DE1945969A1

DE1945969A1 - Optische Linse

Info

Publication number: DE1945969A1
Application number: DE19691945969
Authority: DE
Inventors: Wright Melvin Duane; Lewis Robert Edward; Chandler Philip Edwin
Original assignee: Teledyne Inc
Current assignee: Teledyne Inc
Priority date: 1968-09-16
Filing date: 1969-09-11
Publication date: 1970-04-02
Also published as: CA923347A; GB1244680A; US3598475A

Description

DIPL-ING. FRANZ WERDERMANN PATENTANWALT

2 HAMBURG 13 , den INNOCENTIASTRASSE 30 TELEFON 452139

T 69168 WDM/ef

■■■1

Teledyne, Inc., Hawthorne, Kalif. (V.St.A.)

Optische Linse

Für diese Anmeldung wird die Priorität aus der entsprechenden Anmeldung in den Vereinigten Staaten, Serial-Nr. 762,279 vom l6. September 1968 beansprucht.

Die Erfindung bezieht sich auf die Ausbildung von optischen Linsen und Linsensystemen, insbesondere von räumlich großen Linsenanordnungen, wie zum Beispiel Beleuchtungslinsen mit großer Apertur und ihre Anwendung für eine hochwertige Kamera zur Reproduktion von Vorlagen (a precision artwork camera).

Für viele Zwecke werden Sammellinsen oder Kondensorlinsen mit großer Apertur von hoher optischer Güte benötigt. Zum Beispiel wird bei der Herstellung von elektrischen Stromkreisen auf Halbleiterbauelementen eine Präzisionskamera zur Wiedergabe von Vorlagen gebraucht, die eine große Beleuchtungslinse hat, um eine Quelle direkten Lichtes durch eine Vorlage von großem Maßstab zu projizieren und ein Sehaltungsschema abzubilden. Die bisher für diesen Zweck verfügbaren Linsenarten unterliegen zahlreichen Beschränkungen und Nachteilen. Das hohe Auflösungsvermögen und der lange Arbeitsabstand, die für diesen Zweck benötigt werden,

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erfordern die Verwendung einer Linse von so großer Apertur, daß ihre Abmessungen und Kosten bei Verwendung konventioneller Linsen nicht mehr tragbar sind. Entsprechend große Linsen aus kompaktem Glas erfordern zeitraubende und teure Bearbeitungsvorgänge wie Glühbehandlung und optisches Polieren, während in die erforderliche optische Gestalt geblasene oder gezogene Hohllinsen mit Flüssigkeitsfüllung nur eine geringe Güte aufweisen. Fresnel-Linsen tendieren dazu, eine ungleichförmige Ausleuchtung mit unerwünschten Schatten zu ergeben, was sich nur durch ein untragbares Vergrößern des Arbeitsabstandes der Linse vermeiden ließe. Bei verschiedenen Lichtquellen werden Linsen überhaupt vermieden. Diese erfordern aber wieder zu hohe Leistung und erzeugen unerwünscht große Wärmemengen. Es besteht daher ein starker Bedarf nach einer neuartigen und besseren optischen Linse mit großer Apertur und einer entsprechend ausgebildeten Präzisionskamera zur Abbildung von Vorlagen auf einem Werkstück.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diesem Bedarf Rechnung zu tragen und eine Linse mit großer Apertur zu schaffen, welche die geschilderten Nachteile vermeidet. Die neue Linse soll einen verhältnismäßig einfachen Aufbau haben und auf einfache Weise aus optisch hochwertigen, allgemein verfügbaren Materialien herstellbar sein. Sie soll eine hohe optische Güte haben und dennoch verhältnismäßig billig sein. Sie soll sich für die verschiedensten Zwecke eignen, insbesondere auch für Strahlungsabschirmung. Mit

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ihrer Hilfe soll insbesondere auch ein optisches System entwickelbar sein, das bei vorwählbaren Bandbreiten des elektromagnetischen Spektrums wirksam ist. Zugleich ist es Aufgabe der Erfindung, unter Verwendung einer solchen neuartigen Linse eine Präzisionsvorlagenkamera zu schaffen.

