DE3903094C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen taktilen Sensor nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Der taktile Sensor nach der GB-A 21 36 966 weist eine erste Tafel auf, auf der in X-Richtung verlaufende lei­ tende Streifen angeordnet sind, die mit ihrem einen Ende an einen quer dazu verlaufenden Widerstandsstreifen angeschlossen sind. Im Abstand dazu ist eine mittlere Tafel aus leitfähigem Material angeordnet. Im Abstand zu dieser ist eine zweite Tafel vorgesehen, die gleich wie die erste Tafel aufgebaut, jedoch zu dieser um 90° gedreht ist, so daß die leitenden Streifen in Y-Richtung verlaufen. Die mittlere Tafel liegt an einem Bezugs­ potential, das auch an jeweils einem Ende der beiden Widerstandsstreifen liegt. An den jeweils anderen Enden der Widerstandsstreifen wird das Potential abgegriffen. Wird ein Druck auf den Sensor ausgeübt, der eine Berüh­ rung der mittleren Tafel mit den leitenden Streifen der ersten und zweiten Tafel bewirkt, dann kann durch Erfassen der Potentiale an den anderen Enden der Wi­ derstandsstreifen der Ort ermittelt werden, an dem der Druck auf den Sensor wirkt.

Dieser taktile Sensor weist also eine Vielzahl druck­ empfindlicher Meßzellen auf, jeweils bestehend aus einer ersten Leiterbahn auf der ersten Tafel, einer zweiten Leiterbahn auf der zweiten Tafel und dem leitfähigen Material der mittleren Tafel.

Bei diesem taktilen Sensor ist es wohl möglich, den Ort zu erfassen, wo der Druck wirkt, es ist jedoch nicht möglich, die Größe des Druckes zu erfassen.

Um die Größe eines Drucks und den Ort des Drucks er­ mitteln zu können, finden Tafeln aus einem Material Verwendung, dessen elektrischer Widerstand sich mit der Größe des Drucks verändert. Ein solcher taktiler Sensor ist beispielsweise Gegenstand der US-PS 42 08 648. Dieser besteht aus einer ersten Tafel, bei der elektrische Leiter in X-Richtung angeordnet sind, einer mittleren Tafel aus dem vorgenannten Material und einer zweiten Tafel, bei welcher die Leiter in Y-Richtung verlaufen. Dieser taktile Sensor weist den Nachteil auf, daß Ort und Größe des Drucks nur relativ ungenau gemessen werden können. Außerdem hängt das Druck-Wider­ standsverhältnis des Materials der mittleren Tafel von vielen Faktoren ab, wie beispielsweise von der Umge­ bungstemperatur.

Die DE-OS 36 42 780 hat eine eine Vielzahl von Meßzellen aufweisende Detektormatte zum Inhalt, bei der jede Meßzelle aus einer Leiterbahn, einem darauf angeordneten keramischen Dielektrikum, einer metallischen Zwischenschicht, einem elastischen Verbundwerkstoff und einer weiteren Leiterbahn besteht. Wird auf eine solche Meßzelle ein Druck ausgeübt, dann ändert sich der Widerstand des Verbundwerkstoffs. Die einen Leiterbahnen bilden Zeilenelektroden, in die ein Signal eingelesen wird, während die weiteren Leiterbahnen Spaltenelektroden bilden, über die die Signale ausgelesen werden. Damit ist der Ort einer Druckbeaufschlagung erfaßbar, nicht jedoch die Größe des Drucks.

