JPH08233792A - 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置 - Google Patents
流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置Info
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- JPH08233792A JPH08233792A JP7334433A JP33443395A JPH08233792A JP H08233792 A JPH08233792 A JP H08233792A JP 7334433 A JP7334433 A JP 7334433A JP 33443395 A JP33443395 A JP 33443395A JP H08233792 A JPH08233792 A JP H08233792A
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- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
- G01N30/28—Control of physical parameters of the fluid carrier
- G01N30/32—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱区域を用いず周囲温度・圧力変化を補償
する流量センサを提供 【解決手段】 カ゛スクロマトク゛ラフの空気圧マニホルト゛で実施され
て入口流量の現在の動作温度及び圧力に関する補償を提
供。空気圧マニホルト゛は複数の熱結合された質量流量、圧力
及び温度センサを備える。当該センサはカラムへの流体の導入に
先立ち流体の質量流量、流体圧力及びセンサ温度に関する
信号を生成。現在の動作温度及び圧力の変動による質量
流量及び圧力センサへの影響の特性を表す複数のファームウェアモテ
゛ルがコンヒ゜ュータメモリに記憶。入口への所望流量の決定、現在
の動作状態でその値を達成するのに必要な制御信号の決
定、現在の動作状態の決定、ファームウェアモテ゛ルを用いた現在
の動作条件の変化による流量への影響の決定、制御信号
に対する調節の生成と現在の動作条件の変化により生じ
る影響の無効化により補償を提供。上記ステッフ゜が連続的
に繰り返されて所望の検出器状態の閉ルーフ゜制御が提供さ
れる。
する流量センサを提供 【解決手段】 カ゛スクロマトク゛ラフの空気圧マニホルト゛で実施され
て入口流量の現在の動作温度及び圧力に関する補償を提
供。空気圧マニホルト゛は複数の熱結合された質量流量、圧力
及び温度センサを備える。当該センサはカラムへの流体の導入に
先立ち流体の質量流量、流体圧力及びセンサ温度に関する
信号を生成。現在の動作温度及び圧力の変動による質量
流量及び圧力センサへの影響の特性を表す複数のファームウェアモテ
゛ルがコンヒ゜ュータメモリに記憶。入口への所望流量の決定、現在
の動作状態でその値を達成するのに必要な制御信号の決
定、現在の動作状態の決定、ファームウェアモテ゛ルを用いた現在
の動作条件の変化による流量への影響の決定、制御信号
に対する調節の生成と現在の動作条件の変化により生じ
る影響の無効化により補償を提供。上記ステッフ゜が連続的
に繰り返されて所望の検出器状態の閉ルーフ゜制御が提供さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、流体の分配、監
視及び調整を提供する方法及び装置に関し、特に、流体
の圧力及び流量の正確な検知及び制御を提供するために
空気圧マニホルドで使用する温度補償式の質量流量及び
圧力センサに関する。
視及び調整を提供する方法及び装置に関し、特に、流体
の圧力及び流量の正確な検知及び制御を提供するために
空気圧マニホルドで使用する温度補償式の質量流量及び
圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】流量及び圧力の測定分野では、熱線流速
計(hot wire anemometer)を用いて流量を測定すること
は周知である。流体は、典型的には一本の加熱された線
上を通って、その加熱線の温度を降下させる。その加熱
線の抵抗値の変化が決定されて、気体の流量と関連付け
される。更に進歩した技術では、熱源から一定の等距離
に配置された２つの温度検知素子を用いる。流体はその
系を通過し、上流側センサの温度を降下させ且つ下流側
センサの温度を上昇させる。次いで、その温度差が出力
信号として記録される。
計(hot wire anemometer)を用いて流量を測定すること
は周知である。流体は、典型的には一本の加熱された線
上を通って、その加熱線の温度を降下させる。その加熱
線の抵抗値の変化が決定されて、気体の流量と関連付け
される。更に進歩した技術では、熱源から一定の等距離
に配置された２つの温度検知素子を用いる。流体はその
系を通過し、上流側センサの温度を降下させ且つ下流側
センサの温度を上昇させる。次いで、その温度差が出力
信号として記録される。
【０００３】熱線流速計の主な欠点は、その熱線流速計
が流体流量に応答する態様が非線形で温度及び流体に依
存するものである点にある。かかる流速計の出力信号を
線形化する技術及び方法が、本出願人の「Methods and
Systems for Fluid Identification and Flow Rate Det
ermination」と題する米国特許出願第07/611,425号（19
90年11月11日出願）に開示されており、本引用をもって
その開示内容を本書に包含させたものとする。残念なこ
とに、この技術は、動作温度及び圧力（これは一般には
周囲温度及び圧力と称されるが、実際の動作温度及び圧
力は機器構成によって変化し得る）の変動に伴う出力信
号のドリフトを適切に補償しないものである。
が流体流量に応答する態様が非線形で温度及び流体に依
存するものである点にある。かかる流速計の出力信号を
線形化する技術及び方法が、本出願人の「Methods and
Systems for Fluid Identification and Flow Rate Det
ermination」と題する米国特許出願第07/611,425号（19
90年11月11日出願）に開示されており、本引用をもって
その開示内容を本書に包含させたものとする。残念なこ
とに、この技術は、動作温度及び圧力（これは一般には
周囲温度及び圧力と称されるが、実際の動作温度及び圧
力は機器構成によって変化し得る）の変動に伴う出力信
号のドリフトを適切に補償しないものである。
【０００４】分析機器を使用する際には、周囲温度及び
圧力、即ち現在の動作温度及び圧力の変化が補償された
高精度の流量が必要とされる。ガスクロマトグラフで
は、キャリヤーガスの流量は、一般には流量センサの上
流側でキャリヤーガスの圧力を調節することにより制御
される。図１は、流体源15からの流体10の流量を制御す
るための制御弁5を示すものである（ここで、流体源は
加圧流体のシリンダ15として示されているが、代替的
に、流体の流れは制御弁5の下流側の負圧によって生じ
させることも可能である）。流体10は、質量流量センサ
20を通過し、そのセンサにより流体10の質量流量に対応
する出力電圧25が生成される。その出力電圧25は、制御
弁5の開閉を制御するためのフィードバックを提供する
ものとなる。フィードバック制御技術の分野で周知のよ
うに、質量流量センサが精確に検知をして出力電圧25を
提供する能力は、流量及び圧力を制御する上で極めて重
要である。
圧力、即ち現在の動作温度及び圧力の変化が補償された
高精度の流量が必要とされる。ガスクロマトグラフで
は、キャリヤーガスの流量は、一般には流量センサの上
流側でキャリヤーガスの圧力を調節することにより制御
される。図１は、流体源15からの流体10の流量を制御す
るための制御弁5を示すものである（ここで、流体源は
加圧流体のシリンダ15として示されているが、代替的
に、流体の流れは制御弁5の下流側の負圧によって生じ
させることも可能である）。流体10は、質量流量センサ
