DE19512117A1 - Meßeinrichtung - Google Patents
MeßeinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Meßeinrichtung zur Messung
oder Untersuchung physiologischer Parameter an biologischen Zellen
oder von in einem Analyten enthaltenen chemischen Komponenten,
mit wenigstens einem elektrischen oder elektronischen Sensor, der
einen mit einer Auswerteeinrichtung verbindbaren Meßausgang
aufweist.
Man kennt bereits eine Meßeinrichtung der eingangs genannten Art,
bei der die zu untersuchenden Zellen in einem biologischen
Puffermedium enthalten sind und bei der diesem Puffermedium ein
Hilfsreagenz zugesetzt ist, das beim Vorhandensein bestimmter
chemischer Komponenten eine Färbung des Puffermediums bewirkt.
So kann beispielsweise ein Calcium-Farbstoff zum Nachweis von
Calcium-Ionen in dem Puffermedium enthalten sein. Zur Messung
einer durch die nachzuweisende Substanz bewirkte Farbveränderung
weist die vorbekannte Meßeinrichtung einen optischen Sensor und
eine Lichtquelle zum Durchleuchten des Puffermediums auf. Ein
Nachteil dieser Meßeinrichtung besteht vor allem darin, daß sie
eine gewisse Größe aufweist und daher für bestimmte Messungen
nicht flexibel genug einsetzbar ist. Außerdem ist die Messung
nicht rückwirkungsfrei, da die benötigten Hilfsreagenzien zum Teil
toxisch sind und die zu untersuchenden Zellen oder die zellulären
Targets beeinflussen. Auch die hohen Photonendichten können zu
Veränderungen in dem Meßsystem führen.
Es besteht daher die Aufgabe, eine Meßeinrichtung der eingangs
genannten Art zu schaffen, die eine kompakte Baugröße aufweist
und bei der die Beeinflussung des zu untersuchenden Mediums durch
die Meßeinrichtung vermindert ist.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß der Sensor wenigstens
eine auf einem Substrat befindliche, elektrische oder elektronische
Meßstruktur aufweist, daß an dem Sensor funktionsspezifische
Rezeptorzellen und/oder Targetzellen vorgesehen sind, die mit der
Meßstruktur mittelbar oder unmittelbar Kontakt haben und daß der
zu untersuchende Analyt zur Messung mit den Rezeptorzellen und/oder
den Targetzellen in Verbindung bringbar ist.
Bei der erfindungsgemäßen Meßeinrichtung wirkt also der Sensor
mit Target- oder Rezeptorzellen zusammen, die unmittelbar auf
der Meßstruktur angeordnet sind und bei Berührung mit dem Analyten
oder dem zu untersuchenden Medium durch bestimmte, darin enthaltene
Substanzen beeinflußt werden. Die dadurch bewirkten Veränderungen
in den Target- oder Rezeptorzellen sind mit dem Sensor direkt
meßbar, so daß das von dem Sensor abgegebene elektrische Signal
Rückschlüsse auf die in dem Analyten enthaltenen Substanzen
und/oder Zellen ermöglicht. Dabei können abhängig von den
speziellen Eigenschaften der mit dem Sensor gekoppelten funktions
spezifischen Rezeptor- und/oder Targetzellen unterschiedlichste
Substanzen gemessen oder nachgewiesen werden. So können beispiels
weise Rezeptorzellen zum Nachweis von Opiaten, Atracin, Steroiden
oder Östrogenen vorgesehen sein. Mittels spezieller Targetzellen
können biologische (z. B. toxische), chemische (z. B. Schwermetalle
etc.) und physikalische (z. B. Strahlung) Komponenten detektiert
werden. Da die erfindungsgemäße Meßvorrichtung eine sehr geringe
Baugröße aufweist, ist sie besonders gut handhabbar und kann auch
an schwer zugänglichen Stellen eingesetzt werden. Außerdem wird
für die Messung nur eine entsprechend geringe Menge des zu
untersuchenden Mediums benötigt. Da der zu untersuchenden Substanz
bzw. dem Analyten keine Hilfsreagenzien zugesetzt werden müssen,
arbeitet die Meßvorrichtung praktisch rückwirkungsfrei.
Eine Ausführungsform der Erfindung sieht zwischen den Rezeptor
zellen und der Meßstruktur eine strukturierte Zwischenschicht vor.
Dabei wird unter Zwischenschicht eine makromolekulare poröse
Schicht verstanden, die einerseits die Zellen zur Adhäsion bringt
und andererseits in der Porengröße so bemessen ist, daß sie für
bestimmte Ionen, Moleküle oder Zellbereiche durchlässig ist. Als
Zwischenschicht kann beispielsweise auch eine gesputterte oder
auf die Meßstruktur aufgebrachte SiO₂-Schicht, eine Al₂O₃-Schicht
oder eine Ta₂O₅-Schicht vorgesehen sein. Durch die strukturierte
Zwischenschicht wird die elektronische Meßstruktur so konditio
niert, daß die Target- oder Rezeptorzellen die Meßstruktur als
Nachbar akzeptieren und sich an diese besser anlagern. Die
Porosität der Zwischenschicht ermöglicht dabei, daß die zu
messenden Ionen, Moleküle oder Zellbereiche der Target- oder
Rezeptorzellen zu den elektrisch aktiven Bereichen der Meßstruktur
gelangen können.
Eine andere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die
Rezeptorzellen in einer Gelstruktur angeordnet sind oder von dieser
überdeckt sind. Die Gelstruktur bewirkt einerseits, daß die Target-
oder Rezeptorzellen unmittelbar mit der Meßstruktur des Sensors
in Kontakt stehen und mit dieser immobil verbunden sind.
Andererseits wirkt die Gelstruktur aber auch als Feuchtigkeits-
und Nahrungsspeicher für die Target- oder Rezeptorzellen, so daß
diese über einen längeren Zeitraum hinweg am Leben erhalten werden
können. Die Meßvorrichtung ermöglicht dadurch beispielsweise über
einen Zeitraum von etwa 10 Tagen eine ununterbrochene on-line-
Signalgewinnung für eine in dem Analyten enthaltene biologische
oder chemische Komponente. Ein Vorteil der Gelstruktur besteht
auch darin, daß die Maschenweite der Gelstruktur an den Durchmesser
der zu detektierenden Ionen, Moleküle oder Zellbereiche angepaßt
werden kann, so daß Ionen, Moleküle oder Zellbereiche, die einen
größeren Durchmesser als die Maschenweite oder die entsprechende
Ladungsprofile aufweisen, erst gar nicht bis zu den Target- oder
Rezeptorzellen vordringen können.
Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß die elektrische
oder elektronische Meßstruktur Teil einer Wandung eines Auf
nahmebehältnisses für das zu untersuchende Medium ist. Das zu
untersuchende Medium kann dann besser mit den an der Sensorober
fläche adhärent angelagerten Target- oder Rezeptorzellen in
Verbindung gebracht werden, da es einfach in das Aufnahmebehältnis
eingefüllt werden kann und dann gleich mit den Target- oder
Rezeptorzellen in Berührung gerät.
Besonders vorteilhaft ist, wenn sich die Meßstruktur am Boden
des Aufnahmebehältnisses befindet und wenn die Seitenwände durch
eine den Meßbereich der Meßstruktur umgrenzende Verkapselung als
seitliche Begrenzung ausgebildet sind. Der Sensor ist also so
in die Wandung des Aufnahmebehältnisses eingebaut, daß nur der
Meßbereich der Meßstruktur freiliegt, während die elektrischen
Anschlüsse des Sensors durch die Verkapselung gegen das in dem
Aufnahmebehältnis befindliche Medium abgedichtet sind.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß
mehrere Meßstrukturen vorzugsweise nebeneinander angeordnet sind.
Dadurch können an verschiedenen Stellen eines zu untersuchenden
Mediums gleichzeitig Messungen durchgeführt werden, so daß
einerseits Inhomogenitäten in dem zu untersuchenden Medium
festgestellt werden können und andererseits aber auch durch
Vergleich der Meßsignale mehrere, benachbart zueinander angeordnete
Meßstrukturen eine Kontrolle der Meßergebnisse möglich ist.
Vorteilhaft ist, wenn die elektrischen Kontaktstellen und/oder
die strukturierten Zwischenschichten von wenigstens zwei
Meßstrukturen unterschiedlicher Spezifität aufweisen. Die einzelnen
Meßstrukturen ermöglichen dadurch eine selektive Messung
unterschiedlicher Ionen, Moleküle oder Zellbereiche. Insbesondere
kann auch das Abscheiden eines bestimmten Stoffes einer physiolo
gischen Substanz zum Beispiel bei bestimmten Zellprozessen selektiv
gemessen werden. Als abgeschiedene Stoffe kommen beispielsweise
CO, CO₂, NH₃, H₂S, CH₄, C₂H₅OH, O₂ NO sowie Protonen in Betracht.
