DE19600295A1 - Kapazitive Elektrodenschieblehre - Google Patents
Kapazitive ElektrodenschieblehreInfo
- Publication number
- DE19600295A1 DE19600295A1 DE19600295A DE19600295A DE19600295A1 DE 19600295 A1 DE19600295 A1 DE 19600295A1 DE 19600295 A DE19600295 A DE 19600295A DE 19600295 A DE19600295 A DE 19600295A DE 19600295 A1 DE19600295 A1 DE 19600295A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- cavity
- electrodes
- coupling
- capacitive electrode
- slide gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/20—Slide gauges
- G01B3/205—Slide gauges provided with a counter for digital indication of the measured dimension
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine kapazitive Elektrodenschieblehre, und
insbesondere auf eine kapazitive Elektrodenschieblehre, die eine teilchen
abdichtende und wasserabdichtende Funktion besitzt und unter schwieri
gen Bedingungen verwendet werden kann.
Elektronische Schieblehren werden allgemein in der güterherstellenden
Industrie verwendet. Kapazitive Positions-Meßwertaufnehmer werden fast
allgemein bei elektronischen Schieblehren zum Messen der Dicke und
anderer physikalischer Parameter verwendet. Diese kapazitiven Meßwert
aufnehmer umfassen ein Paar von Substraten, die sich relativ zueinander
entlang einer Meßachse bewegen. Die Substrate tragen Elektroden. Die
Elektroden auf jedem der Substrate sind an herkömmliche Schaltungen
zur Lieferung einer Anzeige der Relativposition zwischen zwei Substraten
als Funktion der Kapazität zwischen verschiedenen Elektroden in jedem
Satz angeschlossen. Die Schaltungen können solche des inkrementalen
Typs sein, bei dem die Schaltung nur eine Anzeige der inkrementalen
Bewegung von einem bekannten Punkt aus liefert; oder sie können
Schaltungen des Typs zur Messung der Absolutposition sein, bei dem die
Schaltung eine Anzeige der Relativposition zwischen zwei Substraten
liefert, unabhängig davon, ob die anfängliche Relativposition bekannt ist.
Positions-Meßwertaufnehmer des Typs zur Messung der inkrementalen
und der absoluten Position sind in den US-Patenten Nr. 4 420 754 und
4 879 508 beschrieben.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 die Struktur
seiner allgemeinen, kapazitiven Elektrodenschieblehre beschrieben, die mit
einem kapazitiven Positions-Meßwertaufnehmer arbeitet. Wie Fig. 1 zeigt,
weist eine Schieblehre 10 einen Hauptträger 12 und eine Läufereinheit
40 auf, welche in Längsrichtung des Hauptträgers 12 gleitet. Der Haupt
träger 12 ist auf seiner Oberfläche in Längsrichtung mit einer Meßskala
16 versehen, sowie mit Meßschnäbeln 26, 28 am Ende des Trägers. Wie
Fig. 2 zeigt, umfaßt die Meßskala 16 ein längliches Substrat 20, das in
einer im Hauptträger 12 gebildeten Vertiefung 14 angebracht ist. Ein
erster Satz von Elektroden 22 ist auf dem Substrat gebildet, das von
einer isolierenden Schutzauflage 24 bedeckt ist.
Wie Fig. 2 zeigt, umfaßt die Läufereinheit 40 einen Läufer 49, der auf
der Unterseite des Hauptträger 12 in Längsrichtung gleitet, und sie
umfaßt eine Meßgrößen-Aufnehmereinheit 70, die auf dem Läufer von
der Oberseite des Hauptträgers 12 her montiert ist. Der Läufer 49 kann
entlang des Hauptträgers 12 gleiten, indem er durch einen Druckstab 43
getragen wird, welcher in seiner Position durch ein Paar von Stellschrau
ben 44 justiert wird, wobei Meßschnäbel 46, 48 am Ende des Läufers 49
angebracht sind und sich zusammen mit den Meßschnäbeln 26, 28,
welche sich am Hauptträger 12 befinden, gegen einen Gegenstand anle
gen, und wobei eine Tiefenstange 50 auf der oberen Oberfläche des
Läufers 49 vorgesehen ist.
Die Meßgrößen-Aufnehmereinheit 70 besteht aus einem Substrat 76, wie
etwa einer Leiterplatte, einer Abdeckkappe 90, die die Oberfläche des
Substrats 76 bedeckt und einer nachgiebigen Dichtung 96, die zwischen
die Abdeckkappe 90 und das Substrat 76 eingefügt ist. Die Abdeckkappe
90 umfaßt Schalter 65, 67 sowie eine Digitalanzeige 63. Das Substrat 76
umfaßt einen zweiten Satz von Elektroden 80, die auf seiner Unterseite
gebildet sind, und sie umfaßt eine Meßanzeigeschaltung 82, die auf
seiner Oberseite gebildet ist. Die Meßanzeigeschaltung 82 ist an den
zweiten Satz von Elektroden 80 angeschlossen, um ein Signal auszugeben.
Das ausgesandte Signal kehrt vom ersten Satz von Elektroden 22 zum
zweiten Satz von Elektroden 80 zurück und wird dann von der Meß
anzeigeschaltung 82 empfangen, wodurch der erste Satz von Elektroden
22 und der zweite Satz von Elektroden 80 kapazitiv miteinander ver
bunden sind. Wenn sich daher der erste und der zweite Satz von Elek
troden 22 und 80 relativ zueinander bewegen, wird der Grad der gegen
seitigen Bewegung digital auf der Anzeige 63 angezeigt, nachdem eine
Änderung der elektrostatischen Kapazität zwischen dem ersten Satz von
Elektroden 22 und dem zweiten Satz von Elektroden 80 erfaßt worden
ist.
Bei der obigen Struktur der Schieblehre besteht ein Luftspalt 98 zwi
schen dem isolierenden Belag 24, welcher den ersten Satz von Elek
troden 22 bedeckt, und einem isolierenden Überzug 84, der den zweiten
Satz von Elektroden 80 bedeckt. Dieser Luftspalt 98 besitzt den Nachteil,
daß Fluids, wie etwa kühlende oder schneidende Fluids, sowie Teilchen,
welche sich in den Fluids befinden, in den Luftspalt infiltrieren, wenn
die oben beschriebene Schieblehre in Werkstätten oder in anderen relativ
verschmutzten Umgebungen verwendet wird.
Solche Verunreinigungen besitzen eine Dielektrizitätskonstante, die erheb
lich größer als die Dielektrizitätskonstante von Luft ist. Das Elektroden
muster wird fälschlich dadurch beeinflußt, daß die Verunreinigungen
normalerweise den Spalt 98 füllen, statt daß die ersten und zweiten
Elektroden 22 und 80 gegenseitig und präzise im nicht verschmutzten
Zustand bewegt werden. Unter diesen Umständen kann die Schieblehre
10 keine genauen Messungen liefern. Weiter haben im Falle, daß die
Verunreinigungen Widerstandscharakter haben, die Sprungwellensignale,
welche von einem Satz von Elektroden 22 oder 80 ausgesandt werden,
eine rasch abnehmende Amplitude, wenn sie über den Luftspalt 98 vom
anderen Satz empfangen werden. Die Abfallrate der Sprungwelle ist eine
Funktion der Zeitkonstante der elektrostatischen Kapazität zwischen dem
ersten und dem zweiten Satz von Elektroden 22 und 80 sowie dem
Widerstand der Verunreinigungen im Luftspalt 98. Bei Verunreinigungen
mit relativ geringem Widerstand, wie etwa leitenden Fluids oder metalli
schen Partikeln, kann die Zeitkonstante sehr kurz sein, was die gekoppel
te Sprungwelle veranlaßt, zu schnell abzunehmen, um von der Meßanzei
geschaltung 82 gemessen zu werden.
Der Nachteil von Verunreinigungen im Luftspalt 98 zwischen den Elek
trodensätzen 22, 80 ist seit langem erkannt worden. Es sind Versuche
unternommen worden, die Verunreinigungen daran zu hindern, Eingang
in den Luftspalt 98 zu finden, und zwar durch Verwenden von Gleitdich
tungen zwischen dem Substrat 76 und der Meßskala 16. Es sind auch
Versuche unternommen worden, den genannten Nachteil durch Verringern
der Größe des Luftspaltes 98 zu beseitigen, wodurch theoretisch die
Menge an Verunreinigungen verringert wird, die im Luftspalt 98 enthal
ten sein kann. Es sind sogar Versuche unternommen worden, den Ver
unreinigungsnachteil dadurch zu minimieren, daß es dem ersten Satz von
Elektroden 22 ermöglicht wird, auf dem zweiten Satz von Elektroden 80
über eine dünne, dielektrische Beschichtung hinwegzugleiten, wodurch
versucht wird, den Luftspalt 98 insgesamt zu beseitigen.
Diese Lösungen haben aber bei der üblichen Schieblehrenkonfiguration
nicht die gewünschte Zuverlässigkeit geschaffen, weil nach wie vor Ver
unreinigungen in den Luftspalt 98 eintreten. Die Größe und die Gleit
eigenschaft der Öffnung in den Luftspalt 98 machen es einer Gleitdich
tung unmöglich, Verunreinigungen für unbegrenzte Zeit aus dem Luftspalt
herauszuhalten. Das heißt, daß es den Verunreinigungen möglich ist, in
das Innere des Luftspaltes 98 einzudringen. Partikelförmige Verunreini
gungen üben entweder im Luftspalt 98 Kräfte aus, durch welche die
Zwischenraumfläche im Luftspalt 98 erweitert wird und es einer dickeren
Verunreinigungsschicht ermöglicht wird, die Messungen zu beeinflussen,
oder in einigen Fällen werden teilchenförmige Verunreinigungen im
Luftspalt verkeilt, wodurch ein unannehmbarer Widerstand oder Abrieb
zwischen dem zweiten Satz von Elektroden 80 und der Skala 16 ver
ursacht wird.
Eine der Möglichkeiten zum Schützen unterschiedlicher Präzisionsmeßvor
richtungen gegen flüssige und teilchenförmige Verunreinigungen besteht
darin, empfindliche Komponenten der Vorrichtungen gegen die äußere
Umgebung abzudichten. Allerdings wurde es bisher nicht für möglich
erachtet, den Luftspalt zwischen den Elektroden von kapazitiven Posi
tions-Meßwertaufnehmern, die in Schieblehren verwendet werden, wirksam
abzudichten, weil der den einen Satz von Elektroden tragende Läufer
zwangsläufig über die Oberfläche der Skala gleiten muß, die den anderen
Satz von Elektroden enthält. Daher ist der Luftspalt zwischen den beiden
Sätzen von Elektroden inhärent der äußeren Umgebung ausgesetzt, was
ständige Gelegenheit bietet, daß flüssige oder teilchenförmige Verunreini
gungen eintreten.
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine kapazitive Elektroden
schieblehre zu schaffen, die eine vollständige Zuverlässigkeit bietet, selbst
in schwierigsten Umgebungen, und zwar durch Fernhalten von teilchenför
migen und flüssigen Verunreinigungen.
Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine kapazitive
Elektrodenschieblehre zu schaffen, die im wesentlichen die übliche Form,
Handhabung und Griffigkeit der Schieblehre trotz der Merkmale beibe
hält, die erforderlich sind, um Verunreinigungen in der Umgebung
fernzuhalten.
Ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaf
fung einer kapazitiven Elektrodenschieblehre, die gegen Umweltverschmut
zungen unempfindlich ist, die kostengünstig ist, und die die Meßgenau
igkeit unter normalen Benutzungsbedingungen nicht gefährdet.