20を通過し、そのセンサにより流体10の質量流量に対応
する出力電圧25が生成される。その出力電圧25は、制御
弁5の開閉を制御するためのフィードバックを提供する
ものとなる。フィードバック制御技術の分野で周知のよ
うに、質量流量センサが精確に検知をして出力電圧25を
提供する能力は、流量及び圧力を制御する上で極めて重
要である。
【０００５】図２に示す順圧(forward pressure)調整式
クロマトグラフ装置10のクロマトグラフ出力の繰り返し
精度は、流量センサ16の出力によって決まる。流量セン
サ16は、分析装置上にあってもなくてもよい。次いでコ
ンピュータ又はマイクロプロセッサ24が、弁14の開閉を
制御してキャリヤー流体の流量を調整するためにフィー
ドバック制御信号26を生成する。注入口12は、キャリヤ
ー流体／試料の組み合わせ物の一部をカラム18に供給
し、その残りの部分は非分析出力20を通過させる。残念
なことに、流量センサによるフィードバック信号出力
は、温度の変化と共にドリフトし、弁14の制御並びにそ
れに対応する流量の制御を精確に制御するのを困難にす
る。カラム18の端部の検出器30により測定した場合より
も一層良好なクロマトグラフ領域の繰り返し精度を提供
するために、入口流量を一層安定させ、マニホルドの温
度変化を軽減させる必要性が存在する。
クロマトグラフ装置10のクロマトグラフ出力の繰り返し
精度は、流量センサ16の出力によって決まる。流量セン
サ16は、分析装置上にあってもなくてもよい。次いでコ
ンピュータ又はマイクロプロセッサ24が、弁14の開閉を
制御してキャリヤー流体の流量を調整するためにフィー
ドバック制御信号26を生成する。注入口12は、キャリヤ
ー流体／試料の組み合わせ物の一部をカラム18に供給
し、その残りの部分は非分析出力20を通過させる。残念
なことに、流量センサによるフィードバック信号出力
は、温度の変化と共にドリフトし、弁14の制御並びにそ
れに対応する流量の制御を精確に制御するのを困難にす
る。カラム18の端部の検出器30により測定した場合より
も一層良好なクロマトグラフ領域の繰り返し精度を提供
するために、入口流量を一層安定させ、マニホルドの温
度変化を軽減させる必要性が存在する。
【０００６】温度に関する感受性を解消するための１つ
の方法として、温度制御が行われた区域内、例えば、断
熱材料で構成された「加熱区域」内に流量検知装置を収
容する、という方法がある。加熱区域内の温度センサ及
びヒータは、フィードバックを行って流量リストリクタ
及び圧力センサの温度を一定に維持し、これにより、誤
差を生成する変数としての温度が除去される。
の方法として、温度制御が行われた区域内、例えば、断
熱材料で構成された「加熱区域」内に流量検知装置を収
容する、という方法がある。加熱区域内の温度センサ及
びヒータは、フィードバックを行って流量リストリクタ
及び圧力センサの温度を一定に維持し、これにより、誤
差を生成する変数としての温度が除去される。
【０００７】残念なことに、加熱区域を組み込むことに
より、装置の較正及び部品に関連して製造コストが上昇
する。これに加え、加熱区域の調整に必要となる部品が
故障する可能性が、周囲温度よりも高いマニホルド温度
での連続的な動作により一層高くなるので、装置の信頼
性が低下する。更に、加熱区域は、装置の動作に先立ち
安定化させるために長い始動時間を必要とするものであ
る。
より、装置の較正及び部品に関連して製造コストが上昇
する。これに加え、加熱区域の調整に必要となる部品が
故障する可能性が、周囲温度よりも高いマニホルド温度
での連続的な動作により一層高くなるので、装置の信頼
性が低下する。更に、加熱区域は、装置の動作に先立ち
安定化させるために長い始動時間を必要とするものであ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って、加熱区域を用
いることなく、周囲温度及び圧力の変化に対する補償を
自動的に行う流量センサが必要とされている。
いることなく、周囲温度及び圧力の変化に対する補償を
自動的に行う流量センサが必要とされている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願発明は、流量の精確
な測定のための方法及び装置を提供するものである。流
量センサの出力電圧は、その流量センサの出力電圧に対
する作動温度及び圧力の変化による影響を補償するよう
に、ドリフト電圧によって修正される。そのドリフト電
圧は、先ず、予測される流量センサの出力電圧(Vo)の特
性をその流量センサを通る流体流量に関して表す流体流
量式を作成することにより決定される。次いで、その流
体流量式の一次導関数(dVo/dT)を用いて温度及び圧力の
ドリフトによる影響の特性を得ることができる。流量セ
ンサの動作中に、測定された流量及び測定された動作温
度及び圧力の値がドリフトの特性式に代入されてドリフ
ト電圧が決定される。次いで、そのドリフト電圧が、流
量センサの出力電圧と組み合わされて、動作温度及び圧
力の変化に関して補償された修正後の流量センサの出力
電圧が生成される。流体流量式の導関数への代入、及び
それに次ぐドリフト電圧を得るために必要な計算が頻繁
に繰り返されて、センサの出力電圧(Vo) Ｖo = α・[1−exp(βｆ)]＋Ｖoffset が連続して更新される。ここで、定数αは流量センサ内
部の加熱ブリッジ(heating bridge)の温度及び電子的利
得に比例し、定数βは被検知流体の熱拡散係数に関連す
るものである。
な測定のための方法及び装置を提供するものである。流
量センサの出力電圧は、その流量センサの出力電圧に対
する作動温度及び圧力の変化による影響を補償するよう
に、ドリフト電圧によって修正される。そのドリフト電
圧は、先ず、予測される流量センサの出力電圧(Vo)の特
性をその流量センサを通る流体流量に関して表す流体流
量式を作成することにより決定される。次いで、その流
体流量式の一次導関数(dVo/dT)を用いて温度及び圧力の
ドリフトによる影響の特性を得ることができる。流量セ
ンサの動作中に、測定された流量及び測定された動作温
度及び圧力の値がドリフトの特性式に代入されてドリフ
ト電圧が決定される。次いで、そのドリフト電圧が、流
量センサの出力電圧と組み合わされて、動作温度及び圧
力の変化に関して補償された修正後の流量センサの出力
電圧が生成される。流体流量式の導関数への代入、及び
それに次ぐドリフト電圧を得るために必要な計算が頻繁
に繰り返されて、センサの出力電圧(Vo) Ｖo = α・[1−exp(βｆ)]＋Ｖoffset が連続して更新される。ここで、定数αは流量センサ内
部の加熱ブリッジ(heating bridge)の温度及び電子的利
得に比例し、定数βは被検知流体の熱拡散係数に関連す
るものである。
【００１０】流量センサの動作に先立って作成されたル
ックアップテーブルを代替実施例として用いて、ドリフ
ト電流を計算する度に流体流量式の導関数に現在の温度
及び圧力を入力することも可能である。動作中に、現在
の動作温度及び圧力が測定されて、それに対応するドリ
フト電圧をルックアップテーブルから読み出すために用
いられる。
ックアップテーブルを代替実施例として用いて、ドリフ
ト電流を計算する度に流体流量式の導関数に現在の温度
及び圧力を入力することも可能である。動作中に、現在
の動作温度及び圧力が測定されて、それに対応するドリ
フト電圧をルックアップテーブルから読み出すために用
いられる。
【００１１】流体の流量は、修正された出力電圧を比例
弁(proportional valve)を開閉するためのフィードバッ
ク制御信号として用いることにより制御することができ
る。例えば、ガスクロマトグラフの入口流量の順圧及び
背圧調整は、１つ又は複数の比例弁へのフィードバック
を提供する周囲温度及び圧力の補償を有する質量流量セ
ンサ、並びに周囲温度及び圧力の補償を有する圧力セン
サを用いることにより達成することができる。圧力セン
サのドリフト電圧は、流量センサのドリフト電圧と類似
した方法で決定される。
弁(proportional valve)を開閉するためのフィードバッ