Erfindungsgemäß besteht die kennzeichnende Besonderheit einer entsprechenden Linse darin, daß sie einen vorzugsweise rechteckigen, zwei in einem Abstand befindliche Aperturfenster aufweisenden Rahmen besitzt, dessen Öffnungskanten als nach einfach gekrümmten konturen verlaufende Auflageflächen für je eine der beiden Rahmenöffnungen abschließende, biegsame planare Platten aus optisch klarem Material ausgebildet sind, welche auf den Auflagefiächen durch entsprechend deren Verlauf geformte Haltemittel flUssigkeitsdicht befestigt sind, und daß der aus dem Rahmen und den biegsamen Platten gebildete Behälter mit einer optisch klaren, lichtbrechenden Flüssigkeit gefüllt ist.

Der Brechungsindex der Flüssigkeit kann unter Berücksichtigung der Krümmung der Fenster und der gewünschten Stärke (power) der Linse gewählt werden. Mit mindestens einer solchen Linse läßt sich eine Präzisionskamera für Vorlagenwiedergabe schaffen, wobei eine Quelle direkten _t Lichtes und eine Kondensor- oder Beleuchtungslinse wie vorstehend beschrieben gemäß der Erfindung dazu dienen kann, eine große Vorlagenauflagefläche gleichmäßig und hell zu

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erleuchten. .

Der Begriff der optischen Klarheit, wie er hier auf die Fenster und auf die Flüssigkeit angewendet ist, bezieht sich auf den allgemeinen Zustand der Durchsichtigkeit des Materials für elektromagnetische Strahlung einer gegebenen Wellenlänge. Der Ausdruck "optisch" soll dabei Wellenlängen im Bereich sichtbaren Lichts, Ultraviolett, Infrarot, und Mikrowellen umfassen, da die Erfindung auf einen weiten Bereich von Längenwellen für entsprechend ausgewählte Fenster und flüssige Materialien anwendbar ist.

Im folgenden 1st die Erfindung anhand der Zeichnungen beispieleweise näher erläutert:

Fig. 1 ist eine isometrische Darstellung einer Linse mit großer Apertur gemäß der Erfindung.

Fig. 2 ist eine Vorderansicht, teilweise aufgebrochen, der Linse nach Fig. 1.

Flg. > ist eine Seltenansicht, teilweise aufgebrochen, der Linse nach Fig. 1.

Flg. 4 ist die Schnittdarstellung einer Einzelheit mit Blickrichtung auf die Ebene 4-4 von Flg. 2.

Flg. 5 ist eine Isometrische Darstellung, teilweise aufgebrochen, einer PräzisIons-Vorlagenkamera mit Kondensorlinsenanordnungen gemäß der Erfindung.

Fig. 6 1st eine isometrische Skizze, welche ein balanciertes Linsensystem gemäß der Erfindung darstellt.

In den Figuren 1 bis 4 ist als Ausführungebeispiel

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eine Ausführungsform einer Linse 10 mit großer Apertur gemäß der Erfindung dargestellt. Sie besteht im wesentlichen aus einem starren Rahmen, auf dem biegsame Platten oder Folien aus durchsichtigem Material angebracht sind, welche Fenster 11, 12 bilden, die in einem Abstand voneinander auf entgegengesetzten Seiten des Rahmens aufliegen. Der Rahmen umfaßt eine Deckplatte 13 und eine Bodenplatte Ik sowie Seitenplatten 15 und 16, die an ihren Kanten verbunden sind, so daß ein Aufbau in Form eines offenen Kastens mit rechteckigem Querschnitt gebildet wird. Die Verbindungen zwischen den Platten sind mit einem geeigneten Dichtungsmaterial, zum Beispiel einem Teflonband, abgedichtet und werden mit Schrauben 17 flUssigkeitsdicht aneinandergehalten. Auf den Außenflächen der Platten befindet sich jeweils ein Gitter aus sich kreuzenden vorspringenden Rippen l8, das eine zusätzliche Versteifung gewährleistet. Die verbleibenden Kanten der Platten sind maschinell bearbeitet und so geformt, daß Auflageflächen für zylindrische Fensteröffnungen 21, 22 gebildet werden, die miteinander durch den Rahmen in Verbindung stehen. Jede der beiden öffnungen ist, wie erwähnt, als genau bearbeitete, nach einer einfach gekrümmten Kontur verlaufende Tragfläche ausgebildet, entsprechend welcher die Fensterplatten gebogen sind.

