DE19530136C1 - Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop - Google Patents

Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop

Info

Publication number
DE19530136C1
DE19530136C1 DE19530136A DE19530136A DE19530136C1 DE 19530136 C1 DE19530136 C1 DE 19530136C1 DE 19530136 A DE19530136 A DE 19530136A DE 19530136 A DE19530136 A DE 19530136A DE 19530136 C1 DE19530136 C1 DE 19530136C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microscope
rod
rods
focus
thermal expansion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19530136A
Other languages
English (en)
Inventor
Norbert Gaul
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Mikroskopie und Systems GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Mikroskopie und Systems GmbH filed Critical Leica Mikroskopie und Systems GmbH
Priority to DE19530136A priority Critical patent/DE19530136C1/de
Priority to DE59610710T priority patent/DE59610710D1/de
Priority to EP96111572A priority patent/EP0762175B1/de
Priority to AT96111572T priority patent/ATE249635T1/de
Priority to JP8227856A priority patent/JPH09120030A/ja
Priority to CN96112186A priority patent/CN1080416C/zh
Priority to US08/689,968 priority patent/US5703715A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE19530136C1 publication Critical patent/DE19530136C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Bekannte Mikroskope sind in der Regel mit einem Objektivrevolver ausgestattet, der eine Mehrzahl von unterschiedlichen Objektiven aufnimmt. Durch Drehen am Revolver wird das gewünschte Objektiv in den Strahlengang des Mikroskops eingeschwenkt. Die Fokussierung des Objektivs erfolgt durch eine Bewegung des Objekttisches entlang der optischen Achse des Mikroskopobjektivs. Dazu ist am Objekttisch eine Zahnstange fest angeordnet, die auf einem Antriebszahnrad kämmt. Dieses Antriebszahnrad ist über weitere getriebliche Mittel mit den außerhalb am Mikroskopkörper vorgesehenen Bedienknöpfen verbunden. Zusätzlich oder wahlweise kann das Antriebszahnrad auch mit einem motorischen Antrieb verbunden sein.
In bekannten Mikroskopen sind ferner elektronische Bauteile zur Steuerung von diversen automatischen bzw. motorischen Mikroskopfunktionen sowie eine Schaltung zur Strom/Spannungsversorgung der Lichtquelle integriert.
Bedingt durch die Lichtquelle und die integrierten elektronischen Bauteile wird der Mikroskopkörper während des Betriebes erwärmt.
In der Praxis hat es sich gezeigt, daß sich der Mikroskopkörper bei einer Erwärmung ausdehnt. Aus dieser Ausdehnung und dem äußerst geringen Tiefenschärfebereich der Mikroskopobjektive (im µ Bereich) resultiert der unerwünschte Effekt daß eine Veränderung des Abstandes zwischen dem Objekttisch mit dem Präparat und dem Mikroskopobjektiv stattfindet und somit die einmal eingestellte Fokusposition verlorengeht.
Ein Mikroskop mit integierten elektrischen und elektronischen Bauteilen ist aus der DE 35 20 475 C2 bekannt. Die Erwärmung des Mikroskopkörpers wird bei diesem Mikroskop dadurch vermieden, daß im Mikroskopstativfuß thermisch isolierte Kammern zur Aufnahme aller elektrischen und elektronischen Bauteile vorgesehen sind und die hier erzeugte Wärme über in der Bodenplatte vorhandene Lüftungsschlitze abgeleitet wird.
Die DE 42 32 079 A1 beschreibt einen piezoelektrischen Translator für den Objektisch eines konfokalen Mikroskops, der den Objekttisch zentral und spielfrei bewegt. Ober den piezoelektrischen Translator wird ein radiales Auswandern des Tisches infolge einer thermischen Drift weitgehend ausgeschlossen.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine durch die Wärmeausdehnung des Mikroskopkörpers bedingte Defokussierung in Z-Richtung ohne zusätzliche, elektronisch gesteuerte Stellglieder zu kompensieren.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wird erreicht, daß der generelle Aufbau eines bekannten Mikroskops erhalten bleibt und dabei lediglich durch die beiden an einem Ende miteinander verbundenen Stäbe mit unterschiedlicher Wärmeausdehnung, eine Defokussierung einer einmal eingestellten Fokusposition bzw. einer vorgegebenen, definierten Fokusposition ausgeschlossen wird.
Dabei verhält sich die Einrichtung dynamisch, d. h. mit zunehmender Temperatur im Mikroskop bzw. Mikroskopstativ und der damit verbundenen zunehmenden Defokussierung, wird über die beiden Stäbe der entsprechende Defokussierungsbetrag kompensiert. Über einen großen Temperaturbereich bleibt der eingestellte Fokus erhalten.
Die beiden Stäbe sind dabei aus Materialien mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten gefertigt.
Zur genauen Anpassung an die thermischen Verhältnisse im Mikroskopstativ können die beiden Stäbe auch unterschiedlich lang dimensioniert sein.
Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels mit Hilfe der schematischen Zeichnung näher erläutert.
Die Zeichnung zeigt ein Mikroskop 1 mit einem Mikroskopkörper 13, einem Binotubus 14, einem Objektivrevolver 15 mit einem im Wirkstellung befindlichen Mikroskopobjektiv 2. Unterhalb des Objektivs 2 ist ein Objekttisch 3 zur Aufnahme eines Präparates in der Objektivachse 22 angeordnet. Das Präparat wird über eine Beleuchtungseinrichtung 7, die hier als externe Einrichtung angedeutet ist, durchleuchtet. Dazu ist im Strahlengang bzw. in der optischen Achse 22 ein Umlenkspiegel 16 angeordnet.
Der Mikroskopkörper 13 weist ferner eine integrierte Kammer 6 zur Aufnahme von elektronischen Steuerschaltungen und/oder zur Aufnahme einer Strom/Spannungsversorgung für die Beleuchtungseinrichtung 7 auf.
Der Objekttisch 3 ist fest mit einem Tischwinkel 21 verbunden. Der Tischwinkel 21 ist in Doppelpfeilrichtung entlang der Führungen 17, die fest am Mikroskopkörper 13 angeordnet sind, zur Fokussierung des Mikroskopobjektivs 2 bewegbar ausgebildet. Der Tischwinkel 21 ist über zwei Schrauben 20 mit einem ersten Stab 8 fest verbunden. Dieser erste Stab 8 ist vorzugsweise aus Eisen gefertigt und über eine Schraubverbindung 18 mit einem zweiten Stab 9, der vorzugsweise aus Aluminium gefertigt ist, verbunden. An dem zweiten Stab 9 ist eine Zahnstange 4 über zwei Schrauben 19 befestigt. Die Zahnstange 4 steht im Eingriff mit einem Antriebszahnrad 5, welches über weitere nicht mit dargestellte getriebliche Mittel mit externen Bedienknöpfen und/oder einem motorischen Antrieb verbunden ist.
Die beiden Stäbe 8 und 9 sind gegen ein seitliches Verdrehen bzw. Verschieben durch eine Schraubverbindung 11 gesichert. Dazu ist in Längsrichtung im zweiten Stab 9 ein Langloch 12 vorgesehen, durch welches eine Schraube 11 geführt ist. Diese Schraube 11 ist im gegenüberliegenden ersten Stab 8 befestigt. Zur Verminderung der Reibung ist zwischen den beiden Stäben 8 und 9 ein Luftspalt 10 vorgesehen.
Eine Drehbewegung des Antriebszahnrads 5 wird über die Zahnstange 4, die beiden Stäbe 8 und 9 auf den Tischwinkel 21 mit dem Objekttisch 3 übertragen, so daß der Objekttisch 3 zur Fokussierung entlang der Objektivachse 22 in Doppelpfeilrichtung bewegt wird.
Bedingt durch die Wärmeentwicklung der elektronischen Bauteile 6 und der Beleuchtungseinrichtung 7 erfolgt mit zunehmender Betriebsdauer des Mikroskops 1 eine Erwärmung des Mikroskopkörpers 13 und somit eine entsprechende Ausdehnung. Diese Ausdehnung hat zur Folge, daß sich der Abstand Δl zwischen dem Mikroskoprevolver 15 und dem Objekttisch 3 vergrößert. Durch die äußerst geringen Tiefenschärfebereiche der Mikroskopobjektive 2 (im µ Bereich) geht bei dieser Abstandsänderung der eingestellte Fokus verloren.
Zur Kompensation dieser Abstandsänderung ist der Mikroskoptisch 3 mit den beiden Stäben 8 und 9 verbunden. Durch die unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der verwendeten Stabmaterialien, erster Stab 8 aus Eisen (Wärmeausdehnungskoeffizient 10-6 * 12,1) und zweiter Stab 9 aus Aluminium (Wärmeausdehnungskoeffizient 10-6 * 23,8) erfolgt eine Nachführung des Objekttisches 3 in Abhängigkeit von der Temperatur.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel dehnt sich bei Erwärmung der erste Stab 8 in Pfeilrichtung 23 aus, da der zweite Stab 9 über die Zahnstange 4 und das Antriebsritzel 5 fixiert ist. Gleichzeitig erfolgt eine Ausdehnung des zweiten Stabes 9. Durch die unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der beiden Stäbe 8, 9 ist, bei gleicher Baulänge, der Betrag der Ausdehnung des Stabes 9 größer als der des Stabes 8. Die Differenz der beiden Beträge ergibt eine Anhebung des Objekttisches 3 in Richtung des Mikroskopobjektivs 2. Dieser Betrag kann dadurch variiert werden, daß für die beiden Stäbe 8, 9 unterschiedliche Baulängen gewählt werden.
Durch eine entsprechende Wahl der Baulängen der einzelnen Stäbe 8 bzw. 9 und/oder durch die Verwendung von anderen Materialien mit entsprechenden Wärmeausdehnungskoeffizienten läßt sich eine individuelle, auf die diversen Mikroskopkörperformen und -größen angepaßte Kompensation der Defokussierung erreichen.
Bezugszeichenliste
1 Mikroskop
2 Mikroskopobjektiv
3 Objekttisch
4 Zahnstange
5 Antriebszahnrad
6 integrierte elektronische Bauteile
7 Beleuchtungseinrichtung
8 erster Stab
9 zweiter Stab
10 Luftspalt
11 Schraube
12 Langloch
13 Mikroskopkörper
14 Binotubus
15 Objektivrevolver
16 Umlenkspiegel
17 Führung für 3
18 Schraube
19 Schrauben
20 Schrauben
21 Tischwinkel
22 Objektivachse
23 Pfeilrichtung