ク制御信号として用いることにより制御することができ
る。例えば、ガスクロマトグラフの入口流量の順圧及び
背圧調整は、１つ又は複数の比例弁へのフィードバック
を提供する周囲温度及び圧力の補償を有する質量流量セ
ンサ、並びに周囲温度及び圧力の補償を有する圧力セン
サを用いることにより達成することができる。圧力セン
サのドリフト電圧は、流量センサのドリフト電圧と類似
した方法で決定される。
【００１２】集積回路メモリの設計に関する最近の進歩
により、特に、電子的に消去可能なプログラマブルメモ
リ(ＥＥＰＲＯＭ)により、流量センサに極めて近接して
ルックアップテーブル値の格納場所を設けることが可能
となった。ＥＥＰＲＯＭを流量センサと組み合わせて１
つのモジュールとして登載することにより、そのモジュ
ールを工場又は現場で較正することが可能となり、適当
な流量センサで確実に正しいドリフト電圧を得ることが
できる。流量センサを現場で交換する場合には、新たな
ドリフト電圧を計算及び生成してＥＥＰＲＯＭに記憶さ
せることが可能である。
により、特に、電子的に消去可能なプログラマブルメモ
リ(ＥＥＰＲＯＭ)により、流量センサに極めて近接して
ルックアップテーブル値の格納場所を設けることが可能
となった。ＥＥＰＲＯＭを流量センサと組み合わせて１
つのモジュールとして登載することにより、そのモジュ
ールを工場又は現場で較正することが可能となり、適当
な流量センサで確実に正しいドリフト電圧を得ることが
できる。流量センサを現場で交換する場合には、新たな
ドリフト電圧を計算及び生成してＥＥＰＲＯＭに記憶さ
せることが可能である。
【００１３】本願発明の他の態様及び利点は、本発明の
原理を例示する添付図面に関連して進められる以下の詳
細な説明から明らかとなろう。
原理を例示する添付図面に関連して進められる以下の詳
細な説明から明らかとなろう。
【００１４】
【実施例】本発明は、流量センサ及び圧力センサの両方
について周囲温度及び圧力の補償を行うための方法及び
装置を提供するものである。補償は、流量センサのドリ
フト電圧及び圧力センサのドリフト電圧に従って流量及
び圧力センサの出力電圧を修正することによって得られ
る。それらのドリフト電圧は、流量及び圧力センサ応答
の特性を表すモデルをファームウェアで生成することに
より得られる。そのモデルは、既知の流量及び圧力で較
正され、ドリフト電圧を提供するためにセンサの動作中
にアクセス可能なものとすることができる。代替的に
は、そのモデルは、予測される動作範囲にわたるドリフ
ト電圧のルックアップテーブルを生成するためにセンサ
の動作に先立ってアクセスすることも可能なものであ
る。動作中に、測定された温度及び圧力に従ってそのル
ックアップテーブルにアクセスすることにより、対応す
るドリフト電圧が得られる。
について周囲温度及び圧力の補償を行うための方法及び
装置を提供するものである。補償は、流量センサのドリ
フト電圧及び圧力センサのドリフト電圧に従って流量及
び圧力センサの出力電圧を修正することによって得られ
る。それらのドリフト電圧は、流量及び圧力センサ応答
の特性を表すモデルをファームウェアで生成することに
より得られる。そのモデルは、既知の流量及び圧力で較
正され、ドリフト電圧を提供するためにセンサの動作中
にアクセス可能なものとすることができる。代替的に
は、そのモデルは、予測される動作範囲にわたるドリフ
ト電圧のルックアップテーブルを生成するためにセンサ
の動作に先立ってアクセスすることも可能なものであ
る。動作中に、測定された温度及び圧力に従ってそのル
ックアップテーブルにアクセスすることにより、対応す
るドリフト電圧が得られる。
【００１５】図３は、本発明に従ってプロセッサ340に
より生成される温度及び圧力補償用の制御信号315に応
じて開閉する比例弁313を示すブロック図である。流量
センサ316により提供される出力電圧317は、その流量セ
ンサに関する予め記憶されている特性式に従って修正さ
れたものである。
より生成される温度及び圧力補償用の制御信号315に応
じて開閉する比例弁313を示すブロック図である。流量
センサ316により提供される出力電圧317は、その流量セ
ンサに関する予め記憶されている特性式に従って修正さ
れたものである。
【００１６】図４は、充填カラム418のための入口を有
するガスクロマトグラフに組み込まれた本発明の好適実
施例を示すものである。所与の試料化合物のクロマトグ
ラフ分離を行うために、注入口412を通して加圧された
キャリヤー流体中に試料が注入される。注入口412に供
給されたキャリヤー流体は、先ず、流体源（図示せず）
から質量流量制御装置411へと供給される。その質量流
量制御装置411は、比例弁414と、総入口流量を調整する
温度及び圧力補償式流量センサ416とを備えている。キ
ャリヤー流体の入口圧力は、温度及び圧力補償式圧力セ
ンサ420によって測定される。キャリヤー流体の圧力
は、図７に関して説明する制御装置からの適当な信号に
応じて弁414により制御される。調整器419は、セプタム
パージ流量を制御するために用いられる。
するガスクロマトグラフに組み込まれた本発明の好適実
施例を示すものである。所与の試料化合物のクロマトグ
ラフ分離を行うために、注入口412を通して加圧された
キャリヤー流体中に試料が注入される。注入口412に供
給されたキャリヤー流体は、先ず、流体源（図示せず）
から質量流量制御装置411へと供給される。その質量流
量制御装置411は、比例弁414と、総入口流量を調整する
温度及び圧力補償式流量センサ416とを備えている。キ
ャリヤー流体の入口圧力は、温度及び圧力補償式圧力セ
ンサ420によって測定される。キャリヤー流体の圧力
は、図７に関して説明する制御装置からの適当な信号に
応じて弁414により制御される。調整器419は、セプタム
パージ流量を制御するために用いられる。
【００１７】図５は、順圧調整式ガスクロマトグラフ51
0の入口への流体の流量を制御する比例弁と組み合わせ
て使用される本発明を示すブロック図である。所与の試
料化合物のクロマトグラフ分離を行うために、その試料
は注入口512を通して加圧キャリヤー流体中に注入され
る。注入口512に供給されるキャリヤー流体は、先ず流
体源（図示せず）から質量流量制御装置511へ供給され
る。この質量流量制御装置511は、総入口流量を調整す
る比例弁514と温度及び圧力補償式流量センサ516とを備
えたものである。弁518は、背圧調整器であり、温度及
び圧力補償式圧力センサ520によって測定されるような
キャリヤー流体の入口圧力を制御する働きをする。総キ
ャリヤー流体は、質量流量制御装置511から注入口512へ
直接供給される。キャリヤー流量の圧力は、図７に関し
て説明する制御装置からの適当な信号に応じて弁520に
より制御される。調整器522は、セプタムパージ流量を
制御するために使用される。弁524は、分割注入(split
injection)中に開放されるオン／オフ弁である。
0の入口への流体の流量を制御する比例弁と組み合わせ
て使用される本発明を示すブロック図である。所与の試
料化合物のクロマトグラフ分離を行うために、その試料
は注入口512を通して加圧キャリヤー流体中に注入され
る。注入口512に供給されるキャリヤー流体は、先ず流
体源（図示せず）から質量流量制御装置511へ供給され
る。この質量流量制御装置511は、総入口流量を調整す
る比例弁514と温度及び圧力補償式流量センサ516とを備
えたものである。弁518は、背圧調整器であり、温度及
び圧力補償式圧力センサ520によって測定されるような
キャリヤー流体の入口圧力を制御する働きをする。総キ
ャリヤー流体は、質量流量制御装置511から注入口512へ
直接供給される。キャリヤー流量の圧力は、図７に関し
て説明する制御装置からの適当な信号に応じて弁520に
より制御される。調整器522は、セプタムパージ流量を
制御するために使用される。弁524は、分割注入(split
injection)中に開放されるオン／オフ弁である。
【００１８】図６は、ガスクロマトグラフ510が非分割
注入用に設定されている代替実施例を示すものであり、
この場合には、温度及び圧力補償式圧力センサ520によ