Bei dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel bestehen die Fenster 11, 12 aus optisch hochwertigen Platten aus Acrylkunststoff, insbesondere aus Polymethylmethacrylat, wie es

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für den Flugzeugbau typisch ist. Bei anderen Anwendungsfällen mit entsprechenden Biegungsradien oder äußerst großen Anordnungen besteht die Möglichkeit, auch Glasplatten entsprechend der gewünschten Kontur zu biegen. Ferner können auch andere Kunststoffe, welche optische Eigenschaften haben, die sie für die Verwendung in dem jeweils erforderlichen Spektralbereich geeignet machen, anstelle von Acrylkunststoff verwendet werden.

Fig. 4 zeigt im einzelnen eine Anordnung zum Festklemmen der Fenster auf den mit der entsprechenden Kontur versehenen, als Tragflächen ausgebildeten Kanten des Rahmens, derart, daß möglichst wenig mechanische Spannungen eingeführt werden, um Brüche infolge von Spannungskonzentrationen zu vermeiden. Die Fensterkanten sind frei von Löchern oder sonstigen Unregelmäßigkeiten und werden durch Klemmbänder 24 gegen den Rahmen gehalten, welche die Kanten der Fensterplatte überlappen, darüber hinausreichen und an dem Rahmen durch Schrauben 25 befestigt sind. Zwischen das Klemmband und die Fensterplatte ist ein zur Druckverteilung dienender, den ganzen Fensterumfang umgebender Streifen 26 eingefügt. Er kann aus dem gleichen Material wie das Fenster bestehen, also beispielsweise aus Acrylkunststoff, so daß er mit dem gleichen Widerstand wie das Fenster selbst nachgibt und sich deformiert. Auf der anderen Seite des Klemmbandes und der tragenden Auflagefläche am Rahmen ist eine zum Ausgleich dienende Beilage 27 vorge-

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sehen, deren Dicke der Gesamtdicke von Fensterplatte und Druckverteilungsstreifen entspricht. Auf diese Weise wird überall zwischen dem Klemmband« dem Streifen und der Fensterplatte ein gleichmäßiger BerUhrungsdruck gewährleistet, Zwischen der Fensterplatte und ihrer tragenden Auflagefläche ist ein unter Druck fließendes Dichtungsmittel, wie zum Beispiel ein Teflonstrang 28, vorgesehen, um bei der Herstellung des Anpreßdruckes eine Abdichtung zu schaffen. Durch eine solche Befestigungsanordnung ist es möglich, eine völlig verläßliche Abdichtung zwischen dem Rahmen und der Fensterplatte zu erhalten und dabei Beanspruchungskonzentrationen in der Fensterplatte, die zu Rissen oder Brüchen führen könnten, zu vermeiden. Ein kleiner Spalt 29 kann zwischen dem Ende eines Klemmbandabschnittes und dem Beginn des nächsten Abschnittes verbleiben, um eine Wärmeausdehnung zu ermöglichen.

Nachdem die Fensterplatten an dem Rahmen angebracht und abgedichtet sind, wird der so gebildete Behälter durch eine Füllöffnung 31 an der Oberseite mit optisch klarer, Iientbrechender Flüssigkeit gefüllt. Die Flüssigkeit kann von verschiedener Art sein. Beispielswelse kann ein Mineralöl oder eine wässerige Salzlösung (Zinkchlorid) verwendet werden. Insbesondere eignet sich ein Mineralöl wie solches vom Typ Mr. 1 des sogenannten "Weißen Mineralöls" (Russisches Relnigungsöl) oder eine Lösung von ZnCl in Wasser. Bei der wässerigen Salzlösung kann die Molarkonzentration verändert werden, um ihren Brechungsindex zu ändern, was nützlich ist,