Claims (6)

1. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1),
  • - mit einem Objektiv (2) und einem Objekttisch (3), der zur Fokuseinstellung durch ein Antriebszahnrad (5) und eine Zahnstange (4) entlang der Objektivachse (22) höhenverstellbar ausgebildet ist,
  • - und mit einem Mikroskopkörper (13), in dem elektrische Bausteine (6) und/oder Komponenten für die Objektbeleuchtung Wärme erzeugen und eine wärmebedingte Höhenverschiebung des Objekttisches (3) relativ zu dem Objektiv (3) und damit eine Defokussierung bewirken, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß zur Kompensation der wärmebedingten Defokussierung zwischen der Zahnstange (4) und dem Objekttisch (3) zwei nebeneinander angeordnete und parallel zu der Zahnstange (4) ausgerichtete Stäbe (8, 9) mit unterschiedlicher Wärmeausdehnung zwischengeschaltet sind,
  • - von denen der zweite Stab (9) mit seinem einen Ende fest mit der Zahnstange (4) und mit seinem anderen Ende fest mit dem ersten Stab (8) verbunden ist,
  • - und von denen der erste Stab (8) mit seinem freien Ende den Objekttisch (3) trägt und in seiner Wärmeausdehnung der Wärmeausdehnung des ersten Stabes entgegenarbeitet,
  • - so daß infolge der unterschiedlichen Wärmeausdehnungen der beiden Stäbe (8, 9) der Objekttisch (3) in seiner Höhe temperaturabhängig nachgeführt wird.
2. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Stab (9) ein größeres Wärmeausdehnungsvermögen besitzt als der erste Stab (8).
3. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verminderung der Reibung der beiden Stäbe (8, 9) aneinander, die beiden Stäbe (8, 9) voneinander beabstandet sind.
4. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1) nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Stab (9) aus Aluminium und der erste Stab (8) aus Eisen gefertigt ist.
5. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1) nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur seitlichen Führung der beiden Stäbe (8, 9) aneinander der eine der beiden Stäbe (9) an seinem freien Ende eine Schraube (11) trägt und der andere der beiden Stäbe (8) ein Langloch (12) aufweist, in das die Schraube (11) eingreift.
6. Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop (1) nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Längen der beiden Stäbe (8, 9) unterschiedlich dimensioniert sind.
DE19530136A 1995-08-16 1995-08-16 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop Expired - Fee Related DE19530136C1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19530136A DE19530136C1 (de) 1995-08-16 1995-08-16 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop
DE59610710T DE59610710D1 (de) 1995-08-16 1996-07-18 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop
EP96111572A EP0762175B1 (de) 1995-08-16 1996-07-18 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop
AT96111572T ATE249635T1 (de) 1995-08-16 1996-07-18 Einrichtung zur fokusstabilisierung in einem mikroskop
JP8227856A JPH09120030A (ja) 1995-08-16 1996-08-09 顕微鏡のフォーカス安定装置
CN96112186A CN1080416C (zh) 1995-08-16 1996-08-16 显微镜稳定聚焦装置
US08/689,968 US5703715A (en) 1995-08-16 1996-08-16 Device for stabilizing the focus of a microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19530136A DE19530136C1 (de) 1995-08-16 1995-08-16 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19530136C1 true DE19530136C1 (de) 1997-02-13

