DE19546182A1 - Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Fluß- und Druck-Messung und -Steuerung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Fluß- und Druck-Messung und -SteuerungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren und
Vorrichtungen zum Schaffen einer Verteilung, einer Überwa
chung und einer Regelung von Fluids und insbesondere auf
einen Temperatur-kompensierten Massenfluß- und Druck-Sensor
zur Verwendung in einem pneumatischen Verteiler, um eine ge
naue Erfassung und Steuerung des Fluid-Druckes und -Flusses
zu liefern.
Auf dem Gebiet der Fluß- und Druck-Messung ist es gut be
kannt, ein Heißdrahtanemometer zu verwenden, um Flußraten zu
bestimmen. Ein Fluid wird typischerweise über einen einzel
nen erwärmten Draht geleitet, was die Temperatur des Drahts
reduziert. Die Änderung des Widerstands des erwärmten Drahts
wird bestimmt und mit der Flußrate des Gases in Beziehung
gesetzt. Eine fortschrittlichere Technik verwendet zwei Tem
peratur-Erfassungselemente, die sich in einem festen und
gleichen Abstand von einer Wärmequelle befinden. Das Fluid
wird durch das System geleitet, was die Temperatur des strö
mungsmäßig oberen Sensors reduziert und die Temperatur des
strömungsmäßig unteren Sensors erhöht. Die Temperaturdiffe
renz wird dann als ein Ausgangssignal aufgezeichnet.
Ein Hauptnachteil von Heißdrahtanemometern ist die nicht-li
neare, Temperatur- und Fluid-abhängige Art und Weise, auf
die dieselben auf einen Fluidfluß antworten. Eine Technik
und ein Verfahren zum Linearisieren der Ausgangssignale der
artiger Anemometer ist in der U.S. Patentanmeldung Serien
nummer 07/611,425 der gleichen Anmelderin, deren Offenbarung
hiermit durch Bezugnahme aufgenommen ist, offenbart. Ungün
stigerweise kompensiert diese Technik eine Drift in dem Aus
gangssignal nicht ausreichend, die zu Schwankungen der Be
triebs-Temperaturen und -Drücke gehört (obwohl diese typi
scherweise als Umgebungs-Temperatur und -Druck bezeichnet
werden, können sich die tatsächlichen Betriebs-Temperaturen
und -Drücke mit dem Geräteaufbau ändern).
In analytischen Geräten besteht der Bedarf nach einem sehr
genauen Fluidfluß, der bezüglich Änderungen der umgebenden
oder der tatsächlichem Betriebs-, Temperatur und dem umge
benden Druck kompensiert ist. Bei einem Gaschromatographen
wird die Flußrate des Trägergases typischerweise durch Ein
stellen des Drucks des Trägergases strömungsmäßig oberhalb
eines Flußsensors gesteuert. Fig. 1 zeigt ein Steuerventil 5
zum Steuern des Flusses eines Fluids 10 von einer Quelle 15
(die als ein Zylinder eines unter Druck gesetzten Fluids 10
dargestellt ist, alternativ könnte der Fluidfluß durch einen
negativen Druck auf der strömungsmäßig unteren Seite des
Steuerventils 5′ bewirkt werden). Das Fluid 10 fließt durch
einen Massenflußsensor 20, der eine Ausgangsspannung 25 er
zeugt, die dem Massenfluß des Fluids 10 entspricht. Die Aus
gangsspannung 25 liefert eine Rückkopplung, um das Öffnen
und Schließen des Ventils 5 zu steuern. Wie in der Rückkopp
lungssteuerungstechnik gut bekannt ist, ist die Fähigkeit
des Massenflußsensors 20, die Ausgangsspannung 25 genau zu
erfassen und zu liefern, sehr wichtig, um den Fluß und den
Druck zu steuern.
Die Wiederholbarkeit der chromatographischen Ausgabe der
Vorwärtsdruck-geregelten chromatographischen Vorrichtung 10,
die in Fig. 2 gezeigt ist, hängt von der Ausgabe des Fluß
sensors 16 ab. Der Sensor 16 kann sich in dem analytischen
Gerät befinden, muß aber nicht. Der Computer oder Mikropro
zessor 24 erzeugt dann ein Rückkopplungssteuerungssignal 26
zum Steuern des Öffnens und Schließens des Ventils 14 zum
Regeln des Trägerfluidflusses. Das Einspritztor 12 liefert
einen Teil der Trägerfluid/Proben-Kombination zu einer Säule
18, wobei der Rest durch einen nicht-analysierten Ausgang 20
geleitet wird. Ungünstigerweise driftet das Rückkopplungs
signal, das durch den Flußsensor ausgegeben wird, bei Tempe
raturschwankungen und macht es schwierig, das Ventil 14 und
die entsprechende Flußrate genau zu steuern. Es existiert
ein Bedarf nach einem stabileren Einlaßfluidfluß und redu
zierten Verteiler-Temperaturschwankungen, um eine bessere
Wiederholbarkeit des chromatographischen Bereichs zu lie
fern, wie er durch den Detektor 30 am Ende der Säule 18 ge
messen wird.
Ein Verfahren zum Eliminieren einer Temperaturempfindlich
keit besteht darin, Flußerfassungsvorrichtungen in eine Tem
peratur-gesteuerte Zone einzuschließen, beispielsweise eine
"erwärmte Zone", die mit einem thermisch isolierenden Mate
rial aufgebaut ist. Temperatursensoren und Heizer in der er
wärmten Zone liefern eine Rückkopplung, um die Temperaturen
der Flußbeschränkungsvorrichtung und des Drucksensors kon
stant zu halten und dadurch die Temperatur als eine Fehler
erzeugende Variable zu beseitigen.