Besonders günstig ist, wenn das Substrat ein Halbleitersubstrat
ist und wenn als Meßstruktur wenigstens ein Feldeffekttransistor,
insbesondere ein ISFET vorgesehen ist, dessen Gate zum Kontakt
mit den Rezeptor- oder Targetzellen freiliegt. Dabei kann das
Gate, wenn es keine für die Zellen toxischen Substanzen enthält,
direkt mit den Target- oder Rezeptorzellen in Kontakt stehen.
Zwischen dem Gate und den Target- oder Rezeptorzellen kann aber
auch eine Zwischenschicht, beispielsweise eine SiO₂-Schicht für
eine Potentialmessung mit erwünschter Querempfindlichkeit für pH
oder aber auch eine Aluminiumoxid- oder Tantalpentoxid-Schicht
für protonenspezifische Messungen vorgesehen sein. Ferner kann
auch eine Festkörpermembran, beispielsweise eine dünne Glasmembran
auf den Gate abgeschieden sein.
Eine andere, vorteilhafte Ausführungsform sieht als Meßstruktur
wenigstens einen Interdigitalkondensator, der vorzugsweise paarig
angeordnete Elektroden beispielsweise in Kamm- oder Mäanderstruktur
aufweist, vor. Dabei ist der Abstand der Kamm- bzw. Kondensator
elektroden an den Durchmesser der Target- oder Rezeptorzellen
angepaßt, so daß diese mit unterschiedliche gepolten Kondensator
elektroden in Berührung stehen können. Ein Interdigitalkondensator
als Meßstruktur eignet sich besonders zur Messung von Formver
änderungen der Target- oder Rezeptorzellen, die beispielsweise
bei Targetzellen durch die Anwesenheit von Schwermetallen oder
bei transgenen Zellen durch den Kontakt mit einem bestimmten
Rezeptor hervorgerufen sein können. Außerdem können mit Interdigi
talkondensatoren Impedanz- oder Kapazitätsänderungen der Zellmembran
gemessen werden. Auch Antikörper, die sich an den Target- oder
Rezeptorzellen anlagern, können mit einer Interdigitalstruktur
nachgewiesen werden, da sie die Dielektrizitätskonstante im Bereich
der Interdigitalstruktur verändern. Zur Messung von Kapazitäts
änderungen ist vorzugsweise zwischen den Elektroden des Interdigi
talkondensators und den Target- oder Rezeporzellen eine eine dünne
Isolationsschicht vorgesehen.
Zweckmäßigerweise sind für die Meßeinrichtung mehrere, vorzugsweise
unterschiedlich große Interdigitalkondensatoren vorgesehen. Die
einzelnen Sensoren weisen dann eine unterschiedliche Empfindlich
keit auf, so daß die Meßeinrichtung einen größeren Meßbereich
abdeckt und in den einzelnen Meßbereichen eine höhere Auflösung
ermöglicht. Die Empfindlichkeit der Meßeinrichtung kann auch
dadurch verbessert werden, daß der Analyt vor oder während der
Messung relativ zu den Target- oder Rezeptorzellen beispielsweise
durch umrühren des Analyten oder durch Schütteln der Meßeinrichtung
bewegt wird.
Vorteilhaft ist, wenn in wenigstens einem isolierten Zwischenraum
der Elektroden des Interdigitalkondensators eine elektrochemosensi
tive Schicht vorgesehen ist. Der Sensor ist dann zum Nachweis
bestimmter, von den Target- oder Rezeptorzellen abgeschiedenen
physiologischen Substanzen, beispielsweise Sauerstoff oder komplexe
Gase besser geeignet. Hierzu können in den Zwischenräumen
elektroaktive Substanzen aufgebracht oder in keramischen Schwämmen
verpackt sein.
Bei einer anderen Ausführungsform sind zwischen den Elektroden
des Interdigitalkondensators Lichtleiter vorgesehen und zur
Aufnahme und zum Nachweis des den jeweiligen Lichtleiter
durchlaufenden Lichts sind Lichtdetektoren im Substrat angeordnet.
Die Meßeinrichtung stellt dann zusätzliche Informationen über
beispielsweise von den Target- oder Rezeptorzellen abgegebenes
Streulicht zur Verfügung, die einen Rückschluß auf die Vitalität
der Zellen ermöglichen. In vorteilhafter Weise kann somit mit
Hilfe der Lichtdetektoren ein Selbsttest der Meßeinrichtung
durchgeführt werden.
Eine noch exaktere Kontrolle der mit den Meßstrukturen in Kontakt
stehenden Target- oder Rezeptorzellen wird dadurch ermöglicht,
daß in das Substrat CCD-Sensoren, insbesondere in Form einer CCD-
Zeile oder eines CCD-Arrays integriert sind. Dadurch wird eine
noch höhere Auflösung bei der optischen Messung erreicht, so daß
es insbesondere auch möglich ist, morphologische Veränderungen
einzelner oder mehrerer, in bestimmten Bereichen der Meßstruktur
angeordneter Zellen, zu überwachen.
Zweckmäßigerweise ist auf dem die Meßstruktur aufweisenden Substrat
außerhalb des für die Messung vorgesehenen Substratbereiches
wenigstens ein Referenzelement mit gleichem oder ähnlichem Aufbau
wie dem der Meßstruktur angeordnet, insbesondere bei einem
Feldeffekttransistor als Meßstruktur ein Feldeffekttransistor mit
Gate. Mit solchen Referenzelementen können beispielsweise
Temperaturdrifte oder Offsetspannungen der für die Messung
vorgesehenen Meßstrukturen kompensiert werden.
Vorteilhaft ist, wenn auf dem die Meßstruktur aufweisenden Substrat
wenigstens ein Temperaturmeßsensor, insbesondere eine Temperaturmeß
diode angeordnet ist. Die Temperaturabhängigkeit der biologischen
Aktivität der Target- oder Referenzzellen kann dann bei der Messung
berücksichtigt und gegebenenfalls kompensiert werden.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß auf
dem die Meßstruktur aufweisenden Substrat innerhalb des Meß
bereiches oder benachbart zu diesem wenigstens eine Reizelektrode
für die Rezeptor- oder Targetzellen angeordnet ist. Die Target-
oder Rezeptorzellen können dann mittels der Reizelektrode gezielt
angeregt und zur spontanen Abgabe einer mit dem Sensor zu
detektierenden physiologischen Substanz veranlaßt werden.
Besonders vorteilhaft ist, wenn auf einem gemeinsamen Substrat
mehrere Sensoren (Meßstrukturen) insbesondere als Sensorarray
angeordnet sind, deren Meßausgang mit einer insbesondere auf dem
Substrat integriert angeordneten Steuer- und Auswerteeinrichtung
verbunden sind. Ein solches Sensorarray kann als integrierte
Schaltung besonders kostengünstig hergestellt werden und ermöglicht
auf engstem Raum die Messung unterschiedlichster chemischer oder
biologischer Substanzen. Dabei kann auf dem Substrat auch eine
Steuer- und Auswerteeinrichtung integriert sein, in der beispiels
weise eine Vorverarbeitung der Meßwerte vorgenommen werden kann.
Eine noch flexibleren Nutzung der auf dem Substrat befindlichen
Sensoren kann dadurch erreicht werden, daß auf dem Substrat mit
dem Sensorarray als Steuer- und Auswerteeinrichtung ein Multiple
xer, ein AD/DA-Wandler mit Sensoransteuerung, ein Mikroprozessor
sowie eine IO-Einheit angeordnet sind. Der Mikroprozessor kann
dann Offsetspannungen und Temperaturdrifte der Sensoren kompensie
ren und gegebenenfalls auch die Verarbeitung oder Auswertung der
Meßwerte übernehmen. Der Multiplexer ermöglicht in Verbindung mit
der IO-Einheit sowie dem AD/DA-Wandler die Übertragung der mit
einer Vielzahl von Sensoren gleichzeitig ermittelten Meßwerte über
einen Datenbus oder über eine gemeinsame Datenleitung.
Nachfolgend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen
näher erläutert.