Family

ID=7769625

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19530136A Expired - Fee Related DE19530136C1 (de) 1995-08-16 1995-08-16 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop
DE59610710T Expired - Lifetime DE59610710D1 (de) 1995-08-16 1996-07-18 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59610710T Expired - Lifetime DE59610710D1 (de) 1995-08-16 1996-07-18 Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5703715A (de)
EP (1) EP0762175B1 (de)
JP (1) JPH09120030A (de)
CN (1) CN1080416C (de)
AT (1) ATE249635T1 (de)
DE (2) DE19530136C1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19914049A1 (de) * 1999-03-27 2000-10-05 Leica Microsystems Mikroskop
DE10261663A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikroskop
EP1548485A1 (de) * 2003-12-27 2005-06-29 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Verfahren zur Korrektur der Drift bei einem optischen Gerät
DE10246274B4 (de) * 2002-10-02 2006-06-01 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop mit Korrektur und Verfahren zur Korrektur der durch Temperaturänderung hervorgerufenen XYZ-Drift

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6853481B1 (en) 1999-06-21 2005-02-08 Olympus Optical Co., Ltd. Microscope having an illumination optical system which is integrated with the microscope base which reduces heat conduction from the microscope base to the microscope frame
JP4615676B2 (ja) * 1999-06-21 2011-01-19 オリンパス株式会社 顕微鏡
JP2001066514A (ja) 1999-06-21 2001-03-16 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
US6628459B2 (en) 2000-04-19 2003-09-30 Olympus Optical Co., Ltd. Focus stabilizing apparatus
US6567212B1 (en) * 2000-08-16 2003-05-20 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vibration damping device for microscopes and microscope with a vibration damping device
JP4205321B2 (ja) 2001-07-26 2009-01-07 独立行政法人科学技術振興機構 顕微鏡等のフォーカス安定性機構
JP4362605B2 (ja) 2003-07-02 2009-11-11 大学共同利用機関法人情報・システム研究機構 顕微鏡装置
US7088505B2 (en) * 2004-03-26 2006-08-08 Leica Microsystems Cms Gmbh Microscope and focusing device for a microscope
DE102004034845B4 (de) * 2004-07-19 2006-05-18 Leica Microsystems Cms Gmbh Umschaltbares Mikroskop
DE102005003797A1 (de) * 2005-01-26 2006-08-03 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop
US8047765B2 (en) * 2008-08-29 2011-11-01 General Electric Company Device, system and method for thermally activated displacement
JP6009838B2 (ja) * 2012-06-29 2016-10-19 オリンパス株式会社 顕微鏡焦準機構
CN102981259B (zh) * 2012-11-26 2015-06-10 长春迪瑞医疗科技股份有限公司 一种光学成像系统的热膨胀补偿装置和方法
CN107835943B (zh) 2015-03-23 2021-02-12 纳米力学有限公司 实现温度变化期间的尺寸稳定性的结构
EP3076218A1 (de) * 2015-03-31 2016-10-05 Canon Kabushiki Kaisha Stufenvorrichtung und mikroskop
CN104950430B (zh) * 2015-07-01 2017-12-19 苏勋涛 一种基于超声电机驱动的显微镜调焦器
DE102016108226A1 (de) * 2016-05-03 2017-11-09 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop
US20220276178A1 (en) * 2019-08-05 2022-09-01 Goldway Technology Limited System and process for diamond authentication
CN110727094A (zh) * 2019-11-28 2020-01-24 哈尔滨师范大学 一种解剖镜

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2558625A1 (de) * 1975-12-24 1977-07-14 Norte Klessmann & Co Kg Werkzeugmaschine, insbesondere bohr- oder fraesmaschine
DE3520475C2 (de) * 1985-06-07 1989-10-05 Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De
DE4232079A1 (de) * 1992-09-25 1994-03-31 Zeiss Carl Fa Linear feinverstellbarer Tisch