Nach der DE-OS 34 20 627 bestehen nach einer ersten Ausführungsform Druckmeßzellen aus zwei Kunststoffolien, die durch Abstandshalter im Abstand zueinander gehalten werden. An der einen Folie ist eine Leiterbahn und an der anderen Folie sind zwei Leiterbahnen angeordnet. Wird auf eine solche Meßzelle ein Druck ausgeübt, deformiert sie sich, wobei die eine Leiterbahn die beiden gegenüberliegenden Leiterbahnen überbrückt. Damit ist der Ort einer Druckbeaufschlagung erfaßbar, nicht jedoch die Größe des Drucks. Bei einer zweiten Ausführungsform weisen die Folien je eine flache Leiterbahn auf und sind durch einen keilförmigen Abstandshalter voneinander getrennt. Bei zunehmendem Druck kommen die Leiterbahnen auf eine zunehmende Länge gegeneinander zum Anliegen. Durch eine Widerstandsmessung ist diese Länge und damit der Druck erfaßbar. Als Meßzelle für einen taktilen Sensor ist diese Vorrichtung wenig geeignet, denn auf die ganze Fläche der Folien muß der gleiche Druck wirken, damit die Länge der Berührung der Leiterbahnen druckproportional erfolgt.

Es besteht die Aufgabe, den taktilen Sensor der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß bei einfachem Auf­ bau neben dem Ort auch mit hoher Genauigkeit die Größe des Drucks gemessen werden kann.

Gelöst wird diese Aufgabe mit den kennzeichnenden Merk­ malen des Anspruches 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen entnehmbar.

Ausführungsbeispiele werden nachfolgend an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt auf einen Teil einer ersten Ausführungsform des Sensors längs der Linie A-A in Fig. 2;

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie B in Fig. 1;

Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie C in Fig. 1;

Fig. 4 einen der Fig. 2 entsprechenden Schnitt bei Einwirken eines Drucks auf die erste Ausführungsform des Sensors;

Fig. 5 einen Schnitt durch eine zweite Ausführungs­ form des Sensors;

Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie A-A in Fig. 5;

Fig. 7 einen Schnitt längs der Linie B-B in Fig. 5;

Fig. 8 einen Schnitt längs der Linie C-C in Fig. 5;

Fig. 9 einen Schnitt längs der Linie D-D in Fig. 5 bei der zweiten Ausführungsform des Sensors;

Fig. 10 einen Vertikalschnitt bei einer dritten Ausführungsform des Sensors;

Fig. 11 einen Schnitt längs der Linie E-E in Fig. 10;

Fig. 12 einen Schnitt längs der Linie F-F in Fig. 10;

Fig. 13 einen Vertikalschnitt durch eine vierte Ausführungsform des Sensors;

Fig. 14 einen Vertikalschnitt bei einem fünften Ausführungsbeispiel des Sensors;

Fig. 15 einen Schnitt längs der Linie H-H in Fig. 14;

Fig. 16 einen Schnitt längs der Linie G-G in Fig. 14.

Fig. 17 eine Draufsicht auf die Widerstandsbahnen aufweisende Tafel bei einem sechsten Aus­ führungsbeispiel;

Fig. 18 einen Schnitt längs der Linie A-A in Fig. 17;

Fig. 19 eine Draufsicht auf die Leiterbahnen auf­ weisende Tafel beim sechsten Ausführungs­ beispiel;

Fig. 20 einen Schnitt längs der Linie B-B in Fig. 19 und

Fig. 21 einen abgewinkelten Vertikalschnitt durch den Sensor nach dem sechsten Ausführungs­ beispiel.

Auf einer folienartigen Unterlage 1, welche aus einem elektrisch nicht leitenden Material besteht, sind drei streifenförmige Leiterbahnen 2A, 2B, 2C einer Folie aus Widerstandsmaterial angeordnet. Die Leiterbahnen 2A, 2B, 2C verlaufen im Abstand und parallel zueinander und sind somit voneinander elektrisch isoliert. Die drei Leiterbahnen 2 sind linksseitig jeweils elektrisch zusammengeschaltet, weisen also einen gemeinsamen An­ schluß 0 auf. An der rechten Seite ist für jede Leiter­ bahn ein separater elektrischer Anschluß A1, A2, A3 vorgesehen. Durch Messen des Spannungsabfalls zwischen dem Anschluß 0 einerseits und den Anschlüssen A1, A2, A3 andererseits bzw. durch Messen der über die Anschlüsse A1, A2, A3 fließenden Ströme ist es möglich, den je­ weiligen elektrischen Widerstand der Leiterbahnen 2 zu erfassen. Wird der Drucksensor nicht mit Druck be­ aufschlagt, ist der elektrische Widerstand der Leiter­ bahnen 2A, 2B und 2C untereinander gleich.

