JPH0755512A - 測定器の支持台 - Google Patents
測定器の支持台Info
- Publication number
- JPH0755512A JPH0755512A JP22501593A JP22501593A JPH0755512A JP H0755512 A JPH0755512 A JP H0755512A JP 22501593 A JP22501593 A JP 22501593A JP 22501593 A JP22501593 A JP 22501593A JP H0755512 A JPH0755512 A JP H0755512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- linear expansion
- measuring instrument
- alpha1
- alpha2
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｚ軸方向の温度変化による位置変動をキャン
セルしてより精度の高い測定が可能な測定器の支持台を
提供する。 【構成】 台座１と、支持アーム２と、上端部が支持ア
ーム２の上端部に固定され且つ下端部で測定器１１を保
持する補助アーム３とを具備し、補助アーム３の下方へ
の線膨張が支持アーム２の上方への線膨張を相殺するよ
うに構成されている。
セルしてより精度の高い測定が可能な測定器の支持台を
提供する。 【構成】 台座１と、支持アーム２と、上端部が支持ア
ーム２の上端部に固定され且つ下端部で測定器１１を保
持する補助アーム３とを具備し、補助アーム３の下方へ
の線膨張が支持アーム２の上方への線膨張を相殺するよ
うに構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密測定に用いられる
測定器の支持台に関する。
測定器の支持台に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、Ｘ軸方向とＹ軸方向に移動可
能なＸＹステージに被測定物を載置し、側微顕微鏡など
の光学的測定器により、被測定物の左右（Ｘ軸方向）と
前後（Ｙ軸方向）の長さ及び上下（Ｚ軸方向）の高さも
しくは深さをミクロンオーダーで精密測定する測定装置
がある。
能なＸＹステージに被測定物を載置し、側微顕微鏡など
の光学的測定器により、被測定物の左右（Ｘ軸方向）と
前後（Ｙ軸方向）の長さ及び上下（Ｚ軸方向）の高さも
しくは深さをミクロンオーダーで精密測定する測定装置
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定装置では、
ＸＹ軸方向における測定精度はガラススケールの精度を
上げることによってある程度確保することができるが、
Ｚ軸方向については、測定器を支持する支持アームの温
度変化による線膨張が測定誤差の要因の一つとなってい
た。特に、光学的測定器本体の高さを一定としたまま長
時間にわたって測定する必要がある場合、この間の支持
アームの線膨張はミクロンオーダーでの測定においては
無視できないものであった。
ＸＹ軸方向における測定精度はガラススケールの精度を
上げることによってある程度確保することができるが、
Ｚ軸方向については、測定器を支持する支持アームの温
度変化による線膨張が測定誤差の要因の一つとなってい
た。特に、光学的測定器本体の高さを一定としたまま長
時間にわたって測定する必要がある場合、この間の支持
アームの線膨張はミクロンオーダーでの測定においては
無視できないものであった。
【０００４】本発明は、温度変化による支持アームの線
膨張を相殺してＺ軸方向の測定誤差を小さくすると共
に、長時間の測定においても測定器の高さを一定に保持
することのできる測定器の支持台を提供することを目的
としている。
膨張を相殺してＺ軸方向の測定誤差を小さくすると共
に、長時間の測定においても測定器の高さを一定に保持
することのできる測定器の支持台を提供することを目的
としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明は、被測定物を載置する台座と、該台座に
突設された支持アームと、上端部が支持アームの上端部
に固定され且つ下端部で測定器を保持する補助アームと
を具備し、前記補助アームが下方に線膨張して、支持ア
ームの上方への線膨張を相殺することを特徴としてい
る。
めに、本発明は、被測定物を載置する台座と、該台座に
突設された支持アームと、上端部が支持アームの上端部
に固定され且つ下端部で測定器を保持する補助アームと
を具備し、前記補助アームが下方に線膨張して、支持ア
ームの上方への線膨張を相殺することを特徴としてい
る。
【０００６】具体的には、支持アームと補助アームとの
固定点から支持アームの下端までの長さをＬ１、前記固
定点から保持部までの長さをＬ２、支持アームの線膨張
係数をα１、補助アームの線膨張係数をα２とすると
き、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１となるように構成してい
る。
固定点から支持アームの下端までの長さをＬ１、前記固
定点から保持部までの長さをＬ２、支持アームの線膨張
係数をα１、補助アームの線膨張係数をα２とすると
き、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１となるように構成してい
る。
【０００７】
【作用】本発明の測定器の支持台によれば、一度測定器
を所定の高さに調節した後、仮に、測定環境の温度が上
昇して、支持アームが上方に線膨張したとしても補助ア
ームが下方に線膨張して支持アームの線膨張を相殺する
ことができる。
を所定の高さに調節した後、仮に、測定環境の温度が上
昇して、支持アームが上方に線膨張したとしても補助ア
ームが下方に線膨張して支持アームの線膨張を相殺する
ことができる。
【０００８】具体的に、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１とする
と、本発明の測定器の支持台が温度ｔ上昇する時、支持
アームはΔＬ１＝Ｌ１・α１・ｔだけ上向きの伸び、逆
に補助アームがΔＬ２＝Ｌ２・α２・ｔだけ下向きに伸