Es zeigen zum Teil stärker schematisiert:
Fig. 1 einen auf einem Substrat befindlichen Interdigital
kondensator mit mäanderförmig parallel zueinander
verlaufenden Elektroden,
Fig. 2 einen auf einem Substrat befindlichen Interdigital
kondensator mit kammartig ineinandergreifenden Kammelek
troden,
Fig. 3 eine dreidimensionale Darstellung der Elektroden eines
Interdigitalkondensators,
Fig. 4 einen Querschnitt durch das Substrat ohne die darauf
befindlichen Rezeptorzellen, wobei als Meßstruktur ein
Interdigitalkondensator vorgesehen ist und wobei auch
das den Meßbereich umgrenzende Aufnahmebehältnis
erkennbar ist,
Fig. 5 eine Darstellung ähnlich Fig. 4, wobei jedoch zusätzlich
auch die an der Meßstruktur unmittelbar angelagerten
Rezeptorzellen und der in das Aufnahmebehältnis
eingefüllte Analyt gezeigt sind,
Fig. 6 eine Aufsicht auf den Gatebereich eines ISFET′S mit
Reizelektroden,
Fig. 7 einen Querschnitt durch den in Fig. 6 gezeigten ISFET,
mit einer auf dem Gate befindlichen Targetzelle,
Fig. 8 eine Teilansicht der Meßeinrichtung, die einen ISFET
mit einer Zwischenschicht zeigt, mit der eine Rezeptor
zelle in unmittelbarem Kontakt steht, wobei der
Meßbereich des ISFET seitlich durch ein Aufnahmebehältnis
begrenzt ist, das einen Analyten enthält,
Fig. 9 eine Darstellung ähnlich Fig. 8, wobei jedoch die
Rezeptorzelle in einer eine Gelmembran aufweisenden
Gelschicht angeordnet ist,
Fig. 10 eine Aufsicht auf ein Halbleitersubstrat in das vier
ISFETS, vier Referenz-FETS und eine Temperaturdiode
integriert sind,
Fig. 11 eine Aufsicht auf ein Halbleitersubstrat mit vier
ISFETS, zwischen denen eine Referenzelektrode angeordnet
ist, sowie mit zwei Referenz-FETS und einer Temperatur
diode,
Fig. 12 eine Aufsicht auf ein Halbleitersubstrat mit einem aus
ISFETS und Interdigitalkondensatoren bestehenden Sensor-
Array, wobei auf dem Halbleitersubstrat auch ein
Mikroprozessor mit AD/DA-Wandler, Multiplexer und IO-
Einheit vorgesehen ist,
Fig. 13 das Blockschaltbild des in Fig. 12 gezeigten Biosensor-
Chips,
Fig. 14 eine Aufsicht auf eine in ein DIL-Gehäuse eingebaute
Meßeinrichtung,
Fig. 15 einen Schnitt durch die Längsmittelebene der in Fig. 14
dargestellten Meßeinrichtung,
Fig. 16 einen Schnitt durch die Quermittelebene der in Fig. 14
gezeigten Meßeinrichtung,
Fig. 17 eine Aufsicht auf eine in ein DIL-Gehäuse eingebaute
Meßeinrichtung mit einem Aufnahmebehälter für den
Analyten,
Fig. 18 eine Längsseitenansicht der in Fig. 17 gezeigten
Meßeinrichtung, wobei das Aufnahmebehältnis und die
Anschlußkontakte des DIL-Gehäuses besonders gut erkennbar
sind,
Fig. 19 eine Seitenansicht auf die Schmalseite der in Fig. 17
und 18 gezeigten Meßeinrichtung,
Fig. 20 einen Schnitt durch die Längsmittelebene einer Meßein
richtung ähnlich der in Fig. 17, wobei jedoch auf die
Einfüllöffnung des Aufnahmebehältnisses ein Durchflußauf
satz mit integrierter Referenzelektrode aufgesetzt ist,
Fig. 21 eine Längsseitenansicht der in Fig. 20 gezeigten
Meßeinrichtung und
Fig. 22 eine Aufsicht auf die in Fig. 20 gezeigten Meßein
richtung.
Eine im ganzen mit 1 bezeichnete Meßeinrichtung zur Messung oder
Untersuchung physiologischer Parameter an biologischen Zellen oder
von in einem Analyten 2 enthaltenen chemischen Komponenten 3 weist
einen Sensor 4 mit einer auf einem Substrat 5 angeordneten
Meßstruktur 6 auf (Fig. 5). Der Sensor 4 ist mit etwa 30
Rezeptorzellen 7 kombiniert, die an der Oberfläche der Meßstruktur
6 angeordnet sind und mit dieser unmittelbar in Kontakt stehen.
Die Rezeptorzellen 7 weisen Rezeptoren 8 für ganz bestimmte
chemische oder biologische Komponenten 3 auf. Wenn diese
Komponenten 3 in dem Analyten 2 enthalten sind, lagern sie sich
an den Rezeptoren 8 an. Die Komponenten 3 können beispielsweise
Hormone, Antikörper, Antigene oder Wachstumsfaktoren sein. Die
Rezeptorzellen 7 werden durch das Ankoppeln der chemischen
Komponenten 3 verändert und diese Veränderung kann mit der
Meßstruktur 6 detektiert werden. So bewirken beispielsweise
bestimmte, in dem Analyten 2 enthaltene Schwermetallionen
Formveränderungen der Rezeptorzellen 7, die in einer mit der
Meßstruktur 6 detektierbaren Impedanzänderung der Zellmembran
resultieren. Bei der erfindungsgemäßen Meßeinrichtung 1 mißt also
der Sensor 4 Veränderungen der Rezeptorzellen 7, die durch die
in dem Analyten 2 enthaltenen chemischen oder biologischen
Komponenten 3 verursacht sind. Es handelt sich also hier praktisch
um einen bio-elektronischen Sensor, bei dem ein biologischer Sensor
(Rezeptor- oder Targetzellen) mit einem elektrischen oder
elektronischen Sensor kombiniert ist.
Bei der in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform ist als Meßstruktur
6 ein Interdigitalkondensator 9 vorgesehen. Die Elektroden 10
des Interdigitalkondensators 9 sind durch einander benachbarte
Leiterbahnen gebildet, die auf einem ebenen Substrat 5, das
beispielsweise aus Glas, Saphir oder Silizium bestehen kann
angeordnet sind. Die Fig. 1 bis 3 zeigen Ausführungsbeispiele
von Interdigitalkondensatoren 9 mit unterschiedlichem Elektroden-
Layout. Bei dem Beispiel nach Fig. 1 sind die Elektroden 10 durch
zwei äquidistant zueinander verlaufende Leiterbahnen gebildet,
die mäanderförmig an der Oberfläche des Substrats 5 angeordnet
sind. Bei einer anderen Ausführungsform (Fig. 2 und 3) weist
der Interdigitalkondensator 9 zwei ineinandergreifende Kammelek
troden auf. Mit dem Interdigitalkondensator 9 können sowohl
Formveränderungen der Target- oder Rezeptorzellen 7 als auch
Impedanzveränderungen an der Zellmembran dieser Zellen gemessen
werden. Der Interdigitalkondensator 9 ermöglicht durch seinen
planaren Aufbau eine besonders kostengünstig und in Großserie
herstellbare Meßeinrichtung 1. Vorteilhaft ist dabei vor allem,
daß die Elektrodenstruktur des Interdigitalkondensators 9 auch
auf biokompatible Substrate aufgebracht werden kann.
Die Fig. 6 bis 9 zeigen Ausführungsbeispiele der Meßeinrichtung
1, bei denen als Sensor ein ISFET 11 vorgesehen ist, dessen Gate
12 zum Kontakt mit den Rezeptorzellen 7 frei liegt. Zwischen dem
für die Messung aktiven Bereich des ISFET′s 11 und den Rezeptor
zellen 7 ist eine Zwischenschicht 13 vorgesehen, die mit ihrer
einen Flachseite mit dem Gate 12 und mit ihrer anderen Flachseite
mit den Rezeptorzellen 7 direkt in Berührung steht. Die Zwischen
schicht 13 ist eine makromolekulare poröse Schicht, die einerseits
die Rezeptorzelle 7 zur Adhäsion bringt und andererseits in ihrer
Porengröße so bemessen ist, daß sie für bestimmte Ionen, Moleküle
oder Zellbereiche durchlässig ist. Die Zwischenschicht 13 ist
also biokompatibel, so daß die Rezeptorzellen 7 diese als Nachbar
akzeptieren und an ihr anhaften. Dennoch wird die Messung durch
die zwischen der Meßstruktur 6 und den Rezeptorzellen 7 befindliche
Zwischenschicht 13 nicht behindert, da diese für die zu detektie
renden Moleküle, Ionen oder Zellbereiche durchlässig ist.
Bei dem in Fig. 9 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Target-
oder Rezeptorzellen 7 in einer eine Membran 14 aufweisenden
Gelstruktur 15 angeordnet. Die Gelstruktur 15 beinhaltet ein
Nährmedium und dient somit den Target- oder Rezeptorzellen 7 als
Nahrungsspeicher. Außerdem ist in der Gelstruktur 15 Feuchtigkeit
gespeichert, so daß die Target- oder Rezeptorzellen 7 über einen
längeren Zeitraum am Leben erhalten werden können. Die Meßein
richtung 1 ermöglicht deshalb auch über längere Zeitspannen hinweg
eine kontinuierliche on-line-Analyse bestimmter, in dem Analyten
2 enthaltener Komponenten 3. Dabei sind die Gelstruktur 15 und
die Membran 14 für die zu detektierenden Komponenten 3 durchlässig,
so daß diese bis zu den Rezeptoren 8 der Rezeptorzellen 7 gelangen
können.