って測定されるような圧力を制御するために弁514が用
いられる。弁524は、分割口(split vent)からの流出が
ないように閉鎖される。流量センサ516は全流量を測定
するが弁514を制御することはない。この構成では、注
入口512への総流量は、カラム流量にセプタムパージ流
量を加えたものとなる。注入口512は、キャリヤー流体
／試料混合物の一部をカラム518に供給し、その残りの
部分は非分析出力522を通過する。出力522を出る流量
は、セプタムパージ流量として知られるものである。キ
ャリヤー流体の圧力は、センサ520からの出力に応じて
弁514により制御される。そのセンサ520は、図７に関し
て説明するように適当な信号を生成するために用いられ
るものである。
注入用に設定されている代替実施例を示すものであり、
この場合には、温度及び圧力補償式圧力センサ520によ
って測定されるような圧力を制御するために弁514が用
いられる。弁524は、分割口(split vent)からの流出が
ないように閉鎖される。流量センサ516は全流量を測定
するが弁514を制御することはない。この構成では、注
入口512への総流量は、カラム流量にセプタムパージ流
量を加えたものとなる。注入口512は、キャリヤー流体
／試料混合物の一部をカラム518に供給し、その残りの
部分は非分析出力522を通過する。出力522を出る流量
は、セプタムパージ流量として知られるものである。キ
ャリヤー流体の圧力は、センサ520からの出力に応じて
弁514により制御される。そのセンサ520は、図７に関し
て説明するように適当な信号を生成するために用いられ
るものである。
【００１９】図５及び図６に示すクロマトグラフを動作
させるために本発明の原理に従って利用される電子制御
装置について以下に説明する。図７では、この電子制御
装置は、３つの主要要素、即ち、キーパッド710、コン
ピュータ720、及び制御装置730を備えたものとして示さ
れている。コンピュータ720は、ガスクロマトグラフ510
に関する全ての系の制御全体を維持するものである。こ
のコンピュータ720は、単一のブロックで示されている
が、かかるコンピュータは、中央演算処理装置と全ての
関連周辺装置、例えば、ランダムアクセスメモリ、読出
し専用メモリ、入出力装置、及び関連部品等を備えたも
のである、ということが理解されよう。代替的には、そ
のコンピュータは、装置のキーパッドをユーザインタフ
ェースとして用いるその装置に搭載されたプロセッサ及
びメモリとすることも可能である。かかる自立型の装置
は、付加的な機能を提供するためにＰＣと共に動作され
ることが多い。
させるために本発明の原理に従って利用される電子制御
装置について以下に説明する。図７では、この電子制御
装置は、３つの主要要素、即ち、キーパッド710、コン
ピュータ720、及び制御装置730を備えたものとして示さ
れている。コンピュータ720は、ガスクロマトグラフ510
に関する全ての系の制御全体を維持するものである。こ
のコンピュータ720は、単一のブロックで示されている
が、かかるコンピュータは、中央演算処理装置と全ての
関連周辺装置、例えば、ランダムアクセスメモリ、読出
し専用メモリ、入出力装置、及び関連部品等を備えたも
のである、ということが理解されよう。代替的には、そ
のコンピュータは、装置のキーパッドをユーザインタフ
ェースとして用いるその装置に搭載されたプロセッサ及
びメモリとすることも可能である。かかる自立型の装置
は、付加的な機能を提供するためにＰＣと共に動作され
ることが多い。
【００２０】制御回路730は、図５及び図６に示した弁5
14,518のいずれかを制御するために用いられる。この制
御装置730は、第２のコンピュータ740を備えたものとし
て示されている。この好適実施例のコンピュータ740
は、弁514,518の制御に用いられる制御信号を生成す
る。その生成された制御信号はディジタル形式のものな
ので、その信号は、ディジタルアナログ変換器745によ
りアナログ形式に変換され、弁514及び／又は518へ送ら
れる前に増幅器750により適当に増幅される。流量セン
サ516により検知されたキャリヤー流体流量又は圧力セ
ンサ520により検知された圧力は、先ずそれらのセンサ
により生成されたアナログ信号を変換器755によりアナ
ログからディジタルへと変換することにより、コンピュ
ータ740に供給される。変換器755により生成されたディ
ジタル信号は、コンピュータ740へと供給される。
14,518のいずれかを制御するために用いられる。この制
御装置730は、第２のコンピュータ740を備えたものとし
て示されている。この好適実施例のコンピュータ740
は、弁514,518の制御に用いられる制御信号を生成す
る。その生成された制御信号はディジタル形式のものな
ので、その信号は、ディジタルアナログ変換器745によ
りアナログ形式に変換され、弁514及び／又は518へ送ら
れる前に増幅器750により適当に増幅される。流量セン
サ516により検知されたキャリヤー流体流量又は圧力セ
ンサ520により検知された圧力は、先ずそれらのセンサ
により生成されたアナログ信号を変換器755によりアナ
ログからディジタルへと変換することにより、コンピュ
ータ740に供給される。変換器755により生成されたディ
ジタル信号は、コンピュータ740へと供給される。
【００２１】I. 質量流量、温度ドリフト、及び圧力セ
ンサのモデル式の作成 既述のように、現在の動作温度及び圧力の変化に対する
補償は、流体の流量の特性を表す式を記憶させ、動作中
にそれらにアクセスして、流量及び圧力センサの出力電
圧を修正するためのドリフト電圧を提供することによ
り、達成することができる。
ンサのモデル式の作成 既述のように、現在の動作温度及び圧力の変化に対する
補償は、流体の流量の特性を表す式を記憶させ、動作中
にそれらにアクセスして、流量及び圧力センサの出力電
圧を修正するためのドリフト電圧を提供することによ
り、達成することができる。
【００２２】A. 質量流量式 流量センサの出力電圧(Ｖo)に関して表した空気圧マニ
ホルドを通る流体の流量についての特性式が生成されて
ファームウェアに記憶される。詳細には、次式の通りと
なる。
ホルドを通る流体の流量についての特性式が生成されて
ファームウェアに記憶される。詳細には、次式の通りと
なる。
【００２３】Ｖo = α・[1-exp(βｆ)]＋Ｖoffset ここで、αは加熱ブリッジの温度及び電子的利得に比例
し、βは流体の熱拡散係数に関連するものである。この
特性式は、空気圧マニホルド内の各活性成分に関連する
３つの未知数を有している。これらの未知の電圧レベル
を同定するために、マニホルドは、空気圧試験台におい
て複数の異なる流量で動作される。センサの出力電圧
は、流量ゼロで測定してＶdriftを決定し、流量ｆで測
定してセンサ出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを決定し、及び流
量３ｆで測定してセンサ出力電圧Ｖo3＋Ｖdriftを決定
することにより、２つの範囲で得ることができる。それ
らセンサ出力電圧を流量センサ式に代入して定数を計算
することができる。
し、βは流体の熱拡散係数に関連するものである。この
特性式は、空気圧マニホルド内の各活性成分に関連する
３つの未知数を有している。これらの未知の電圧レベル
を同定するために、マニホルドは、空気圧試験台におい
て複数の異なる流量で動作される。センサの出力電圧
は、流量ゼロで測定してＶdriftを決定し、流量ｆで測
定してセンサ出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを決定し、及び流
量３ｆで測定してセンサ出力電圧Ｖo3＋Ｖdriftを決定
することにより、２つの範囲で得ることができる。それ
らセンサ出力電圧を流量センサ式に代入して定数を計算
することができる。
【００２４】B. 熱ドリフト式 熱ドリフトによる流量感度への影響は、流量センサ式の
導関数として熱ドリフトの特性を表すことにより補償す
ることが可能であり、次の通りとなる。
導関数として熱ドリフトの特性を表すことにより補償す
ることが可能であり、次の通りとなる。