Ungünstigerweise erhöht der Einbau einer erwärmten Zone die
Herstellungskosten, die sich auf die Geräte-Kalibrierung und
die Geräte-Komponenten beziehen. Außerdem ist die Zuverläs
sigkeit des Gerätes reduziert, da die Komponenten, die er
forderlich sind, um eine erwärmte Zone zu regeln, während
eines durchgehenden Betriebs bei Verteilertemperaturen, die
höher als die Umgebung sind, mit einer größeren Wahrschein
lichkeit einem Ausfall unterliegen. Außerdem erfordert eine
erwärmte Zone eine lange Anlauf-Zeit, um vor dem Gerätebe
trieb zu stabilisieren.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrich
tung und ein Verfahren zu schaffen, die es ermöglichen, Um
gebungs-Temperatur und -Druck-Änderungen automatisch zu kom
pensieren, ohne eine erwärmte Zone zu verwenden.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1
sowie Verfahren gemäß Anspruch 11 und Anspruch 17 gelöst.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren und eine
Vorrichtung zur genauen Messung eines Fluidflusses. Die Aus
gangsspannung eines Flußsensors wird mittels einer Drift
spannung modifiziert, um die Wirkung von Schwankungen von
Betriebs-Temperatur und -Druck auf die Flußsensor-Ausgangs
spannung zu kompensieren. Die Driftspannung wird bestimmt,
indem zuerst eine Fluidfluß-Gleichung erzeugt wird, die die
erwartete Flußsensor-Ausgangsspannung (Vo) hinsichtlich des
Fluidflusses durch den Flußsensor charakterisiert. Die erste
Ableitung der Fluidfluß-Gleichung (dVo/dT) kann dann verwen
det werden, um die Wirkungen der Drift in Temperatur und
Druck zu charakterisieren. Während des Betriebs des Flußsen
sors werden die gemessenen Flußraten und die gemessenen Be
triebs-Temperatur- und -Druck-Werte in die Driftgleichung
eingesetzt, um die Driftspannung zu bestimmen. Die Drift
spannung wird dann mit der Flußsensor-Ausgangsspannung kom
biniert, um eine modifizierte Flußsensor-Ausgangsspannung zu
erzeugen, die bezüglich Änderungen von Betriebs-Temperatur
und -Druck kompensiert ist. Die Substitutionen in die Ablei
tung der Flußgleichung und die nachfolgenden Berechnungen,
die erforderlich sind, um die Driftspannung zu erhalten,
werden häufig wiederholt, um den Sensor ständig bezüglich
der momentanen Betriebstemperatur und des momentanen Be
triebsdruckes zu aktualisieren.
Die Fluidfluß-Gleichung kann folgendermaßen dargestellt
werden:
Vo=α * [1-exp(βf)]+Voffset,
wobei die Konstante α proportional zu der elektronischen
Verstärkung und der Temperatur einer Heizbrücke in dem Fluß
sensor ist, und die Konstante β sich auf die Wärmeleitfähig
keit des Fluids, das erfaßt wird, bezieht.
Eine Nachschlagtabelle, die vor dem Betrieb des Flußsensors
erzeugt wird, kann als ein alternatives Ausführungsbeispiel
verwendet werden, um die gegenwärtige Temperatur und den ge
genwärtigen Druck in die Ableitung der Flußgleichung einzu
geben, jedesmal, wenn der Driftstrom berechnet wird. Während
des Betriebs werden die gegenwärtige Betriebstemperatur und
der gegenwärtige Druck gemessen und verwendet, um aus der
Nachschlagtabelle auf die entsprechende Driftspannung zuzu
greifen.
Der Fluidfluß kann nun durch das Verwenden der modifizierten
Ausgangsspannung als ein Rückkopplungssteuersignal zum Öff
nen und Schließen eines Proportionalventils gesteuert wer
den. Beispielsweise kann eine Vorwärtsdruck- und Rückwärts
druck-Regelung von Einlaßflüssen eines Gaschromatographen
durch die Verwendung eines Massenflußsensors erreicht wer
den, der eine Umgebungs-Temperatur und -Druck-Kompensation
aufweist, um eine Rückkopplung zu einem Proportional-Ventil
oder -Ventilen zu liefern, ebenso wie durch die Verwendung
eines Drucksensors mit einer Umgebungs-Temperatur und
-Druck-Kompensation. Die Drucksensor-Driftspannung wird auf
eine Art und Weise bestimmt, die ähnlich der der Flußsen
sor-Driftspannung ist.
Jüngere Fortschritte beim Entwurf integrierter Schaltungs
speicher, insbesondere elektronisch löschbarer programmier
barer Speicher (EEPROM; EEPROM = Electronically Erasable
Programmable Memory), liefern einen Speicher für Nachschlag
tabellenwerte in nächster Nähe zu dem Flußsensor. Das Ein
bauen eines EEPROM in Verbindung mit einem Flußsensor als
ein Modul macht es möglich, das Modul in der Fabrik oder im
Einsatzgebiet zu kalibrieren, und sicherzustellen, daß die
richtigen Driftspannungen dem richtigen Flußsensor zugeord
net sind. Wenn ein Flußsensor im Einsatzbereich gewechselt
wird, wäre es möglich, neue Driftspannungen für eine Spei
cherung in dem EEPROM zu kalibrieren und zu erzeugen.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich
nungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine vereinfachte schematische Darstellung eines
Flußregelgeräts ohne Temperaturkompensierung, das
in der Technik gut bekannt ist;
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Gaschromatogra
phen, der einen Drucksensor zum Regeln des Träger
gasflusses in den Einlaß verwendet, wie es in der
Technik bekannt ist;
Fig. 3 ein Temperatur-kompensiertes Flußregelgerät gemäß
dem bevorzugten Ausführungsbeispiel;
Fig. 4 einen Gaschromatographen mit einem Füllkörpersäu
len-Einlaß und einem Temperatur-kompensierten Fluß
regelgerät;
Fig. 5 einen Gegendruck-geregelten Gaschromatographen mit
einem Temperatur- und Druck-kompensierten Flußre
gelgerät;
Fig. 6 einen Vorwärtsdruck-geregelten Gaschromatographen
mit einem Temperatur- und Druck-kompensierten Vor
wärtsfluß-Erfassungsgerät;
Fig. 7 das Steuersystem für die Gaschromatographen, die in
den Fig. 5 und 6 dargestellt sind; und
Anhang A ein Flußdiagramm, das die erfindungsgemäßen Schrit
te, die zum Kalibrieren des Flußsensors und des
Drucksensors, die in den Fig. 5 und 6 dargestellt
sind, verwendet werden, darstellt.
Die vorliegende Erfindung liefert ein Verfahren und eine
Vorrichtung zur Kompensation der Umgebungs-Temperatur und
des -Drucks sowohl von Fluß- als auch von Druck-Sensoren.
Die Kompensation wird erhalten, indem die Fluß- und Druck-
Sensor-Ausgangsspannungen gemäß einer Flußsensor-Driftspan
nung und einer Drucksensor-Driftspannung modifiziert werden.
Die Driftspannungen werden durch das Erzeugen von Modellen
in der Firmware erhalten, welche die Fluß- und Druck-Antwort
des Sensors charakterisieren. Die Modelle sind bei bekannten
Flüssen und Drücken kalibriert, wobei während des Sensorbe
triebs auf dieselben zugegriffen werden kann, um die Drift
spannungen zu liefern. Alternativ kann vor dem Sensorbetrieb
auf die Modelle zugegriffen werden, um eine Nachschlagtabel
le der Driftspannungen über erwartete Betriebsbereiche zu
erzeugen. Während des Betriebs wird gemäß der gemessenen
Temperatur und dem gemessenen Druck auf die Nachschlagtabel
le zugegriffen, um die entsprechende Driftspannung zu erhal
ten.
