länge von langer Seite)/(Länge von kurzer Seite)) jeweiliger Mikro grafiken berechnet, wie das Flußdiagramm von Fig. 19 zeigt (siehe die Schritte S354C, S355C). Das ergibt die gleichen Auswirkungen, die denen der zweiten und der dritten Ausfüh rungsform entsprechen oder überlegen sind.

Dabei zeigt Fig. 20 schematisch den Punkt, an dem die vierte Ausführungsform der zweiten und der dritten Ausführungsform überlegen ist, und in dieser Figur bezeichnet "d" einen Mikrografik-Dimensionswert. Gemäß der zweiten Ausführungs form werden die zwei Grafikdaten Höhe h1, Höhe h2 als gleich bewertet. Bei der dritten Ausführungsform hat ferner die Mikrografik der Höhe h1 eine kleinere Oberfläche, und das führt zu der Auswahl dieser Grafikinformation, es ist aber nicht richtig, diese Grafikinformation der Höhe h1 auszu wählen, weil die Verschlechterung der dimensionsmäßigen Genauigkeit der gebildeten Fotolackstruktur zunimmt, während ein schmalerer Bereich auf solche Weise gebildet wird, daß er sich in der Horizontalrichtung breiter ausdehnt. In die sem Fall sollte die Grafikinformation der Höhe h2 ausgewählt werden. An diesem Punkt kann die vierte Ausführungsform als der zweiten und der dritten Ausführungsform überlegen ange sehen werden, weil dabei die Grafikinformation der Höhe h2 ausgewählt wird.

(Zusatz)

Es ist ebenfalls in Ordnung, den Mikrografik-Bewertungswert durch Nutzung von wenigstens zwei Kombinationen der ersten bis vierten Ausführungsform zu berechnen.

(Fünfte Ausführungsform)

Während bei der ersten bis vierten Ausführungsform die Grundgrafiken, die eine Dimension haben, die nicht größer als der als Festwert vorgegebene Mikrografik-Dimensionswert ist, als die Mikrografiken in der Grafikdatenverarbeitungs ergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion beurteilt werden, wird die dimensionsmäßige Steuerung von tatsächlichen Zeichen strukturen vom Gesichtspunkt der Schwierigkeit der Steuerung der Form des Elektronenstrahls schwieriger im Fall der Grundgrafiken, die eine Dimension haben, die nicht größer als der Mikrografik-Dimensionswert ist, und im Fall der Grundgrafiken, deren Dimension kleiner ist.

Bei dieser fünften Ausführungsform wird daher der Mikro grafik-Dimensionswert mit einer größeren Anzahl von Dimen sionsbereichen bezeichnet, und eine Gewichtung, die den Grad der Bedeutung des Mikrografik-Dimensionswerts anzeigt, wird für die jeweiligen Bereiche vorgegeben, wie die Flußdia gramme der Fig. 21 bis 23 zeigen (siehe Schritt S31A). Das ermöglicht die Durchführung der Mikrografik-Bewertung mit höherer Präzision gegenüber der ersten bis vierten Ausfüh rungsform und somit den Erhalt von Zeichendaten höherer Güte.

Die Schritte S35AD, S35BD können jede der Methoden sein, die in Verbindung mit der ersten bis vierten Ausführungsform beschrieben wurden, oder jede Kombination dieser Methoden. Beispielsweise erfolgt die Berechnung des Mikrografik-Be wertungswerts (VAL1, VAL2) durch Multiplikation der Anzahl von Teilen, d. h. 1, mit der Gewichtung, um die Aufsum mierung zu erhalten, wenn die Methode der ersten Ausfüh rungsform angewandt wird (siehe Fig. 24), und erfolgt durch Multiplikation der Länge bzw. der Oberfläche bzw. des Seitenverhältnisses mit der Gewichtung, um die Aufsummierung zu erhalten, wenn die Methode der zweiten bzw. dritten bzw. vierten Ausführungsform angewandt wird.