びることになるが、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１であるの
で、ΔＬ１＝ΔＬ２となり、支持アームの上向きの伸び
が、補助アームの下向きの伸びにより相殺されることに
なる。
と、本発明の測定器の支持台が温度ｔ上昇する時、支持
アームはΔＬ１＝Ｌ１・α１・ｔだけ上向きの伸び、逆
に補助アームがΔＬ２＝Ｌ２・α２・ｔだけ下向きに伸
びることになるが、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１であるの
で、ΔＬ１＝ΔＬ２となり、支持アームの上向きの伸び
が、補助アームの下向きの伸びにより相殺されることに
なる。
【０００９】
【実施例】図１を参考にして、本発明の好適な実施例を
説明する。なお、以下の説明においては図面右下を前方
とし、図面左上を後方とする。本発明による測定器の支
持台は、台座１と支持アーム２と補助アーム３で構成さ
れている。
説明する。なお、以下の説明においては図面右下を前方
とし、図面左上を後方とする。本発明による測定器の支
持台は、台座１と支持アーム２と補助アーム３で構成さ
れている。
【００１０】台座１は金属製の鋳物で、その上面は、被
測定物を載置してＸ軸つまみ４とＹ軸つまみ５によりＸ
Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ６となっており、この
ＸＹステージ６の後方には、後述する測定器１１を支持
するための支持アーム２が垂直に突設されている。
測定物を載置してＸ軸つまみ４とＹ軸つまみ５によりＸ
Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ６となっており、この
ＸＹステージ６の後方には、後述する測定器１１を支持
するための支持アーム２が垂直に突設されている。
【００１１】支持アーム２は、前面に溝部７が形成され
て断面略コの字形となっており、さらに、この前面の長
手両縁部分は支持アーム２の横幅より幅広に形成され、
ありほぞ形状となっている。
て断面略コの字形となっており、さらに、この前面の長
手両縁部分は支持アーム２の横幅より幅広に形成され、
ありほぞ形状となっている。
【００１２】補助アーム３は溝部７内に埋没した状態で
配設され、補助アーム３の上端部と支持アーム２の上端
部はピン８によって固定されている。補助アーム３の下
端部は特に固定されておらず、温度変化により補助アー
ム３が線膨張するとピン８を基点として溝部７内で僅か
に線膨張できるようになっている。そして、補助アーム
３の下端部は溝部７内から水平に突出した状態に曲折さ
れ、後述する高さ調節ボルト１１ｃが螺合されるネジ孔
９を有する保持部１０となっている。
配設され、補助アーム３の上端部と支持アーム２の上端
部はピン８によって固定されている。補助アーム３の下
端部は特に固定されておらず、温度変化により補助アー
ム３が線膨張するとピン８を基点として溝部７内で僅か
に線膨張できるようになっている。そして、補助アーム
３の下端部は溝部７内から水平に突出した状態に曲折さ
れ、後述する高さ調節ボルト１１ｃが螺合されるネジ孔
９を有する保持部１０となっている。
【００１３】測定器１１は光学的測定器本体１１ａ、ス
ライド部１１ｂ、高さ調節ボルト１１ｃで構成されてい
る。光学的測定器本体１１ａはスライド部１１ｂの前面
に固定され、スライド部１１ｂの後面には支持アーム２
のありほぞ形状に対応するあり溝が形成されている。そ
して、スライド部１１ｂの上面に設けられた軸受け孔１
２と補助アーム３の保持部１０との間に高さ調節ボルト
１１ｃが架設されており、これを回転させることによっ
て、スライド部１１ｂが支持アーム２及び補助アーム３
の前面に密着して摺動し、光学的測定器本体１１ａの高
さを変えることができるようになっている。
ライド部１１ｂ、高さ調節ボルト１１ｃで構成されてい
る。光学的測定器本体１１ａはスライド部１１ｂの前面
に固定され、スライド部１１ｂの後面には支持アーム２
のありほぞ形状に対応するあり溝が形成されている。そ
して、スライド部１１ｂの上面に設けられた軸受け孔１
２と補助アーム３の保持部１０との間に高さ調節ボルト
１１ｃが架設されており、これを回転させることによっ
て、スライド部１１ｂが支持アーム２及び補助アーム３
の前面に密着して摺動し、光学的測定器本体１１ａの高
さを変えることができるようになっている。
【００１４】本実施例において、支持アーム２の材質は
線膨張係数がα１の金属で、補助アーム３の材質は線膨
張係数がα２の樹脂で、この樹脂の線膨張係数α２の方
が金属の線膨張係数α１よりも大きい。そして、この各
線膨張係数α１、α２により、支持アーム２におけるピ
ン８の中心（固定点）から台座１までの長さＬ１と、前
記ピン８の中心から保持部１９までの長さＬ２が決定さ
れる。すなわち、 Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１ ──────────（１） という関係になっている。従って、温度がｔ℃上昇した
場合、支持アーム２はΔＬ１＝Ｌ１・α１・ｔだけ上向
きに伸び、逆に補助アーム３がΔＬ２＝Ｌ２・α２・ｔ
だけ下向きに伸びることになるが、前記の式（１）によ
り、ΔＬ１＝ΔＬ２となり、支持アーム２の上向きの伸
びが、補助アーム３の下向きの伸びにより相殺されるこ
とになるので、温度が変化しても、測定器１１を保持す
る保持部１０の高さは変化しないことになる。従って、
測定器１１による被測定物の正確な測定が行える。
線膨張係数がα１の金属で、補助アーム３の材質は線膨
張係数がα２の樹脂で、この樹脂の線膨張係数α２の方
が金属の線膨張係数α１よりも大きい。そして、この各
線膨張係数α１、α２により、支持アーム２におけるピ
ン８の中心（固定点）から台座１までの長さＬ１と、前
記ピン８の中心から保持部１９までの長さＬ２が決定さ
れる。すなわち、 Ｌ１／Ｌ２＝α２／α１ ──────────（１） という関係になっている。従って、温度がｔ℃上昇した
場合、支持アーム２はΔＬ１＝Ｌ１・α１・ｔだけ上向
きに伸び、逆に補助アーム３がΔＬ２＝Ｌ２・α２・ｔ
だけ下向きに伸びることになるが、前記の式（１）によ
り、ΔＬ１＝ΔＬ２となり、支持アーム２の上向きの伸
