DE1923043A1 - UEberfuehrungseinrichtung an Schneidgeraeten - Google Patents

UEberfuehrungseinrichtung an Schneidgeraeten

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DE1923043A1 DE19691923043 DE1923043A DE1923043A1 DE 1923043 A1 DE1923043 A1 DE 1923043A1 DE 19691923043 DE19691923043 DE 19691923043 DE 1923043 A DE1923043 A DE 1923043A DE 1923043 A1 DE1923043 A1 DE 1923043A1
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    • B28D5/0094Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type

Description

gesehen, so daß dieser in eine von der ringförmigen Schneidvorrichtung abgehobene Stellung gebracht werden kann, wenn die Schneid«= vorrichtung in ihre Ausgangslage zurückkehrt, wodurch eine Beschä» digung des Materiaistabs an seiner der Schneidvorrichtung zugewar&dten Fläche durch diese Vorrichtung vermieden wirde >In seiner Aus» gangsstellung wird der Stab axial verschoben, um die Starke der anschliessend zu schneidenden Platte einzustellen, und danach in radialer Richtung relativ zu der ringförmigen Schneidvorrichtung in einen weiteren Arbeitsschritt, wodurch die'Platte abgetrennt wirdο Die Bewegung der Halterung wird ebenfalls von einer Schaltung gesteuert, die mit der Schaltung für die Steuerung für die Bewegungen der Schwenkvorrichtungen gekoppelt ist'»
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schneidvorrichtung und betrifft insbesondere das Abnehmen und Überführen einer dünnen Materialplatte durch ein System von Transportvorrichtungen, deren Bewegungen aufeinander abgestimmt sind, so daß sowohl die Platte als auch der Stab, von dem die Platte abgeschnitten ist, zwischen. Mehreren voneinander entfernten Stationen in einem periodisch automatisch durchlaufenen Arbeitszyklus geführt werden 0
Die Erfindung betrifft ein Schneidgerät» mit dem eine Materialplatt·, etwa eine dünne Scheibe eines Kristalls, von genau oingcha? tener Stttrke und mit glatten und parallelen Flächen geschnitten werden kann. Es können verschiedenartige Kristalle geschnitten werden, X0D. Silisiun und Germanium, aus denen Transistoren und Gleichrichter für elektronische Gerlte hergestellt werden· Die Erfindung besieht sich in erster Linie auf ein Schneidgerät, wie es in der USA-Patentschrift 3.039.235 beschrieben ist* Bei diesem
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Gerät hat es sich gezeigt, daß die Kristallplättchen nicht in befriedigender Weise unmittelbar unter dem schneidenden Element gesammelt werden konnten,, Zwar war der Weg, den das Kristall» plättchen nach dem Schneiden zu durchfallen hatte, sehr kurz, trotzdem bestand Gefahr, daß die Plättchen rissen oder zerbrachen· Hs hatte sich auch gezeigt, daß die dem Schneidelement zugewandte Fläche des Kristalls, wenn dieser aus der Lage, in der der Schneidvorgang abgeschlossen war, in seine Ausgangslage relativ zu dem Innendurchmesser des ringförmigen Schneidelements suröckgeführt wirde, von der Schneidfläche des ringförmigen Teils zerkratzt wurde« Dadurch erhielt jedes Kristallplättchen eine glette und eine von dem ringförmigen Schneidelement etwas zerkratzte Flüche, Daher'mußte eine Einrichtung entwickelt werden'',; mit der das Kristallplättchen ohne Gefahr des Zerbrechens abgenommen und der Kristall selbst so bewegt werden kann, daß seine Vorderflftche von dem ringförmigen Element nicht beschädigt wird.
Ziel der Erfindung ist es zunächst, eine Vorrichtung anzugeben, die ein dünnes Iriitallplättchen aufnimmt und bewegt und die einen Kristallstab so bewegt, daß dessen der Schneidvorrichtung zugewandte Fliehe durch ein ringförmiges Schneidelement nicht beschädigt werden kann.
Weiter soll erfindungsgemäß eine Vorrichtung angegeben werden, in der ein Stab relativ so einen ringförmigen Schneidelement so beweglich ist, daß die den Schneidelement zugewandte Stabfläche wahrend der Rückführung d·* SttbeS in seine Ausgangslage, in die er geschaltet werden kann, Von dem ringförmigen Schneidelement abgehoben ist. ^
Diese Erfindungsmerkmale und weitere Eigenschaften und Vorteile des Erfindungsgegenstands ergeben sich aus der nachstehenden Be-
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original 0 09847/ OAp 8
Schreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
Die angegebenen Ziele der Erfindung lassen sich erreichen disreh eine Halterung für einen Kristallstab, die schwenkbar an einer Gleitführung derart angebracht ist, daß der Stab in eine Lage bewegbar ist, in der die dem ringförmigen Schneide lenient gegen« fiberstehende Kristallfläche einen Abstand gegenüber dem Schneidelement hatp der so groß ist, daß der Kristallstab relativ zu den Schneidelement bewegbar ist, ohne daß eine Beschädigung der Kristallfläche auftreten kann0 Ferner ist eine Anordnung mit zwei Schwenkvorrichtungen zum Oberführon eines vop dem Stab ab« geschnittenen Kristallplättchens in eine .OberführimgsstelluBg vorgesehen, in der das Plättchen Bit den Innendurchmesser des Ringelements fluchtet, und zum Oberführen., des Plättchens auf die andere Seite des Ringelements, so daß da« Plättchen in einen Aufbewahrungsbehälter abgelegt werden kannc Die Bestätigung der Halterung und der Schwenkvorrichtungen wird durch eine Schaltung gesteuert, die mehrere Endschalter aufweist, die von zugeordneten Schal tarnen nach «ine» Zeitprograu» betätigt werden, so daß ein periodisch wiederholter Arbeitszyklus entsteht. Während eines Arbeitsspiels wird der Sttb in radialer Richtung aus einer Lage im Innenkreis des Ringeleaents geführt, bis ein Plättchen von dem JKstailstab abgetrennt ist· In dieser zweiten Stellung nimmt dl· eine Schwenkvorrichtung das Flittchen auf und führt es in «in· Oberführungestellung, dl« allgemein nlt dem Inner durchmesser des Ringelemente fluchtet. In dieser Überführungsstellung wird das Plättchen zu einer zweiten Schwenkvorrichtung überführt, die es dann in axialer Richtung bewegt und auf der anderen Seite des Ringelements zu einem Aufbewahrungsbehfilter fOhrt, in dem es abgelegt wird. Gleichzeitig wird die Halterung für den Kristallstab in ein* solch· Lag· gebracht, daß der Stab von dem Ringelement abgehoben ist« Danach wird der Stab zurück in den Innenkreis des RingeXements bewegt« Wenn die richtige Lage gegenüber dem Ringelement erreicht ist, wird die
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Halterung fur den Kristallstab in ihre normale Schneidstellung gebracht und anschliessend wird der Stab in vertikaler Richtung um einen Betrag weitergeschaltet, der der Stärke des nächsten zu schneidenden Kristallplättchens entspricht» Danach beginnt ein neues Arbeitsspielα
In den Zeichnungen sind für gleiche Bauteile übereinstimmende Bezugs zahlen benutzt«, Die Zeichnungen stellen dar:
Figo 1 eine Draufsicht auf das Schneidgerät; man erkennt die
gegenseitige Lage der Halterung für den Kristallstab und die Schwenkvorrichtung für das Abnehmen und Oberführen des Stabes;
Fig. 2. eine Seitenansicht des Geräts nach Fig« lß teilweise im Schnitt;
Figo 3 eine Saitenansicht einer Einzelheit der Mechanik zum Bewegen der Halterung für den Kristallstab;
Figo 4 einen Teilschnitt längs der Linie 4-4 in FIg0 3;
Fig. 5 eine Draufsicht auf «ine Einzelheit dot Mechanik für das Überführen eine» Materialplättchane;
Fig. 0 tine Seitenansicht der in Fig» 5 dargestellten Mechanik;
Fig. 7 eine Frontansicht der anderen Mechanik zum OberfOhren eines Mattrialplättchtns (in grösiorea Maßstab);
Fig« 8 «in Schaltschema zum Einleiten und Durchführen tines Arbeltsspiels gemäß der Erfindung;
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Fig« 9 ein Schema der seitlichen Steuerung»
Soweit die Erfindung einen Teil des Schneidgerät» darstellt, das in der obengenannten USA-Patentschrift 3.039.235 beschrieben ist, nlmlich hinsichtlich der Anbringung des Kristailstabes IO in eine« derartigen Gerat, soll keine ins einreift· gehende Beschreibung gegeben werden. Die vollständige Erläuterung die·* ser Montierung kann der genannten Patentschrift entnonaen werden9
Ein Ringeleaent 11 besitzt «in· Ringöffnung 12, deren Rand in an sich bekannter Weise mit Diamantsplittern besetzt ist, so da8 eine Trennkante 13 entsteht. Das Ringelement 11 ist zwischen iwei Ringen 14 und 15 angeordnet und in radialer Rlchtumg vom eines Ring 16 gespannt, der an ein·» tesiebartigem Bauteil 17 befestigt ist. Die Tasse 17 ist auf eine Platte 18 Montiert und weist einen Axialdurchganj 19 auf, durch den tine Hülse 20 verlluft, die ein« Platt· 21 und einen Ring 22 trägt, di* «iaea. Behilter innerhalb der Tasse 17 bild·»·
Der Stab 10 ist in eines Gehäuse 23 angeordnet, das an eines Träger 24 angebracht ist, dar bei 25 schwenkbar gegenüber eine« beweglichen Gleitstack 24 angeordnet ist; diese Bauteile bilden Susanen «in· Halterung für den Stab 10 und sind insgesamt mit der Bezugszahl 27 betelehnet. Di· Halterung 27 1st so verschiebbar, daft dar Stab 10 radial gegenüber dee Rlngeleaent Il bewegt wird· Di· Halterung 27 wird von eine« an den Gleitstück 26 angebrachten Hydraulikzylinder im noch zu beschreibender Heise bewegt.
VI« bisher beschrieben, umfallt die Halterung des Stabes 10 gegen* Ober de« Schneidelement 11 das Gehäuse 23, den Trlgor 24 und das
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Gleitstück 26, wobei der Träger auf dem Gleitstück in der angegebenen Weise bewegbar ist. Der Stab IO wird demnach aus einer ersten Stellung, in der er allgemein mit der Öffnung 12 in dem Ringelenent 11 fluchtet, in eine zweite Stellung gebracht, in der er einer Flache des Ringelements 11 gegenübersteht (vgl. Fig«, 1 und 2), wobei die Bewegung in radialer Richtung relativ zu dem Ringelement 11 derart erfolgt, daß ein Plättchen vorgegebener Stärke von dem Stab geschnitten wird« Die erste Stellung ist in Fig· I durch die strichpunktierte Linie 28 angedeutet.
Wenn die Halterung 27 den Stab 10 aus seiner ersten Lage in seine zweite Lag» bewegt, wird eine Gruppe Endsehalter LSI bsw„ LS4 bzw. LS2 in weiter unten im einzelnem bei der Beschreibung eines Arbtitsspiels angegebener Weise von einstellbaren Fingern 46 bzw« 47 bzw. 48 betätigt, die an dem Gleitstück 26 (Figo 2) angebracht sind. Diese Endschalter stellen einen Teil der Steuerung zu» Einleiten und Steuern des Arbeitsprogramias der verschiedenen-Element· der Hinrichtung wahrend eines Arbeitsspiels dar.
Sie Fig» I9 5 und 4 zeigen ein hydraulisch betätigtes Bauteil 30, das auf dem Gleitstück 26 angebracht fö und einen Betätigungsarm 31 aufweist, der bei 32 schwenkbar alt einem auf der Welle 34 festsitzenden Ars 33 verbunden ist. Der Teil der Welle 34, der durch den Ansatz 35 des Trägers 24 verlauft, ist exzentrisch gegenOber den Lage rungs teilen 36 t, die an des Gleitstück 26- angebracht sind. Wenn die Welle 34 durch das Bauteil 30 über den Arm. SS um ein kleines Stück gedreht wird, erführt das Gehtuse 23 eine Neigung, so daß die Oberfläche des Stabes 10 von der Oberseite des Ringeloments 11 abgehoben wird· Eine Stift-Schlitz-Anordaung 37 begrenzt die Bewegung des Gehäuses 23 und des Trflgers 24 gegenüber dem Gleitstück 26 zu* Einführen eines Stabes 10 oder.ZUB Herausnehmen des kurzen Stabendes, von dem keine Plättchen mehr geschnitten werden kennen«
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Die Einrichtung zum Bewegen des Stabes 10 und der Halterung 27 gegenüber den Ringelement 11, damit ein Plättchen von dem Stab geschnitten werden kann, weist ein mit 40 bezeichnetes„ hy·=» draulisch betätigtes Organ auf, das mit einem nicht gezeigten Arbeitselement (Kolben) versehen ist,, dessen Ende 41 bei 42 mit einem Bügel 43 an dem Gleitstück 26 gekoppelt ist, Das Gleitstück 26 kann unter der Wirkung eines Schlittens und einer Führung in an sich bekannter Weise zu einer geradlinigen Bewegung veras° laßt werden, *
Gtmflß den Fig. 2,5 und 6 ist eine Saugplatte SO an einem Ära Sl angebracht, der bei 52 schwenkb&r an der Platte '21 angeordnet istθ Dfii Ende 54 eines Arbeitsorgans (nicht gezeichneter Reib®©) eines hydraulisch betätigten Organs 53 ist bei S.5 schwenkfoei3 mit dem Arm 51 verbunden« Die Platte SO ist über die Leitung B6 in geeigneter Waise mit» einer (nicht gezeichneten) quelle verbunden, wobei der Unterdruck an der Platte 50 zu der Bewegung des Stabes 10 aus seiner ersten Stellung im s@!s© zweite Stellung anliegt; das wird weiter unt©n genauer bssekrfe" benο In der Ruhelege befindet sieh die Platte 50 der zweites Stellung am Siebe* 10 gegenüber» Mit anderen Wört©rap die Plett© 50 befindet sich inner in einer solchen Lsge gegenüber des Stofe-1O9 daß das abgetrennte Plättchen leicht abgenonmen und auf i©r Platte 50 gehalten werden kann. Nach Betätigung dos Organs; 53 wird die Platt· 50 von dee Arn 51 und de» Organ 53 in eine mit der Achse des Ringeleiumts 11 in ganzen fluchtenden Stellung g®~ brachte In dieser Stellung (Überführung»siellung) wird das Platt« chen von der Platte 50 auf das Saugelement 60 übertragen«
Das Saugelement 60 erstreckt sich von einem Arm 61 aus, ά®τ mit einer Vertikalhülse 62 ein geseinsaneβ Bauteil bildetp vertikal nach unten (vgl, Fig. 2 und 7)· Die Hülse 62 ist auf einer vertikal stehenden Büchse 63 angebracht, die in beliebiger bekenn« ter Weise mittels eines Flanschs 64 an der Platte 18 befestigt
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1st. Die Hülse 62 ist nit einen Schlitz 65 versehen, dessen Fora an besten in Fig. 7 erkennbar ist; in diesem Schlitz läuft ein Stift 66, der von der Buchse 63 getragen wirde In der Büchse 63 verläuft ein,Stab 67 vertikal nach oben, der bei 57 in die Hülse 62 geschraubt ist; der Zwischenraun zwischen den Stab 67 und der Innenwand der Hülse 63 ist Ober eine Leitung 68 an eine Va* kuunquelle angeschlossen (vgl« Fig· 7). Hit passend ausgeführten ' Offnungen 58 bzw. 59 in der Hülse 62 bzw«, den Am 61 ist die Vakuumquelle bzw. der Unterdruck an das Blenent 60 geführt, so daft das Pllttchen an der Fliehe 69 des Saugelemente gehalten werden kann. Durch eine Vertikalbewegung des Stabes 67, der nit den Betätigungsorgan eines Hydraulikzylinders 7o.verbunden ist, wird eine Vertikalbewegung des Saugelesents 60, des Ami 61 und der Hüls· 63 ausgeführt. Wenn die Hülse 62 in axialer Richtung verschoben wird, bewirkt die Stift-Schlitz-Verbindung 65 und 66 ein· Hebung des Elements 60 gegenüber der Bbene des Schneidelement s 11 und eine Verlagerung des Elements 60 aus einer nit der Platte 50 fluchtenden Stellung in eine in Fig, 1 durch die ^ strichpunktierte Linie 72 angegebene Stellung, in welcher das Pllttchen von des Element 60 in richtigen Steuerieitpunkt abge- geben wird. . .!
Fig. 2 und Fig. 7 zeigen, daft die Hülse 62 nit einen Flansch 72 versehen ist, der in welter unten beschriebener Weise bei der ; Bewegung der Hülse 62 in Ihre Bndingen jeweils einen der Bndschalter LSS und L86 beatigt, Diese Sehalter bilden einen Teil | der Steuerung für die verschiedenen Organe während eines Ar· . ] beltsspitls. .
Dir Stab 10 wird relativ zu den Rlngelenent 11 durch ein Führungsgewinde 75 geschaltet» das durch eine festliegende Mutter 76 " gedreht wird, die ihrerseits durch eine Zahnstange 77 verdreht wird, die eine nicht gezeichnete Zähnung auf der Aussenselte der Mutter 76 eingreift. Die Zahnstange 77 idrd von den Betätigung*^
BAD ORIGWAL
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AO
organ eines Hydraulikzylinders 73 bewegts Die Veite der geradlinigen Bewegung dos Betätigungseleaents kann so eingestellt werden, daß der Stab 10 eine Bewegung ausführte die ihn in eine solche Lage gegenüber dem Ringsleaent 11 bringt, daß ein Plättchen der gewünschten Starke abgetrennt werden kann* Die Mutter 76 und ihre Zähnung werden einerseits von der Zahnstange getrennt und andererseits alt ihr in" Eingriff gebracht durch eine nicht geseichnete, in einer Richtung wirkende Kupplung. Die Kupplung dient dazu, die Zahnstange 77 in ihre Ausgangslag® zu« rücktufOhren, nachdem der Stab 10 vorwärtsbewegt worden ist?
Aus der bisherigen Beschreibung ergibt sich ohne weiteres, daß die Platte 50 «it ihrer Betätigungsmechanik eine gegenüber der anderen Seite des Trennelements 11 bewegliehe Vorrichtung aufweist, so daß das von des Stab 10 abgetrennte Plattchen aus einer Abnahmesteilung in ein· Stellung zu bringen ist, in der das Pilttchen von der Platte 50 freigegeben und auf das Saug* - ~ element 60 überführt wird· Auch die Betatigungsmechanik für u< das Saugelement 60 weist eine Vorrichtung auf, die eine Bewegung Λ aus der Überführungsβteilung (strichpunktierte Linie 28 in Figol) in eine Stellung bewirkt (strichpunktiert· Linie 71 in Fig. 1), in der das Plattchen von de« Saugelauent 60 freigegeben wird, damit es in einen Behalter 73 gelegt werden kann. Ausserdem ist das Saugelement 60 in vertikaler Richtung bewegbar, damit das abgetrennte Plattchen von de* Ringelement U abgehoben werden kann· Diese letztere Bewegung des Plattchens lauft wahrend eines Abschnitts des Arbeitsspiels ab, in den der Stab 10 in seine erste Stellung im Innendurchmesser der ringförmigen Elemente 11 zurückgeführt wird, wobei der Stab in bezug auf das Ringelement so geführt wird, daß der nächst· Schnitt zum Abtrennen eines weiteren Plattchens erfolgen kann. Hier sind zunächst die ver- — βchi»denen mechanischen Anordnungen beschrieben worden; die Arbeitsweise dieser Anordnungen und ihr Zusammenwirken zu einem vollständigen Arbeitsspiel ergeben sich am besten aus einer Be-
OR.GINAL INSPECTED "l<>*
Schreibung der Schaltung nach Figo 80
Das Arbeitsspiel
Zu Beginn eines Arbeitsspiels fitsehtet der Stab 10 nit dem Innendurchmesser 12 des Ringelements 11, wobei der Kopf 50 in Flucht mit der von den Stab 10 eingenommenen zweiten Stellung steht, w&hrend das Saugelement 60 in Abgabestellung an dem Behalter 73 steht, wie es durch die strichpunktierte Linie 71 in F£ge 1 aagßdeutet ist· Die verschiedenen Bauelemente werden betätigt odev I^wegt durch hydraulische Betätigungsmittel, insbesondere di© hydraulischen Arbeitsmittel 53 und 70, die die Einrichtungen n?m Überführen des Flftttehens antreiben» Diese hydraulisehea Aitoeitsaittel werden durch Magnetventile betrie* b©ae die bei Erregung die bewegbaren Glieder in einer Richtung fuhren und bei Entregung automatisch eine Betätigungsumkehr bewirken, so defl die bewegbaren Glieder in der anderen Richtung· bewegt und in die Ausgangsstellungen stsrückgeführt werden» In den SchalttcheR;- nach Fig. 8 sind die Fagii«!ventile für die Steuerung der hydraulischen Arbeitsmittel «it S1 bis S9 bezeich· not, und.die Releis, die die verschiedenen Kontakte sun Ausführen eines Arbeitsspiels schalt®n,mit HCR bis 8CR,
Zu Beginn eines Arbeitsspiels ist der Schaltet! LSI von dem ~^ Finger 46 betätigt worden, weil dit Halterung 27 ait dem Stab 10 in der ftuhelage steht, so daß der Kontakt LSIA geschlossen und der Kontakt LSIB geöffnet gehalten wird. Der Startschalter SSI ist vorübergehend geschlossen, und über die Leitungen 80-81 ist durch LS2A ein Kreis geschlossen, der das Solenoid SI und dasRelais ICR erregt. Bei Erregung des Relais ICR werden seine Kontakte ICRI, 1CR2 und 1CR3 geschlossen und die Kontakte 1CR4 und ICRS geöffnet, welch letztere das Relais 8CR entregt halten. Der Kontakt 1CR1 hält sowohl das Solenoid S1 als auch das Re- lais 1CR nach dem öffnen von SSt erregte Durch das Schliessn
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der Kontakte 1CR2 und 1CR3 wird auch das Solenoid S9 über den geschlossenen Kontakt LS3C des Schdters LS3 errsgte Des Solenoid S9 übt während des Schneidvorgangs eine Kraft auf den Stab 10 aus, so daß er seine Lage g@g©nüb@r dem ringförnigen Element 11 beibehält und jede Rüttelbewegting vermieden wird« Das Solenoid SI steuert den Arbeitszylinder 4O1 so daß die Halterung 27, bestehend aus Gehäuse 238 Tr8g<sr 24 und Gleitstück 26 f nach rechts (Fige 1 und 2) und in radialer Richtung gegenüber dem Ringelement 11 bewogt wird o. Dim?dh diese Bewegung wird der Stab 10 aus den Innenkreis des ringförmigen El ertönt s II gegen die Schneidkante 12 und in eine Stellung geführt, in der er Bit des» Saugkopf 50 fluchtet«, Bei Freigab© des Schalters LSI durch den Finger 46 dffnet sieh d@r Schalterkontakt LS1At und der Kontakt LS1S schließt»
Wenn die Halterung 27 sich dem Ende ihrer Bewegung nach nähert, wird der Schaltor LS4 von den Finger 47 in Schließ« stellung gebracht, und das Solenoid S5 wird über die goschlos«» sentn Kontakte 4CR2 und 6CR1 erregt, wobei der Schalter LS4 gfs·-'· schlossen bleibt, bis das abgetrennte Plättchen überführt iste wie weiter unten beschrieben wird. Des Solenoid SS steuert den Anschluß einer Vakuumquelle an die Saugplatte 50« Der Unterdruck wird an die Platte 50 ganz kurs vor den Ende der Schneidbewegung angelegt, um der Platte die Abnehme des Plltt* *v chens, das von dem Stab 10 abgetrennt wird, zu erm5glichene Aa finde der Schneidbewegung betätigt der Finger 49 en der Halterung " 27 den Schalter LS2, wodurch dessen Kontakt LS2A geöffeiet und sein Kontakt LS 2 B geschlossen wird. Mit dem offnen dee Komtsilctg LS2A werden das Relais ICR und das Solenoid SI abgeschaltet, w@« durch das Hydraulikelement 40 stillgesetzt und die Schnsidbewegung beendet wird» Durch das Schliessen des Kontakts LS2B wird das Relais SCR erregt,wodurch dessen Kontakt 3CR1 geschlossen wird,'womit die Solenoide S6 und S7 über Kontakt 4CR2, Schalter LS4 und Kontakt TD1 erregt werden» Das Solenoid S6 «ten«
ort die TStigkeit des Hydraulikelements 53, das die Platte SO mit dom darauf befindlichen Plättchen in die Oberführungsstellung relativ zu dem Innenkreis des Ringelements 11 bewegte Auf die gleiche Weise steuert das Solenoid S7 die Tätigkeit des Hydraulikelemonts 70, das das Saugelement 60 aus seiner Ruhelage in die Oberführungsstellung bringt, in der es mit der Platte 50 fluchteta Wenn der Arm 61 sich in die Überführungstellung begibt, beschreibt das Saugelement eine gebogene und dann nach >«« unten gerichtete Bahn, um das Plättchen von der Platte SO eufxunehmeno Venn der Arm 61 seine Abwärtsbewegung beginnte wird der Schalter LS6 geöffnet, der durch den Flansch Il geschlossengehalten warn Venn der Ar» 61 sich der Platte 50 nähert» wird der Schalter LSS durch den Plansch 72 geschlossen, wodurch das Re** ' lais 6CR, das Relais ITD und das Solenoid S8 erregt warden; das ' Latztera steuert das Anlegen der Vakuumqtielle sn das Saugelement 60» Dursh Erregen des ReMs 6CR wird dessen Kesitakt 6CR1 geöffnet wodurch die Vgkuiiaqtseli® von der Platt® EO getrennt wird, so dad die Überführung des Flittchens an das Saugelement 60 rr folgt. Ausserdes wiri i»t Kontakt 6CR2 geschlossen, so dß der4 H Krols nach dem öffnen von LSS geschlossen bleibte Das Relais r ' fTD besitzt ein eingebautes Verzögerungsglied,, so dad 95 nach Ablauf dar Verzügeruagazeit automatisch entregi wird. Im vorliegenden Fall ist dl® Verzögerung so groß, daß die Überführung des Plättchen· von der Platte 50 auf das Saugelement 60 vonstatten geh·» kann'* Wird ITD-ontregt, so öffnet sich s@in Kontakt 1TDI, und dl« Sol«noide S6 und S7 werden entregta Dpnn kehren die Arme " 51 und 61 ihre Bewegungsrichtung um. Wenn dsr Arn 61 sich aufwärts* bewegt, jfird der Schalter LSS geöffnet, abar der !reis wird durch 6CR! gejs^iloss^n gehalten»
Wann dtr Ära 61 in seine Riihdlat» Über dea Behälter 75 geschwenkt* wird, sehliedt ßlch .Ur Schal tar IS6, uiid das Relais 7CR wird erregt, irodurch sein Kontikt 7CR1 geöffnet wird, so daü dri Sole-
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noid 58 entregt und das Vakuum von dem Saugelement 60 abgenom men, wird, so daß das Plättchen in dem Behälter 73 abgelegt warden kann, und wodurch der Kostakt 7CR2 geschlossen und das Relais 2CR erregt wirda Danach wird der Koafcakt 2SRi schiessen und damit das Soloaaid S2 erregt, das dia des Stabes 10 relativ zu dasa Riäigelement 11 steuert0 Durch "Erregen des Solenoids Sl wird das Hydraulikelement 30 bewsgt., wodurch die Arme 31 und 53 (Fig. 3) bewegt werdan und die Wallis 34 gedreht wird« Da die Wo ils 34 in den Lags win gen 36 angeordnet ist, wird die Exzentrizität zum Betätigen d@s ters LS3 ausgenutzt» Wie erwähnte findet das Kippen des States 10 und seines Gehäuse» 23 beim Bewegen des Arms' 61 land d@g Saugelemente 60 in dia Ruhoiagj statt,,
Beim Betätigen des Schalters LS3 werden dessen Kontakt© LSM geschlossen, ferner schlisßt sich der Xontakt LS3B «ad der SCoA-takt LS3C öffnet sich DmJ RiIaU SCR wird über L32B9 LS3A und LS1B ebenso wie das Soleinoid S3 und das Relais 4CE erregt» Das Solenoid S3 steuert das Hydraulikelement 40, s& UmB di-3 Halterung 27 in umgekehrter Richtung (in den Figuren 1 und 2 nach links) bewegt wird· Dadurch wird der Schalter 1S2 von ä®m. Finger 48 freigegeben, und seine Kontakte LS2A achliessen sl6lü& während der Kontakt LS2B sich öffnet, Während ά&3 Relais 401 -■■'-regt war, waren seine Kontakte 4CR1 geschlossen, wodurch das Solenoid S3 und das Relais 4CR erregt und damit de\r Stab 10 in geneigter Stellung gehalten wurde, wenn es sich nach links bewegte, und die Kontakte 4CR2 wurden geöffnet, wodurch die Kroise» die die Bewegung der Arme 51 und 61 sowie dos Anlegen von Vakuum an das Saugtl*aent 60 steuern, abgeschaltet wurden„ Beim Bewegen der Halterung 27 nach links wird auch der Schalter LS4 von seinen Finger 47 freigegeben und kehrt in die Offen» stellung surück. In der ersten Stellung, d.ho, wann der Stab wledtr insgesamt mit dem Ringeloment 11 fluchtet, betätigt der Finger 46 den Schaltor LSI und schließt Jj 5 υ on Xentakte LSIIA,
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wahrend die Kontakte LS1B geschlossen wurdenc Beim öffnen von LS1B wird das Solenoid S3 und das Relais 4CR entregt, wobei das Solenoid SS den Stab IO veranlaßt» in seine Ruhelage zurückzukehren 0 Dadurch wird der Schalter LSS betätigt, so daß seine Kontakte LSSB sich öffnen, wahrend die Kontakte LS3C sich schliessen» Unter diesen Umständen wird das Relais 8CR Ober ICRS, LS3C, 1CR4 und LSlA erregt. Das Relais 8CR schließt seine Kontakte 8CR1 und erregt dadurch das Solenoid S4 tmd das Relais SCR, wobei diese« seine Kontakte 5CR1 schließt und das Relais SCR und da* Solenoid 84 erregt hält. Das Solenoid S4 betätigt das Hydraulik* eleeent 78, welches die Zahnstange 77 in Fig. 1 nach links beifegt und fiber die Mutter 76 und die Führungsspindel 75 den Stab 10 gegenüber den Ringeleraent 11 verwärtsbewegt, ua die Stärke dos nächsten abzutrennenden Plättchens einzustellen«
Aa Ende der Linksbtwegung der Zahnstange 77 betätigt diese «inen Schalter TS, der an der Zahnstange 77 einstellbar angebracht ist," um die Stärke des Plättchen« einzustellen» Wird der Schalter TS betätigt, so schließt «ich sein Kontakt TSI und der Kontakt TS2 wird geöffnet. Durch das Schliessen des Kontakts TS1 wird das Relais ICR erregt, well LSIA von dea Finger 46, wenn dl« Halterung 27 sich in der ersten Stellung befindet, geschlossen gehal- ten wird und LS2A geschlossen ist. Infolgedessen wird ein neues " Arbeitsspiel eingeleitet, ohne daß d«r Startschalter SSI betätigt zu werden braucht. Wenn der Kontakt TS2 sich öffnet, werden da« Relais SCR tmd das Solenoid S4 entregt, und die Zahnstange 77 witd in die entgegengesetzte Richtung verschoben. Dann kehrt der Sehair ter TS in seine Ruh·leg· zurück, aber das Relais ICR wird nun - ■ durch «eine Kontakt· ICRt gehalten. Das Solenoid S9 wird nun über ICRS, LS3C, 1CRi und LSIA erregt, ua während der Schneidbewegung Druck gegen den Stab 10 auszuüben, und wird nach den öffnen von· LSIA Über !CRS, LSSC und 1CR2 eingeschaltet gehalten, bis das Relais 1CR entregt wird.
ORIGJNAL INSPECTED -15-
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Claims (1)

  1. P-229 " 6, Mai 1969
    P a tjp η ι; a ,η s ρ r ü c h e ;
    1» Oberfflhrungseinrichtung an Schneidgeräten nit einem ebenen drehbaren ringförmigen Blement, an d·iton Innenrana sich «ine Kant« befindet, die ein dünnes Plättchen von ein·» Teil abschneidet, das aus einer ersten Lage, in der es aich im Innenkreis des ringförmigen Elements befindet, in eine zweite Lage bringbar ist, in der sieh das Teil an der einen Seite des ringförmigen Element» zwischen den Innonrand und dem Ausseren Umfang des ringförmigen Elements befindet, gekennzeichnet durch die Kombination aus
    einer Einrichtung (27) zum Haltern des Teils (10) relativ zu dem ringförmigen Element (11) mit einem Trfiger (24), deran einem Gleitstück (26) schwenkbar angeordnet ist, wobei der Träger (24) zwischen einer Sehneidsteilung und einer Rüekfflh» rungsstellung hin und her bewegbar ist, einer mit der Einrichtung (27) zum Haltern des Teils (10) gekoppelten Einrichtung, die zum Bewegen dieser Einrichtung dient, um das Teil (10) zwischen der ersten und der zweiten Lage hin und her χα bewegen,
    einer Bit dem Träger (24) verbundenen Einrichtung zum Hin* und Herbewegen des Trägers (24) und des Teils (10) zwischen der Schiieldstellung und der Rückführung«teilung, und einer auf die Bewegung der Einrichtung (27) zum Haltern in die zweite Lage ansprechende Steuerung zum Umkehren der Bewegungsrichtung der Einrichtung zum Bewegen der Einrichtung (27) zum Haltern und zum Betatigen der Einrichtung zum Bewegen der Einrichtung (27) zum Haltern, wodurch das Teil (10) in die Rückführung«teilung gebracht und darin gehalten wird,
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    sun Bewegen der Einrichtung (27) von der zweiten Lage in die erste Lage,
    2. Oberführungseinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine exte Einrichtung, die relativ zu der anderen Seite des ringförmigen Elements (11) und «wischen einer allgemein «it der zweiten Lage fluchtenden Aufnshmepvsition und einer Ober* führungsposition bewegbar ist, wobei das dünne Plättchen von der ersten Einrichtung aufgenommen wird, wenn es abgetrennt * ■■;""; und von dem Teil (10) losgelassen 1st, sobald dieses in der zweiten Lage ist, und su der Oberfflhrungspoiition gebracht wird, die Abstand vein der Aufnahmeposition hat, und durch «ine zweite Einrichtung, die zwischen der Oberffihrungsposition und einer Abgabeposition hin und her bewegbar ist, wobei die '·-* zweite Einrichtung das dünne Pllttchen von der ersten Binrichtung abnimmt, wenn diese sich in der ÜberfOhrungsposltlon ' befindet, und das Pllttchen in die Abgabeposition fördert, ^ wo das Pllttchen abgegeben wird. > ""*»
    3. Oberführungselnrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekeenzelehnet, daft die. Steuerung ein· Bewegung der ersten Einrichtung synchron sur Bewegung das Teile (10) in die zweite Lage und eine Bewegung der zweiten Einrichtung synchron zur Bewegung^ * der ersten Einrichtung In dl· Obtrffihrungsposition veranlagt0
    4. Oberfflhrungselnrlchtung nach Anspruch 1, fikennteichnet durch eine von der Steuerung betitigte Hinrichtung zum Sehalten .to* Teils (10) bei Bewegung der Hinrichtung (27) sun Haltern aus der zweiten Lage in die erste Lage und des Teils (10) aus der ROckffthrungsstellung in die Schneidstellung, um die Relation des Teils '(1O) zu dem ringförmigen Element (11) —
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    festzulegen, wodurch die Starke des Plättchens festgelegt wird, das geschnitten wird, wenn das Teil (10) wieder aus der ersten Lage in die zweite Lage geführt wird·
    OberfOhrungseinrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch' eine Einrichtung, die bei Bewegung des Teils (10) in die erste Lage auf die Einrichtung (27) zuv Haltern anspricht und den Trlger (24) in die Schneidstellung bringt und das Teil" (10) relativ zu dem ringföraigtn Element (11) bewegt, ua die Starke des nftchsten zu schneidenden Plattchens einzustel* len„
    6. Oberführungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,daß die Steuerung die Bewegung der Einrichtung (27) zu* Haltern aus der zweiten Lage in die erste Lage nach Führung der zweittn Einrichtung in die Abgabestellung vtranlaSt»
    7. Oberfflhrungseihriehtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dl· STeuerung die Bewegung der ersten Einrichtung und der zweiten Einrichtung veranlaßt, wobei dl· erste Hinrichtung sich aus der Aufnahaeposition in die überführung!* position und die zweite Einrichtung sich aus der Abgabeposition in die OberfOhrungsposition begibt» und daß Hilfe- v-■lttel vorgesehen sind, die die Oberführung des dünnen Plattchtns aus der ersten Einrichtung in die zweit· Einrichtung · * bewirken, wenn die Einrichtungen sich in der OberfOhrungsposltion befinden. ■■-■-'
    8. OberfOhrungseinrlchtung an Schneidgerlttn ait eines ebenen
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    drehbaren ringförmigen Eleeent, an dessen Innenrand tich eine Kante befindet, die ein dünnes Plättchen von eine« Teil abschneidet, das aus einer ersten Lag·, in der ea sich ia Innen* kreis des ringförnigen Elements befindet, in eine zweite Lage ' bringbar ist, in der sich das Teil an der einen Seite des ring* förmigen Elements zwischen den Innenrand und den flusseren Umfang des ringförmigen Elements befindet, gekennzeichnet durch die Kombination aus
    einer ersten Hinrichtung, die gegenüber der anderen Seite dt· ringförmigen Elemente (11) und zwischen einer seigern«in «it der zweiten Lage fluchtenden Aufnahaeposition und einer Oberfülirungsposition hb und her bewegbar ist, wobei das dünne Pltttchen von der ersten Einrichtung auf genossen wird, wenn -*"*1 es von de« Teil (10) abgetrennt und abgegeben ist, sobald sich das Teil (10) in der zweiten Lage befindet, und in die" " Oberffihrungsposltio« gebracht wird, die sich entfernt von der Aufnanseposition befindet, und. *■·.*.·»■
    einer «weiten Einrichtung, die zwischen der Oberfflfertmgspos**"**"" tie« und einer Abgabeposition hin und her bewegbar ist, wobei*"*" die sweite einrichtung des dünne Pltttchen von der ersten Ein* richtung aufnisat, wesn diese sich in der Oberführuagspotitioft befindet, und das Pltttchen in die Abgabeposition befördert, ~ ia der das dünne Plättchen abgegeben wird«. -^-
    9, Oberführungseinrichttmg nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch^ eise auf die erste und auf die zweite Einrichtung in ihren je* welligen Positionen ansprechende Vorrichtung zu« Steuern des Ergreif ens und der Oberführung des dünne« Flittchens zwischen der erste« Einrichtung und der zweiten Einrichtung. .·*.■*»
    10. Oberführungseinrichtuni nach Anspruch S, gekennzeichnet durch
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    nit der ersten Einrichtung verbindbare Hilfsmittel zum Aufrechterhalten der Berührung zwischen den Plättchen und der er« sten Einrichtung wahrend deren Bewegung von der Aufnahraoposit ion in die Oberführungsposition und zu der zweiten Einrichtung, um das dünne Plattchen in Xontakt nit der zweiten Einrichtung während deren Bewegung aus der Oberführungspoeition in die Abgabeposition zu halten»
    11· Oberführungseinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einrichtung einen schwenkbar ausgebildeten Arn (51) besitzt, der an der anderen Seite des ringförmigen Elenents (11) angeordnet ist und ein freies Ende (SO) aufweist, das sich normalerweise an der Aufnahmeposition befindet, un das von den Teil (10) abgetrennte und abgegebene dünne Plättchen aufzunehmen, und daft nit den Arn (51) ein Arbeitsorgan (54) verbunden ist, das den Am (Sl) bewegt, wodurch das dünne Plättchen aus. der Aufnahneposltion in die Oberfüh- ■ rungsposition befördert wird»
    Oberführungseinrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch Unterdrucknittel, die nit den freien Ende (SO) verbunden sind und bei Bewegung des Teils (10) in die. zweite Lage betätigt werden, un das dünne Plättchen an das freie Ende (SG) anzusaugen und daran zu-halten während die Bewegung des Ant*/-(51) aus der Aufnahmeposition in die Obtrführungsposltioa erfolgt· ,-
    13. Oberführungseinrichttnif nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daft die zweite Einrichtung eine schwenkbar angebrachte
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    ti
    Vorrichtung besitzt, an der sich ein freies End® (60) befin« dotp das in Flucht mit dem freien Ead© (50) des Arms (Sl) bringbar ist, wenn der Arn (Sl) und die Vorrichtung sich in Oberführungsposition befinden,, un die Oberführung des dünnen Plattchens von dem freien Ende (So) zu de» anderen freien Ende (60) herbeizuführen, und daß an der Vorrichtung Hilfsmittel angebracht sind, um die Vorrichtung aus der Oberführungsposition in die Abgabeposition zu bringen, in der das dünne Plättchen abgegeben wird»
    14» Oberführungseinrichtung nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Unterdruckeinrichtung, die mit dem freien Ende (6o) verbunden ist und betätigt wird nach Maßgabe der Bewegung der ersten Einrichtung in die Oberführungsposition, um die Oberführung des dünnen Plättchens von der ersten Einrichtung auf, das freie Bnd© (6o) hervorzubringen und das dünne Plattchen daran zu halten, während die Vorrichtung aus der Oberführungsposition in die Abgabeposition gebracht wirdο
    β Oberführungseinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung Nockenvorrichtungen (65, 66) aufweist t. un die Vorrichtung in axialer Richtung relativ zu der ersten Einrichtung zu bewegen, wenn diese sich in der Oberführungsposition befindet und ehe die Vorrichtung in die Abgabeposition bewegt wird,,
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DE19691923043 1969-04-07 1969-05-06 Vorrichtung an einer saege mit ringfoermigem innenzahnblatt fuer das abfuehren abgeschnittener empfindlicher plaettchen, insbesondere halbleiterplaettchen Granted DE1923043B2 (de)

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