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wenn es gewünscht wird, die Stärke oder Leistungsfähigkeit (power) der Linse unter Beibehaltung ihrer geometrischen Ausbildung zu ändern. Durch die Wahl geeigneter Flüssigkeiten kann die Wirksamkeit (effectiveness) der Linse eingestellt und für verschiedene Bandbreiten innerhalb des elektromagnetischen Spektrums einschließlich des Ultraviolet tbereichs, des Bereichs sichtbaren Lichts, des Infrarotbereichs und des Mikrowellenbereichs zu optimalisieren. Durch Verwendung von Parbzusätzen ist es möglich,

bestimmte Frequenzen selektiv zu absorbieren. In gleicher Weise kann ein Strahlungsabsorber, beispielsweise für Röntgenstrahlen, für<£,/3,y Teilchen zusätzlich entweder in Lösung mit der Flüssigkeit selbst oder durch Einhängen einer Platte in die Flüssigkeit und über die Apertur vorgesehen werden, um eine Strahlungsabschirmung zu bilden. Als Beispiel hierfür sei eine Bleiglasplatte genannt.

Die Linsenanordnung gemäß der Erfindung stellt einen betriebssicheren, flüssigkeitsgefüllten Behälter dar, der mit verhältnismäßig geringem Aufwand aus ohne weiteres verfügbaren Materialien herstellbar ist. Die Linse ist von außergewöhnlich hoher Güte und eignet sich zur Herstellung mit sehr großen Abmessungen. Außerdem kann die Kurvenkontur der tragenden Flächen sehr verschieden gewählt werden, vorausgesetzt, daß die tragenden Flächen in einfacher Weise, d. h. stetig, gekrümmt sind. Dies ist erforderlich, um ein Verwerfen der Platten zu Formen zu vermeiden, die sie nicht annehmen können, ohne eine unzulässige Beanspruchung zu

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erfahren.

Der hier verwendete Ausdruck "einfach gekrümmt" umfaßt alle stetig gekrümmten Flächen, die durch die stetige Bewegung einer geraden Linie erzeugt werden können und keine Unstetigkeiten des Krümmungsradius enthalten. Dazu gehören insbesondere die Formen eines Kreiszylinders, eines Konus und andere, nicht verworfene Flächen, die durch Bewegung einer graden Linie erzeugbar sind, wie zum Beispiel ein zylindrischer Schmidt-Korrektor. Die Tragflächen gemäß Fig. 1 bis 4 sind rechtwinklige Kreiszylinderausschnitte, können aber auch eine andere Form haben, insbesondere, indem sie etwas von der zylindrischen Form abweichen. Dies kann insbesondere von Nutzen sein, um kleine Verzerrungen zu kompensieren, die durch den hydrostatischen Druck der Flüssigkeit verursacht sind. So können beispielsweise die unteren Teile der Seitenfläche bei 32 etwas weniger gekrümmt sein; oder es können für vertikal angeordnete Linsenoberflächen die konischen Flächen eine vertikale Achse haben. Bei einer solchen Anordnung ist die Verzerrung kompensiert und es wird eine genau zylindrische Brechungsoberfläche erhalten.

Beispielsweise kann eine Linse mit großer Apertur gemäß der Erfindung folgende Abmessungen haben:

Aperturabmessungen - 915 χ 1220 mm (36" χ 48") Rahmenplatten - 350 - 4o6 mm (13" - l6") Kleinstdicke - 12,7 mm (l/2") Größtdicke der Rippen - 50,8 mm (2")

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Werkstoff: Aluminium
Fensterplatten und Haltestreifen
Polymethylmethacrylat
Dicke - 6,35-mm (1/4")
Krümmungsradius

(beide Flächen schwach von der Zylinderform abweichend) veränderlich um 20 % von einem 1524 mm (5 Fuß) betragenden Krümmungsradius

beide Flächen sind rechtwinklig zueinander angeordnet, d. h. so, daß ihre Zylinderachseη in zueinander senkrechten Ebenen liegen