Über den Leiterbahnen 2A, 2B und 2C verlaufen, die Leiterbahnen 2 rechtwinkelig kreuzend, drei elektrische flächige Leiterbahnen 3A, 3B, 3C, die im Abstand zuei­ nander angeordnet und somit elektrisch voneinander iso­ liert sind. Jede Leiterbahn 3 ist verbunden mit einem Anschluß a, b und c. Diese Leiterbahnen sind angeord­ net auf einer flächigen elektrisch nicht leitenden wei­ teren Folie 4. Die Leiterbahnen 3 bestehen aus einem elektrisch gut leitenden Material, das auf die weitere Folie 4 beispielsweise aufgedampft ist.

An jeder Kreuzungsstelle zwischen einer Leiterbahn 2A, 2B und 2C mit einer Leiterbahn 3A, 3B und 3C sind die aus einer elastischen Folie bestehenden Leiterbahnen 2A, 2B und 2C in Richtung der jeweiligen Leiterbahn 3A, 3B und 3C konvex gewölbt. Weiterhin weist die wei­ tere Folie 4 an jedem dieser Kreuzungspunkte einen Nippel 5 auf, der in eine entsprechende Vertiefung 6 an jeder konvex gekrümmten Oberfläche 7 eingreift. Im Bereich jedes Nippels 5 weisen die Leiterbahnen 3 Ausspa­ rungen auf. Die Nippel 5 halten, wie dies die Fig. 2 und 3 zeigen, die Leiterbahnen 3 in geringfügigem Abstand zur Oberfläche der Leiterbahnen 2.

Wird auf den Drucksensor ein Druck beispielsweise mittels eines Stiftes 8 ausgeübt, dann entstehen beispielsweise die Verhältnisse nach Fig. 4. Hierbei kommt die aus Metall bestehende Leiterbahn 3B in flächigen Kontakt mit der aus einem Widerstandsmaterial bestehenden Leiter­ bahn 2A und überbrückt diese dabei über die Länge X. Der ohmsche Widerstand der Leiterbahn 2A gemessen zwi­ schen den Anschlüssen 0 und A1 wird somit bestimmt durch die Gesamtlänge der Bahn 2A abzüglich der Länge X. Weiterhin nimmt die Leiterbahn 3B ein Potential an, das der halben Potentialdifferenz zwischen den Anschlüssen 0 und A1 entspricht und das am Anschluß b auftritt. Durch das am Anschluß b auftretende Potential und durch den Abfall des Widerstands zwischen den Anschlüssen 0 und A1 bzw. durch das Anwachsen des über den Anschluß A1 fließenden Stroms ist der Ort bestimmbar, an welchem der Stift 8 auf den Sensor einwirkt, nämlich die Zelle 10, wo sich die Leiterbahn 3B und die Leiterbahn 2A kreuzen. Es handelt sich hierbei um die obere mittlere Zelle nach Fig. 1.

Die Größe des vom Stift 8 ausgeübten Drucks bestimmt die Deformation des konvex gewölbten Bereichs der Leiter­ bahnen 2 jeder Zelle 10. Diese Deformation ist zum Druck etwa proportional und damit etwa proportional des Länge X, über die sich die Leiterbahnen 2 und 3 gegeneinander anschmiegen. Damit bestimmt der durch die Länge X bewirkte Widerstandsabfall bei der Leiter­ bahn 2 die Größe des ausgeübten Drucks.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 5 bis 9 sind auf der Unterlage 1 zwei- oder dreidimensional konvex gekrümmte runde Leiter 20 angeordnet (siehe Fig. 8), die aus einem Widerstandsmaterial bestehen und die in vertikaler Richtung durch Leiterstücke 11 aus einem elektrisch gut leitenden Material miteinander verbunden sind. Sie weisen eine konvex gekrümmte Oberfläche 7 auf. Oberhalb dieser starren Leiter 2D ist eine elas­ tische Folie 12 gespannt, die an ihrer Unterseite, den Leitern 2D gegenüberliegend kreisförmige Leiter 3D aus gut leitendem Material trägt (siehe Fig. 9) und die beispielsweise auf die Folie 12 aufgedampft sind.