Eine kapazitive Elektrodenschieblehre zum Messen eines Innenmaßes und
eines Außenmaßes eines Gegenstandes ist dadurch gekennzeichnet, daß
sie aufweist: einen langgestreckten Hauptträger mit einem Satz von Meß
schnäbeln an einem Ende des Hauptträgers; ein Hohlraum bildendes
Bauteil auf dem Hauptträger zum Bilden eines Hohlraums entlang der
Längsrichtung des Hauptträgers; einen ersten Satz von Elektroden, die im
Hohlraum vorgesehen sind, um ein Muster entlang der Längsrichtung des
Hauptträgers zu bilden; einen zweiten Satz von Elektroden, die vorgese
hen sind, um sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von
Elektroden im Hohlraum zu bewegen; einen Läufer mit Meßschnäbeln,
die an den Gegenstand zusammen mit den Meßschnäbeln anstoßen,
welche am Hauptträger vorgesehen sind, und wobei dieselben vorgesehen
sind, um sich entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu bewegen; ei
ne Kupplungseinrichtung zum Kuppeln des Läufers mit dem zweiten Satz
von Elektroden, um den zweiten Satz von Elektroden zu veranlassen,
sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden als
Reaktion auf die Bewegung des Läufers zu bewegen; eine Dichtungs
einrichtung zum Abdichten der Innenseite des Hohlraumes gegen die
Außenseite im Kupplungszustand des Läufers und des zweiten Satzes von
Elektroden, durch die genannte Kupplungseinrichtung; und eine elek
trische Schaltungsanordnung, die die Verschiebung des Läufers auf dem
Hauptträger erfaßt, auf der Basis der elektrostatischen Kapazität zwischen
den genannten Sätzen von Elektroden, wobei die Vorrichtung an eine
der Elektroden angeschlossen ist.
Gemäß der obigen Struktur sind der erste Satz von Elektroden und der
zweite Satz von Elektroden in dem Hohlraum vorgesehen, der durch das
hohlraumbildende Bauteil geschaffen wird, wobei der zweite Satz von
Elektroden durch die Kuppeleinrichtung an den Läufer angeschlossen ist;
und wobei der Hohlraum gegen die Außenseite durch die Dichteinrich
tung abgedichtet ist, wodurch Fluids und teilchenförmige Verunreinigun
gen am Eintritt von der Außenseite her in den Hohlraum gehindert
werden. Die kapazitive Elektrodenschieblehre bietet also sichere Zuver
lässigkeit in hoch belastenden Umgebungen.
Bei der wie vorerwähnt aufgebauten kapazitiven Elektrodenschieblehre
können die Kupplungseinrichtungen so strukturiert werden, daß sie eine
Kuppelstange aufweisen, die parallel zur Längsrichtung des Hauptträgers
vorgesehen ist, um beide Enden der Kuppelstange aus dem Hohlraum
durch Hindurchtreten durch den im Hauptträger vorgesehenen Hohlraum
vortreten zu lassen, wobei die Kuppelstange mit dem zweiten Satz von
Elektroden in einem mittleren Abschnitt der Kuppelstange verbunden ist,
welche im Hohlraum plaziert ist und an den Läufer an demjenigen Ende
der Kuppelstange angeschlossen ist, das aus dem Hohlraum vorragt.
Daher ist die Kupplungseinrichtung, die den zweiten Satz von Elektroden
und den Läufer miteinander verbindet, so aufgebaut, daß sie die Kuppel
stange parallel zur Längsrichtung enthält, wodurch die kapazitive Elek
trodenschieblehre die herkömmliche Form, Handhabung und Griffigkeit
der Schieblehre im wesentlichen beibehalten kann.
Wenn die Kuppelstange eine Tiefenstange ist, die aus dem Ende des
Hauptträgers vorragt, und wenn der Läufer mit einem Paar von Anbin
dungsstangen versehen ist, die einen vom vorragenden Ende des Tauch
stabes entfernt liegenden Abschnitt festhalten, wird die Tiefenstange zum
Messen der Tiefe eines Loches als Kuppelstange benutzt, was zu niedri
gen Kosten und einer einfacheren Struktur führt.
Die Kupplungseinrichtung kann so aufgebaut werden, daß sie eine Kup
pelstange umfaßt, um durch den Hohlraum im Hauptträger hindurch
zutreten und parallel zur Längsrichtung des Hauptträgers zu verlaufen,
wobei die Kuppelstange an den zweiten Satz von Elektroden an einem
Ende der Kuppelstange angeschlossen ist, welches im Hohlraum plaziert
ist; und daß die Stange an den Läufer am anderen Ende der Kuppel
stange angeschlossen ist, das außerhalb des Hohlraumes plaziert ist. Die
Tiefenmessung des Loches kann also durch Einschieben des anderen
Endes der aus dem Hohlraum in das Loch des Gegenstandes vorragen
den Kuppelstange gemessen werden, mit dem Ergebnis, daß die Kuppel
stange als Tiefenstange zur Messung der Tiefe des Loches benutzt wird.
Dadurch wird die praktische Verwendbarkeit weiter verbessert.
Wie insoweit beschrieben, ist es wünschenswert, daß die Kuppelstange
und der zweite Satz von Elektroden Steifigkeit nur in der Bewegungs
richtung des zweiten Satzes der Elektroden aufweisen, und daß sie durch
ein nachgiebiges Elastomerbauteil in der anderen Richtung angeschlossen
sind. Weiter ist es wünschenswert, daß die Kuppelstange und der Läufer
Steifigkeit nur in der Bewegungsrichtung des zweiten Satzes der Elek
troden aufweisen, und daß sie durch ein nachgiebiges Elastomerbauteil in
der anderen Richtung angeschlossen sind. Daher kann eine Verzerrung
der Kuppelstange, usw. durch Biegung oder ein nachgiebiges Bauelement
absorbiert werden, so daß der zweite Satz von Elektroden entlang der
Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden mit einem hohen Genau
igkeitsgrad bewegt werden kann.
Das den Hohlraum schaffende Bauteil kann so gestaltet sein, daß es eine
Abdeckung aufweist, die einen auf der Oberseite des Hauptträgers vor
gesehenen Hohlraum besitzt, um eine Vertiefung auf der Oberseite der
Abdeckung entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu schaffen, und
daß es ein auf die Abdeckung gesetztes Gehäuse besitzt, um den Hohl
raum der Abdeckung zu schließen. In diesem Falle wird, wenn die
Abdeckung und das Gehäuse aus Glasfasern enthaltendem Kunststoff
bestehen, die Beständigkeit gegen Öl, wie etwa Schneidflüssigkeit oder
Schmieröl, verbessert.
Der Hohlraum der Abdeckung kann über die halbe Länge des Hohl
raums eine innere Nut aufweisen, die tiefer als der Hohlraum ist, wobei
die innere Nut mit einem Kupplungsblock versehen ist, der in der
inneren Nut gleitet, derart, daß der zweite Satz von Elektroden entlang
der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden bewegt wird. Wenn
die Kupplungsvorrichtung so gestaltet ist, daß sie eine Kuppelstange
besitzt, die im vertieften, entlang der Längsrichtung des Hauptträgers
gebildeten Abschnitt vorgesehen ist, um sich in der Längsrichtung des
eingeschnittenen Abschnittes zu bewegen, in welchem die Kuppelstange
mit dem Kupplungsblock am Ende der Kuppelstange verbunden ist,
welche in die innere Nut des Hohlraumes eingefügt ist und die am
anderen Ende der Kuppelstange an den Kupplungsblock angeschlossen ist,
kann in diesem Falle die kapazitive Elektrodenschieblehre die herkömm
liche Form, Betriebsweise und Griffigkeit der Schieblehre beibehalten,
weil die Kuppelstange, die den zweiten Satz von Elektroden und den
Läufer verbindet, parallel zur Längsrichtung des Hauptträgers zwischen
dem Hauptträger und der Abdeckung vorgesehen ist. Weiter gleitet bei
der Bewegung des Läufers der Kupplungsblock durch die Wirkung der
Kuppelstange in der inneren Nut, so daß der zweite Satz von Elektroden
veranlaßt wird, sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von
Elektroden zu bewegen, wodurch der zweite Satz von Elektroden ge
schmeidig entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden
bewegt werden kann.
Im vorliegenden Falle können die Kuppelstange und der Läufer mitein
ander durch eine Blattfeder verbunden werden. Wenn die Blattfeder so
ausgebildet ist, daß sie eine dünne Platte einer U-förmigen Ebene bildet
und einen mittleren Abschnitt aufweist, der an das Ende des Läufers
angeschlossen ist, sowie ein Paar von Seitenabschnitten, die am Läufer
befestigt sind, um einen geschätzten rechten Winkel an beiden Seiten des
mittleren Abschnittes in gegenseitiger paralleler Lage zu schaffen, kann
die Kuppelstange mit dem Läufer bei einem leichten Spiel zwischen dem
Hauptträger und der Abdeckung angekuppelt werden. Weiter kann eine
Verzerrung der Kuppelstange, und dergleichen, durch die Blattfeder
absorbiert werden, so daß der zweite Satz von Elektroden entlang der
Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden mit einem hohen Frei
heitsgrad bewegt werden kann.
Es ist ratsam, daß der Hohlraum ein Verbindungsloch schafft, welches
die Außenseite mit einem Belüftungselement verbindet, das im Verbin
dungsloch vorgesehen ist, um das Ausfließen von Fluid zu verhindern,
aber das Eintreten der Luft erlaubt. Wenn daher der zweite Satz von
Elektroden entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden
als Reaktion auf die Bewegung des Läufers bewegt wird, wird die Kup
pelstange natürlich von der Innenseite des Hohlraumes zur Außenseite
des Hohlraumes bewegt, wodurch der Luftdruck im Hohlraum gesteigert
oder verringert wird. Im vorliegenden Falle wird die im Hohlraum
befindliche Luft durch das Verbindungsloch zur Außenseite geblasen, und
von der Außenseite wird Luft ins Innere geblasen, mit dem Ergebnis,
daß der Luftdruck im Hohlraum auf einem gleichmäßigen Druck gehalten
werden kann. Die durch eine Änderung des Druckes im Hohlraum
verursachte Abnahme der Meßgenauigkeit kann also verhindert werden.
Weiter ist das Verbindungsloch mit einem Belüftungselement versehen,
das das Ausfließen von Fluid verhindert, jedoch das Eintreten von Luft
erlaubt, wodurch der Hohlraum mit Sicherheit gegen das Eintreten von
Fluids, wie etwa Kühl- oder Schneidflüssigkeiten, geschützt wird, wobei
die oben erwähnten Funktionen beibehalten bleiben. Gemäß der bisheri
gen Beschreibung ist es erwünscht, daß die Dichteinrichtung ein Abdicht
element umfaßt, das mit einem Durchgangsloch in der Höhlung versehen
ist, durch welches die Kuppelstange hindurchtritt. Weil der Hohlraum mit
Sicherheit gegen die Außenseite abgedichtet werden kann, wobei die
Kuppelstange am Läufer befestigt ist, werden Fluids und teilchenförmige
Verunreinigungen am Eintreten in den Hohlraum von außen her gehin
dert. Die kapazitive Elektrodenschieblehre gewährt daher sichere Zuver
lässigkeit in stark kontaminierenden Umgebungen.
Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegen
den Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von
Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung. Darin zeigen:
Fig. 1 eine isometrische Ansicht einer herkömmlichen kapazitiven
Elektrodenschieblehre, die einen kapazitiven Positions-Meßwert
aufnehmer verwendet;
Fig. 2 ist eine zerlegte isometrische Ansicht der in Fig. 1 dargestellten
kapazitiven Elektrodenschieblehre;
Fig. 3 ist eine schematische Querschnittsansicht der herkömmlichen
kapazitiven Elektrodenschieblehre, geschnitten entlang der Linie
3-3 der Fig. 1;
Fig. 4 ist eine isometrische Ansicht der ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 ist eine zerlegte isometrische Ansicht der ersten Ausführungs
form;
Fig. 6(A) und (B) stellen jeweils entsprechend eine isometrische Draufsicht (A)
und eine isometrische Unteransicht (B) der Hohlraumabdeckung
dar; die einen abgedeckten Hohlraum der kapazitiven Elektro
denschieblehre der ersten Ausführungsform bildet;
Fig. 7 ist eine isometrische Unteransicht des Aufbaus der kapazitiven
Elektrodenschieblehre gemäß der ersten Ausführungsform;
Fig. 8 ist eine Querschnittsansicht der montierten Anbindungsstangen
sowie der Tiefenstange der kapazitiven Elektrodenschieblehre
gemäß der ersten Ausführungsform;
Fig. 9 ist eine isometrische Ansicht der kapazitiven Elektrodenschieb
lehre einer zweiten Ausführungsform gemäß der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 10 ist eine zerlegte isometrische Ansicht der kapazitiven Elektro
denschieblehre der zweiten Ausführungsform;
Fig. 11 ist eine schematische Querschnittsansicht, geschnitten entlang der
Linie 11-11 der Fig. 9;
Fig. 12 ist eine isometrische Ansicht der kapazitiven Elektrodenschieb
lehre einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 13 ist eine zerlegte isometrische Ansicht der kapazitiven Elektro
denschieblehre der dritten Ausführungsform;
Fig. 14 ist eine geschnittene Seitenansicht eines Hauptträgers in der
kapazitiven Elektrodenschieblehre der dritten Ausführungsform;
Fig. 15 ist eine isometrische Ansicht des Aufbaus des Hauptträgers,
eines Läufers und einer Blattfeder in der kapazitiven Elektro
denschieblehre gemäß der dritten Ausführungsform; und
Fig. 16 ist eine schematische Querschnittsansicht, geschnitten entlang der
Linie 16-16 der Fig. 12.
Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen gemäß der vorliegen
den Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben.
Eine erste Ausführungsform ist in den Fig. 4 bis 8 dargestellt. Wie Fig.
4 zeigt, umfassen die Hauptelemente einer kapazitiven Elektrodenschieb
lehre 100 gemäß der vorliegenden Erfindung einen Hauptträger 102, eine
elektronische Einheit 124, eine Hohlraumabdeckung 140 und eine Läufer
einheit 188.
Der Hauptträger 102 ist einstückig mit einem Paar von Meßschnäbeln
220, 226 gebildet, die am Ende des Hauptträgers 102 ausgebildet sind;
und die elektronische Einheit 124 ist auf der Dachfläche des Haupt
trägers 102 befestigt. Die elektronische Einheit 124 ist eine herkömmliche
elektronische Anzeigeeinheit, die beispielsweise ein umkapseltes LCD-
Displayfenster 126, umkapselte Schalter 128 sowie ein Druckschaltungssub
strat bzw. eine Displayelektronik (nicht dargestellt) umfaßt, wobei alle
diese Komponenten in einem Gehäuse 134 eingeschlossen sind. Das
Gehäuse 134 enthält eine Energieversorgung (nicht dargestellt), wie etwa
eine Batterie oder Solarzellen, und sie ist auf dem Hauptträger 102 mit
Hilfe beispielsweise einer üblichen Befestigungseinrichtung oder Bondie
rung befestigt.
Die Hohlraumabdeckung 140 ist so plaziert, daß sie unter der Rückseite
des Hauptträgers 102 abschließt (während Fig. 4 nur den Endabschnitt
der Hohlraumabdeckung 140 zeigt), und sie weist im Inneren einen
Hohlraum (nicht dargestellt) auf.
Die Läufereinheit 188 umfaßt einen Läufer 190, der so gestaltet ist, daß
er entlang des Hauptträgers 102 gleitet. Der Läufer 190 ist mit einem
Paar von Meßschnäbeln 222, 228 ausgebildet, die sich zusammen mit
dem Paar von Meßschnäbeln 220, 226 an einem Gegenstand anlegen;
und sie ist mit einem Paar von Anbindungsstangen 200, 202 versehen.
Eine Befestigungszone 210 zum Festklemmen eines Justierabschnittes 212
einer Tiefenstange 156 zum Ausmessen eines Loches ist an den End
abschnitten der Anbindungsstangen 200, 202 gebildet.
Der innere Aufbau der Schieblehre 100 der Fig. 4 ist am deutlichsten in
Fig. 5 dargestellt. Der Hauptträger 102 ist an seiner Rückseite mit einer
Eintiefung 104 versehen, die entlang der Längsrichtung des Hauptträgers
102 gebildet ist, und in der eine Meßskala vorgesehen ist. Die Meßskala
106 umfaßt ein Substrat 108. Das Substrat 108 ist mit einem als Muster
ausgebildeten ersten Satz von Elektroden 110 entlang der Längsrichtung
des Hauptträgers auf der Rückseite des Substrats 108 versehen, sowie
mit einem Schaltungsanschluß 111 auf der Oberfläche des Substrats 108.
Der Schaltungsanschluß 111 ist an einen Elastomerstecker 120 ange
schlossen. Der Elastomerstecker 120 erstreckt sich durch eine Öffnung
122 im Hauptträger 102, um sich mit einem Schaltungssteckerschuh (nicht
dargestellt) zu vereinigen, der von der äußeren elektronischen Baueinheit
124 aus nach unten vorsteht, wenn die Anordnung 124 auf der oberen
Oberfläche des Hauptträgers 102 montiert ist.
Die Hohlraumabdeckung 140 weist einen darin eingeschnittenen Hohl
raum 142 auf, in welchem der Hohlraum 142 mit der Vertiefung 104
abgedichtet wird, die auf der Unterseite des Hauptträgers 102 gebildet
ist, während der abgedeckte Hohlraum 142 so ausgebildet ist, daß er
entlang der Längsrichtung des Hauptträgers 102 abgedichtet wird. Die
Abdeckung 140 ist am Hauptträger 102 vorzugsweise allein mit einem
Kleber befestigt, derart, daß der Hohlraum 142 durch eine wasserdichte
Abdichtung vollständig um seine Peripherie herum geschützt ist. Alterna
tiv kann die Abdeckung 140 am Hauptträger 102 durch herkömmliche
Miniaturbefestiger (nicht dargestellt) angeschlossen und mit einer Profil
dichtung 153 oder einem Abdichtmittel (nicht dargestellt) abgedichtet
werden.
Die Abdeckung 140 (vgl. die Fig. 6(A) und 6(B)) ist mit einer langge
streckten inneren Nut 146 und einem Durchtrittsloch 148 versehen, wobei
das auf der Unterseite der Abdeckung 140 befindliche Durchgangsloch
mit dem Ende der inneren Nut 146 in Verbindung steht. Das Durch
gangsloch 148 ist so ausgebildet, daß es die permanente Einfügung einer
herkömmlichen, reibungsarmen Miniaturlippendichtung 150 gestattet. Die
Miniaturlippendichtung 150 ist zylindrisch ausgebildet und besitzt einen
Lochdurchmesser; der so bemessen ist, daß er mit dem Durchmesser
einer Tiefenstange 156 zusammenpaßt, derart, daß eine reibungsarme,
wasserdichte und partikeldichte Abdichtung zwischen der Dichtung 150
und der Tiefenstange 156 gebildet wird.
Die Tiefenstange 156 wird durch die Lippendichtung 150 eingeschoben,
so daß sie in der inneren Nut 146 gleiten kann. Die Tiefenstange 156
im Hohlraum 142 ist mit einem Substratkupplungsblock 182 über einen
Flexor 172 mit einem einzelnen Steifigkeits-Freiheitsgrad (in axialer
Richtung) verbunden. Der Kupplungsblock 182 ist am Substrat 170
beispielsweise durch eine Stellschraube 173 oder einen Kleber befestigt.
Das Substrat 170, bei dem es sich um eine Leiterplatte handeln kann,
trägt einen zweiten Satz von Elektroden 176, die in einem Muster
angeordnet sind, welches sich entlang der Längsrichtung des Substrats 170
auf dessen Oberfläche erstreckt. Der zweite Satz von Elektroden 176 auf
dem Substrat 170 wirkt mit dem ersten Satz von Elektroden 110 auf
einem Substrat in herkömmlicher Weise zusammen, um eine Anzeige der
Position des Substrats 170 entlang der Längsrichtung des Substrats 108
zu liefern.
Das Substrat 170 kann von außerhalb des Hohlraumes 142 her durch
Bewegen der Tiefenstange 156 axial durch die Lippendichtung 150 hin
durch, betätigt werden. Einer der Elektrodensätze oder beide Sätze von
Elektroden 110, 176 kann mit einer dünnen Schicht (nicht dargestellt)
eines Materials überzogen werden, das eine elektrische Isolierung liefert,
die die Reibung verringert und eine Gleitverschleißoberfläche schafft.
Der Flexor 142 ist eine im Ruhezustand geradlinige Struktur. Der Flexor
172 liefert zwei Funktionen: da er axial (in der Bewegungsrichtung des
zweiten Satzes von Elektroden 176) steif ist, aber nachgiebig in anderen
Richtungen, kann er erstens das Substrat 170 entlang der Längsrichtung
der Meßskala 106 mit einem hohen Genauigkeitsgrad bewegen. Zweitens
kann der Flexor 172 Fehlausrichtungen der Tiefenstange 156, des Hohl
raumes 142 und des Substrats 170 ohne Induzieren hoher Spannungs
beanspruchungen aufnehmen. Eine Vorspannfeder 184 ist am Substrat 170
befestigt; und wenn sie montiert ist und gegen eine Oberfläche im
Hohlraum 142 andrückt, preßt sie das Substrat 170 nachgiebig an, wenn
es entlang der Meßskala 106 gleitet.
Die Ränder des Substrats 170 befinden sich in gleitendem Kontakt mit
der Oberfläche der Seite des Hohlraumes 142. Das Substrat 170 wird
durch die untere Oberfläche der Meßskala 106 auf ihrer Oberseite, sowie
durch eine Seite des Hohlraumes 142 auf seiner unteren Seite geführt.
Das Substrat 170 ist somit in Richtung zweier Achsen gebunden, um
sicherzustellen, daß beide Sätze von Elektroden 110, 176 in der richtigen
Flucht bleiben, wenn sich das Substrat 170 entlang der Meßskala 106
bewegt. Der Flexor 172 kann in ein axiales Loch im Ende des Tiefen
stabes 156 eingeschoben und darin befestigt werden, und dies kann in
entsprechender Weise in einem Loch im Substrat des Kupplungsblockes
182 geschehen. Der Kupplungsblock 182 kann auch einen Abschnitt auf
weisen, der als Gleitlager arbeitet, wenn er gegen die Oberflächen der
inneren Nut 146 unter den Federkräften des Flexors 172, der Vorspann
feder 184 und den Kräften steht, die durch irgendeine Fehlausfluchtung
der Tiefenstange 156 hervorgerufen werden.
Die Läufereinheit 188 umfaßt einen Läufer 190. Der Läufer 190 ist so
gestaltet, daß er entlang des Hauptträgers 102 gleitet, wobei seine Füh
rungskante 192 den sich mit ihr vereinigenden Seitenrand des Haupt
trägers 102 berührt, wie dies für eine genaue Operation der Schieblehre
100 erforderlich ist. Ein Druckstab 143 ist zwischen den Führungsrand
192 und den anderen Rand des Hauptträgers 102 eingefügt, wobei die
Position des Druckstabes 243 durch ein Paar von Stellschrauben 241
justiert wird. Der Läufer 190 ist so ausgebildet, daß er gegen alle äuße
ren Wände der Hohlraumabdeckung 140 ein Spiel schafft; und er ist
weiter mit Anbindungsstangen 200, 202 entlang der Hohlraumabdeckung
140 versehen. Die Anbindungsstangen 200, 202 verlaufen parallel und in
der Nähe der äußeren Wände des inneren Hohlraums 146, wobei sie
vorzugsweise so dicht wie möglich zu den Außenwänden der inneren Nut
hin positioniert sind, jedoch genügend Spiel belassen, so daß sie nicht
mit den äußeren Wänden in Berührung kommen, auch nicht während der
Betätigung der Schieblehre.