Dichtungsmittel - Teflonstrang oder -band lichtbrechende Flüssigkeit - weißes Mineralöl. Fig. 5 zeigt eine Anordnung von Linsen an einer Präzisions-Vorlagenkamera, wobei zwei Linsen, wie vorstehend beschrieben, gemäß der Erfindung als Kondensorlinsen angewendet sind. Die Kamera umfaßt ein kastenartiges Gestell und einen Tragtisch mit einem Werkstückträger 4l am einen Ende zum Halten eines Halbleiterplattchens 4l a oder einer photographischen Platte. Es ist eine Einrichtung zum Beleuchten des Plättchens vorgesehen, die es auf die Vorlage sichtbar projiziert und aus einer Lampe 42, einer kleinen Kondensorlinse 43, einem Filter 44 und einem Strahlteiler 45 besteht, der in Serie mit einem Objektivlinsensystem 46 angeordnet ist. Das Filter 44 ist so gewählt, daß es Wellenlängen sperrt, welche lichtempfindliches Material auf dem Plättchen oder der Platte photographisch exponieren würden, und es ist ferner so gewählt, daß es andere Wellenlängen

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im sichtbaren Spektrum durchläßt, so daß es die Entstehung eines sichtbaren Bilds auf dem Plättchen durch die Optik des Systems gestattet. Es wird Licht aus der Lampe 42 durch den Strahlteiler 45 über das Objektiv 46 auf das Plättchen gerichtet, von dem es zurück durch das Objektiv (und den Strahlteiler 45) reflektiert und durch ein Paar von Spiegeln 47 und 48 zurück auf die Oberseite einer horizontalen Vorlagefläche oder Ebene 49 geworfen wird. Das Objektiv 46 ist so ausgewählt, daß es ein Bild des Plättchens oder der Platte auf der Vorlagenfläche erzeugt. Die Spiegel 47 und 48 sind erstflächige, optisch flache Reflexionsspiegel von hoher Güte, so daß das Bild des Plättchens, das auf der Vorlagenfläche erscheint, ein genaues, exaktes, hochwertiges Bild 1st, das zur Prüfung in seinen Einzelheiten und für die Schaffung einer Vorlage, wie nachstehend erläutert, geeignet ist. Es sind viele Veränderungen der Umkehroptik (redirecting optics) möglich, ohne daß dabei die Lehre der vorliegenden Erfindung verlassen wird. Zum Beispiel kann der Spiegel 47 fortgelassen und die optische Achse 4l a - 46 so gekippt sein, daß sie direkt gegen den Spiegel 48 gerichtet ist.

Es sind Einrichtungen zum Erleuchten der Vorlagenebene von der Rückseite her vorgesehen, um das darauf befindliche Muster gegenüber dem Plättchen freizulegen. Sie bestehen zumindest aus einer Linse mit großer Apertur zum Sammeln des Lichts einer Quelle direkten Lichtes 50, um dieses Licht durch die Vorlage hindurch zu richten. Es können, wie

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dargestellt« zwei solcher Linsen 51* 52 bei der Kamera benutzt werden und dazu dienen, das von der Lampe 53 und einem Reflektor 54 kommende Licht zu sammeln. Mehrere Stäbe 55 aus durchsichtigem Material sind vor der Lampe angeordnet. Sie dienen dazu, das Licht diffus zu machen und die Gleichmäßigkeit der Ausleuchtung zu verbessern. Jede der Linsen 51, 52 ist in gleicher Weise aufgebaut wie vorher beschrieben. Eine solche Linse enthält einen Rahmen, der einfach gekrümmte, biegsame Platten oder Scheiben in einem Abstand voneinander auf einfach gekrümmten Konturen trägt, um jeweils einen Behälter für Flüssigkeit zu bilden, so daß eine flüssige Linse entsteht. Die Linsen mit großer Apertur erläutern zugleich Abwandlungen von derjenigen Art, die gemäß der Erfindung Anwendung findet, wie zum Beispiel die zylindrische Schmidt-Korrekturfläche 57 der Linse 51· Die Linse 52 benutzt vertikal und horizontal orientierte Zylinderflächenkonturen ähnlich den vorher in Verbindung mit der Linsenanordnung von Fig. 1 beschriebenen. Ein Spiegel 53 lenkt das Licht von der Linse 52 nach oben durch die Vorlagenfläche 49.