びが、補助アーム３の下向きの伸びにより相殺されるこ
とになるので、温度が変化しても、測定器１１を保持す
る保持部１０の高さは変化しないことになる。従って、
測定器１１による被測定物の正確な測定が行える。
【００１５】なお、この実施例では、Ｌ１／Ｌ２＝α２
／α１として説明したが、これに限定されるものでな
く、支持アーム２の伸びを少しでも減少させることがで
きれば、Ｌ１／Ｌ２≒α２／α１でもよい。
／α１として説明したが、これに限定されるものでな
く、支持アーム２の伸びを少しでも減少させることがで
きれば、Ｌ１／Ｌ２≒α２／α１でもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、温度変化による測定器のＺ軸方向の位置変動
を小さくすることができ、長時間にわたり同一の被測定
物の測定を行う場合でもより精度の高い測定が可能とな
る。
いるので、温度変化による測定器のＺ軸方向の位置変動
を小さくすることができ、長時間にわたり同一の被測定
物の測定を行う場合でもより精度の高い測定が可能とな
る。
【図１】本発明の好適な実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の実施例の構造を示す断面図である。
１ 台座 ２ 支持アーム ３ 補助アーム ６ ＸＹステージ ７ 溝部 ８ ピン １０ 保持部 １１ 測定器 １１ａ 光学的測定器本体 １１ｂ スライド部材 １１ｃ 高さ調節ボルト
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物を載置する台座と、該台座に突
設された支持アームと、上端部が支持アームの上端部に
固定され且つ下端部で測定器を保持する補助アームとを
具備し、前記補助アームが下方に線膨張して、支持アー
ムの上方への線膨張を相殺することを特徴とする測定器
の支持台。 - 【請求項２】 支持アームと補助アームとの固定点から
台座までの長さをＬ１、前記固定点から保持部までの長
さをＬ２、支持アームの線膨張係数をα１、補助アーム
の線膨張係数をα２とするとき、Ｌ１／Ｌ２＝α２／α
１である請求項１記載の測定器の支持台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22501593A JPH0755512A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 測定器の支持台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22501593A JPH0755512A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 測定器の支持台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755512A true JPH0755512A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16822740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22501593A Pending JPH0755512A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 測定器の支持台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755512A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762175A3 (de) * | 1995-08-16 | 1998-01-28 | LEICA MIKROSKOPIE UND SYSTEME GmbH | Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop |
| JP2001066515A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
| JP2002328309A (ja) * | 2000-04-19 | 2002-11-15 | Olympus Optical Co Ltd | 試料支持装置 |
| JP2014010354A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Olympus Corp | 顕微鏡焦準機構 |
-
1993
- 1993-08-19 JP JP22501593A patent/JPH0755512A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762175A3 (de) * | 1995-08-16 | 1998-01-28 | LEICA MIKROSKOPIE UND SYSTEME GmbH | Einrichtung zur Fokusstabilisierung in einem Mikroskop |
| JP2001066515A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
| JP2002328309A (ja) * | 2000-04-19 | 2002-11-15 | Olympus Optical Co Ltd | 試料支持装置 |
| JP2014010354A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Olympus Corp | 顕微鏡焦準機構 |
| US9405113B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-08-02 | Olympus Corporation | Microscope focusing mechanism with movable components formed of materials having different linear expansion coefficients |
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