Bei dem in Fig. 8 gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Nährmedium
für die Rezeptorzellen 7 in dem Analyten 2 enthalten, so daß auch
hier über einen längeren Zeitraum eine on-line-Signalgewinnung
möglich ist.
Wie aus den Fig. 4, 5, 8 und 9 besonders gut erkennbar ist,
ist die Meßstruktur 6 Teil einer Wandung 16 eines Aufnahmebehält
nisses 17. Dabei sind die Meßstruktur 6 und die darauf befindlichen
Target- oder Rezeptorzellen 7 am Boden des Aufnahmebehälters 17
angeordnet, so daß der Analyt 2 auf einfache Weise in das
Aufnahmebehältnis 17 eingefüllt werden kann und dann gleich mit
den Target- oder Rezeptorzellen 7 in Berührung gerät. Die Seiten-
Wandungen 16 des Aufnahmebehältnisses 17 sind dicht mit dem
Substrat 5 verbunden und umgrenzen den für die Messung vorgesehenen
Bereich 6. Dadurch wird auch bei einer größeren Menge eines zu
analysierenden Mediums verhindert, daß dieses seitlich ausfließt
und dabei mit dafür nicht vorgesehenen Bereichen des Sensors 4,
insbesondere mit dessen Anschlußkontakten in Berührung gerät.
Bei den in Fig. 6 und 7 gezeigten Substraten 5 ist beidseits
eines ISFET′s 11 jeweils eine Reizelektrode 19 vorgesehen, mit
der die Rezeptorzellen 7 zur spontanen Abgabe einer zu detektieren
den Substanz angeregt werden können. Besonders vorteilhaft ist,
wenn mehrere Sensoren 4 auf einem gemeinsamen Substrat 5 angeordnet
sind. Fig. 10 und 11 zeigt dies beispielhaft an einem Substrat
5, mit vier zum Kontakt mit Target- oder Rezeptorzellen 7
vorgesehenen ISFET′s 11, wobei zusätzlich noch vier weitere als
Referenzelemente 20 dienende ISFET′s außerhalb des für den Bewuchs
mit den Target- oder Testzellen vorgesehenen Substratbereichs in
das Substrat 5 integriert sind. Die Referenzelemente 20 ermöglichen
eine Kompensation der Temperaturdrift und der Offset-Spannung der
Sensoren 4. Bedarfsweise können benachbart zu den Sensoren 4 noch
Reizelektroden 19 vorgesehen sein (Fig. 11).
Besonders vorteilhaft ist, wenn die Sensoren 4 in Form eines Arrays
auf dem Substrat 5 angeordnet sind (Fig. 12). Mit einer einzigen
Meßeinrichtung 1 können dann mehrere, unterschiedliche chemische
oder biologische Komponenten 3 gleichzeitig detektiert werden.
Außerdem besteht die Möglichkeit einer parallelen Meßsignalgewin
nung an unterschiedlichen Target- oder Rezeptorzellen, so daß
eine Kontrolle der Meßergebnisse möglich ist. Bei dem in Fig.
12 gezeigten Ausführungsbeispiel sind zusätzlich zu dem Sensor-
Array 22 noch ein Multiplexer 23, eine AD/DA-Wandlereinheit 24,
eine IO-Einheit 25 und ein Mikroprozessor 26 integriert. Wie aus
dem zugehörigen Blockschaltbild (Fig. 13) erkennbar ist, können
beliebige, auf dem Substrat 5 angeordnete Sensoren jeweils einer
von fünf gleichzeitig ansteuerbaren Meßleitungen 27 zugeordnet
sein. Eine Regelungseinheit 28 ermöglicht dabei eine Einstellung
der für die ausgewählten Sensoren 4 und den denen zugeordneten
Referentelementen 20 vorgesehenen Strom- und Spannungswerte. Die
entsprechenden Werte werden von dem Mikroprozessor 26 ermittelt
und über Digital/Analog-Wandler 29 an die Regelungseinheit 28
ausgegeben. Zum Einlesen der Meßwerte aus der Regelungseinheit
28 sind Analog/Digital-Wandler 30 vorgesehen. An dem Mikroprozessor
sind außerdem zwei Temperatursensoren 21, ein Interdigital
kondensator 9, ein Sauerstoffsensor 31 sowie zwei AgCl-Referenzel
ektroden 35 angeschlossen.
Das komplette Substrat 5 mit den darauf befindlichen Target- oder
Rezeptorzellen 7 ist in einen 40-poligen Keramik-DIL-Sockel 32
eingebaut. Die Meßeinrichtung 1 kann dadurch wie eine handels
übliche integrierte Schaltung beispielsweise in einen auf einer
Platine vorgesehenen IC-Sockel eingesetzt werden.
Die Fig. 17 bis 19 zeigen Ausführungsbeispiele, bei denen auf
dem Keramik-DIL-Sockel 32 ein Aufnahmebehältnis 17 für den Analyten
2 vorgesehen ist. Der Analyt 2 kann dann auf einfache Weise in
das Aufnahmebehältnis 17 eingefüllt werden. Um eine besonders
exakte Positionierung des Analyten 2 in Bezug zu den Sensoren
4 zu ermöglichen, kann in die Einfüllöffnung 18 des Aufnahmebehält
nisses 17 ein Durchflußaufsatz 34 eingesetzt werden. Diffusions
unterschiede des Analyten 2, wie sie beispielsweise bei dessen
Einfüllen oder Absaugen mit einer Pipette im Bereich des Sensors
4 auftreten können, werden dadurch weitgehend vermieden.
Claims (18)
1. Meßeinrichtung (1) zur Messung oder Untersuchung physiologi
scher Parameter an biologischen Zellen oder von in einem
Analyten (2) enthaltenen chemischen Komponenten (3), mit
wenigstens einem elektrischen oder elektronischen Sensor (4),
der einen mit einer Auswerteeinrichtung verbindbaren
Meßausgang aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor
(4) wenigstens eine auf einem Substrat (5) befindliche,
elektrische oder elektronische Meßstruktur (6) aufweist, daß
an dem Sensor (4) funktionsspezifische Rezeptorzellen (7)
und/oder Targetzellen vorgesehen sind, die mit der Meßstruktur
(6) mittelbar oder unmittelbar Kontakt haben und daß der
zu untersuchende Analyt (2) zur Messung mit den Rezeptorzellen
(7) und/oder den Targetzellen in Verbindung bringbar ist.
2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
zwischen den Rezeptorzellen (7) und der Meßstruktur (5) eine
strukturierte Zwischenschicht (13) vorgesehen ist.
3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Rezeptorzellen (7) in einer Gelstruktur (15)
angeordnet oder von dieser überdeckt sind.
4. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die elektrische oder elektronische
Meßstruktur (6) Teil einer Wandung (16) eines Aufnahmebehält
nisses (17) für das zu untersuchende Medium ist.
5. Meßeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
sich die Meßstruktur (6) am Boden des Aufnahmebehältnisses
(17) befindet und daß die Seitenwände durch eine den
Meßbereich der Meßstruktur (6) umgrenzende Verkapselung als
seitliche Begrenzung gebildet sind.
6. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß mehrere Meßstrukturen (6) vorzugsweise
nebeneinander angeordnet sind.
7. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die elektrischen Kontaktstellen und/oder
die strukturierten Zwischenschichten (13) von wenigstens zwei
Meßstrukturen (6) unterschiedliche Spezifitäten aufweisen.
8. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat (5) ein Halbleitersubstrat
ist und daß als Meßstruktur wenigstens ein Feldeffekt
transistor, insbesondere ein ISFET (11) vorgesehen ist, dessen
Gate (12) zum Kontakt mit den Rezeptor- oder Targetzellen
freiliegt.
9. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß als Meßstruktur (6) wenigstens ein
Interdigitalkondensator (9)1 der vorzugsweise paarig
ineinandergreifende Elektroden (10) aufweist, vorgesehen ist.
10. Meßeinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
mehrere, vorzugsweise unterschiedlich große Interdigital
kondensatoren (9) vorgesehen sind.
11. Meßeinrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß in wenigstens einem isolierten Zwischenraum
der Elektroden (10) des Interdigitalkondensators (9) eine
elektrochemosensitive Schicht vorgesehen ist.
12. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen den Elektroden (10) des
Interdigitalkondensators (9) Lichtleiter vorgesehen sind und
daß Lichtdetektoren zur Aufnahme und zum Nachweis des den
jeweiligen Lichtleiter durchlaufenden Lichts im Substrat (5)
angeordnet sind.
13. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß in das Substrat (5) CCD-Sensoren,
insbesondere in Form einer CCD-Zeile oder eines CCD-Arrays
integriert sind.
14. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß auf dem die Meßstruktur (6) aufweisenden
Substrat (5) außerhalb des für die Messung vorgesehenen
Substratbereiches wenigstens ein Referenzelement (20) mit
gleichem oder ähnlichem Aufbau wie dem der Meßstruktur (6)
angeordnet ist, insbesondere bei einem Feldeffekttransistor
als Meßstruktur ein Feldeffekttransistor mit Gate.
15. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß auf dem die Meßstruktur (6) aufweisenden
Substrat (5) wenigstens ein Temperaturmeßsensor (21),
insbesondere eine Temperaturmeßdiode angeordnet ist.
16. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß auf dem die Meßstruktur (6) aufweisenden
Substrat (5) innerhalb des Meßbereiches oder benachbart zu
diesem wenigstens eine Reizelektrode (19) für die Rezeptor-
oder Targetzellen und/oder eine Referenzelektrode angeordnet
ist.
17. Meßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß auf einem gemeinsamen Substrat (5) mehrere
Sensoren (4) (Meßstrukturen) (6) insbesondere als Sensorarray
(22) angeordnet sind, deren Meßausgänge mit einer insbesondere
auf dem Substrat (5) integriert angeordneten Steuer- und
Auswerteeinrichtung verbunden sind.
18. Meßeinrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß
sich auf dem Substrat (5) mit dem Sensorarray (22) als
Steuer- und Auswerteeinrichtung ein Multiplexer (23), ein
AD/DA-Wandler (24) mit Sensoransteuerung, ein Mikroprozessor
(26) sowie eine IO-Einheit (25) befinden.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19512117A DE19512117A1 (de) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | Meßeinrichtung |
US08/930,657 US6280586B1 (en) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Measuring device using biological cells or chemical biologically active substances contained in an analyte |
DK96911977T DK0820593T3 (da) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Måleindretning |
EP96911977A EP0820593B1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
DE59603984T DE59603984D1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
AT96911977T ATE188038T1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
PCT/EP1996/001409 WO1996031774A1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
JP8529966A JPH11503316A (ja) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19512117A DE19512117A1 (de) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | Meßeinrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19512117A1 true DE19512117A1 (de) | 1996-10-10 |
Family
ID=7758449
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19512117A Withdrawn DE19512117A1 (de) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | Meßeinrichtung |
DE59603984T Expired - Lifetime DE59603984D1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59603984T Expired - Lifetime DE59603984D1 (de) | 1995-04-04 | 1996-03-30 | Messeinrichtung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6280586B1 (de) |
EP (1) | EP0820593B1 (de) |
JP (1) | JPH11503316A (de) |
AT (1) | ATE188038T1 (de) |
DE (2) | DE19512117A1 (de) |
DK (1) | DK0820593T3 (de) |
WO (1) | WO1996031774A1 (de) |
Cited By (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0785424A1 (de) * | 1996-01-17 | 1997-07-23 | Deutsche ITT Industries GmbH | Verfahren zum Herstellen einer Messeinrichtung sowie danach hergestellte Messeinrichtung |
DE19731078A1 (de) * | 1997-05-28 | 1998-12-03 | Micronas Intermetall Gmbh | Meßeinrichtung |
DE19753790A1 (de) * | 1997-12-04 | 1999-06-17 | Micronas Intermetall Gmbh | Verfahren zur Untersuchung oder zum Strukturieren einer Oberflächenschicht |
DE19846466A1 (de) * | 1998-10-08 | 2000-04-27 | Ghs Gesundheits Service Ag | Analyseverfahren zur simultanen Bestimmung von Parametern aus unterschiedlichen Medien |
US6104495A (en) * | 1997-05-28 | 2000-08-15 | Micronas Intermetall Gmbh | Measuring apparatus |
WO2001046692A2 (de) * | 1999-12-20 | 2001-06-28 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Messverfahren unter einsatz mindestens einer biologischen rezeptorzelle sowie eine zur durchführung des messverfahrens geeignete vorrichtung |
DE10015816A1 (de) * | 2000-03-30 | 2001-10-18 | Infineon Technologies Ag | Biosensorchip |
US6315940B1 (en) | 1996-11-16 | 2001-11-13 | Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Institut An Der Universitat Tubingen In Reutlingen | Microelement device |
EP1423506A2 (de) * | 2001-08-06 | 2004-06-02 | Vanderbilt University | Vorrichtung und verfahren zur verwendung von biologischem material zur unterscheidung eines stoffs |
DE10254158A1 (de) * | 2002-11-20 | 2004-06-09 | Infineon Technologies Ag | Sensorvorrichtung zur Detektion elektrischer Signale einer biologischen Zelle und Detektionsverfahren |
DE19758533B4 (de) * | 1997-12-04 | 2005-09-29 | Micronas Gmbh | Verfahren zum Strukturieren einer Oberflächenschicht |
DE102004028551A1 (de) * | 2004-06-12 | 2006-01-05 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Verfahren zur Reduzierung instationärer Temperatureffekte beim Einsatz elektrochemischer Gassensoren |
DE19704237B4 (de) * | 1997-02-05 | 2006-11-23 | Micronas Gmbh | Meßeinrichtung |
DE102005027245A1 (de) * | 2005-06-13 | 2006-12-21 | Siemens Ag | Schaltkreisanordnung |
DE102007013522A1 (de) * | 2007-03-21 | 2008-09-25 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement eines Gassensors |
DE102011009854A1 (de) * | 2011-02-01 | 2012-08-02 | Erwin Quarder Systemtechnik Gmbh | Sensoreinrichtung zur Messung von Eigenschaften von Analyten |
EP1978358A3 (de) * | 2007-04-05 | 2013-01-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor zur Erfassung eines toxischen oder gefährlichen Gasgemisches und Betriebsverfahren |
EP2639579A1 (de) * | 2006-12-14 | 2013-09-18 | Life Technologies Corporation | Vorrichtung zur Messung von Analyten mithilfe großer FET-Arrays |
US8685324B2 (en) | 2010-09-24 | 2014-04-01 | Life Technologies Corporation | Matched pair transistor circuits |
US8692298B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-04-08 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor array having multiple sensors per well |
US8698212B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-04-15 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors |
US8731847B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-05-20 | Life Technologies Corporation | Array configuration and readout scheme |
US8776573B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-07-15 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8786331B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-07-22 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US8821798B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-09-02 | Life Technologies Corporation | Titanium nitride as sensing layer for microwell structure |
US8858782B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-10-14 | Life Technologies Corporation | Ion-sensing charge-accumulation circuits and methods |
US8936763B2 (en) | 2008-10-22 | 2015-01-20 | Life Technologies Corporation | Integrated sensor arrays for biological and chemical analysis |
US9116117B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-25 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall sensor surface |
US9128044B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-09-08 | Life Technologies Corporation | Chemical sensors with consistent sensor surface areas |
US9194000B2 (en) | 2008-06-25 | 2015-11-24 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US9404920B2 (en) | 2006-12-14 | 2016-08-02 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays |
US9618475B2 (en) | 2010-09-15 | 2017-04-11 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US9671363B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-06-06 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with consistent sensor surface areas |
US9823217B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-11-21 | Life Technologies Corporation | Chemical device with thin conductive element |
US9835585B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-12-05 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with protruded sensor surface |
US9852919B2 (en) | 2013-01-04 | 2017-12-26 | Life Technologies Corporation | Methods and systems for point of use removal of sacrificial material |
US9960253B2 (en) | 2010-07-03 | 2018-05-01 | Life Technologies Corporation | Chemically sensitive sensor with lightly doped drains |
US9970984B2 (en) | 2011-12-01 | 2018-05-15 | Life Technologies Corporation | Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array |
US9995708B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-06-12 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface |
US10077472B2 (en) | 2014-12-18 | 2018-09-18 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with power management |
US10100357B2 (en) | 2013-05-09 | 2018-10-16 | Life Technologies Corporation | Windowed sequencing |
US10379079B2 (en) | 2014-12-18 | 2019-08-13 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US10436742B2 (en) | 2013-01-08 | 2019-10-08 | Life Technologies Corporation | Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors |
US10451585B2 (en) | 2009-05-29 | 2019-10-22 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US10458942B2 (en) | 2013-06-10 | 2019-10-29 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor array having multiple sensors per well |
US10605767B2 (en) | 2014-12-18 | 2020-03-31 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with transmitter configuration |
US11307166B2 (en) | 2010-07-01 | 2022-04-19 | Life Technologies Corporation | Column ADC |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19646505A1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-05-14 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Vorrichtung zur Durchführung von Untersuchungen an Zellproben und dergleichen |
DE19852967B4 (de) * | 1998-11-17 | 2004-05-27 | Micronas Gmbh | Messeinrichtung mit einer Halbleiteranordnung |
US6602399B1 (en) * | 2000-03-22 | 2003-08-05 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenchaften E.V. | Signal recording of a receptor-effector-system by an extracellular planar potential-sensitive electrode |
US7470518B2 (en) | 2002-02-12 | 2008-12-30 | Cellectricon Ab | Systems and method for rapidly changing the solution environment around sensors |
EP2368635A3 (de) | 2002-02-12 | 2012-03-07 | Cellectricon Ab | Systeme und Verfahren zur schnellen Änderung der Lösungsumgebung um Sensoren |
US8206903B2 (en) | 2002-12-20 | 2012-06-26 | Acea Biosciences | Device and method for electroporation-based delivery of molecules into cells and dynamic monitoring of cell responses |
US7732127B2 (en) * | 2002-12-20 | 2010-06-08 | Acea Biosciences, Inc. | Dynamic monitoring of cell adhesion and spreading using the RT-CES system |
US7470533B2 (en) | 2002-12-20 | 2008-12-30 | Acea Biosciences | Impedance based devices and methods for use in assays |
US7192752B2 (en) | 2002-12-20 | 2007-03-20 | Acea Biosciences | Real time electronic cell sensing systems and applications for cell-based assays |
US7468255B2 (en) * | 2002-12-20 | 2008-12-23 | Acea Biosciences | Method for assaying for natural killer, cytotoxic T-lymphocyte and neutrophil-mediated killing of target cells using real-time microelectronic cell sensing technology |
US7560269B2 (en) * | 2002-12-20 | 2009-07-14 | Acea Biosciences, Inc. | Real time electronic cell sensing system and applications for cytotoxicity profiling and compound assays |
US8263375B2 (en) | 2002-12-20 | 2012-09-11 | Acea Biosciences | Dynamic monitoring of activation of G-protein coupled receptor (GPCR) and receptor tyrosine kinase (RTK) in living cells using real-time microelectronic cell sensing technology |
JP4745056B2 (ja) * | 2002-07-20 | 2011-08-10 | アセア バイオサイエンシーズ,インク. | インピーダンスによる細胞と微粒子の測定装置及び方法 |
US7323091B1 (en) * | 2002-09-24 | 2008-01-29 | Orion Research, Inc. | Multimode electrochemical sensing array |
US10539523B2 (en) * | 2002-12-20 | 2020-01-21 | Acea Biosciences, Inc. | System and method for monitoring cardiomyocyte beating, viability, morphology, and electrophysiological properties |
US10215748B2 (en) | 2002-12-20 | 2019-02-26 | Acea Biosciences, Inc. | Using impedance-based cell response profiling to identify putative inhibitors for oncogene addicted targets or pathways |
US11346797B2 (en) | 2002-12-20 | 2022-05-31 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for monitoring cardiomyocyte beating, viability, morphology and electrophysiological properties |
US10551371B2 (en) | 2003-11-10 | 2020-02-04 | Acea Biosciences, Inc. | System and method for monitoring cardiomyocyte beating, viability and morphology and for screening for pharmacological agents which may induce cardiotoxicity or modulate cardiomyocyte function |
US7276351B2 (en) | 2003-09-10 | 2007-10-02 | Seahorse Bioscience | Method and device for measuring multiple physiological properties of cells |
GB0322010D0 (en) * | 2003-09-19 | 2003-10-22 | Univ Cambridge Tech | Detection of molecular interactions using field effect transistors |
US8658349B2 (en) | 2006-07-13 | 2014-02-25 | Seahorse Bioscience | Cell analysis apparatus and method |
WO2005043160A2 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-12 | University Of Hawaii | Ultrasensitive biochemical sensing platform |
US20050241959A1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-03 | Kenneth Ward | Chemical-sensing devices |
US8152992B2 (en) * | 2004-08-31 | 2012-04-10 | University Of Maryland | Cell-based sensing: biological transduction of chemical stimuli to electrical signals (nose-on-a-chip) |
ITTO20060273A1 (it) | 2006-04-12 | 2007-10-13 | Silicon Biosystem S P A | Metodi ed apparati per la selezione e/o il processamento di particellle, in particolare per la lisi selettiva e/o ottimizzata di cellule |
ITTO20060278A1 (it) | 2006-04-13 | 2007-10-14 | Silicon Biosystem S P A | Metodo per la selezione e/o il processamento di particelle, in particolare cellule |
US8041515B2 (en) * | 2006-09-20 | 2011-10-18 | Acea Biosciences, Inc. | Use of impedance-based cytological profiling to classify cellular response profiles upon exposure to biologically active agents |
US20080108164A1 (en) * | 2006-11-06 | 2008-05-08 | Oleynik Vladislav A | Sensor System and Method |
US11339430B2 (en) | 2007-07-10 | 2022-05-24 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
CA2723223C (en) | 2008-05-05 | 2017-06-06 | Acea Biosciences, Inc. | Label-free monitoring of excitation-contraction coupling and excitable cells using impedance based systems with millisecond time resolution |
US9880288B2 (en) * | 2009-06-10 | 2018-01-30 | Stefan Thalhammer | Semiconductor biosensors |
US9075225B2 (en) | 2009-10-28 | 2015-07-07 | Alentic Microscience Inc. | Microscopy imaging |
US20140152801A1 (en) | 2009-10-28 | 2014-06-05 | Alentic Microscience Inc. | Detecting and Using Light Representative of a Sample |
WO2011053631A1 (en) | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Alentic Microscience Inc. | Microscopy imaging |
JP5517125B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2014-06-11 | 国立大学法人 東京大学 | 細胞測定装置 |
WO2011146531A1 (en) | 2010-05-18 | 2011-11-24 | Acea Biosciences, Inc | Data analysis of impedance-based cardiomyocyte-beating signals as detected on real-time cell analysis (rtca) cardio instruments |
CN103080739B (zh) | 2010-06-30 | 2016-12-21 | 生命科技公司 | 用于测试isfet阵列的方法和装置 |
WO2014078379A2 (en) | 2012-11-13 | 2014-05-22 | Seahorse Bioscience | Apparatus and methods for three-dimensional tissue measurements based on controlled media flow |
US10502666B2 (en) | 2013-02-06 | 2019-12-10 | Alentic Microscience Inc. | Sample processing improvements for quantitative microscopy |
EP3014330B1 (de) | 2013-06-26 | 2024-01-03 | Alentic Microscience Inc. | Verbesserungen zur probenverarbeitung für mikroskopie |
WO2015077632A1 (en) | 2013-11-21 | 2015-05-28 | Avails Medical, Inc. | Electrical biosensor for detecting a substance in a bodily fluid, and method and system for same |
CN116809131A (zh) | 2014-06-02 | 2023-09-29 | 安捷伦科技有限公司 | 用于分析生物样本的单列微板系统和载体 |
US20150355129A1 (en) * | 2014-06-05 | 2015-12-10 | Avails Medical, Inc. | Systems and methods for detecting substances in bodily fluids |
US9702847B2 (en) | 2014-12-30 | 2017-07-11 | Avails Medical, Inc. | Systems and methods for detecting a substance in bodily fluid |
WO2017035393A1 (en) | 2015-08-25 | 2017-03-02 | eSense, LLC | Devices, systems and methods for detecting viable microorganisms in a fluid sample |
US12066428B2 (en) | 2015-11-20 | 2024-08-20 | Agilent Technologies, Inc. | Cell-substrate impedance monitoring of cancer cells |
EP3408405B1 (de) * | 2016-01-25 | 2020-06-17 | American Sterilizer Company | Kondensator zum nachweis lebensfähiger mikroorganismen |
EP3356511B1 (de) | 2016-01-25 | 2022-04-27 | Avails Medical, Inc. | Verfahren zum nachweis lebensfähiger infektionserreger in einer probenflüssigkeit mithilfe eines elektrolytisolatorhalbleitersensors |
US10174356B2 (en) | 2016-05-31 | 2019-01-08 | Avails Medical, Inc. | Devices, systems and methods to detect viable infectious agents in a fluid sample and susceptibility of infectious agents to anti-infectives |
US10883978B2 (en) * | 2017-01-31 | 2021-01-05 | Agilent Technologies, Inc. | Method and device for calibration of biological flux |
CN110582569B (zh) | 2017-03-03 | 2024-04-02 | 安捷伦科技有限公司 | 用于iPSC和ESC衍生的心肌细胞的功能成熟的方法和系统 |
WO2019005296A1 (en) | 2017-06-27 | 2019-01-03 | Avails Medical, Inc. | APPARATUS, SYSTEMS AND METHODS FOR DETERMINING THE SENSITIVITY OF MICROORGANISMS TO ANTI-INFECTIOUS |
WO2019070739A1 (en) | 2017-10-03 | 2019-04-11 | Avails Medical, Inc. | APPARATUSES, SYSTEMS AND METHODS FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF MICROORGANISMS AND THE SENSITIVITY OF MICROORGANISMS TO ANTI-INFECTIOUS, BASED ON OXIDOREDUCTION REACTIONS |