Im Betriebe erleuchtet das Licht aus der Lampe 42 das Werkstückplättchen, das dann durch das Objektiv 46 auf die Vorlagenfläche 49 abgebildet wird. Die Vorlagenfläche kann jede Art von geeignetem Medium zur Darstellung eines Musters enthalten, das eine Relation der Vorlage trägt. Dieses Medium kann die Form eines Bandes haben, das niedergelegt ist> oder es kann eine Schicht eines Bandes sein, von

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welchem Streifen geschnitten sind, um die Lage des Schaltschemas oder dergl. anzugeben. Nachdem das Medium modifiziert worden ist, um das Muster darzustellen, das auf das Objekt oder Werkstück gedruckt werden soll, wird die Lampe 42 abgeschaltet und die direktes Licht gebende Lampe 53 eingeschaltet, die vorher ausgeschaltet war. Der Bequemlichkeit halber kann die große Lampe eingeschaltet bleiben und eine Blende 49 benutzt werden, um ihr Licht von dem übrigen Teil des Systems, solange es dort nicht erwünscht ist, abzusperren. In jedem Falle darf das Licht aus der Quelle direkten Lichtes durch die Flüssigkeitslinsen hindurchgehen, es wird durch den Spiegel 58 auf die Rückseite der Vorlagenebene reflektiert, durch welche es hindurchgeht und durch die Umlenkspiegel 47, 48 und das Objektiv 46 auf das Plättchen oder die lichtempfindliche Platte abgebildet wird. Durch Benutzung der Flüssigkeitslinsen gemäß der Erfindung wird es möglich, Hochleistungsquellen direkten Lichtes zu verwenden. Die Kondensorlinsen gemäß der Erfindung bewirken, daß dieses Licht gleichmäßig eine große Vorlagenfläche erleuchtet, so daß eine rasche Exponierung der lichtempfindlichen Fläche eines WerkstUckplättchens oder einer Platte bei 4l von hoher Güte erzielt werden kann, ohne daß dazu eine Ausrichtbewegung des Plättchens oder der Platte benötigt wird.

Bei dem in Fig. 5 dargestellten System sind die mit Flüssigkeit gefüllten Optiken mit einer anamorphen Eigenschaft ausgebildet, so daß die vertikale Höhe der Lampe 55 eine geringere Vergrößerung erfährt als ihre Breite. Die Höhe wird

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durch die eine horizontale Achse aufweisende Fläche der Linsen 52 bei einer Vergrößerung im Wert von nahezu 1 kondensiert,, wogegen die Breite durch die drei vertikalen Leistungsflächen (unter Bewirkung einer stärkeren Vergrößerung) derart vergrößert werden, daß sie die Pupille des Objektivs 46 füllt und eine höhere Lichtausbeute aus der Lichtquelle 53 erhalten wird. Bei anderen Ausführungsformen kann diese anamorphe Eigenschaft durch Verwendung zweier symmetrischer Linsen von der in Pig. 6 gezeigten Art ausbalanciert werden, bei denen die Außenflächen A, D, die voneinander weggerichtet sind, parallele Achsen haben, die unter je einem rechten Winkel zu den Achsen der Innenflächen B, C stehen, die einander zugewendet sind. Auf diese Weise können anamorphe Zylinderlinsen, die gemäß der Erfindung ausgebildet sind, miteinander als ein passendes symmetrisches Paar (wie dargestellt) gekoppelt werden, um eine ausgeglichene Arbeitsweise oder gleiche Vergrößerung wie mit gewöhnlichen Kugellinsen zu erhalten.

Die Linse-nach der Erfindung ist für vielerlei Anwendungszwecke von Nutzen. Viele von ihnen, auf welche sich die Erfindung erstreckt, sind für Fachleute ohne weiteres erkennbar. Zum Beispiel kann der Behälter der Linse leicht auch in zwei Abteilungen durch eine durchsichtige Wand geteilt werden, die beispielsweise aus Bleiglas bestehen kann, um einen Strahlungsschirm zu bilden. Durch Herstellung einer vollständigen Flüssigkeitsbarriere zwischen den Abteilen ist es möglich, kombinierte Linsen von unterschiedlichen

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komplementären, lichtbrechenden Indizes auszubilden, analog der Kombination von Flintglas und Krohnglas bei achromatischen, aus Glas bestehenden Linsen. Die Möglichkeiten zur Anwendung und Ausbildung der Erfindung sind also nicht auf das hier im einzelnen Beschriebene und Dargestellte beschränkt.