Fig. 3 ist ein Blockdiagramm der Erfindung, die ein Propor
tionalventil 313 zeigt, das sich als Reaktion auf ein Tempe
ratur- und Druck-kompensiertes Steuersignal 315 öffnet und
schließt, welches von einem Prozessor 340 gemäß der Erfin
dung erzeugt wird. Der Flußsensor 316 liefert eine Ausgangs
spannung 317, die gemäß den gespeicherten Charakteristik
gleichungen des Flußsensors modifiziert wird.
Fig. 4 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfin
dung, das in einen Gaschromatographen mit einem Einlaß für
eine Füllkörpersäule 418 eingebaut ist. Um eine chromatogra
phische Trennung einer gegebenen Probenverbindung durchzu
führen, wird die Probe durch ein Einspritztor 412 in ein un
ter Druck gesetztes Trägerfluid eingespritzt. Das Träger
fluid, das zu dem Einspritztor 412 geliefert wird, wird zu
erst von einer Quelle (nicht gezeigt) zu einer Massenfluß-
Steuerung 411 geliefert, welche ein Proportionalventil 414
und einen Temperatur- und Druck-kompensierten Flußsensor
416, der den gesamten Einlaßfluß regelt, aufweist. Der Ein
laßdruck des Trägerfluids wird durch den Temperatur- und
Druck-kompensierten Drucksensor 420 gemessen. Der Druck des
Trägerfluids wird durch das Ventil 414 als Reaktion auf ein
geeignetes Signal von der Steuerung, das bezugnehmend auf
Fig. 7 beschrieben wird, gesteuert. Der Regler 419 ist ver
wendet, um den Septum-Auslaßfluß zu steuern.
Fig. 5 ist ein Blockdiagramm der Erfindung, die in Kombina
tion mit einem Proportionalventil verwendet ist, um den
Fluidfluß in den Einlaß eines Vorwärtsdruck-regulierten Gas
chromatographen 510 zu steuern. Um eine chromatographische
Trennung einer gegebenen Probenverbindung durchzuführen,
wird die Probe durch ein Einspritztor 512 in ein unter Druck
gesetztes Trägerfluid eingespritzt. Das Trägerfluid, das zu
dem Einspritztor 512 geliefert wird, wird zuerst von einer
Quelle (nicht gezeigt) zu einer Massenflußsteuerung 511 ge
liefert, welche ein Proportionalventil 514 und einen Tempe
ratur- und Druck-kompensierten Flußsensor 516 aufweist, die
den gesamten Einlaßfluß steuern. Das Ventil 518 ist ein Ge
gendruckregler und dient dazu, den Einlaßdruck des Träger
fluids, wie er durch den Temperatur- und Druck-kompensierten
Drucksensor 520 gemessen wird, zu steuern. Das gesamte Trä
gerfluid wird von der Massensteuerung 511 direkt zu dem Ein
spritztor 512 geliefert. Der Druck des Trägerfluids wird als
Reaktion auf ein geeignetes Signal von der Steuerung, das
bezugnehmend auf Fig. 7 beschrieben wird, durch das Ventil
520 gesteuert. Ein Regler 522 ist verwendet, um den Septum-
Auslaßfluß zu steuern. Ein Ventil 524 ist ein An/Aus-Ventil,
das während eines Teileinspritzens geöffnet ist.
Fig. 6 zeigt eine alternative Anordnung, bei der der Gas
chromatograph 510 für eine ungeteilte Einspritzung initiali
siert ist, bei der das Ventil 514 verwendet ist, um den
Druck zu steuern, wie er durch den Temperatur- und Druck
kompensierten Drucksensor 520 gemessen wird. Das Ventil 524
ist ausgeschaltet, derart, daß durch die Teillüftung kein
Ausfluß stattfindet. Der Flußsensor 516 mißt den gesamten
Fluß, steuert jedoch nicht das Ventil 514. Bei dieser Konfi
guration ist der gesamte Fluß in den Einlaß 512 der Säulen
fluß plus der Septum-Auslaßfluß. Das Einspritztor 512 lie
fert einen Teil der Trägerfluid/Proben-Kombination zu der
Säule 518, wobei der Rest durch einen nicht-analysierten
Ausgang 522 tritt. Der Fluß, der den Ausgang 522 verläßt,
ist als Septum-Auslaßfluß bekannt. Der Druck des Träger
fluids wird durch das Ventil 514 als Reaktion auf eine Aus
gabe von dem Sensor 520, der zum Erzeugen eines geeigneten
Signals verwendet ist, wie bezugnehmend auf Fig. 7 beschrie
ben wird, gesteuert.
Die elektronischen Schaltungen, die gemäß den Grundsätzen
der vorliegenden Erfindung verwendet sind, um die Chromato
graphen, die in den Fig. 5 und 6 beschrieben sind, zu be
treiben, werden nachfolgend hierin beschrieben. In Fig. 7
sind die elektronischen Steuerungen gezeigt, die drei Haupt
komponenten, nämlich ein Tastenfeld 710, einen Computer 720
und eine Steuerung 730, einschließen. Der Computer 720 hält
die Gesamtsteuerung aller Systeme, die zu dem Gaschromato
graphen 510 gehören. Es ist offensichtlich, daß, obwohl der
Computer 720 als ein einzelner Block gezeigt ist, ein sol
cher Computer eine Zentralverarbeitungseinheit und alle pas
send zusammengestellten peripheren Geräte aufweist, wie z. B.
Direktzugriffsspeicher, Nur-Lese-Speicher, Eingabe/Ausgabe-
Geräte und dazugehörige Komponenten. Alternativ kann der
Computer ein Prozessor und ein Speicher auf einer Platine
des Geräts sein, der das Geräte-Tastenfeld als die Benutzer
schnittstelle verwendet. Derartige alleinstehende Geräte
werden häufig in Verbindung mit einem PC betrieben, um eine
zusätzliche Funktionalität zu liefern.