Es ist wünschenswert, das Paar der Anbindungsstangen 200, 202 so dicht
wie möglich gegeneinander zu positionieren, so daß, wenn der Tiefenstab
156 in Betrieb ist, die Anbindungsstangen 200, 202 sich in das Loch mit
dem kleinstmöglichen Durchmesser erstrecken, wodurch die Brauchbarkeit
der Schieblehre 100 zum Messen enger Löcher gesteigert wird, die tiefer
sind, als der Abstand vom Ende 214 des Tiefenstabes 146 zum Justier
abschnitt 212.
Die neutrale Biegeachse des Tiefenstabes 156 ist vorzugsweise so positio
niert, daß sie sich mit der neutralen Biegeachse des Gesamtquerschnittes
der Anbindungsstangen 200, 202 deckt, wie in Fig. 8 dargestellt. Bei der
vorliegenden Ausführungsform verläuft der zusammengesetzte bzw. gesam
te Querschnitt der Anbindungsstangen 200, 202 symmetrisch in den
beiden Hauptbiegeachsen; und der Querschnitt der Tiefenstange 156 ist
kreisförmig, so daß die Mitte des Tiefenstabes 156 so positioniert wird,
daß sie sich mit dem Schnittpunkt einer Ebene 152 in der Mitte zwi
schen den Anbindungsstangen 200, 202 und einer Ebene 252 trifft,
welche die Mitten der individuellen Anbindungsstangen 200, 202 vereinigt.
Die Konfiguration bewirkt eine sichere Genauigkeit der Schieblehre 100
dadurch, daß sie gegen ein Verbiegen der Anbindungsstangen 200, 202
sowie des Tiefenstabes 156 in jeder Richtung relativ unempfindlich ist.
Wenn der Tiefenstab 156 nicht mit der neutralen Gesamtachse der
Anbindungsstangen 200, 202 zusammenfällt, würde das Verbiegen der
Anbindungsstangen 200, 202 und des Tiefenstabes 156 tatsächlich eine
axiale Verschiebung des Tiefenstabes 156 verursachen, der nicht mit der
Bewegung des Läufers 190 in Beziehung steht und daher einen Meß
fehler verursachen würde. Für Fachleute ist es jedoch klar; daß bei
einigen Konfigurationen, bei denen die neutralen Achsen des Tiefenstabes
156 und der Anbindungsstange(n) 200, 202 nicht zusammenfallen, Bie
gungsfehlerwirkungen wie die oben beschriebenen leichter als ein Typ des
"Abbe-Fehler" analysiert werden können.
Ein Endanschlag 230 ist starr am Hauptträger 102 in der Nähe eines
Endes 216 befestigt, um den Läufer 190 daran zu hindern, während des
Benutzens versehentlich am Ende des Hauptträgers 102 auszutreten. Der
Endanschlag 230 tendiert außerdem dahin, eine genaue Fluchtung des
Tiefenstabes 156 und der Anbindungsstangen 200, 202 zu bewirken, und
er schützt sie gegen unbeabsichtigte Beschädigung, indem er die Hohl
raumabdeckung 140 für den Hauptträger 102 begrenzt.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist der zweite Satz von Elektroden
176 mit dem Läufer 190 über den Tiefenstab 156 verbunden, der durch
den Hohlraum 142 läuft, welcher den ersten Satz von Elektroden 110
und den zweiten Satz von Elektroden 176 in seinem Inneren vorsieht,
und weiter ist die Lippendichtung 150 im Durchgangsloch 148 des Hohl
raumes 142 vorgesehen, durch welches der Tiefenstab hindurchtritt, d. h.
daß das Innere des Hohlraumes 142 gegen die Außenseite abgedichtet
ist, wodurch teilchenförmiges Material oder Fluide daran gehindert
werden, von außen her ihren Weg in das Innere des Hohlraumes 142 zu
finden. Daher wird die Zuverlässigkeit der Schieblehre beibehalten, selbst
wenn sie in einer schwierigen Situation benutzt wird. Weiter kann im
Falle, daß der Läufer 190 bewegt wird, die Lippendichtung 150 das
Innere des Hohlraumes 142 abdichten, während er gleichzeitig fortfährt,
den Tiefenstab 156 zu verschieben, wodurch teilchenförmige Stoffe oder
Fluide daran gehindert werden, von außen her ihren Weg in das Innere
des Hohlraumes 142 zu finden, selbst nicht während des Bewegungsvor
ganges des Läufers 190.
Der zweite Satz von Elektroden 176 und der Läufer 190 sind mitein
ander unter Benutzung des Tiefenstabes 156 zum Messen der Tiefe eines
Loches verbunden. Und das Vorsehen des Paares der Anbindungsstangen
200, 202 zum Befestigen der Justierposition 212 im Abstand vom vor
ragenden Ende des Tiefenstabes 156 zum Läufer 190 führt zu einer
einfachen Struktur und zu niedrigen Kosten. Darüber hinaus behält diese
Struktur die herkömmliche Form, Betriebsweise und Griffigkeit der im
wesentlichen beibehaltenen Schieblehre bei.
Die Fig. 9 bis 11 zeigen eine zweite Ausführungsform. Eine Schieblehre
600 entsprechend der zweiten Ausführungsform umfaßt einen Hauptträger
602 herkömmlicher Konfiguration, auf dem eine langgestreckte Eintiefung
605 entlang ungefähr der Hälfte der Längsrichtung des Hauptträgers 602
sowie ein langgestreckter Schlitz 698 angebracht sind, wobei letzterer
vollständig durch den Träger 602 über den größten Teil der verbleiben
den Länge geführt ist. Ein Durchgangsloch 609 ist in einer Wand zwi
schen den Enden der Eintiefung 605 und dem Schlitz 698 gebildet. Der
Innendurchmesser des Durchgangsloches 609 reicht aus, um ein reichli
ches Spiel für eine Kuppelstange 656 zu schaffen. Die Breite des Schlit
zes 698 reicht aus, um ein reichliches Spiel für einen Verankerungsstift
696 zu schaffen. Die Länge und Position des Schlitzes 698 sind so
gewählt, daß es Paaren von Meßschnäbeln 622, 620, 627, 626 erlaubt,
sich gegenseitig zu begegnen, wenn sich die Schieblehre in der Null
position befindet, und sie reicht aus, um den Ankerstift 696 in einem
Bereich zu bewegen, der mit dem gewünschten Meßbereich für die
Schieblehre 600 zusammentrifft.
Eine Meßskala 606, die durch ein isolierendes Substrat 609 gebildet ist,
weist einen ersten Satz von Elektroden 610 auf, welche ein entlang der
Unterseite des isolierenden Substrates 608 erstreckendes Muster bilden,
sowie einen Schaltungsanschluß 611, der auf dem oberen Ende des
Substrates 608 gebildet ist. Der Schaltungsanschluß 611 ist an einen
Elastomerstecker 621 angeschlossen. Der Elastomerstecker 621 kann so
angeordnet werden, daß er von dem Schaltungsanschluß 611 und den
Schaltungssteckerschuhen (nicht dargestellt) angedrückt wird, welche von
einer zweiseitigen Schaltungsplatte 630 vorstehen, die Teil einer elek
tronischen Anordnung 624 ist, wodurch alle erforderlichen elektrischen
Verbindungen hergestellt werden, wenn die Meßskala 606 gegen ein
Gehäuse 634 gepreßt und an Ort und Stelle bondiert wird.
Das Substrat 670, bei dem es sich um eine Leiterplatte handeln kann,
trägt einen zweiten Satz von Elektroden 676, die in einem Muster
angeordnet sind, welches sich entlang der Längsrichtung des Substrates
670 auf dessen Oberfläche erstreckt. Der zweite Satz von Elektroden 676
auf dem Substrat 670 wirkt mit dem ersten Satz von Elektroden 610 auf
dem Substrat 608 in herkömmlicher Weise zusammen, um eine Anzeige
der Position des Substrates 670 entlang der Länge des Substrates 608 zu
liefern. Das Substrat 670 kann von außerhalb des Hohlraumes 642 her
durch Bewegen der Kuppelstange 656 betätigt werden.
Einer der Elektrodensätze oder beide Sätze von Elektroden 610, 676
können mit einer dünnen Materialschicht (nicht dargestellt) überzogen
sein, um eine elektrische Isolation zu schaffen, die Reibung zu verringern
und eine Gleitverschleißoberfläche zu bilden.
Die elektronische Anordnung 624 ist eine herkömmliche elektronische
Anzeige- bzw. Displayanordnung, die ein umkapseltes LCD-Displayfenster
629, umkapselte Schalter 628 sowie ein Druckschaltungssubstrat mit
herkömmlichen Schaltungen 630 für die Meßwertaufnehmer-Signalverarbei
tung und die Anzeige umfaßt, wobei alle Komponenten in einem Gehäu
se 634 montiert sind. Die Energieversorgung kann durch Batterien oder
Solarzellen (nicht dargestellt) bereitgestellt werden, die innerhalb des
Gehäuses 634 untergebracht sind.
Eine Hohlraumabdeckkappe 640 ist mit einer Vertiefung 642 über den
größten Teil seiner Länge versehen, wie dargestellt. Die Breite und
Länge der Vertiefung 642 sind so gewählt, daß die Breite das Substrat
670 aufnimmt und die Länge das Substrat 670 veranlaßt, sich in Längs
richtung zu bewegen. Die Tiefe der Vertiefung 642 ist so gewählt, daß
sie Platz für das Substrat 670 und eine Vorspannfeder 684 bietet, die am
Substrat 670 befestigt ist, derart, daß die Meßskala 606 das Substrat 670
bedeckt.
Eine verlängerte innere Nut 646 ist annähernd über die Hälfte der
Innenseite der Hohlraumabdeckung 642 so gebildet, daß sie tiefer als die
Hohlraumabdeckung 642 ist, wobei Durchgangslöcher 648 und 649 an
beiden Enden der inneren Nut 646 angebracht sind. Die Durchgangs
löcher 648 und 649 sind so gestaltet, daß sie die permanente Einfügung
von reibungsarmen Miniaturlippendichtungen 650 und 651 aufnehmen. Die
Lippendichtungen 650 und 651 sind zylindrisch ausgebildet, und jede
besitzt einen Lochdurchmesser; der so gewählt ist, daß er mit dem
Durchmesser einer Kuppelstange 656 zusammenpaßt, derart, daß eine
reibungsarme, wasserdichte und teilchendichte Dichtung zwischen den
Dichtungen 650, 651 und der Kuppelstange 656 gebildet wird.
Die innere Nut 646 ist mit einem Kupplungsblock 682 versehen, der sich
bewegen kann. Der Kupplungsblock 682 ist an einer Vorspannfeder 684
durch einen Kupplungsflexor 683 mit einem einzelnen Steifefreiheitsgrad
befestigt, der in axialer Richtung steif sein kann. Der Kupplungsflexor
683 stellt bei der bevorzugten Ausführungsform zwei Funktionen bereit:
da er in axialer Richtung steif ist (in der Bewegungsrichtung des zweiten
Satzes der Elektroden 676), und da er in anderen Richtungen nachgiebig
ist, kann er erstens das Substrat 670 (über eine starr befestigte Vor
spannfeder 684) entlang der Längsrichtung der Meßskala 606 mit einem
hohen Genauigkeitsgrad betätigen. Zweitens kann der Kupplungsflexor
683 Fehlausrichtungen der Kuppelstange 656, des Hohlraumes 642, der
Nut 646 und des Substrates 670 ohne Einbringen einer hohen Spannungs
belastung aufnehmen. Der Kupplungsflexor 683 kann durch herkömmliche
Maßnahmen an der Vorspannfeder 684 und am Kupplungsblock 682
befestigt werden, wie etwa durch Widerstandsschweißen. Die Vorspann
feder 684 ist starr klebend am Substrat 670 bondiert, und zwar an dem
dem Kupplungsblockende entgegengesetzten Ende der Vorspannfeder.
Wenn sie montiert ist und gegen die Oberfläche 647 im Hohlraum 642
angedrückt wird, wird das Substrat 670 nachgiebig gegen die untere
Oberfläche des Substrates 608 vorgespannt.