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Claims

Patentansprüche

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Optische Linse, insbesondere für eine hochwertige Kamera zur Abbildung von Vorlagen (artwork), dadurch gekennzeichnet, daß sie einen vorzugsweise rechteckigen, zwei in einem Abstand befindliche Aperturfenster aufweisende Rahmen enthält, deren ζ)ffnungskanten als nach einfach gekrümmten Konturen verlaufende Auflageflächen für je eine der beiden Rahmenöffnungen abschließende, biegsame planere Platten aus optisch klarem »Material ausgebildet sind, welche auf den Auflageflächen durch entsprechend deren Verlauf geformte Haltemittel flüssigkeitsdicht befestigt sind, und daß der aus dem Rahmen und den biegsamen Platten gebildete Behälter mit einer optisch klaren, lichtbreohenden Flüssigkeit gefüllt ist.
2. Optische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmten Auflageflächen und Haltemittel der gebogenen Platten derart angeordnet sind, daß die beiden Platten zumindest annähernd Zylindermantelausschnitte mit in zueinander senkrechten Ebenen liegenden Zylinderachsen bilden.
3. Optische Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die optisch klaren Platten aus einem Acrylkunststbff bestehen.
4. Optische Linse nach Anspruch 3« dadurch gekennzeichnet, daß die optisch klaren, membranartigen Platten aus Polymethylmethacrylat bestehen.
5. Optische Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 4,

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dadurch gekennzeichnet« daß die Flüssigkeit ein optisch klares Mineralöl ist.
6. Optische Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit eine wässrige Lösung eines Salzes ist.
7. Optische Linse nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Salz Zinkchlorid ist.
8. Optische Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 1, dadurch gekennzeichnet, daß die den Umfangskanten des Rahmens entsprechend gekrümmten Platten durch ein die Umfangskanten übergreifendes Klemmband gehalten ist.
9. Optische Linse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Klemmband und der Kante ein zur Spannungsverteilung dienender Streifen (26) eingelegt ist, und daß zwischen der anderen Seite des Bandes und der tragenden Fläche eine zum Ausgleich dienende Beilage (27) eingefügt ist.
10. Optische Linse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der tragenden Fläche und der daraufliegenden Plattenoberfläche ein unter Druck fließendes Dichtungsmittel (28) eingefügt ist.
11. Optische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Auflagefläche und die Haltemittel so angeordnet sind, daß die beiden Platten annähernd Zylindermantelausschnitte mit parallelen Zylinderachsen bilden.
12. Optische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die eine der beiden Platten die Form einer

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Kegelstumpffläche aufweist.
13· Optische Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit einen Zusatz enthält, der das durch sie hindurchgelassene Strahlungshand begrenzt.
14. Optische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenplattenflache um eine horizontale Achse in vertikaler Richtung unsymmetrisch ist.
15· Optische Linse nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß sie, gegebenenfalls in Verbindung mit mindestens einer weiteren, gleichartigen Linse, zum Sammeln des Lichts einer Quelle direktes Lichtes von hinten auf eine Vorlagefläche in einer hochwertigen Reproduktionskamera für Vorlagen eingebaut ist, um das auf der Vorlagefläche enthaltene Muster durch ©ine Optik auf ein lichtempfindliches Objekt abzubilden.
16. Optische Linse nach Anspruch 15* dadurch gekennzeichnet, daß die Optik zur Beleuchtung und Abbildung des Objekts auf die Vorlagefläche und die Einrichtung zur Beleuchtung der Vorlagenfläche von hinten auf verschiedenen Wellenlängen arbeiten, und daß die Wellenlänge der Optik so gewählt ist, daß ein sichtbares Bild erzeugt wird, während sie'für das Exponieren des lichtempfindlichen Materials auf dem Objekt unwirksam ist.

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