Fig. 24 zeigt ein Beispiel der Methode der Bezeichnung des Bereichs des Mikrografik-Dimensionswerts und der Methode der Bezeichnung der Gewichtung. Dabei sind als die Mikrografik- Dimensionswertbereiche fünf Bereiche von 0,1 µm oder darunter, größer als 0,1 µm, aber nicht mehr als 0,2 µm, größer als 0,2 µm, aber nicht mehr als 0,3 µm, größer als 0,3 µm, aber nicht mehr als 0,4 µm, und größer als 0,4 µm, aber nicht mehr als 0,5 µm, gegeben. In dieser Figur be zeichnet das Symbol L die Seitenlänge der Grundgrafik, die als die Mikrografik erkannt wird, und wenn gefunden wird, daß die Seitenlänge L der Grundgrafik in dem Bereich des Mikrografik-Dimensionswerts liegt, der beispielsweise als der Bereich von 0,2 µm bis 0,3 µm bezeichnet ist, wird die Gewichtung zu 3.

(Zusammenfassung)

Wie oben beschrieben, wird es mit den jeweiligen Ausfüh rungsformen der Erfindung möglich, zum Zeitpunkt der her kömmlichen Duplizierungs-Eliminierung und der Tonwertumkeh rung diejenigen Bereiche, in denen die jeweiligen Scheitel punkte der Grafik die Teilung von anderen Grafikdaten be einflussen, dadurch unterdrückend zu steuern, daß die Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion vorgesehen ist, und außerdem ist es möglich, eine deutliche Vermin derung der Erzeugung von Mikrografiken zu realisieren, um so Zeichendaten hoher Güte zu erzeugen, weil die jeweiligen Ausführungsformen so ausgebildet sind, daß sie die Grafikda tenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion haben, um die Duplizierungs-Eliminierung und die Tonwertumkehrung mit den Streifen der X- bzw. der Y-Richtung auszuführen und die Ergebnisse zu vergleichen, zu beurteilen und aus zuwählen.

Claims

1. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung, die aus einem Entwurflayoutdatensignal ein Zeichendatensignal zur Eingabe in eine Teilchenstrahl-Zeichenvorrichtung erzeugt, gekennzeichnet durch

- eine Eingabeeinrichtung (5) zur Eingabe eines Signals, das Dimensionsdaten eines Grafikdatenverarbeitungsbereichs be zeichnet; und
- eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion, um einen von dem Entwurflayoutdatensignal bezeichneten Bereich in Einheiten eines Grafikdatenverarbeitungsbereichs zu teilen, wobei der Grafikdatenverarbeitungsbereich durch die von der Eingabeeinrichtung bezeichneten Dimensionsdaten des Grafikdatenverarbeitungsbereichs bestimmt ist.

2. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß die Eingabeeinrichtung außerdem ein Signal eingibt, das einen Mikrografik-Dimensionswert bezeichnet, und
- daß die Vorrichtung ferner folgendes aufweist:
eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, die für jeden der Grafikdatenverarbeitungsbereiche und sowohl für eine Horizontal- als auch eine Vertikalrich tung des von dem Entwurflayoutdatensignal gegebenen Be reichs eine vorgeschriebene Grafikverarbeitungsoperation an dem Entwurflayoutdatensignal ausführt, um ein Gra fikdatenverarbeitungsergebnis zu erzeugen, wobei das Gra fikdatenverarbeitungsergebnis Datensignale von Grundgra fiken ergibt, die in dem betreffenden Grafikdatenverar beitungsbereich gebildet sind; und
eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion, um für jeden der Grafikdatenverarbeitungs bereiche und jeweils für die Horizontal- und die Verti kalrichtung Mikrografiken bezeichnende Datensignale aus den Datensignalen der Grundgrafiken, die in dem Grafik datenverarbeitungsergebnis enthalten sind, auf der Basis des Signals des Mikrografik-Dimensionswerts zu beurtei len, um einen Mikrografik-Bewertungswert zu bestimmen, der einen Grad der Beeinflussung des Teilchenstrahl zeichnens durch die Mikrografiken bezeichnet, und um die Mikrografik-Beurteilungswerte in bezug sowohl auf die Horizontal- als auch die Vertikalrichtung zu vergleichen und somit dasjenige Grafikdatenverarbeitungsergebnis aus zuwählen, in bezug auf dessen Richtung der Mikrografik- Bewertungswert kleiner ist.

3. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion eine Duplizierungs-Eliminier- und Tonwertumkehr-Funktion aufweist, um einen Vorgang der Beseitigung von duplizierten Teilen und einer Tonwertumkehrung in dem Entwurflayout datensignal als die vorgeschriebene Grafikdatenverarbei tungsoperation auszuführen.

4. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Beurteilungsfunktion aufweist, um zu beurteilen, daß das Datensignal der betreffenden Grundgrafik die genannte Mikrografik ergibt, wenn jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung wenigstens einer von Dimensionswerten der Seiten der Grundgrafik nicht größer als der Mikrografik-Dimensionswert ist.

5. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um die Zahl der Mikrografiken entsprechend einem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungsfunktion aufzusummieren und die Summe als den Mikrografik-Bewer tungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung.

6. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um die Längen der langen Seite der Mikrografiken entsprechend dem Beurteilungsergebnis der Mikrografik- Beurteilungsfunktion aufzusummieren und die Summe als den Mikrografik-Bewertungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung.

7. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um die Oberflächen der Mikrografiken entsprechend dem Beurteilungsergebnis der Mikrografik-Beurteilungsfunk tion aufzusummieren und eine Summe der Oberflächen dieser Mikrografiken als den Mikrografik-Bewertungswert abzugeben, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikal richtung.

8. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion aufweist, um jeweils für die Horizontal- und die Vertikal richtung die Seitenverhältnisse, die als Verhältnis der Länge der langen Seite zu der Länge der kurzen Seite der Mikrografiken gemäß dem Beurteilungsergebnis der Mikrogra fik-Beurteilungsfunktion gegeben sind, aufzusummieren und eine Summe dieser Seitenverhältnisse der Mikrografiken als den Mikrografik-Bewertungswert abzugeben.

9. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,

- daß die Eingabeeinrichtung nicht nur das Signal be zeichnet, das den Mikrografik-Dimensionswert über eine größere Anzahl von Mikrografik-Dimensionswertbereichen angibt, sondern auch ein Signal liefert, das eine Gewichtung vorgibt, wobei diese Gewichtung für jeden der Vielzahl von Mikrografik-Dimensionswertbereichen einen Bedeutungsgrad der Dimension der Mikrografik definiert, und
- daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion aufweist:
eine Mikrografik-Beurteilungsfunktion, um zu beurteilen, ob wenigstens einer von Dimensionswerten von Seiten der Grund grafik in einen der Vielzahl von Mikrografik-Dimensionswert bereichen fällt, um so zu beurteilen, ob das Datensignal der Grundgrafik die Mikrografik ergibt, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrichtung; und
eine Mikrografik-Bewertungswertrechenfunktion, um den Mikrografik-Bewertungswert auf der Basis des Signals, das die Gewichtung vorgibt, in Übereinstimmung mit den Mikro grafik-Dimensionswertbereichen aufgrund eines Ergebnisses, das von der Mikrografik-Beurteilungsfunktion als die Mikro grafik beurteilt ist, für jeweils die Horizontal- und die Vertikalrichtung zu berechnen.

10. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion eine Duplizierungs-Eliminierfunktion aufweist, um das Ent fernen von duplizierten Teilen in dem Entwurflayoutdaten signal als die vorgeschriebene Grafikverarbeitungsoperation auszuführen.

11. Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung, um aus einem Entwurflayoutdatensignal ein Zeichendatensignal zu erzeugen, das in eine Teilchenstrahl-Zeichenvorrichtung einzugeben ist, gekennzeichnet durch

- eine Eingabeeinrichtung (5) zur Eingabe eines Signals, das einen Mikrografik-Dimensionswert bezeichnet;
- eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, um vorgeschriebene Grafikverarbeitungsoperationen an dem Entwurflayoutdatensignal auszuführen und ein Grafikdaten verarbeitungsergebnis zu erzeugen, das Datensignale von Grundgrafiken bezeichnet, die in einem Bereich gebildet sind, der durch das Entwurflayoutdatensignal gegeben ist, und zwar jeweils für die Horizontal- und die Vertikalrich tung des genannten Bereichs; und
- eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion, um aus den Datensignalen der Grundgrafiken, die in dem Grafikdatenverarbeitungsergebnis enthalten sind, Mikrografiken bezeichnende Datensignale auf der Basis des Signals des Mikrografik-Dimensionswerts zu beurteilen, um einen Mikrografik-Bewertungswert zu bestimmen, der einen Grad der Beeinflussung des Teilchenstrahlzeichnens durch die Mikrografiken bezeichnet, und zwar für jeweils die Horizon tal- und die Vertikalrichtung, und um die Mikrografik- Bewertungswerte in bezug auf die Horizontal- und die Vertikalrichtung zu vergleichen und das Grafikdatenverarbei tungsergebnis in bezug auf diejenige Richtung auszuwählen, in der der Mikrografik-Bewertungswert kleiner ist.

12. Teilchenstrahl-Zeichensystem mit
einer Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung zum Erzeugen eines Zeichendatensignals aus einem gegebenen Entwurflayoutdatensignal und
mit einer Teilchenstrahl-Zeichenvorrichtung zur Durchführung von Teilchenstrahl-Zeichnen auf der Basis des Zeichenda tensignals, um eine Fotolackstruktur zu bilden,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Teilchenstrahl-Zeichendatenerzeugungsvorrichtung aufweist:

- eine Eingabeeinrichtung (5) zur Eingabe eines Signals, das eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Dimension angibt, und eines Signals, das einen Mikrografik-Dimensionswert angibt;
- eine Grafikdatenverarbeitungsbereich-Teilungsfunktion zum Teilen eines durch das Entwurflayoutdatensignal gegebenen Bereichs in Einheiten eines Grafikdatenverarbeitungs bereichs, der durch die Grafikdatenverarbeitungsbereich- Dimension bestimmt ist;
- eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Erzeugungsfunktion, um vorgeschriebene Grafikdatenverarbeitungsoperationen an dem Entwurflayoutdatensignal sowohl für eine Horizontal- als auch eine Vertikalrichtung des genannten Bereichs, der durch das Entwurflayoutdatensignal gegeben ist, auszuführen, um ein Grafikdatenverarbeitungsergebnis zu erzeugen, das Datensignale von Grundgrafiken, die in dem betreffenden Grafikdatenverarbeitungsbereich gebildet sind, für jeden Grafikdatenverarbeitungsbereich zu ergeben;
- eine Grafikdatenverarbeitungsergebnis-Beurteilungs/Aus wählfunktion, um Mikrografiken angebende Datensignale aus den Datensignalen der Grundgrafiken, die in dem Grafikda tenverarbeitungsergebnis enthalten sind, auf der Basis des von der Eingabeeinrichtung gegebenen Signals des Mikro grafik-Dimensionswerts zu beurteilen und so einen Mikro grafik-Bewertungswert zu bestimmen, der einen Grad der Be einflussung des Teilchenstrahl-Zeichnens durch die Mikro grafiken bezeichnet, und zwar für jeweils die Horizontal- und die Vertikalrichtung, und um die Mikrografik-Bewer tungswerte in bezug auf die Horizontal- und die Vertikal richtung zu vergleichen und das Grafikdatenverarbeitungs ergebnis in bezug auf diejenige Richtung, in der der Mikro grafik-Bewertungswert kleiner ist, für jeden Grafikdaten verarbeitungsbereich auszuwählen und abzugeben; und
- eine Zeichendatenerzeugungseinrichtung (CPU 3), um das Zeichendatensignal auf der Basis des Zeichendatenverarbei tungsergebnisses, das von der Grafikdatenverarbeitungser gebnis-Beurteilungs/Auswählfunktion abgegeben wird, zu erzeugen.