【００２５】dＶo/dＴ＝(Ｖon/α)(dα/dＴ)−α/β・Ｌ
n[1-(Ｖon/α)]×[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/d
Ｔ ここで、Ｖoはセンサ出力電圧であり、Ｖonはセンサ出
力電圧からゼロ流量センサ出力電圧を差し引いたもので
ある。この特性が表されれば、未知の定数dα/dＴ（加
熱ブリッジの温度及び電子的利得のドリフトに比例す
る）、dβ/dＴ（ガスの熱拡散係数のドリフトに比例す
る）、及びdＶoffset/dＴ（電子的ドリフト電圧）は、
流量ゼロの場合とその他の２つの流量設定の場合との温
度ドリフトを測定することにより計算することができ
る。
n[1-(Ｖon/α)]×[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/d
Ｔ ここで、Ｖoはセンサ出力電圧であり、Ｖonはセンサ出
力電圧からゼロ流量センサ出力電圧を差し引いたもので
ある。この特性が表されれば、未知の定数dα/dＴ（加
熱ブリッジの温度及び電子的利得のドリフトに比例す
る）、dβ/dＴ（ガスの熱拡散係数のドリフトに比例す
る）、及びdＶoffset/dＴ（電子的ドリフト電圧）は、
流量ゼロの場合とその他の２つの流量設定の場合との温
度ドリフトを測定することにより計算することができ
る。
【００２６】C. 圧力センサモデル Ｃp＝(Ａ+Ｂ*ｐ1)＋(dＣp/dｔc)＊ｔc ここで、Ｃp ＝ センサ応答(Ａ／Ｄカウント) Ａ ＝ ０ ℃及び０psigでのドリフト(Ａ／Ｄカウント) Ｂ ＝ 圧力感度（カウント/psi) ｐ1 ＝ 流体源ゲージ圧力(psig) ＝ ｐs−[大気圧] ｔc ＝ サーミスタ温度(℃) dＣp/dｔc ＝ Ｃ＋Ｄ＊ｐ1 ここで、Ｃ ＝ 温度感度(Ａ／Ｄカウント/℃） Ｄ ＝ 温度に関する圧力感度の変化(Ａ／Ｄカウント/ps
i/℃）II. 較正 システムの各要素（流量調整器、圧力センサ、マニホル
ド、温度センサ）は、固有の変数を有しており、従って
完成されたシステムも較正することができる。幾つかの
温度及び圧力で較正を行うために、実際の動作状態を複
製する空気圧キャリヤーが用いられる。この較正によ
り、ファームウェアに記憶されている上記モデルで説明
した定数を確認することができる。特に、各圧力センサ
については、２つの異なる温度（一方は公称35℃）でそ
れぞれ導かれる２つの圧力（一方は０psigとすることが
可能）でのＡ／Ｄカウントに圧力を関連付けるデータを
収集しなければならない。各流量調整器については、公
称35℃における２つの点（各々は流量を有する）での
「流体流量・対・圧力」を表すデータであってそのチャネ
ルで使用される各流体毎に必要とされるデータを収集し
なければならない。サーミスタモデルについては、２つ
の点における「温度・対・Ａ／Ｄカウント」の特性を表す
データを収集しなければならない。
i/℃）II. 較正 システムの各要素（流量調整器、圧力センサ、マニホル
ド、温度センサ）は、固有の変数を有しており、従って
完成されたシステムも較正することができる。幾つかの
温度及び圧力で較正を行うために、実際の動作状態を複
製する空気圧キャリヤーが用いられる。この較正によ
り、ファームウェアに記憶されている上記モデルで説明
した定数を確認することができる。特に、各圧力センサ
については、２つの異なる温度（一方は公称35℃）でそ
れぞれ導かれる２つの圧力（一方は０psigとすることが
可能）でのＡ／Ｄカウントに圧力を関連付けるデータを
収集しなければならない。各流量調整器については、公
称35℃における２つの点（各々は流量を有する）での
「流体流量・対・圧力」を表すデータであってそのチャネ
ルで使用される各流体毎に必要とされるデータを収集し
なければならない。サーミスタモデルについては、２つ
の点における「温度・対・Ａ／Ｄカウント」の特性を表す
データを収集しなければならない。
【００２７】諸定数を規定するために用いられる複数の
流量には、Ｖdriftを決定するための流量ゼロ、センサ
出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを決定するための流量ｆ、及び
センサ出力電圧Ｖo3＋Ｖdriftを決定するための流量３
ｆが含まれる。より大きな非線形の流量範囲にわたり精
度を維持するために、センサの出力電圧は、３つの流量
０ｆ、３ｆ、９ｆでのセンサ出力電圧を得ることによ
り、２つの別々の範囲、例えば範囲０ｆ,３ｆ、及び３
ｆ〜９ｆで計算される。
流量には、Ｖdriftを決定するための流量ゼロ、センサ
出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを決定するための流量ｆ、及び
センサ出力電圧Ｖo3＋Ｖdriftを決定するための流量３
ｆが含まれる。より大きな非線形の流量範囲にわたり精
度を維持するために、センサの出力電圧は、３つの流量
０ｆ、３ｆ、９ｆでのセンサ出力電圧を得ることによ
り、２つの別々の範囲、例えば範囲０ｆ,３ｆ、及び３
ｆ〜９ｆで計算される。
【００２８】圧力センサの未知の定数を決定するため、
マニホルドが、圧力センサ出力電圧を測定することがで
きるように複数の既知の圧力で空気圧試験台で動作され
る。各式における定数は、測定された圧力センサ出力電
圧及び既知の流量を代入することにより形成された式を
用いて、それらの式を解くと同時に未知の定数を得るこ
とにより得られる。この式(定数を含む)の導関数は、圧
力センサドリフト電圧（dＣp/dｔc＝Ｃ＋Ｄ＊ｐ1）の特
性を表すものとなる。測定した周囲温度及び圧力の値を
動作中にこの式に代入することにより、圧力センサのド
リフト電圧が生成される。このドリフト電圧が圧力セン
サ出力電圧と結合されて、修正した圧力センサ出力電圧
が生成される。代替的には、出力電圧に対する予測され
る流体圧力並びに圧力に対する出力電圧の範囲に関する
ルックアップテーブルが、動作に先だって作成されて、
現在の周囲温度及び圧力の測定時に動作中にアクセスさ
れる。これらのステップは連続的に繰り返され、これに
より所望の流量の圧力の閉ループ制御が提供される。
マニホルドが、圧力センサ出力電圧を測定することがで
きるように複数の既知の圧力で空気圧試験台で動作され
る。各式における定数は、測定された圧力センサ出力電
圧及び既知の流量を代入することにより形成された式を
用いて、それらの式を解くと同時に未知の定数を得るこ
とにより得られる。この式(定数を含む)の導関数は、圧
力センサドリフト電圧（dＣp/dｔc＝Ｃ＋Ｄ＊ｐ1）の特
性を表すものとなる。測定した周囲温度及び圧力の値を
動作中にこの式に代入することにより、圧力センサのド
リフト電圧が生成される。このドリフト電圧が圧力セン
サ出力電圧と結合されて、修正した圧力センサ出力電圧
が生成される。代替的には、出力電圧に対する予測され
る流体圧力並びに圧力に対する出力電圧の範囲に関する
ルックアップテーブルが、動作に先だって作成されて、
現在の周囲温度及び圧力の測定時に動作中にアクセスさ
れる。これらのステップは連続的に繰り返され、これに
より所望の流量の圧力の閉ループ制御が提供される。
【００２９】III. ガスクロマトグラフでの実施 ガスクロマトグラフの初期設定時に、複数の流体流量と
それに対応する出力電圧とがファームウェアに記憶され
ている特性式に入力されて、複数の周囲温度及び圧力状
態における流体流量の出力電圧Ｖoとの関連付け及び出
力電圧Ｖoの流体流量との関連付けを行うルックアップ
テーブルが生成される。周囲温度及び圧力において所望
の流量を達成するのに必要な制御信号の電圧レベルが先
ず決定されてメモリに記憶される。装置の動作中は、現
在の温度及び圧力が絶えず監視され、所望の流量の要求
があった際にルックアップテーブルにアクセスして、周
囲の状態の変化により生じた影響を無効にして所望の流
量を提供するために入力電圧(Ｖo)に加える必要がある
適当なドリフト電圧レベルを決定することができる。次
いで、そのドリフト電圧がＶoに加えられて、現在の動
作温度及び圧力で所望の流量が得られる。これらのステ
ップが連続的に繰り返されて、所望の検出器の状態につ