Während der Montage ist der Kupplungsblock 682 (mit seinem daran
befestigten Kupplungsflexor 683, der Vorspannfeder 684 und dem Substrat
670) in der in den Fig. 10 und 11 dargestellten Orientierung positioniert,
so daß das Durchgangsloch 685 des Kupplungsblockes in der Nut 646
zentriert ist. Die Kuppelstange 656 wird dann durch die Lippendichtung
650, das Durchgangsloch 685 des Kupplungsblockes 682 und die Lippen
dichtung 651 zur Außenseite hin eingeschoben, so daß sie in Längs
richtung entlang der inneren Nut 646 gleiten kann. Ein Kupplungs
abschnitt 617 der Kuppelstange 656 innerhalb der Nut 646 wird dann
starr mit Hilfe eines geeigneten herkömmlichen Klebers am Durchgangs
loch 685 des Kupplungsblockes 682 bondiert.
Nutenförmig ausgebildete Außenwände 644, die die innere Nut 646, mit
Ausnahme der Durchgangslöcher 648 und 649, umgeben, sind so ausgebil
det, daß sie in der Vertiefung 605 auf der Unterseite der Hohlraum
abdeckung 640 untergebracht werden können. Die nutenförmig ausgebilde
ten Außenwände 644 sind vorzugsweise so dünn wie praktikabel ausgebil
det, wie es durch die Stärke und die Herstellungsverfahren der Hohl
raumabdeckung 640 bestimmt ist, wobei sie aus herkömmlichem Gießharz
hergestellt werden können. Die nutenförmig ausgebildeten Außenwände
644 enden in der Weise, daß sie mit den Enden einer verlängerten
Eintiefung 605 zusammentreffen und sich nicht über einen Abschnitt 645
der Hohlraumabdeckung 640 hinaus erstrecken. Die Kuppelstange 656,
der Flexor 672 und der Verankerungsstift 696 können sich also frei ohne
Störung im Schlitz 698 unter der Unterseite des Abschnittes 645 der
Hohlraumabdeckung 640 bewegen. Der Flexor 672 ist ein Flexor mit
einer Steifigkeit des ersten Freiheitsgrades und in axialer Richtung steif.
Der Flexor 672 kann in ein axiales Loch im Ende der Kuppelstange 656
eingefügt und bondiert werden, und gleichermaßen auch in einem Loch
im Verankerungsstift 696. Der Flexor 672 kann durch Verschraubung
anstelle des oben erwähnten Verfahrens befestigt werden.
Der Flexor 672 befindet sich in einer im Ruhezustand geradlinigen
Konfiguration. Der Flexor 672 besitzt zwei Funktionen: da er axial steif
ist (in der Bewegungsrichtung des zweiten Satzes der Elektroden 676),
während er in den anderen Richtungen nachgiebig ist, kann er das
Substrat 670 (durch die Vorspannfeder 684 befestigt) entlang der Längs
richtung der Meßskala 606 mit einem hohen Genauigkeitsgrad bewegen.
Zweitens kann der Flexor 672 Fehlausrichtungen der Kuppelstange 656,
des Hohlraumes 642, der inneren Nut 646 und des Substrates 670 ohne
Einbringen hohen Spannungsbelastung aufnehmen.
Die Läufereinheit 688 umfaßt einen Läufer 690, der so gestaltet ist, daß
er entlang des Hauptträgers 602 gleitet, wobei seine Führungskante 692
die sich mit ihr vereinigende Seitenkante des Hauptträgers 602 berührt.
Ein Druckstab 643 ist zwischen die Führungskante 692 und die andere
Seitenkante des Hauptträgers 602 eingefügt, wobei der Druckstab 643 in
dieser Position mit Stellschrauben 641 justiert wird. Die Läufereinheit 688
ist mit einem Verankerungsstiftloch 695 versehen, wobei das Loch einen
Verankerungsstift 696 aufnimmt. Die Läufereinheit 688 kann also auf
dem Hauptträger 602 positioniert werden, und der Verankerungsstift 696
kann im Verankerungsstiftloch 695 befestigt werden, wodurch die starre
mechanische Kupplungsverbindung vervollständigt wird.
Die untere Seite des Gehäuses 634 ist gegen die Hohlraumabdeckung
640 abgedichtet, wodurch ein abgedichteter und abgedeckter Hohlraum
642 gebildet wird. Die Hohlraumabdeckung 640 ist am Gehäuse so
befestigt, daß der Hohlraum 642 durch beispielsweise eine Profildichtung
653 oder ein Dichtungsmittel (nicht dargestellt) vollständig um ihre
Peripherie herum isoliert bzw. geschützt ist. Die Hohlraumabdeckung 640
kann am Gehäuse 634 durch Einschieben herkömmlicher Miniaturbefesti
ger (nicht dargestellt) durch Relieflöcher 607a und dann in einer Viel
zahl von Sätzen ausgefluchteter Löcher 607c und 607b und in Gewinde
löcher (nicht dargestellt) auf der Unterseite des Gehäuses 643 ange
schlossen werden. Die Hohlraumabdeckung 640 kann durch einen Kleber
am Hauptträger 602 bondiert werden.
Bei der beschriebenen Struktur bleibt der Abschnitt 658 der Kuppel
stange 656 außerhalb der Lippendichtung 651, wenn die Meßschnäbel
620, 622 und die Meßschnäbel 626, 627 offen stehen. Wenn die Meß
schnäbel 620, 622 oder die Meßschnäbel 626, 627 im Anschlag stehen,
liegt das Ende 614 der Kuppelstange 656 bündig mit dem Ende 616 des
Hauptträgers 602, was der Nulltiefe entspricht. Durch Anlegen des Endes
des Hauptträgers 602 an einen Gegenstand, und durch Einschieben des
Kuppelstabes 656 in ein Loch des Gegenstandes, kann die Lochtiefe
durch die Schieblehre 600 gemessen werden. Bei der Schieblehre 600
gemäß der Ausführungsform besitzt also die Kuppelstange 656 einen
Abschnitt 658, der in genau gleicher Weise arbeitet, wie ein herkömm
licher Tiefenstab einer üblichen Schieblehre.
Gemäß der zweiten Ausführungsform kann der Flexor 672 zusätzlich zu
der bei der ersten Ausführungsform beschriebenen Wirkung Fehlausrich
tungen von beispielsweise der Kuppelstange 656 durch Verbinden des
Endes der Kuppelstange 656 durch den Flexor 672 hindurch am Läufer
690 aufnehmen, wodurch der zweite Satz von Elektroden 676 entlang der
Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden 610 mit einem hohen
Genauigkeitsgrad bewegt werden kann. Darüber hinaus kann das Ver
binden durch Befestigen des Verankerungsstiftes 696 im Verankerungs
stiftloch 695 des Läufers 690 erleichtert werden, wodurch eine leichte
Montage geschaffen wird.
Durch Einfügen des Endes 614 des Kuppelstabes 656, der zur Außenseite
des Hohlraumes 642 hin vorragt, in das Loch, kann die Lochtiefe gemes
sen werden, wodurch die Kuppelstange 656 auch als Tiefenstab zum
Messen einer Lochtiefe benutzt werden kann. Daher kann die Brauch
barkeit weiter gesteigert werden.
Eine dritte Ausführungsform ist in den Fig. 12 bis 16 dargestellt. Eine
Schieblehre 700 gemäß der dritten Ausführungsform umfaßt einen Haupt
träger 702 üblicher Gestalt. Der Hauptträger 702 ist einstückig mit
Meßschnäbeln 720, 726 am Ende des Hauptträgers 702 ausgebildet und
weist eine Vertiefung 704 entlang seiner gesamten Länge in Längsrich
tung auf.
Eine Meßskala 706 ist auf einem isolierenden Substrat 708 angebracht,
bei dem sich ein erster Satz von Elektroden 710 unter Bildung eines
Musters entlang der Unterseite des isolierenden Substrates 708 erstreckt,
wobei ein Schaltungsanschluß auf der Oberfläche des Substrates 708
gebildet ist. Der Schaltungsanschluß 711 ist an einen Elastomerstecker
712 angeschlossen. Der Elastomerstecker 712 kann so positioniert werden,
daß er zwischen den Schaltungsanschluß 711 und die Schaltungsstecker
schuhe (nicht dargestellt) gedrückt wird, die von einer zweiseitigen
Schaltungsplatte 730 vorragen, welche Bestandteil einer elektronischen
Anordnung 724 ist, wodurch alle erforderlichen elektrischen Verbindungen
hergestellt werden, wenn die Meßskala 706 gegen ein Gehäuse 734
gedrückt und an Ort und Stelle bondiert wird.
Das Substrat 770, bei dem es sich um eine Leiterplatte handeln kann,
trägt einen zweiten Satz von Elektroden 776, die in einem Muster
angeordnet sind, welches sich entlang der Längsrichtung des Substrates
770 auf dessen oberer Oberfläche erstreckt. Der zweite Satz von Elek
troden 776 auf dem Substrat 770 wirkt mit dem ersten Satz von Elek
troden 710 auf dem Substrat 708 in herkömmlicher Weise zusammen, um
eine Anzeige der Position des Substrates 770 entlang der Länge des
Substrates 708 anzuzeigen.
Die elektronische Einheit 724 ist eine herkömmliche elektronische Dis
playeinheit, die ein umkapseltes LCD-Displayfenster 729, umkapselte
Schalter 728 und ein Druckschaltungssubstrat mit herkömmlichen elek
tronischen Schaltungen 730 für die Meßwertaufnehmer-Signalverarbeitung
und das Display umfaßt, wobei alle Komponenten in einem Gehäuse 734
vereinigt sind. Die Energieversorgung kann durch Batterien oder Solarzel
len (nicht dargestellt) erfolgen, die im Gehäuse 734 untergebracht sind.
Wie in der Zeichnung dargestellt, ist eine langgestreckte Vertiefungs
abdeckung 740, die auf der oberen Oberfläche des Hauptträgers 702
angeordnet ist, mit einer über den größten Teil seiner Länge verlaufen
den Eintiefung 742 versehen. Die Breite und Länge der Vertiefung 742
sind so gewählt, daß die Breite das Substrat 770 aufnimmt, und daß die
Länge 770 die Bewegung in Längsrichtung ermöglicht. Die Tiefe der Ein
tiefung 742 ist so gewählt, daß sie das Substrat 770 und eine Vorspann
feder 784 aufnimmt, die am Substrat 770 befestigt ist, derart, daß das
Substrat 708 auf dem Substrat 770 liegt.
Eine langgestreckte innere Nut 746 ist über annähernd die Hälfte der
Innenseite der Hohlraumabdeckung 742 so gebildet, daß sie tiefer als die
Hohlraumabdeckung 742 ist, in der sich ein Durchgangsloch 748 an
einem Enden (Innenseite) der inneren Nut 746 öffnet. Das Durchgangs
loch 748 ist so gestaltet, daß es die permanente Einfügung einer rei
bungsarmen Miniaturlippendichtung 750 ermöglicht. Die Lippendichtung
750 ist zylindrisch ausgebildet, und beide besitzen einen Lochdurchmesser;
der so gewählt ist, daß er sich mit dem Durchmesser einer Kuppelstange
756 ergänzt, derart, daß eine reibungsarme, wasserdichte und teilchen
dichte Abdichtung zwischen der Dichtung 659 und der Kuppelstange 756
gebildet wird.