Eine Steuerschaltung 730 ist verwendet, um entweder das Ven
til 514 oder 518, die in den Fig. 5 und 6 dargestellt sind,
zu steuern. Die Steuerung 730 weist gemäß der Darstellung
einen zweiten Computer 740 auf. Der Computer 740 erzeugt bei
dem bevorzugten Ausführungsbeispiel ein Steuersignal, das
verwendet wird, um die Ventile 514 und 518 zu steuern. Da
das erzeugte Steuersignal in einer digitalen Form vorliegt,
wird es vor der Übertragung zu dem Ventil 514 und/oder 518
mittels eines Digital/Analog-Wandlers 745 in eine analoge
Form umgewandelt und mittels eines Verstärkers 750 geeignet
verstärkt. Der Trägerfluidfluß, wie er durch den Flußsensor
516 erfaßt wird, oder der Druck, wie er durch den Drucksen
sor 520 erfaßt wird, wird zu dem Computer 740 geliefert, in
dem zuerst das analoge Signal, das von den Sensoren erzeugt
wird, mittels eines Wandlers 755 von einem analogen in ein
digitales Signal umgewandelt wird. Das digitale Signal, das
von dem Wandler 755 erzeugt wird, wird zu dem Computer 740
geliefert.
Wie vorher umrissen wurde, kann die Kompensation für Ände
rungen der gegenwärtigen Betriebstemperatur und des Drucks
erhalten werden, indem Gleichungen gespeichert werden, die
den Fluidfluß charakterisieren, und indem während des Be
triebs auf dieselben zugegriffen wird, um Driftspannungen
zur Modifikation der Fluß- und Druck-Sensorausgangsspannun
gen zu liefern.
Eine charakteristische Gleichung des Fluidflusses durch den
pneumatischen Verteiler hinsichtlich der Ausgangsspannung
(Vo) des Flußsensors wird erzeugt und in der Firmware ge
speichert. Speziell:
Vo = α * [1-exp(βf)]+Voffset
wobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung und
der Temperatur der Heizbrücke ist, und β sich auf die Wärme
leitfähigkeit des Fluids bezieht. Die charakteristische
Gleichung besitzt drei Unbekannte, die sich auf jede aktive
Komponente in dem pneumatischen Verteiler beziehen. Um diese
unbekannten Spannungspegel zu identifizieren, wird der Ver
teiler in einem pneumatischen Prüfstand bei einer Mehrzahl
von unterschiedlichen Flußraten betrieben. Die Sensoraus
gangsspannung kann in zwei Bereichen erhalten werden, indem
eine Null-Flußrate, um Vdrift zu bestimmen, bei einer Fluß
rate f, um die Sensorausgangsspannung Vo1 + Vdrift zu be
stimmen, und bei einer Flußrate 3f, um die Sensorausgangs
spannung Vo3 + Vdrift zu bestimmen, gemessen wird. Die Kon
stanten können berechnet werden, indem die Sensorausgangs
spannungen in die Flußsensorgleichung eingesetzt werden. So
bald diese Konstanten bestimmt wurden, werden sie in der
Firmware gespeichert.
Die Wirkung der Wärmedrift auf die Flußempfindlichkeit kann
kompensiert werden, indem die Wärmedrift als die Ableitung
der Flußsensorgleichung charakterisiert wird:
dVo/dT = (Von/α) (dα/dT)-α/β*Ln[1-(Von/α)]*[1-(Von/α)]dβ/dT
+dVoffset/dT
wobei Vo die Sensorausgangsspannung und Von die Sensoraus
gangsspannung minus die Null-Fluß-Sensorausgangsspannung
ist. Die unbekannten Konstanten dα/dt (proportional zu der
Drift der elektronischen Verstärkung und der Temperatur der
Heizbrücke), dβ/dT (proportional zu der Drift der Wärmeleit
fähigkeit des Gases) und DVoffset/dt (elektronische Drift
spannung) können, sobald sie charakterisiert sind, durch das
Messen der Temperaturdrift ohne Fluß und bei zwei anderen
Flußeinstellungen berechnet werden.
Cp = (A+B*p₁) + (dCp/dtc)*tc
wobei:
Cp = Sensorantwort (A/D-Zählwert)
A = Drift bei 0° Celsius und 0 N/cm² (psig (psig = Überdruck in psi; psi = Pounds per Square Inch; 1 psi = 0,69 N/cm²)) (A/D-Zählwerte)
B = Druckempfindlichkeit (Zählwerte/psi)
p₁ = Quellenpegeldruck (N/cm²(psig)) = Ps-[atmosphä rischer Druck]
tc = Thermistortemperatur (°Celsius)
dCp/dtc = C+D*p₁
wobei:
C = Temperaturempfindlichkeit (A/D-Zählwerte pro °Celsius)
D = Druckempfindlichkeitsänderung mit der Temperatur (A/D-Zählwerte pro 0,69 N/cm² (psi) pro °Cel sius).
Cp = Sensorantwort (A/D-Zählwert)
A = Drift bei 0° Celsius und 0 N/cm² (psig (psig = Überdruck in psi; psi = Pounds per Square Inch; 1 psi = 0,69 N/cm²)) (A/D-Zählwerte)
B = Druckempfindlichkeit (Zählwerte/psi)
p₁ = Quellenpegeldruck (N/cm²(psig)) = Ps-[atmosphä rischer Druck]
tc = Thermistortemperatur (°Celsius)
dCp/dtc = C+D*p₁
wobei:
C = Temperaturempfindlichkeit (A/D-Zählwerte pro °Celsius)
D = Druckempfindlichkeitsänderung mit der Temperatur (A/D-Zählwerte pro 0,69 N/cm² (psi) pro °Cel sius).
Jede Komponente des Systems (Flußbeschränkungsvorrichtung,
Drucksensor, Verteiler, Temperatursensor) besitzt inhärente
Variationen, derart, daß das gesamte System kalibriert wer
den sollte. Ein pneumatischer Träger, der die realen Be
triebsbedingungen reproduziert, wird zum Kalibrieren bei
mehreren Temperaturen und Drücken verwendet. Durch die Kali
brierung können die Konstanten, die in den Modellen, die in
der Firmware gespeichert sind, dargestellt sind, bestimmt
werden. Speziell für jeden Drucksensor müssen Daten gesam
melt werden, die den Druck auf A/D-Zählwerte bei zwei
Drücken (einer kann bei 0 N/cm² (psig) sein) beziehen, ge
sammelt werden, wobei jeder von diesen bei zwei verschiede
nen Temperaturen (eine Temperatur nominell 35° Celsius)
durchgeführt wird. Für jede Flußbeschränkungsvorrichtung
müssen Daten gesammelt werden, um den Fluidfluß über dem
Druck an zwei Punkten (jeder mit einem Fluß) bei nominell
35° Celsius zu charakterisieren; erforderlich für jedes
Fluid, das in dem Kanal verwendet wird. Für das Thermistor-
Modell müssen Daten gesammelt werden, die Temperaturen über
A/D-Zählwerten an zwei Punkten charakterisieren.