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3523756A1 (de) * 1985-06-12 1986-12-18 C. Reichert Optische Werke Ag, Wien Mikroskop mit hoehenverstellbarem objekttisch
US4703181A (en) * 1986-04-07 1987-10-27 Gatan Inc. Anti-drift device for side entry electron microscope specimen holders
US4841148A (en) * 1988-03-21 1989-06-20 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Variable temperature scanning tunneling microscope
US5438451A (en) * 1992-09-25 1995-08-01 Schweizer; Bruno Linearly fine-adjustable stage
JPH0755512A (ja) * 1993-08-19 1995-03-03 Mitaka Koki Co Ltd 測定器の支持台

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2558625A1 (de) * 1975-12-24 1977-07-14 Norte Klessmann & Co Kg Werkzeugmaschine, insbesondere bohr- oder fraesmaschine
DE3520475C2 (de) * 1985-06-07 1989-10-05 Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De
DE4232079A1 (de) * 1992-09-25 1994-03-31 Zeiss Carl Fa Linear feinverstellbarer Tisch

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19914049A1 (de) * 1999-03-27 2000-10-05 Leica Microsystems Mikroskop
DE19914049C2 (de) * 1999-03-27 2003-07-31 Leica Microsystems Konfokales Laserscanmikroskop
DE10246274B4 (de) * 2002-10-02 2006-06-01 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop mit Korrektur und Verfahren zur Korrektur der durch Temperaturänderung hervorgerufenen XYZ-Drift
DE10261663A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikroskop
EP1548485A1 (de) * 2003-12-27 2005-06-29 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Verfahren zur Korrektur der Drift bei einem optischen Gerät

Also Published As

Publication number Publication date
US5703715A (en) 1997-12-30
CN1080416C (zh) 2002-03-06
EP0762175A2 (de) 1997-03-12
CN1166608A (zh) 1997-12-03
ATE249635T1 (de) 2003-09-15
EP0762175B1 (de) 2003-09-10
JPH09120030A (ja) 1997-05-06
DE59610710D1 (de) 2003-10-16
EP0762175A3 (de) 1998-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19530136C1 (de) Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop
DE102004018110B4 (de) Einrichtung und Verfahren zur Positionseinstellung
EP1276586B1 (de) Laser-mikro-dissektionsgerät
DE19537868B4 (de) Beleuchtungseinrichtung für ein Stereomikroskop
DE2362249C3 (de) Probenhalterung mit Heizeinrichtung für ein Elektronenmikroskop
EP1780575B1 (de) Kamera
DE19947125B4 (de) Vorrichtung zum Stabilisieren eines optischen Bildes
DE19541237A1 (de) Pankratisches Vergrößerungssystem
DE102005034441A1 (de) Mikroskopobjektiv
DE19927129C1 (de) Fokussier- und Brennweiteneinstellvorrichtung für eine Videokamera
DE2252632C3 (de) Verstelleinrichtung für Linsensysteme veränderlicher Brennweite
EP0947003A2 (de) Piezoelektrischer oder elektrostriktiver trägheitsantrieb zum verschieben oder positionieren von insbesondere schweren objekten
EP1549990A1 (de) Mikroskop mit korrektur und verfahren zur korrektur der durch temperaturänderung hervorgerufenen xyz-drift
EP1390792B9 (de) Positioniereinrichtung
DE10028605A1 (de) Variolinsensystem und Verfahren zum Justieren desselben
DE2226137C3 (de) Mikroskop
DE19504443A1 (de) Stereomikroskop
DE19936497C2 (de) Halterung zur Befestigung einer Komponente mit einem aussenseitig angeordneten, symmetrischen Schwalbenschwanzschlitten
EP1438625B1 (de) Optisches mikroskop mit verstellbarem objektiv
DE19818467A1 (de) Einrichtung zum Kompensieren der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes
DE4231468A1 (de) Mikroskopstativfuß
DE4207092A1 (de) Endoskop
DE4039546C2 (de)
DE7903932U1 (de) Vorrichtung zum antrieb eines zoomlinsensystems
DE202015105900U1 (de) Objektivhalter für ein Mikroskop und Mikroskop mit einem solchen Objektivhalter

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH, 35578 WETZL

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH, 35578 WETZLAR, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110301