いての閉ループ制御が提供される。
それに対応する出力電圧とがファームウェアに記憶され
ている特性式に入力されて、複数の周囲温度及び圧力状
態における流体流量の出力電圧Ｖoとの関連付け及び出
力電圧Ｖoの流体流量との関連付けを行うルックアップ
テーブルが生成される。周囲温度及び圧力において所望
の流量を達成するのに必要な制御信号の電圧レベルが先
ず決定されてメモリに記憶される。装置の動作中は、現
在の温度及び圧力が絶えず監視され、所望の流量の要求
があった際にルックアップテーブルにアクセスして、周
囲の状態の変化により生じた影響を無効にして所望の流
量を提供するために入力電圧(Ｖo)に加える必要がある
適当なドリフト電圧レベルを決定することができる。次
いで、そのドリフト電圧がＶoに加えられて、現在の動
作温度及び圧力で所望の流量が得られる。これらのステ
ップが連続的に繰り返されて、所望の検出器の状態につ
いての閉ループ制御が提供される。
【００３０】ガスクロマトグラフィーの分野における特
定の実施例を参照して本発明を説明及び図示してきた
が、当業者には理解されるように、流体の供給の測定及
び制御のために周囲温度及び圧力の変化に対する補償が
必要となる自動車エンジン設計その他の分野に本発明が
等しく適用できるように修正及び変更を行うことが可能
である。例えば、自動車エンジンの燃料／空気の混合気
は、典型的には、インテークマニホルドを通る空気の流
量を測定し、次いでインテークマニホルドに注入される
燃料の量を制御することにより、制御される。本発明
は、この用途に極めて適したものであり、従って、本発
明を使用してエンジンの動作効率及び性能を向上させる
ことが可能となる。
定の実施例を参照して本発明を説明及び図示してきた
が、当業者には理解されるように、流体の供給の測定及
び制御のために周囲温度及び圧力の変化に対する補償が
必要となる自動車エンジン設計その他の分野に本発明が
等しく適用できるように修正及び変更を行うことが可能
である。例えば、自動車エンジンの燃料／空気の混合気
は、典型的には、インテークマニホルドを通る空気の流
量を測定し、次いでインテークマニホルドに注入される
燃料の量を制御することにより、制御される。本発明
は、この用途に極めて適したものであり、従って、本発
明を使用してエンジンの動作効率及び性能を向上させる
ことが可能となる。
【００３１】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。
【００３２】１．流体流量に対する現在の動作温度及び
圧力の変化による影響を補償して入口流体流量の精確な
制御を提供する電子制御式空気圧マニホルドを有する分
析装置であって、流体源と、現在の動作温度に維持され
るよう熱伝導性材料からなるマニホルド体と、そのマニ
ホルド体に熱接触状態で取り付けられ、圧力調整器と入
口との間の流体の圧力に対応する流体圧力信号を生成す
る、流体圧力センサと、前記マニホルド体に熱接触状態
で取り付けられ、現在の動作圧力に対応する現在動作圧
力信号を生成する、圧力センサと、前記マニホルド体に
熱接触状態で取り付けられ、前記マニホルドの温度に対
応する温度信号を生成する、温度センサと、流量センサ
を通る流体の流量と、前記流体源からの流体の圧力と、
前記温度センサの温度と、流体の流量に対する現在の動
作圧力による影響とをモデル化する、ファームウェアに
記憶された複数の式と、温度信号と、流体圧力信号と、
現在動作圧力信号と、前記ファームウェアに記憶されて
いる複数のモデル式とに基づいて制御信号を生成するコ
ンピュータと、前記マニホルド体に熱接触状態で取り付
けられ、前記制御信号に応じて前記流体源と前記入口と
の間の流体の圧力を調整する、電子制御弁とを備えてい
ることを特徴とする、分析装置。
圧力の変化による影響を補償して入口流体流量の精確な
制御を提供する電子制御式空気圧マニホルドを有する分
析装置であって、流体源と、現在の動作温度に維持され
るよう熱伝導性材料からなるマニホルド体と、そのマニ
ホルド体に熱接触状態で取り付けられ、圧力調整器と入
口との間の流体の圧力に対応する流体圧力信号を生成す
る、流体圧力センサと、前記マニホルド体に熱接触状態
で取り付けられ、現在の動作圧力に対応する現在動作圧
力信号を生成する、圧力センサと、前記マニホルド体に
熱接触状態で取り付けられ、前記マニホルドの温度に対
応する温度信号を生成する、温度センサと、流量センサ
を通る流体の流量と、前記流体源からの流体の圧力と、
前記温度センサの温度と、流体の流量に対する現在の動
作圧力による影響とをモデル化する、ファームウェアに
記憶された複数の式と、温度信号と、流体圧力信号と、
現在動作圧力信号と、前記ファームウェアに記憶されて
いる複数のモデル式とに基づいて制御信号を生成するコ
ンピュータと、前記マニホルド体に熱接触状態で取り付
けられ、前記制御信号に応じて前記流体源と前記入口と
の間の流体の圧力を調整する、電子制御弁とを備えてい
ることを特徴とする、分析装置。
【００３３】２．質量流量センサを通る流体の流量をモ
デル化するための前記式が、次式； Ｖo＝α＊[1-exp(βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する）を含む、前項１に記載の
電子制御式空気圧マニホルド。
デル化するための前記式が、次式； Ｖo＝α＊[1-exp(βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する）を含む、前項１に記載の
電子制御式空気圧マニホルド。
【００３４】３．上流側圧力をモデル化する次式； Ｃp＝Ａ＋Ｃ＊ｔc＋(Ｂ＋Ｄ＊ｔc)＊ｐ1 （Ｃp＝センサ応答(Ａ／Ｄカウント) Ａ ＝０℃及び０psigでのドリフト(Ａ／Ｄカウント) Ｂ ＝圧力感度(カウント/psi) ｐ1＝流体源ゲージ圧力(psig)＝ｐs−[大気圧] ｔc＝サーミスタ温度(℃) dＣp/dｔc ＝ Ｃ＋Ｄ＊ｐ1） を更に含む、前項２に記載の電子制御式空気圧マニホル
ド。
ド。
【００３５】４．流体流量式の導関数が、 dＶo/dＴ＝(Ｖon/α)(dα/dＴ)−α/β＊Ｌn[1-(Ｖon/
α)]＊[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/dＴ （Ｖo＝センサ出力電圧、Ｖon＝センサ出力電圧−ゼロ
流量センサ出力電圧）であり、未知定数dα/dＴ（加熱
ブリッジの温度及び電子的利得のドリフトに比例する）
と、dβ/dＴ（ガスの熱拡散係数のドリフトに比例す
る）と、dＶoffset/dＴ（電子的ドリフト電圧）とが、
流量ゼロの場合とその他の２つの流量の場合との温度ド
リフトを測定することにより計算され、これにより、流
量センサのドリフト電圧を計算することが可能となる、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
α)]＊[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/dＴ （Ｖo＝センサ出力電圧、Ｖon＝センサ出力電圧−ゼロ
流量センサ出力電圧）であり、未知定数dα/dＴ（加熱
ブリッジの温度及び電子的利得のドリフトに比例する）
と、dβ/dＴ（ガスの熱拡散係数のドリフトに比例す
る）と、dＶoffset/dＴ（電子的ドリフト電圧）とが、
流量ゼロの場合とその他の２つの流量の場合との温度ド
リフトを測定することにより計算され、これにより、流
量センサのドリフト電圧を計算することが可能となる、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
【００３６】５．Ｃtが、前記流量センサの温度をモデ
ル化するためのＥ＋Ｆ＊Ｔcに等しく、Ａ／Ｄカウント
でのサーミスタ応答Ｃt＝Ｅ＋Ｆ＊Ｔcであり、Ｅ＝０℃
でのドリフト(Ａ／Ｄカウント)、Ｆ＝温度感度(Ａ／Ｄ
カウント/℃)、及びＴc＝較正温度である、前項１に記
載の電子制御式空気圧マニホルド。
ル化するためのＥ＋Ｆ＊Ｔcに等しく、Ａ／Ｄカウント
でのサーミスタ応答Ｃt＝Ｅ＋Ｆ＊Ｔcであり、Ｅ＝０℃
でのドリフト(Ａ／Ｄカウント)、Ｆ＝温度感度(Ａ／Ｄ
カウント/℃)、及びＴc＝較正温度である、前項１に記