Die Mehrzahl der Flußraten, die zum Definieren der Konstan
ten verwendet sind, kann eine Null-Fluß-Rate zum Bestimmen
von Vdrift, eine Flußrate f zum Bestimmen der Sensoraus
gangsspannung Vo1 + Vdrift und eine Flußrate 3f, um die Sen
sorausgangsspannung Vo3 + Vdrift zu bestimmen, aufweisen. Um
die Genauigkeit über einen größeren nicht-linearen Bereich
von Flußraten beizubehalten, werden die Sensorausgangsspan
nungen in zwei getrennten Bereichen berechnet, beispielswei
se 0f und 3f und 3f bis 9f, indem die Sensorausgangsspannun
gen bei drei Flußraten 0f, 3f und 9f erhalten werden.
Um die unbekannten Konstanten des Drucksensors zu bestimmen,
wird der Verteiler bei einer Mehrzahl von bekannten Drücken
in einem pneumatischen Prüfstand betrieben, derart, daß die
Ausgabespannungen des Drucksensors gemessen werden können.
Die Konstanten in jeder Gleichung werden erhalten, indem die
Gleichungen, die durch das Einsetzen der gemessenen Druck
sensor-Ausgangsspannungen und der bekannten Flußraten gebil
det werden, verwendet werden und dieselben gleichzeitig auf
gelöst werden, um die unbekannten Konstanten zu erhalten.
Die Ableitung dieser Gleichung (einschließlich der Konstan
ten) charakterisiert die Drucksensor-Driftspannung (dCp/dtc
= C+D * p₁). Durch Einfügen der gemessenen Umgebungs-Tempera
tur- und -Druck-Werte in diese Gleichung während des Be
triebs wird eine Drucksensor-Driftspannung erzeugt. Diese
Driftspannung wird mit der Drucksensor-Ausgabespannung kom
biniert, um eine modifizierte Drucksensor-Ausgangsspannung
zu bilden. Alternativ wird vor dem Betrieb eine Nachschlag
tabelle, die einem Bereich von erwarteten Fluiddrücken Aus
gangsspannungen, ebenso wie Ausgangsspannungen einem Druck
zuordnet, erzeugt, wobei während des Betriebs nach der Mes
sung der gegenwärtigen Umgebungstemperatur und des Drucks
auf dieselbe zugegriffen wird. Diese Schritte werden durch
gehend wiederholt, um eine Steuerung mit geschlossener
Schleife des gewünschten Flußratendrucks zu liefern.
Beim Initialisieren eines Gaschromatographen werden eine
Mehrzahl von Fluidflußraten und die entsprechenden Ausgangs
spannungen in die charakterisierenden Gleichungen, die in
der Firmware gespeichert sind, eingegeben, um Nachschlagta
bellen zu erzeugen, die den Fluidfluß auf eine Ausgangsspan
nung Vo und eine Ausgangsspannung Vo auf den Fluidfluß bei
einer Mehrzahl von Umgebungs-Temperatur- und -Druck-Bedin
gungen beziehen. Der Spannungspegel eines Steuersignals, das
erforderlich ist, um eine gewünschte Flußrate bei einer Um
gebungs-Temperatur und einem -Druck zu erhalten, wird zuerst
bestimmt und in einem Speicher gespeichert. Während des Ge
rätebetriebs werden die gegenwärtige Temperatur und der
Druck konstant überwacht, derart, daß beim Aufruf einer ge
wünschten Flußrate, auf die Nachschlagtabelle zugegriffen
werden kann, um den geeigneten Driftspannungspegel, der zur
Addition zu der Eingangsspannung Vo notwendig ist, zu be
stimmen, um die Wirkungen, die durch Änderungen der Umge
bungsbedingungen bewirkt werden, gleich Null zu machen und
die gewünschte Flußrate zu liefern. Die Driftspannung wird
dann zu Vo addiert, um die gewünschte Flußrate bei der Be
triebs-Temperatur und dem -Druck zu erhalten. Diese Schritte
werden durchgehend wiederholt, um eine Steuerung mit ge
schlossener Schleife der gewünschten Detektorbedingungen zu
schaffen.
Obwohl die Erfindung bezugnehmend auf spezifische Ausfüh
rungsbeispiele in dem Bereich der Gaschromatographie be
schrieben und dargestellt wurde, werden Fachleute erkennen,
daß Modifikationen und Variationen derselben durchgeführt
werden können, derart, daß die Erfindung gleichermaßen auf
das Gebiet des Kraftfahrzeugmotorentwurfs oder andere Ge
biete, bei denen die Kompensation von Änderungen der Umge
bungs-Temperaturen und -Drücke zur Messung und Steuerung von
Fluidzuführungen erforderlich ist, anwendbar ist. Beispiels
weise kann das Kraftstoff/Luft-Gemisch eines Kraftfahrzeug
motors typischerweise gesteuert werden, indem der Luftfluß
durch einen Ansaugkrümmer gemessen wird, woraufhin die
Kraftstoffmenge, die in den Ansaugkrümmer eingespritzt wird,
gesteuert wird. Die Erfindung ist für diese Anwendung gut
anwendbar und kann verwendet werden, um den Motorbetriebs-
Wirkungsgrad und das Verhalten zu verbessern.
Charakterisiere Fluidfluß durch den pneumatischen Verteiler
hinsichtlich der Ausgangsspannung (Vo) des Flußsensors, wo
bei Vo = α * [1-exp(βf)]+Voffset, wobei α proportional zu der
elektronischen Verstärkung und der Temperatur der Heizbrücke
ist, und sich β auf die Wärmeleitfähigkeit des Fluids be
zieht
Betreibe den pneumatischen Verteiler in einem pneumatischen Träger bei einer Mehrzahl von bekannten Flußraten, um die entsprechenden Flußsensor-Ausgangsspannungen zu bestimmen
Berechne die Konstanten α und β durch Einsetzen der Flußra ten und der entsprechenden Sensorausgangsspannungen in die Flußsensorgleichung
Setze die berechneten Konstanten für die Unbekannten in der Fluidflußgleichung ein
Speichere die Fluidflußgleichung in einer Firmware, die zu dem Pneumatischen Verteiler gehört
Bestimme die Eingangsspannung, die erforderlich ist, um eine gewünschte Flußrate bei einer gegenwärtigen Betriebs-Tempe ratur und einem -Druck zu erhalten
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des Drucks
Erzeuge eine Driftspannung durch Eingeben der gemessenen Temperatur und des Drucks in die Fluidflußgleichung
Addiere die Driftspannung zu Vo, um die gewünschte Flußrate bei der gegenwärtigen Betriebs-Temperatur und dem -Druck zu erhalten.