Wie in Fig. 14 dargestellt, sind auf der Unterseite der Vertiefungsab
deckung 740 mit einer Nut versehene Außenwände 744 entlang der
halben Länge der Vertiefungsabdeckung 740 in Längsrichtung ausgebildet,
welche die innere Nut 746, mit Ausnahme des Durchgangsloches 748,
vollständig umschließen und in die Vertiefung 704 passen; und auf der
anderen Seite der Vertiefungsabdeckung 740 ist ein Vorsprung 761
gebildet. Durch Aufnehmen der mit Nut versehenen äußeren Wände 744
der Vertiefungsabdeckung 740 in der Vertiefung 704 des Hauptträgers
702, sowie durch Anlegen des Vorsprunges 761 an die obere Oberfläche
des Hauptträgers 702, welcher vom Vorsprung 761 aus an den Haupt
träger 102 durch ein Paar von Anschlagschrauben 762 (vgl. Fig. 13)
angeschraubt wird, wird ein Spielraum- bzw. Zwischenabstandsbereich 763
zwischen der Oberfläche des Hauptträgers 702 und der Vertiefungsab
deckung 740 entlang des Bereiches einer Länge D gebildet. Dabei wird
die durch den Zwischenabstandsbereich 763 geschaffene Länge D größer
bemessen als der Bereich, den die Schieblehre wirksam mißt.
Übrigens bestehen die Vertiefungsabdeckung 740 und das Gehäuse 734
aus Kunstharz mit Glasfasern, die gegen Öl, wie etwa Schneidöl oder
Schmieröl beständig ist.
Ein Kupplungsblock 782 ist beweglich in der inneren Nut 746 der Hohl
raumabdeckung 740 gelagert. Der Kupplungsblock 782 ist an der Vor
spannfeder 784 und dem Substrat 770 befestigt und mit dem Ende des
Kuppelstabes 756 verbunden, der sich durch den Einschnitt 704 im
Hauptträger 702 zwischen dem Hauptträger 702 und der Hohlraumab
deckung 740 erstreckt. Im einzelnen ist die Kuppelstange 756 von der
Unterseite der Vertiefungsabdeckung 740 her durch die Lippendichtung
750 in die innere Nut 746 eingefügt, und sie ist dann am Kupplungs
block 782 befestigt. Das andere Ende der Kuppelstange 756 ist durch
eine Blattfeder 772 am Läufer 795 befestigt.
Wie in den Fig. 14 und 15 dargestellt, wird es im Zwischenabstands
bereich 763 zwischen der oberen Oberfläche des Hauptträgers 702 und
der Unterseite der Vertiefungsabdeckung 740 der Blattfeder 772 erleich
tert, am Läufer 790 über die Breitenoberfläche des Hauptträgers 702
befestigt zu werden, und es ist ihr möglich, sich im Zwischenabstands
bereich 763 als Reaktion auf die Bewegung des Läufers 790 zu bewegen.
Die Konfiguration der Blattfeder 772 ist ein U-förmiges Flachteil, besteht
aus einem Mittelabschnitt 772A, der sich an das Ende der Kuppelstange
756 anschließt, und einem Paar von Seitenabschnitten 772B, die auf der
Oberfläche des Läufers 790 befestigt sind, derart, daß sie sich unter
einem annähernd rechten Winkel an beiden Enden des mittleren Ab
schnittes 772A parallel zueinander erstrecken. Daher ist die Blattfeder
772 in der Bewegungsrichtung des zweiten Satzes von Elektroden 776
steif, während sie in der anderen Richtung des Flachteiles nachgiebig ist,
so daß sie das Substrat 770 entlang der Längsrichtung der Meßskala 706
mit einem hohen Genauigkeitsgrad betätigen kann.
Eine Abkröpfung bzw. ein Aufnehmer 772C ist nach unten hin (in den
Einschnitt 704) in der Mitte des Mittelabschnittes 772A abgebogen, um
das Ende der Kuppelstange 756 aufzunehmen. Die Kuppelstange 756 ist
also im Einschnitt 704 auf dem Hauptträger 702 untergebracht. Ein
Radiusabschnitt 772D ist so ausgebildet, daß er zum Inneren des U-
Formteils an einer Ecke zwischen dem Mittelabschnitt 772A und dem
Paar von Seitenabschnitten 772B umbiegt. Selbst wenn sich der Läufer
790 in Fig. 15 nach links hin bewegt, wird daher die Bewegung des
Läufers 790 zum Ende hin erleichtert, da die Ecke (der Radiusabschnitt
772D) der Blattfeder 772 nicht mit dem Vorsprung 761 der Vertiefungs
abdeckung 740 in Berührung kommt.
Der Läufer 790 besitzt Meßschnäbel 722, 727, die sich durch die Meß
schnäbel 720, 726 am Hauptträger 702 gegen einen Gegenstand anlegen,
wobei der Läufer entlang des Hauptträgers 702 gleitet, während seine
Gleitkante 792 anliegt. Der Druckstab 743 wird zwischen der Führungs
kante 792 und der anderen Seite des Hauptträgers 702 eingefügt, und
seine Position wird durch ein Paar von Stellschrauben 741 justiert. Der
Läufer 788 kann also auf dem Hauptträger 702 positioniert werden, und
die Blattfeder 772 kann am Läufer 790 befestigt werden, wodurch die
starre mechanische Verbindung vervollständigt wird.
Beim Zusammenbauen der oben beschriebenen Schieblehre wird die
Unterseite des Gehäuses 734 auf der oberen Oberfläche der Vertiefungs
abdeckung 740 abgedichtet, wodurch der dichte und umschlossene Hohl
raum 742 gebildet wird. Wie bei den obigen Ausführungsformen ver
anschaulicht, wird der abgedeckte Hohlraum 742 durch beispielsweise
eine Profildichtung oder ein Dichtungsmittel (nicht dargestellt) vollständig
um seine Peripherie herum geschützt.
Wie in Fig. 16 dargestellt, ist der abgedeckte Hohlraum 742 mit einem
Verbindungsloch 797 versehen, das mit der Außenseite in Verbindung
steht, wobei das Innere des Verbindungsloches 797 mit einem Belüftungs
element 798 versehen ist, um das Ausfließen von Fluid zu verhindern,
jedoch den Lufteintritt zu erlauben.
Gemäß der dritten Ausführungsform ist im Zwischenabstandsbereich 763
die Kuppelstange 756 an den Kupplungsblock 782 angeschlossen, der den
zweiten Satz von Elektroden 776 trägt, nachdem das Ende der Kuppel
stange 756 an die Blattfeder 772 angeschlossen worden ist, die am
Läufer 790 befestigt ist und die Oberfläche des Hauptträgers 702 über
quert; und das andere Ende der Kuppelstange 756 wird durch den
Einschnitt 704 des Hauptträgers 702 in die innere Nut 746 in der Hohl
raumabdeckung 740 eingeschoben, d. h. daß der Läufer 790 und der
zweite Satz von Elektroden 776 gegenseitig unter Benutzung des Spielrau
mes 763 zwischen der oberen Oberfläche des Hauptträgers 702 und der
Unterseite der Vertiefungsabdeckung 740 verbunden werden, wodurch die
Schieblehre miniaturisiert werden kann. Weiter ist im Vergleich mit der
zweiten Ausführungsform der Einschnitt 704 nur im Hauptträger 702
angebracht, wodurch die Steifigkeit des Hauptträgers 702 nicht vermindert
wird, was eine Verhinderung der Abnahme der Genauigkeit zur Folge
hat.
Im einzelnen sind im Falle der zweiten Ausführungsform der Läufer 690
und der zweite Satz von Elektroden 676 gegenseitig dadurch verbunden,
daß der Verankerungsstift 696 am Ende der Kupplung 656 durch das
Innere des Schlitzes 698, der auf dem Hauptträger 602 gebildet ist, im
Verankerungsstiftloch 695 befestigt wird, das auf dem Läufer 690 vor
gesehen ist, so daß der Schlitz 698 auf dem Hauptträger 602 so ange
bracht werden sollte, daß er zwischen der oberen und der unteren Seite
des Hauptträgers 602 über den Bewegungsbereich des Verankerungsstiftes
696 verläuft, mit dem Ergebnis, daß die Festigkeit des Hauptträgers 602
leicht verringert und eine Verdrehung leicht erzeugt werden kann, wenn
der Schlitz gebildet wird. Dem gegenüber ist bei der dritten Ausführungs
form der Hauptträger 702 nur mit dem Einschnitt 704 versehen, wodurch
die Festigkeit des Hauptträgers 702 nicht vermindert wird und die Ab
nahme der Genauigkeit unterbunden wird.
Eine Verdrehung der Kuppelstange 756, usw. kann durch die Blattfeder
absorbiert werden, weil das Ende der Kuppelstange 756 durch die Blatt
feder 772 am Läufer 709 befestigt ist; so daß der zweite Satz von
Elektroden 776 entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elek
troden 710 mit einem hohen Genauigkeitsgrad bewegt werden kann.
Weiter ist die Blattfeder 772 ein dünnes Plattenelement mit U-förmigem
Schnitt, das einen mittleren Abschnitt 772A aufweist, der mit dem Ende
der Kuppelstange 756 verbunden ist, und das ein Paar von Seitenab
schnitten 772B aufweist, die am Läufer 790 befestigt sind, um einen
geschätzten rechten Winkel an beiden Seiten des mittleren Abschnittes
772A zu schaffen, so daß sie parallel zueinander verlaufen, wodurch die
Blattfeder 772 starr am Läufer 790 mit einem geringen Zwischenab
standsbereich 763 zwischen der Oberfläche des Hauptträgers 702 und der
Unterseite der Vertiefungsabdeckung 740 verbunden werden kann; so daß
weiter die Feder im Zwischenabstandsbereich 763 als Reaktion auf die
Bewegung des Läufers 790 bewegt werden kann.
Das Bauteil, das die Vertiefung 742 bildet, welche den ersten und den
zweiten Satz von Elektroden 710 und 776 aufweist, erleichtert die Ein
beziehung der Abdeckung 740 mit der Vertiefung 742, die auf der Seite
der Oberfläche des Hauptträgers 702 vorgesehen ist, so daß sich die
vertiefte Form auf seiner oberen Oberfläche befindet; und das Gehäuse
734 ist mit der Abdeckung 740 bedeckt, um die Vertiefung 742 auf der
Abdeckung 740 zu schließen, wobei die Abdeckung 740 und das Gehäuse
743 aus Kunstharz hergestellt sind, der Glasfasern enthält, so daß die
Beständigkeit gegen Öl, wie etwa Schneidfluid oder Schmieröl, verbessert
wird.
Ein Kupplungsblock 782, der den zweiten Satz von Elektroden 776
veranlaßt, sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elek
troden 710 zu verschieben, ist so vorgesehen, daß er in der inneren Nut
746 gleitet, die über fast die halbe Länge der Vertiefung 742 auf der
Abdeckung 740 gebildet ist und tiefer als die Vertiefung 742 ist, wobei
der Kupplungsblock 782 mit dem Ende der Kuppelstange 756 verbunden
ist, so daß, wenn der Läufer 790 bewegt wird, der Kupplungsblock 782
durch die Kuppelstange 756 in der inneren Nut 746 verschoben wird,
und ferner der zweite Satz von Elektroden 776 entlang der Längsrichtung
des ersten Satzes von Elektroden 710 bewegt wird, was zu einer ge
schmeidigen Bewegung des zweiten Satzes von Elektroden 776 entlang
der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden 710 führt.
Die abgedeckte Vertiefung 742 bildet das Verbindungsloch 797, das mit
der Außenseite in Verbindung steht, wobei das Verbindungsloch 797 mit
dem Belüftungselement 798 versehen ist, das das Austreten von Fluid
verhindert, aber den Lufteintritt erlaubt, wodurch eine Abnahme der
Genauigkeit verhindert wird. Das heißt, daß beim Bewegen des Substrats
770, das den zweiten Satz von Elektroden 776 aufweist, in der Ver
tiefung 742 entlang der Längsrichtung der Meßskala 706, die den ersten
Satz von Elektroden 710 trägt, durch die Bewegung des Läufers 790, der
Kuppelstab 756 in die Vertiefung 742 eintritt, mit der Folge, daß der
Luftdruck in der Vertiefung 742 gesteigert oder verringert wird. Natürlich
wird die in der Vertiefung 742 enthaltene Luft durch das Verbindungs
loch 797 nach außen hin geblasen, und weiter wird Luft von außen in
das Innere geblasen, mit der Folge, daß der Luftdruck in der Vertiefung
742 auf einem gleichmäßigen Druck gehalten werden kann. Dadurch wird
die Abnahme der Meßgenauigkeit, die durch eine Änderung des Druckes
in der Vertiefung 742 verursacht wird, verhindert. Weiter ist das Ver
bindungsloch 797 mit einem Belüftungselement 798 versehen, das das
Ausfließen von Fluid verhindert, aber den Lufteintritt ermöglicht, wo
durch die Vertiefung 742 mit Sicherheit gegen das Durchdringen von
Fluids, wie etwa Kühl- oder Schneidfluids, geschützt werden kann, wäh
rend dessen die oben erwähnten Funktionen aufrecht erhalten bleiben.