Auf der Folie 4 sind den Leitern 2D gegenüberliegend stark konkav gekrümmte Leiter 2E angeordnet, die ebenfalls aus einem Widerstandsmaterial bestehen und die in horizontaler Richtung durch Leiterstücke 9 mit­ einander verbunden sind (siehe Fig. 6). Sie weisen eine konkav gekrümmte Oberfläche 7A auf. Ihnen gegenüberliegend sind auf der Oberseite der Folie 12 jeweils zwei elek­ trisch voneinander getrennte keilförmige Leiter 3E aus elektrisch gut leitendem Material angeordnet, deren Spitzen horizontal gegeneinander gerichtet sind. Gehal­ ten wird die Folie 12 an den Folien 1 und 4 mittels Nieten 15. Die Leiter 2D mit den Leiterstücken 11 bilden jeweils vertikal verlaufende Leiterbahnen, während die Leiter 2E mit den Leiterstücken 9 horizontal ver­ laufende Leiterbahnen bilden, die jeweils im wesent­ lichen aus Widerstandsmaterial bestehen und deren Wider­ standswert erfaßt wird.

Wird ein Druck auf die elastische Folie 4 ausgeübt, dann schmiegt sich die elastische Folie 12 druckpropor­ tional über die Oberfläche 7 und in die Oberfläche 7A, wobei die Leiterbahnen 3D und 3E eine druckproportiona­ le Überbrückung bei den aus Widerstandsmaterial bestehen­ den Leitern 2D und 2E bewirkt. Die hierdurch bewirkte Widerstandsänderung ermöglicht eine Druckerfassung nach Ort und Größe.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 5 bis 9 sind die Leiter 2D und 2E, die jeweils in einer Reihe angeordnet sind, in Serie geschaltet, so daß Ort und Größe der Druckausübung durch Widerstandsmessung der Reihenschal­ tung in horizontale und vertikale Richtung zu ermitteln sind.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 10 bis 12, die im wesentlichen der Ausführungsform nach den Fig. 5 bis 9 entspricht, sind Anschlüsse 14 für jeden Leiter 2D vorgesehen, wodurch wohl die Anzahl der An­ schlüsse erhöht wird, es jedoch dann möglich ist, die Größe des Drucks bei jeder einzelnen Zelle 10 zu er­ mitteln. Gemäß Fig. 10 sind in horizontaler Richtung keine einzelnen Leiter 2E vorgesehen, sondern diese sind einstückig durchgehend ausgebildet, so daß die Leiter­ stücke 9 entfallen können.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 13 sind die aus einem Widerstandsmaterial bestehenden Leiter 2D ebenfalls starr ausgebildet. Die aus einem gut leitenden Material bestehenden Leiter 3D sind auf einer elastischen Folie 22 angeordnet, die sich abhängig vom Druck P vom Punkt Y zum Punkt Z auf der konkaven Oberfläche 7 anschmiegt, wodurch der Leiter 3D beim Leiter 2D die Strecke X elektrisch überbrückt. Ein solcher Sensor ermöglicht die Erfassung des Orts des Drucks und seine Größe in einer Koordinatenrichtung. Für die zweite dazu senk­ recht verlaufende Koordinate wird ein zweiter gleich aufgebauter Sensor, jedoch dazu 90° gedreht verwendet. Der in Fig. 13 dargestellte Sensor ist auch ge­ eignet als veränderbarer Widerstand, um als Weggeber eingesetzt werden zu können.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 14 bis 16, die in ihrem Aufbau im wesentlichen derjenigen nach den Fig. 10 bis 12 entspricht, sind in der Folie 12 bei jeder Zelle 10 zusätzlich Dehnmeßstreifen 16 vorgesehen, von denen jeder Anschlüsse 17 aufweist, und es möglich ist, bei jeder Zelle 10 den dort wirkenden Druck zu messen.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 17 bis 21 ist auf einer Unterlage 13 eine aus zwei Schichten bestehen­ de Folie 1 angeordnet, die an ihrer Oberseite Leiter­ bahnen 2F aus einem Widerstandsmaterial trägt. Jede Leiterbahn 2F ist Teil einer Zelle 10. Jede Leiterbahn 2F weist 4 geradlinige Leiterstücke 18 auf, wobei be­ nachbarte Leiterstücke 18 rechtwinklig zueinander ver­ laufen. Die beiden Enden jeder Leiterbahn 2F sind elektrisch mit Anschlußleitungen 19 verbunden, die zwischen den beiden Schichten der Folie 1 verlaufen und die aus einem elektrisch gut leitenden Material bestehen.

Auf der Folie 1 ist eine elastische Folie 22 angeordnet. Diese elastische Folie 22 weist an dem Bereich der geraden Leiterstücke 18 konvexe Oberflächenbereiche 7 auf, die jeweils mit einer Leiterbahn 3F aus einem gut leitfähigen Material beschichtet sind. Die konvexen Oberflächenbereiche 7 sind kreisförmig ausgebildet. Zwischen den konvexen Oberflächenbereichen 7 sind Distanz­ stege 20 vorgesehen. Im Zentrum jeder Leiterbahn 2F ist bei der Folie 1 und der Unterlage 13 eine Bohrung 21 angeordnet, in welche ein Nippel 23 der elastischen Folie 22 eingreift, der einen verdickten Kopf aufweist. Auf diese Weise wird die Verbindung zwischen der Folie 22 und der Unterlage 13 hergestellt. Jeweils eine Leiter­ bahn 2F stellt in Verbindung mit 4 konvexen Oberflächen­ bereichen 7, die jeweils mit einer Leiterbahn 3F beschich­ tet sind, eine Zelle 10 dar.

Wird auf die elastische Folie 22 ein Druck ausgeübt, dann schmiegen sich die konvexen Oberflächenbereiche 7 an die Folien 1 an, wobei die Leiterbahnen 3F etwa druckproportional die Leiterstücke 18 der Leiterbahn 2F überbrücken und damit den bei den Anschlüssen 19 gemessenen Widerstand jeder Zelle 10 verändern, d.h. erniedrigen.

Claims (17)

1. Taktiler Sensor, der mindestens zwei parallel zueinander verlaufende Tafeln aufweist, mindestens eine der Tafeln elastisch ausgebildet ist, zwischen den Tafeln eine Vielzahl von druckempfindlichen Meßzellen angeordnet sind, jede Zelle eine erste Leiterbahn an der einen Tafel und eine zweite Leiterbahn an der anderen Tafel aufweist, die eine Leiterbahn aus einem elektrisch gut leitenden Material besteht und eine Leiterbahn flach ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Zelle (10) die gleichsinnig verlaufenden Leiterbahnen (2, 3) einander berühren, die andere Leiterbahn (2) aus einem elektrischen Widerstandsmaterial besteht, eine Leiterbahn (2, 3) eine gleichförmig gekrümmte Oberfläche (7) aufweist, bei einer Druckbeaufschlagung durch Deformation der elastischen Tafel die beiden Leiterbahnen (2, 3) sich gegeneinander anschmiegen und hierbei die Länge (X) der Anschmiegung etwa druckproportional erfolgt und der Widerstand der anderen Leiterbahn (2) gemessen wird.

2. Taktiler Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die gleichmäßig gekrümmte Oberfläche (7) konvex ausgebildet ist.

3. Taktiler Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede Zelle (10) gebildet wird aus einer konvex gekrümmten Leiterbahn (2A bis 2D, 3F) und aus einer ebenen Leiterbahn (3A bis 3D, 2F) und mindestens eine der Leiterbahnen (2A bis 2D, 2F, 3A bis 3D, 3F) auf einer elastischen Folie angeordnet ist bzw. aus einer elastischen Folie besteht.