Betreibe den pneumatischen Verteiler in einem pneumatischen Träger bei einer Mehrzahl von bekannten Flußraten, um die entsprechenden Flußsensor-Ausgangsspannungen zu bestimmen
Berechne die Konstanten α und β durch Einsetzen der Flußra ten und der entsprechenden Sensorausgangsspannungen in die Flußsensorgleichung
Setze die berechneten Konstanten für die Unbekannten in der Fluidflußgleichung ein
Speichere die Fluidflußgleichung in einer Firmware, die zu dem Pneumatischen Verteiler gehört
Bestimme die Eingangsspannung, die erforderlich ist, um eine gewünschte Flußrate bei einer gegenwärtigen Betriebs-Tempe ratur und einem -Druck zu erhalten
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des Drucks
Erzeuge eine Driftspannung durch Eingeben der gemessenen Temperatur und des Drucks in die Fluidflußgleichung
Addiere die Driftspannung zu Vo, um die gewünschte Flußrate bei der gegenwärtigen Betriebs-Temperatur und dem -Druck zu erhalten.
Claims (18)
1. Analytisches Gerät mit einem elektronisch gesteuerten,
pneumatischen Verteiler, in dem die Wirkungen gegenwär
tiger Betriebs-Temperatur- und -Druck-Schwankungen auf
einen Fluidfluß kompensiert sind, um eine genaue Steue
rung von Einlaßfluidflüssen zu liefern, mit folgenden
Merkmalen:
einer Fluidquelle,
einem Verteilerkörper, der aus einem wärmeleitfähigen Material gebildet ist, derart, daß der Verteiler auf einer gegenwärtigen Betriebstemperatur bleibt,
einem Fluiddrucksensor (420; 520), der in einem thermi schen Kontakt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Fluiddrucksignal, das dem Druck des Fluids zwischen dem Druckregler (411; 511) und dem Einlaß (412; 512) entspricht, zu erzeugen,
einem Drucksensor, der in einem thermischen Kontakt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Signal des gegenwärtigen Betriebsdruckes zu erzeugen, das dem ge genwärtigen Betriebsdruck entspricht,
einem Temperatursensor, der in einem thermischen Kon takt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Tem peratursignal zu erzeugen, das der Temperatur des Ver teilers entspricht,
einer Mehrzahl von Gleichungen, die firmware-mäßig ge speichert sind, welche den Fluidfluß durch den Flußsen sor (416; 516), den Fluiddruck von der Fluidquelle, die Temperatur an dem Temperatursensor und die Wirkung des gegenwärtigen Betriebsdruckes auf den Fluidfluß model lieren,
einem Computer (720) zum Erzeugen eines Steuersignals basierend auf dem Temperatursignal, dem Fluiddrucksi gnal und dem Signal des gegenwärtigen Betriebsdruckes sowie der Mehrzahl von Modellgleichungen, die firmware mäßig gespeichert sind, und
einem elektronischen Steuerventil (414; 514; 518) in einem thermischen Kontakt mit dem Verteilerkörper, wel ches den Druck des Fluids zwischen der Fluidquelle und dem Einlaß (412; 512) als Reaktion auf das Steuersignal einstellt.
einer Fluidquelle,
einem Verteilerkörper, der aus einem wärmeleitfähigen Material gebildet ist, derart, daß der Verteiler auf einer gegenwärtigen Betriebstemperatur bleibt,
einem Fluiddrucksensor (420; 520), der in einem thermi schen Kontakt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Fluiddrucksignal, das dem Druck des Fluids zwischen dem Druckregler (411; 511) und dem Einlaß (412; 512) entspricht, zu erzeugen,
einem Drucksensor, der in einem thermischen Kontakt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Signal des gegenwärtigen Betriebsdruckes zu erzeugen, das dem ge genwärtigen Betriebsdruck entspricht,
einem Temperatursensor, der in einem thermischen Kon takt mit dem Verteilerkörper befestigt ist, um ein Tem peratursignal zu erzeugen, das der Temperatur des Ver teilers entspricht,
einer Mehrzahl von Gleichungen, die firmware-mäßig ge speichert sind, welche den Fluidfluß durch den Flußsen sor (416; 516), den Fluiddruck von der Fluidquelle, die Temperatur an dem Temperatursensor und die Wirkung des gegenwärtigen Betriebsdruckes auf den Fluidfluß model lieren,
einem Computer (720) zum Erzeugen eines Steuersignals basierend auf dem Temperatursignal, dem Fluiddrucksi gnal und dem Signal des gegenwärtigen Betriebsdruckes sowie der Mehrzahl von Modellgleichungen, die firmware mäßig gespeichert sind, und
einem elektronischen Steuerventil (414; 514; 518) in einem thermischen Kontakt mit dem Verteilerkörper, wel ches den Druck des Fluids zwischen der Fluidquelle und dem Einlaß (412; 512) als Reaktion auf das Steuersignal einstellt.
2. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 1, bei dem die Glei
chungen zum Modellieren des Fluidflusses durch den Mas
senflußsensor (416; 516) folgende einschließen:
Vo = α*[1-exp(βf)]+Voffsetwobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung
und der Temperatur der Heizbrücke ist, und β sich auf
die Wärmeleitfähigkeit des Fluids bezieht.
3. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 1, das ferner eine
Gleichung zum Modellieren des strömungsmäßig oberen
Drucks aufweist:
Cp = A+C*tc+(B+D*tc)*p₁wobei:
Cp = Sensorantwort (A/D-Zählstände)
A = Drift bei 0° Celsius und 0 N/cm² (psig) (A/D-Zählstände)
B = Druckempfindlichkeit (Zählstände/0,69 N/cm² (psi))
p₁ = Quellenpegeldruck (N/cm² (psig) = Ps-[at mosphärischer Druck]
tc = Thermistortemperatur (°Celsius).
Cp = Sensorantwort (A/D-Zählstände)
A = Drift bei 0° Celsius und 0 N/cm² (psig) (A/D-Zählstände)
B = Druckempfindlichkeit (Zählstände/0,69 N/cm² (psi))
p₁ = Quellenpegeldruck (N/cm² (psig) = Ps-[at mosphärischer Druck]
tc = Thermistortemperatur (°Celsius).
4. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 2, bei dem die Ablei
tung der Fluidflußgleichung lautet:
dVo/dT = (Von/α) (dα/dT)-α/β*Ln[1-(Von/α)]*[1-(Von/α)]dβ/dT+dVoffset/dTwobei Vo die Sensorausgangsspannung und Von die Sensor
ausgangsspannung minus die Null-Fluß-Sensorausgangs
spannung ist, und wobei die unbekannten Konstanten
dα/dt (proportional zu der Drift der elektronischen
Verstärkung und der Temperatur der Heizbrücke), dβ/dT
(proportional zu der Drift der Wärmeleitfähigkeit des
Gases) und dVoffset/dt (elektronische Driftspannung)
berechnet werden, indem die Temperaturdrift ohne Fluß
und bei zwei anderen Flußraten gemessen wird, derart,
daß die Driftspannung des Flußsensors berechnet werden
kann.