載の電子制御式空気圧マニホルド。
【００３７】６．関係式Ｐa=ｊ(Ｃa)に従って大気圧に
比例する現在動作圧力信号を生成する現在動作圧力セン
サを更に備えている、前項１に記載の電子制御式空気圧
マニホルド。
比例する現在動作圧力信号を生成する現在動作圧力セン
サを更に備えている、前項１に記載の電子制御式空気圧
マニホルド。
【００３８】７．Ａ／Ｄ電圧・対・カウントの関係Ｃa＝
ｋ(Ｖa)（現在動作圧力センサからのＡ／Ｄカウン
ト）、Ｃp＝ｍ(Ｖp)（流体源圧力センサからのＡ／Ｄカ
ウント)、Ｃt＝ｎ(Ｖt)（温度センサ電圧からのＡ／Ｄ
カウント)、及びＧ＝流体特性がＲＯＭに記憶されてお
り、Ｐa＝現在の動作圧力及びＰs＝流体源圧力である、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
ｋ(Ｖa)（現在動作圧力センサからのＡ／Ｄカウン
ト）、Ｃp＝ｍ(Ｖp)（流体源圧力センサからのＡ／Ｄカ
ウント)、Ｃt＝ｎ(Ｖt)（温度センサ電圧からのＡ／Ｄ
カウント)、及びＧ＝流体特性がＲＯＭに記憶されてお
り、Ｐa＝現在の動作圧力及びＰs＝流体源圧力である、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
【００３９】８．前記熱伝導性の表面がアルミニウムか
らなる、前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
らなる、前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
【００４０】９．圧力式の導関数； dＣp/dｔc ＝ Ｃ＋Ｄ＊ｐ1 （Ｃ ＝ 温度感度(Ａ／Ｄカウント/℃） Ｄ ＝ 温度に関する圧力感度の変化(Ａ／Ｄカウント/ps
i/℃））が圧力ドリフト信号を得るために用いられる、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
i/℃））が圧力ドリフト信号を得るために用いられる、
前項２に記載の電子制御式空気圧マニホルド。
【００４１】10．前記流量センサが圧力０ｆ、３ｆ、及
び９ｆで較正される、前項１に記載の電子制御式空気圧
マニホルド。
び９ｆで較正される、前項１に記載の電子制御式空気圧
マニホルド。
【００４２】11．加熱ブリッジを有する流量センサの出
力を温度及び圧力の変化に関して補償するための方法で
あって、前記流量センサを通る流体の流量の特性を流量
センサ出力電圧(Ｖo)に関して表し、この場合に流量セ
ンサ式が、 Ｖo＝α＊[1-exp(βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する)と表され、空気圧試験台
で空気圧マニホルドを複数の既知流量で動作させてそれ
らに対応する流量センサ出力電圧を決定し、流量及びそ
れに対応するセンサ出力電圧を前記流量センサ式に代入
することにより定数α,βを計算し、それらの計算され
た定数を前記流量センサ式の未知数と置換し、前記流量
センサ式の導関数を求めてそれを空気圧マニホルドに関
連するコンピュータのメモリに記憶させ、現在の温度及
び圧力を測定し、その測定した温度及び圧力を前記流量
センサ式の前記導関数に入れてドリフト電圧を生成し、
そのドリフト電圧を流量センサ出力電圧Ｖoに加えて、
現在の動作温度及び圧力の変化に関して補償された出力
電圧を得る、という各ステップを有することを特徴とす
る、流体流量センサの出力を補償するための方法。
力を温度及び圧力の変化に関して補償するための方法で
あって、前記流量センサを通る流体の流量の特性を流量
センサ出力電圧(Ｖo)に関して表し、この場合に流量セ
ンサ式が、 Ｖo＝α＊[1-exp(βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する)と表され、空気圧試験台
で空気圧マニホルドを複数の既知流量で動作させてそれ
らに対応する流量センサ出力電圧を決定し、流量及びそ
れに対応するセンサ出力電圧を前記流量センサ式に代入
することにより定数α,βを計算し、それらの計算され
た定数を前記流量センサ式の未知数と置換し、前記流量
センサ式の導関数を求めてそれを空気圧マニホルドに関
連するコンピュータのメモリに記憶させ、現在の温度及
び圧力を測定し、その測定した温度及び圧力を前記流量
センサ式の前記導関数に入れてドリフト電圧を生成し、
そのドリフト電圧を流量センサ出力電圧Ｖoに加えて、
現在の動作温度及び圧力の変化に関して補償された出力
電圧を得る、という各ステップを有することを特徴とす
る、流体流量センサの出力を補償するための方法。
【００４３】12．前記のドリフト電圧を発生させるステ
ップが、流体流量の出力電圧Ｖoへの関連付け及び出力
電圧Ｖoの流体流量への関連付けを行う流体流量式に基
づき複数のルックアップテーブルを生成し、測定された
温度及び圧力を前記ルックアップテーブルに入力してそ
れらに対応するドリフト電圧を決定する、という各ステ
ップを更に有する、前項11に記載の流体流量センサの出
力を補償するための方法。
ップが、流体流量の出力電圧Ｖoへの関連付け及び出力
電圧Ｖoの流体流量への関連付けを行う流体流量式に基
づき複数のルックアップテーブルを生成し、測定された
温度及び圧力を前記ルックアップテーブルに入力してそ
れらに対応するドリフト電圧を決定する、という各ステ
ップを更に有する、前項11に記載の流体流量センサの出
力を補償するための方法。
【００４４】13．前記の流量センサ式の導関数を求める
ステップが、その導関数を dＶo/dＴ＝(Ｖon/α)(dα/dＴ)−α/β＊Ｌn[1-(Ｖon/
α)]＊[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/dＴ （Ｖo＝センサ出力電圧、Ｖon＝センサ出力電圧−ゼロ
流量センサ出力電圧）と表し、流量ゼロ及びその他の２
つの流量設定で温度ドリフトを測定し、その測定した温
度ドリフトを熱ドリフト式に代入して未知定数dα/d
Ｔ、dβ/dＴ、及びdＶoffset/dＴを求め、温度センサ出
力電圧を前記熱ドリフト式に入れて温度ドリフト電圧を
生成し、熱ドリフト電圧を温度センサ出力電圧に加える
ことにより温度センサ出力電圧を修正する、という各ス
テップを更に有する、前項11に記載の流体流量センサの
出力を補償するための方法。
ステップが、その導関数を dＶo/dＴ＝(Ｖon/α)(dα/dＴ)−α/β＊Ｌn[1-(Ｖon/
α)]＊[1-(Ｖon/α)]dβ/dＴ＋dＶoffset/dＴ （Ｖo＝センサ出力電圧、Ｖon＝センサ出力電圧−ゼロ
流量センサ出力電圧）と表し、流量ゼロ及びその他の２
つの流量設定で温度ドリフトを測定し、その測定した温
度ドリフトを熱ドリフト式に代入して未知定数dα/d
Ｔ、dβ/dＴ、及びdＶoffset/dＴを求め、温度センサ出
力電圧を前記熱ドリフト式に入れて温度ドリフト電圧を
生成し、熱ドリフト電圧を温度センサ出力電圧に加える
ことにより温度センサ出力電圧を修正する、という各ス
テップを更に有する、前項11に記載の流体流量センサの
出力を補償するための方法。
【００４５】14．複数の流体流量が、Ｖdriftを決定す
るためのゼロ流量と、センサ出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを
決定するための流量ｆと、センサ出力電圧Ｖo2＋Ｖdrif
tを決定するための流量２ｆとを更に含む、前項11に記
載の流体流量センサの出力を補償するための方法。
るためのゼロ流量と、センサ出力電圧Ｖo1＋Ｖdriftを
決定するための流量ｆと、センサ出力電圧Ｖo2＋Ｖdrif
tを決定するための流量２ｆとを更に含む、前項11に記
載の流体流量センサの出力を補償するための方法。
【００４６】15．流量＝ｆ,３ｆでセンサ出力電圧Ｖo1
−Ｖdrift,Ｖo2−Ｖdriftが得られる、前項11に記載の
流体流量センサの出力を補償するための方法。
−Ｖdrift,Ｖo2−Ｖdriftが得られる、前項11に記載の
流体流量センサの出力を補償するための方法。
【００４７】16．センサ出力電圧Ｖo1−Ｖdrift,Ｖo2−
