DE194958T1

DE194958T1 - Elektretwandler und verfahren zur herstellung.

Info

Publication number: DE194958T1
Application number: DE198686630035T
Authority: DE
Inventors: Dean W. Apple Valley Minnesota 55124 Flygstad; Craig E. Bloomington Minnesota 55438 Tromborg
Original assignee: Telex Communications Inc
Current assignee: Bosch Security Systems Inc
Priority date: 1985-03-11
Filing date: 1986-03-06
Publication date: 1986-12-18
Also published as: ES557799A0; ES8802632A1; ES8900084A1; ES552833A0; DK107586D0; US4701640A; JPS61208400A; AU585318B2; EP0194958A3; DK107586A; ES557847A0; AU5445686A; EP0194958A2; ES8802357A1

Claims

übersetzung

Anmeldung Nr. 86630035.3
Patentansprüche;

.1. In einem Elektretumformer mit einer flexiblen, leitenden Membran und einer starren, mit Elektret überzogenen, leitenden Gegenplatte;

eine Distanzstückeinrichtung, die zwischen einer Membran
und einer Gegenplatte angeordnet und in der Lage ist, einen vorbestimmten Abstand zwischen der Membran und der Gegenplatte in den Mitten- und Umfangsteilen derselben aufrechtzuerhalten.
2. Gegenstand nach Anspruch 1, bei dem die Mitten- und Umfangsteile des Distanzstücks von gleichförmiger Dicke sind.
3. Gegenstand nach Anspruch 1, bei dem die Distanzeinrichtung die Mitte der Membran berührt.
4. Elektretumformer, beinhaltend:

a) ein abgedichtetes, hohles Gehäuse, das ein Loch nahe dem Boden aufweist;

b) eine Motoreinrichtung, die nahe dem Boden des Gehäuses
angeordnet ist und eine Membran aufweist, die über dem Loch in dem Gehäuse angeordnet ist;

c) eine elektrische Signalverarbeitungseinrichtung, die

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innerhalb des oberen Endes des Gehäuses angeordnet ist; und

d) eine leitende Einrichtung innerhalb des Gehäuses, welche die Motoreinrichtung mit der elektrischen Signalverarbeitungseinrichtung verbindet.
5. Gegenstand nach Anspruch 4, bei dem die Signalverarbeitungseinrichtung auf der Unterseite eines Deckels der Gehäuseeinrichtung befestigt ist.
6. Gegenstand nach Anspruch 5, bei dem sich Klemmen an der Signalverarbeitungseihrichtung nach außerhalb des hohlen Gehäuses erstrecken.
7. Elektretümformer, beinhaltend:

a) ein leitendes hohles Gehäuse mit einem offenen oberen Ende und einem Loch, das in das untere Ende in Druckwellenübertragungsbeziehung zu diesem mündet;

b) ein leitendes Membrantragteil, das einen unteren Teil hat, der den Boden und die Seitenwände des Gehäuses berührt und einen umfangsmäßig angeordneten oberen Teil aufweist, welcher die Ränder einer Membran oberhalb des Loches in dem Gehäuse aufnimmt und trägt;

c) eine flexible dielektrische Membran, die einen leitender! Überzug auf ihrer unteren Seite und Randteile hat, die auf dem umfangsmäßig angeordneten oberen Teil des Tragteils leitend befestigt sind;

d) eine Distanzstückeinrichtung mit einem zentral angeordneten Teil, der auf der Oberseite der Membran angeordnet ist;

e) eine Elektretgegenplatte, die auf der Oberseite der Distarizeinrichtung angeordriet ist und eine leitende obere Oberfläche sowie eine untere dielektrische Oberfläche benachbart zu der Oberseite der Distanzeinrichtung aufweist;

f) einen leitenden Deckel, der auf dem offenen oberen Ende des Gehäuses befestigt ist;

g) eine Signalverarbeitungsschaltungsanordnung, die auf der Unterseite des Deckels befestigt ist und eine Eingangsklemme aufweist, welche einwärts des inneren Umfangs des Gehäuses angeordnet ist, und weitere Klemmen, die sich durch das Gehäuse nach außen erstrecken;

h) eine elastische leitende Einrichtung, die zwischen der Eingangsklemme an der Schaltungsanordnung und der leitenden Oberseite der Gegenplatte angeordnet ist; und i) eine Druckwellenabdichteinrichtung, die sich zwischen dem Umfang der Gegenplatte und dem inneren Umfang des Gehäuses sowie den sich nach außen erstreckenden Klemmen und dem Gehäuse erstreckt.
8. Verfahren zum Herstellen von Komponenten von Miniaturelektretumformern, beinhaltend folgende Schritte:

a) Bereitstellen einer flachen Materialkarte für eine Komponente;

b) Bedecken von vorbestimmten Bereichen der Tafel durch Anordnen von Ätzmittelresist in Deckung auf gegenüberliegenden Oberflächen der ebenen Materialtafel, so daß von Oberfläche zu Oberfläche zu entfernende Volumina unbedeckt bleiben und Volumina, die von Oberfläche zu Oberfläche bleiben sollen, und Volumina, die nahe der einen oder der anderen Oberfläche bleiben sollen, mit dem Resist auf nur einer der Oberflächen bedeckt werden; und

c) Beaufschlagen der mit Resist überzogenen Materialtafel mit einem Ätzmittel für eine Zeit, die kürzer ist als die Zeit, die das Ätzmittel benötigt, um Material von Oberfläche zu Oberfläche zu entfernen.
9. Elektretumformer nach Anspruch 4, bei dem die Gegenplatte, die Distanzstückeinrichtung und die Membrantrageinrichtung gemäß folgendem Verfahren hergestellt werden: a) Bereitstellen einer ebenen Materialtafel für eine Komponente;

b) Bedecken von vorbestimmen Bereichen der Tafel durch Anordnen eines Ätzmittelresists in Deckung auf entgegengesetzten Oberflächen der ebenen Materialtafel, so daß Volumina, die von Oberfläche zu Oberfläche zu entfernen sind unbedeckt bleiben, und Volumina, die von Oberfläche zu Oberfläche bleiben sollen, und Volumina, die an der einen oder anderen Oberfläche bleiben sollen, mit dem Resist nur auf einer der Oberflächen bedeckt werden; und

c) Beaufschlagen der mit dem Resist überzogenen Materialtafel mit einem Ätzmittel für eine Zeit, die kürzer ist als die Zeit, welche das Ätzmittel benötigt, um Material von Oberfläche zu Oberfläche zu entfernen.