5. Analytisches Gerät gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4,
wobei zum Modellieren der Temperatur des Flußsensors Ct
gleich E+F*Tc ist, wobei die Thermistorantwort in A/D-
Zählständen Ct gleich E+F*Tc ist, E die Drift bei 0°
Celsius (A/D-Zählstände) ist, F die Temperaturempfind
lichkeit (A/D-Zählstände pro °Celsius) und Tc die Kali
brierungstemperatur ist.
6. Analytisches Gerät gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5,
das ferner einen Sensor für den gegenwärtigen Betriebs
druck aufweist, der ein Signal für den gegenwärtigen
Betriebsdruck erzeugt, das proportional zu dem atmos
phärischen Druck ist, gemäß der Beziehung Pa = j(Ca).
7. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 2, bei dem gilt: die
A/D-Spannung-zu-Zählstand-Beziehung Ca = k(Va) (A/D-
Zählstände von dem Sensor für den gegenwärtigen Be
triebsdruck), Cp = m(Vp) (A/D-Zählstände von dem Quel
lendrucksensor), Ct = n(Vt) (A/D-Zählstände von der
Temperatursensorspannung) und G = Fluideigenschaften,
die in einem ROM gespeichert sind, Pa = gegenwärtiger
Betriebsdruck und Ps = Quellendruck.
8. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 2, bei dem die ther
misch leitfähige Oberfläche aus Aluminium hergestellt
ist.
9. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 2, bei dem die Ablei
tung der Druckgleichung,
dCp/dtc = C+D*p₁wobei:
C = Temperaturempfindlichkeit (A/D-Zählstände pro °Celsius)
D = Druckempfindlichkeitsänderung mit der Tem peratur (A/D-Zählstände pro 0,69 N/cm² (psi) pro °Celsius)
verwendet wird, um ein Druckdriftsignal zu erhalten.
C = Temperaturempfindlichkeit (A/D-Zählstände pro °Celsius)
D = Druckempfindlichkeitsänderung mit der Tem peratur (A/D-Zählstände pro 0,69 N/cm² (psi) pro °Celsius)
verwendet wird, um ein Druckdriftsignal zu erhalten.
10. Analytisches Gerät gemäß Anspruch 1, bei dem der Fluß
sensor bei einem Druck von 0f, 3f und 9f kalibriert
wird.
11. Verfahren zum Kompensieren der Ausgabe eines Flußsen
sors (416; 516) mit einer Heizbrücke bezüglich Tempera
tur- und Druck-Schwankungen, das folgende Schritte auf
weist:
Charakterisieren eines Fluidflusses durch den Flußsen sor (416; 516) hinsichtlich der Flußsensor-Ausgangs spannung (Vo), wobei die Flußsensorgleichung wie folgt dargestellt ist: Vo = α * [1-exp(βf)]+Voffsetwobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung und der Temperatur der Heizbrücke ist, und sich β auf die Wärmeleitfähigkeit des Fluids bezieht,
Betreiben des pneumatischen Verteilers in einem pneu matischen Prüfstand bei einer Mehrzahl von bekannten Flußraten, um die entsprechenden Flußsensor-Ausgangs spannungen zu bestimmen,
Berechnen der Konstanten α und β durch Einsetzen der Flußraten und der entsprechenden Sensorausgangsspannun gen in die Flußsensorgleichung,
Einsetzen der berechneten Konstanten für die Unbekann ten in die Fluidflußgleichung,
Bilden der Ableitung der Fluidflußgleichung und Spei chern derselben in einem Computerspeicher, der zu dem pneumatischen Verteiler gehört,
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des gegenwärti gen Drucks,
Erzeugen einer Driftspannung durch Eingeben der gemes senen Temperatur und des gemessenen Drucks in die Ab leitung der Fluidflußgleichung,
Addieren der Driftspannung zu der Flußsensor-Ausgangs spannung Vo, um eine Ausgangsspannung zu erhalten, die bezüglich Änderungen der gegenwärtigen Betriebs-Tempe ratur und des -Drucks kompensiert wurden.
Charakterisieren eines Fluidflusses durch den Flußsen sor (416; 516) hinsichtlich der Flußsensor-Ausgangs spannung (Vo), wobei die Flußsensorgleichung wie folgt dargestellt ist: Vo = α * [1-exp(βf)]+Voffsetwobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung und der Temperatur der Heizbrücke ist, und sich β auf die Wärmeleitfähigkeit des Fluids bezieht,
Betreiben des pneumatischen Verteilers in einem pneu matischen Prüfstand bei einer Mehrzahl von bekannten Flußraten, um die entsprechenden Flußsensor-Ausgangs spannungen zu bestimmen,
Berechnen der Konstanten α und β durch Einsetzen der Flußraten und der entsprechenden Sensorausgangsspannun gen in die Flußsensorgleichung,
Einsetzen der berechneten Konstanten für die Unbekann ten in die Fluidflußgleichung,
Bilden der Ableitung der Fluidflußgleichung und Spei chern derselben in einem Computerspeicher, der zu dem pneumatischen Verteiler gehört,
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des gegenwärti gen Drucks,
Erzeugen einer Driftspannung durch Eingeben der gemes senen Temperatur und des gemessenen Drucks in die Ab leitung der Fluidflußgleichung,
Addieren der Driftspannung zu der Flußsensor-Ausgangs spannung Vo, um eine Ausgangsspannung zu erhalten, die bezüglich Änderungen der gegenwärtigen Betriebs-Tempe ratur und des -Drucks kompensiert wurden.
12. Verfahren zum Kompensieren der Ausgabe eines Fluidfluß
sensors (416; 516) gemäß Anspruch 11, bei dem der
Schritt des Erzeugens einer Driftspannung folgende
Schritte aufweist:
Erzeugen einer Mehrzahl von Nachschlagtabellen basie rend auf der Fluidflußgleichung, die den Fluidfluß auf die Ausgangsspannung Vo und die Ausgangsspannung Vo auf den Fluidfluß bezieht, und
Eingeben der gemessenen Temperatur und des Drucks in die Nachschlagtabelle, um die entsprechende Driftspan nung zu bestimmen.