Ｖdriftが、３つの流量０ｆ、３ｆ及び９ｆのセンサ出
力電圧を得ることによって２つの別々の範囲０ｆ,３
ｆ、及び３ｆ〜９ｆで計算される、前項14に記載の流体
流量センサの出力を補償するための方法。
Ｖdriftが、３つの流量０ｆ、３ｆ及び９ｆのセンサ出
力電圧を得ることによって２つの別々の範囲０ｆ,３
ｆ、及び３ｆ〜９ｆで計算される、前項14に記載の流体
流量センサの出力を補償するための方法。
【００４８】17．空気圧マニホルドを通る流体の流量を
調整するための方法であって、所望の流体流量を入力
し、現在の動作温度及び圧力で所望の流量を達成するた
めに必要な制御信号の電圧レベルを計算し、現在の温度
及び圧力を測定し、次式； Ｖo＝α＊[1-exp(−βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する)に従って現在の温度及び
圧力で所望の流量を達成するために必要な制御信号の電
圧レベルの変化を計算し、この場合、流量センサは、Ｖ
driftを決定するための流量ゼロ、センサ出力電圧Ｖo1
＋Ｖdriftを決定するための流量ｆ、及びセンサ出力電
圧Ｖo2＋Ｖdriftを決定するための流量２ｆの空気圧キ
ャリヤーで較正されており、センサ出力電圧を流量セン
サ式に代入して定数α,βを計算する、という各ステッ
プを有することを特徴とする、空気圧マニホルドを通る
流体の流量を調整するための方法。
調整するための方法であって、所望の流体流量を入力
し、現在の動作温度及び圧力で所望の流量を達成するた
めに必要な制御信号の電圧レベルを計算し、現在の温度
及び圧力を測定し、次式； Ｖo＝α＊[1-exp(−βｆ)]＋Ｖoffset (αは加熱ブリッジの温度及び電子利得に比例し、βは
流体の熱拡散係数に関連する)に従って現在の温度及び
圧力で所望の流量を達成するために必要な制御信号の電
圧レベルの変化を計算し、この場合、流量センサは、Ｖ
driftを決定するための流量ゼロ、センサ出力電圧Ｖo1
＋Ｖdriftを決定するための流量ｆ、及びセンサ出力電
圧Ｖo2＋Ｖdriftを決定するための流量２ｆの空気圧キ
ャリヤーで較正されており、センサ出力電圧を流量セン
サ式に代入して定数α,βを計算する、という各ステッ
プを有することを特徴とする、空気圧マニホルドを通る
流体の流量を調整するための方法。
【００４９】18．ドリフト電圧をルックアップするステ
ップが、ルックアップテーブルの項目間で補間を行って
一層正確なドリフト電圧を得ることを更に含む、前項１
に記載の空気圧マニホルドの質量流量センサ及び圧力セ
ンサを較正するための方法。
ップが、ルックアップテーブルの項目間で補間を行って
一層正確なドリフト電圧を得ることを更に含む、前項１
に記載の空気圧マニホルドの質量流量センサ及び圧力セ
ンサを較正するための方法。
【図１】当業界で周知の温度補償を有さない流量調整装
置を簡素化して示す説明図である。
置を簡素化して示す説明図である。
【図２】当業界で周知のように圧力センサを使用して入
口へと流れるキャリヤーガスを調整するガスクロマトグ
ラフの概要を示すブロック図である。
口へと流れるキャリヤーガスを調整するガスクロマトグ
ラフの概要を示すブロック図である。
【図３】本発明の好適実施例で説明した温度補償を有す
る流量調整装置の概要を示す説明図である。
る流量調整装置の概要を示す説明図である。
【図４】充填カラム入口と温度補償を有する流量調整装
置とを有するガスクロマトグラフを示すブロック図であ
る。
置とを有するガスクロマトグラフを示すブロック図であ
る。
【図５】温度及び圧力補償を有する流量調整装置を備え
た背圧調整式ガスクロマトグラフを示すブロック図であ
る。
た背圧調整式ガスクロマトグラフを示すブロック図であ
る。
【図６】温度及び圧力補償を有する順方向流量検知装置
を備えた順圧調整式ガスクロマトグラフを示すブロック
図である。
を備えた順圧調整式ガスクロマトグラフを示すブロック
図である。
【図７】図５及び図６に示したガスクロマトグラフのた
めの制御システムを示すブロック図である。
めの制御システムを示すブロック図である。
【図８】図５及び図６に示した流量センサ及び圧力セン
サを較正するために用いられる本発明による各ステップ
を示すフローチャートである。
サを較正するために用いられる本発明による各ステップ
を示すフローチャートである。
411 質量流量制御装置 412 注入口 414 比例弁 416 温度及び圧力補償式流量センサ 418 充填カラム 419 調整器 420 温度及び圧力補償式圧力センサ
Claims (1)
- 【請求項１】流体流量に対する現在の動作温度及び圧力
の変化による影響を補償して入口流体流量の精確な制御
を提供する電子制御式空気圧マニホルドを有する分析装
置であって、 流体源と、 現在の動作温度に維持されるよう熱伝導性材料からなる
マニホルド体と、 そのマニホルド体に熱接触状態で取り付けられ、圧力調
整器と入口との間の流体の圧力に対応する流体圧力信号
を生成する、流体圧力センサと、 前記マニホルド体に熱接触状態で取り付けられ、現在の
動作圧力に対応する現在動作圧力信号を生成する、圧力
センサと、 前記マニホルド体に熱接触状態で取り付けられ、前記マ
ニホルドの温度に対応する温度信号を生成する、温度セ
ンサと、 流量センサを通る流体の流量と、前記流体源からの流体
の圧力と、前記温度センサの温度と、流体の流量に対す
る現在の動作圧力による影響とをモデル化する、ファー
ムウェアに記憶された複数の式と、 温度信号と、流体圧力信号と、現在動作圧力信号と、前
記ファームウェアに記憶されている複数のモデル式とに
基づいて制御信号を生成するコンピュータと、 前記マニホルド体に熱接触状態で取り付けられ、前記制
御信号に応じて前記流体源と前記入口との間の流体の圧
力を調整する、電子制御弁とを備えていることを特徴と
する、分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US366532 | 1994-12-30 | ||
| US08/366,532 US5524084A (en) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | Method and apparatus for improved flow and pressure measurement and control |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233792A true JPH08233792A (ja) | 1996-09-13 |
| JP3577379B2 JP3577379B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=23443415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33443395A Expired - Fee Related JP3577379B2 (ja) | 1994-12-30 | 1995-12-22 | 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5524084A (ja) |
| JP (1) | JP3577379B2 (ja) |
| DE (1) | DE19546182C2 (ja) |
| GB (1) | GB2296796A (ja) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19546182A1 (de) | 1996-07-11 |
| DE19546182C2 (de) | 2001-06-13 |
| JP3577379B2 (ja) | 2004-10-13 |
| GB9525578D0 (en) | 1996-02-14 |
| US5524084A (en) | 1996-06-04 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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