RO133794A2 (ro) | 2018-06-13 | 2019-12-30 | Centrul Internaţional De Biodinamică | Metodă şi dispozitiv de detecţie a unor compuşi bioactivi, de ex. citotoxici, utilizând senzori cu celule stimulate |
US11733323B2 (en) | 2018-06-13 | 2023-08-22 | Centrul International De Biodinamica | Systems and methods for measuring cellular response to target analytes by controlled application of an oscillating stimulus |
JP2020153783A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社東芝 | センサ |
USD941488S1 (en) | 2020-02-07 | 2022-01-18 | Agilent Technologies, Inc. | Instrument for analyzing biological cells |
US20210301245A1 (en) | 2020-03-29 | 2021-09-30 | Agilent Technologies, Inc. | Systems and methods for electronically and optically monitoring biological samples |
KR20220111441A (ko) * | 2021-02-02 | 2022-08-09 | 주식회사 이엠텍 | 휴대용 에어로졸 발생장치 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8314523D0 (en) | 1983-05-25 | 1983-06-29 | Lowe C R | Diagnostic device |
JPS61218932A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-29 | Toko Inc | イオン高感度電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
US5001048A (en) * | 1987-06-05 | 1991-03-19 | Aurthur D. Little, Inc. | Electrical biosensor containing a biological receptor immobilized and stabilized in a protein film |
US5286364A (en) * | 1987-06-08 | 1994-02-15 | Rutgers University | Surface-modified electochemical biosensor |
US5278048A (en) | 1988-10-21 | 1994-01-11 | Molecular Devices Corporation | Methods for detecting the effect of cell affecting agents on living cells |
US5200051A (en) * | 1988-11-14 | 1993-04-06 | I-Stat Corporation | Wholly microfabricated biosensors and process for the manufacture and use thereof |
US5156810A (en) * | 1989-06-15 | 1992-10-20 | Biocircuits Corporation | Biosensors employing electrical, optical and mechanical signals |
US5491097A (en) * | 1989-06-15 | 1996-02-13 | Biocircuits Corporation | Analyte detection with multilayered bioelectronic conductivity sensors |
KR930002824B1 (ko) * | 1990-08-21 | 1993-04-10 | 손병기 | 감이온 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오 센서용 측정회로 |
US5120421A (en) * | 1990-08-31 | 1992-06-09 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Electrochemical sensor/detector system and method |
US5264103A (en) * | 1991-10-18 | 1993-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Biosensor and a method for measuring a concentration of a substrate in a sample |
GB2278235B (en) * | 1991-10-21 | 1996-05-08 | Holm Kennedy James W | Method and device for biochemical sensing |
US5846708A (en) * | 1991-11-19 | 1998-12-08 | Massachusetts Institiute Of Technology | Optical and electrical methods and apparatus for molecule detection |
US5370842A (en) | 1991-11-29 | 1994-12-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Sample measuring device and sample measuring system |
US5345213A (en) * | 1992-10-26 | 1994-09-06 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Temperature-controlled, micromachined arrays for chemical sensor fabrication and operation |
US5512492A (en) * | 1993-05-18 | 1996-04-30 | University Of Utah Research Foundation | Waveguide immunosensor with coating chemistry providing enhanced sensitivity |
DE4318519C2 (de) * | 1993-06-03 | 1996-11-28 | Fraunhofer Ges Forschung | Elektrochemischer Sensor |
-
1995
- 1995-04-04 DE DE19512117A patent/DE19512117A1/de not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-03-30 JP JP8529966A patent/JPH11503316A/ja active Pending
- 1996-03-30 US US08/930,657 patent/US6280586B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-30 EP EP96911977A patent/EP0820593B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-30 AT AT96911977T patent/ATE188038T1/de active
- 1996-03-30 DK DK96911977T patent/DK0820593T3/da active
- 1996-03-30 WO PCT/EP1996/001409 patent/WO1996031774A1/de active IP Right Grant
- 1996-03-30 DE DE59603984T patent/DE59603984D1/de not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
KARUBE, I.: J. of Biotechnology 15 (1990), S. 255-266 * |
KORPAN, Y.I., at al.: Analytical Biochemis- try 215 (1993) S. 216-222 * |
RIEDEL, K., et al.: J. Chem. Tech. Biotechnol. 44,(1989), S. 85-106 * |
ROTHE, S., HERTEL, T.: Bioforum 16 (1993), S. 462-468 * |
Cited By (100)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6210977B1 (en) | 1996-01-17 | 2001-04-03 | Micronas Intermetall Gmbh | Measuring device and method for making same |
EP0785424A1 (de) * | 1996-01-17 | 1997-07-23 | Deutsche ITT Industries GmbH | Verfahren zum Herstellen einer Messeinrichtung sowie danach hergestellte Messeinrichtung |
US6033916A (en) * | 1996-01-17 | 2000-03-07 | Micronas Intermetall Gmbh | Measuring device and method for making same |
US6315940B1 (en) | 1996-11-16 | 2001-11-13 | Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Institut An Der Universitat Tubingen In Reutlingen | Microelement device |
US6989089B2 (en) | 1996-11-16 | 2006-01-24 | Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Institut An Der Universitat Tubingen In Reutlingen | Method for making contact to cells present in a liquid environment above a substrate |
DE19704237B4 (de) * | 1997-02-05 | 2006-11-23 | Micronas Gmbh | Meßeinrichtung |
DE19731078C2 (de) * | 1997-05-28 | 2000-09-14 | Micronas Intermetall Gmbh | Meßeinrichtung |
US6104495A (en) * | 1997-05-28 | 2000-08-15 | Micronas Intermetall Gmbh | Measuring apparatus |
DE19731078A1 (de) * | 1997-05-28 | 1998-12-03 | Micronas Intermetall Gmbh | Meßeinrichtung |
EP1912054A1 (de) * | 1997-12-04 | 2008-04-16 | Micronas GmbH | Verfahren zur Untersuchung oder zum Strukturieren einer Oberflächenschicht |
DE19753790C2 (de) * | 1997-12-04 | 2001-07-19 | Micronas Gmbh | Verfahren zur Untersuchung einer Oberflächenschicht |
DE19753790A1 (de) * | 1997-12-04 | 1999-06-17 | Micronas Intermetall Gmbh | Verfahren zur Untersuchung oder zum Strukturieren einer Oberflächenschicht |
DE19758533B4 (de) * | 1997-12-04 | 2005-09-29 | Micronas Gmbh | Verfahren zum Strukturieren einer Oberflächenschicht |
DE19846466A1 (de) * | 1998-10-08 | 2000-04-27 | Ghs Gesundheits Service Ag | Analyseverfahren zur simultanen Bestimmung von Parametern aus unterschiedlichen Medien |
WO2001046692A2 (de) * | 1999-12-20 | 2001-06-28 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Messverfahren unter einsatz mindestens einer biologischen rezeptorzelle sowie eine zur durchführung des messverfahrens geeignete vorrichtung |
WO2001046692A3 (de) * | 1999-12-20 | 2002-02-14 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Messverfahren unter einsatz mindestens einer biologischen rezeptorzelle sowie eine zur durchführung des messverfahrens geeignete vorrichtung |
DE10015816A1 (de) * | 2000-03-30 | 2001-10-18 | Infineon Technologies Ag | Biosensorchip |
US7713733B2 (en) | 2001-08-06 | 2010-05-11 | Vanderbilt University | Device and methods for detecting the response of a plurality of cells to at least one analyte of interest |
US7981649B2 (en) | 2001-08-06 | 2011-07-19 | Vanderbilt University | Device and methods for monitoring the status of at least one cell |
EP1423506A4 (de) * | 2001-08-06 | 2008-08-06 | Univ Vanderbilt | Vorrichtung und verfahren zur verwendung von biologischem material zur unterscheidung eines stoffs |
EP1423506A2 (de) * | 2001-08-06 | 2004-06-02 | Vanderbilt University | Vorrichtung und verfahren zur verwendung von biologischem material zur unterscheidung eines stoffs |
US7704745B2 (en) | 2001-08-06 | 2010-04-27 | Vanderbilt University | Apparatus and methods for monitoring the status of a metabolically active cell |
DE10254158A1 (de) * | 2002-11-20 | 2004-06-09 | Infineon Technologies Ag | Sensorvorrichtung zur Detektion elektrischer Signale einer biologischen Zelle und Detektionsverfahren |
DE102004028551A1 (de) * | 2004-06-12 | 2006-01-05 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Verfahren zur Reduzierung instationärer Temperatureffekte beim Einsatz elektrochemischer Gassensoren |
DE102005027245A1 (de) * | 2005-06-13 | 2006-12-21 | Siemens Ag | Schaltkreisanordnung |
US8692298B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-04-08 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor array having multiple sensors per well |
US9989489B2 (en) | 2006-12-14 | 2018-06-05 | Life Technnologies Corporation | Methods for calibrating an array of chemically-sensitive sensors |
US9023189B2 (en) | 2006-12-14 | 2015-05-05 | Life Technologies Corporation | High density sensor array without wells |
US9134269B2 (en) | 2006-12-14 | 2015-09-15 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
EP2639579A1 (de) * | 2006-12-14 | 2013-09-18 | Life Technologies Corporation | Vorrichtung zur Messung von Analyten mithilfe großer FET-Arrays |
US9269708B2 (en) | 2006-12-14 | 2016-02-23 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US8685230B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-04-01 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for high-speed operation of a chemically-sensitive sensor array |
US8890216B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-11-18 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US10415079B2 (en) | 2006-12-14 | 2019-09-17 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays |
US10203300B2 (en) | 2006-12-14 | 2019-02-12 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US8742472B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-06-03 | Life Technologies Corporation | Chemically sensitive sensors with sample and hold capacitors |
US9404920B2 (en) | 2006-12-14 | 2016-08-02 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays |
US8764969B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-07-01 | Life Technologies Corporation | Methods for operating chemically sensitive sensors with sample and hold capacitors |
US9951382B2 (en) | 2006-12-14 | 2018-04-24 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US8766328B2 (en) | 2006-12-14 | 2014-07-01 | Life Technologies Corporation | Chemically-sensitive sample and hold sensors |
US8402813B2 (en) | 2007-03-21 | 2013-03-26 | Robert Bosch Gmbh | Sensor element of a gas sensor |
DE102007013522A1 (de) * | 2007-03-21 | 2008-09-25 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement eines Gassensors |
EP1978358A3 (de) * | 2007-04-05 | 2013-01-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor zur Erfassung eines toxischen oder gefährlichen Gasgemisches und Betriebsverfahren |
US9194000B2 (en) | 2008-06-25 | 2015-11-24 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US9944981B2 (en) | 2008-10-22 | 2018-04-17 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US9964515B2 (en) | 2008-10-22 | 2018-05-08 | Life Technologies Corporation | Integrated sensor arrays for biological and chemical analysis |
US11874250B2 (en) | 2008-10-22 | 2024-01-16 | Life Technologies Corporation | Integrated sensor arrays for biological and chemical analysis |
US11448613B2 (en) | 2008-10-22 | 2022-09-20 | Life Technologies Corporation | ChemFET sensor array including overlying array of wells |
US8936763B2 (en) | 2008-10-22 | 2015-01-20 | Life Technologies Corporation | Integrated sensor arrays for biological and chemical analysis |
US8912580B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-12-16 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors with in-sensor current sources |
US8698212B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-04-15 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors |
US8822205B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-09-02 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors with source follower amplifier |
US12038405B2 (en) | 2009-05-29 | 2024-07-16 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8766327B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-07-01 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors with in-sensor current sources |
US8994076B2 (en) | 2009-05-29 | 2015-03-31 | Life Technologies Corporation | Chemically-sensitive field effect transistor based pixel array with protection diodes |
US8748947B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-06-10 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors with reset switch |
US8776573B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-07-15 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US10451585B2 (en) | 2009-05-29 | 2019-10-22 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US9927393B2 (en) | 2009-05-29 | 2018-03-27 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8742469B2 (en) | 2009-05-29 | 2014-06-03 | Life Technologies Corporation | Active chemically-sensitive sensors with correlated double sampling |
US8731847B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-05-20 | Life Technologies Corporation | Array configuration and readout scheme |
US9239313B2 (en) | 2010-06-30 | 2016-01-19 | Life Technologies Corporation | Ion-sensing charge-accumulation circuits and methods |
US8741680B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-06-03 | Life Technologies Corporation | Two-transistor pixel array |
US10641729B2 (en) | 2010-06-30 | 2020-05-05 | Life Technologies Corporation | Column ADC |
US8772698B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-07-08 | Life Technologies Corporation | CCD-based multi-transistor active pixel sensor array |
US8858782B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-10-14 | Life Technologies Corporation | Ion-sensing charge-accumulation circuits and methods |
US8823380B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-09-02 | Life Technologies Corporation | Capacitive charge pump |
US11307166B2 (en) | 2010-07-01 | 2022-04-19 | Life Technologies Corporation | Column ADC |
US9960253B2 (en) | 2010-07-03 | 2018-05-01 | Life Technologies Corporation | Chemically sensitive sensor with lightly doped drains |
US9958414B2 (en) | 2010-09-15 | 2018-05-01 | Life Technologies Corporation | Apparatus for measuring analytes including chemical sensor array |
US9958415B2 (en) | 2010-09-15 | 2018-05-01 | Life Technologies Corporation | ChemFET sensor including floating gate |
US9618475B2 (en) | 2010-09-15 | 2017-04-11 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes |
US8685324B2 (en) | 2010-09-24 | 2014-04-01 | Life Technologies Corporation | Matched pair transistor circuits |
US9110015B2 (en) | 2010-09-24 | 2015-08-18 | Life Technologies Corporation | Method and system for delta double sampling |
US8796036B2 (en) | 2010-09-24 | 2014-08-05 | Life Technologies Corporation | Method and system for delta double sampling |
US8912005B1 (en) | 2010-09-24 | 2014-12-16 | Life Technologies Corporation | Method and system for delta double sampling |
DE102011009854A1 (de) * | 2011-02-01 | 2012-08-02 | Erwin Quarder Systemtechnik Gmbh | Sensoreinrichtung zur Messung von Eigenschaften von Analyten |
US9970984B2 (en) | 2011-12-01 | 2018-05-15 | Life Technologies Corporation | Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array |
US8821798B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-09-02 | Life Technologies Corporation | Titanium nitride as sensing layer for microwell structure |
US9270264B2 (en) | 2012-05-29 | 2016-02-23 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US8786331B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-07-22 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US9985624B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-05-29 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US10404249B2 (en) | 2012-05-29 | 2019-09-03 | Life Technologies Corporation | System for reducing noise in a chemical sensor array |
US9852919B2 (en) | 2013-01-04 | 2017-12-26 | Life Technologies Corporation | Methods and systems for point of use removal of sacrificial material |
US10436742B2 (en) | 2013-01-08 | 2019-10-08 | Life Technologies Corporation | Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors |
US9995708B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-06-12 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface |
US9128044B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-09-08 | Life Technologies Corporation | Chemical sensors with consistent sensor surface areas |
US10422767B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-09-24 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with consistent sensor surface areas |
US9116117B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-25 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with sidewall sensor surface |
US9671363B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-06-06 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with consistent sensor surface areas |
US9823217B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-11-21 | Life Technologies Corporation | Chemical device with thin conductive element |
US9835585B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-12-05 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor with protruded sensor surface |
US10100357B2 (en) | 2013-05-09 | 2018-10-16 | Life Technologies Corporation | Windowed sequencing |
US10655175B2 (en) | 2013-05-09 | 2020-05-19 | Life Technologies Corporation | Windowed sequencing |
US11028438B2 (en) | 2013-05-09 | 2021-06-08 | Life Technologies Corporation | Windowed sequencing |
US10458942B2 (en) | 2013-06-10 | 2019-10-29 | Life Technologies Corporation | Chemical sensor array having multiple sensors per well |
US10379079B2 (en) | 2014-12-18 | 2019-08-13 | Life Technologies Corporation | Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays |
US11536688B2 (en) | 2014-12-18 | 2022-12-27 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with transmitter configuration |
US10605767B2 (en) | 2014-12-18 | 2020-03-31 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with transmitter configuration |
US10077472B2 (en) | 2014-12-18 | 2018-09-18 | Life Technologies Corporation | High data rate integrated circuit with power management |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59603984D1 (de) | 2000-01-27 |
US6280586B1 (en) | 2001-08-28 |
DK0820593T3 (da) | 2000-06-13 |
EP0820593B1 (de) | 1999-12-22 |
ATE188038T1 (de) | 2000-01-15 |
WO1996031774A1 (de) | 1996-10-10 |
EP0820593A1 (de) | 1998-01-28 |
JPH11503316A (ja) | 1999-03-26 |
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