Erzeugen einer Mehrzahl von Nachschlagtabellen basie rend auf der Fluidflußgleichung, die den Fluidfluß auf die Ausgangsspannung Vo und die Ausgangsspannung Vo auf den Fluidfluß bezieht, und
Eingeben der gemessenen Temperatur und des Drucks in die Nachschlagtabelle, um die entsprechende Driftspan nung zu bestimmen.
13. Verfahren zum Kompensieren der Ausgabe eines Fluidfluß
sensors (416; 516) gemäß Anspruch 11, bei dem der
Schritt des Bildens der Ableitung der Fluidsensorglei
chungen ferner folgende Schritte aufweist:
Ausdrücken der Ableitung als: dVo/dT = (Von/α)(dα/dT)-α/β * Ln[1-(Von/α)] * [1-(Von/α)]dβ/dT+dVoffset/dTwobei Vo die Sensorausgangsspannung und Von die Sensor ausgangsspannung minus die Null-Fluß-Sensorausgangs spannung ist,
Messen der Temperaturdrift ohne Fluß und bei zwei ande ren Flußeinstellungen,
Lösen der unbekannten Konstanten dα/dt, dβ/dT und dVoffset/dt durch Einsetzen der gemessenen Temperatur drifts in die Gleichung der thermischen Drift,
Eingeben der Temperatursensor-Ausgangsspannung in die Gleichung der thermischen Drift, um eine Temperatur driftspannung zu erzeugen,
Modifizieren der Temperatursensor-Ausgangsspannung durch Addieren der Spannung der thermischen Drift zu der Temperatursensor-Ausgangsspannung.
Ausdrücken der Ableitung als: dVo/dT = (Von/α)(dα/dT)-α/β * Ln[1-(Von/α)] * [1-(Von/α)]dβ/dT+dVoffset/dTwobei Vo die Sensorausgangsspannung und Von die Sensor ausgangsspannung minus die Null-Fluß-Sensorausgangs spannung ist,
Messen der Temperaturdrift ohne Fluß und bei zwei ande ren Flußeinstellungen,
Lösen der unbekannten Konstanten dα/dt, dβ/dT und dVoffset/dt durch Einsetzen der gemessenen Temperatur drifts in die Gleichung der thermischen Drift,
Eingeben der Temperatursensor-Ausgangsspannung in die Gleichung der thermischen Drift, um eine Temperatur driftspannung zu erzeugen,
Modifizieren der Temperatursensor-Ausgangsspannung durch Addieren der Spannung der thermischen Drift zu der Temperatursensor-Ausgangsspannung.
14. Verfahren zum Kompensieren der Ausgabe eines Fluidfluß
sensors gemäß Anspruch 11, bei dem die Mehrzahl von
Flußraten ferner eine Null-Fluß-Rate, um Vdrift zu be
stimmen, eine Flußrate f, um die Sensorausgangsspannung
Vo1 + Vdrift zu bestimmen, und eine Flußrate 2f, um die
Sensorausgangsspannung Vo2 + Vdrift zu bestimmen, auf
weist.
15. Verfahren gemäß Anspruch 11, bei dem die Sensoraus
gangsspannungen Vo1 und Vo2 minus Vdrift bei Flußraten
von f und 3f erhalten werden.
16. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem die Sensoraus
gangsspannungen Vo1 und Vo2 minus Vdrift in zwei ge
trennten Bereichen 0f und 3f und 3f bis 9f durch Erhal
ten der Sensorausgangsspannungen bei drei Flußraten 0f,
3f und 9f berechnet werden.
17. Verfahren zum Regeln des Fluidflusses durch einen pneu
matischen Verteiler mit folgenden Verfahrensschritten:
Eingeben einer gewünschten Fluidflußrate,
Berechnen der Steuersignal-Spannungspegel, die erfor derlich sind, um die gewünschte Flußrate bei einer ge genwärtigen Betriebs-Temperatur und einem gegen wärtigen -Druck zu erhalten,
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des gegenwärti gen Drucks,
Berechnen der Änderung der Steuersignal-Spannungspegel, die erforderlich sind, um die gewünschte Flußrate bei der gegenwärtigen Temperatur und dem gegenwärtigen Druck gemäß der folgenden Gleichung zu erhalten: Vo = α *[1-exp(-βf)]+Voffset, wobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung und der Temperatur der Heiz brücke ist, und β sich auf die Wärmeleitfähigkeit des Fluids bezieht,
wobei der Flußsensor in einem pneumatischen Träger bei einer Null-Fluß-Rate kalibriert wurde, um Vdrift zu bestimmen, bei einer Flußrate f, um die Sensorausgangs spannung Vo1 + Vdrift zu bestimmen, und bei einer Fluß rate 2f, um die Sensorausgangsspannung Vo2 + Vdrift zu bestimmen, und
Berechnen der Konstanten α und β durch Einsetzen der Sensorausgangsspannungen in die Flußsensorgleichung.
Eingeben einer gewünschten Fluidflußrate,
Berechnen der Steuersignal-Spannungspegel, die erfor derlich sind, um die gewünschte Flußrate bei einer ge genwärtigen Betriebs-Temperatur und einem gegen wärtigen -Druck zu erhalten,
Messen der gegenwärtigen Temperatur und des gegenwärti gen Drucks,
Berechnen der Änderung der Steuersignal-Spannungspegel, die erforderlich sind, um die gewünschte Flußrate bei der gegenwärtigen Temperatur und dem gegenwärtigen Druck gemäß der folgenden Gleichung zu erhalten: Vo = α *[1-exp(-βf)]+Voffset, wobei α proportional zu der elektronischen Verstärkung und der Temperatur der Heiz brücke ist, und β sich auf die Wärmeleitfähigkeit des Fluids bezieht,
wobei der Flußsensor in einem pneumatischen Träger bei einer Null-Fluß-Rate kalibriert wurde, um Vdrift zu bestimmen, bei einer Flußrate f, um die Sensorausgangs spannung Vo1 + Vdrift zu bestimmen, und bei einer Fluß rate 2f, um die Sensorausgangsspannung Vo2 + Vdrift zu bestimmen, und
Berechnen der Konstanten α und β durch Einsetzen der Sensorausgangsspannungen in die Flußsensorgleichung.
18. Verfahren zum Kalibrieren der Massenfluß- und Druck-
Sensoren eines pneumatischen Verteilers gemäß Anspruch
17, wobei der Verfahrensschritt des Nachschlagens einer
Driftspannung ferner folgenden Schritt aufweist:
Interpolieren zwischen Nachschlagtabelleneinträgen, um eine genauere Driftspannung zu erhalten.
Interpolieren zwischen Nachschlagtabelleneinträgen, um eine genauere Driftspannung zu erhalten.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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