4. Taktiler Sensor nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die konvex gekrümmte Leiterbahn (2A bis 2C) aus einem elastischen Wider­ standsmaterial besteht und die ebene Leiterbahn (3A- 3C) auf einer elastischen Folie (4) angeordnet ist.

5. Taktiler Sensor nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die konvex gekrümmte Leiterbahn (2D) aus einem starren Widerstandsmaterial besteht und die ebene Leiterbahn (3D) auf einer plastischen Folie (12, 22) angeordnet ist.

6. Taktiler Sensor nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die konvex gekrümmte Leiterbahn (3F) aus einem elastisch gut leitenden Material besteht und auf der konvex gekrümmten Ober­ fläche (7) einer elastischen Folie (32) angeordnet ist.

7. Taktiler Sensor nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die elastische Folie (22) aus einem gummielastischen deformierbaren Material besteht.

8. Taktiler Sensor nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß an der der konvex ge­ krümmten Leiterbahn (2D) gegenüberliegenden Seite der Folie (12) eine konkav gekrümmte Leiterbahn (2E) angeordnet ist und auf dieser Seite die Folie (12) zwei keilförmige Leiterbahnen (3E) trägt.

9. Taktiler Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die aus einem Widerstandsmaterial bestehenden Leiterbahnen einander benachbarter und in einer Reihe angeordne­ ter Zellen (10) elektrisch in Reihe geschaltet sind.

10. Taktiler Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die aus einem Widerstandsmaterial bestehende Leiterbahnen der Zellen (10) an voneinander getrennte Anschlüsse (14, 19) angeschlossen sind.

11. Taktiler Sensor nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zwischen den konkav und konvex gekrümmten Leiterbahnen (2D, 2E) die Folie (12) zusätzlich einen Dehnmeßstreifen (16) trägt.

12. Taktiler Sensor nach Anspruch 4 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Leiterbahnen (2A, 2B, 2C) aus dem elastischen Widerstandsmaterial in Streifenform nebeneinander angeordnet sind, die bei jeder Zelle (10) konvex gekrümmt sind und die Zellen (10) einander benachbarter Leiterbahnen (2A, 2B, 2C) von streifenförmigen Leiterbahnen (3A, 3B, 3C) aus elektrisch gut leitendem Material überkreuzt werden, die auf der elastischen Folie (4) angeordnet sind.

13. Taktiler Sensor nach Anspruch 5 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (12) über der konvex gekrümmten Leiterbahn (3D) gespannt ge­ halten wird.

14. Taktiler Sensor nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiter­ bahnen (3D, 3E, 3F) aus elektrisch gut leitendem Mate­ rial voneinander elektrisch getrennt sind.

15. Taktiler Sensor nach Anspruch 6 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die ebene Leiterbahn (2F) aus einem Widerstandsmaterial einer Zelle (10) mehrere geradlinige Leiterstücke (18) aufweist, denen jeweils eine konvex gekrümmte Oberfläche (7) der elastischen Folie (32) zugeordnet ist, und auf dieser Oberfläche (7) die Leiterbahn (3F) aus elek­ trisch gut leitendem Material angeordnet ist.

16. Taktiler Sensor nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß benachbarte Leiterstücke (18) rechtwinklig zueinander verlaufen und die elas­ tische Folie (32) die konvex gekrümmten Oberflächen (7) umgebende Distanzstege (20) aufweist, die an der Oberfläche der die ebenen Leiterbahnen (2F) tra­ gende Folie (1) anliegen.

17. Taktiler Sensor nach Anspruch 16, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zentrisch zu den jeweils vier konvex gekrümmten Oberflächen (7) jeder Zelle (10) ein Nippel (23) an der elastischen Folie (22) angeordnet ist, der in eine Bohrung (21) einer Unter­ lage (13) eingreift, welche die ebenen Leiterbahnen (2F) trägt.