Die vorliegende Erfindung ist unter Bezugnahme auf die bevorzugten
Ausführungsformen beschrieben worden. Es ist jedoch klar; daß die
vorliegende Erfindung nicht auf die genannten Ausführungsformen be
schränkt ist, und daß verschiedene Änderungen daran durchgeführt
werden können, ohne vom Gedanken der vorliegenden Erfindung ab
zuweichen.
Beispielsweise sind bei den oben erwähnten Ausführungsformen die
elektronischen Einheiten 124, 624, 724 auf Seiten des Hauptträgers 102,
602, 702 angebracht; sie können aber auch auf Seiten des Läufers vor
gesehen sein.
Verschiedene Schaltungen, die die Verschiebung zwischen beiden Elek
trodensätzen auf der Basis der elektrostatischen Kapazität zwischen den
Elektrodensätzen erfassen, können auch als elektrische Schaltungen
verwendet werden, die eine Verschiebung des Läufers 190, 690, 790
erfassen.
Bei der Schieblehre (Fig. 4 bis 8) gemäß der ersten Ausführungsform ist
es möglich, den Tiefenstab am Läufer so zu befestigen, daß er sich ent
lang der Außenseite der Skala befindet; und das Substrat im Hohlraum
ist mit der Anbindungsstange versehen, die das vorstehende Ende des
Tiefenstabes verbindet. Infolge dessen wird der Tiefenstab anstelle der
Anbindungsstange benutzt, und die Anbindungsstange wird anstelle des
Tiefenstabes benutzt.
Die Schieblehre (Fig. 9 bis 11) gemäß der zweiten Ausführungsform
kann so ausgebildet werden, daß die Kuppelstange eine Länge besitzt,
bei der das Ende der Kuppelstange nicht aus der Vertiefung 642 zur
Außenseite hin vorragt, und daß sie am Ende der Kuppelstange mit dem
Durchgangsloch 685 des Kupplungsblockes der Kupplung 683 befestigt ist.
In diesem Falle kann die Kuppelstange nicht als Tiefenstab zum Messen
des Loches verwendet werden, so daß das Durchgangsloch 648 in der
inneren Nut 646 nicht mehr erforderlich ist, was zu einem besseren
Abdichtvermögen führt.
Weiter ragt bei der Schieblehre (Fig. 12 bis 14) gemäß der dritten
Ausführungsform das Ende der Kuppelstange aus der Vertiefung 742
hervor; so daß die Kuppelstange als Tiefenstab zum Messen des Loches
benutzt werden kann.
Die kapazitive Elektrodenschieblehre gemäß der vorliegenden Erfindung
weist eine gesicherte Zuverlässigkeit der Schieblehre bei schwierigen
Umweltbedingungen durch das Fernhalten von teilchenförmigen und
flüssigen Verunreinigungen auf. Die kapazitive Elektrodenschieblehre kann
im wesentlichen in ihrer üblichen Form, Betriebsweise und Griffigkeit
beibehalten werden, trotz der Merkmale, die erforderlich sind, um Ver
unreinigungen im Umgebungsbereich fernzuhalten. Weiter ist die kapaziti
ve Elektrodenschieblehre gegen Verunreinigungen in der Umwelt un
empfindlich, was wirtschaftlich von Vorteil ist und die Meßgenauigkeit
unter normalen Benutzungsbedingungen nicht gefährdet.
Claims (19)
1. Kapazitive Elektrodenschieblehre zum Messen eines inneren Maßes
und eines äußeren Maßes eines Gegenstandes, aufweisend:
einen langgestreckten Hauptträger mit einem Satz von Meßschnäbeln an einem Ende des Hauptträgers;
ein Hohlraum bildendes Bauteil auf dem Hauptträger zum Bilden eines Hohlraums entlang der Längsrichtung des Hauptträgers;
einen ersten Satz von Elektroden, die im Hohlraum vorgesehen sind, um ein Muster entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu bilden;
einen zweiten Satz von Elektroden, die vorgesehen sind, um sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden im Hohlraum zu bewegen;
einen Läufer mit Meßschnäbeln, die an den Gegenstand zusammen mit den Meßschnäbeln anstoßen, welche am Hauptträger vorgesehen sind, und wobei dieselben vorgesehen sind, um sich entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu bewegen;
eine Kupplungseinrichtung zum Kuppeln des Läufers mit dem zwei ten Satz von Elektroden, um den zweiten Satz von Elektroden zu veranlassen, sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden als Reaktion auf die Bewegung des Läufers zu bewegen;
eine Dichtungseinrichtung zum Abdichten der Innenseite des Hohl raumes gegen die Außenseite im Kupplungszustand des Läufers und des zweiten Satzes von Elektroden, durch die genannte Kupplungs einrichtung; und
eine elektrische Schaltungsanordnung, die die Verschiebung des Läufers auf dem Hauptträger erfaßt, auf der Basis der elektrostati schen Kapazität zwischen den genannten Sätzen von Elektroden, wobei die Vorrichtung an eine der Elektroden angeschlossen ist.
einen langgestreckten Hauptträger mit einem Satz von Meßschnäbeln an einem Ende des Hauptträgers;
ein Hohlraum bildendes Bauteil auf dem Hauptträger zum Bilden eines Hohlraums entlang der Längsrichtung des Hauptträgers;
einen ersten Satz von Elektroden, die im Hohlraum vorgesehen sind, um ein Muster entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu bilden;
einen zweiten Satz von Elektroden, die vorgesehen sind, um sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden im Hohlraum zu bewegen;
einen Läufer mit Meßschnäbeln, die an den Gegenstand zusammen mit den Meßschnäbeln anstoßen, welche am Hauptträger vorgesehen sind, und wobei dieselben vorgesehen sind, um sich entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu bewegen;
eine Kupplungseinrichtung zum Kuppeln des Läufers mit dem zwei ten Satz von Elektroden, um den zweiten Satz von Elektroden zu veranlassen, sich entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden als Reaktion auf die Bewegung des Läufers zu bewegen;
eine Dichtungseinrichtung zum Abdichten der Innenseite des Hohl raumes gegen die Außenseite im Kupplungszustand des Läufers und des zweiten Satzes von Elektroden, durch die genannte Kupplungs einrichtung; und
eine elektrische Schaltungsanordnung, die die Verschiebung des Läufers auf dem Hauptträger erfaßt, auf der Basis der elektrostati schen Kapazität zwischen den genannten Sätzen von Elektroden, wobei die Vorrichtung an eine der Elektroden angeschlossen ist.
2. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 1, bei der die
Kupplungseinrichtung eine Kuppelstange umfaßt, die vorgesehen ist,
um durch den Hohlraum im Hauptträger hindurchzutreten und
parallel zur Längsrichtung des Hauptträgers zu verlaufen, wobei die
Kuppelstange an den zweiten Satz von Elektroden an einem Ende
der Kuppelstange angeschlossen ist, welche innerhalb des Hohlraumes
plaziert ist, und daß die Stange an den Läufer am anderen Ende
der Kuppelstange angeschlossen ist, das außerhalb des Hohlraumes
plaziert ist.
3. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 2, bei der die
Dichtungseinrichtung im Hohlraum ein Dichtungselement umfaßt, das
im Hohlraum mit einem Durchgangsloch versehen ist, durch welches
die Kuppelstange hindurchtritt.
4. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 3, bei der das Ende
der Kuppelstange im Hohlraum und der zweite Satz von Elektroden
Steifigkeit nur in der Bewegungsrichtung des zweiten Satzes von
Elektroden aufweisen und durch ein nachgiebiges Elastomerbauteil
zur anderen Richtung hin angeschlossen sind.
5. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 2, bei der die
Kuppelstange eine Tiefenstange ist, die aus dem Ende des Haupt
trägers vorragt, und wobei der Läufer mit einem Paar von Anbin
dungsstangen versehen ist, die einen vom vorragenden Ende der
Tiefenstange entfernt gelegenen Abschnitt festhalten.
6. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 1, bei der die
Kupplungseinrichtung eine Kuppelstange umfaßt, die parallel zur
Längsrichtung des Hauptträgers vorgesehen ist, um über beide Enden
der Kuppelstange aus dem Hohlraum durch Hindurchtreten durch
den im Hauptträger vorgesehenen Hohlraum vorzuragen, wobei die
Kuppelstange mit dem zweiten Satz von Elektroden in einem mitt
leren Abschnitt der Kuppelstange verbunden ist, welche im Hohl
raum plaziert ist und an den Läufer an demjenigen Ende der Kup
pelstange verbunden ist, das aus dem Hohlraum vorragt.
7. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 6, bei der die
Dichtungseinrichtung ein Dichtungselement, das in einem Durchgangs
loch des Hohlraumes vorgesehen ist, umfaßt, durch welches die
Kuppelstange hindurchtritt.
8. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 7, bei der der
Mittelabschnitt der Kuppelstange im Hohlraum sowie der zweite Satz
von Elektroden Steifigkeit in der Bewegungsrichtung des zweiten
Satzes von Elektroden aufweisen, und durch ein nachgiebiges Elasto
merbauteil in der anderen Richtung angeschlossen sind.
9. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 8, bei der das Ende
der Kuppelstange, das in den Hohlraum hineinragt, sowie der Läufer
Steifigkeit nur in der Bewegungsrichtung des zweiten Satzes von
Elektroden aufweisen, und durch ein nachgiebiges Elastomerbauteil
in der anderen Richtung angeschlossen sind.
10. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 1, bei der das
Hohlraum bildende Bauteil so gestaltet ist, daß es eine Abdeckung
umfaßt, die einen auf der Oberseite des Hauptträgers vorgesehenen
Hohlraum besitzt, um eine Eintiefung auf der Oberseite der Ab
deckung entlang der Längsrichtung des Hauptträgers zu schaffen, und
daß das Bauteil ein auf die Abdeckung gesetztes Gehäuse besitzt,
um die Eintiefung der Abdeckung zu schließen.
11. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 10, bei der der
Hohlraum der Abdeckung über die halbe Länge des Hohlraumes
eine innere Nut bildet, die tiefer als der Hohlraum ist, und daß die
innere Nut mit einem Kupplungsblock versehen ist, der in der
inneren Nut gleitet, derart, daß der zweite Satz von Elektroden
entlang der Längsrichtung des ersten Satzes von Elektroden bewegt
wird.
12. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 11, bei der die
Kupplungseinrichtung eine Kuppelstange besitzt, die in dem entlang
der Längsrichtung des Hauptträgers gebildeten vertieften Abschnitt
vorgesehen ist, um sich in der Längsrichtung des vertieften Abschnit
tes zu bewegen, wobei die Kuppelstange mit dem Kupplungsblock an
demjenigen Ende der Kuppelstange angeschlossen ist, das in die
innere Nut des Hohlraumes eingefügt ist, und daß die Stange mit
dem Läufer am anderen Ende der Kuppelstange verbunden ist.
13. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 12, bei der das
Ende der Kuppelstange und der Läufer miteinander durch eine
Blattfeder verbunden sind.
14. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 13, bei der der
Hauptträger und die genannte Abdeckung einen Zwischenabstand
bilden, um die Blattfeder zu veranlassen, sich in einen Bereich zu
bewegen, der größer als die durch den Läufer zurückgelegte Länge
des effektiven Meßbereichs zwischen dem Hauptträger und der
Abdeckung ist.
15. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 14, bei der die
Blattfeder eine dünne Platte einer U-förmigen Ebene ist und einen
mittleren Abschnitt, der an das Ende des Läufers angeschlossen ist,
sowie ein Paar von Seitenabschnitten besitzt, die am Läufer befestigt
sind, um einen geschätzten rechten Winkel an beiden Seiten des
mittleren Abschnittes zu schaffen, so daß die seitlichen Abschnitte
untereinander parallel verlaufen.
16. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 15, bei der die
Dichtungseinrichtung ein Dichtungselement umfaßt, das mit einem
Durchgangsloch im Hohlraum versehen ist und von der Kuppelstange
durchdrungen wird.
17. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 10, bei der der
Hohlraum ein Verbindungsloch schafft, das mit der Außenseite in
Verbindung steht, wobei ein Belüftungselement im Verbindungsloch
vorgesehen ist, um das Ausfließen von Fluid zu verhindern, jedoch
das Eintreten der Luft zu erlauben.
18. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 10, bei der die
Abdeckung und das Gehäuse, welche das Hohlraum schaffende
Bauteil bilden, aus Kunstharz bestehen, der Glasfasern enthält.
19. Kapazitive Elektrodenschieblehre nach Anspruch 10, bei der das
Gehäuse mit einer elektrischen Schaltungsanordnung versehen ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/369,657 US5574381A (en) | 1995-01-06 | 1995-01-06 | Sealed mechanical configuration for electronic calipers for reliable operation in contaminated environments |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19600295A1 true DE19600295A1 (de) | 1996-07-11 |
DE19600295C2 DE19600295C2 (de) | 2000-05-11 |
Family
ID=23456362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19600295A Expired - Fee Related DE19600295C2 (de) | 1995-01-06 | 1996-01-05 | Kapazitive Elektrodenschieblehre |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5574381A (de) |
JP (1) | JP3351938B2 (de) |
CN (1) | CN1066817C (de) |
DE (1) | DE19600295C2 (de) |
GB (1) | GB2296775B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10312755B4 (de) * | 2002-03-23 | 2007-11-29 | Bruno Kohler | Schieblehre, insbesondere für die Halswirbelsäule |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69530074T2 (de) * | 1995-06-07 | 2004-03-04 | Brown & Sharpe Tesa S.A. | Kapazitive Messvorrichtung |
JP3290077B2 (ja) * | 1996-09-26 | 2002-06-10 | 株式会社ミツトヨ | ダイヤルゲージ |
US6073360A (en) * | 1997-01-22 | 2000-06-13 | Js Research And Development, Inc. | Instrument mount with spring-loaded clamp |
CN1125969C (zh) * | 1998-07-21 | 2003-10-29 | 陈其良 | 一种电容式数显卡尺 |
CN2343572Y (zh) * | 1998-08-20 | 1999-10-13 | 陈其良 | 一种容栅式数显卡尺 |
GB2349473B (en) * | 1999-03-04 | 2003-05-28 | Bert Corp Ltd | Electronic caliper and apparatus for calculating body fat percentage and/or body density |
US6279248B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-08-28 | Central Purchasing, Inc. | Digital measuring system having a multi-row encoder disk |
CN1415931A (zh) * | 2002-10-22 | 2003-05-07 | 赵飙 | 滚动电容数显卡尺 |
US6829838B1 (en) * | 2003-09-09 | 2004-12-14 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
JP2005140141A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Utsue Valve Service Kk | ガスケットの締め代管理用測定器 |
JP4615955B2 (ja) | 2004-10-12 | 2011-01-19 | 株式会社ミツトヨ | 誘導型変位検出装置 |
CN2765139Y (zh) * | 2004-12-27 | 2006-03-15 | 杨忠义 | 双柱式数显高度规 |
US7216441B2 (en) * | 2005-07-29 | 2007-05-15 | Robert Alan Batora | Apparatus for measuring step height or depth against another surface |
US7191541B1 (en) | 2005-12-06 | 2007-03-20 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
US7681325B2 (en) * | 2006-11-02 | 2010-03-23 | General Electric Company | Apparatus for measuring a turbine blade |
US7530177B1 (en) | 2007-11-08 | 2009-05-12 | Mitutoyo Corporation | Magnetic caliper with reference scale on edge |
US7721459B2 (en) * | 2008-02-28 | 2010-05-25 | Cantega Technologies Inc. | Hot stick with measuring calipers |
DE102008021189B4 (de) * | 2008-04-29 | 2010-09-30 | Eberhard Kunze | Digitaler Universal Messschieber |
JP5601910B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-10-08 | 株式会社ミツトヨ | 防熱カバー及びマイクロメータ |
EP2650638B1 (de) * | 2012-04-12 | 2014-11-19 | Tesa Sa | Tragbares Instrument zum Messen von Abmessungen |
US8931185B2 (en) | 2012-12-04 | 2015-01-13 | Mitutoyo Corporation | Electronic caliper configured to generate power for measurement operations |
US9021715B2 (en) | 2012-12-04 | 2015-05-05 | Mitutoyo Corporation | Electronic caliper configured to generate power for measurement operations |
US8898923B2 (en) * | 2012-12-05 | 2014-12-02 | Mitutoyo Corporation | System and method for setting measurement force thresholds in a force sensing caliper |
US9631913B2 (en) | 2013-08-29 | 2017-04-25 | Mitutoyo Corporation | Calibration control device for metrology tools |
US9377282B2 (en) | 2013-09-03 | 2016-06-28 | Mitutoyo Corporation | Method for validating a workpiece measurement in a dimensional metrology hand tool |
US9421619B2 (en) * | 2013-12-20 | 2016-08-23 | Brian Young | Drill hole repositioning tool |
US9417094B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-08-16 | Mitutoyo Corporation | Displacement sensor for force indicating caliper |
US9347757B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-05-24 | Mitutoyo Corporation | Wheel assembly for moving caliper jaw with repeatable force |
US9267779B2 (en) | 2014-03-31 | 2016-02-23 | Mitutoyo Corporation | Flexible mount for coupling force actuator to caliper jaw |
US9212883B2 (en) | 2014-05-01 | 2015-12-15 | Mitutoyo Corporation | Caliper force indicator with tactile or auditory feedback |
USD740141S1 (en) * | 2014-06-24 | 2015-10-06 | Yanchen Zhang | Heavy duty caliper |
US9310175B2 (en) * | 2014-09-08 | 2016-04-12 | Mitutoyo Corporation | Jaw-mounted magnet accessory for calipers |
US10068465B2 (en) | 2014-10-22 | 2018-09-04 | Mitutoyo Corporation | Battery-less data transmission module accessory for portable and handheld metrology devices |
US20160119055A1 (en) | 2014-10-22 | 2016-04-28 | Mitutoyo Corporation | Measurement transmission system for handheld metrology tools |
US9678701B2 (en) | 2014-11-05 | 2017-06-13 | Mitutoyo Corporation | Handheld measuring device comprising a user interface responsive to changes in a displacement sensed by a displacement sensor |
US9612099B2 (en) | 2015-03-10 | 2017-04-04 | Mitutoyo Corporation | Compliant thumb wheel assembly coupled to a caliper jaw |
WO2017015546A1 (en) | 2015-07-23 | 2017-01-26 | Gagemaker, Lp | Thread inspection systems and methods |
US10147654B2 (en) * | 2016-10-20 | 2018-12-04 | Nxp Usa, Inc. | Package materials monitor and method therefor |
CN106944944A (zh) * | 2017-02-16 | 2017-07-14 | 上海与德通讯技术有限公司 | 可测量长度的镊子以及长度测量方法 |
DE102019118693A1 (de) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | Ewellix AB | Positionssensorik, Verfahren zur Positionsermittlung und Linearaktuator |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE411392B (sv) * | 1977-12-09 | 1979-12-17 | Inst Mikrovagsteknik Vid Tekni | Metanordning for kapacitiv bestemning av det inbordes leget hos tva relativt varandra rorliga delar |
DE3410944C1 (de) * | 1984-03-24 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
US4959615A (en) * | 1988-05-31 | 1990-09-25 | Micro Encoder, Inc. | Electrode structure for capacitance-type measurement transducers |
US4879508A (en) * | 1986-04-04 | 1989-11-07 | Mitutoyo Corporation | Capacitance-type measuring device for absolute measurement of positions |
JPS62235504A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-15 | Mitsutoyo Corp | 容量型位置測定トランスデユ−サ |
USRE34741E (en) * | 1986-04-04 | 1994-09-27 | Mitutoyo Corporation | Electrode structure for capacitance-type measurement transducers |
US5239307A (en) * | 1989-10-10 | 1993-08-24 | Micro Encoder Inc. | Method and apparatus for sensing of position |
US5477621A (en) * | 1993-04-26 | 1995-12-26 | Mitutoyo Corporation | Electrical capacitance instrument and manufacturing method of the same |
DE4323635C2 (de) * | 1993-07-15 | 2001-05-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Gekapselte Meßeinrichtung |
US5416424A (en) * | 1993-09-15 | 1995-05-16 | Mitutoyo Corporation | Dielectric coating for capacitive position transducers to reduce sensitivity to contaminants |
-
1995
- 1995-01-06 US US08/369,657 patent/US5574381A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-10-03 JP JP25646695A patent/JP3351938B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-04 GB GB9600108A patent/GB2296775B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-05 DE DE19600295A patent/DE19600295C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-06 CN CN96104062A patent/CN1066817C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10312755B4 (de) * | 2002-03-23 | 2007-11-29 | Bruno Kohler | Schieblehre, insbesondere für die Halswirbelsäule |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB9600108D0 (en) | 1996-03-06 |
DE19600295C2 (de) | 2000-05-11 |
JPH08189801A (ja) | 1996-07-23 |
GB2296775A (en) | 1996-07-10 |
CN1066817C (zh) | 2001-06-06 |
CN1147084A (zh) | 1997-04-09 |
JP3351938B2 (ja) | 2002-12-03 |
US5574381A (en) | 1996-11-12 |
GB2296775B (en) | 1998-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19600295C2 (de) | Kapazitive Elektrodenschieblehre | |
EP0824671B1 (de) | Kapazitiver füllstandsensor | |
DE69729534T2 (de) | Magnetischer Fühler | |
DE10158777B4 (de) | Anordnung zum Erfassen von Relativbewegungen oder Relativpositionen zweier Objekte | |
EP0288806B1 (de) | Wärmeübergangsmessgerät, insbesondere Strömungswächter | |
EP1559195A1 (de) | Kapazitiver annäherungs- und/oder berührungssensor sowie elektrisch leitfähiger kunststoffkörper für einen solchen sensor | |
AT395113B (de) | Ski | |
DE2901416A1 (de) | Anordnung zum elektrischen verbinden einer vielzahl von anschluessen | |
DE3338695C2 (de) | Zweirichtungs-Tastvorrichtung | |
EP0671606B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
EP0284787B1 (de) | Weg- bzw. Positionsgeber | |
EP0188789B1 (de) | Magnetfeldsensor | |
DE69818349T2 (de) | Messinstrument | |
EP0158050A1 (de) | Gekapselte Messeinrichtung | |
CH645715A5 (de) | Messinstrument zur ueberpruefung von linearen abmessungen. | |
DE60308136T2 (de) | Massstab-Vorrichtung | |
DE3008110A1 (de) | Zwischenverbindungsstueck fuer kartenkantenverbindungen | |
DE3511600A1 (de) | Schiebeschalter | |
DE3604120C2 (de) | ||
DE102005048384B3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschlüssigen Verbindung zweier Körper | |
DE3441217A1 (de) | Wegmessgeber | |
DE10059813A1 (de) | Vorrichtung zur Erfassung eines Fluiddrucks | |
EP0188790A2 (de) | Magnetfelddetektor | |
DE3903094C2 (de) | ||
DE2932389C2 (de) | Photoelektrische Positionsmeßeinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |