CN111976042A - 一种高效率的薄膜电感制造设备及制造工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高效率的薄膜电感制造设备及制造工艺，包括工作台，工作台的底端安装有支撑机构，且工作台的顶端固定连接有固定架，固定架的右端表面设置有操作台，且操作台与固定架之间安装有升降机构，操作台的右端表面连接有对位机构。本发明中，当工作人员需要将切片装置对制造薄膜电感使用的晶圆进行切片换位时，当切片装置需要横向变位时，将第二电机电源打开，使得第二电机带动第二丝杆转动，则使得第一滑块相接的安装架上切片装置有效的换位，当需要进行纵向变位时，则可以将第三电机的电源接通，使得第三电机带动第三丝杆转动，从而使得第二滑块相接的切片装置有效变位，这样保证了切片装置能够快速换位，加快工作效率。

Description

一种高效率的薄膜电感制造设备及制造工艺

技术领域

本发明涉及薄膜电感制造技术领域，尤其涉及薄膜电感制造设备及制造工艺。

背景技术

薄膜电感器是一种采用真空薄膜工艺制作的电感器，可靠性高，易于集成化和片式化，非常适合于自动化表面装贴技术，并且由于其尺寸小，高频特性好等优点，已成为国内外研究的热点。

现有的薄膜电感器内部元器件采用晶圆进行为原材料，在加工电器元器件之后，则需要进行切割使用，在切割时，现有的切割装置能够有效的将晶圆进行切割，但是在切割时，需要工作人员进行换位，切割一次，就需要人工进行辅助推进一次，在放置面不平坦时，还会产生震动，使得次品较多，对此我们设计出一种高效率的薄膜电感制造工艺设备。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有的薄膜电感器内部元器件采用晶圆进行为原材料，在加工电器元器件之后，则需要进行切割使用，在切割时，现有的切割装置能够有效的将晶圆进行切割，但是在切割时，需要工作人员进行换位，切割一次，就需要人工进行辅助推进一次，在放置面不平坦时，还会产生震动，使得次品较多的缺点，而提出的一种高效率的薄膜电感制造工艺设备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种高效率的薄膜电感制造设备，包括工作台，所述工作台的底端安装有支撑机构，且工作台的顶端固定连接有固定架，所述固定架的右端表面设置有操作台，且操作台与固定架之间安装有升降机构，所述操作台的右端表面连接有对位机构，且对位机构的底端安装有切片装置，所述工作台的顶端固定连接有固定台，且固定台的内部设置有定位机构，所述对位机构内部包括有第二电机，且第二电机的左端表面固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆的外侧固定连接有第二活动轴，且第二丝杆的外部螺纹连接有第一滑块，所述第一滑块的外侧设置有第一滑槽，且第一滑块的底端固定连接有安装架，所述安装架的内部开设有第二滑槽，且第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的内部螺纹连接有第三丝杆，且第三丝杆的外侧固定安装有第三活动轴，所述第三丝杆的底端固定连接有第三电机。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装架通过第一滑块、第一滑槽与操作台构成活动结构，且第一滑块的横轴线与第二丝杆的横轴线相重合。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述支撑机构内部包括有底盘，且底盘的顶端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的外侧螺纹连接有安装座，且第一螺纹杆的外部螺纹连接有第一螺母，所述第一螺母的正面下方安装有第二螺母。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述底盘通过第一螺纹杆与安装座构成活动结构，且底盘的中轴线与安装座的中轴线相重合。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述升降机构内部包括有第一电机，且第一电机的底端固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆的外部固定安装有第一活动轴，且第一丝杆的外侧螺纹连接有导向块，所述导向块的外部设置有导向槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述导向块通过导向槽与固定架构成活动结构，且导向块的中轴线与第一丝杆的中轴线相重合。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述定位机构内部包括有拧头，且拧头的左端表面固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的外侧固定安装有第四活动轴，且第二螺纹杆的外部螺纹连接有手拧螺母，所述第二螺纹杆的外侧螺纹连接有第三滑块，且第三滑块的外部设置有第三滑槽，所述第三滑块的顶端固定安装有夹块。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述夹块通过第三滑块、第三滑槽与固定台构成滑动结构，且夹块关于固定台的中轴线相对称。

一种高效率的薄膜电感的制造工艺，包括如下步骤：

步骤一：将该装置与放置面进行调平；

步骤二：将制造薄膜电感使用的晶圆放置在该装置上进行固定；

步骤三：调整该装置内部的切片装置的高度；

步骤四：调整该装置内部的切片装置的位置进行切割晶圆。

该高效率的薄膜电感的制造工艺，包括具体步骤如下：

步骤一：将第一螺母、第二螺母拧松，使得底盘可以通过第一螺纹杆进行调位，通过四组底盘调节，保证了该装置的水平性，从而该装置加工时稳定，防止晃动次品的产生，节约生产成本，加大产品合格率；

步骤二：将制造薄膜电感使用的晶圆放置在固定台上，然后将拧头拧动，使得第二螺纹杆转动，则使得两只夹块通过第三滑块相对运动，从而对晶圆进行有效的固定，再将手拧螺母拧紧，使得晶圆位置锁定，防止偏位；

步骤三：将第一电机的电源打开，使得第一电机带动第一丝杆转动，则使得导向块带动相接的操作台高度有效的改变，从而保证切割晶圆的有效性；

步骤四：当切片装置需要横向变位时，将第二电机电源打开，使得第二电机带动第二丝杆转动，则使得第一滑块相接的安装架上切片装置有效的换位，当需要进行纵向变位时，则可以将第三电机的电源接通，使得第三电机带动第三丝杆转动，从而使得第二滑块相接的切片装置有效变位，这样保证了切片装置能够快速换位，加快工作效率。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本发明中，当工作人员需要将该设备与放置面进行调平时，则可以先将第一螺母、第二螺母拧松，使得底盘可以通过第一螺纹杆进行调位，当转动一定位置后，使得底盘与放置面接触，然后再将第一螺母、第二螺母拧回原位即可，通过四组底盘调节，保证了该装置的水平性，从而该装置加工时稳定，防止晃动次品的产生，节约生产成本，加大产品合格率。

2、本发明中，当工作人员需要对制造薄膜电感使用的晶圆进行加工时，则可以将制造薄膜电感使用的晶圆放置在固定台上，然后将拧头拧动，使得第二螺纹杆转动，则使得两只夹块通过第三滑块相对运动，从而对晶圆进行有效的固定，再将手拧螺母拧紧，使得晶圆位置锁定，防止偏位。

3、本发明中，当工作人员需要将切片装置对制造薄膜电感使用的晶圆进行切片时，将第一电机的电源打开，使得第一电机带动第一丝杆转动，则使得导向块带动相接的操作台高度有效的改变，从而保证切割晶圆的有效性。

4、本发明中，当工作人员需要将切片装置对制造薄膜电感使用的晶圆进行切片换位时，当切片装置需要横向变位时，将第二电机电源打开，使得第二电机带动第二丝杆转动，则使得第一滑块相接的安装架上切片装置有效的换位，当需要进行纵向变位时，则可以将第三电机的电源接通，使得第三电机带动第三丝杆转动，从而使得第二滑块相接的切片装置有效变位，这样保证了切片装置能够快速换位，加快工作效率。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明中对位机构示意图；

图3为本发明中操作台与安装架示意图；

图4为本发明中固定台示意图；

图5为本发明中定位机构示意图；

图6为本发明中支撑机构示意图。

图例说明：

1、工作台；2、支撑机构；201、底盘；202、第一螺纹杆；203、安装座；204、第一螺母；205、第二螺母；3、固定架；4、操作台；5、升降机构；501、第一电机；502、第一丝杆；503、第一活动轴；504、导向块；505、导向槽；6、对位机构；601、第二电机；602、第二丝杆；603、第二活动轴；604、第一滑块；605、第一滑槽；606、安装架；607、第二滑槽；608、第二滑块；609、第三丝杆；610、第三活动轴；611、第三电机；7、切片装置；8、固定台；9、定位机构；901、拧头；902、第二螺纹杆；903、第四活动轴；904、手拧螺母；905、第三滑块；906、第三滑槽；907、夹块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1：

参照图1-6，一种高效率的薄膜电感制造工艺设备，包括工作台1、支撑机构2、底盘201、第一螺纹杆202、安装座203、第一螺母204、第二螺母205、固定架3、操作台4、升降机构5、第一电机501、第一丝杆502、第一活动轴503、导向块504、导向槽505、对位机构6、第二电机601、第二丝杆602、第二活动轴603、第一滑块604、第一滑槽605、安装架606、第二滑槽607、第二滑块608、第三丝杆609、第三活动轴610、第三电机611、切片装置7、固定台8、定位机构9、拧头901、第二螺纹杆902、第四活动轴903、手拧螺母904、第三滑块905、第三滑槽906和夹块907，工作台1的底端安装有支撑机构2，且工作台1的顶端固定连接有固定架3，固定架3的右端表面设置有操作台4，且操作台4与固定架3之间安装有升降机构5，操作台4的右端表面连接有对位机构6，且对位机构6的底端安装有切片装置7，工作台1的顶端固定连接有固定台8，且固定台8的内部设置有定位机构9，对位机构6内部包括有第二电机601，且第二电机601的左端表面固定连接有第二丝杆602，第二丝杆602的外侧固定连接有第二活动轴603，且第二丝杆602的外部螺纹连接有第一滑块604，第一滑块604的外侧设置有第一滑槽605，且第一滑块604的底端固定连接有安装架606，安装架606的内部开设有第二滑槽607，且第二滑槽607的内部滑动连接有第二滑块608，第二滑块608的内部螺纹连接有第三丝杆609，且第三丝杆609的外侧固定安装有第三活动轴610，第三丝杆609的底端固定连接有第三电机611，其中该装置内部电机均采用减速电机，有效的进行调整方位。

进一步的，安装架606通过第一滑块604、第一滑槽605与操作台4构成活动结构，且第一滑块604的横轴线与第二丝杆602的横轴线相重合，其中安装架606上设置有刻度指针，操作台4的正端面设置有刻度条，使得换位时，能够精确读数，方便切割，减小误差。

进一步的，支撑机构2内部包括有底盘201，且底盘201的顶端固定连接有第一螺纹杆202，第一螺纹杆202的外侧螺纹连接有安装座203，且第一螺纹杆202的外部螺纹连接有第一螺母204，第一螺母204的正面下方安装有第二螺母205，其中安装座203内部预设有螺纹槽，使得第一螺纹杆202有效的转动进行调节。

进一步的，底盘201通过第一螺纹杆202与安装座203构成活动结构，且底盘201的中轴线与安装座203的中轴线相重合，其中通过四组底盘201调节，保证了该装置的水平性，从而该装置加工时稳定，防止晃动次品的产生，节约生产成本，加大产品合格率。

进一步的，升降机构5内部包括有第一电机501，且第一电机501的底端固定连接有第一丝杆502，第一丝杆502的外部固定安装有第一活动轴503，且第一丝杆502的外侧螺纹连接有导向块504，导向块504的外部设置有导向槽505，其中第一电机501的电源打开，使得第一电机501带动第一丝杆502转动，则使得导向块504带动相接的操作台4高度有效的改变，从而保证切割晶圆的有效性。

进一步的，导向块504通过导向槽505与固定架3构成活动结构，且导向块504的中轴线与第一丝杆502的中轴线相重合，其中导向块504与操作台4为一体，使得导向块504移动时，操作台4有效的进行换位。

进一步的，定位机构9内部包括有拧头901，且拧头901的左端表面固定连接有第二螺纹杆902，第二螺纹杆902的外侧固定安装有第四活动轴903，且第二螺纹杆902的外部螺纹连接有手拧螺母904，第二螺纹杆902的外侧螺纹连接有第三滑块905，且第三滑块905的外部设置有第三滑槽906，第三滑块905的顶端固定安装有夹块907，其中夹块907呈圆弧形，使得晶圆能够有效的夹紧固定，方便切割。

进一步的，夹块907通过第三滑块905、第三滑槽906与固定台8构成滑动结构，且夹块907关于固定台8的中轴线相对称，其中两只夹块907通过第三滑块905相对运动，从而对晶圆进行有效的固定，再将手拧螺母904拧紧，使得晶圆位置锁定，防止偏位。

该高效率的薄膜电感制造工艺具体包括如下步骤：

步骤一：将第一螺母204、第二螺母205拧松，使得底盘201可以通过第一螺纹杆202进行调位，通过四组底盘201调节，保证了该装置的水平性，从而该装置加工时稳定，防止晃动次品的产生，节约生产成本，加大产品合格率；

步骤二：将制造薄膜电感使用的晶圆放置在固定台8上，然后将拧头901拧动，使得第二螺纹杆902转动，则使得两只夹块907通过第三滑块905相对运动，从而对晶圆进行有效的固定，再将手拧螺母904拧紧，使得晶圆位置锁定，防止偏位；

步骤三：将第一电机501的电源打开，使得第一电机501带动第一丝杆502转动，则使得导向块504带动相接的操作台4高度有效的改变，从而保证切割晶圆的有效性；

步骤四：当切片装置7需要横向变位时，将第二电机601电源打开，使得第二电机601带动第二丝杆602转动，则使得第一滑块604相接的安装架606上切片装置7有效的换位，当需要进行纵向变位时，则可以将第三电机611的电源接通，使得第三电机611带动第三丝杆609转动，从而使得第二滑块608相接的切片装置7有效变位，这样保证了切片装置7能够快速换位，加快工作效率。

实施例2：

原加工工艺示意表：

现加工工艺示意表：

通过以上数据，采用新的工艺，效率有效的提高，且采用机械全自动换位，使得工作效率加快，且工作时更加稳定，合格率有明显的对比，且以往的采用人工，从而还可以节约人工成本。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种高效率的薄膜电感制造设备，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的底端安装有支撑机构（2），且工作台（1）的顶端固定连接有固定架（3），所述固定架（3）的右端表面设置有操作台（4），且操作台（4）与固定架（3）之间安装有升降机构（5），所述操作台（4）的右端表面连接有对位机构（6），且对位机构（6）的底端安装有切片装置（7），所述工作台（1）的顶端固定连接有固定台（8），且固定台（8）的内部设置有定位机构（9），所述对位机构（6）内部包括有第二电机（601），且第二电机（601）的左端表面固定连接有第二丝杆（602），所述第二丝杆（602）的外侧固定连接有第二活动轴（603），且第二丝杆（602）的外部螺纹连接有第一滑块（604），所述第一滑块（604）的外侧设置有第一滑槽（605），且第一滑块（604）的底端固定连接有安装架（606），所述安装架（606）的内部开设有第二滑槽（607），且第二滑槽（607）的内部滑动连接有第二滑块（608），所述第二滑块（608）的内部螺纹连接有第三丝杆（609），且第三丝杆（609）的外侧固定安装有第三活动轴（610），所述第三丝杆（609）的底端固定连接有第三电机（611）。

2.根据权利要求1所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述安装架（606）通过第一滑块（604）、第一滑槽（605）与操作台（4）构成活动结构，且第一滑块（604）的横轴线与第二丝杆（602）的横轴线相重合。

3.根据权利要求1所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述支撑机构（2）内部包括有底盘（201），且底盘（201）的顶端固定连接有第一螺纹杆（202），所述第一螺纹杆（202）的外侧螺纹连接有安装座（203），且第一螺纹杆（202）的外部螺纹连接有第一螺母（204），所述第一螺母（204）的正面下方安装有第二螺母（205）。

4.根据权利要求3所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述底盘（201）通过第一螺纹杆（202）与安装座（203）构成活动结构，且底盘（201）的中轴线与安装座（203）的中轴线相重合。

5.根据权利要求1所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述升降机构（5）内部包括有第一电机（501），且第一电机（501）的底端固定连接有第一丝杆（502），所述第一丝杆（502）的外部固定安装有第一活动轴（503），且第一丝杆（502）的外侧螺纹连接有导向块（504），所述导向块（504）的外部设置有导向槽（505）。

6.根据权利要求5所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述导向块（504）通过导向槽（505）与固定架（3）构成活动结构，且导向块（504）的中轴线与第一丝杆（502）的中轴线相重合。

7.根据权利要求1所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述定位机构（9）内部包括有拧头（901），且拧头（901）的左端表面固定连接有第二螺纹杆（902），所述第二螺纹杆（902）的外侧固定安装有第四活动轴（903），且第二螺纹杆（902）的外部螺纹连接有手拧螺母（904），所述第二螺纹杆（902）的外侧螺纹连接有第三滑块（905），且第三滑块（905）的外部设置有第三滑槽（906），所述第三滑块（905）的顶端固定安装有夹块（907）。

8.根据权利要求7所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，所述夹块（907）通过第三滑块（905）、第三滑槽（906）与固定台（8）构成滑动结构，且夹块（907）关于固定台（8）的中轴线相对称。

9.一种高效率的薄膜电感制造工艺，采用如权利要求1-8任一项所述的高效率的薄膜电感制造设备，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将该装置与放置面进行调平；

步骤二：将制造薄膜电感使用的晶圆放置在该装置上进行固定；

步骤三：调整该装置内部的切片装置的高度；

步骤四：调整该装置内部的切片装置的位置进行切割晶圆。

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